JP7217718B2 - ロボット及び無線データカップリング - Google Patents
ロボット及び無線データカップリング Download PDFInfo
- Publication number
- JP7217718B2 JP7217718B2 JP2020032497A JP2020032497A JP7217718B2 JP 7217718 B2 JP7217718 B2 JP 7217718B2 JP 2020032497 A JP2020032497 A JP 2020032497A JP 2020032497 A JP2020032497 A JP 2020032497A JP 7217718 B2 JP7217718 B2 JP 7217718B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- link
- drive
- arm
- communication device
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0054—Cooling means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/006—Controls for manipulators by means of a wireless system for controlling one or several manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
- B25J9/126—Rotary actuators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67167—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers surrounding a central transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2039—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
ある態様に従って、少なくとも三つの部分を持つフレーム,第1位置センサー,駆動部,チャンバーを備える例示的装置が提供される。前記少なくとも三つの部分には、エンドエフェクタと、可動アームを形成する少なくとも二つのリンクとが含まれる。エンドエフェクタとリンクとは可動ジョイントで連結され、エンドエフェクタは基板を支持するように構成される。前記フレームにおいて、第1位置センサーは、第1ジョイントに近接していて、前記部分のうちの二つの相対位置を検知するように構成される。駆動部はフレームに連結し、可動アームを駆動するように構成される。フレームはチャンバー内に配置され、駆動部がチャンバーの壁を貫通していてもよい。
別の態様に従って、電気デバイス,フレーム,駆動部,熱伝導システムを備える例示的装置が提供される。前記フレームは前記電気デバイスを搭載すると共に、エンドエフェクタと、可動アームを形成する少なくとも二つのリンクとを含む、少なくとも三つの部分を有する。エンドエフェクタとリンクとは可動ジョイントで連結され、エンドエフェクタは基板を支持するように構成される。駆動部は可動アームに連結され、可動アームを駆動するように構成される。熱伝導システムは駆動部に設けられ、可動アームから同アームと離隔した場所に熱を伝導するように構成される。
回動可能な複数のリンクと、少なくとも一つの基板をその上に支持するように構成されるエンドエフェクタとを有するロボットアームであって、第一環境に位置するように構成されるロボットアームと;
前記ロボットアームに配される少なくとも一つのアクティブ要素と;
前記ロボットアームに配される気密エンクロージャーと;
前記ロボットアームに配される少なくとも一つの電気導体であって、前記気密エンクロージャーを貫通し、前記少なくとも一つのアクティブ要素に接続される、電気導体と;
を備え、
前記少なくとも一つのアクティブ要素は前記気密エンクロージャー内に配され、前記気密エンクロージャーは、該気密エンクロージャー内に、前記第一環境とは異なる第二環境を形成し、該気密エンクロージャー内において前記少なくとも一つのアクティブ要素を前記第二環境から隔離し;
前記気密エンクロージャーは、前記第二環境を前記第一環境から隔離し続けるために、前記気密エンクロージャーを通る前記少なくとも一つのアクティブ要素の通路を封止し;
前記少なくとも一つの電気導体は、前記複数のリンクの相互の動きを補償する、少なくとも一つの限定回転式フレクシャを備え、それによって、前記複数のリンクの相互の回動によって前記少なくとも一つの電気導体が破損することを防ぐ。
別の態様では、次のような方法が提供される。この方法は、
気密エンクロージャーの内部に少なくとも一つのアクティブ要素を位置させることと;
ロボットアーム上に前記気密エンクロージャーを位置させることと;
前記気密エンクロージャーを通る少なくとも一つの電気導体の通路を封止することと;
を含み、
前記ロボットアームは回動可能な複数のリンクと、少なくとも一つの基板をその上に支持するように構成されるエンドエフェクタとを備え、前記気密エンクロージャーは前記複数のリンクの第一のものに位置し、前記ロボットアームは第一環境に位置するように構成され;
前記少なくとも一つの電気導体は前記少なくとも一つのアクティブ要素に電気的に接続され、前記通路は前記第二環境を前記第一環境から隔離し続けるために封止され;
さらに前記方法は、前記複数のリンクの相互の動きを補償する少なくとも一つの限定回転式フレクシャを有する前記少なくとも一つの電気導体を設けることを含み、それによって、前記複数のリンクの相互の回動によって前記少なくとも一つの電気導体が破損することを防ぐ。
基板を載せて動かすように構成されるアームと;
前記アームを駆動するように構成されるモーターと;
前記モーターに接続されるモーター制御カップリングと;
を備え、チャンバー内で水平に移動しうるように構成される搬送装置であって、
前記モーター制御カップリングは、複数のセンサーからもたらされる基板の位置についての情報に関するデータをコントローラから受信し、前記コントローラからの前記データに基づいて前記基板の位置を調節するために前記モーターのための信号を生成し、前記信号を前記モーターに送信するように構成され;
前記モーター制御カップリングは、少なくとも一つのワイヤレス通信デバイスを用いて前記コントローラと通信するように構成される。
別の態様では、次のような装置が提供される。この装置は、
チャンバーと;
ロボットアームと、前記ロボットアームを動かすように構成されるロボットモーターとを有するロボットと;
