JP2022091812A - ロボット及び無線データカップリング - Google Patents
ロボット及び無線データカップリング Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022091812A JP2022091812A JP2022038738A JP2022038738A JP2022091812A JP 2022091812 A JP2022091812 A JP 2022091812A JP 2022038738 A JP2022038738 A JP 2022038738A JP 2022038738 A JP2022038738 A JP 2022038738A JP 2022091812 A JP2022091812 A JP 2022091812A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- robot
- transfer chamber
- end effector
- substrate transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title description 59
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title description 59
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title description 59
- 239000012636 effector Substances 0.000 claims abstract description 169
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 144
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 67
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 30
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 claims 4
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 65
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 44
- 230000008569 process Effects 0.000 description 40
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 12
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 12
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 9
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 8
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 210000003857 wrist joint Anatomy 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0054—Cooling means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/006—Controls for manipulators by means of a wireless system for controlling one or several manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
- B25J9/126—Rotary actuators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67167—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers surrounding a central transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2039—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
Abstract
【解決手段】基板搬送装置は、2つの腕リンク22、24と2つのエンドエフェクタ26A、26Bと、を有する。2つの腕リンクのうちの第1の腕リンク22は駆動部18に接続する。2つのエンドエフェクタは、2つの腕リンクのうちの別の腕リンクの端部に接続し、夫々基板支持領域を有し、第1の腕リンクは、第1回転ジョイント28によって、別の腕リンクの端部に回動可能に接続し、第2の腕リンクは、第2回転ジョイント30によって、エンドエフェクタの端部に回動可能に接続する。第1のエンドエフェクタ及び第2のエンドエフェクタは、第2の腕リンクの端部において、互いに独立に回動可能である。駆動部は、基板搬送チャンバーの単一の固定された位置に設置される。
【選択図】図12
Description
ある態様に従って、少なくとも三つの部分を持つフレーム,第1位置センサー,駆動部,チャンバーを備える例示的装置が提供される。前記少なくとも三つの部分には、エンドエフェクタと、可動アームを形成する少なくとも二つのリンクとが含まれる。エンドエフェクタとリンクとは可動ジョイントで連結され、エンドエフェクタは基板を支持するように構成される。前記フレームにおいて、第1位置センサーは、第1ジョイントに近接していて、前記部分のうちの二つの相対位置を検知するように構成される。駆動部はフレームに連結し、可動アームを駆動するように構成される。フレームはチャンバー内に配置され、駆動部がチャンバーの壁を貫通していてもよい。
別の態様に従って、電気デバイス,フレーム,駆動部,熱伝導システムを備える例示的装置が提供される。前記フレームは前記電気デバイスを搭載すると共に、エンドエフェクタと、可動アームを形成する少なくとも二つのリンクとを含む、少なくとも三つの部分を有する。エンドエフェクタとリンクとは可動ジョイントで連結され、エンドエフェクタは基板を支持するように構成される。駆動部は可動アームに連結され、可動アームを駆動するように構成される。熱伝導システムは駆動部に設けられ、可動アームから同アームと離隔した場所に熱を伝導するように構成される。
回動可能な複数のリンクと、少なくとも一つの基板をその上に支持するように構成されるエンドエフェクタとを有するロボットアームであって、第一環境に位置するように構成されるロボットアームと;
前記ロボットアームに配される少なくとも一つのアクティブ要素と;
前記ロボットアームに配される気密エンクロージャーと;
前記ロボットアームに配される少なくとも一つの電気導体であって、前記気密エンクロージャーを貫通し、前記少なくとも一つのアクティブ要素に接続される、電気導体と;
を備え、
前記少なくとも一つのアクティブ要素は前記気密エンクロージャー内に配され、前記気密エンクロージャーは、該気密エンクロージャー内に、前記第一環境とは異なる第二環境を形成し、該気密エンクロージャー内において前記少なくとも一つのアクティブ要素を前記第二環境から隔離し;
前記気密エンクロージャーは、前記第二環境を前記第一環境から隔離し続けるために、前記気密エンクロージャーを通る前記少なくとも一つのアクティブ要素の通路を封止し;
前記少なくとも一つの電気導体は、前記複数のリンクの相互の動きを補償する、少なくとも一つの限定回転式フレクシャを備え、それによって、前記複数のリンクの相互の回動によって前記少なくとも一つの電気導体が破損することを防ぐ。
別の態様では、次のような方法が提供される。この方法は、
気密エンクロージャーの内部に少なくとも一つのアクティブ要素を位置させることと;
ロボットアーム上に前記気密エンクロージャーを位置させることと;
前記気密エンクロージャーを通る少なくとも一つの電気導体の通路を封止することと;
を含み、
前記ロボットアームは回動可能な複数のリンクと、少なくとも一つの基板をその上に支持するように構成されるエンドエフェクタとを備え、前記気密エンクロージャーは前記複数のリンクの第一のものに位置し、前記ロボットアームは第一環境に位置するように構成され;
前記少なくとも一つの電気導体は前記少なくとも一つのアクティブ要素に電気的に接続され、前記通路は前記第二環境を前記第一環境から隔離し続けるために封止され;
さらに前記方法は、前記複数のリンクの相互の動きを補償する少なくとも一つの限定回転式フレクシャを有する前記少なくとも一つの電気導体を設けることを含み、それによって、前記複数のリンクの相互の回動によって前記少なくとも一つの電気導体が破損することを防ぐ。
基板を載せて動かすように構成されるアームと;
前記アームを駆動するように構成されるモーターと;
前記モーターに接続されるモーター制御カップリングと;
を備え、チャンバー内で水平に移動しうるように構成される搬送装置であって、
前記モーター制御カップリングは、複数のセンサーからもたらされる基板の位置についての情報に関するデータをコントローラから受信し、前記コントローラからの前記データに基づいて前記基板の位置を調節するために前記モーターのための信号を生成し、前記信号を前記モーターに送信するように構成され;
前記モーター制御カップリングは、少なくとも一つのワイヤレス通信デバイスを用いて前記コントローラと通信するように構成される。
別の態様では、次のような装置が提供される。この装置は、
チャンバーと;
ロボットアームと、前記ロボットアームを動かすように構成されるロボットモーターとを有するロボットと;
前記ロボットを前記チャンバーに接続し、前記チャンバー内で前記ロボットを水平方向に移動させるように構成されるロボットドライブと;
前記チャンバーに接続される第1ワイヤレス通信デバイスと;
