KR100625585B1 - 로보트 암기구 - Google Patents

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KR100625585B1
KR100625585B1 KR1020020018450A KR20020018450A KR100625585B1 KR 100625585 B1 KR100625585 B1 KR 100625585B1 KR 1020020018450 A KR1020020018450 A KR 1020020018450A KR 20020018450 A KR20020018450 A KR 20020018450A KR 100625585 B1 KR100625585 B1 KR 100625585B1
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오쿠노조헤이
모리히로키
와타나베데츠야
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티에스 코포레이션 가부시키가이샤
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Abstract

로보트 암기구는 피처리물을 지지하고 핸들링 하기 위한 핸들 부재, 복수의 링크로 이루어지는 로보트 암, 및 수축되고 신장되는 피스톤을 보장하기 위해 로보트 암을 구동하기 위한 로보트 암 구동 기구를 포함한다. 로보트 암은 제 1 및 제 2 암 링크, 제 1 및 제 2 암 링크를 피벗가능하게 유지하는 링크유지기구, 및 제 1 및 제 2 암 링크의 하나를 제 1 및 제 2 암 링크의 다른 하나의 운동에 의하여 작동하도록 제 1 및 제 2 암 링크 및 링크 작동 기구를 피벗가능하게 유지하는 링크 유지 기구를 포함한다. 링크 작동 기구는 크랭크, 커플링 링크, 및 연결 링크를 포함한다. 커플링 링크에 일체로 연결되는 크랭크는 하나의 제 1 및 제 2 암중 하나에 그리고 링크유지기구에 피벗가능하게 연결된다. 연결 링크는 제 1 및 제 2 암중 다른 하나에 피벗가능하게 연결된다. 이것은 단지 2개의 전기 모터에 의하여 수축 및 신장 그리고 회전될 수 있는 로보트 암을 장점이 되게 한다.
로보트 암, 링크, 커플링 링크, 연결 링크, 피스톤, 핸들 부재, 전기 모터, 링크 작동 기구, 핸들 부재

Description

로보트 암기구{A ROBOT ARM MECHANISM}
도 1은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 하나의 상태의 개략도;
도 2는 본 발명에 따라 도 1에 도시된 로보트 암기구의 다른 상태의 부분확대 개략도;
도 3은 도 2에서 선 F3-F3에서 취한 단면도;
도 4는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 도 2에 도시된 상태의 개략도;
도 5는 제 1 및 제 2 암 링크사이의 회전각의 관계를 도시하는 그래프;
도 6은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 2 바람직한 실시예의 하나의 상태의 개략도;
도 7은 본 발명에 따라 도 6에 도시된 로보트 암기구의 부분확대 개략도;
도 8은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 2 바람직한 실시예의 다른 상태의 개략도;
도 9는 본 발명에 따라 도 6에 도시된 로보트 암기구의 부분확대 개략도;
도 10은 본 발명에 따라 도 8에 도시된 로보트 암기구의 부분확대 개략도;
도 11은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 3 바람직한 실시예의 부분확대 단면도;
도 12는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 4 바람직한 실시예의 부분확대 개략도;
도 13은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 5 바람직한 실시예의 부분확대 개략도;
도 14는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 6 바람직한 실시예의 하나의 상태의 개략도;
도 15는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 6 바람직한 실시예의 다른 상태의 부분확대 개략도;
도 16은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 6 바람직한 실시예의 다른 상태의 개략도;
도 17은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 6 바람직한 실시예의 또 다른 상태의 개략도;
도 18은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 7 바람직한 실시예의 부분확대 개략도;
도 19는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 8 바람직한 실시예의 하나의 상태의 개략도;
도 20은 본 발명의 로보트 암기구의 제 8 바람직한 실시예의 다른 상태의 개략도;
도 21은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 8 바람직한 실시예의 또 다른 상태의 개략도.
본 발명은 암이 수축 및 신장하는 로보트 암기구에 관한 것이고, 그리고 더욱 상세히는 암이 수축된 위치 및 신장된 위치를 나타내도록 암을 구동하기위한 암 구동 기구를 통합하고 있는 로보트 암기구에 관한 것이다.
이러한 타입의 로보트 암기구는 워크, 즉 피처리물을 취급하기 위해 암이 수축 및 신장되도록 로보트 암기구가 작동되는 반도체를 제조하는 공정에 사용된다. 이들 피처리물은 로보트 암기구에 의해 이송되고 그리고 작업대상에 싣는 예를들면, 웨이퍼 및 다른 정밀부품과 같은 것을 포함한다.
이러한 종류의 종래의 로보트 암기구는 예를들면, 일본특허 제2808826호에 개시되어 있고, 그리고 피처리물을 유지하거나 방출하는 핸들부재, 그리고 핸들을 작동하고 움직이기 위한 로보트 암을 포함하고 있다. 로보트 암은 링크를 평행자세로 유지하기위한 동기기어로 구비되어 있는 피벗가능한 조인트부를 가진 복수의 평행링크로 구성되어 있다. 평행링크가 작동되는 경우 동기기어는 회전하여 핸드가 전후방으로 움직이므로써 소정의 방향으로 유지된다. 평행링크는 회전디스크에 의해 그 베이스부에 피벗가능하게 지지되고 그리고 2개의 전기모터에 의해 커플링과 이송샤프트를 통해서 수축 및 신장되도록 구동된다. 회전디스크는 로보트 암을 회전시키도록 다른 전기모터에 의해 구동되는 구동기어와 결합되도록 그 측면주위에 톱니를 형성하고 있다.
이러한 종류의 다른 종래의 로보트 암기구는 일본특개평10-156770호에 개시되어 있고 그리고 수축 및 신장가능한 제 1 평행사변형 링크기구를 형성하도록 복수의 평행링크에 의해 구성된 로보트 암, 그리고 링크에서 작동가능하게 장착된 기어, 벨트 그리고 풀리를 포함하는 동기운동기구를 포함하고 있다. 동기운동기구는 기어, 벨트 및 풀리가 구동되도록 작동하여 제 1 평행사변형 링크기구는 수축 및 신장될 수 있다. 평행링크는 회전디스크에 의해 지지되고 그리고 제 1 평행사변형 링크기구를 수축 및 신장시키도록 제 2 평행사변형 링크기구에 피벗가능하게 연결된 구동 암을 통해서 제 1 전기모터에 의해 구동되는 제 2 평행사변형 링크기구와 연결되어 있다. 제 1 전기모터는 회전디스크의 회전축으로부터 멀리 위치해 있다. 회전디스크는 로보트 암을 회전시키도록 제 2 전기모터에 의해 구동된다.
이러한 종류의 제 3 종래의 로보트 암기구는 일본 특개평07-73833호에 개시되어 있고 그리고 수축 및 신장가능한 다이아몬드형상의 링크기구를 형성하도록 4개의 피벗가능하게 연결된 링크에 의해 구성된 로보트 암, 그리고 링크 기구에 작동가능하게 장착된 기어, 벨트 및 풀리로 구성되어 있는 동기운동기구를 포함하고 있다. 동기운동기구는 기어, 벨트 및 풀리가 구동되도록 작동되어 다이아몬드형상의 링크기구가 수축 및 신장될 수 있게 한다. 링크는 한쌍의 핸들링부재를 가지고 있고 그리고 센터 허브에 의해 지지된 2개의 구동 암에 피벗가능하게 연결되어 있다. 암은 다이아몬드형상의 링크기구가 수축 및 신장될수 있게 하는 2개의 전기모터에 의해 회전축주위에서 서로 독립적으로 시계방향 또는 반시계방향으로 구동된다.
하지만, 상기 알려진 종래의 로보트 암기구는 다음과 같은 문제를 가지고 있다.
상기 알려진 제 1 종래의 로보트 암기구는 3개의 전기모터가 필요한데; 2개의 모터는 로보트 암을 수축 및 신장시킬 목적으로 링크를 구동하고 그리고 1개의 모터는 로보트 암을 회전시킬 목적으로 회전디스크를 구동하여, 크기가 크고 비용이 많이든다.
상기 알려진 제 2 종래의 로보트 암기구는 로보트 암의 회전각도의 한계를 가지고 있고, 암을 수축 및 신장시키기위한 전기모터는 회전디스크의 회전축으로부터 멀리 배치되고 그리고 그 주위에서 움직인다. 회전의 상기 한계를 피하기 위해서, 브러시 전기 접촉기구와 같은 장치가 부가되어, 비용이 많이 들고 그리고 구조가 복잡하다.
상기 알려진 제 3 종래의 로보트 암기구는 다이아몬드형상의 링크기구가 회전축을 넘어 핸들링부재를 가져갈 수 없고 그리고 이들이 로보트 암기구의 다른 부분들과 간섭될 수 있는 이렇게 긴 링크로 장치되어 있다.
그러므로, 본 발명의 목적은 상기 단점을 극복하는 로보트 암기구를 제공하는 것이고 그리고 단지 2개의 모터에 의해 회전각도의 한계없이 회전하고 그리고 수축 및 신장되는 로보트 암을 구동할 수 있는 로보트 암기구를 제공하는 것이다.
본 발명의 또다른 목적은 간이한 구성을 갖춘 로보트 암을 제공하는 것이다.
본 발명의 제 1 측면에 따른 로보트 암 기구는 제 1 핸들링부재 및 제 2 핸들링부재를 포함하며, 피처리물을 지지하고 핸들링 하기 위한 복수의 핸들링부재 상기 제 1 핸들링부재와 상기 제 2 핸들링부재에 각각 연결된 제 1 암 링크와 제 2 암 링크를 포함하고, 소정의 회전축 주위로 회전가능한 로보트 암 및 상기 로보트 암을 구동시키기 위해서, 상기 제 1 암 링크에 일체로 연결된 제 1 구동축 및 상기 제 2 암 링크에 일체로 연결된 제 2 구동축을 포함하는 로보트 암 구동 기구를 포함한다. 상기 제 1 암 링크는 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 피벗가능한 제 1 조인트부를 가지며, 상기 제 2 암 링크는 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 피벗가능한 제 1 조인트부를 가지고,상기 로보트 암은 상기 제 1 및 제 2 핸들링부재의 자세를 유지시키기 위한 링크유지기구, 상기 제 1 및 제 2 암 링크 사이의 회전각도에 따라 링크유지기구를 작동시키기 위한 링크 작동 기구을 더 포함한다. 상기 링크 작동 기구는 크랭크와 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 커플링 링크로 구성되는 레버 부재 및 제 1 및 제 2 끝부를 가지고, 상기 제 1 끝부에서 상기 제 1 및 제 2 암 링크의 다른 한쪽에 피벗가능하게 연결되고, 제 2 끝부에서 상기 레버 부재의 상기 커플링 링크에 연결된 연결 링크를 포함한다. 상기 크랭크는 상기 제 1 및 제 2 암 링크의 하나의 상기 피벗가능한 제 1 조인트부에 피벗가능하게 연결되고, 상기 커플링 링크가 상기 크랭크에 일체적으로 연결된다. 상기 레버 부재의 크랭크는 링크유지기구에 피벗가능하게 연결된다.
(바람직한 실시예의 설명)
아래의 상세한 설명을 통해서, 유사한 참조기호 및 번호는 모든 도면에서 유사한 요소를 말한다.
도면중 도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 로보트 암기구(200)는 피처리물을 지지하고 핸들링하기 위해 각각 제 1 및 제 2 핸들링부재(214, 215)를 포함하여 도 1 내지 도 4에 도시되어 있다.
제 1 및 제 2 핸들링부재(214, 215)는 즉, 반도체를 제조하는데 사용되는 웨이퍼 및 다른 재료를 유지하고 방출하는 취급을 위해 사용되도록 구성되어 있다. 제 1 및 제 2 핸들링부재(214, 215)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 있고 그리고 이러한 재료를 수용하고 방출하는데 적합하게 설계된 오목부(212, 213)를 가진 핸들링부재(214, 215)의 제 1 끝부에 형성되어 있다. 제 1 및 제 2 핸들링부재(214,215)의 형상은 본 발명에 따라서 제 1 및 제 2 핸들링 부재(214, 215)에 의해 핸들링되는 재료의 크기 및 모양에 따른다.
