JP2001096480A - 水平多関節型産業用ロボット - Google Patents
水平多関節型産業用ロボットInfo
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- JP2001096480A JP2001096480A JP27473899A JP27473899A JP2001096480A JP 2001096480 A JP2001096480 A JP 2001096480A JP 27473899 A JP27473899 A JP 27473899A JP 27473899 A JP27473899 A JP 27473899A JP 2001096480 A JP2001096480 A JP 2001096480A
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/104—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水平多関節型ロボットにおいて、各アームと
ロボットハンドの回動駆動源をベース部に集中配置し
て、電力供給用の電線等の引き回しを不要とすると共
に、可動部の軽量化を図る。 【解決手段】 ベース部１に配置した回転駆動源モータ
６，７，８からの回転駆動力をアーム２，３，４内、及
び連結部に内装した駆動伝達機構を介して、各アーム
２，３，４とロボットハンド５に伝達する。これにより
可動部内に電力供給用の電線等を引き回す必要がなくな
り、従って、アームやロボットハンドの旋回動作により
信頼性が低下することがなく、また、可動部の軽量化に
より慣性モーメントを小さくすることができる。
ロボットハンドの回動駆動源をベース部に集中配置し
て、電力供給用の電線等の引き回しを不要とすると共
に、可動部の軽量化を図る。 【解決手段】 ベース部１に配置した回転駆動源モータ
６，７，８からの回転駆動力をアーム２，３，４内、及
び連結部に内装した駆動伝達機構を介して、各アーム
２，３，４とロボットハンド５に伝達する。これにより
可動部内に電力供給用の電線等を引き回す必要がなくな
り、従って、アームやロボットハンドの旋回動作により
信頼性が低下することがなく、また、可動部の軽量化に
より慣性モーメントを小さくすることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場に
おけるウェハの搬送に用いられる水平多関節型ロボット
に係り、回動駆動源を一箇所に集中配置し、回動駆動源
へのエネルギー供給手段、例えば電力供給用の電線や圧
油・空気圧の配管の引き回し等をなくす技術と可動部の
軽量化を図る技術に関するものである。
おけるウェハの搬送に用いられる水平多関節型ロボット
に係り、回動駆動源を一箇所に集中配置し、回動駆動源
へのエネルギー供給手段、例えば電力供給用の電線や圧
油・空気圧の配管の引き回し等をなくす技術と可動部の
軽量化を図る技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のスカラータイプと呼ばれ
る水平多関節型ロボットは、図５に示すように、ロボッ
ト100の多段アーム103，104の関節に相当する連結部10
1，102にそれぞれのアーム103，104を駆動させるアーム
用回転駆動源105，106がそれぞれ個別に装着されている
と共に、アーム104の先端にアーム用回転駆動源105，10
6とは別個にロボットハンド用回転駆動源107が装着され
た構造となっている。
る水平多関節型ロボットは、図５に示すように、ロボッ
ト100の多段アーム103，104の関節に相当する連結部10
1，102にそれぞれのアーム103，104を駆動させるアーム
用回転駆動源105，106がそれぞれ個別に装着されている
と共に、アーム104の先端にアーム用回転駆動源105，10
6とは別個にロボットハンド用回転駆動源107が装着され
た構造となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成においては、それぞれのアーム103，104の連
結部及びアーム104の先端に、アーム用回転駆動源105，
106及びロボットハンド用回転駆動源107に必要なエネル
ギーを供給する必要がある。例えば、各駆動源がモータ
である場合には、電力を供給する電線を各駆動源に接続
しなければならず、油圧モータや空気圧モータである場
合には、圧油・空気圧を供給する配管を設けなければな
らない。これら電線や配管には、アームやロボットハン
ドの旋回動作により機械的負荷が加わり、それらの信頼
性を低下するという問題があった。また、各アームに回
転駆動源を設けることによって可動部の重量が重くな
り、可動部の慣性モーメントが増大し、しかも可搬重量
が低下するという問題があった。
ような構成においては、それぞれのアーム103，104の連
結部及びアーム104の先端に、アーム用回転駆動源105，
106及びロボットハンド用回転駆動源107に必要なエネル
ギーを供給する必要がある。例えば、各駆動源がモータ
である場合には、電力を供給する電線を各駆動源に接続
しなければならず、油圧モータや空気圧モータである場
合には、圧油・空気圧を供給する配管を設けなければな
らない。これら電線や配管には、アームやロボットハン
ドの旋回動作により機械的負荷が加わり、それらの信頼
性を低下するという問題があった。また、各アームに回
転駆動源を設けることによって可動部の重量が重くな
り、可動部の慣性モーメントが増大し、しかも可搬重量
が低下するという問題があった。
【０００４】本発明は、上記問題を解消するものであ
り、各アームとロボットハンドの回転駆動源をベース部
に集中配置して、駆動源にエネルギーを供給する電線や
配管の引き回しを不要とし、アームやロボットハンドの
旋回動作により信頼性が低下するといったことがなく、
また、可動部の軽量化により慣性モーメントを小さくす
ることができる水平多関節型ロボットを提供することを
目的とする。
り、各アームとロボットハンドの回転駆動源をベース部
に集中配置して、駆動源にエネルギーを供給する電線や
配管の引き回しを不要とし、アームやロボットハンドの
旋回動作により信頼性が低下するといったことがなく、