前記ロボットを前記チャンバーに接続し、前記チャンバー内で前記ロボットを水平方向に移動させるように構成されるロボットドライブと;
前記チャンバーに接続される第1ワイヤレス通信デバイスと;
前記ロボットに接続される第2ワイヤレス通信デバイスと;
を備え、前記第1ワイヤレス通信デバイスは前記第2ワイヤレス通信デバイスにワイヤレスでデータを送信するように構成され、前記ロボットは、前記第2のワイヤレス通信デバイスによって受信された前記データを、前記ロボットモーターの動きを制御するために使用するように構成される。
別の態様では、次のような装置が提供される。この装置は、
チャンバーと;
ロボットモーターと;
ロボットドライブと;
前記ロボットモーターに接続されるロボットアームと;
前記ロボットモーターに接続される、通信カップリングの第1部分と;
を備え、
前記ロボットモーターは前記ロボットドライブによって前記チャンバーに接続され、前記ロボットドライブは、前記チャンバー内で前記ロボットモーターを水平方向に移動させるように構成され;
前記ロボットモーターは前記ロボットアームを動かすように構成され;
前記通信カップリングの前記第1部分は、前記チャンバー内で前記ロボットモーターを水平方向に移動させるように構成され、前記通信カップリングの前記第1部分は、前記ロボットモーターに移動信号を送信するように構成され、前記通信カップリングの前記第1部分は、前記通信カップリングの前記第1部分の、前記チャンバー内における様々な水平位置のために、前記通信カップリングの第2部分とワイヤレスで通信するように構成される。
別の態様では、次のような方法が提供される。この方法は、
ロボットを、ロボットドライブによってチャンバーに接続することと;
前記チャンバーに第1ワイヤレス通信デバイスを接続することと;
前記ロボットに第2のワイヤレス通信デバイスを接続することと;
を含み、
前記ロボットドライブは、前記チャンバー内で前記ロボットを水平方向に移動させるように構成され、前記ロボットはロボットアーム及びロボットモーターを備え、前記ロボットモーターは前記ロボットアームを動かすように構成され;
前記第1ワイヤレス通信デバイスは前記第2ワイヤレス通信デバイスにワイヤレスでデータを送信するように構成され、前記ロボットは、前記第2のワイヤレス通信デバイスによって受信された前記データを、前記ロボットモーターの動きを制御するために使用するように構成される。
別の態様では、次のような方法が提供される。この方法は、ロボットをチャンバー内に配することを含む方法であって。
前記ロボットは、ロボットドライブによって前記チャンバーに接続され、前記ロボットドライブは前記ロボットを前記チャンバー内で直線路に沿って水平方向に移動させるように構成され、前記ロボットはロボットアーム及びロボットモーターを備え、前記ロボットモーターは前記ロボットアームを動かすように構成され、前記チャンバーに第1のワイヤレス通信デバイスが接続され、前記ロボットに第2のワイヤレス通信デバイスが接続され、前記方法は、
前記第1ワイヤレス通信デバイスから前記第2ワイヤレス通信デバイスにワイヤレスでデータを送信することと;
前記第1ワイヤレス通信デバイスから前記第2ワイヤレス通信デバイスに送信された前記データに基づいて、前記チャンバー内における前記直線路に沿った前記ロボットの様々な水平位置において、前記ロボットモーターの動きを制御することと;
を含む。
Claims (6)
- 基板を載せて動かすように構成されるアームと、前記アームを駆動するように構成されるモーターと、前記モーターに接続されるモーター制御カップリングとを備え、チャンバー内で水平に移動しうるように構成される搬送装置であって、
前記モーター制御カップリングは、複数のセンサーからもたらされる基板の位置についての情報に基づくデータをコントローラから受信し、前記コントローラからの前記データに基づいて前記基板の位置を調節するために前記モーターのための信号を生成し、前記信号を前記モーターに送信するように構成され;
前記モーター制御カップリングは、少なくとも一つの非接触通信デバイスを用いて前記コントローラと通信するように構成され;
前記少なくとも一つの非接触通信デバイスは、前記チャンバーの内側に位置するように構成される少なくとも一つの第1非接触通信デバイスと、前記チャンバーの外側に位置するように構成される少なくとも一つの第2非接触通信デバイスとを含み、前記少なくとも一つの第1非接触通信デバイス及び前記少なくとも一つの第2非接触通信デバイスは前記チャンバーの内側と前記チャンバーの外側との間で前記チャンバーを通して互いに無線信号を送受信するように構成される;
搬送装置。 - 前記少なくとも一つの第1非接触通信デバイスは、前記モーターに接続される第1の光学的通信デバイスを備える、請求項1に記載の搬送装置。
- 前記少なくとも一つの第2非接触通信デバイスは、第2の光学的通信デバイスを備え、前記第1の光学的通信デバイスと前記第2の光学的通信デバイスとは相手と光学的にやりとりするように構成される、請求項2に記載の搬送装置。
- 前記第1の光学的通信デバイスと前記第2の光学的通信デバイスとは、前記モーターとアームとが前記チャンバー内で移動軸に沿って水平方向に移動する際に、相手と光学的にやりとりするように構成される、請求項3に記載の搬送装置。
- 前記モーターは前記搬送装置のベース上でエンクロージャー内に配され、前記ベースは前記チャンバー内で水平方向に移動可能である、請求項1に記載の搬送装置。
- 前記チャンバーの内部の気圧は前記エクロージャの内部の気圧とは異なる、請求項5に記載の搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022038738A JP2022091812A (ja) | 2011-09-16 | 2022-03-14 | ロボット及び無線データカップリング |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201161627052P | 2011-09-16 | 2011-09-16 | |
US61/627,052 | 2011-09-16 | ||
US201261678721P | 2012-08-02 | 2012-08-02 | |
US61/678,721 | 2012-08-02 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018230524A Division JP6707615B2 (ja) | 2011-09-16 | 2018-12-10 | 気密エンクロージャーを備えるロボットアームを有するロボット |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022038738A Division JP2022091812A (ja) | 2011-09-16 | 2022-03-14 | ロボット及び無線データカップリング |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020167395A JP2020167395A (ja) | 2020-10-08 |