로보트 암기구(200)는 핸들링부재(214,215)에 연결된 로보트 암(220)을 더 포함하고 있다. 로보트 암(220)은 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 있고 그리고 회전축(298) 주위에서 회전하는 제 2 암(211) 및 제 1 암 링크(210)를 포함하고 있다.
제 1 암 링크(210)는 회전축(298)으로부터의 거리(La)에서 제 1 암 링크(210)의 제 1 및 제 2 끝부사이에 위치된 피벗가능한 제 1 조인트부(210a)를 더 가지고 있다. 제 2 암 링크(211)는 회전축(298)으로부터 거리(Lb)에서 제 2 암 링크(211)의 제 1 및 제 2 끝부사이에 위치된 피벗가능한 조인트부(211a)를 더 가지고 있다.
로보트 암(220)은 핸들링부재(214, 215)의 자세를 유지하도록 제 1 및 제 2 링크 유지기구(230, 231)로 구성되는 링크유지기구(229)를 더 포함하고 있다.
링크유지기구(229)는 실제 서로 길이가 같고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 각각 가진 제 1 링크유지기구(230)를 위한 제 1 조인트링크(223)와 제 2 링크유지기구를 위한 제 2 조인트링크(224)로 구성되어 있는 조인트 크로스 링크(221)를 더 포함하고 있다.
조인트 크로스 링크(221)는 회전축(298)에 대하여 서로 대향한 제 1 및 제 2 측부를 가진 조인트 샤프트(201)를 더 포함하고 있다. 조인트 샤프트(201)와 제 1 조인트링크(223)는 조인트 샤프트(201)의 제 1 측면과 제 1 조인트링크(223)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 조인트 샤프트(201)와 제 2 조인트링크(224)는 조인트 샤프트(201)의 제 2 측부와 제 2 조인트링크(224)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다.
제 1 링크유지기구(230)는 제 1 암 링크(210)와 실제로 길이가 같고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 리테이너 링크(219)를 더 포함하고 있다. 제 1 리테이너 링크(219)와 제 1 조인트링크(223)는 제 1 리테이너 링크(219)의 제 1 끝부와 제 1 조인트링크(223)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 링크유지기구(230)는 제 1 조인트링크(223)와 실제로 길이가 동일하고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 출력 링크(216)를 더 포함하고 있다. 제 1 출력 링크(216)와 제 1 암 링크(210)는 출력 링크(216)의 제 1 끝부와 제 1 암 링크(210)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 1 출력 링크(216)와 제 1 리테이너 링크(219)는 제 1 출력 링크(216)의 제 2 끝부와 제 1 리테이너 링크(219)의 제 2 끝부에서 피벗가능하게 서로 연결되어 있다. 제 1 출력 링크(216)와 제 1 핸들링부재(214)는 제 1 출력 링크(216)의 제 2 끝부와 제 1 핸들링부재(214)의 제 2 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다.
제 1 암 링크(210), 제 1 리테이너 링크(219), 제 1 조인트링크(223) 그리고 제 1 출력 샤프트(216)는 평행사변형 링크기구를 형성하고, 이것은 제 1 암 링크(210) 및 제 1 리테이너 링크(219)에 의해 제 1 조인트링크(223)와 제 1 출력 샤프트(216)를 항상 서로 평행한 관계로 유지한다. 이것은 제 1 출력 링크(216)가 제 1 핸들링부재(214)를 조인트 크로스 링크(221)와 평행한 관계를 유지하게 한다.
제 2 링크 유지기구(231)는 제 2 암 링크(211)와 실제로 동일한 길이로 되어 있으면서, 제 1 및 제 2 끝부를 갖는 제 2 리테이너 링크(228) 그리고 제 2 리테이너 링크(228)의 제 1 끝부로부터 거리(Lb)에서 제 2 리테이터 링크(228) 제 1 끝부와 제 2 끝부사이에 위치된 피벗가능한 조인트부(228a)를 포함하고 있다. 제 2 리테이너 링크(211)와 제 2 조인트링크(224)는 제 2 리테이너 링크(211)의 제 1 끝부와 제 2 조인트링크(224)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 2 링크 유지기구(231)는 제 2 조인트링크(224)와 실제로 길이가 동일하고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 2 출력 링크(217)를 더 포함하고 있다. 제 2 출력 링크(217)와 제 2 암 링크(211)는 제 2 출력 링크(217)의 제 1 끝부와 제 2 암 링크(211)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 2 출력 링크(217)와 제 2 리테이너 링크(228)는 제 2 출력 링크(217)의 제 2 끝부와 제 2 리테이너 링크(228)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 2 출 력 샤프트(217)와 제 2 핸들링부재(215)는 제 2 출력 샤프트(217)의 제 2 끝부와 제 2 핸들링부재(215)의 제 2 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다.
제 2 암 링크(211), 제 2 리테이너 링크(228), 제 2 조인트링크(224) 및 제 2 출력 샤프트(217)는 평행사변형 링크기구를 형성하고, 이것은 항상 제 2 암 링크(211)와 제 2 리테이너 링크(228)에 의해 서로 평행한 관계로 제 2 출력 링크(217)와 제 2 조인트링크(224)를 유지한다. 이것은 제 2 출력 링크(217)가 항상 조인트 크로스 링크(221)와 평행한 관계로 제 2 핸들링부재(215)를 유지하게 한다.
로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 암 링크(210,211)중 하나를 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)중 다른 하나의 운동에 의해 작동되는 링크 작동기구(232)를 더 포함하고 있다.
링크 작동기구(232)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 가진 커플링 링크(203)와 크랭크(202)를 포함하는 L자형상으로 형성되어 있는 레버 부재(233)를 포함하고 있다. 크랭크(202)는 실제로 제 2 출력 링크(217)와 길이가 같다. 커플링 링크(203)는 크랭크(202)보다 길이가 길다.
링크 작동기구(232)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 가진 연결 링크(204)를 더 포함하고 있다. 연결 링크(204)는 크랭크(202)보다 더 길다.
크랭크(202)와 커플링 링크(203)는 크랭크(202)의 제 1 끝부와 커플링 링크(203)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 크랭크(202)와 제 2 리테이너 링크(228)는 크랭크(202)의 제 2 끝부와 제 2 리테이너 링크(228)의 피벗가능한 조인트부(228a)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 크랭크(202)와 제 2 암 링크(211)는 크랭크(202)의 제 1 끝부와 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 1 조인트부(211a)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
커플링 링크(203)와 연결 링크(204)는 커플링 링크(203)가 제 2 리테이너 링크(228)와 제 2 조인트링크(224)와 교차하는 상태에서 커플링 링크(203)의 제 2 끝부와 연결 링크(204)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능한 조인트(236)에 의해 피벗가능하게 연결되어 있다.
커넥팅 링크(204)와 제 1 암 링크(210)는 연결 링크(204)의 제 1 끝부와 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
링크 작동기구(232)에서, 커플링 링크(203)와 연결 링크(204)의 길이의 합은 La+Lb보다 크게 설계되어 있고, 회전축(298)과 제 1 및 제 2 암링크(210, 211)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a, 211a)사이의 길이의 합은 링크 작동기구(232)가 변경점없이 운동의 안정성을 보장하게 한다.
로보트 암기구(200)는 회전축(298)주위에서 회전가능한 제 1 및 제 2 구동샤프트(225, 226)를 포함하는 로보트 암 구동기구(400)를 더 포함하고 있다.
제 1 구동샤프트(225)는 제 1 구동샤프트(225)와 동축관계로 제 2 구동샤프트(226)를 회전가능하게 수용하도록 회전축(298)을 따라 중공으로 되어 있다.
제 1 구동축(225)은 제 1 암 링크(210)의 제 1 끝부에 일체로 연결되어 있고 그리고 회전축(298)주위에서 제 1 암 링크(210)를 회전시키도록, 도시되지 않은 전기모터에 의해 구동된다. 제 2 구동축(226)은 제 2 암 링크(211)의 제 1 끝부에 일체로 연결되고 그리고 제 1 암 링크(210)와 독립적으로 회전축(298)주위에서 제 2 암 링크(211)를 회전시키도록 도시되지않은 다른 전기모터에 의해 구동된다.
제 1 바람직한 실시예의 상기 로보트 암기구(200)의 작동을 설명한다.
제 1 및 제 2 핸들링부재(214, 215)가 원위치에 있을 때, 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)는 도 2 및 도 4에 도시된 위치에 있다. 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)가 원위치로부터 도 1에 도시된 위치로 회전하면, 제 1 구동샤프트(224)는 제 1 핸들링부재(214)를 후방으로 움직이게 하기 위해 제 1 암(210)이 시계방향으로 회전되도록 회전시키고, 그리고 제 2 구동 샤프트(226)는 제 2 핸들링 부재(215)를 전방으로 움직이게 하기 위해 제 2 암 링크(211)가 반시계방향으로 회전되도록 제 2 암 링크(211)를 구동시킨다.
제 1 및 제 2 암 링크(210, 211), 제 1 및 제 2 리테이너 링크(219, 228), 제 1 및 제 2 조인트링크(223, 224), 그리고 제 1 및 제 2 출력링크(216, 217)로 구성되어 있는 제 1 및 제 2 링크 유지기구(230)의 평행사변형 링크기구에 의해 움직이는 동안에 제 1 및 제 2 핸들링부재(214, 215)는 제 1 및 제 2 조인트링크(224, 225)와 평행한 관계를 유지한다.
제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)의 회전은 각각 링크 작동기구(232)의 연결 링크(237)와 크랭크(202)를 회전시킨다. 크랭크(202)와 커플링 링크(203)는 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 1 부(221a) 주위에서 시계방향으로 회전한다. 연결 링크는 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 1 부(210a) 주위에서 반시계방향으로 회전한다.
크랭크(202)의 회전운동과 연결 링크(204)의 회전운동은 피벗가능한 조인트(236)가 커플링 링크(203)와 연결 링크(204)를 연결하게 하여 제 1 및 제 2 출력 샤프트(216, 217) 및 제 1 및 제 2 조인트링크(223, 224)가 항상 서로 평행관계에 있다.
제 1 암 링크(210)의 회전각도는 제 2 암 링크(211)의 회전각도보다 크도록 제 1 및 제 2 구동샤프트(225, 226)는 제어된다. 도 5는 제 1 구동샤프트(225)에 의해 구동되는 제 1 암 링크(210)의 회전각도(Φ) 그리고 제 1 구동샤프트(225)에 의해 구동되는 제 1 암 링크(210)의 회전각도(θ)의 관계를 도시하고 있다. 이것은 제 1 및 제 2 핸들링부재(214,215)의 전방이동 이송이 이들의 후방이동 이송보다 크다는 것을 의미한다. 이것은 양호한 공간활용을 야기한다. 회전각도사이의 상기 관계는 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)의 회전각도사이의 관계의 데이터표로서 로보트 암 제어기의 메모리에 기억된다.
제 1 및 제 2 구동샤프트(225, 226)가 동일속도와 동일회전방향으로 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)를 구동할 때, 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)는 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)가 함께 결합된 상태하에서 회전축(298)주위에서 함께 회전한다. 그러므로 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)를 회전시키기위해 또다른 전기모터를 구비할 필요가 없다. 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)를 회전시키기위해 로보트-암 지지디스크를 회전시킬 필요는 없다. 이것은 본 발명의 제 1 실시예에 따라서 로보트 암기구(200)가 더 간단한 구조로 될 수 있게 한다.
도면중 도 6 내지 도 10을 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 2 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 로보트 암기구(200)는 피처리물(W)을 지지하고 핸들링하며 그리고 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 및 제 2 핸들링부재(244, 245)를 포함하여 도 6 내지 도 10에 도시되어 있다. 제 1 및 제 2 핸들링부재는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 및 제 2 핸들링 지지링크(246, 247)에 일체로 연결되어 있다.