前記ロボットに接続される第2ワイヤレス通信デバイスと;
を備え、前記第1ワイヤレス通信デバイスは前記第2ワイヤレス通信デバイスにワイヤレスでデータを送信するように構成され、前記ロボットは、前記第2のワイヤレス通信デバイスによって受信された前記データを、前記ロボットモーターの動きを制御するために使用するように構成される。
別の態様では、次のような装置が提供される。この装置は、
チャンバーと;
ロボットモーターと;
ロボットドライブと;
前記ロボットモーターに接続されるロボットアームと;
前記ロボットモーターに接続される、通信カップリングの第1部分と;
を備え、
前記ロボットモーターは前記ロボットドライブによって前記チャンバーに接続され、前記ロボットドライブは、前記チャンバー内で前記ロボットモーターを水平方向に移動させるように構成され;
前記ロボットモーターは前記ロボットアームを動かすように構成され;
前記通信カップリングの前記第1部分は、前記チャンバー内で前記ロボットモーターを水平方向に移動させるように構成され、前記通信カップリングの前記第1部分は、前記ロボットモーターに移動信号を送信するように構成され、前記通信カップリングの前記第1部分は、前記通信カップリングの前記第1部分の、前記チャンバー内における様々な水平位置のために、前記通信カップリングの第2部分とワイヤレスで通信するように構成される。
別の態様では、次のような方法が提供される。この方法は、
ロボットを、ロボットドライブによってチャンバーに接続することと;
前記チャンバーに第1ワイヤレス通信デバイスを接続することと;
前記ロボットに第2のワイヤレス通信デバイスを接続することと;
を含み、
前記ロボットドライブは、前記チャンバー内で前記ロボットを水平方向に移動させるように構成され、前記ロボットはロボットアーム及びロボットモーターを備え、前記ロボットモーターは前記ロボットアームを動かすように構成され;
前記第1ワイヤレス通信デバイスは前記第2ワイヤレス通信デバイスにワイヤレスでデータを送信するように構成され、前記ロボットは、前記第2のワイヤレス通信デバイスによって受信された前記データを、前記ロボットモーターの動きを制御するために使用するように構成される。
別の態様では、次のような方法が提供される。この方法は、ロボットをチャンバー内に配することを含む方法であって。
前記ロボットは、ロボットドライブによって前記チャンバーに接続され、前記ロボットドライブは前記ロボットを前記チャンバー内で直線路に沿って水平方向に移動させるように構成され、前記ロボットはロボットアーム及びロボットモーターを備え、前記ロボットモーターは前記ロボットアームを動かすように構成され、前記チャンバーに第1のワイヤレス通信デバイスが接続され、前記ロボットに第2のワイヤレス通信デバイスが接続され、前記方法は、
前記第1ワイヤレス通信デバイスから前記第2ワイヤレス通信デバイスにワイヤレスでデータを送信することと;
前記第1ワイヤレス通信デバイスから前記第2ワイヤレス通信デバイスに送信された前記データに基づいて、前記チャンバー内における前記直線路に沿った前記ロボットの様々な水平位置において、前記ロボットモーターの動きを制御することと;
を含む。
Claims (33)
- 駆動部と、前記駆動部に接続される腕部とを備えるロボットであって、
前記腕部は順次接続される少なくとも2つの腕リンクと少なくとも2つのエンドエフェクタとを有し、前記少なくとも2つの腕リンクのうちの第1の腕リンクは前記駆動部に接続し、前記少なくとも2つのエンドエフェクタは前記少なくとも2つの腕リンクのうちの別の腕リンクの端部に接続し、前記少なくとも2つのエンドエフェクタはそれぞれ基板支持領域を有し;
前記少なくとも2つのエンドエフェクタうちの第1のエンドエフェクタは、第1回転ジョイントによって、前記別の腕リンクの端部に回動可能に接続し;
前記少なくとも2つのエンドエフェクタのうちの第2のエンドエフェクタは、第2回転ジョイントによって、前記別の腕リンクの端部に回動可能に接続し;
前記第1のエンドエフェクタ及び前記第2のエンドエフェクタは、前記別の腕リンクの端部において、互いに独立に回動可能であり;
前記駆動部は、基板搬送チャンバーの単一の固定された位置に設置され;
前記腕部は、前記駆動部が前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定された位置に設置された状態で、前記少なくとも2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された少なくとも2つの基板処理チャンバーに出し入れするように構成され、前記少なくとも2つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる;
ロボット。 - 前記単一の固定された位置は、単に、前記基板搬送チャンバーの中央部付近に位置し、前記駆動部は、前記基板搬送チャンバーの前記中央部付近において、前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定された位置に設置されるように構成される、請求項1に記載のロボット。
- 前記腕部は、前記別の腕リンクにおいて、該別の腕リンクに対して前記第1のエンドエフェクタを回動させるように構成される第1のアクチュエーターと、該別の腕リンクに対して前記第2のエンドエフェクタを回動させるように構成される第2のアクチュエーターとを有する、請求項1に記載のロボット。
- 前記第1のアクチュエーター及び前記第2のアクチュエーターはそれぞれ電気モーターを有する、請求項3に記載のロボット。
- 前記電気モーターは少なくとも1つの気密容器内に位置する、請求項4に記載のロボット。
- 前記少なくとも2つの腕リンクは少なくとも3つの腕リンクを有する、請求項1に記載のロボット。
- 前記腕部は、前記少なくとも2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された複数の基板処理チャンバーのうちの少なくとも3つに出し入れするように構成され、前記少なくとも3つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる、請求項1に記載のロボット。
- 前記腕部は、前記駆動部に接続された第1のプーリーと、前記別の腕リンクに接続された第2のプーリーと、前記第1のプーリーを前記第2のプーリーに接続する機械的伝達バンドとを有し、前記第2のプーリーは前記別の腕リンクに固定されている、請求項1に記載のロボット。
- 前記少なくとも2つの腕リンクは2つの腕リンクしか有さない、請求項1に記載のロボット。
- 前記第1回転ジョイント及び前記第2回転ジョイントは、前記別の腕リンクの端部において同軸の回転軸を有する、請求項1に記載のロボット。
- 前記腕部は、前記少なくとも2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された複数の基板処理チャンバーのうちの更に別の2つに出し入れするように構成され、前記更に別の2つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの反対側の平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる、請求項1に記載のロボット。
- 前記少なくとも2つの腕リンクは2つの腕リンクしか有さず、
前記腕部は、前記駆動部に接続された第1のプーリーと、前記別の腕リンクに接続された第2のプーリーと、前記第1のプーリーを前記第2のプーリーに接続する機械的伝達バンドとを有し、前記第2のプーリーは前記別の腕リンクに固定されており、
前記腕部は、前記別の腕リンクにおいて、該別の腕リンクに対して前記第1のエンドエフェクタを回動させるように構成される第1のアクチュエーターと、該別の腕リンクに対して前記第2のエンドエフェクタを回動させるように構成される第2のアクチュエーターとを有し、
前記第1のアクチュエーター及び前記第2のアクチュエーターはそれぞれ電気モーターを有し、
前記電気モーターは少なくとも1つの気密容器内に位置する、
請求項11に記載のロボット。 - 前記腕部は、前記少なくとも2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された複数の基板処理チャンバーのうちの少なくとも3つに出し入れするように構成され、前記少なくとも3つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる、請求項11に記載のロボット。
- 前記少なくとも2つの腕リンクは少なくとも3つの腕リンクを有すし、
前記腕部は前記駆動部の回転軸に接続された第1のプーリーと、第2のプーリーと、前記第1のプーリーを前記第2のプーリーに接続する機械的伝達バンドとを有し、
前記腕部は、前記別の腕リンクにおいて、該別の腕リンクに対して前記第1のエンドエフェクタを回動させるように構成される第1のアクチュエーターと、該別の腕リンクに対して前記第2のエンドエフェクタを回動させるように構成される第2のアクチュエーターとを有し、
前記腕部は、前記少なくとも2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された複数の基板処理チャンバーのうちの少なくとも3つに出し入れするように構成され、前記少なくとも3つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでおり、
前記第1のアクチュエーター及び前記第2のアクチュエーターはそれぞれ電気モーターを有し、
前記電気モーターは少なくとも1つの気密容器内に位置する、
請求項11に記載のロボット。 - 方法であって、
基板搬送チャンバーに接続される複数の処理モジュール及び少なくとも1つのロードロックを有するように構成される前記基板搬送チャンバーを提供することを含み、前記基板搬送チャンバーは、該基板搬送チャンバーの中心線に沿う方向の奥行きとそれより短い幅とを有し、両側面はそれぞれ該側面に取り付けられる少なくとも3つの前記処理モジュールを有するように構成され、前記方法は更に、