JP7217718B2 true JP7217718B2 (ja) | 2023-02-03 |
Family
ID=47880812
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014530870A Active JP6084618B2 (ja) | 2011-09-16 | 2012-09-14 | 低変動ロボット |
JP2016212483A Active JP6450728B2 (ja) | 2011-09-16 | 2016-10-31 | ロボット線形駆動熱伝導 |
JP2018230524A Active JP6707615B2 (ja) | 2011-09-16 | 2018-12-10 | 気密エンクロージャーを備えるロボットアームを有するロボット |
JP2020032497A Active JP7217718B2 (ja) | 2011-09-16 | 2020-02-28 | ロボット及び無線データカップリング |
JP2022038738A Pending JP2022091812A (ja) | 2011-09-16 | 2022-03-14 | ロボット及び無線データカップリング |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014530870A Active JP6084618B2 (ja) | 2011-09-16 | 2012-09-14 | 低変動ロボット |
JP2016212483A Active JP6450728B2 (ja) | 2011-09-16 | 2016-10-31 | ロボット線形駆動熱伝導 |
JP2018230524A Active JP6707615B2 (ja) | 2011-09-16 | 2018-12-10 | 気密エンクロージャーを備えるロボットアームを有するロボット |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022038738A Pending JP2022091812A (ja) | 2011-09-16 | 2022-03-14 | ロボット及び無線データカップリング |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (7) | US10569430B2 (ja) |
JP (5) | JP6084618B2 (ja) |
KR (6) | KR20230084597A (ja) |
CN (1) | CN103917337B (ja) |
WO (1) | WO2013040401A1 (ja) |
Families Citing this family (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102499348B1 (ko) | 2011-09-16 | 2023-02-13 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 패시브 회전자를 가진 로봇 구동 |
US10476354B2 (en) | 2011-09-16 | 2019-11-12 | Persimmon Technologies Corp. | Robot drive with isolated optical encoder |
JP5532110B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-25 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送方法 |
JP6067379B2 (ja) * | 2013-01-09 | 2017-01-25 | 本田技研工業株式会社 | 動力伝達装置 |
US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
US9842757B2 (en) | 2013-06-05 | 2017-12-12 | Persimmon Technologies Corporation | Robot and adaptive placement system and method |
US10328580B2 (en) | 2013-08-09 | 2019-06-25 | Persimmon Technologies Corporation | Reduced footprint substrate transport vacuum platform |
US10424498B2 (en) | 2013-09-09 | 2019-09-24 | Persimmon Technologies Corporation | Substrate transport vacuum platform |
TWI657524B (zh) * | 2013-12-17 | 2019-04-21 | 美商布魯克斯自動機械公司 | 基板搬運設備 |
US11587813B2 (en) | 2013-12-17 | 2023-02-21 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate transport apparatus |
US10134621B2 (en) * | 2013-12-17 | 2018-11-20 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
KR20240046638A (ko) | 2014-01-21 | 2024-04-09 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 기판 이송 진공 플랫폼 |
EP3096925A4 (en) * | 2014-01-24 | 2018-05-16 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Linear motion device with extending tube for positioning |
US9444004B1 (en) * | 2014-05-02 | 2016-09-13 | Deployable Space Systems, Inc. | System and method for producing modular photovoltaic panel assemblies for space solar arrays |