로보트 암(220)은 제 1 암 링크(210)가 제 1 암 링크(210)의 제 1 및 제 2 끝부사이에서 피벗가능한 제 1 및 제 2 조인트부(210a, 210b)를 가지고 있고 그리고 제 2 암 링크(211)가 제 2 암 링크(211)의 제 1 및 제 2 끝부사이에서 피벗가능한 제 1 및 제 2 조인트부(211a, 211b)를 가지고 있는 것을 제외하고, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)와 유사하고 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)를 더 포함하고 있다. 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 2 조인트부(210b)는 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a)와 제 2 끝부사이에 위치한다. 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 2 조인트부(211b)는 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 1 조인트부(211a)와 제 2 끝부사이에 위치한다.
로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 링크 유지기구(230, 231)와 링크 작동기구(232)를 포함하고 있는 링크 유지기구(232)를 더 포함하고 있는데, 이들은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 링크 유지기구(232), 제 1 및 제 2 링크 유지기구(230, 231) 그리고 링크 작동기구(232)와 각각 유사하다.
제 1 링크 유지기구(230)는 제 1 리테이너 링크(219), 제 1 조인트링크(223), 그리고 제 1 출력링크(223)를 포함하고 있는데, 이들은 본 발명 에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 리테이너 링크(219), 제 1 조인트링크(223), 그리고 제 1 출력링크(216)와 각각 유사하다.
제 2 링크 유지기구(231)는 제 2 리테이너 링크(228), 제 2 조인트링크(224), 그리고 제 2 출력링크(217)를 포함하고 있는데, 이들은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 2 리테이너 링크(228), 제 2 조인트링크(224), 그리고 제 2 출력링크(217)와 각각 유사하다.
링크 작동기구(232)는 크랭크(202), 커플링 링크(203), 그리고 연결 링크(204)로 구성되는 레버 부재(233)를 포함하고 있는데 이들은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 레버 부재(233), 크랭크(202), 커플링 링크(203), 그리고 연결 링크(204)와 각각 유사하다.
로보트 암(220)은 제 1 암 링크(210)와 제 1 리테이너 링크(219)에 피벗가능하게 연결된 제 1 추가적인 암 링크기구(240), 그리고 제 2 암 링크(211)와 제 2 리테이너 링크기구(228)에 피벗가능하게 연결된 제 2 추가적인 암 링크기구(243)를 포함하고 있는 추가적인 암 링크 기구(299)를 더 포함하고 있다.
제 1 추가적인 링크기구(240)는 실제로 서로 동일한 길이로 되어있고 그리고 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 3 및 제 4 암 링크(248, 249)를 포함하고 있다. 제 2 추가적인 링크기구(243)는 실제로 서로 동일한 길이로 되어있고 그리고 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 5 및 제 6 암 링크(250, 251)를 포함하고 있다. 제 1 핸들링 지지링크(246)의 제 1 및 제 2 끝부사이의 길이는 실제로 제 1 출력링크(216)와 동일한 길이로 되어 있다. 제 2 핸들링 지지링크(247)의 제 1 및 제 2 사이의 길이는 제 2 출력링크(217)와 실제로 동일한 길이로 되어 있다.
제 3 암 링크(249)와 제 1 핸들링 지지링크(246)는 제 3 암 링크(248)의 제 1 끝부와 제 1 핸들링 지지링크(246)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 3 암 링크(249)와 제 1 암 링크(210)는 제 3 암 링크(249)가 제 1 암 링크(210)와 제 1 리테이너 링크(219)를 교차할 수 있는 상태에서 제 3 암 링크(249)의 제 2 끝부와 제 1 암 링크(210)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 3 암 링크(249)와 제 1 출력링크(216)는 제 3 암 링크(249)의 제 2 끝부와 제 1 출력링크(216)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 3 암 링크(249)와 제 4 암 링크(248)는 제 1 출력링크(216)와 제 1 핸들링 지지링크(246)를 서로 평행한 관계로 피벗가능하게 유지시킨다.
제 4 암 링크(248)와 제 1 핸들링 지지링크(246)는 제 4 암 링크(248)의 제 1 끝부와 제 1 핸들링 지지링크(246)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 4 암 링크(248)와 제 1 리테이너 링크(219)는 제 4 암 링크(248)가 제 1 암 링크(210)와 제 1 리테이너 링크(219)와 교차될 수 있는 상태에서 제 4 암 링크(248)의 제 2 끝과 제 1 리테이너 링크(219)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 4 암 링크(248)와 제 1 출력링크(216)는 제 4 암 링크(248)의 제 2 끝부와 제 1 출력링크(216)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 5 암 링크(251)와 제 2 핸들링 지지링크(246)는 제 5 암 링크(251)의 제 1 끝부와 제 2 핸들링 지지링크(27)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 5 암 링크(251)와 제 2 암 링크(211)는 제 5 암 링크(250)가 제 2 암 링크(211) 및 제 2 리테이너 링크(228)와 교차할 수 있는 상태에서 제 5 암 링크(251)의 제 2 끝부와 제 2 암 링크(211)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 5 암 링크(251)와 제 2 출력링크(217)는 제 5 암 링크(251)의 제 2 끝부와 제 2 출력링크(217)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 5 암 링크(251)와 제 6 암 링크(250)는 제 2 출력링크(217)와 제 2 지지링크(247)를 서로 평행한 관계로 피벗가능하게 유지한다.
제 6 암 링크(250)와 제 2 핸들링 지지링크(246)는 제 6 암 링크(250)의 제 1 끝부와 제 2 핸들링 지지링크(247)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 6 암 링크(250)와 제 2 리테이너 링크(228)는 제 6 암 링크(250)가 제 2 암 링크(211) 및 제 2 리테이너 링크(228)와 교차될 수 있는 상태에서 제 6 암 링크(250)의 제 2 끝부와 제 2 리테이너 링크(250)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 6 암 링크(250)와 제 2 출력링크(217)는 제 6 암 링크(251)의 제 2 끝부와 제 2 출력링크(217)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 암 링크(210), 제 1 출력링크(216) 및 제 3 암 링크(249)는 제 1 동기기구(241)에 의해 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 동기기구(241)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 링크(253), 제 2 링크(254), 제 3 링크(255), 및 제 4 링크(256)를 포함하는 제 1 더블 크랭크기구(252)를 가지고 있다.
제 1 동기기구(241)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 5 링크(257), 제 6 링크(258), 제 7 링크(259)를 포함하는 제 2 더블 크랭크기구(260)를 가지고 있다.
제 1 더블 크랭크기구(252)는 반대방향으로 작동하는 것을 제외하고 도면에서 제 2 더블 크랭크기구(261)와 유사하다.
제 1 및 제 2 링크(253, 254)는 실제로 서로 길이가 동일하다. 제 3 링크(255)는 제 1 및 제 2 링크(253, 254)보다 길다. 제 4 링크(256)는 제 1 암 링크(210)의 제 2 끝부로부터 피벗가능한 제 2 조인트부(210b)까지 제 1 암 링크(210)의 일부이다. 제 5 링크(257)와 제 6 링크(258)는 서로 길이가 동일하다.
제 1 링크(253)와 제 1 출력링크(216)는 제 1 링크(253)의 제 1 끝부와 제 1 출력링크(216)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 제 1 링크(253)와 제 4 링크(256)는 제 1 링크(253)의 제 1 끝부와 제 4 링크(256)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 1 링크(253)와 제 5 링크(257)는 서로 예각(α)으로 제 1 링크(253)의 제 2 끝부와 제 5 링크(257)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 2 링크(254)와 제 1 암 링크(210)는 제 2 링크(254)의 제 1 끝부와 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 2 조인트부(210b)에 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 2 링크(254)와 제 3 링크(255)는 제 2 링크(254)의 제 2 끝부와 제 3 링크(255)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 3 링크(255)와 제 5 링크(257)는 제 3 링크(255)가 제 1 암 링크(210), 제 1 리테이너 링크(219), 제 3 링크(249) 그리고 제 4 암 링크(248)와 교차하는 상태에서 제 3 링크(255)의 제 2 끝부와 제 5 링크(257)의 제 2 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 제 3 링크(255)와 제 7 링크(259)는 제 3 링크(255)의 제 2 끝부와 제 7 링크(259)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 4 링크(256)와 제 1 출력링크(216)는 제 4 링크(256)의 제 2 끝부와 제 1 출력링크(216)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 4 링크(256)와 제 6 링크(258)는 제 4 링크(256)의 제 2 끝부와 제 6 링크(258)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 6 링크(258)와 제 7 링크(259)는 제 7 링크(259)가 제 1 링크(253)와 교차하는 상태에서 서로 α의 각도로 제 6 링크(258)의 제 2 끝부와 제 7 링크(259)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 2 동기기구(242)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 8 링크(353), 제 9 링크(354), 제 10 링크(355), 그리고 제 11 링크(356)를 포함하는 제 2 더블 크랭크기구(352)를 가지고 있다.
제 2 동기기구(242)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 12 링크(357), 제 13 링크(358), 그리고 제 14 링크(359)를 포함하는 제 4 더블 크랭크기구(360)를 더 가지고 있다. 제 12 링크(357)와 제 13 링크(358)는 서로 길이가 동일하다.
제 18 및 제 19 링크(233, 354)는 실제로 서로 길이가 동일하다. 제 10 링크(355)는 제 8 및 제 9 링크(353, 354)보다 길다. 제 11 링크(356)는 제 2 암 링크(211)의 제 2 끝부로부터 피벗가능한 제 2 조인트부(211b)까지 제 2 암 링크(211)의 일부이다. 제 12 링크(357) 및 제 13 링크(358)는 서로 길이가 동일하다.
제 8 링크(353) 및 제 2 출력링크(217)는 제 8 링크(353)의 제 1 끝부와 제 2 출력링크(217)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 제 8 링크(353)와 제 11 링크(356)는 제 8 링크(353)의 제 1 끝부와 제 11 링크(356)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 8 링크(353)와 제 12 링크(358)는 서로 예각(α)으로 제 8 링크(353)의 제 2 끝부와 제 12 링크(357)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 9 링크(354)와 제 2 암 링크(211)는 제 9 링크(354)의 제 1 끝부와 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 2 조인트부(211b)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 9 링크(354)와 제 10 링크(355)는 제 9 링크(354)의 제 2 끝부와 제 10 링크(355)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 10 링크(355)와 제 12 링크(357)는 제 10 링크(355)가 제 2 암 링크(211), 제 2 리테이너 링크(228), 제 10 링크(349) 그리고 제 11 링크(348)와 교차하는 상태로 제 10 링크(355)의 제 2 끝부와 제 12 링크(357)의 제 2 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다.
제 10 링크(355)와 제 14 링크(359)는 제 10 링크(355)의 제 2 끝부와 제 14 링크(359)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 11 링크(356)와 제 2 출력링크(217)는 제 11 링크(356)의 제 2 끝부와 제 2 출력링크(217)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 11 링크(356)와 제 13 링크(358)는 제 11 링크(356)의 제 2 끝부와 제 13 링크(358)의 제 1 끝부에서 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 13 링크(358)와 제 14 링크(359)는 제 14 링크(359)가 제 8 링크(353)와 교차하는 상태에서 서로 α의 각도로 제 13 링크(358)의 제 2 끝부와 제 14 링크(359)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
본 발명에 따라서, 동기기구는 더블 크랭크기구(252, 260, 352, 360)대신에 추가적인 암 링크(248, 249, 250, 251)를 유지하기 위해서 알려진 동기기어 또는 벨트풀리로 대체될 수 있다.
추가적인 암 링크기구는 본 발명에 따른 제 1 바람직한 실시예의 장점에 더하여 로보트 암(220)의 큰 회전반경없이 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)의 더 긴 이송을 야기한다.