また、可動部の軽量化により慣性モーメントを小さくす
ることができる水平多関節型ロボットを提供することを
目的とする。
【０００５】
【発明が解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、複数のアームが回転可能に
順次連結され、最下段のアームの支軸部がベース部に、
ロボットハンドが最上段のアーム先端にそれぞれ回転可
能に支承されてなる水平多関節型産業用ロボットにおい
て、前記アーム及びロボットハンドを回転駆動するため
の回転駆動源が前記ベース部に収納され、前記回転駆動
源からの回転駆動力を前記各アーム及びロボットハンド
に伝達するための駆動伝達機構が、各アーム内及び各ア
ームの連結部内に装備されているものである。
に、請求項１記載の発明は、複数のアームが回転可能に
順次連結され、最下段のアームの支軸部がベース部に、
ロボットハンドが最上段のアーム先端にそれぞれ回転可
能に支承されてなる水平多関節型産業用ロボットにおい
て、前記アーム及びロボットハンドを回転駆動するため
の回転駆動源が前記ベース部に収納され、前記回転駆動
源からの回転駆動力を前記各アーム及びロボットハンド
に伝達するための駆動伝達機構が、各アーム内及び各ア
ームの連結部内に装備されているものである。
【０００６】前記回転駆動源は、電気モータ以外にも油
圧モータあるいは空気圧モータを用いることができる。
また、少なくとも２つのアームの回転駆動動作を１つの
アーム回転駆動源で行うようにすることができる。さら
に、アーム回動駆動源とロボットハンド回転駆動源を別
々にすることもできる。
圧モータあるいは空気圧モータを用いることができる。
また、少なくとも２つのアームの回転駆動動作を１つの
アーム回転駆動源で行うようにすることができる。さら
に、アーム回動駆動源とロボットハンド回転駆動源を別
々にすることもできる。
【０００７】上記構成においては、ベース部に収納され
た回転駆動源からの回転駆動力が各アーム内及び連結部
内の駆動伝達機構を介して複数のアームとロボットハン
ドに伝達され、複数のアームとロボットハンドが旋回さ
れる。これにより、可動部内に電力供給用の電線や配管
を引き回す必要がなくなり、アームやロボットハンドの
旋回による機械的負荷の増大を原因とする断線や損傷を
起こすことがなくなり、しかも、アームの軽量化が図れ
ることにより、慣性モーメントが小さくなり、可搬重量
の増大とロボットの動作速度の高速化が図れる。
た回転駆動源からの回転駆動力が各アーム内及び連結部
内の駆動伝達機構を介して複数のアームとロボットハン
ドに伝達され、複数のアームとロボットハンドが旋回さ
れる。これにより、可動部内に電力供給用の電線や配管
を引き回す必要がなくなり、アームやロボットハンドの
旋回による機械的負荷の増大を原因とする断線や損傷を
起こすことがなくなり、しかも、アームの軽量化が図れ
ることにより、慣性モーメントが小さくなり、可搬重量
の増大とロボットの動作速度の高速化が図れる。
【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の水
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、前記ロボットハンドを最上段のアーム先端の連結部
を中心に旋回させる旋回機構を含むものである。
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、前記ロボットハンドを最上段のアーム先端の連結部
を中心に旋回させる旋回機構を含むものである。
【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１記載の水
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、前記ロボットハンドが最上段のアーム先端にシーソ
状に可動に支承され、前記ロボットハンドをティルト動
作させる機構を含むものである。この構成においては、
ロボットハンドを上下方向へ動作させることができるの
で、作業性が高まる。
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、前記ロボットハンドが最上段のアーム先端にシーソ
状に可動に支承され、前記ロボットハンドをティルト動
作させる機構を含むものである。この構成においては、
ロボットハンドを上下方向へ動作させることができるの
で、作業性が高まる。
【００１０】請求項４記載の発明は、請求項１記載の水
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、前記ロボットハンドは最上段のアーム先端に水平方
向軸回りに回転自在に支承され、前記ロボットハンドを
水平方向軸回りに回転させる機構を含むものである。こ
の構成においては、ロボットハンドを水平方向軸回りに
回転させることができるので、作業性が高まる。
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、前記ロボットハンドは最上段のアーム先端に水平方
向軸回りに回転自在に支承され、前記ロボットハンドを
水平方向軸回りに回転させる機構を含むものである。こ
の構成においては、ロボットハンドを水平方向軸回りに
回転させることができるので、作業性が高まる。
【００１１】請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求
項４のいずれかに記載の水平多関節型産業用ロボットに
おいて、前記アームは、ベース部から、第１アーム、第
２アーム、及び第３アームの３つのアームが順次連結さ
れており、前記回転駆動源は、前記第１アーム及び第３
アームを回転させるアーム旋回モータ、前記第２アーム
を回転させるアーム伸縮モータ、及び前記ロボットハン
ドを旋回させるロボットハンド旋回モータから成り、前
記駆動伝達機構は、前記アーム旋回モータが前記第１ア
ーム及び第３アームを回転駆動させ、前記アーム伸縮モ
ータが前記第２アームを回転駆動させる機構を含むもの
である。この構成においては、１つのアーム回転駆動源
で、少なくとも２つのアームを回転駆動させるので、回
転駆動源の必要個数を減少することができる。
項４のいずれかに記載の水平多関節型産業用ロボットに
