JP2000167788A - 搬送ロボット装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】各アームの回転中心部となるボス部分の外径を
短縮して小型に構成することができる搬送ロボット装置
を提供する。 【解決手段】第１および第２のアーム５４，５５を有す
る中空状の第１のボス５６の中空内に、第３および第４
のアーム６０，６１を有する第２のボス５８を収納し、
第１および第３のアーム５４，６０にリンク６３，６４
を介して第１のキャリア６６を連結し、第２および第４
のアーム５５，６１にリンク６８，６９を介して第２の
キャリア７２を連結し、第１のボス５６に第１のモータ
３４の出力軸３４ａを連結し、第２のボス５８に第２の
モータ３５の出力軸３５ａを連結し、これら第１および
第２のモータ３４，３５で第１および第２のボス５６，
５８を駆動して第１および第２のキャリア６６，７２を
進退動作させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体製
造装置におけるトランスファチャンバ内に設けられ、そ
のトランスファチャンバの周囲に配置した複数のプロセ
スチャンバの相互間での半導体ウエハ等の部品の受け渡
しの搬送に用いる搬送ロボット装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】マルチチャンバタイプの半導体製造装置
においては、トランスファチャンバの周囲に複数のプロ
セスチャンバが設けられ、前記トランスファチャンバ内
が真空状態に保持されている。そしてトランスファチャ
ンバ内に搬送用ロボット装置が設けられ、各プロセスチ
ャンバで加工処理された半導体ウエハ等の部品が前記搬
送ロボット装置により１つのプロセスチャンバから他の
１つのプロセスチャンバに搬送される。

【０００３】この種の半導体製造装置に用いられる搬送
ロボット装置は特開平９―２７２０８４号に開示されて
いる。具体的には図１０ないし図１２に示すように、ト
ランスファチャンバＡの内部にそれぞれ独立して回転す
る第１、第２、第３のリング状ボス１，２，３が上下に
同心的に重なる状態に図示しない軸受を介して支持され
ている。

【０００４】各リング状ボス１，２，３の内側には、図
１２に示すように円板状ボス４，５，６がその各リング
状ボス１，２，３に対応して設けられ、その互いに対応
する各リング状ボス１，２，３と円板状ボス４，５，６
とがそれぞれマグネットカップリング７，８，９を介し
て磁気的に結合されている。そしてトランスファチャン
バＡ内の真空状態を維持するために、リング状ボス１，
２，３と円板状ボス４，５，６との間に逆有底筒状をな
す密閉用の隔壁１０が設けられている。

【０００５】円板状ボス４，５，６の下方にはモータユ
ニット１１，１２が設けられ、これらモータユニット１
１，１２の出力軸１１ａ，１２ａと各円板状ボス４，
５，６の回転軸４ａ，５ａ，６ａとがタイミングベルト
等の連動機構１３を介して連結され、各モータユニット
１１，１２により各円板状ボス４，５，６がそれぞれ所
定の速度および方向に回転するように制御され、その各
円板状ボス４，５，６の回転動力が各マグネットカップ
リング７，８，９を介してリング状ボス１，２，３に伝
わるようになっている。

【０００６】第１のリング状ボス１には第１のアーム１
５が、第２のリング状ボス２には第２および第３のアー
ム１６，１７が、さらに第３のリング状ボス３には第４
のアーム１８がそれぞれその外方側に延びるように突設
され、これらアーム１５，１６，１７，１８の先端部が
それぞれリンク支点部となっている。

【０００７】第１および第２のアーム１５，１６のリン
ク支点部は同一のレベルの位置に配置し、また第３およ
び第４のアーム１７，１８のリンク支点部は同一のレベ
ルの位置に配置しているとともに、第１および第２のア
ーム１５，１６のリンク支点部より内側でかつ低いレベ
ルの位置に配置している。

【０００８】第１および第２のアーム１５，１６のリン
ク支点部には、第１および第２のリンク１９，２０の一
端部が回転自在に連結され、この両リンク１９，２０の
他端部に姿勢規制機構を介して第１のキャリア２１が連
結されている。

【０００９】また、第３および第４のアーム１７，１８
のリンク支点部には、第３および第４のリンク２３，２
４の一端部が回転自在に連結され、この両リンクの他端
部に姿勢規制機構を介して第２のキャリア２５が連結さ
れている。