KR102469258B1 (ko) * | 2014-11-18 | 2022-11-22 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 엔드 이펙터 위치 추정을 위한 로봇의 적응형 배치 시스템 |
US9912172B2 (en) * | 2015-01-14 | 2018-03-06 | Qualcomm Incorporated | Asymmetrically layered stacked coils and/or chamfered ferrite in wireless power transfer applications |
RU2654096C2 (ru) * | 2015-01-20 | 2018-05-16 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" | Промышленный робот |
KR20180004313A (ko) * | 2015-02-06 | 2018-01-10 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 이동가능 전력 커플링 및 이동가능 전력 커플링을 구비한 로봇 |
CN107615472B (zh) * | 2015-05-29 | 2020-10-02 | 株式会社爱发科 | 带静电卡盘的运输机器人的控制系统 |
DE102015009004A1 (de) | 2015-06-05 | 2016-12-08 | Solaero Technologies Corp. | Automatisierte Anordnung und Befestigung von Solarzellen auf Paneelen für Weltraumanwendungen |
US10276742B2 (en) | 2015-07-09 | 2019-04-30 | Solaero Technologies Corp. | Assembly and mounting of solar cells on space vehicles or satellites |
JP6616606B2 (ja) * | 2015-07-13 | 2019-12-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US10014205B2 (en) * | 2015-12-14 | 2018-07-03 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveyance robot and operating method thereof |
KR102447015B1 (ko) * | 2016-03-21 | 2022-09-23 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 격리된 광학 인코더를 가진 로봇 구동 |
US10580681B2 (en) * | 2016-07-10 | 2020-03-03 | Yaskawa America Inc. | Robotic apparatus and method for transport of a workpiece |
US20180193107A1 (en) * | 2017-01-12 | 2018-07-12 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Balance arm apparatus for supporting heavy tools |
US20180308728A1 (en) * | 2017-02-07 | 2018-10-25 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for substrate transport |
US10580682B2 (en) | 2017-02-15 | 2020-03-03 | Persimmon Technologies, Corp. | Material-handling robot with multiple end-effectors |
EP3596752A4 (en) | 2017-03-15 | 2021-01-06 | LAM Research Corporation | SPACE-SAVING PLATFORM ARCHITECTURE WITH LINEAR VACUUM TRANSFER MODULE |
US10629472B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
US11020852B2 (en) * | 2017-10-05 | 2021-06-01 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with independent accessory feedthrough |
JP7006169B2 (ja) * | 2017-11-20 | 2022-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
CN111742400A (zh) | 2018-02-15 | 2020-10-02 | 朗姆研究公司 | 移动衬底传送室 |
JP7080074B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2022-06-03 | 株式会社ダイヘン | 搬送装置 |
RU2679863C1 (ru) * | 2018-04-24 | 2019-02-13 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" | Манипулятор для перемещения полупроводниковых пластин |
US10943805B2 (en) | 2018-05-18 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
JP7455800B2 (ja) * | 2018-07-03 | 2024-03-26 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイション | ロボットペイロード位置の決定及び補正のためのシステム及び方法 |
US11031266B2 (en) * | 2018-07-16 | 2021-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Wafer handling equipment and method thereof |
