JP2739413B2 - 基板搬送用スカラ型ロボット - Google Patents
基板搬送用スカラ型ロボットInfo
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- JP2739413B2 JP2739413B2 JP5163755A JP16375593A JP2739413B2 JP 2739413 B2 JP2739413 B2 JP 2739413B2 JP 5163755 A JP5163755 A JP 5163755A JP 16375593 A JP16375593 A JP 16375593A JP 2739413 B2 JP2739413 B2 JP 2739413B2
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- Japan
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- arm
- pulley
- rotated
- motor
- rotation
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板搬送用スカラ型ロボ
ットに関する。
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来に於ける基板搬送用スカラ型ロボッ
トは図２に示す如きもので、同図Ａは平面図、同図Ｂは
図Ａの縦断面図である。
トは図２に示す如きもので、同図Ａは平面図、同図Ｂは
図Ａの縦断面図である。
【０００３】本図に於て１は基板を先端の透孔ｍを介し
真空吸着により保持するチャックであって、次の構成に
より支持されてなる。５は基台８上方へ支軸９を介し回
動可能に配置されてなる胴体であって、基台８上に設置
したモータ１３の駆動でプーリ１２、ベルト１１及びプ
ーリ１０を介し支軸９が回動されることによって行われ
る。
真空吸着により保持するチャックであって、次の構成に
より支持されてなる。５は基台８上方へ支軸９を介し回
動可能に配置されてなる胴体であって、基台８上に設置
したモータ１３の駆動でプーリ１２、ベルト１１及びプ
ーリ１０を介し支軸９が回動されることによって行われ
る。
【０００４】一方、２、３及び４は上記胴体５上方に配
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に配置
されるモータ７、減速機６及びその出力軸４ａを介し回
動される。又、４ｃは上記出力軸４ａをその中心内部に
貫通状態として胴体５の首部に固定されたプーリであ
る。モータ７の駆動により減速機６、出力軸４ａを介し
てアーム４が回転すると、アーム４内部にはプーリ４
ｃ、タイミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３
ａが配設されていることからアーム４と共にこれらが位
置変動することにより、アーム３が上記プーリ４ｃ、タ
イミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３ａを介
して回動されるものとなる。
置されるアームであって、アーム４は胴体５内部に配置
されるモータ７、減速機６及びその出力軸４ａを介し回
動される。又、４ｃは上記出力軸４ａをその中心内部に
貫通状態として胴体５の首部に固定されたプーリであ
る。モータ７の駆動により減速機６、出力軸４ａを介し
てアーム４が回転すると、アーム４内部にはプーリ４
ｃ、タイミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３
ａが配設されていることからアーム４と共にこれらが位
置変動することにより、アーム３が上記プーリ４ｃ、タ
イミングベルト４ｄ、プーリ３ｂ及びプーリ軸３ａを介
して回動されるものとなる。
【０００５】他方、３ｃはプーリ軸３ａを中心部で貫挿
状態にしてアーム４の上方首部に固定したプーリであっ
て、該プーリ３ｃはベルト３ｄ及びプーリ２ｂを介しア
ーム２の支軸２ａと連繋されてなる。
状態にしてアーム４の上方首部に固定したプーリであっ
て、該プーリ３ｃはベルト３ｄ及びプーリ２ｂを介しア
ーム２の支軸２ａと連繋されてなる。
【０００６】この際、プーリ４ｃと３ｂ、及びプーリ２
ｂと３ｃは直径比が夫々れ２：１となされており、モー
タ７の回転が減速機６を介して支軸４ａが回動されると
アーム４が回転し、これに伴ってプーリ３ｃ及び２ｂを
介してアーム２が回転され、且つチャック１が同時に回
転するものとなる。
ｂと３ｃは直径比が夫々れ２：１となされており、モー
タ７の回転が減速機６を介して支軸４ａが回動されると
アーム４が回転し、これに伴ってプーリ３ｃ及び２ｂを
介してアーム２が回転され、且つチャック１が同時に回
転するものとなる。
【０００７】上記は平面視で胴体５の中心部を原点とす
るチャック１の伸縮動作を説明したものであるが、同じ