【００１０】通常の待機時においては、図１１に示すよ
うに第１、第２、第３、第４のアーム１５，１６，１
７，１８が同一直線上に配置し、第１、第２のキャリア
２１，２５が上下に重なる状態で所定の待機ポジション
に保持されている。この状態から、モータユニット１
１，１２による駆動で第１、第２、第３のリング状ボス
１，２，３がそれぞれ所定の方向に回転するように制御
される。

【００１１】すなわち、第１の動作として、第１のリン
グ状ボス１が図１１における反時計方向に、第２のリン
グ状ボス２が時計方向に、第３のリング状ボス３が反時
計方向にそれぞれ回転し、この回転で第１のキャリア２
１が待機ポジションの前方側に進出するととともに、第
２のキャリア２５が待機ポジションの後方側に後退す
る。

【００１２】また、第２の動作として、第１のリング状
ボス１が時計方向に、第２のリング状ボス２が反時計方
向に、第３のリング状ボス３が時計方向にそれぞれ回転
し、この回転で第１のキャリア２５が待機ポジションの
後方側に後退するととともに、第２のキャリアが待機ポ
ジションの前方側に前進する。

【００１３】このように第１および第２の２つのキャリ
ア２１，２５が交互に進退し、これにより１つのステー
ションに対して搬送ロボット装置を旋回させることな
く、ステーション内の例えば処理済みのウエハとトラン
スファチャンバＡ内の未処理のウエハとを効率よく交換
することができる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の搬送装置においては、トランスファチャンバ
内の真空状態を維持するために、マグネットカップリン
グを用いて各アームを駆動しており、このためその回転
中心部すなわちボス部分の外径の寸法が大きくなり、ロ
ボット装置の全体が大型化する難点がある。

【００１５】この発明はこのような点に着目してなされ
たもので、その目的とするところは、ボス部分の外径を
短縮して小型に構成することができる搬送ロボット装置
を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】この発明はこのような目
的を達成するために、中空状で周壁の一部に切欠部が形
成された第１のボスと、この第１のボスから互いに反対
側の外方に延出した第１および第２のアームと、前記第
１のボスの中空内に回転自在に配置した第２のボスと、
この第２のボスから前記第１のボスの切欠部を通して外
方側に延出した第３のアームおよび第２のボスの上端部
から前記第３のアームの反対側に延出した第４のアーム
と、一端部が第１のアームの先端部のリンク支点部に回
動自在に連結された第１のリンクと、一端部が第３のア
ームの先端部のリンク支点部に回動自在に連結された第
２のリンクと、一端部が第２のアームの先端部のリンク
支点部に回動自在に連結された第３のリンクと、一端部
が第４のアームの先端部のリンク支点部に回動自在に連
結された第４のリンクと、第１および第２のリンクの他
端部に連結された第１のキャリアと、第２および第３の
リンクの他端部に前記第１のキャリアと上下に位置をず
らして連結された第２のキャリアと、前記第１のボスに
連結された出力軸を有する第１の駆動源と、前記第２の
ボスに連結された出力軸を有する第２の駆動源とを具備
するようにしたものである。

【００１７】そして特に、請求項２の発明では、各ボス
の回転中心と各アームのリンク支点部との間の距離がそ
れぞれ同一となっていることを特徴とし、請求項３の発
明では、第１および第２のキャリアが第１および第２の
ボスより上方のレベルの位置に配置していることを特徴
としている。そしていずれの発明においても、第１およ
び第２のキャリアを垂直移動機構により垂直方向に対し
て移動調整可能に構成することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図１ないし図９を参照して説明する。

【００１９】図１にはこの発明の第１の実施形態による
搬送ロボット装置の断面図を、図２にはその平面図を示
してあり、トランスファチャンバＡの中央部にはベース
３１が設けられ、このベース３１の下面にトランスファ
チャンバＡの下方に突出するフレーム３２が取り付けら
れている。

【００２０】フレーム３２には、ケース３３内に駆動源
としての第１および第２の一対のモータ３４，３５を収
納してなる駆動装置３６が設けられ、この駆動装置３６
のケース３３は気密構造に構成され、第１および第２の
モータ３４，３５はこのケース３３内に上下に配置する
ように収納されている。