CN109050915B (zh) * | 2018-08-30 | 2022-07-01 | 徐州工程学院 | 一种飞行机器人手臂机电一体化系统 |
CN109038334B (zh) * | 2018-09-19 | 2024-03-29 | 国网山东省电力公司五莲县供电公司 | 变压器用油箱异物取出装置 |
KR20210071094A (ko) * | 2018-11-19 | 2021-06-15 | 매슨 테크놀로지 인크 | 워크피스 처리를 위한 시스템 및 방법 |
CN114025926A (zh) | 2019-02-14 | 2022-02-08 | 柿子技术公司 | 模块化材料处理机器人平台 |
KR20220010710A (ko) | 2019-02-14 | 2022-01-26 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 기계적으로 안내되는 자재 취급 로봇 |
US11883958B2 (en) | 2019-06-07 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus including dual end effectors with variable pitch and methods |
US11164769B2 (en) * | 2019-07-30 | 2021-11-02 | Brooks Automation, Inc. | Robot embedded vision apparatus |
CN110640786A (zh) * | 2019-09-02 | 2020-01-03 | 镇江市宏业科技有限公司 | 一种铝箔轧机专用套筒装夹机械臂 |
US11569111B2 (en) | 2019-12-02 | 2023-01-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
JP7325313B2 (ja) * | 2019-12-11 | 2023-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 回転駆動装置、基板処理装置及び回転駆動方法 |
JP2021095609A (ja) * | 2019-12-18 | 2021-06-24 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
DE102020103058B3 (de) * | 2020-02-06 | 2021-07-08 | Beckhoff Automation Gmbh | Armmodul, Roboterarm und Industrieroboter |
WO2021163114A1 (en) * | 2020-02-10 | 2021-08-19 | Persimmon Technologies Corporation | Vacuum-environment robot with distributed actuators |
US11719044B2 (en) | 2020-03-19 | 2023-08-08 | Canrig Robotic Technologies As | Robotic system including an electrical clamping system |
US11836018B2 (en) | 2020-03-19 | 2023-12-05 | Canrig Robotic Technologies As | Robotic system including an internal cooling system |
US11689344B2 (en) | 2020-05-11 | 2023-06-27 | Analog Devices International Unlimited Company | Full-duplex wireless data transfer for rotary joints |
KR20230016685A (ko) * | 2020-05-29 | 2023-02-02 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 고온 적용을 위한 로봇 |
US20220005726A1 (en) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus, systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
CN112060116B (zh) * | 2020-09-02 | 2021-08-24 | 深圳市大族富创得科技有限公司 | 一种搬运机器人 |
CN112405509A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-02-26 | 合肥匠新笃志智能科技有限公司 | 一种可编程式机器人系统及调控方法 |
JP2024510251A (ja) * | 2021-03-18 | 2024-03-06 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイション | 複数のリンケージを有する分散アーキテクチャロボット |
JP7550104B2 (ja) | 2021-04-23 | 2024-09-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及びアームの冷却方法 |
JP2023113503A (ja) * | 2022-02-03 | 2023-08-16 | 川崎重工業株式会社 | ロボットおよびロボットの制御方法 |
WO2024143553A1 (ja) * | 2022-12-28 | 2024-07-04 | 川崎重工業株式会社 | 真空環境下用ロボット |
PL443916A1 (pl) * | 2023-02-28 | 2024-09-02 | Politechnika Łódzka | Reaktor do elektrokoagulacji ścieków przemysłowych i komunalnych |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004265894A (ja) | 2003-01-17 | 2004-09-24 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2007511104A (ja) | 2003-11-10 | 2007-04-26 | ブルーシフト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 真空下の半導体処理システムにおいて加工中の製品を処理する方法及びシステム |