おいて、前記アームは、ベース部から、第１アーム、第
２アーム、及び第３アームの３つのアームが順次連結さ
れており、前記回転駆動源は、前記第１アーム及び第３
アームを回転させるアーム旋回モータ、前記第２アーム
を回転させるアーム伸縮モータ、及び前記ロボットハン
ドを旋回させるロボットハンド旋回モータから成り、前
記駆動伝達機構は、前記アーム旋回モータが前記第１ア
ーム及び第３アームを回転駆動させ、前記アーム伸縮モ
ータが前記第２アームを回転駆動させる機構を含むもの
である。この構成においては、１つのアーム回転駆動源
で、少なくとも２つのアームを回転駆動させるので、回
転駆動源の必要個数を減少することができる。
【００１２】請求項６記載の発明は、請求項５記載の水
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、各アームの連結部を貫通する軸と、この軸に固定さ
れたプーリと、各アームの支軸部側と先端側のプーリに
架けられたベルトから構成されるものである。この構成
においては、駆動伝達機構がプーリとベルトからなって
いるので、動作時における騒音が少なくかつ塵埃発生が
抑制され、半導体製造工場にあっては好適となる。
平多関節型産業用ロボットにおいて、前記駆動伝達機構
が、各アームの連結部を貫通する軸と、この軸に固定さ
れたプーリと、各アームの支軸部側と先端側のプーリに
架けられたベルトから構成されるものである。この構成
においては、駆動伝達機構がプーリとベルトからなって
いるので、動作時における騒音が少なくかつ塵埃発生が
抑制され、半導体製造工場にあっては好適となる。
【００１３】請求項７記載の発明は、第１アーム
（２）、第２アーム（３）及び第３アーム（４）の３つ
のアームが回転可能に順次連結され、第１アーム（２）
の支軸部がベース部（１）に、ロボットハンド（５）が
第３アーム（４）の先端にそれぞれ回転可能に支承され
てなる水平多関節型産業用ロボットにおいて、前記第１
アーム（２）と第３アーム（４）を共に回転駆動する一
つのアーム旋回モータ（８）、第２アーム（３）を回転
駆動するアーム伸縮モータ（６）、及びロボットハンド
（５）を回転駆動するロボットハンド旋回モータ（７）
が前記ベース部（１）に収納され、前記アーム旋回モー
タ（８）からの回転駆動力を前記第１アーム（２）及び
第３アーム（４）に伝達するアーム旋回用の駆動伝達機
構、前記アーム伸縮モータ（６）からの回転駆動力を前
記第２アーム（３）に伝達するアーム伸縮用の駆動伝達
機構、及び前記ロボットハンド旋回モータ（７）からの
回転駆動力をロボットハンド（５）に伝達するロボット
ハンド旋回用の駆動伝達機構が各アーム内及び各アーム
の連結部内に装備され、前記アーム旋回用の駆動伝達機
構は、前記アーム旋回モータ（８）の出力軸に固定され
たプーリ（32）と、前記第１アーム（２）の支軸部に固
定されたプーリ（34）と、これらプーリ間に架けられた
ベルト（33）と、前記第１アーム（２）の先端に固定さ
れ、第１アーム（２）と第２アーム（３）との連結部を
貫通して前記第２アーム（３）内に臨む固定軸（35）の
上段に固定されたプーリ（36）と、前記第３アーム
（４）の支軸部に固定されたプーリ（38）と、これらプ
ーリ間に架けられたベルト（37）とから成り、前記アー
ム伸縮用の駆動伝達機構は、前記アーム伸縮モータ
（６）の出力軸に固定されたプーリ（９）と、前記第１
アーム（２）の支軸部を貫通し、この支軸部内に回転自
在に支承された回転軸（12）の上下両端にそれぞれ固定
されたプーリ（13）,（11）と、前記第２アーム（３）
の支軸部に固定されたプーリ（15）と、前記プーリ
（９）とプーリ（11）との間に架けられたベルト（10）
と、前記プーリ（13）とプーリ（15）との間に架けられ
たベルト（14）とから成り、前記ロボットハンド旋回用
の駆動伝達機構は、前記ロボットハンド旋回モータ
（７）の出力軸に固定されたプーリ（16）と、前記第１
アーム（２）の支軸部を貫通し、この支軸部内に回転自
在に支承されたドラム（19）の上下両端にそれぞれ固定
されたプーリ（20）,（18）と、前記固定軸（35）に回
転自在に支承されたドラム（23）の上下両端に固定され
たプーリ（36）,（22）と、前記第３アーム（４）の支
軸部に支承された回転自在な回転軸（27）の上下両端に
固定されたプーリ（28）,（26）と、前記第３アーム
（４）の先端に支承された回転自在な回転軸（31）の下
端に固定されたプーリ（30）と、回転軸（31）の上端に
固定されたロボットハンド（５）と、前記プーリ（16）
とプーリ（18）との間に架けられたベルト（17）と、前
記プーリ（20）とプーリ（22）との間に架けられたベル
ト（21）と、前記プーリ（24）とプーリ（26）との間に
架けられたベルト（25）と、前記プーリ（28）とプーリ
（30）との間に架けられたベルト（29）とから成るもの
である。
（２）、第２アーム（３）及び第３アーム（４）の３つ
のアームが回転可能に順次連結され、第１アーム（２）
の支軸部がベース部（１）に、ロボットハンド（５）が
第３アーム（４）の先端にそれぞれ回転可能に支承され
てなる水平多関節型産業用ロボットにおいて、前記第１
アーム（２）と第３アーム（４）を共に回転駆動する一
つのアーム旋回モータ（８）、第２アーム（３）を回転
駆動するアーム伸縮モータ（６）、及びロボットハンド
（５）を回転駆動するロボットハンド旋回モータ（７）
が前記ベース部（１）に収納され、前記アーム旋回モー
タ（８）からの回転駆動力を前記第１アーム（２）及び
第３アーム（４）に伝達するアーム旋回用の駆動伝達機
構、前記アーム伸縮モータ（６）からの回転駆動力を前
記第２アーム（３）に伝達するアーム伸縮用の駆動伝達
機構、及び前記ロボットハンド旋回モータ（７）からの
回転駆動力をロボットハンド（５）に伝達するロボット
ハンド旋回用の駆動伝達機構が各アーム内及び各アーム
の連結部内に装備され、前記アーム旋回用の駆動伝達機
構は、前記アーム旋回モータ（８）の出力軸に固定され
たプーリ（32）と、前記第１アーム（２）の支軸部に固
定されたプーリ（34）と、これらプーリ間に架けられた
ベルト（33）と、前記第１アーム（２）の先端に固定さ
れ、第１アーム（２）と第２アーム（３）との連結部を