【００２１】第１および第２のモータ３４，３５はそれ
ぞれ出力軸３４ａ，３５ａを有し、第１のモータ３４の
出力軸３４ａは中空状をなし、その上端部が前記ベース
３１を貫通してトランスファチャンバＡ内に突出し、第
２のモータ３５の出力軸３５ａは第１のモータ３４の出
力軸３４ａにおける中空内を挿通して第１のモータ３４
の出力軸３４ａの上端部からその上方に突出している。

【００２２】駆動装置３６のケース３３と前記ベース３
１との間には、出力軸３４ａ，３５ａの外周を囲んでト
ランスファチャンバＡ内と大気中との間を遮断してトラ
ンスファチャンバＡ内の真空状態を維持するための第１
のシールユニット３９と第２のシールユニット４０が設
けられている。

【００２３】フレーム３２には垂直移動機構構成用のモ
ータ４１が取り付けられているとともに、このモータ４
１の出力軸４１ａにカップリング４２を介してボールね
じ装置４３が接続されている。このボールねじ装置４３
はサポートベアリング４４を介して回転自在に支持され
たボールねじ軸４５と、このボールねじ軸４５に螺合し
たボールねじナット４６からなり、ボールねじ軸４５が
モータ４１の出力軸４１ａに連動して回転し、この回転
でボールねじナット４６が往復移動するようになってい
る。

【００２４】前記駆動装置３６にはホルダ４９が取り付
けられ、このホルダ４９の一端部が前記ボールねじナッ
ト４６に連結され、またフレーム３２にはリニアガイド
５０が設けられ、このリニアガイド５０のスライダ５１
に前記ホルダ４９の他端部がブラケット５２を介して連
結され、前記ボールねじナット４６の往復移動により駆
動装置３６が垂直に移動するようになっている。そして
前記第２のシールユニット４０は駆動装置３６の垂直移
動に追従して弾性的に変形することが可能なベローズ構
造に構成されている。

【００２５】トランスファチャンバＡ内に突出した前記
第１のモータ３４の出力軸３４ａの上端部には、第１お
よび第２のアーム５４，５５を有する第１のボス５６が
ねじ５７を介して取り付けられている。この第１のボス
５６における第１および第２のアーム５４，５５は互い
に反対側に向ってその外方側に延出するとともに、第１
のアーム５４はボス５６の下部から延出し、第２のアー
ム５５はボス５６の上部から延出し、これら第１および
第２のアーム５４，５５が上下に段違い状に配置してい
る。

【００２６】第１のボス５６は中空状で、前記第２のア
ーム５５の下側の周壁部分が切欠部５７として開放され
ている。そしてこの第１のボス５６の中空内に第２のボ
ス５８が回転自在に収納され、この第２のボス５８に前
記第２のモータ３５の出力軸３５ａが連結されている。

【００２７】第２のボス５８は第３および第４のアーム
６０，６１を一体的に有し、一方の第３のアーム６０は
前記第１のボス５６の切欠部５７を通して第２のボス５
８の下部からその外方側に水平に延出して第１のアーム
５４と第２のアーム５５との間のレベルの位置に配置
し、他方の第４のアーム６１はボス５８の上部からその
外方側に水平に延出して第２のアーム５５より上方のレ
ベルの位置に配置している。

【００２８】第１、第２、第３、第４のアーム５４，５
５，６０，６１の先端部はそれぞれリンク支点部となっ
ており、その各リンク支点部と各ボス５６，５８の回転
中心軸との間の距離は同一となっている。そして第１お
よび第３のアーム５４，６０のリンク支点部には、同長
の第１および第２のリンク６３，６４の一端部がそれぞ
れ枢軸６５を介して回転自在に連結され、これら第１お
よび第２のリンク６３，６４の他端部に第１のキャリア
６６が連結されている。

【００２９】また、第２および第４のアーム５５，６１
のリンク支点部には同長の第３および第４のリンク６
８，６９の一端部がそれぞれ枢軸７０を介して回転自在
に連結され、これら第３および第４のリンク６８，６９
の他端部に第２のキャリア７２が連結されている。

【００３０】前記第１のキャリア６６は第１および第２
のリンク６３，６４の上側に設けられ、前記第２のキャ
リア７２は第３および第４のリンク６８，６９の下側に
設けられ、これら第１および第２のキャリア６６，７２
が互いに上下に近接して配置している。