前記基板搬送チャンバーにロボット駆動部を接続することを含み、前記ロボット駆動部は、前記基板搬送チャンバーの単一の固定位置において前記基板搬送チャンバーに搭載され、前記方法は更に、
前記ロボット駆動部にロボットアームを接続することを含み、前記ロボットアームの第1の端部は前記ロボット駆動部に接続され、前記ロボットアームは順次接続された少なくとも2つの腕リンクを有し、前記方法は更に、
少なくとも2つのエンドエフェクタを前記ロボットアームの第2の端部に接続することを含み、前記エンドエフェクタはそれぞれ少なくとも1つの基板支持領域を有し、
前記少なくとも2つのエンドエフェクタうちの第1のエンドエフェクタは、第1回転ジョイントによって、前記ロボットアームの前記第2の端部に回動可能に接続し、
前記少なくとも2つのエンドエフェクタうちの第2のエンドエフェクタは、第2回転ジョイントによって、前記ロボットアームの前記第2の端部に回動可能に接続し、
前記第1のエンドエフェクタ及び前記第2のエンドエフェクタは、前記ロボットアームの前記第2の端部において、互いに独立に回動可能であり、
前記ロボットアームは、前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定位置の前記ロボット駆動部によって、前記側面に取り付けられた前記少なくとも3つの処理モジュールに、前記エンドエフェクタを出し入れするように構成される、
方法。 - 前記複数の処理モジュールを前記基板搬送チャンバーに接続することを含み、
前記複数の処理モジュールを前記基板搬送チャンバーに接続することは、前記複数の処理モジュールのうちの少なくとも3つを前記基板搬送チャンバーの第1の側面に接続することと、前記複数の処理モジュールのうちの少なくとも3つを前記基板搬送チャンバーの前記第1の側面の反対側の第2の側面に接続することとを含む、
請求項15に記載の方法。 - 前記複数の処理モジュールのうちの少なくとも1つを前記基板搬送チャンバーの第1の側端部に接続することと、前記少なくとも1つのロードロックを前記基板搬送チャンバーの前記第1の側端部の反対側の第2の側端部に接続することとを含む、請求項16に記載の方法。
- ロボットアームであって、
ロボット駆動部に回動可能に接続されるように構成された第1の端部を有する第1の腕リンクと;
前記第1の腕リンクの第2の端部に回動可能に接続される第2の腕リンクと;
前記第1の腕リンク内の第1伝達部であって、前記第1の腕リンクに対して前記第2の腕リンクを回動させるように構成され、前記ロボット駆動部により動かされるように構成される、第1伝達部と;
前記第2の腕リンクに接続され、それぞれ少なくとも1つの基板支持領域を有する少なくとも2つのエンドエフェクタと;
を備え、
前記少なくとも2つのエンドエフェクタうちの第1のエンドエフェクタは、第1回転ジョイントによって、前記第2の腕リンクに回動可能に接続し;
前記少なくとも2つのエンドエフェクタうちの第2のエンドエフェクタは、第2回転ジョイントによって、前記第2の腕リンクに回動可能に接続し;
前記第1のエンドエフェクタ及び前記第2のエンドエフェクタは、前記第2の腕リンクにおいて、互いに独立に回動可能である;
ロボットアーム。 - 請求項18に記載のロボットアームと;
前記ロボットアームに接続される前記ロボット駆動部と;
を備え、
前記ロボット駆動部は、基板搬送チャンバーの単一の固定された位置に設置され;
前記ロボットアームは、前記ロボット駆動部が前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定された位置に設置された状態で、前記少なくとも2つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された少なくとも2つの基板処理チャンバーに出し入れするように構成され、前記少なくとも2つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる;
装置。 - 駆動部と、前記駆動部に接続される腕部とを備えるロボットであって、
前記腕部は順次接続される少なくとも3つの腕リンクと少なくとも1つのエンドエフェクタとを有し、前記少なくとも3つの腕リンクのうちの第1の腕リンクは前記駆動部に接続し、前記少なくとも1つのエンドエフェクタは前記少なくとも3つの腕リンクのうちの別の腕リンクの端部に接続し、前記少なくとも1つのエンドエフェクタは少なくとも2つの基板支持領域を有し;
前記少なくとも1つのエンドエフェクタは前記別の腕リンクの端部に回動可能に接続され;
前記駆動部は、基板搬送チャンバーの単一の固定された位置に設置され;
前記腕部は、前記駆動部が前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定された位置に設置された状態で、前記少なくとも1つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された少なくとも3つの基板処理チャンバーに出し入れするように構成され、前記少なくとも3つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる;
ロボット。 - 前記単一の固定された位置は、単に、前記基板搬送チャンバーの中央部付近に位置する、請求項20に記載のロボット。
- 前記少なくとも2つの基板支持領域は前記少なくとも1つのエンドエフェクタの両端部に位置する、請求項20に記載のロボット。
- 前記腕部は前記別の腕リンクに前記少なくとも1つのエンドエフェクタを回動させるように構成される第1のアクチュエーターを有し、前記第1のアクチュエーターは電気モーターを有する、請求項20に記載のロボット。
- 前記電気モーターは少なくとも1つの気密容器内に位置する、請求項20に記載のロボット。
- 前記腕部は、前記駆動部に接続された第1のプーリーと、第2のプーリーと、前記第1のプーリーを前記第2のプーリーに接続する機械的伝達バンドとを有する、請求項20に記載のロボット。
- 前記少なくとも1つのエンドエフェクタのうちの第1のエンドエフェクタは、第1回転ジョイントによって前記別の腕リンクの前記端部に回動可能に接続され、前記少なくとも1つのエンドエフェクタのうちの第2のエンドエフェクタは、第2回転ジョイントによって前記別の腕リンクの前記端部に回動可能に接続され、
前記第1のエンドエフェクタ及び前記第2のエンドエフェクタは、前記別の腕リンクの端部において、互いに独立に回動可能であり、前記第1回転ジョイント及び前記第2回転ジョイントは、前記別の腕リンクの端部において同軸の回転軸を有する、
請求項20に記載のロボット。 - 前記腕部は、前記第1のエンドエフェクタ及び前記第2のエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された複数の基板処理チャンバーのうちの更に別の2つに出し入れするように構成され、前記更に別の2つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの反対側の平面的な側面に沿ってまっすぐ直列的に並んでいる、請求項26に記載のロボット。
- 前記腕部は前記駆動部の回転軸に接続された第1のプーリーと、第2のプーリーと、前記第1のプーリーを前記第2のプーリーに接続する機械的伝達バンドとを有し、
前記腕部は、前記別の腕リンクにおいて、該別の腕リンクに対して前記第1のエンドエフェクタを回動させるように構成される第1のアクチュエーターと、該別の腕リンクに対して前記第2のエンドエフェクタを回動させるように構成される第2のアクチュエーターとを有し、
前記腕部は、前記第1のエンドエフェクタ及び前記第2のエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに取り付けられた前記複数の基板処理チャンバーのうちの少なくとも3つに出し入れするように構成され、
前記第1のアクチュエーター及び前記第2のアクチュエーターはそれぞれ電気モーターを有し、
前記電気モーターは少なくとも1つの気密容器内に位置する、
請求項27に記載のロボット。 - 駆動部と、前記駆動部に接続される腕部とを備えるロボットであって、
前記腕部は順次接続される少なくとも3つの腕リンクと少なくとも1つのエンドエフェクタとを有し、前記少なくとも3つの腕リンクのうちの第1の腕リンクは前記駆動部に接続し、前記少なくとも1つのエンドエフェクタは前記少なくとも3つの腕リンクのうちの別の腕リンクの端部に接続し、前記少なくとも1つのエンドエフェクタは少なくとも2つの基板支持領域を有し;
前記少なくとも1つのエンドエフェクタは前記別の腕リンクの端部に回動可能に接続され;
前記駆動部は、基板搬送チャンバーの単一の固定された位置に設置され、前記単一の固定された位置は、単に、前記基板搬送チャンバーの中央部付近に位置し;
前記腕部は、前記駆動部が前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定された位置に設置された状態で、前記少なくとも1つのエンドエフェクタを、前記基板搬送チャンバーに接続された少なくとも3つの基板処理チャンバーに出し入れするように構成され、前記少なくとも3つの基板処理チャンバーは、前記基板搬送チャンバーの第1の側面に沿って放射状ではない様に並んでいる;
ロボット。 - 方法であって、
基板搬送チャンバーに接続される複数の処理モジュール及び少なくとも1つのロードロックを有するように構成される前記基板搬送チャンバーを提供することを含み、前記基板搬送チャンバーは、該基板搬送チャンバーの中心線に沿う方向の奥行きとそれより短い幅とを有し、両側面はそれぞれ該側面に取り付けられる少なくとも3つの前記処理モジュールを有するように構成され、前記方法は更に、
前記基板搬送チャンバーにロボット駆動部を接続することを含み、前記ロボット駆動部は、前記基板搬送チャンバーの単一の固定位置において前記基板搬送チャンバーに搭載され、前記単一の固定位置は前記基板搬送チャンバーの中央部付近に位置し、前記方法は更に、
前記ロボット駆動部にロボットアームを接続することを含み、前記ロボットアームの第1の端部は前記ロボット駆動部に接続され、前記ロボットアームは順次接続された少なくとも3つの腕リンクを有し、前記方法は更に、