く該チャック１の回転動作はモータ１３が駆動されるこ
とによりプーリ１２、ベルト１１、プーリ１０及びその
支軸９を介して胴体５を回動させ、胴体５に接続されて
いる全ての機構を平面視で胴体５の中心部の支軸９を原
点とした回転動作するものとなるのである。
るチャック１の伸縮動作を説明したものであるが、同じ
く該チャック１の回転動作はモータ１３が駆動されるこ
とによりプーリ１２、ベルト１１、プーリ１０及びその
支軸９を介して胴体５を回動させ、胴体５に接続されて
いる全ての機構を平面視で胴体５の中心部の支軸９を原
点とした回転動作するものとなるのである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来のスカ
ラ型ロボットではチャック１が１個で基板を１枚しか持
てないため、基板を搬送する時間が長くなる。即ち、図
３で実際に半導体製造工程で行われているウエハー搬送
を例にして説明すると、ウエハー１５を多数収納したカ
セット１４を上昇下降させるエレベーター１７とステー
ジ１６により構成し、チャック１でウエハー１５を搬出
入出来る高さ位置へ随時移動させるのである。
ラ型ロボットではチャック１が１個で基板を１枚しか持
てないため、基板を搬送する時間が長くなる。即ち、図
３で実際に半導体製造工程で行われているウエハー搬送
を例にして説明すると、ウエハー１５を多数収納したカ
セット１４を上昇下降させるエレベーター１７とステー
ジ１６により構成し、チャック１でウエハー１５を搬出
入出来る高さ位置へ随時移動させるのである。
【０００９】１８はウエハー１５を処理するためのテー
ブルであって、該テーブル１８はテーブル上のウエハー
１５をチャック１に受け渡すためのプッシャーピン１９
とそのプッシャーピン１９を上下駆動させるシリンダー
２０を備えた構成となされている。
ブルであって、該テーブル１８はテーブル上のウエハー
１５をチャック１に受け渡すためのプッシャーピン１９
とそのプッシャーピン１９を上下駆動させるシリンダー
２０を備えた構成となされている。
【００１０】この状態でモータ１３及び７が駆動される
と、アーム４、３及び２の回動と共にチャック１を伸縮
させてテーブル１８上の処理済みウエハー１５を掴み、
カセット１４の特定段へ搬入させるのであり、搬入後他
の段の未処理ウエハー１５’を取り出してテーブル１８
上へ載置して処理が行われるようになすのであり、この
際上記搬入と搬出までの交換時間は凡そ１３秒程度が必
要とされるものとなっている。
と、アーム４、３及び２の回動と共にチャック１を伸縮
させてテーブル１８上の処理済みウエハー１５を掴み、
カセット１４の特定段へ搬入させるのであり、搬入後他
の段の未処理ウエハー１５’を取り出してテーブル１８
上へ載置して処理が行われるようになすのであり、この
際上記搬入と搬出までの交換時間は凡そ１３秒程度が必
要とされるものとなっている。
【００１１】ところで、テーブル１８上のウエハー１５
の処理時間は５秒とか１０秒等の如く比較的短時間で完
了する処理であり、従来のスカラ型ロボットでは生産効
率が上記ウエハー交換時間により大きく低下するものと
なっていた。
の処理時間は５秒とか１０秒等の如く比較的短時間で完
了する処理であり、従来のスカラ型ロボットでは生産効
率が上記ウエハー交換時間により大きく低下するものと
なっていた。
【００１２】本発明は上記問題点を解決せんとするもの
であって、即ち処理済みウエハー１５と処理前ウエハー
１５’を短時間に交換して生産性向上に寄与せしめんと
するものである。
であって、即ち処理済みウエハー１５と処理前ウエハー
１５’を短時間に交換して生産性向上に寄与せしめんと
するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、減速機付きで
モータ１３を中心部へ内蔵した基台上に該モータ１３の
駆動により回動されるよう胴体５を取付け、該胴体５内
には１対の減速機付きモータ７，７’を対称となる関係
に取付け、各出力軸にはモータ７，７’の駆動で回動さ
れるものとなる第１アーム４，４’の片側端部を取付
け、且つ該第１アーム４，４’の他端部には各アーム
４，４’の回動と共に、各アーム体内でプーリ及びタイ
ミングベルトを介し一定比で回動されるものとなる支軸
３ａ，３ａ’を該アーム４，４’の回動とは無関係の状
態に突出させ、該支軸３ａ，３ａ’には第２アーム３，
３’の片側端部を取付け、且つ該第２アーム３，３’の
他端には各アーム３，３’の回動と共に各アーム体内で
プーリ及びタイミングベルトを介して一定比で回動され
るものとなる支軸２ａ，２ａ’を該アーム体３，３’の
回動とは無関係の状態に突出させ、且つ該支軸２ａ，２
ａ’には夫々れ基板１５，１５’を吸引止着するための
１つがコ字形をなし、他の１つは上記コ字形内を干渉し
ないように作動する第３アーム２，２’を取付けしめ、
該アーム２，２’により処理前基板を取り出し、処理箇
所への搬送及び処理済み基板の返送を同一水平線上で互