도면중 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 3 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 로보트 암(220)은 제 1 암 링크(210)가 제 1 암 링크(210)의 제 1 및 제 2 끝부사이에서 피벗가능한 제 3 조인트부(210c)를 가지고 있고 그리고 제 2 암 링크(211)가 제 2 암 링크(211)의 제 1 및 제 2 끝부사이에서 피벗가능한 제 3 조인트부(211c)를 가지고 있는 것을 제외하고는, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)와 유사하고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)을 포함하여 도 11에 도시되어 있다.
제 1 구동 샤프트(225)는 제 1 구동 샤프트(225)와 동축관계로 제 2 구동 샤프트(226)를 회전가능하게 수용하도록 회전축(298)을 따라 중공으로 형성되어 있다.
로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 링크 유지기구(230, 231), 그리고 제 1 및 제 2 링크 작동기구(450, 460)로 구성된 링크 유지기구(232)를 더 포함하고 있다.
제 1 암 링크(210)는 회전축(298)주위로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전되도록 제 1 끝부에서 제 1 구동 샤프트(225)와 일체로 연결되어 있다. 제 2 암 링크(211)는 회전축(298)주위로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전되도록 제 1 끝부에서 제 2 구동 샤프트(226)에 일체로 연결되어 있다.
제 1 링크 유지기구(230)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 리테이너 링크(219)와 제 1 크랭크(262)를 더 포함하고 있다. 제 1 리테이너 링크(219)는 피벗가능한 제 3 조인트부(210c)로부터 제 1 암 링크(210)의 제 2 끝부까지 실제로 동일한 길이로 되어 있다.
제 1 크랭크(262)와 제 1 암 링크(210)는 크랭크(262)의 제 1 끝부와 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 3 조인트부(210c)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 1 크랭크(262)와 제 1 리테이너 링크(219)는 제 1 크랭크(262)의 제 2 끝부와 제 1 리테이너 링크(219)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 링크 유지기구(230)는 도시되지않은 제 1 출력링크와 제 1 핸들링부재를 더 포함하고 있는데, 이들은 각각 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 출력링크(216)와 제 1 핸들링부재(214)와 유사하다.
제 2 링크 유지기구(231)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 2 리테이너 링크(228)와 제 2 크랭크(234)를 더 포함하고 있다. 제 2 리테이너 링크(228)는 피벗가능한 제 3 조인트부(211c)에서부터 제 2 암 링크(211)의 제 2 끝부까지의 길이와 실제로 길이가 동일하다.
제 2 크랭크(234)와 제 2 암 링크(211)는 제 2 크랭크(234)의 제 1 끝부와 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 3 조인트부(211c)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 2 크랭크(234)와 제 2 리테이너 링크(228)는 제 2 크랭크(234)의 제 2 끝부와 제 2 리테이너 링크(228)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 2 링크 유지기구(231)는 도시되지않은 제 2 출력링크와 제 2 핸들링부재를 더 포함하고 있는데, 이것은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 2 출력링크(217)와 제 2 핸들링부재(215)와 각각 유사하다.
로보트 암기구(200)는 제 1 및 제 2 링크 작동기구(450, 460)로 구성되는 링크 작동기구(232)를 더 포함하고 있다.
제 1 링크 작동기구(450)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 크랭크(262), 제 1 커플링 링크(263), 그리고 제 1 연결 링크(265)를 포함하고 있다. 제 2 링크 작동기구(460)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 2 크랭크(234), 제 2 커플링 링크(235), 그리고 제 2 연결 링크(237)를 포함하고 있다.
제 1 및 제 2 커플링 링크(263, 235), 그리고 제 1 및 제 2 연결 링크(265, 237)는 서로 길이가 동일하다. 제 1 커플링 링크(263)와 제 1 연결 링크(265)의 길이의 합은 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)의 피벗가능한 제 3 조인트부(210c, 211c)사이의 길이의 합보다 크다. 제 1 및 제 2 크랭크(262, 234)는 실제로 서로 길이가 동일하다.
제 1 크랭크(262)와 제 1 커플링 링크(263)는 서로 예각으로 제 1 크랭크(262)의 제 1 끝부와 제 1 커플링 링크(263)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 제 1 연결 링크(265)와 제 2 암 링크(211)는 제 1 연결 링크(265)의 제 1 끝부와 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 3 조인트부(211c)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 연결 링크(265)와 제 2 커플링 링크(235)는 제 1 연결 링크(265)의 제 2 끝부와 제 1 커플링 링크(263)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능한 조인트(264)에 의해 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 2 크랭크(234)와 제 1 커플링 링크(263)는 서로 예각으로 제 2 크랭크(234)의 제 1 끝부와 제 2 커플링 링크(235)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다.
제 2 연결 링크(237)와 제 1 암 링크(210)는 제 2 연결 링크(237)의 제 1 끝부와 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 3 조인트부(211c)에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 2 연결 링크(237)와 제 2 커플링 링크(235)는 제 2 연결 링크(237)의 제 2 끝부와 제 2 커플링 링크(235)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능한 조인트(236)에 의해 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 및 제 2 커플링 링크(263, 235), 그리고 제 1 및 제 2 연결 링크(237, 265)는 회전축(298)에 대하여 서로로부터 반대방향에서 피벗가능한 조인트(264, 236)를 유지하도록 평행사변형 링크기구를 형성한다.
제 3 바람직한 실시예에서 로보트 암기구의 작동은 본 발명에 따른 제 1 바람직한 실시예에서 로보트 암기구(200)의 작동과 유사하다. 제 1 및 제 2 링크 작동기구(450, 460)는 항상 서로 평행한 관계로 제 1 및 제 2 크랭크(262, 234)를 유지시켜, 도시되지않은 제 1 및 제 2 핸들링부재가 항상 서로 평행한 관계로 될 수 있다. 제 1 및 제 2 크랭크(262, 234)는 링크 유지기구와 링크 작동기구로써 사용되여, 제 1 및 제 2 조인트링크(223, 224)와 같은 로보트 암(220)의 부품을 감소시킨다.
도면중 도 12를 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 4 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 끝부를 각각 가진 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)를 구성하여 도 12에 도시하고 있다. 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)는 각각 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 3 바람직한 실시예의 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)와 유사하다.
로보트 암(220)은 제 1 링크 유지기구(230)와 제 2 링크 유지기구(231)로 구성된 링크 유지기구(229)를 더 포함하고 있는데, 이들은 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 3 바람직한 실시예의 링크 유지기구(229), 제 1 링크 유지기구(230) 및 제 2 링크 유지기구(231)와 각각 유사하다.
제 1 링크 유지기구(230)는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 3 바람직한 실시예의 제 1 리테이너 링크(219)와 제 1 크랭크(262)와 유사하고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 각각 가진 제 1 리테이너 링크(219)와 제 1 크랭크(262)를 더 포함하 고 있다.
제 2 링크 유지기구(231)는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 3 바람직한 실시예의 제 2 리테이너 링크(228)와 제 2 크랭크(234)와 유사하고 그리고 제 1 및 제 2 끝부를 각각 가진 제 2 리테이너 링크(228)와 제 2 크랭크(234)를 더 포함하고 있다.
로보트 암기구(200)는 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(450, 460)를 포함하는 링크 작동 기구(232)를 더 포함한다.
제 1 링크 작동 기구(261)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 1 크랭크(262), 제 1 커플링 링크(263), 제 1 연결 링크(265), 그리고 제 1 지지링크(267)를 포함하고 있다. 제 2 링크 작동기구(460)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 제 2 크랭크(234), 제 2 커플링 링크(235), 제 2 연결 링크(237), 그리고 제 2 지지링크(269)를 포함하고 있다.
제 1 지지링크(267)는 제 1 커플링 링크(263)와 실제로 동일한 길이로 되어 있다. 제 2 지지링크(269)는 제 2 커플링 링크(235)와 실제로 동일한 길이로 되어 있다.
제 1 지지링크(267)와 제 2 암 링크(211)는 서로 예각으로 제 1 지지링크(267)의 제 1 끝부와 제 2 암 링크(211)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 제 1 지지링크(267)와 제 1 연결 링크(265)는 제 1 지지링크(267)의 제 2 끝부와 제 1 연결 링크(265)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다. 제 2 지지링크(269)와 제 1 암 링크(210)는 서로 예각으로 제 2 지지링크(269)의 제 1 끝부와 제 1 암 링크(210)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되어 있다. 제 2 지지링크(269)와 제 2 연결 링크(237)는 제 2 지지링크(269)의 제 2 끝부와 제 2 연결 링크(237)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되어 있다.
제 1 커플링 링크(263), 제 1 연결 링크(265), 제 1 지지 링크(267), 그리고 제 1 암 링크(210)의 피벗가능한 제 3 조인트부(210c)와 회전축(298)사이에서 링크부는 평행사변형 링크기구를 형성한다. 제 2 커플링 링크(235), 제 2 연결 링크(237), 제 2 지지 링크(269), 그리고 제 2 암 링크(211)의 피벗가능한 제 3 조인트부(211c)와 회전축(298)사이에서 링크부는 평행사변형 링크기구를 형성한다.
제 4 바람직한 실시예에서 로보트 암기구의 작동은 본 발명에 따른 제 3 바람직한 실시예에서 로보트 암기구(200)의 작동과 유사하다. 제 1 및 제 2 링크 작동기구(450, 460)는 항상 서로 평행관계로 제 1 및 제 2 크랭크(262, 234)를 유지하여, 도시되지않은 제 1 및 제 2 핸들링부재가 항상 서로 평행한 관계로 있게 할 수 있다. 이러한 로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 링크 작동기구(450, 460)의 다수의 겹쳐지는 조인트부의 수를 줄일 수 있다.
도 13을 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 5번째의 바람직한 실시예를 도시한다. 로보트 암기구(200)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)를 포함하고 본 발명에 따라 로보트 암 기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 암 링크(210) 및 제 2 암 링크(211)와 각각 유사한 로보트 암(220)을 포함하여 도 13에 도시된다.
제 1 암 링크(210)는 회전축(298) 주위에 시계방향 또는 반시계방향으로 회전되도록 제 1 끝부에서 제 1 구동 샤프트(225)에 일체로 연결된다. 제 2 암 링크(211)는 회전축(298) 주위에 시계방향 또는 반시계방향으로 회전되도록 제 1 끝부에서 제 2 구동 샤프트(226)에 일체로 연결된다.
제 1 구동 샤프트(225)는 제 1 구동 샤프트(225)와 동축관계로서 제 2 구동 샤프트(226)에 회전가능하게 수용되도록 회전축을 따라 중공을 갖추어 형성된다.
로보트 암기구(200)는 본 발명에 따라 제 3 실시예의 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(450, 460)의 제 1 및 제 2 크랭크(262, 234) 대신에 제 1 및 제 2 벨트-풀리(140, 141)를 포함하는 동기 기구(410)를 더 포함한다. 또한 동기 기구는 링크유지기구로서 작동한다. 제 1 및 제 2 벨트-풀리(140, 141)는 그들의 운동을 벨트(132, 133)에 의하여, 도시되지 않은, 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)의 제 2 끝부에 제공되는 출력 풀리에 전달한다. 이것은 핸들 부재의 자세를 유지시킨다. 벨트(132, 133)는 와이어에 의하여 대체될 수 있다. 벨트-풀리 기구는 동기기어에 의하여 대체될 수 있다. 이러한 간단한 구조는 스칼라 로보트로 이용가능하다.
도 14 내지 도 17을 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 6번째 바람직한 실시예가 도시된다. 로보트 암기구(200)는 피처리물을 각각 지지하고 핸들링 하기 위하여 제 1 및 제 2 핸들링부재(244, 245)를 포함하여 그리고 각각 제 1 및 제 2 끝부를 갖추어 도 14 내지 도 17에 도시된다. 제 1 및 제 2 핸들링부재는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 및 제 2 핸들링 지지 링크(246, 247)에 일체로 연결된다.