少なくとも1つのエンドエフェクタを前記ロボットアームの第2の端部に接続することを含み、前記少なくとも1つのエンドエフェクタは少なくとも2つの基板支持領域を有し、
前記少なくとも1つのエンドエフェクタは、第1回転ジョイントによって、前記ロボットアームの前記第2の端部に回動可能に接続され、
前記ロボットアームは、前記基板搬送チャンバーの前記単一の固定位置の前記ロボット駆動部によって、前記側面に取り付けられた前記少なくとも3つの処理モジュールに、前記少なくとも1つのエンドエフェクタを出し入れするように構成される、
方法。 - 前記少なくとも2つの基板支持領域は前記少なくとも1つのエンドエフェクタの両端部に位置する、請求項30に記載の方法。
- 前記腕部は該腕部に前記少なくとも1つのエンドエフェクタを回動させるように構成される少なくとも1つのアクチュエーターを有し、
前記少なくとも1つのアクチュエーターは少なくとも1つの電気モーターを有する、
請求項30に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの電気モーターは少なくとも1つの気密容器内に位置する、請求項32に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161627052P | 2011-09-16 | 2011-09-16 | |
US61/627,052 | 2011-09-16 | ||
US201261678721P | 2012-08-02 | 2012-08-02 | |
US61/678,721 | 2012-08-02 | ||
JP2020032497A JP7217718B2 (ja) | 2011-09-16 | 2020-02-28 | ロボット及び無線データカップリング |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020032497A Division JP7217718B2 (ja) | 2011-09-16 | 2020-02-28 | ロボット及び無線データカップリング |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022091812A true JP2022091812A (ja) | 2022-06-21 |
Family
ID=47880812
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014530870A Active JP6084618B2 (ja) | 2011-09-16 | 2012-09-14 | 低変動ロボット |
JP2016212483A Active JP6450728B2 (ja) | 2011-09-16 | 2016-10-31 | ロボット線形駆動熱伝導 |
JP2018230524A Active JP6707615B2 (ja) | 2011-09-16 | 2018-12-10 | 気密エンクロージャーを備えるロボットアームを有するロボット |
JP2020032497A Active JP7217718B2 (ja) | 2011-09-16 | 2020-02-28 | ロボット及び無線データカップリング |
JP2022038738A Pending JP2022091812A (ja) | 2011-09-16 | 2022-03-14 | ロボット及び無線データカップリング |
Family Applications Before (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014530870A Active JP6084618B2 (ja) | 2011-09-16 | 2012-09-14 | 低変動ロボット |
JP2016212483A Active JP6450728B2 (ja) | 2011-09-16 | 2016-10-31 | ロボット線形駆動熱伝導 |
JP2018230524A Active JP6707615B2 (ja) | 2011-09-16 | 2018-12-10 | 気密エンクロージャーを備えるロボットアームを有するロボット |
JP2020032497A Active JP7217718B2 (ja) | 2011-09-16 | 2020-02-28 | ロボット及び無線データカップリング |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (7) | US10569430B2 (ja) |
JP (5) | JP6084618B2 (ja) |
KR (6) | KR101829397B1 (ja) |
CN (1) | CN103917337B (ja) |
WO (1) | WO2013040401A1 (ja) |
Families Citing this family (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013040406A1 (en) | 2011-09-16 | 2013-03-21 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot drive with passive rotor |
US10476354B2 (en) | 2011-09-16 | 2019-11-12 | Persimmon Technologies Corp. | Robot drive with isolated optical encoder |
JP5532110B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-25 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送方法 |
JP6067379B2 (ja) * | 2013-01-09 | 2017-01-25 | 本田技研工業株式会社 | 動力伝達装置 |
US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
KR102308221B1 (ko) | 2013-06-05 | 2021-10-01 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 로봇 및 적응형 배치 시스템 및 방법 |
US10328580B2 (en) | 2013-08-09 | 2019-06-25 | Persimmon Technologies Corporation | Reduced footprint substrate transport vacuum platform |
US10424498B2 (en) | 2013-09-09 | 2019-09-24 | Persimmon Technologies Corporation | Substrate transport vacuum platform |
US10134621B2 (en) * | 2013-12-17 | 2018-11-20 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
TWI657524B (zh) * | 2013-12-17 | 2019-04-21 | 美商布魯克斯自動機械公司 | 基板搬運設備 |
US11587813B2 (en) | 2013-12-17 | 2023-02-21 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus |
KR20240046638A (ko) | 2014-01-21 | 2024-04-09 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 기판 이송 진공 플랫폼 |
EP3096925A4 (en) * | 2014-01-24 | 2018-05-16 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Linear motion device with extending tube for positioning |
US9444004B1 (en) * | 2014-05-02 | 2016-09-13 | Deployable Space Systems, Inc. | System and method for producing modular photovoltaic panel assemblies for space solar arrays |
CN107107336B (zh) * | 2014-11-18 | 2021-04-02 | 柿子技术公司 | 具有末端执行器位置估计的机器人自适应放置系统 |
US9912172B2 (en) * | 2015-01-14 | 2018-03-06 | Qualcomm Incorporated | Asymmetrically layered stacked coils and/or chamfered ferrite in wireless power transfer applications |
RU2654096C2 (ru) * | 2015-01-20 | 2018-05-16 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Промышленный робот |
KR102588559B1 (ko) | 2015-02-06 | 2023-10-12 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 이동가능 전력 커플링 및 이동가능 전력 커플링을 구비한 로봇 |
JP6182692B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2017-08-16 | 株式会社アルバック | 静電チャック付き搬送ロボットの制御システム |