い違いの対称関係で同時進行するように構成したことを
特徴とする。
モータ１３を中心部へ内蔵した基台上に該モータ１３の
駆動により回動されるよう胴体５を取付け、該胴体５内
には１対の減速機付きモータ７，７’を対称となる関係
に取付け、各出力軸にはモータ７，７’の駆動で回動さ
れるものとなる第１アーム４，４’の片側端部を取付
け、且つ該第１アーム４，４’の他端部には各アーム
４，４’の回動と共に、各アーム体内でプーリ及びタイ
ミングベルトを介し一定比で回動されるものとなる支軸
３ａ，３ａ’を該アーム４，４’の回動とは無関係の状
態に突出させ、該支軸３ａ，３ａ’には第２アーム３，
３’の片側端部を取付け、且つ該第２アーム３，３’の
他端には各アーム３，３’の回動と共に各アーム体内で
プーリ及びタイミングベルトを介して一定比で回動され
るものとなる支軸２ａ，２ａ’を該アーム体３，３’の
回動とは無関係の状態に突出させ、且つ該支軸２ａ，２
ａ’には夫々れ基板１５，１５’を吸引止着するための
１つがコ字形をなし、他の１つは上記コ字形内を干渉し
ないように作動する第３アーム２，２’を取付けしめ、
該アーム２，２’により処理前基板を取り出し、処理箇
所への搬送及び処理済み基板の返送を同一水平線上で互
い違いの対称関係で同時進行するように構成したことを
特徴とする。
【００１４】
【作用】回転する胴体上方へ左右対称のアームにチャッ
クを２個取り付けた構成のため、従来胴体の２回転で処
理済み基板と処理前基板の交換を行っていたものも、そ
の１回転で同時に行うことが出来るものとなり、時間的
には従来の凡そ１／３以下に短縮されるものとなった。
クを２個取り付けた構成のため、従来胴体の２回転で処
理済み基板と処理前基板の交換を行っていたものも、そ
の１回転で同時に行うことが出来るものとなり、時間的
には従来の凡そ１／３以下に短縮されるものとなった。
【００１５】
【実施例】図１は本発明装置を示すものであって、同図
Ａは平面図、同図Ｂは図Ａの縦断面図である。図に於て
８は基台、５は胴体であって該胴体５は基台８内に設け
たモータ１３、減速機２１を介して基台８上方で回動さ
れるものとなされる。
Ａは平面図、同図Ｂは図Ａの縦断面図である。図に於て
８は基台、５は胴体であって該胴体５は基台８内に設け
たモータ１３、減速機２１を介して基台８上方で回動さ
れるものとなされる。
【００１６】本発明では上記胴体５上部へ左右対称のア
ームにチャック１、１’を、又胴体５内部にその駆動用
モータを取り付けて作用させる構成となすのであり、具
体的には次の如くなされる。
ームにチャック１、１’を、又胴体５内部にその駆動用
モータを取り付けて作用させる構成となすのであり、具
体的には次の如くなされる。
【００１７】１５，１５’はチャック１，１’に吸着さ
れて搬送される基板としてのウエハーである。該ウエハ
ー１５，１５’の移動方向は図１Ｂでは紙面の裏面側と
手前側、図１Ａでは上下方向の直線上を各々が独立して
移動する構成となされるのであり、このためチャック１
の第３アーム２は図１Ｂで見られる通りコ字形の構造と
なされている。
れて搬送される基板としてのウエハーである。該ウエハ
ー１５，１５’の移動方向は図１Ｂでは紙面の裏面側と
手前側、図１Ａでは上下方向の直線上を各々が独立して
移動する構成となされるのであり、このためチャック１
の第３アーム２は図１Ｂで見られる通りコ字形の構造と
なされている。
【００１８】これにより、他の第３アーム２’は干渉し
ないものとなって同一水平線上を互いに対称関係で作動
することができるものとなる。上記、チャック１がコ字
形となされるほかは、前述の従来構成のものと変りがな
く、１対の各アーム２，３，４と２’，３’，４’とで
は同じ動作原理のため、これを片側（右側端）でのみ説
明する。
ないものとなって同一水平線上を互いに対称関係で作動
することができるものとなる。上記、チャック１がコ字
形となされるほかは、前述の従来構成のものと変りがな
く、１対の各アーム２，３，４と２’，３’，４’とで
は同じ動作原理のため、これを片側（右側端）でのみ説
明する。
【００１９】第３アームは支軸２ａを介してプーリ２ｂ
に固定されてなり、該プーリ２ｂと第２アーム３内のプ
ーリ３ｃはタイミングベルト３ｄにより接続されてな
り、且つプーリ３ｃの回転に対してプーリ２ｂの回転比
を１／２となしてある。そして、このプーリ３ｃには第
１アーム４に固定されてなる。
に固定されてなり、該プーリ２ｂと第２アーム３内のプ
ーリ３ｃはタイミングベルト３ｄにより接続されてな
り、且つプーリ３ｃの回転に対してプーリ２ｂの回転比
を１／２となしてある。そして、このプーリ３ｃには第
１アーム４に固定されてなる。
【００２０】一方、第２アーム３は支軸３ａとプーリ３
ｂにより回転されるように固定され、プーリ３ｂはタイ
ミングベルト４ｄによりプーリ４ｃに接続されてなり、
且つプーリ４ｃの回転に対してプーリ３ｂの回転比を２
倍となしてある。