【００３１】このように構成された搬送ロボット装置
は、通常の待機時には、図２に示すように、第１および
第２のアーム５４，５５と第３および第４のアーム６
０，６１、第１のリンク６３と第３のリンク６８、第２
のリンク６４と第４のリンク６９、および第１のキャリ
ア６６と第２キャリア７２とがそれぞれ平視的に上下に
重なる状態にあり、この状態から図３（Ａ）に示すよう
に、第１の動作として、第１のモータ３４による駆動で
第１のボス５６が時計方向に回転し、第２のモータ３５
による駆動で第２のボス５８が反時計方向に回転するよ
うに制御される。そしてこの制御のときには、第１のボ
ス５６の時計方向の回転により、第１のアーム５４のリ
ンク支点部がキャリア待機ポジションの前方側に向って
移動し、第２のアーム５５のリンク支点部がキャリア待
機ポジションの後方側に向って移動し、また第２のボス
５８の反時計方向の回転により、第３のアーム６０のリ
ンク支点部がキャリア待機ポジションの後方側に向って
移動し、第４のアーム６１のリンク支点部がキャリア待
機ポジションの前方側に向って移動し、これらの移動で
第１および第３のリンク６３，６８を介して第１のキャ
リア６６が待機ポジションの前方側に大きく進出し、第
２および第４のリンク６４，６９を介して第２のキャリ
ア７２が待機ポジションの後方側に僅かに後退する。

【００３２】また、第２の動作として、図３（Ｂ）に示
すように、第１のモータ３４による駆動で第１のボス５
６が反時計方向に回転し、第２のモータ３５による駆動
で第２のボス５８が時計方向に回転するように制御され
る。そしてこの制御のときには、第１のボス５６の反時
計方向の回転により、第１のアーム５４のリンク支点部
がキャリア待機ポジションの後方側に向って移動し、第
２のアーム５５のリンク支点部がキャリア待機ポジショ
ンの前方側に向って移動し、また第２のボス５８の時計
方向の回転により、第３のアーム６０のリンク支点部が
キャリア待機ポジションの前方側に向って移動し、第４
のアーム６１のリンク支点部がキャリア待機ポジション
の後方側に向って移動し、これらの移動で第１および第
３のリンク６３，６８を介して第１のキャリア６６が待
機ポジションの後方側に僅かに後退し、第２および第４
のリンク６４，６９を介して第２のキャリア７２が待機
ポジションの前方側に大きく進出する。

【００３３】このような制御により、第１および第２の
キャリア６６，７２が交互に進退し、この進退動作でウ
エハの受け渡しが交互に行なわれる。

【００３４】第１および第２のキャリア６６，７２は上
下に位置がずれており、したがって第１のキャリア６６
でウエハの受け取りが行なわれた後に、第２のキャリア
７２でウエハを受け取るときには、垂直移動用のモータ
４１が駆動される。この駆動によりボールねじ軸４５が
回転し、このボールねじ軸４５の回転でボールねじナッ
ト４６がその軸方向に移動し、この移動で駆動装置３６
がリニアガイド５０に沿って垂直に上昇し、この上昇で
第２のキャリア７２がウエハの受け取りレベルに配置し
てその受け取りが可能となる。そして再び第１のキャリ
ア６６がウエハを受け取るときに、垂直移動用のモータ
４１が駆動され、ボールねじ軸４５が逆回転し、このボ
ールねじ軸４５の逆回転で駆動装置３６がリニアガイド
５０に沿って垂直に下降し、この下降で第１のキャリア
６６がウエハの受け取りレベルに配置してその受け取り
が可能となる。

【００３５】ここで、第１および第２のキャリア６６，
７２は上下方向に互いに近接して設けられており、この
ためキャリア６６，７２をウエハの受け取りレベルに移
動調整するときの調整幅を小さくすることができる。

【００３６】一方、第１および第２のボス５６，５８を
駆動装置３６の第１および第２のモータ３４，３５を駆
動して同時に同一方向に回転させるとロボット装置の全
体が旋回し、この旋回により第１および第２のキャリア
６６，７２の進退方向を任意の方向に変換することがで
きる。