DE102015009004A1 (de) | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Solaero Technologies Corp. | Automatisierte Anordnung und Befestigung von Solarzellen auf Paneelen für Weltraumanwendungen |
US10276742B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-04-30 | Solaero Technologies Corp. | Assembly and mounting of solar cells on space vehicles or satellites |
JP6616606B2 (ja) * | 2015-07-13 | 2019-12-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US10014205B2 (en) * | 2015-12-14 | 2018-07-03 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveyance robot and operating method thereof |
JP6985933B2 (ja) * | 2016-03-21 | 2021-12-22 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイションPersimmon Technologies, Corp. | 隔離された光学エンコーダを備えるロボット駆動装置 |
US10580681B2 (en) * | 2016-07-10 | 2020-03-03 | Yaskawa America Inc. | Robotic apparatus and method for transport of a workpiece |
US20180193107A1 (en) * | 2017-01-12 | 2018-07-12 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Balance arm apparatus for supporting heavy tools |
US20180308728A1 (en) * | 2017-02-07 | 2018-10-25 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for substrate transport |
KR20230110657A (ko) | 2017-02-15 | 2023-07-24 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 다수의 엔드-이펙터로써 재료를 핸들링하는 방법 및장치 |
JP7275039B2 (ja) | 2017-03-15 | 2023-05-17 | ラム リサーチ コーポレーション | リニア真空搬送モジュールを有する省スペースプラットフォームアーキテクチャ |
US10629472B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
US11020852B2 (en) | 2017-10-05 | 2021-06-01 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with independent accessory feedthrough |
JP7006169B2 (ja) * | 2017-11-20 | 2022-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
US11282737B2 (en) | 2018-02-15 | 2022-03-22 | Lam Research Corporation | Moving substrate transfer chamber |
JP7080074B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2022-06-03 | 株式会社ダイヘン | 搬送装置 |
RU2679863C1 (ru) * | 2018-04-24 | 2019-02-13 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" | Манипулятор для перемещения полупроводниковых пластин |
US10943805B2 (en) | 2018-05-18 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
KR20210027455A (ko) * | 2018-07-03 | 2021-03-10 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 로봇 페이로드 위치의 감지 및 수정을 위한 시스템 및 방법 |
US11031266B2 (en) * | 2018-07-16 | 2021-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer handling equipment and method thereof |
CN109050915B (zh) * | 2018-08-30 | 2022-07-01 | 徐州工程学院 | 一种飞行机器人手臂机电一体化系统 |
CN109038334B (zh) * | 2018-09-19 | 2024-03-29 | 国网山东省电力公司五莲县供电公司 | 变压器用油箱异物取出装置 |
KR20210071094A (ko) * | 2018-11-19 | 2021-06-15 | 매슨 테크놀로지 인크 | 워크피스 처리를 위한 시스템 및 방법 |
JP2022520635A (ja) | 2019-02-14 | 2022-03-31 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイション | 磁気によりガイドされた材料取扱いロボット |
JP2022520634A (ja) | 2019-02-14 | 2022-03-31 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイション | モジュール式材料取扱いロボットプラットフォーム |
US11883958B2 (en) | 2019-06-07 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus including dual end effectors with variable pitch and methods |
US11164769B2 (en) * | 2019-07-30 | 2021-11-02 | Brooks Automation, Inc. | Robot embedded vision apparatus |
CN110640786A (zh) * | 2019-09-02 | 2020-01-03 | 镇江市宏业科技有限公司 | 一种铝箔轧机专用套筒装夹机械臂 |
JP7325313B2 (ja) * | 2019-12-11 | 2023-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 回転駆動装置、基板処理装置及び回転駆動方法 |
JP2021095609A (ja) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
DE102020103058B3 (de) * | 2020-02-06 | 2021-07-08 | Beckhoff Automation Gmbh | Armmodul, Roboterarm und Industrieroboter |
WO2021163114A1 (en) * | 2020-02-10 | 2021-08-19 | Persimmon Technologies Corporation | Vacuum-environment robot with distributed actuators |
US11719044B2 (en) | 2020-03-19 | 2023-08-08 | Canrig Robotic Technologies As | Robotic system including an electrical clamping system |
US11836018B2 (en) * | 2020-03-19 | 2023-12-05 | Canrig Robotic Technologies As | Robotic system including an internal cooling system |
US11689344B2 (en) | 2020-05-11 | 2023-06-27 | Analog Devices International Unlimited Company | Full-duplex wireless data transfer for rotary joints |
WO2021243325A1 (en) * | 2020-05-29 | 2021-12-02 | Persimmon Technologies Corporation | Robot for high-temperature applications |
CN112060116B (zh) * | 2020-09-02 | 2021-08-24 | 深圳市大族富创得科技有限公司 | 一种搬运机器人 |
CN112405509A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-02-26 | 合肥匠新笃志智能科技有限公司 | 一种可编程式机器人系统及调控方法 |