貫通して前記第２アーム（３）内に臨む固定軸（35）の
上段に固定されたプーリ（36）と、前記第３アーム
（４）の支軸部に固定されたプーリ（38）と、これらプ
ーリ間に架けられたベルト（37）とから成り、前記アー
ム伸縮用の駆動伝達機構は、前記アーム伸縮モータ
（６）の出力軸に固定されたプーリ（９）と、前記第１
アーム（２）の支軸部を貫通し、この支軸部内に回転自
在に支承された回転軸（12）の上下両端にそれぞれ固定
されたプーリ（13）,（11）と、前記第２アーム（３）
の支軸部に固定されたプーリ（15）と、前記プーリ
（９）とプーリ（11）との間に架けられたベルト（10）
と、前記プーリ（13）とプーリ（15）との間に架けられ
たベルト（14）とから成り、前記ロボットハンド旋回用
の駆動伝達機構は、前記ロボットハンド旋回モータ
（７）の出力軸に固定されたプーリ（16）と、前記第１
アーム（２）の支軸部を貫通し、この支軸部内に回転自
在に支承されたドラム（19）の上下両端にそれぞれ固定
されたプーリ（20）,（18）と、前記固定軸（35）に回
転自在に支承されたドラム（23）の上下両端に固定され
たプーリ（36）,（22）と、前記第３アーム（４）の支
軸部に支承された回転自在な回転軸（27）の上下両端に
固定されたプーリ（28）,（26）と、前記第３アーム
（４）の先端に支承された回転自在な回転軸（31）の下
端に固定されたプーリ（30）と、回転軸（31）の上端に
固定されたロボットハンド（５）と、前記プーリ（16）
とプーリ（18）との間に架けられたベルト（17）と、前
記プーリ（20）とプーリ（22）との間に架けられたベル
ト（21）と、前記プーリ（24）とプーリ（26）との間に
架けられたベルト（25）と、前記プーリ（28）とプーリ
（30）との間に架けられたベルト（29）とから成るもの
である。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態による３自
由度の水平多関節型産業用ロボットについて図面を参照
して説明する。図１は第１の実施形態によるロボットの
外観図、図２は同ロボットの側断面図である。このロボ
ットは、ベース部１を基台として、第１アーム２、第２
アーム３及び第３アーム４の３つのアームが回転可能に
順次連結され、第１アーム２の支軸部がベース部１に、
ウェハＷを保持するためのロボットハンド５が第３アー
ム４の先端にそれぞれ回転可能に支承されている。ベー
ス部１には、第１アーム２と第３アーム４を共に回転駆
動するアーム旋回モータ８、第２アーム３を回転駆動す
るアーム伸縮モータ６、及びロボットハンド５を回転駆
動するロボットハンド旋回モータ７が収納されている。
由度の水平多関節型産業用ロボットについて図面を参照
して説明する。図１は第１の実施形態によるロボットの
外観図、図２は同ロボットの側断面図である。このロボ
ットは、ベース部１を基台として、第１アーム２、第２
アーム３及び第３アーム４の３つのアームが回転可能に
順次連結され、第１アーム２の支軸部がベース部１に、
ウェハＷを保持するためのロボットハンド５が第３アー
ム４の先端にそれぞれ回転可能に支承されている。ベー
ス部１には、第１アーム２と第３アーム４を共に回転駆
動するアーム旋回モータ８、第２アーム３を回転駆動す
るアーム伸縮モータ６、及びロボットハンド５を回転駆
動するロボットハンド旋回モータ７が収納されている。
【００１５】また、アーム旋回モータ８からの回転駆動
力を第１アーム２及び第３アーム４に伝達するアーム旋
回用の駆動伝達機構と、アーム伸縮モータ６からの回転
駆動力を第２アーム３に伝達するアーム伸縮用の駆動伝
達機構と、ロボットハンド旋回モータ７からの回転駆動
力をロボットハンド５に伝達するロボットハンド旋回用
の駆動伝達機構とが各アーム及び各アーム支軸部内に装
備されている。
力を第１アーム２及び第３アーム４に伝達するアーム旋
回用の駆動伝達機構と、アーム伸縮モータ６からの回転
駆動力を第２アーム３に伝達するアーム伸縮用の駆動伝
達機構と、ロボットハンド旋回モータ７からの回転駆動
力をロボットハンド５に伝達するロボットハンド旋回用
の駆動伝達機構とが各アーム及び各アーム支軸部内に装
備されている。
【００１６】アーム旋回用の駆動伝達機構は、アーム旋
回モータ８の出力軸に固定されたプーリ32と、第１アー
ム２の支軸部に固定されたプーリ34と、これらプーリ間
に架けられたベルト33と、第１アーム２の先端に固定さ
れ、第１アーム２と第２アーム３との連結部を貫通して
第２アーム３内に臨む固定軸35の上段に固定されたプー
リ36と、第３アーム４の支軸部に固定されたプーリ38
と、これらプーリ間に架けられたベルト37とから構成さ
れている。
回モータ８の出力軸に固定されたプーリ32と、第１アー
ム２の支軸部に固定されたプーリ34と、これらプーリ間
に架けられたベルト33と、第１アーム２の先端に固定さ
れ、第１アーム２と第２アーム３との連結部を貫通して
第２アーム３内に臨む固定軸35の上段に固定されたプー
リ36と、第３アーム４の支軸部に固定されたプーリ38
と、これらプーリ間に架けられたベルト37とから構成さ
れている。
【００１７】アーム伸縮用の駆動伝達機構は、アーム伸
縮モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と、第１アー
ム２の支軸部を貫通し、この支軸部内に回転自在に支承
された回転軸12の上下両端にそれぞれ固定されたプーリ
13，11と、第２アーム３の支軸部に固定されたプーリ15
と、プーリ９とプーリ11との間に架けられたベルト10
と、プーリ13とプーリ15との間に架けられたベルト14と
から構成されている。
縮モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と、第１アー
ム２の支軸部を貫通し、この支軸部内に回転自在に支承
された回転軸12の上下両端にそれぞれ固定されたプーリ
13，11と、第２アーム３の支軸部に固定されたプーリ15
と、プーリ９とプーリ11との間に架けられたベルト10
と、プーリ13とプーリ15との間に架けられたベルト14と
から構成されている。
【００１８】ロボットハンド旋回用の駆動伝達機構は、
ロボットハンド旋回モータ７の出力軸に固定されたプー