【００３７】このように、この発明によるロボット装置
においては、第１のボス５６と第２ボス５８とが、その
第１のボス５６の中空内に第２のボス５８が配置する二
重軸構造に構成され、その第１のボス５６に駆動装置３
６における第１のモータ３４の出力軸３４ａが直接連結
され、第２のボス５８に駆動装置３６における第２のモ
ータ３５の出力軸３５ａが直接連結されており、したが
って従来のように、リング状ボスと円板状ボスとを設
け、これらボス相互をマグネットカップリングで磁気的
に結合して駆動する構造に比べ、その回転中心部の外径
寸法を小さくすることができ、このためロボット装置の
全体を小型に構成することができる。

【００３８】図４および図５にはこの発明の第２実施形
態を示してあり、この実施形態においては、第１のボス
５６の中空内に第２のボス５８が配置し、第１のボス５
６における第１および第２のアーム５４，５５が互いに
反対側に延出しているとともに、第２のアーム５５が第
１のアーム５４よりも上方のレベルの位置に配置してい
る。

【００３９】また、第２のボス５８における第３のアー
ム６０はボス５８の下部から第１のボス５６の切欠部５
７を通してその外方側に水平に延出して前記第１のアー
ム５４と同じレベルの位置に配置し、また第２のボス５
８における第４のアーム６１はボス５８の上部から第３
のアーム６０の反対側に向って水平に延出して前記第２
のアーム５５と同じレベルの位置に配置している。

【００４０】第１、第２、第３、第４のアーム５４，５
５，６０，６１の先端部の各リンク支点部と各ボス５
６，５８の回転中心軸との間の距離は同一となってい
る。そして第１および第３のアーム５４，６０のリンク
支点部には、同長の第１および第２のリンク６３，６４
の一端部がそれぞれ枢軸６５を介して回転自在に連結さ
れ、これら第１および第２のリンク６３，６４の他端部
に第１のキャリア６６が連結されている。

【００４１】また、第２および第４のアーム５５，６１
のリンク支点部には同長の第３および第４のリンク６
８，６９の一端部がそれぞれ枢軸７０を介して回転自在
に連結され、これら第３および第４のリンク６８，６９
の他端部に第２のキャリア７２が連結されている。

【００４２】前記第１のキャリア６６は第１および第２
のリンク６３，６４の上側に設けられ、前記第２のキャ
リア７２は第３および第４のリンク６８，６９の下側に
設けられ、これら第１および第２のキャリア６６，７０
が互いに上下に近接して配置している。

【００４３】そして前記第１のボス５８に第１のモータ
３４の出力軸３４ａが連結され、前記第２のボス５８に
第２のモータ３５の出力軸３５ａが連結されている。

【００４４】このような構成においても、第１の動作と
して、第１のモータ３４による駆動で第１のボス５６が
時計方向に回転し、第２のモータ３５による駆動で第２
のボス５８が反時計方向に回転するように制御される。
そしてこの制御のときには、第１のボス５６の時計方向
の回転により、第１のアーム５４のリンク支点部がキャ
リア待機ポジションの前方側に向って移動し、第２のア
ーム５５のリンク支点部がキャリア待機ポジションの後
方側に向って移動し、また第２のボス５８の反時計方向
の回転により、第３のアーム６０のリンク支点部がキャ
リア待機ポジションの後方側に向って移動し、第４のア
ーム６１のリンク支点部がキャリア待機ポジションの前
方側に向って移動し、これらの移動で第１および第３の
リンク６３，６８を介して第１のキャリア６６が待機ポ
ジションの前方側に大きく進出し、第２および第４のリ
ンク６４，６９を介して第２のキャリア７２が待機ポジ
ションの後方側に僅かに後退する。

【００４５】また、第２の動作として、第１のモータ３
４による駆動で第１のボス５６が反時計方向に回転し、
第２のモータ３５による駆動で第２のボス５８が時計方
向に回転するように制御される。そしてこの制御のとき
には、第１のボス５６の反時計方向の回転により、第１
のアーム５４のリンク支点部がキャリア待機ポジション
の後方側に向って移動し、第２のアーム５５のリンク支
点部がキャリア待機ポジションの前方側に向って移動
し、また第２のボス５８の時計方向の回転により、第３
のアーム６０のリンク支点部がキャリア待機ポジション
の前方側に向って移動し、第４のアーム６１のリンク支
点部がキャリア待機ポジションの後方側に向って移動
し、これらの移動で第１および第３のリンク６３，６８
を介して第１のキャリア６６が待機ポジションの後方側
に僅かに後退し、第２および第４のリンク６４，６９を
介して第２のキャリア７２が待機ポジションの前方側に
大きく進出する。このような第１および第２のキャリア
６６，７２の進退動作でウエハの受け渡しが交互に行な
われる。