KR20230157958A (ko) * | 2021-03-18 | 2023-11-17 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 다중 링크장치들을 가진 분산형 아키텍처 로봇 |
JP2023113503A (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-16 | 川崎重工業株式会社 | ロボットおよびロボットの制御方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07122618A (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-12 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
JP2000167788A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Nsk Ltd | 搬送ロボット装置 |
JP2008502498A (ja) * | 2004-06-09 | 2008-01-31 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 二重スカラアーム |
JP2009500865A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置 |
JP2009540613A (ja) * | 2006-06-15 | 2009-11-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数レベルのロードロックチャンバ、移送チャンバ、及びこれにインターフェイスするのに適したロボット |
Family Cites Families (95)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US363808A (en) | 1887-05-31 | Eailwat gate | ||
US636808A (en) | 1899-03-04 | 1899-11-14 | Eddie Judy | Spike-puller. |
US4453114A (en) * | 1982-12-30 | 1984-06-05 | The Boeing Company | Electromechanical actuator counter-EMF utilization system |
US4702668A (en) | 1985-01-24 | 1987-10-27 | Adept Technology, Inc. | Direct drive robotic system |
JPH0752140Y2 (ja) | 1990-06-14 | 1995-11-29 | アルプス電気株式会社 | ケーブルリール |
US5209699A (en) | 1991-02-26 | 1993-05-11 | Koyo Seiko Co., Ltd | Magnetic drive device |
EP0512516B1 (en) | 1991-05-08 | 1995-12-20 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Magnetic drive device |
JPH05326671A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-10 | Tel Varian Ltd | 真空処理装置 |
CN1046654C (zh) | 1993-04-16 | 1999-11-24 | 布鲁克斯自动化公司 | 传送装置 |
AU1945495A (en) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Novo Nordisk A/S | Acid addition salts of 2,3,4,5-tetrahydro-1h-3-benzazepine compounds |
JPH08267386A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Canon Inc | ロボット装置 |
US5794487A (en) | 1995-07-10 | 1998-08-18 | Smart Machines | Drive system for a robotic arm |
US6428266B1 (en) | 1995-07-10 | 2002-08-06 | Brooks Automation, Inc. | Direct driven robot |
US6299404B1 (en) * | 1995-10-27 | 2001-10-09 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with double substrate holders |
US6102164A (en) | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
JPH09314485A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-09 | Metsukusu:Kk | 真空作業装置 |
JP3182502B2 (ja) | 1996-06-03 | 2001-07-03 | 多摩川精機株式会社 | ハイブリッド型ステップモータ |
KR100581420B1 (ko) * | 1996-06-13 | 2006-08-30 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 다층기판처리장치 |
US6062798A (en) | 1996-06-13 | 2000-05-16 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
JP3988225B2 (ja) | 1997-10-17 | 2007-10-10 | 株式会社安川電機 | 搬送装置 |
JP3452811B2 (ja) | 1997-11-07 | 2003-10-06 | 株式会社不二越 | 産業用ロボットの配線及び配管支持装置 |
DE19850452B4 (de) | 1997-11-07 | 2013-12-12 | Nachi-Fujikoshi Corp. | Haltevorrichtung für Schaltverbindungen und Rohrleitungen eines Industrieroboters |
JPH11195687A (ja) | 1997-12-27 | 1999-07-21 | Nippon Seiko Kk | 基板搬送装置 |
US6155768A (en) * | 1998-01-30 | 2000-12-05 | Kensington Laboratories, Inc. | Multiple link robot arm system implemented with offset end effectors to provide extended reach and enhanced throughput |
US6198976B1 (en) * | 1998-03-04 | 2001-03-06 | Applied Materials, Inc. | On the fly center-finding during substrate handling in a processing system |
JP2000212736A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Shibaura Mechatronics Corp | 真空中の熱伝達機構及びこの熱伝達機構を備えた真空処理装置 |
JP2001024045A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-01-26 | Nikon Corp | 搬送装置およびそれを用いた露光装置 |
JP3263684B2 (ja) | 1999-07-26 | 2002-03-04 | 株式会社ジェーイーエル | 基板搬送用ロボット |
JP2001121461A (ja) | 1999-10-26 | 2001-05-08 | Denso Corp | ロボットシステム |
US6568899B1 (en) * | 1999-11-30 | 2003-05-27 | Wafermasters, Inc. | Wafer processing system including a robot |
WO2002052639A1 (fr) * | 2000-12-27 | 2002-07-04 | Tokyo Electron Limited | Systeme de transfert de pieces, procede de transfert, mandrin a depression et procede de centrage de plaquettes |
US6663333B2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-12-16 | Axcelis Technologies, Inc. | Wafer transport apparatus |
JP2003039376A (ja) | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Yaskawa Electric Corp | 衝突検出センサ |
JP2003117877A (ja) | 2001-10-17 | 2003-04-23 | Japan Servo Co Ltd | 多関節型の産業用ロボット |