リ16と、第１アーム２の支軸部を貫通し、この支軸部内
に回転自在に支承されたドラム19の上下両端にそれぞれ
固定されたプーリ20，18と、固定軸35に回転自在に支承
されたドラム23の上下両端に固定されたプーリ36，22
と、第３アーム４の支軸部に支承された回転自在な回転
軸27の上下両端に固定されたプーリ28，26と、第３アー
ム４の先端に支承された回転自在な回転軸31の下端に固
定されたプーリ30と、回転軸31の上端に固定されたロボ
ットハンド５と、プーリ16とプーリ18との間に架けられ
たベルト17と、プーリ20とプーリ22との間に架けられた
ベルト21と、プーリ24とプーリ26との間に架けられたベ
ルト25と、プーリ28とプーリ30との間に架けられたベル
ト29とから構成されている。
ロボットハンド旋回モータ７の出力軸に固定されたプー
リ16と、第１アーム２の支軸部を貫通し、この支軸部内
に回転自在に支承されたドラム19の上下両端にそれぞれ
固定されたプーリ20，18と、固定軸35に回転自在に支承
されたドラム23の上下両端に固定されたプーリ36，22
と、第３アーム４の支軸部に支承された回転自在な回転
軸27の上下両端に固定されたプーリ28，26と、第３アー
ム４の先端に支承された回転自在な回転軸31の下端に固
定されたプーリ30と、回転軸31の上端に固定されたロボ
ットハンド５と、プーリ16とプーリ18との間に架けられ
たベルト17と、プーリ20とプーリ22との間に架けられた
ベルト21と、プーリ24とプーリ26との間に架けられたベ
ルト25と、プーリ28とプーリ30との間に架けられたベル
ト29とから構成されている。
【００１９】次に、上記構成の動作を説明する。ベース
部１内のアーム旋回モータ８の回転駆動力は、アーム旋
回モータ８の出力軸に固定されているプーリ32とベルト
33を介してプーリ34と固定されている第１アーム２に伝
達され、それにより第１アーム２を旋回させる。次に、
この動力は、第１アーム２本体と固定している固定軸35
とその固定軸35に固定されているプーリ36とベルト37を
介して、プーリ36との径寸法の比１：１のプーリ38と固
定されている第３アーム４に伝達され、第３アーム４を
旋回させる。従って、第３アーム４は、第１アーム２と
１：１で連結されるので、第３アーム４と第１アーム２
は常に同一方向に旋回する。
部１内のアーム旋回モータ８の回転駆動力は、アーム旋
回モータ８の出力軸に固定されているプーリ32とベルト
33を介してプーリ34と固定されている第１アーム２に伝
達され、それにより第１アーム２を旋回させる。次に、
この動力は、第１アーム２本体と固定している固定軸35
とその固定軸35に固定されているプーリ36とベルト37を
介して、プーリ36との径寸法の比１：１のプーリ38と固
定されている第３アーム４に伝達され、第３アーム４を
旋回させる。従って、第３アーム４は、第１アーム２と
１：１で連結されるので、第３アーム４と第１アーム２
は常に同一方向に旋回する。
【００２０】ベース部１内のアーム伸縮モータ６の回転
駆動力は、同モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と
ベルト10を介して、回転軸12に固定されているプーリ11
とプーリ13に伝達され、さらに、プーリ13とベルト14を
介してプーリ15と固定されている第２アーム３に伝達さ
れ、それによって第２アーム３を旋回させる。
駆動力は、同モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と
ベルト10を介して、回転軸12に固定されているプーリ11
とプーリ13に伝達され、さらに、プーリ13とベルト14を
介してプーリ15と固定されている第２アーム３に伝達さ
れ、それによって第２アーム３を旋回させる。
【００２１】ベース部１内のロボットハンド旋回モータ
７の回転駆動力は、同モータ７の出力軸に固定されてい
るプーリ16とベルト17を介して回転ドラム19に固定され
ているプーリ18とプーリ20に伝達される。プーリ20は、
ベルト21を介して、回転ドラム23に固定されているプー
リ22とプーリ24に動力を伝達する。プーリ24は、ベルト
25を介して回転軸27に固定しているプーリ26とプーリ28
に動力を伝達し、プーリ28は、ベルト29を介してプーリ
30に固定されている回転軸31とその軸31と固定している
ロボットハンド５に動力を伝達し、ロボットハンド５を
旋回させる。
７の回転駆動力は、同モータ７の出力軸に固定されてい
るプーリ16とベルト17を介して回転ドラム19に固定され
ているプーリ18とプーリ20に伝達される。プーリ20は、
ベルト21を介して、回転ドラム23に固定されているプー
リ22とプーリ24に動力を伝達する。プーリ24は、ベルト
25を介して回転軸27に固定しているプーリ26とプーリ28
に動力を伝達し、プーリ28は、ベルト29を介してプーリ
30に固定されている回転軸31とその軸31と固定している
ロボットハンド５に動力を伝達し、ロボットハンド５を
旋回させる。
【００２２】このようにして、第１アーム２と第３アー
ム４は、アーム旋回モータ８の回転駆動力で旋回し、第
２アーム３は、アーム伸縮モータ６の回転駆動力で旋回
し、ロボットハンド５はロボットハンド旋回モータ７の
回転駆動力により旋回することになり、それぞれの回転
駆動源をベース部１の固定部に設けることができる。従
って、電力供給用の電線を、可動部になるアーム内部に
通すことなく回転駆動力を各アームに伝達することがで
きる。
ム４は、アーム旋回モータ８の回転駆動力で旋回し、第
２アーム３は、アーム伸縮モータ６の回転駆動力で旋回
し、ロボットハンド５はロボットハンド旋回モータ７の
回転駆動力により旋回することになり、それぞれの回転
駆動源をベース部１の固定部に設けることができる。従
って、電力供給用の電線を、可動部になるアーム内部に
通すことなく回転駆動力を各アームに伝達することがで
きる。
【００２３】図３は本発明の第２の実施形態によるロボ
ットの側断面図である。この実施形態は、ロボットハン
ドをティルト動作させることができるものである。ロボ
ットのアーム構造は、固定部に回転駆動源が設けられた
ベース部１から、第１アーム２、第２アーム３及び第３