ｂにより回転されるように固定され、プーリ３ｂはタイ
ミングベルト４ｄによりプーリ４ｃに接続されてなり、
且つプーリ４ｃの回転に対してプーリ３ｂの回転比を２
倍となしてある。
【００２１】他方、プーリ４ｃには胴体５に固定されて
なり、第１アーム支軸４ａを介して胴体５内に配置され
る減速機６、モータ７と接続される。
なり、第１アーム支軸４ａを介して胴体５内に配置され
る減速機６、モータ７と接続される。
【００２２】以上はチャック１に対する構成であるが、
チャック１’については第３アーム２’がコ字形となさ
れていない従来例で説明した構造と同様で上記と左右対
称に配置されるのである。
チャック１’については第３アーム２’がコ字形となさ
れていない従来例で説明した構造と同様で上記と左右対
称に配置されるのである。
【００２３】しかして、胴体５内のモータ７、７’が駆
動されるとウエハー１５、１５’を支持してなるチャッ
ク１、１’は図１Ｂで紙面の裏面側と手前側（図１Ａで
は上下方向）へ伸縮回動されるものとなる。
動されるとウエハー１５、１５’を支持してなるチャッ
ク１、１’は図１Ｂで紙面の裏面側と手前側（図１Ａで
は上下方向）へ伸縮回動されるものとなる。
【００２４】
【発明の効果】本発明は以上の通り、胴体上方へ基板を
支持するチャック２個取り付けて同一水平線上で互い違
いの対称作動させる構成のため、１つが処理済み基板の
返送中、他の１つは処理前基板の取出し移送の如く無駄
なく短時間に作業ができ、従来問題となっていた基板交
換のロス時間を大幅に短縮できるほか、洗浄処理等で問
題となる洗浄前の汚れた基板と洗浄後の清浄な基板を保
持するチャックが別々の専用となり、従来装置の１チャ
ックにより生じていた汚染が伝搬される等の問題が無く
なり、半導体や液晶等の製造工程に於けるクリーン度向
上に大きく貢献できるものとなる。
支持するチャック２個取り付けて同一水平線上で互い違
いの対称作動させる構成のため、１つが処理済み基板の
返送中、他の１つは処理前基板の取出し移送の如く無駄
なく短時間に作業ができ、従来問題となっていた基板交
換のロス時間を大幅に短縮できるほか、洗浄処理等で問
題となる洗浄前の汚れた基板と洗浄後の清浄な基板を保
持するチャックが別々の専用となり、従来装置の１チャ
ックにより生じていた汚染が伝搬される等の問題が無く
なり、半導体や液晶等の製造工程に於けるクリーン度向
上に大きく貢献できるものとなる。
【図１】Ａは本発明装置の平面図であり、Ｂは同Ａの縦
断面図である。
断面図である。
【図２】従来装置を示すものでＡは平面図であり、Ｂは
同Ａの縦断面図である。
同Ａの縦断面図である。
【図３】従来装置による基板交換状態を説明する模式平
面図である。
面図である。
１ チャック ２ 第３アーム ２ａ 支軸 ２ｂ プーリ ３ 第２アーム ３ａ 支軸 ３ｂ プーリ ４ 第１アーム ４ａ 支軸 ４ｃ プーリ ５ 胴体 ６ 減速機 ７ モータ ８ 基台 ９ 支軸 １３ モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ６５Ｈ 5/18 Ｂ６５Ｈ 5/18
Claims (1)
- 【請求項１】 減速機付きでモータ１３を中心部へ内蔵
した基台上に該モータ１３の駆動により回動されるよう
胴体５を取付け、該胴体５内には１対の減速機付きモー
タ７，７’を対称となる関係に取付け、各出力軸にはモ
ータ７，７’の駆動で回動されるものとなる第１アーム
４，４’の片側端部を取付け、且つ該第１アーム４，
４’の他端部には各アーム４，４’の回動と共に、各ア
ーム体内でプーリ及びタイミングベルトを介し一定比で
回動されるものとなる支軸３ａ，３ａ’を該アーム４，
４’の回動とは無関係の状態に突出させ、該支軸３ａ，
３ａ’には第２アーム３，３’の片側端部を取付け、且
つ該第２アーム３，３’の他端には各アーム３，３’の
回動と共に各アーム体内でプーリ及びタイミングベルト
を介して一定比で回動されるものとなる支軸２ａ，２
ａ’を該アーム体３，３’の回動とは無関係の状態に突
出させ、且つ該支軸２ａ，２ａ’には夫々れ基板１５，
１５’を吸引止着するための１つがコ字形をなし、他の
１つは上記コ字形内を干渉しないように作動する第３ア
ーム２，２’を取付けしめ、該アーム２，２’により処
理前基板を取り出し、処理箇所への搬送及び処理済み基
板の返送を同一水平線上で互い違いの対称関係で同時進
行するように構成したことを特徴とする基板搬送用スカ
ラロボット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163755A JP2739413B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