JP3971701B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-09-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US7988398B2 (en) | 2002-07-22 | 2011-08-02 | Brooks Automation, Inc. | Linear substrate transport apparatus |
JP2004265894A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-09-24 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
GB2417090A (en) | 2003-04-28 | 2006-02-15 | Stephen James Crampton | CMM arm with exoskeleton |
JP4282064B2 (ja) | 2003-05-01 | 2009-06-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ロボット位置制御装置及び方法並びにロボットシステム |
AU2003304270A1 (en) | 2003-07-04 | 2005-01-21 | Rorze Corporation | Transfer device, thin plate-like article transfer method, and thin plate-like article production system |
JP3826118B2 (ja) * | 2003-07-08 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
US8016541B2 (en) * | 2003-09-10 | 2011-09-13 | Brooks Automation, Inc. | Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation |
JP4469592B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2010-05-26 | 山洋電気株式会社 | リニアモータ |
CN1902031A (zh) * | 2003-11-10 | 2007-01-24 | 布卢希弗特科技公司 | 用于处理基于真空的半导体处理系统中的工件的方法和系统 |
US7458763B2 (en) * | 2003-11-10 | 2008-12-02 | Blueshift Technologies, Inc. | Mid-entry load lock for semiconductor handling system |
EP1684951B1 (en) | 2003-11-10 | 2014-05-07 | Brooks Automation, Inc. | System for handling workpieces in a vacuum-based semiconductor handling system |
JP2005295762A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Canon Inc | ステージ装置および露光装置 |
US20060216137A1 (en) | 2004-07-02 | 2006-09-28 | Katsunori Sakata | Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate |
KR100909993B1 (ko) | 2004-07-09 | 2009-07-29 | 로제 가부시키가이샤 | 구동원 및 반송 로보트 |
DE102004045992A1 (de) | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Siemens Ag | Elektrische Maschine |
JP2006159318A (ja) | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Rorze Corp | 搬送ロボットおよびその搬送方法 |
WO2006062183A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボット及び搬送装置 |
US7255747B2 (en) | 2004-12-22 | 2007-08-14 | Sokudo Co., Ltd. | Coat/develop module with independent stations |
CN101164062A (zh) | 2005-01-13 | 2008-04-16 | Hsbc北美控股有限公司 | 用于成组系统软件配置和发布管理的架构 |
JP2007038360A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 多関節搬送装置及びそれを用いた半導体製造装置 |
JP2007122181A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 駆動ステージ装置 |
US7976420B2 (en) * | 2006-01-13 | 2011-07-12 | Nabtesco Corporation | Eccentric oscillating type speed reducer |
JP5020662B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2012-09-05 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP4848845B2 (ja) | 2006-06-01 | 2011-12-28 | 株式会社安川電機 | 真空ロボット、処理装置、モータの製造方法、およびモータ |
JP4098338B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2008-06-11 | 川崎重工業株式会社 | ウェハ移載装置および基板移載装置 |
JP4660434B2 (ja) | 2006-07-21 | 2011-03-30 | 株式会社安川電機 | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
US20080166210A1 (en) | 2007-01-05 | 2008-07-10 | Applied Materials, Inc. | Supinating cartesian robot blade |
CN101627467B (zh) * | 2007-03-02 | 2011-04-27 | 株式会社大亨 | 搬送装置 |
US7898135B2 (en) | 2007-03-07 | 2011-03-01 | Qm Power, Inc. | Hybrid permanent magnet motor |
JP4973267B2 (ja) | 2007-03-23 | 2012-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体 |
JP4979076B2 (ja) | 2007-06-14 | 2012-07-18 | ヤマハ発動機株式会社 | ロボット |
US8283813B2 (en) | 2007-06-27 | 2012-10-09 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
US7836939B2 (en) | 2007-08-01 | 2010-11-23 | Harris Corporation | Non-contacting thermal rotary joint |
JP4920547B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2012-04-18 | パナソニック電工Sunx株式会社 | ウエハ検出装置及びウエハ搬送装置 |
GB0807626D0 (en) | 2008-04-25 | 2008-06-04 | Ultra Electronics Ltd | Routing of cables |
CN101983463B (zh) * | 2008-05-09 | 2013-06-12 | 川崎重工业株式会社 | 物品输送机器人装置 |
JP5419384B2 (ja) | 2008-05-20 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
JP5262412B2 (ja) | 2008-08-07 | 2013-08-14 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 真空処理装置 |
JP5470770B2 (ja) | 2008-08-07 | 2014-04-16 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 真空処理装置 |
JP5353107B2 (ja) | 2008-08-07 | 2013-11-27 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送装置 |
KR20100040067A (ko) * | 2008-10-09 | 2010-04-19 | 주식회사 아토 | 웨이퍼 이송 방법 |
JP5424628B2 (ja) * | 2008-12-11 | 2014-02-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置 |
JP2010171344A (ja) | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
JP2011011316A (ja) | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Rexxam Co Ltd | ワーク搬送ロボット |