アーム41の３つのアームが順次連結され、第３アーム41
の先端にウェハＷを保持するためのロボットハンド５が
連結されている。ベース部１内のアーム旋回モータ８の
回転駆動力は、同モータ８の出力軸に固定されているプ
ーリ32とベルト33を介してプーリ34と固定されている第
１アーム２に伝達され、第１アーム２を旋回させる。次
に、この動力は、第１アーム２本体と固定している固定
軸35とその軸35に固定されているプーリ43とベルト37を
介して、プーリ43との径寸法の比１：２のプーリ38と固
定されている第３アーム41に伝達され、第３アーム41を
旋回させる。第３アーム41は、第１アーム２と１：２で
連結されているので、第３アーム41の旋回量は第１アー
ム２と第２アーム３のなす角の常に半分になる。
ットの側断面図である。この実施形態は、ロボットハン
ドをティルト動作させることができるものである。ロボ
ットのアーム構造は、固定部に回転駆動源が設けられた
ベース部１から、第１アーム２、第２アーム３及び第３
アーム41の３つのアームが順次連結され、第３アーム41
の先端にウェハＷを保持するためのロボットハンド５が
連結されている。ベース部１内のアーム旋回モータ８の
回転駆動力は、同モータ８の出力軸に固定されているプ
ーリ32とベルト33を介してプーリ34と固定されている第
１アーム２に伝達され、第１アーム２を旋回させる。次
に、この動力は、第１アーム２本体と固定している固定
軸35とその軸35に固定されているプーリ43とベルト37を
介して、プーリ43との径寸法の比１：２のプーリ38と固
定されている第３アーム41に伝達され、第３アーム41を
旋回させる。第３アーム41は、第１アーム２と１：２で
連結されているので、第３アーム41の旋回量は第１アー
ム２と第２アーム３のなす角の常に半分になる。
【００２４】ベース部１内のアーム伸縮モータ６の回転
駆動力は、同モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と
ベルト10を介して、回転軸12に固定されているプーリ11
とプーリ13に伝達される。この動力がプーリ13とベルト
14を介してプーリ15と固定されている第２アーム３に伝
達され、第２アーム３を旋回させる。
駆動力は、同モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と
ベルト10を介して、回転軸12に固定されているプーリ11
とプーリ13に伝達される。この動力がプーリ13とベルト
14を介してプーリ15と固定されている第２アーム３に伝
達され、第２アーム３を旋回させる。
【００２５】ベース部１内のロボットハンド旋回モータ
７の回転駆動力は、同モータ７の出力軸に固定されてい
るプーリ16とベルト17を介して回転ドラム19に固定され
ているプーリ18とプーリ20に伝達される。プーリ20は、
ベルト21を介して、回転ドラム23に固定されているプー
リ22とプーリ24に動力を伝達する。プーリ24は、ベルト
25を介して回転軸27に固定しているプーリ26とカム39に
動力を伝達し、カム39は、回転運動を上下方向の動きに
変換することができる構造で、軸40に固定されているカ
ム39とバネ42に挟まれたロボットハンド５に動力を伝達
し、カム39が旋回することで軸40を通る中心線Ｌの上下
にロボットハンド５をティルト動作させる。
７の回転駆動力は、同モータ７の出力軸に固定されてい
るプーリ16とベルト17を介して回転ドラム19に固定され
ているプーリ18とプーリ20に伝達される。プーリ20は、
ベルト21を介して、回転ドラム23に固定されているプー
リ22とプーリ24に動力を伝達する。プーリ24は、ベルト
25を介して回転軸27に固定しているプーリ26とカム39に
動力を伝達し、カム39は、回転運動を上下方向の動きに
変換することができる構造で、軸40に固定されているカ
ム39とバネ42に挟まれたロボットハンド５に動力を伝達
し、カム39が旋回することで軸40を通る中心線Ｌの上下
にロボットハンド５をティルト動作させる。
【００２６】第１アーム２と第２アーム３の長さは略同
等とされており、ロボットハンド５がベース部１と第１
アーム２の連結部を中心とする直線運動と旋回動作を行
うように、不図示の制御装置が、アーム伸縮モータ６と
アーム旋回モータ８を制御する。ロボットハンド５の上
下運動はロボットハンド旋回モータ７を制御することに
より行う。
等とされており、ロボットハンド５がベース部１と第１
アーム２の連結部を中心とする直線運動と旋回動作を行
うように、不図示の制御装置が、アーム伸縮モータ６と
アーム旋回モータ８を制御する。ロボットハンド５の上
下運動はロボットハンド旋回モータ７を制御することに
より行う。
【００２７】図４は本発明の第３の実施形態によるロボ
ットの側断面図である。この実施形態は、ロボットハン
ドを水平方向軸周りに回転させることができるものであ
る。ロボットのアーム構造は、固定部に回転駆動源が設
けられたベース部１から、第１アーム２、第２アーム３
及び第３アーム46の３つのアームが順次連結され、第３
アーム46の先端にウェハＷを保持するためのロボットハ
ンド５が連結されている。ベース部１内のアーム旋回モ
ータ８の回転駆動力は、同モータ８の出力軸に固定され
ているプーリ32とベルト33を介してプーリ34と固定され
ている第１アーム２に伝達され、第１アーム２を旋回さ
せる。次に、この動力は、第１アーム２本体と固定して
いる固定軸35とその軸35に固定されているプーリ43とベ
ルト37を介して、プーリ43との径寸法の比１：２のプー
リ38と固定されている第３アーム46に伝達され、第３ア
ーム46を旋回させる。従って、第３アーム46は、第１ア
ーム２と１：２で連結されているので、第３アーム46の
旋回量は第１アーム２と第２アーム３のなす角の常に半
分になる。
ットの側断面図である。この実施形態は、ロボットハン
ドを水平方向軸周りに回転させることができるものであ
る。ロボットのアーム構造は、固定部に回転駆動源が設
けられたベース部１から、第１アーム２、第２アーム３
及び第３アーム46の３つのアームが順次連結され、第３
アーム46の先端にウェハＷを保持するためのロボットハ
ンド５が連結されている。ベース部１内のアーム旋回モ