【００４６】そして、第１のボス５６と第２ボス５８と
が、その第１のボス５６の中空内に第２のボス５８が配
置する二重軸構造に構成され、その第１のボス５６に第
１のモータ３４の出力軸３４ａが直接連結され、第２の
ボス５８に第２のモータ３５の出力軸３５ａが直接連結
されており、したがってその回転中心部の外径寸法を小
さな寸法に抑えてロボット装置の全体の小型化を図るこ
とができる。

【００４７】特にこの第２の実施形態においては、第１
および第２のリンク６３，６４ならびにこれらリンク６
３，６４で支持された第１のキャリア６６と、第２およ
び第３のリンク６８，６９らびにこれらリンク６８，６
９で支持された第２のキャリア７２とが上下に互いに対
称的に配置する構造となっており、したがってその下側
に配置する第１および第２のリンク６３，６４ならびに
第１のキャリア６６と、上側に配置する第２および第３
のリンク６８，６９ならびに第２のキャリア７２とを同
一構造の共通した部材で構成することができる利点があ
る。

【００４８】図６および図７には第３の実施形態を示し
てあり、この第３の実施形態においては、第１のボス５
６における第２のアーム５５と第２のボス５８における
第４のアーム６１との上側に、第３および第４のリンク
６８，６９ならびにこれらリンクで支持された第２のキ
ャリア７２が設けられている点が前記第２の実施形態と
異なり、他の点は第２の実施形態と同一の構成となって
いる。

【００４９】図８および図９にはこの発明の第４の実施
形態を示してあり、この実施形態においては、第１のボ
ス５６の中空内に第２のボス５８が配置し、第１のボス
５６からは第１および第２のアーム５４，５５が互いに
反対側に延出し、その第２のアーム５５が第１のアーム
５４よりも上方のレベルの位置に配置している。

【００５０】また、第２のボス５８における第３のアー
ム６０は、第２のボス５８の下部から第１のボス５６の
切欠部５７を通してその外方側に水平に延出して前記第
１のアーム５４と同じレベルの位置に配置し、また第２
のボス５８における第４のアーム６１は第２のボス５８
の上部から第３のアーム６０の反対側に水平に延出して
前記第２のアーム５５と同じレベルの位置に配置してい
る。

【００５１】第１および第３のアーム５４，６０のリン
ク支点部には垂直に起立するロッド７４が取り付けら
れ、また第２および第４のアーム５５，６１は第１およ
び第３のアーム５４，６０よりも長さが短く、そのリン
ク支点部が前記ロッド７４の内側の位置に配置してい
る。

【００５２】そして第１および第３のアーム５４，６０
のリンク支点部に取り付けられたロッド７４の上端部に
は、同長の第１および第２のリンク６３，６４の一端部
がそれぞれ枢軸６５を介して回転自在に連結され、これ
ら第１および第２のリンク６３，６４の他端部に第１の
キャリア６６が連結されている。

【００５３】また、第２および第４のアーム５５，６１
のリンク支点部には同長の第３および第４のリンク６
８，６９の一端部がそれぞれ枢軸７０を介して回転自在
に連結され、これら第３および第４のリンク６８，６９
の他端部に第２のキャリア７２が連結されている。

【００５４】前記第１のキャリア６６は第１および第２
のリンク６３，６４の下側に設けられ、前記第２のキャ
リア７２は第３および第４のリンク６８，６９の上側に
設けられ、これら第１および第２のキャリア６６，７０
が互いに上下に近接して配置している。