로보트 암기구(200)는 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211)와 유사하고 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 및 제 2 암 링크를 더욱 포함한다. 제 1 및 제 2 암 링크(274, 277)는 회전축(298) 주위로 회전가능하다.
로보트 암기구(200)는 회전축(298) 주위로 회전가능한 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225, 226)를 포함하고 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 1 바람직한 실시예의 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225, 226)와 각각 유사한 로보트 암 구동 기구(400)를 더욱 포함한다.
로보트 암기구(200)는 제 1 및 제 2 링크유지기구(230, 231)를 포함하는 링크유지기구(229)를 더 포함한다. 제 1 링크유지기구(230)는 제 1 리테이너 링크(281), 크랭크 부재(271), 및 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 출력 링크(285)를 포함한다. 제 1 리테이너 링크(281) 및 제 1 암 링크(274)는 실질적으로 서로의 길이가 동일하다. 제 1 출력 링크(285) 및 크랭크 부재(271)는 실질적으로 서로의 길이가 동일하다.
제 1 암 링크(274)는 제 1 암 링크(274)의 제 1 끝부에서 제 1 구동 샤프트(225)에 일체로 연결된다. 제 1 암 링크(274) 및 제 1 출력 링크(285)는 제 1 암 링크(274)의 제 2 끝부 및 제 1 출력 링크(285)의 제 1 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 1 리테이너 링크(281) 및 크랭크 부재(271)는 제 1 리테이너 링크(281)의 제 1 끝부 및 크랭크 부재(271)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 1 리테이너 링크(281) 및 제 1 출력 링크(285)는 제 1 리테이너 링크(281)의 제 2 끝부 및 제 1 출력 링크(285)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다.
제 1 암 링크(274), 제 1 리테이너 링크(281), 크랭크 부재(271), 및 제 1 출력 링크(285)는 평행 사변형 링크기구를 형성한다.
제 2 링크유지기구(231)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 2 리테이너 링크(283) 및 제 2 출력 링크(282)를 포함한다.
제 2 리테이너 링크(283) 및 제 2 암 링크(277)는 실질적으로 서로 길이가 동일하다. 제 2 출력 링크(282) 및 크랭크 부재(271)는 실질적으로 서로 길이가 동일하다.
제 2 암 링크(277)는 제 2 구동 샤프트(226)에 제 2 암 링크(277)의 제 1 끝 부에서 일체로 연결된다. 제 2 암 링크(277) 및 제 2 출력 링크(282)는 제 2 암 링크(277)의 제 2 끝부 및 제 2 출력 링크(282)의 제 1 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 2 유지 링크(283) 및 크랭크 부재(271)는 제 2 리테이너 링크(283)의 제 1 끝부 및 크랭크 부재(271)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 2 리테이너 링크(283) 및 제 2 출력 링크(282)는 제 2 리테이너 링크(283)의 제 2 끝부 및 제 2 출력 링크(282)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다.
제 2 링크유지기구(231)는 또한 제 1 링크 유지(230)의 구성요소로서 소용되는 크랭크 부재(271)를 더 포함한다.
제 2 암 링크(277), 제 2 리테이너 링크(283), 크랭크 부재(271), 및 제 2 출력 링크(282)는 평행사변형 링크기구를 형성한다.
로보트 암기구(200)는 제 1 추가 링크기구(240) 및 제 2 추가 링크기구(243)를 포함하는 추가 암 링크기구(299)를 더 포함한다. 제 1 추가 링크기구(240)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 3 및 제 4 암 링크(286, 288)를 포함한다. 제 2 추가 링크기구(243)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 5 및 제 6 암 링크(287, 289)를 포함한다.
제 3 암 링크(286) 및 제 1 핸들링 지지 링크(246)는 제 3 암 링크(286)의 제 1 끝부 및 제 1 핸들링 지지 링크(246)의 제 1 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 3 암 링크(286) 및 제 1 암 링크(274)는 제 3 암 링크(286)의 제 2 끝부 및 제 1 암 링크(274)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 3 암 링크(286) 및 제 1 출력 링크(285)는 제 3 암 링크(287)의 제 2 끝부 및 제 1 출력 링크(285)의 제 1 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다.
제 4 암 링크(288) 및 제 1 핸들링 지지 링크(246)는 제 4 암 링크(288)의 제 1 끝부 및 제 1 핸들링 지지 링크(246)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 4 암 링크(288) 및 제 1 리테이너 링크(281)는 제 4 암 링크(288)의 제 2 끝부 및 제 1 리테이너 링크(281)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 4 암 링크(288) 및 제 1 출력 링크(285)는 제 4 암 링크(288)의 제 2 끝부 및 제 1 출력 링크(285)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다.
제 3 암 링크(286), 제 4 암 링크(288), 제 1 핸들링 지지 링크(246), 및 제 1 출력 링크(285)는 평행사변형 링크기구를 형성한다. 이것은 제 3 암 링크(286) 및 제 4 암 링크(288)가 서로 평행한 관계로 제 1 핸들링 지지 링크(246) 및 제 1 출력 링크(285)를 항상 피벗하게 유지하는 현상을 초래한다.
제 5 암 링크(287) 및 제 2 핸들링 지지 링크(247)는 제 5 암 링크(287)의 제 1 끝부 및 제 1 핸들링 지지 링크(246)의 제 1 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 5 암 링크(287) 및 제 2 암 링크(277)는 제 5 암 링크(287)의 제 2 끝부 및 제 2 암 링크(277)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 5 암 링크(287) 및 제 2 출력 링크(282)는 제 5 암 링크(287)의 제 2 끝부 및 제 2 출력 링크(282)의 제 1 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다.
제 6 암 링크(289) 및 제 2 핸들링 지지 링크(247)는 제 6 암 링크(289)의 제 1 끝부 및 제 2 핸들링 지지 링크(247)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다. 제 6 암 링크(289) 및 제 2 출력 링크(282)는 제 6 암 링크(289)의 제 2 끝부 및 제 2 출력 링크(282)의 제 2 끝부에서 서로 피벗되게 연결된다.
제 5 암 링크(287), 제 6 암 링크(289), 제 2 핸들링 지지 링크(247), 및 제 2 출력 링크(282)는 평행사변형 링크기구를 형성한다. 이것은 제 5 암 링크(287) 및 제 6 암 링크(289)가 서로 평행한 관계로 제 2 핸들링(247) 및 제 2 출력 링크(282)를 항상 피벗가능하게 유지하는 현상을 초래한다.
로보트 암(220)은 제 1 추가 링크기구(240)용 제 1 동기 기구(283M) 및 제 2 추가 링크기구(243)용 제 2 동기 기구(280M)를 포함하는 동기 기구(241)를 더 포함한다.
제 1 동기 기구(283M)는 제 1 암 링크(274)의 제 2 끝부에 고정된 제 1 동기기어(279) 및 제 1 출력 링크(285)의 제 2 끝부에 회전가능하게 제공된 제 2 동기기어(284)로 이루어진다. 제 1 및 제 2 동기기어(279, 284)는 제 1 암 링크(274) 및 제 1 리테이너 링크(281)에 대하여 제 3 암 링크(286) 및 제 4 암 링크(288)를 서로 회전시키도록 결합된다.
제 2 동기 기구(280M)는 제 2 암 링크(277)의 제 1 끝부에 고정된 제 3 동기기어(278g) 및 제 2 출력 링크(282)의 제 2 끝부에 회전가능하게 제공된 제 4 동기기어(281g)를 포함한다. 제 3 및 제 4 동기기어(278g, 281g)는 제 2 암 링크(277) 및 제 2 리테이너 링크(283)에 대하여 제 5 암 링크(287) 및 제 6 암 링크(289)를 서로 회전시키도록 결합된다.
로보트 암(220)은 지지 부재(273) 및 레버 기구(270)를 포함하는 링크 작동 기구(290)를 더 포함한다. 레버 기구(270)는 제 1 및 제 2 끝부를 갖추고 있는 링크 부재(272)를 더 포함한다. 레버 기구(270)는 링크유지기구(229)의 구성요소로서 사용되는 크랭크 부재(271)를 더 포함한다.
크랭크 부재(271)는 크랭크 부재(271)의 제 1 끝부에서 지지 부재(273)에 일체로 연결된다. 링크 부재(272)는 크랭크 부재(271)보다 더 길고 크랭크 부재(271)의 대향쪽 제 1 끝부에서 지지 부재(273)에 일체로 연결된다.
링크 작동 기구(290)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 갖추고 있는 제 1 작동 링크(275), 제 2 작동 링크(276), 제 3 작동 링크(291), 및 제 4 작동 링크(292)를 더 포함한다.
링크 작동 기구(290)는 T자형상으로 형성되고, 제 1 및 제 2 끝부 및 제 1 및 제 2 끝부 사이의 제 3 끝부를 갖추고 있는 제 5 작동 링크(293)를 더 포함한다.
제 1 작동 링크(275) 및 제 2 작동 링크(276)는 서로의 길이가 동일하다. 제 1 작동 링크(275) 및 제 2 작동 링크(276)는 제 3 작동 링크(291)보다 약간 더 길다.
제 3 작동 링크(291) 및 제 4 작동 링크(292)는 서로 길이가 동일하다.
제 1 작동 링크(275)는 제 1 작동 링크(275)의 제 1 끝부에서 제 1 구동 샤프트(225)에 일체로 연결되고 축(298) 주위에서 회전한다. 제 2 작동 링크(276)는 제 2 작동 링크(276)의 제 1 끝부에서 제 2 구동 샤프트(226)에 일체로 연결되고 축(298) 주위에서 회전한다.
제 1 작동 링크(275) 및 제 3 작동 링크(291)는 제 1 작동 링크(275)의 제 2 끝부 및 제 3 작동 링크(291)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 2 작동 링크(276) 및 제 4 작동 링크(292)는 제 2 작동 링크(276)의 제 2 끝부 및 제 4 작동 링크(292)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 3 작동 링크(291) 및 제 5 작동 링크(293)는 제 3 작동 링크(291)의 제 2 끝부 및 제 5 작동 링크(293)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 4 작동 링크(292) 및 제 5 작동 링크(293)는 제 4 작동 링크(292)의 제 2 끝부 및 제 5 작동 링크(293)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 링크 부재(272) 및 제 5 작동 링크(293)는 링크 부재(272)의 제 2 끝부 및 제 5 작동 링크(293)의 제 3 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다.
제 1 및 제 2 암 링크(274, 277)가 원위치로 이동되는 경우, 제 1 및 제 2 암 링크(274, 277)는 도 16에 도시한 바와 같이 일직선상의 상태이고, 제 1 및 제 2 핸들링부재(244, 245)는 겹쳐진 동일 위치에 위치된다.
이러한 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 크랭크(262, 234)는 링크유지기구 및 링크 작동 기구 양자로서 소용되어, 제 1 및 제 2 조인트링크(223, 224)와 같은 로보트 암(220)의 부품의 갯수를 줄인다.
도 18을 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 7 바람직한 실시예가 도시된다. 로보트 암기구(200)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 및 제 2 암 링크(274, 277)를 포함하고, 제 6 바람직한 실시예에서 로보트 암기구(200)의 제 1 및 제 2 암 링크(274, 277)와 각각 유사한, 로보트 암(220)을 포함하여 도 18에 도시된다.
로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있고 제 6 바람직한 실시예에서 로보트 암 기구(200)의 제 1 및 제 2 리테이너 링크(281, 283)와 각각 유사한 제 1 및 제 2 리테이너 링크(281, 283)를 더욱 포함한다.
본 바람직한 실시예에 있어서 로보트 암기구의 구조는 레버기구(294)를 제외하면s제 6 바람직한 실시예에서 로보트 암기구(200)의 구조와 유사하다.
레버 기구(294)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 갖추고 있는 제 2 크랭크 부재(296) 및 제 1 크랭크 부재(295)를 포함한다. 레버 기구(294)는 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225, 226)와 동축관계인 지지 부재(297)를 포함한다. 제 1 크랭크 부재(295)는 제 1 끝부에서 지지 부재(297)에 일체로 연결된다. 제 1 크랭크 부재(295) 및 제 1 리테이너(281)는 제 1 크랭크 부재(295)의 제 2 끝부 및 제 1 리테이너 링크(281)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다.