ータ８の回転駆動力は、同モータ８の出力軸に固定され
ているプーリ32とベルト33を介してプーリ34と固定され
ている第１アーム２に伝達され、第１アーム２を旋回さ
せる。次に、この動力は、第１アーム２本体と固定して
いる固定軸35とその軸35に固定されているプーリ43とベ
ルト37を介して、プーリ43との径寸法の比１：２のプー
リ38と固定されている第３アーム46に伝達され、第３ア
ーム46を旋回させる。従って、第３アーム46は、第１ア
ーム２と１：２で連結されているので、第３アーム46の
旋回量は第１アーム２と第２アーム３のなす角の常に半
分になる。
【００２８】ベース部１内のアーム伸縮モータ６の回転
駆動力は、同モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と
ベルト10を介して、回転軸12に固定されているプーリ11
とプーリ13に伝達され、さらに、プーリ13とベルト14を
介してプーリ15と固定されている第２アーム３に伝達さ
れ、第２アーム３を旋回させる。
駆動力は、同モータ６の出力軸に固定されたプーリ９と
ベルト10を介して、回転軸12に固定されているプーリ11
とプーリ13に伝達され、さらに、プーリ13とベルト14を
介してプーリ15と固定されている第２アーム３に伝達さ
れ、第２アーム３を旋回させる。
【００２９】ベース部１内のロボットハンド旋回モータ
７の回転駆動力は、同モータ７の出力軸に固定されてい
るプーリ16とベルト17を介して回転ドラム19に固定され
ているプーリ18とプーリ20に伝達される。プーリ20は、
ベルト21を介して、回転ドラム23に固定されているプー
リ22とプーリ24に動力を伝達する。プーリ24は、ベルト
25を介して回転軸27に固定されているプーリ26とかさ歯
車44に動力を伝達し、この歯車44を回転させる。かさ歯
車44とかさ歯車45とは直交軸方向に交わり、かさ歯車45
に固定されたロボットハンド５は中心線Ｌを中心に水平
方向軸周りに回転運動する。
７の回転駆動力は、同モータ７の出力軸に固定されてい
るプーリ16とベルト17を介して回転ドラム19に固定され
ているプーリ18とプーリ20に伝達される。プーリ20は、
ベルト21を介して、回転ドラム23に固定されているプー
リ22とプーリ24に動力を伝達する。プーリ24は、ベルト
25を介して回転軸27に固定されているプーリ26とかさ歯
車44に動力を伝達し、この歯車44を回転させる。かさ歯
車44とかさ歯車45とは直交軸方向に交わり、かさ歯車45
に固定されたロボットハンド５は中心線Ｌを中心に水平
方向軸周りに回転運動する。
【００３０】第１アーム２と第２アーム３の長さは略同
等とされており、ロボットハンド５がベース部１と第１
アーム２の連結部を中心とする直線運動と旋回動作を行
うように、不図示の制御装置が、アーム伸縮モータ６と
アーム旋回モータ８を制御する。ロボットハンド５の回
転運動はロボットハンド旋回モータ７を制御することに
より行う。
等とされており、ロボットハンド５がベース部１と第１
アーム２の連結部を中心とする直線運動と旋回動作を行
うように、不図示の制御装置が、アーム伸縮モータ６と
アーム旋回モータ８を制御する。ロボットハンド５の回
転運動はロボットハンド旋回モータ７を制御することに
より行う。
【００３１】なお、上記各実施例において、駆動伝達機
構としてベルトとプーリを用いているが、ベルトとプー
リの摺動により、塵埃を生じても、ベース部１側から負
圧吸引で外部へ排気することにより、ロボットの移動空
間のクリーン度を高めることができるので、半導体製造
に適するものとなる。
構としてベルトとプーリを用いているが、ベルトとプー
リの摺動により、塵埃を生じても、ベース部１側から負
圧吸引で外部へ排気することにより、ロボットの移動空
間のクリーン度を高めることができるので、半導体製造
に適するものとなる。
【００３２】本発明は上記の実施形態に限られるもので
なく、種々の変形が可能である。例えば、本発明の第
２，第３の実施形態においては、プーリ38径に比し、固
定軸35に固定されたプーリ径が１／２のプーリ43を使用
しているが、これに限定されるものでなく、作業環境に
よって、プーリ38径と同じ径のプーリ43が使用されても
よい。
なく、種々の変形が可能である。例えば、本発明の第
２，第３の実施形態においては、プーリ38径に比し、固
定軸35に固定されたプーリ径が１／２のプーリ43を使用
しているが、これに限定されるものでなく、作業環境に
よって、プーリ38径と同じ径のプーリ43が使用されても
よい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ベ
ース部内に収納された回転駆動源からの回転駆動力が、
複数のアームとロボットハンドに、各アーム内及びその
連結部内の駆動伝達機構を介して伝達され、複数のアー
ムとロボットハンドが旋回するので、可動部に回転駆動
源を設ける必要がなく、また、回転駆動源に電力供給用
電線等を引き回す必要がなくなる。従って、断線を起こ
すことがなくなり、信頼性の向上が図れ、しかも、可動
部の軽量化によって慣性モーメントを小さくでき、可搬
重量の増大と動作速度の高速化を図ることができる。
ース部内に収納された回転駆動源からの回転駆動力が、
複数のアームとロボットハンドに、各アーム内及びその
連結部内の駆動伝達機構を介して伝達され、複数のアー
ムとロボットハンドが旋回するので、可動部に回転駆動
源を設ける必要がなく、また、回転駆動源に電力供給用
電線等を引き回す必要がなくなる。従って、断線を起こ
すことがなくなり、信頼性の向上が図れ、しかも、可動
部の軽量化によって慣性モーメントを小さくでき、可搬
重量の増大と動作速度の高速化を図ることができる。
【図１】 本発明の一実施形態による水平多関節ロボッ
トの外観図である。
トの外観図である。
【図２】 本発明の第１の実施形態によるロボットの側
断面図である。
断面図である。
【図３】 本発明の第２の実施形態によるロボットの側
断面図である。
断面図である。
【図４】 本発明の第３の実施形態によるロボットの側
断面図である。
断面図である。
【図５】 従来の水平多関節型産業用ロボットの斜視図
である。
である。