【００５５】そして前記第１のボス５８に第１のモータ
３４の出力軸３４ａが連結され、前記第２のボス５８に
第２のモータ３５の出力軸３５ａが連結されている。

【００５６】このような構成においても、第１の動作と
して、第１のモータ３４による駆動で第１のボス５６が
時計方向に回転し、第２のモータ３５による駆動で第２
のボス５８が反時計方向に回転するように制御される。
そしてこの制御のときには、第１のボス５６の時計方向
の回転により、第１のアーム５４のリンク支点部がキャ
リア待機ポジションの前方側に向って移動し、第２のア
ーム５５のリンク支点部がキャリア待機ポジションの後
方側に向って移動し、また第２のボス５８の反時計方向
の回転により、第３のアーム６０のリンク支点部がキャ
リア待機ポジションの後方側に向って移動し、第４のア
ーム６１のリンク支点部がキャリア待機ポジションの前
方側に向って移動し、これらの移動で第１および第３の
リンク６３，６８を介して第１のキャリア６６が待機ポ
ジションの前方側に大きく進出し、第２および第４のリ
ンク６４，６９を介して第２のキャリア７２が待機ポジ
ションの後方側に僅かに後退する。

【００５７】また、第２の動作として、第１のモータ３
４による駆動で第１のボス５６が反時計方向に回転し、
第２のモータ３５による駆動で第２のボス５８が時計方
向に回転するように制御される。そしてこの制御のとき
には、第１のボス５６の反時計方向の回転により、第１
のアーム５４のリンク支点部がキャリア待機ポジション
の後方側に向って移動し、第２のアーム５５のリンク支
点部がキャリア待機ポジションの前方側に向って移動
し、また第２のボス５８の時計方向の回転により、第３
のアーム６０のリンク支点部がキャリア待機ポジション
の前方側に向って移動し、第４のアーム６１のリンク支
点部がキャリア待機ポジションの後方側に向って移動
し、これらの移動で第１および第３のリンク６３，６８
を介して第１のキャリア６６が待機ポジションの後方側
に僅かに後退し、第２および第４のリンク６４，６９を
介して第２のキャリア７２が待機ポジションの前方側に
大きく進出する。このような第１および第２のキャリア
６６，７２の進退動作でウエハの受け渡しが交互に行な
われる。

【００５８】そして、第１のボス５６と第２ボス５８と
が、その第１のボス５６の中空内に第２のボス５８が配
置する二重軸構造に構成され、その第１のボス５６に第
１のモータ３４の出力軸３４ａが直接連結され、第２の
ボス５８に第２のモータ３５の出力軸３５ａが直接連結
されており、したがってその回転中心部の外径寸法を小
さな寸法に抑えてロボット装置の全体の小型化を図るこ
とができる。

【００５９】特にこの第４の実施形態においては、第１
および第２のリンク６３，６４ならびにこれらリンク６
３，６４で支持された第１のキャリア６６と、第３およ
び第４のリンク６８，６９ならびにこれらリンク６８，
６９で支持された第２のキャリア７２が共に第１および
第２のボス５６，５８の上方側に配置しているから、第
１および第２のキャリア６６，７２が進退するときにそ
のキャリア６６，７２とボス５６，５８とが干渉せず、
したがって第１および第２のキャリア６６，７２をボス
５６，５８に近付けて配置でき、このためロボット装置
をよりコンパクトに構成することができる。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
各アームの回転中心部となるボス部分の外径寸法を従来
のマグネットカップリングを用いる構造に比べて確実に
短縮することができ、したがって小型でコンパクトな搬
送ロボット装置を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態に係る搬送ロボット
装置の断面図。

【図２】その搬送ロボット装置の要部の平面図。

【図３】その搬送ロボット装置の動作を示す平面図。

【図４】この発明の第２の実施形態に係る搬送ロボット
装置の要部の断面図。

【図５】その要部の平面図。

【図６】この発明の第３の実施形態に係る搬送ロボット
装置の要部の断面図。

【図７】その要部の平面図。

【図８】この発明の第４の実施形態に係る搬送ロボット
装置の要部の断面図。

【図９】その要部の平面図。

【図１０】従来の搬送ロボット装置の背面側から見た正
面図。

【図１１】その搬送ロボット装置の平面図。

【図１２】その搬送ロボット装置の駆動構造を示す断面
図。

【符号の説明】

３４…第１のモータ（駆動源） ３５…第２のモータ（駆動源） ５４…第１のアーム ５５…第２のアーム ５６…第１のボス ５７…切欠部 ５８…第２のボス ６０…第３のアーム ６１…第４のアーム ６３…第１のリンク ６４…第２のリンク ６６…第１のキャリア ６８…第３のリンク ６９…第４のリンク ７２…第２のキャリア