제 2 크랭크 부재(295)는 제 1 끝부에서 지지부재(297)에 일체로 연결된다. 제 2 크랭크 부재(296) 및 제 2 리테이너(283)는 제 2 크랭크 부재(296)의 제 2 끝부 및 제 2 리테이너 링크(283)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다.
제 1 크랭크 부재(295) 및 제 2 크랭크 부재(296)는 서로 예각(Ψ)으로 배열된다.
상기 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 암 링크(274, 277) 및 핸들링부재(244, 245)와 같은 로보트 암의 설계는 제 1 및 제 2 크랭크 부재(295, 296)의 길이 및 각도(Ψ)를 임의로 선택하여 변경시킴으로써 설계될 수 있다.
도 19 내지 도 21을 참조하면, 본 발명에 따른 로보트 암기구의 제 8 실시예가 도시된다. 로보트 암기구(200)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 갖추고 있는 제 1 및 제 2 암 링크(300, 305)를 포함하고, 회전축(298) 주위로 회전가능한 로보트 암(220)을 포함하여 도 18에 도시된다. 제 1 암 링크(300)는 제 1 암 링크(300)의 제 1 및 제 2 끝부 사이에서 피벗가능한 제 3 조인트부(396)를 갖추고 있다. 제 2 암 링크(305)는 제 2 암 링크(305)의 제 1 및 제 2 끝부 사이에서 피벗가능한 제 3 조인트부(397)를 갖추고 있다.
로보트 암기구(200)는 회전축(298) 주위로 회전가능한 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225, 226)를 포함한다.
로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 및 제 2 리테이너 링크(301, 292)를 포함한다.
제 1 암 링크(300)는 회전축(298) 주위로 회전가능하고 제 1 암 링크(300)의 제 1 끝부에서 제 1 구동 샤프트(225)에 일체로 연결된다. 제 2 암 링크(305)는 제 1 끝부에서 회전축(298) 주위로 회전가능한 제 1 구동 샤프트(225)에 일체로 연결된다. 제 2 암 링크(305)는 회전축에 대하여 회전가능하고 제 1 구동 샤프트(225)의 제 1 끝부에 일체로 연결된다. 제 1 및 제 2 암 링크(300, 305)는 서로로부터 실질적으로 180도의 각도로 위치결정된다.
로보트 암(220)은 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(206, 207)를 포함하는 링크 작동 기구(205)를 더 포함한다.
제 1 링크 작동 기구(206)는 제 1 암 링크(300)와 피벗가능하게 연결된다. 제 2 링크 작동 기구(207)는 제 2 암 링크(305)와 피벗가능하게 연결된다.
제 1 링크 작동 기구(206)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 긴 링크(276), 제 1 연결 링크(303), 및 제 1 레버 부재(302)를 더 포함한다. 제 1 레버 부재(302)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 1 커플링 링크(272) 및 제 1 크랭크(385)를 포함한다. 제 1 긴 링크(276)는 회전축(298) 주위로 회전가능하다.
제 2 링크 작동 기구(207)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 2 긴 링크(307), 제 2 연결 링크(304), 및 제 2 레버 부재(306)를 포함한다. 제 2 레버 부재(306)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 2 커플링 링크(372), 및 제 2 크랭크(381)를 포함한다. 제 2 긴 링크(30)는 회전축(298) 주위로 회전가능하다.
제 1 크랭크(385) 및 제 1 커플링 링크(272)는 서로 예각으로 제 1 크랭크(385)의 제 1 끝부 및 제 1 커플링 링크(272)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결된다. 제 1 크랭크(385) 및 제 1 암 링크(300)는 제 1 크랭크(385)의 제 1 끝 부 및 제 1 암 링크(300)의 피벗가능한 제 1 조인트부(396)에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 1 크랭크(385) 및 제 1 리테이너 링크(301)는 제 1 크랭크(385)의 제 2 끝부 및 제 1 리테이너 링크(301)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 1 커플링 링크(272) 및 제 1 연결 링크(303)는 제 1 커플링 링크(272)의 제 2 끝부 및 제 1 연결 링크(303)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 1 연결 링크(303) 및 제 1 긴 링크(276)는 제 1 연결 링크(303)의 제 2 끝부 및 제 1 긴 링크(276)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 1 및 제 2 긴 링크(276, 307)는 제 1 및 제 2 긴 링크(276, 307)의 제 1 끝부에서 서로가 예각으로 일체로 연결되고 회전축(298) 주위로 회전가능하다.
제 2 크랭크(381) 및 제 2 커플링 링크(372)는 제 2 크랭크(381)의 제 1 끝부 및 제 2 커플링 링크(372)의 제 1 끝부에서 서로가 예각으로 서로가 일체로 연결된다. 제 2 크랭크(381) 및 제 2 암 링크(305)는 제 2 크랭크(381)의 제 1 끝부 및 제 2 암 링크(305)의 피벗가능한 제 1 조인트부(397)에서 서로가 피벗가능하게 연결된다. 제 2 크랭크(381) 및 제 2 리테이너 링크(292)는 제 2 크랭크(381)의 제 2 끝부 및 제 2 리테이너 링크(292)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 2 커플링 링크(372) 및 제 2 연결 링크(304)는 제 2 커플링 링크(372)의 제 2 끝부 및 제 2 연결 링크(304)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다. 제 2 연결 링크(304) 및 제 2 긴 링크(307)는 제 2 연결 링크(304)의 제 2 끝부 및 제 2 긴 링크(307)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된다.
상기 실시예에 있어서, 단지 두개의 전기 모터만이 제 1 및 제 2 암 링크(300, 305)를 수축시키고 신장시키고, 제 1 및 제 2 암 링크(300, 305)가 결합되는 상태하에서 함께 그들을 회전시킨다. 제 1 및 제 2 암 링크(300, 305)가 회전하도록 로보트-암 지지 디스크를 회전시킬 필요는 없다. 이것은 본 발명의 상기 실시예에 따른 로보트 암기구(200)가 구조상 간단하게 되는 사실을 초래한다.
본 발명에 따라, 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225, 226)의 회전축은 서로 동축선상에 있지 않을 수 있다.
본 발명에 따라, 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225, 226)의 회전축 및 제 1 및 제 2 암 링크의 회전축은 서로 동축선 상에 있지 않을 수 있다.
본 발명에 따라, 크랭크 및 커플링 링크의 비는 임의로 선택하여 만들 수 있다.
본 발명에 따라, 커플링 링크에 대한 크랭크의 길이비는 임의로 선택되어 나누어질 수 있다.
본 발명에 따라, 제 1 조인트부(210a, 211a, 297, 397)은 제 1 및 제 2 암 링크(210, 211, 300, 305)의 임의의 바람직한 위치로 설계될 수 있다.
본 발명에 따라, 연결 링크는 연결 링크의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결된 링크를 통하여 커플링 링크와 피벗가능하게 연결된다.
본 발명에 따라, 리테이너 링크는 크랭크 대신에 커플링 링크의 제 2 끝부와 피벗가능하게 연결된다.
본 발명의 로보트 암기구는 워크, 즉 피처리물을 취급하기 위해 암이 수축 및 신장되도록 로보트 암기구가 작동되는 반도체를 제조하는 공정에 사용된다. 이들 피처리물은 로보트 암기구에 의해 이송되고 그리고 작업대상에 싣는 예를들면, 웨이퍼 및 다른 정밀부품과 같은 것을 포함한다.
또한, 상기 알려진 제 1 종래의 로보트 암기구는 3개의 전기모터가 필요한데; 2개의 모터는 로보트 암을 수축 및 신장시킬 목적으로 링크를 구동하고 그리고 1개의 모터는 로보트 암을 회전시킬 목적으로 회전디스크를 구동하여, 크기가 크고 비용이 많이든다.
상기 알려진 제 2 종래의 로보트 암기구는 로보트 암의 회전각도의 한계를 가지고 있고, 암을 수축 및 신장시키기위한 전기모터는 회전디스크의 회전축으로부터 멀리 배치되고 그리고 그 주위에서 움직인다. 회전의 상기 한계를 피하기 위해서, 브러시 전기 접축기구와 같은 장치가 부가되어, 비용이 많이 들고 그리고 구조가 복잡하다.
상기 알려진 제 3 종래의 로보트 암기구는 다이아몬드형상의 링크기구가 회전축을 넘어 핸들링부재를 가져갈 수 없고 그리고 이들이 로보트 암기구의 다른 부와 간섭될 수 있는 이렇게 긴 링크로 장치되어 있다.
그러므로, 본 발명은 상기 단점을 극복하는 로보트 암기구를 제공하는 것이고 그리고 단지 2개의 모터에 의해 회전각도의 한계없이 회전하고 그리고 수축 및 신장되는 로보트 암을 구동할 수 있는 로보트 암기구를 제공하는 것이다.