１ ベース部 ２ 第１アーム ３ 第２アーム ４，41，46 第３アーム ５ ロボットハンド ６ アーム伸縮モータ ７ アーム旋回モータ ８ ロボットハンド旋回モータ ９，11，13，15，16，18，20，22，24，26，28，30，3
2，34，36，38 プーリ 10，14，17，21，25，29，33，37 ベルト 12，27，31 回転軸 35 固定軸
2，34，36，38 プーリ 10，14，17，21，25，29，33，37 ベルト 12，27，31 回転軸 35 固定軸
Claims (7)
- 【請求項１】 複数のアームが回転可能に順次連結さ
れ、最下段のアームの支軸部がベース部に、ロボットハ
ンドが最上段のアーム先端にそれぞれ回転可能に支承さ
れてなる水平多関節型産業用ロボットにおいて、前記ア
ーム及びロボットハンドを回転駆動するための回転駆動
源が前記ベース部に収納され、前記回転駆動源からの回
転駆動力を前記各アーム及びロボットハンドに伝達する
ための駆動伝達機構が、各アーム内及び各アームの連結
部内に装備されていることを特徴とする水平多関節型産
業用ロボット。 - 【請求項２】 前記駆動伝達機構は、前記ロボットハン
ドを最上段のアーム先端の連結部を中心に旋回させる旋
回機構を含むことを特徴とする請求項１記載の水平多関
節型産業用ロボット。 - 【請求項３】 前記駆動伝達機構は、前記ロボットハン
ドが最上段のアーム先端にシーソ状に可動に支承され、
前記ロボットハンドをティルト動作させる機構を含むこ
とを特徴とする請求項１記載の水平多関節型産業用ロボ
ット。 - 【請求項４】 前記駆動伝達機構は、前記ロボットハン
ドは最上段のアーム先端に水平方向軸回りに回転自在に
支承され、前記ロボットハンドを水平方向軸回りに回転
させる機構を含むことを特徴とする請求項１記載の水平
多関節型産業用ロボット。 - 【請求項５】 前記アームは、ベース部から、第１アー
ム、第２アーム、及び第３アームの３つのアームが順次
連結されており、前記回転駆動源は、前記第１アーム及
び第３アームを回転させるアーム旋回モータ、前記第２
アームを回転させるアーム伸縮モータ、及び前記ロボッ
トハンドを旋回させるロボットハンド旋回モータから成
り、前記駆動伝達機構は、前記アーム旋回モータが前記
第１アーム及び第３アームを回転駆動させ、前記アーム
伸縮モータが前記第２アームを回転駆動させる機構を含
むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに
記載の水平多関節型産業用ロボット。 - 【請求項６】 前記駆動伝達機構は、前記各アームの連
結部を貫通する軸と、この軸に固定されたプーリと、各
アームの支軸部側と先端側のプーリ間に架けられたベル
トから構成されることを特徴とする請求項５に記載の水
平多関節型産業用ロボット。 - 【請求項７】 第１アーム（２）、第２アーム（３）及
び第３アーム（４）の３つのアームが回転可能に順次連
結され、第１アーム（２）の支軸部がベース部（１）
に、ロボットハンド（５）が第３アーム（４）の先端に
それぞれ回転可能に支承されてなる水平多関節型産業用
ロボットにおいて、前記第１アーム（２）と第３アーム
（４）を共に回転駆動する一つのアーム旋回モータ
（８）、第２アーム（３）を回転駆動するアーム伸縮モ
ータ（６）、及びロボットハンド（５）を回転駆動する
ロボットハンド旋回モータ（７）が前記ベース部（１）
に収納され、前記アーム旋回モータ（８）からの回転駆
動力を前記第１アーム（２）及び第３アーム（４）に伝
達するアーム旋回用の駆動伝達機構、前記アーム伸縮モ
ータ（６）からの回転駆動力を前記第２アーム（３）に
伝達するアーム伸縮用の駆動伝達機構、及び前記ロボッ
トハンド旋回モータ（７）からの回転駆動力をロボット
ハンド（５）に伝達するロボットハンド旋回用の駆動伝
達機構が各アーム内及び各アームの連結部内に装備さ
れ、前記アーム旋回用の駆動伝達機構は、前記アーム旋
回モータ（８）の出力軸に固定されたプーリ（32）と、
前記第１アーム（２）の支軸部に固定されたプーリ（3
4）と、これらプーリ間に架けられたベルト（33）と、
前記第１アーム（２）の先端に固定され、第１アーム
（２）と第２アーム（３）との連結部を貫通して前記第
２アーム（３）内に臨む固定軸（35）の上段に固定され
たプーリ（36）と、前記第３アーム（４）の支軸部に固
定されたプーリ（38）と、これらプーリ間に架けられた
ベルト（37）とから成り、前記アーム伸縮用の駆動伝達
機構は、前記アーム伸縮モータ（６）の出力軸に固定さ
れたプーリ（９）と、前記第１アーム（２）の支軸部を
貫通し、この支軸部内に回転自在に支承された回転軸
（12）の上下両端にそれぞれ固定されたプーリ（13）,
（11）と、前記第２アーム（３）の支軸部に固定された
プーリ（15）と、前記プーリ（９）とプーリ（11）との
間に架けられたベルト（10）と、前記プーリ（13）とプ
ーリ（15）との間に架けられたベルト（14）とから成
り、前記ロボットハンド旋回用の駆動伝達機構は、前記
ロボットハンド旋回モータ（７）の出力軸に固定された
プーリ（16）と、前記第１アーム（２）の支軸部を貫通
し、この支軸部内に回転自在に支承されたドラム（19）
の上下両端にそれぞれ固定されたプーリ（20）,（18）
と、前記固定軸（35）に回転自在に支承されたドラム
（23）の上下両端に固定されたプーリ（36）,（22）
と、前記第３アーム（４）の支軸部に支承された回転自
在な回転軸（27）の上下両端に固定されたプーリ（2
8）,（26）と、前記第３アーム（４）の先端に支承され
た回転自在な回転軸（31）の下端に固定されたプーリ
（30）と、回転軸（31）の上端に固定されたロボットハ
ンド（５）と、前記プーリ（16）とプーリ（18）との間
に架けられたベルト（17）と、前記プーリ（20）とプー
リ（22）との間に架けられたベルト（21）と、前記プー
リ（24）とプーリ（26）との間に架けられたベルト（2
5）と、前記プーリ（28）とプーリ（30）との間に架け
られたベルト（29）とから成ることを特徴とする水平多
関節型産業用ロボット。
Priority Applications (4)
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