| KR1019940008552A KR100288085B1 (ko) | 1993-05-26 | 1994-04-22 | 기판 반송용 스칼라형 로보트 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163755A JP2739413B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08274140A JPH08274140A (ja) | 1996-10-18 |
| JP2739413B2 true JP2739413B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=15780088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163755A Expired - Lifetime JP2739413B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 基板搬送用スカラ型ロボット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2739413B2 (ja) |
| KR (1) | KR100288085B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110860870A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-06 | 珠海格力智能装备有限公司 | 插弯头机的控制方法及装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3693783B2 (ja) * | 1997-03-21 | 2005-09-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| US6450755B1 (en) * | 1998-07-10 | 2002-09-17 | Equipe Technologies | Dual arm substrate handling robot with a batch loader |
| JP3687389B2 (ja) | 1999-02-16 | 2005-08-24 | ウシオ電機株式会社 | 基板処理装置 |
| JP2001096480A (ja) | 1999-09-28 | 2001-04-10 | Tatsumo Kk | 水平多関節型産業用ロボット |
| JP3639764B2 (ja) | 2000-02-01 | 2005-04-20 | タツモ株式会社 | 基板搬送装置 |
| JP3437812B2 (ja) | 2000-02-07 | 2003-08-18 | タツモ株式会社 | 基板搬送装置 |
| JP2002158272A (ja) | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Tatsumo Kk | ダブルアーム基板搬送装置 |
| JP6296164B2 (ja) | 2014-09-08 | 2018-03-20 | 株式会社安川電機 | ロボットシステムおよび搬送方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58164687U (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-02 | クラリオン株式会社 | スカラロボツトにおける作業ヘツド |
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPH0613801Y2 (ja) * | 1988-08-09 | 1994-04-13 | ダイキン工業株式会社 | 部品組立装置 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP5163755A patent/JP2739413B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-04-22 KR KR1019940008552A patent/KR100288085B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110860870A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-06 | 珠海格力智能装备有限公司 | 插弯头机的控制方法及装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08274140A (ja) | 1996-10-18 |
| KR100288085B1 (ko) | 2001-05-02 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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