Claims (21)

  1. 로보트 암 기구에 있어서,
    제 1 핸들링부재(214; 244) 및 제 2 핸들링부재(215; 245)를 포함하며, 피처리물을 지지하고 핸들링 하기 위한 복수의 핸들링부재(214, 215; 244, 245);
    상기 제 1 핸들링부재(214; 244, 300)와 상기 제 2 핸들링부재(215; 245, 305)에 각각 연결된 제 1 암 링크(210; 274, 300)와 제 2 암 링크(211; (277 및 276); 305)를 포함하고, 소정의 회전축(298) 주위로 회전가능한 로보트 암(220); 및
    상기 로보트 암(220)을 구동시키기 위해서, 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)에 일체로 연결된 제 1 구동축(225) 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)에 일체로 연결된 제 2 구동축(226)을 포함하는 로보트 암 구동 기구(400);
    를 포함하고
    상기 제 1 암 링크(210; (210 및 269); (274 및 275); 300)는 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 피벗가능한 제 1 조인트부(210a; 210c; 225; 396)를 가지며,
    상기 제 2 암 링크(211; (211 및 267); (277 및 276); 305)는 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 피벗가능한 제 1 조인트부(211a; 211c; 226; 397)를 가지고,
    상기 로보트 암(220)은
    상기 제 1 및 제 2 핸들링부재(214, 215; 244, 245)의 자세를 유지시키기 위한 링크유지기구(229; 410);
    상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276);300 및 305) 사이의 회전각도에 따라 링크유지기구(229;410)를 작동시키기 위한 링크 작동 기구(232; 290; (206 및 207); (450 및 460));
    를 더 포함하고,
    상기 링크 작동 기구(232; 290; (206 및 207);(450 및 460))는
    크랭크(140, 141; 202; 262, 234; 271; 385, 381)와 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가진 커플링 링크(134, 133; 203; 263, 235; 272; 372a; 372b)로 구성되는 레버 부재(233; (271 및 272); 302, 306); 및
    제 1 및 제 2 끝부를 가지고, 상기 제 1 끝부에서 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)의 다른 한쪽(211 또는 210; (277 및 276) 또는 (274 및 275); 305 또는 300)에 피벗가능하게 연결되고, 제 2 끝부에서 상기 레버 부재(233; (271 및 272); 302, 306)의 상기 커플링 링크(134, 133; 203; 263, 235; 272; 372a, 372b)에 연결된 연결 링크(204; 265, 237; (291, 292 및 293); 303, 304);를
    포함하고, 상기 크랭크는 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)의 하나(210 또는 211; (274 및 275) 또는 (277 및 276); 300 또는 305)의 상기 피벗가능한 제 1 조인트부(210a 또는 211a; 210c 또는 211c; 225 또는 226; 396 또는 397)에 피벗가능하게 연결되고, 상기 커플링 링크(134, 133; 203; 263; 235; 272; 372a, 372b)가 상기 크랭크(140, 141; 202; 262, 234; 271; 385, 381)에 일체적으로 연결되고, 상기 레버 부재(233; (271 및 272); 302, 306)의 상기 크랭크(140, 141; 202; 262, 234; 271; 385, 381)는 링크유지기구(229; 410)에 피벗가능하게 연결된 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  2. 제 1 항에 있어서, 링크유지기구(229; 410)는 평행사변형 링크기구를 형성하는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  3. 제 2 항에 있어서, 링크유지기구(229; 410)는 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; 274 및 277; 300 및 305)의 하나와 평행한 관계인 리테이너 링크(132, 133; 219, 228; 281, 283; 301, 292)를 포함하고 있고, 상기 리테이너 링크(132, 133; 219, 228; 281, 283; 301, 292)는 상기 레버 부재(233; (271 및 272); 302. 306)의 상기 크랭크(140, 141; 202; 262, 234; 271; 385, 381)와 피벗가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  4. 제 2 항에 있어서, 링크유지기구(229; 410)는 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; 274 및 277; 300 및 305)의 하나와 평행한 관계인 리테이너 링크(132, 133; 219, 228; 281, 283; 301, 292) 및 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 회전축(298) 주위로 회전가능한 조인트링크(223 및 224)를 포함하고,
    상기 리테이너 링크(132, 133; 219, 228; 281, 283; 301, 292)는 상기 조인트링크(223 및 224)를 통해서 상기 레버 부재(233; (271 및 272); 302, 306)의 상기 크랭크(140, 141; 202; 262, 234; 271; 385, 381)에 의해서 작동되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  5. 제 1 항에 있어서, 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225 및 226)는 동일 속도와 동일 회전방향으로 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)를 회전 작동시킬 수 있게 하여 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)가 함께 결합된 상태하에서 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)가 회전되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225 및 226)는 회전축(298)과 동축선상에 있는 관계이고 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)는 서로 독립적으로 회전가능한 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 링크 작동 기구(232)는 제 1 및 제 2 링크유지기구(230, 231)를 포함하고,
    상기 유지기구는 평행사변형 링크 기구를 형성하면서 제 1 암 링크(210; 274; 300)를 피벗가능하게 유지하는 제 1 링크유지기구(230); 및
    또 다른 평행사변형 링크기구를 형성하면서 제 2 암 링크(211; 277; 305)를 피벗가능하게 유지하는 제 2 링크유지기구(231)를 포함하고,
    상기 제 1 링크유지기구(230)는 제 1 및 제 2 끝부를 갖추고 있는 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)를 포함하고, 제 1 조인트링크(140; 223; 262; 271; 295; 385)는 제 1 및 제 2 끝부를 가지며 제 1 암 링크(210; 274; 300)보다 더 짧고, 제 1 출력 링크(216; 285)는 실질적으로 상기 제 1 조인트링크(140; 223; 262; 271; 295; 385)의 길이와 동일하고 제 1 핸들링부재(214; 244)에 연결되고, 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301) 및 상기 제 1 조인트링크(140; 223; 262; 271; 295; 385)는 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 제 1 출력 링크(216; 285) 및 제 1 암 링크(210; 274; 300)는 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 제 1 출력 링크(216; 285) 및 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)는 서로 피벗가능하게 연결되고,
    상기 제 2 링크유지기구(231)는 제 1 및 제 2 끝부를 갖추고 있는 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)를 포함하고, 제 2 조인트링크(224; 234; 271; 296; 381)는 제 1 및 제 2 끝부를 가지며 제 2 암 링크(211; 277; 305)보다 더 짧고, 제 2 출력 링크(217; 282)는 실질적으로 상기 제 2 조인트링크(224; 234; 271; 296; 381)의 길이와 동일하고 제 2 핸들링부재(215; 245)에 연결되고, 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R) 및 상기 제 2 조인트링크(224; 234; 271; 296; 381)는 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 제 2 출력 링크(217; 282) 및 제 2 암 링크(211; 277; 305)는 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 제 2 출력 링크(217; 282) 및 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)는 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고,
    상기 링크 작동 기구(232; 290; (260 및 270); (450 및 460))는 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305) 중의 하나를, 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305) 중의 다른 하나의 동작에 의해서 작동하기 위해 채택되고,
    상기 레버 부재(233; (271 및 272); 302, 306)의 상기 크랭크(140, 141; 202; 262, 234; 271; 385, 381)는 제 2 끝부에서 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)에 피벗가능하게 연결되고 상기 제 2 조인트링크(224; 234; 271; 296; 381)와 길이가 동일하며 평행한 관계이고,
    상기 연결 링크(204; 265, 237; (291, 292 및 293); 303, 304)는 제 1 끝부에서 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 상기 피벗가능한 제 1 조인트부(210a; 210c; 225; 396)에 피벗가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  8. 제 7 항에 있어서, 제 2 리테이너 링크(228)는 제 2 리테이너 링크(228)의 제 1 및 제 2 끝부 사이에, 상게 레버 부재(233)의 상기 크랭크(202)의 제 2 끝부와 피벗가능하게 연결된 조인트부(228a)를 가지고, 상기 제 1 암 링크(210)는 제 1 끝부에서 제 1 구동 샤프트(225)에 일체로 연결되고, 상기 제 2 암 링크(211)는 제 1 끝부에서 상기 제 2 구동 샤프트(226)에 일체로 연결되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  9. 제 7 항에 있어서, 상기 레버 부재(233; (271 및 272); 302, 306)의 상기 커플링 링크(134, 133; 203; 263, 235; 272; 372a, 372b) 및 상기 연결 링크(204; 265, 237; (291, 292 및 293); 303, 304)의 길이의 합은 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a, 210c; 225; 396)와 회전축(298) 사이의 길이의 합보다 더 큰 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  10. 제 7 항에 있어서, 링크 작동 기구(232; 290; (206 및 207); (450 및 460))는 회전축(298)에 대하여 서로 대향한 쪽에서 위치결정된 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(230 및 231)로 구성되고,
    상기 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(230 및 231)의 일부를 각각 형성하는 제 1 크랭크(140; 262; 271; 295; 385) 및 제 2 크랭크(141; 234; 271; 296; 381);
    상기 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(230 및 231)의 일부를 각각 형성하고, 실질적으로 길이가 같은 제 1 커플링 링크(263; 372a) 및 제 2 커플링 링크(235; 272; 372b);
    상기 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(230 및 231)의 일부를 각각 형성하고, 실질적으로 길이가 서로 같은 제 1 연결 링크(265; (291, 292 및 293)) 및 제 2 연결 링크(237; 304);
    상기 제 1 크랭크(140; 262; 271; 295; 385)는 상기 제 1 조인트링크(140; 262; 271; 295; 385)로 소용되고, 상기 제 1 크랭크(140; 262; 271; 295; 385) 및 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)는 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a; 210c; 225; 396)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 크랭크(140; 262; 271; 295; 385) 및 상기 제 1 커플링 링크(263; 372a)는 상기 제 1 커플링 링크(263; 372a)의 상기 제 1 끝부에서 서로 예각을 이루며 서로 일체적으로 연결되고, 상기 제 1 크랭크(140; 262; 271; 295; 385) 및 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)는 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 연결 링크(265; (291, 292 및 293)) 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)는 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a; 210c; 225; 396)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 크랭크(141; 234; 271; 296; 381)는 상기 제 2 조인트 링크(224; 271; 381)로 소용되고, 상기 제 2 크랭크(141; 234; 271; 296; 381) 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)는 제 2 크랭크(141; 234; 271; 296; 381)의 제 1 끝부 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a; 210c; 225; 396)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 크랭크(141; 234; 271; 296; 381) 및 상기 제 2 커플링 링크(225; 272; 372b)는 제 2 커플링 링크(235; 272; 372b)의 제 1 끝부에서 서로 일체적으로 연결되고, 제 2 크랭크(141; 234; 271; 296; 381) 및 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)는 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 연결 링크(237; 304) 및 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)는 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 피벗가능한 제 1 조인트부(210a; 210c; 225; 396)에서 서로 피벗가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  11. 제 10 항에 있어서, 제 1 커플링 링크(263; 235; 272; 372a; 372b) 및 제 1 연결 링크(265, 237; (291, 292 및 293); 303, 304)의 길이의 합은 회전축(298)과 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211;(210 및 269) 및 (211 및 269); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)의 상기 피벗가능한 제 1 조인트부(210a, 211a; 210c, 211c; 396, 397)사이에서 길이의 합보다 더 큰 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  12. 제 10 항에 있어서, 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 상기 제 1 커플링 링크(263)와 실질적으로 길이가 같은 제 1 지지 링크(267); 및
    제 1 및 제 2 끝부를 가지고 상기 제 2 커플링 링크(235)와 실질적으로 길이가 같은 제 2 지지 링크(269);를 더 포함하고,
    제 1 지지 링크(267) 및 제 2 암 링크(211)는 제 2 암 링크(211)의 제 1 끝부에서 서로가 예각으로 서로 일체로 연결되고, 제 1 지지 링크(267) 및 제 1 연결 링크(265)는 제 1 연결 링크(265)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고,
    제 2 지지 링크(269) 및 제 1 암 링크(210)는 제 1 암 링크(210)의 제 1 끝부에서 서로가 예각으로 서로 일체로 연결되고, 제 2 지지 링크(269) 및 제 2 연결 링크(267)는 제 2 연결 링크(237)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  13. 제 7 항에 있어서, 상기 레버 부재(271 및 272)의 상기 크랭크(271)는 회전축(298)에서 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211)의 피벗가능한 조인트부(225 및 226)에 피벗가능하게 연결되고,
    상기 링크 작동 기구(290)는
    제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있으면서 회전축(298) 주위로 회전가능한 제 1 및 제 2 작동 링크(275, 276); 및
    제 1 및 제 2 작동 링크(275, 276) 사이에서 위치결정되고, 회전축(298) 주위로 회전가능한 추가 작동 링크(272); 를 더 포함하고