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】中空状で周壁の一部に切欠部が形成された
   第１のボスと、この第１のボスから互いに反対側の外方
   に延出した第１および第２のアームと、前記第１のボス
   の中空内に回転自在に配置した第２のボスと、この第２
   のボスから前記第１のボスの切欠部を通して外方側に延
   出した第３のアームおよび第２のボスの上端部から前記
   第３のアームの反対側に延出した第４のアームと、一端
   部が第１のアームの先端部のリンク支点部に回動自在に
   連結された第１のリンクと、一端部が第３のアームの先
   端部のリンク支点部に回動自在に連結された第２のリン
   クと、一端部が第２のアームの先端部のリンク支点部に
   回動自在に連結された第３のリンクと、一端部が第４の
   アームの先端部のリンク支点部に回動自在に連結された
   第４のリンクと、第１および第２のリンクの他端部に連
   結された第１のキャリアと、第２および第３のリンクの
   他端部に前記第１のキャリアと上下に位置をずらして連
   結された第２のキャリアと、前記第１のボスに連結され
   た出力軸を有する第１の駆動源と、前記第２のボスに連
   結された出力軸を有する第２の駆動源とを具備すること
   を特徴とする搬送ロボット装置。
2. 【請求項２】中空状で周壁の一部に切欠部が形成された
   第１のボスと、この第１のボスから互いに反対側の外方
   に延出した第１および第２のアームと、前記第１のボス
   の中空内に回転自在に配置した第２のボスと、この第２
   のボスから前記第１のボスの切欠部を通して外方側に延
   出した第３のアームおよび第２のボスの上端部から前記
   第３のアームの反対側に延出した第４のアームと、一端
   部が第１のアームの先端部のリンク支点部に回動自在に
   連結された第１のリンクと、一端部が第３のアームの先
   端部のリンク支点部に回動自在に連結された第２のリン
   クと、一端部が第２のアームの先端部のリンク支点部に
   回動自在に連結された第３のリンクと、一端部が第４の
   アームの先端部のリンク支点部に回動自在に連結された
   第４のリンクと、第１および第２のリンクの他端部に連
   結された第１のキャリアと、第２および第３のリンクの
   他端部に前記第１のキャリアと上下に位置をずらして連
   結された第２のキャリアと、前記第１のボスに連結され
   た出力軸を有する第１の駆動源と、前記第２のボスに連
   結された出力軸を有する第２の駆動源とを具備し、前記
   各ボスの回転中心と前記各アームのリンク支点部との間
   の距離がそれぞれ同一となっていることを特徴とする搬
   送ロボット装置。
3. 【請求項３】中空状で周壁の一部に切欠部が形成された
   第１のボスと、この第１のボスから互いに反対側の外方
   に延出した第１および第２のアームと、前記第１のボス
   の中空内に回転自在に配置した第２のボスと、この第２
   のボスから前記第１のボスの切欠部を通して外方側に延
   出した第３のアームおよび第２のボスの上端部から前記
   第３のアームの反対側に延出した第４のアームと、一端
   部が第１のアームの先端部のリンク支点部に回動自在に
   連結された第１のリンクと、一端部が第３のアームの先
   端部のリンク支点部に回動自在に連結された第２のリン
   クと、一端部が第２のアームの先端部のリンク支点部に
   回動自在に連結された第３のリンクと、一端部が第４の
   アームの先端部のリンク支点部に回動自在に連結された
   第４のリンクと、第１および第２のリンクの他端部に連
   結された第１のキャリアと、第２および第３のリンクの
   他端部に前記第１のキャリアと上下に位置をずらして連
   結された第２のキャリアと、前記第１のボスに連結され
   た出力軸を有する第１の駆動源と、前記第２のボスに連
   結された出力軸を有する第２の駆動源とを具備し、前記
   第１および第２のキャリアが前記第１および第２のボス
   より上方のレベルの位置に配置していることを特徴とす
   る搬送ロボット装置。
4. 【請求項４】第１および第２のキャリアは垂直移動機構
   により垂直方向に対する移動調整が可能であることを特
   徴とする請求項１、２または３に記載の搬送ロボット装
   置。