JP4792517B2 (ja) | 2009-07-07 | 2011-10-12 | 日本航空電子工業株式会社 | コネクタ組立体 |
JP2011078227A (ja) | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Nitta Corp | 電力中継回転継手 |
FR2951403B1 (fr) * | 2009-10-15 | 2011-12-23 | Salomon Sas | Jante composite et roue comportant une telee jante |
JP2011205878A (ja) | 2009-12-25 | 2011-10-13 | Canon Anelva Corp | 真空アクチュエータ及び基板搬送ロボット |
TW201238723A (en) * | 2011-01-31 | 2012-10-01 | Robotex Inc | Robotic arm system |
KR101338858B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2013-12-16 | 주식회사 나온테크 | 개별적으로 구동되는 핸드를 갖는 기판 이송 장치 및 그 제어 방법 |
US8461514B1 (en) * | 2011-02-03 | 2013-06-11 | Robert Rickenbach | Optical spectrum modulated position sensor having a controller with at least one fiber optic line |
KR20130104341A (ko) * | 2012-03-13 | 2013-09-25 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 방법, 기판 이송 로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템 |
JP5956324B2 (ja) | 2012-12-13 | 2016-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送基台及び搬送システム |
JP5819356B2 (ja) * | 2013-07-09 | 2015-11-24 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 |
JP6027661B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2016-11-16 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP2017017355A (ja) * | 2016-10-14 | 2017-01-19 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP2018152609A (ja) * | 2018-06-22 | 2018-09-27 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP6649995B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2020-02-19 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP6640923B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2020-02-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP2020074440A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
-
2012
- 2012-09-14 KR KR1020147009950A patent/KR101829397B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 KR KR1020177037506A patent/KR101923607B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 KR KR1020217027788A patent/KR102464941B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 WO PCT/US2012/055496 patent/WO2013040401A1/en active Application Filing
- 2012-09-14 CN CN201280054326.1A patent/CN103917337B/zh active Active
- 2012-09-14 KR KR1020187034046A patent/KR20180128987A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-09-14 US US13/618,117 patent/US10569430B2/en active Active
- 2012-09-14 JP JP2014530870A patent/JP6084618B2/ja active Active
- 2012-09-14 KR KR1020237018117A patent/KR20230084597A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-09-14 KR KR1020207007133A patent/KR102578140B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-11 US US14/938,292 patent/US10538000B2/en active Active
-
2016
- 2016-10-14 US US15/294,099 patent/US10882194B2/en active Active
- 2016-10-31 JP JP2016212483A patent/JP6450728B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-14 US US15/841,546 patent/US10792822B2/en active Active
- 2017-12-14 US US15/841,675 patent/US10800050B2/en active Active
-
2018
- 2018-12-10 JP JP2018230524A patent/JP6707615B2/ja active Active
-
2020
- 2020-02-28 JP JP2020032497A patent/JP7217718B2/ja active Active
- 2020-08-25 US US17/001,884 patent/US20200384657A1/en active Pending
- 2020-12-09 US US17/116,356 patent/US20210114238A1/en not_active Abandoned
-
2022
- 2022-03-14 JP JP2022038738A patent/JP2022091812A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07122618A (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-12 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
JP2000167788A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Nsk Ltd | 搬送ロボット装置 |
JP2008502498A (ja) * | 2004-06-09 | 2008-01-31 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 二重スカラアーム |
JP2009500865A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板搬送装置 |
JP2009540613A (ja) * | 2006-06-15 | 2009-11-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数レベルのロードロックチャンバ、移送チャンバ、及びこれにインターフェイスするのに適したロボット |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7217718B2 (ja) | ロボット及び無線データカップリング | |
US11769680B2 (en) | Substrate transport vacuum platform | |
US11772261B2 (en) | Compact direct drive spindle |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220314 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230201 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230427 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231107 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240202 |