    제 1 작동 링크(275) 및 제 1 암 링크(274)는 제 1 암 링크(274)의 제 1 끝부에서 일체로 연결되고, 제 2 작동 링크(276) 및 제 2 암 링크(277)는 제 2 암 링크(277)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되고, 추가 작동 링크(272)는 상기 레버 부재(271 및 272)의 상기 크랭크(271)에 일체로 연결되고 상기 레버 부재(271 및 272)의 커플링 링크(272)로 소용되도록 작동하는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  14. 제 13 항에 있어서, 대문자 T자 형상으로 형성되고, 상기 추가 작동 링크 및 제 1 및 제 2 작동 링크(275 및 276) 각각의 사이에 개입하는 재차 주가 작동 링크(293)를 포함하는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 레버 부재(271, 272)의 상기 크랭크(271)는 서로 일체로 형성된 제 1 조인트 링크(271)와 제 2 조인트 링크(271)로 소용되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  16. 제 13 항에 있어서, 상기 레버 부재(271, 272)의 상기 크랭크(271)는 회전축(298) 주위로 서로 예각으로 유지되는 제 1 조인트링크(295) 및 제 2 조인트링크(296)로 소용되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  17. 제 7 항에 있어서, 상기 링크 작동 기구(206 및 207)는 제 1 및 제 2 링크 작동 기구(206, 207)로 구성되고,
    상기 제 1 링크 작동 기구(230)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 있는, 제 1 레버 부재(302),제 1 연결 링크(303) 그리고 제 1 긴 링크(376)를 포함하고, 상기 제 1 긴 링크(376)는 회전축(298) 주위로 회전가능하고, 상기 제 1 레버 부재(302)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 있는 제 1 크랭크(140; 262; 271; 295; 385)와 제 1 커플링 링크(263; 372a)를 포함하고,
    제 2 링크 작동 기구(231)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 있는 제 2 레버 부재(306), 제 2 연결 링크(237; 304) 그리고 제 2 긴 링크(307)를 포함하고, 상기 제 2 긴 링크(307)는 회전축(298) 주위로 회전가능하고, 제 2 레버 부재(306)는 각각 제 1 및 제 2 끝부를 가지고 있는 제 2 크랭크(381)와 제 2 커플링 링크(372b)를 구비하고, 상기 제 1 크랭크(385)와 상기 제 1 커플링 링크(372b)는 서로 예각을 이루며 일체적으로 연결되고, 상기 제 1 크랭크(385) 및 상기 제 1 암 링크(300)는 상기 제 1 암 링크(300)의 피벗가능한 제 1 조인트부(396)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 크랭크(385) 및 상기 제 1 리테이너 링크(301L)는 상기 제 1 리테이너 링크(301L)의 상기 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 커플링 링크(372a) 및 상기 제 1 연결 링크(303)는 서로 피벗가능하게 연결된 상기 제 1 연결 링크(303)와 상기 제 1 긴 링크(376)의 상기 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 및 제 2 긴 링크(376 및 307)는 예각을 이루면서 서로 일체적으로 연결되고,
    상기 제 2 크랭크(381) 및 상기 제 2 커플링 링크(372b)는 서로 예각을 이루면서 일체적으로 연결되고, 상기 제 2 크랭크(381) 및 상기 제 2 암 링크(305)는 상기 제 2 암 링크(305)의 피벗가능한 제 1 조인트부(396)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 크랭크(381) 및 상기 제 2 리테이너 링크(301R)는 상기 제 2 리테이너 링크(301R)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 커플링 링크(372) 및 상기 제 2 연결 링크(304)는 상기 제 2 연결 링크(304)의 제 1끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고,
    상기 제 2 연결 링크(304) 및 상기 제 2 긴 링크(307)는 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 암 링크(300) 및 상기 제 2 암 링크(305)는 상기 제 1 구동 샤프트(225)에 일체적으로 연결되어 회전축(298) 주위로 회전하고, 상기 제 1 및 제 2 긴 링크(376 및 307)는 제 2 구동 샤프트(226)에 일체적으로 연결되어 회전축(298) 주위로 회전하는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  18. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 출력 링크(216, 217,; 285, 282)의 길이와 각각 실질적으로 동일하고, 상기 제 1 및 제 2 핸들링 부재(244 및 245)에 일체적으로 연결된 제 1 및 제 2 핸들링 지지 링크(246 및 247);
    제 1 및 제 2 추가 암 링크기구(248 및 250; 288 및 289)로서, 상기 제 1 추가 링크기구(240)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있으면서 실질적으로 길이가 서로 동일한 제 3 및 제 4 암 링크(249, 248; 286, 288)를 포함하고, 상기 제 3 암 링크(249; 286) 및 상기 제 1 핸들링 지지 링크(246)는 상기 제 3 암 링크(249; 286)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 3 암 링크(249; 286) 및 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)는 상기 제 3 암 링크(249 및 286)의 제 2 끝부 및 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 3 암 링크(249,286) 및 상기 제 1 출력 링크(216; 285)는 상기 제 3 암 링크(249; 286)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 4 암 링크(248; 288) 및 상기 제 1 핸들링 지지 링크(246)는 상기 제 4 암 링크(248; 288)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 4 암 링크(248; 288) 및 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301L)는 상기 제 4 암 링크(248; 288)의 제 2 끝부 및 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)의 제 2 끝부에서 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 4 암 링크(248; 288) 및 상기 제 1 출력 링크(216; 285)는 상기 제 4 암 링크(248; 288)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 추가 링크기구(243)는 제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있으면서 서로가 실질적으로 길이가 동일한 제 5 및 제 6 암 링크((251; 287) 및 (260; 289))를 포함하고, 상기 제 5 암 링크(251; 287) 및 상기 제 2 핸들링 지지 링크(247)는 상기 제 5 암 링크(251; 287)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 5 암 링크(251; 287) 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)는 상기 제 5 암 링크(251; 287)의 제 2 끝부 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 5 암 링크(251; 287) 및 상기 제 2 출력 링크(217; 282)는 상기 제 5 암 링크(251; 287)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 6 암 링크(260; 289) 및 상기 제 2 핸들링 지지 링크(247)는 상기 제 6 암 링크(260; 289)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 6 암 링크(260; 289) 및 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)는 상기 제 6 암 링크(260; 289)의 제 2 끝부 및 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 6 암 링크(260; 289) 및 상기 제 2 출력 링크(217; 282)는 상기 제 6 암 링크(260; 289)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되는 제 1 및 제 2 추가 암 링크기구(248 및 250; 288 및 289); 및
    상기 제 1 암 링크(210; 274) 및 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)에 대하여 상기 제 1 추가 링크기구(240)를 회전시키기 위한 제 1 동기 기구(241; 283M)와 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305) 및 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)에 대하여 상기 제 2 추가 링크기구(243)를 회전시키기 위한 제 2 동기 기구(242; 280M)를 포함하는 동기 기구(241; 242; 241M);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  19. 제 18 항에 있어서, 동기 기구(214, 242)는 제1 및 제 2 동기 기구(214, 242)로 이루어지고,
    상기 제 1 동기 기구(214)는
    제 1 및 제 2 끝부를 각각 가지고 있는 제 1 링크(253), 제 2 링크(254), 제 3 링크(255) 및 제 4 링크(256)를 포함하는 제 1 이중 크랭크 기구(252); 및
    제 1 및 제 2 끝부를 각각 갖추고 있는 제 5 링크(257), 제 6 링크(258) 및 제 7 링크(259)를 포함하는 제 2 이중 크랭크 기구(260);
    를 포함하고,
    상기 제 1 이중 크랭크 기구(252)는 반대방향으로 작동하는 것을 제외하고는 상기 제 2 이중 크랭크 기구(260)와 형상이 유사하고, 상기 제 1 및 제 2 링크(253 및 254)는 실질적으로 서로의 길이가 동일하고, 상기 제 3 링크(255)는 상기 제 1 및 제 2 링크(253 및 254)보다 더 길고, 상기 제 4 링크(256)는 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 제 2 끝부에서 상기 피벗가능한 제 2 조인트부(210b 또는 211b)까지 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 일 부분으로 이루어지고, 상기 제 5 링크(257) 및 상기 제 6 링크(258)는 길이가 서로 동일하고, 상기 제 1 링크(253) 및 상기 제 1 출력 링크(216; 285)는 상기 제 1 링크(253)의 제 1 끝부 및 상기 제 1 출력 링크(216; 285)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되고, 상기 제 1 링크(253) 및 상기 제 4 링크(256)는 상기 제 1 링크(253)의 제 1 끝부 및 상기 제 4 링크(256)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 1 링크(253) 및 상기 제 5 링크(257)는 상기 제 1 링크(253)의 제 2 끝부 및 상기 제 5 링크(257)의 제 1 끝부에서 서로가 예각으로 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 링크(254) 및 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)는 상기 제 2 링크(254)의 제 1 끝부 및 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300)의 상기 피벗가능한 제 2 조인트부(210b 또는 211b)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 2 링크(254) 및 상기 제 3 링크(255)는 상기 제 2 링크(254)의 제 2 끝부 및 상기 제 3 링크(255)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 3 링크(255) 및 상기 제 5 링크(257)는 상기 제 3 링크(255)가 상기 제 1 암 링크(210; 274; 300) 및 상기 제 1 리테이너 링크(219; 281; 301)와 교차되는 상태하에서 상기 제 5 링크(257)의 제 2 끝부 및 상기 제 3 링크(255)의 제 2 끝부에서 서로 일체로 연결되고, 상기 제 3 링크(255) 및 제 7 링크(259)는 상기 제 3 링크(255)의 제 2 끝부 및 상기 제 7 링크(259)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 4 링크(256) 및 상기 제 1 출력 링크(216; 285)는 상기 제 4 링크(256)의 제 2 끝부 및 상기 제 1 출력 링크(216; 285)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 4 링크(256) 및 상기 제 6 링크(258)는 상기 제 4 링크(256)의 제 2 끝부 및 상기 제 6 링크(258)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 6 링크(258) 및 상기 제 7 링크(259)는 상기 제 7 링크(259)가 상기 제 1 링크(253)와 교차하는 상태하에서 상기 제 7 링크(259)의 제 2 끝부 및 상기 제 6 링크(258)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고,
    상기 제 2 동기 기구(242)는
    제 1 및 제 2 끝부를 각각 가지고 있는 제 8 링크(353), 제 9 링크(354), 제 10 링크(355) 및 제 11 링크(356)를 포함하는 제 3 이중 크랭크 기구(353); 및
    제 1 및 제 2 끝부를 각각 가지고 있는 제 12 링크(357), 제 13 링크(358) 및 제 14 링크(359)를 포함하는 제 4 이중 크랭크 기구(360);
    를 더 포함하고,
    상기 제 12 링크(357) 및 상기 제 13 링크(358)는 서로 길이가 동일하고, 상기 제 8 및 제 9 링크(353 및 354)는 실질적으로 서로 길이가 동일하고, 상기 제 10 링크(355)는 상기 제 8 및 제 9 링크(353 및 354)보다 더 길고, 상기 제 11 링크(356)는 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 제 2 끝부에서 상기 피벗가능한 제 2 조인트부(210b 또는 211b)까지 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 일 부분으로 이루어지고, 상기 제 12 링크(357) 및 상기 제 13 링크(358)는 서로 길이가 동일하고, 상기 제 8 링크(353) 및 상기 제 2 출력 링크(217; 282)는 상기 제 8 링크(353)의 제 1 끝부에서 서로 일체로 연결되고, 상기 제 8 링크(353) 및 상기 제 11 링크(356)는 상기 제 8 링크(353)의 제 1 끝부 및 상기 제 11 링크(356)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 8 링크(353) 및 상기 제 12 링크(357)는 상기 제 8 링크(353)의 제 2 끝부 및 상기 제 12 링크(357)의 제 1 끝부에서 서로가 예각으로 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 9 링크(354) 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)는 상기 제 9 링크(354)의 제 1 끝부 및 상기 제 2 암 링크(211; 277; 305)의 상기 피벗가능한 제 2 조인트부(210b 또는 211b)에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 9 링크(354) 및 상기 제 10 링크(355)는 상기 제 9 링크(354)의 제 2 끝부 및 상기 제 10 링크(355)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고,
    상기 제 10 링크(355) 및 상기 제 12 링크(357)는 상기 제 10 링크(355)가 상기 제 2 암 링크(211; 277 305)와 상기 제 2 리테이너 링크(228; 283; 301R)와 교차하는 상태하에서 상기 제 10 링크(355)의 제 2 끝부 및 상기 제 12 링크(357)의 제 2 끝부에서 서로 일체로 연결되고, 상기 제 10 링크(355) 및 상기 제 14 링크(359)는 상기 제 10 링크(355)의 제 2 끝부 및 상기 제 14 링크(359)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 11 링크(356) 및 상기 제 2 출력 링크(217; 282)는 상기 제 11 링크(356)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 11 링크(356) 및 상기 제 13 링크(358)는 상기 제 11 링크(356)의 제 2 끝부 및 상기 제 13 링크(358)의 제 1 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되고, 상기 제 13 링크(358) 및 상기 제 14 링크(359)는 상기 제 14 링크(359)가 상기 제 8 링크(353)와 교차하는 상태하에서 서로가 예각으로 상기 제 13 링크(358)의 제 2 끝부 및 상기 제 14 링크(359)의 제 2 끝부에서 서로 피벗가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  20. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 구동 샤프트는 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)를 동일 회전 방향 및 동일 속도로 회전시키도록 작동하며, 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)는 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; (210 및 269) 및 (211 및 267); (274 및 275) 및 (277 및 276); 300 및 305)가 함께 결합된 상태하에서 회전되는 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
  21. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 구동 샤프트(225 및 226)은 회전축과 동축관계이고, 상기 제 1 및 제 2 암 링크(210 및 211; 274 및 277; 300 및 305)는 서로 독립적으로 회전가능한 것을 특징으로 하는 로보트 암기구.
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