Family Cites Families (101)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US363808A (en) | 1887-05-31 | Eailwat gate | ||
US636808A (en) | 1899-03-04 | 1899-11-14 | Eddie Judy | Spike-puller. |
US4453114A (en) * | 1982-12-30 | 1984-06-05 | The Boeing Company | Electromechanical actuator counter-EMF utilization system |
US4702668A (en) | 1985-01-24 | 1987-10-27 | Adept Technology, Inc. | Direct drive robotic system |
JPH0752140Y2 (ja) | 1990-06-14 | 1995-11-29 | アルプス電気株式会社 | ケーブルリール |
US5209699A (en) | 1991-02-26 | 1993-05-11 | Koyo Seiko Co., Ltd | Magnetic drive device |
DE69206872T2 (de) | 1991-05-08 | 1996-07-25 | Koyo Seiko Co | Magnetische Antriebsvorrichtung |
JPH05326671A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-10 | Tel Varian Ltd | 真空処理装置 |
DE69415517T3 (de) | 1993-04-16 | 2005-03-17 | Brooks Automation, Inc., Lowell | Handhabungseinrichtung mit gelenkarm |
JP3671983B2 (ja) * | 1993-10-22 | 2005-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
DE69521122T2 (de) * | 1994-03-16 | 2002-03-07 | Cenes Ltd., Cambridge | 2,3,4,5-tetrahydro-1h-3-benzazepin säure-additions-salze |
JPH08267386A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Canon Inc | ロボット装置 |
US6428266B1 (en) | 1995-07-10 | 2002-08-06 | Brooks Automation, Inc. | Direct driven robot |
US5794487A (en) | 1995-07-10 | 1998-08-18 | Smart Machines | Drive system for a robotic arm |
US6299404B1 (en) * | 1995-10-27 | 2001-10-09 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with double substrate holders |
US6102164A (en) | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
JPH09314485A (ja) * | 1996-05-29 | 1997-12-09 | Metsukusu:Kk | 真空作業装置 |
JP3182502B2 (ja) | 1996-06-03 | 2001-07-03 | 多摩川精機株式会社 | ハイブリッド型ステップモータ |
US6062798A (en) * | 1996-06-13 | 2000-05-16 | Brooks Automation, Inc. | Multi-level substrate processing apparatus |
KR100581420B1 (ko) * | 1996-06-13 | 2006-08-30 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 다층기판처리장치 |
JP3988225B2 (ja) | 1997-10-17 | 2007-10-10 | 株式会社安川電機 | 搬送装置 |
JP3452811B2 (ja) | 1997-11-07 | 2003-10-06 | 株式会社不二越 | 産業用ロボットの配線及び配管支持装置 |
DE19850452B4 (de) | 1997-11-07 | 2013-12-12 | Nachi-Fujikoshi Corp. | Haltevorrichtung für Schaltverbindungen und Rohrleitungen eines Industrieroboters |
JPH11195687A (ja) * | 1997-12-27 | 1999-07-21 | Nippon Seiko Kk | 基板搬送装置 |
US6155768A (en) * | 1998-01-30 | 2000-12-05 | Kensington Laboratories, Inc. | Multiple link robot arm system implemented with offset end effectors to provide extended reach and enhanced throughput |
US6198976B1 (en) | 1998-03-04 | 2001-03-06 | Applied Materials, Inc. | On the fly center-finding during substrate handling in a processing system |
JP2000167788A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-20 | Nsk Ltd | 搬送ロボット装置 |
JP2000212736A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Shibaura Mechatronics Corp | 真空中の熱伝達機構及びこの熱伝達機構を備えた真空処理装置 |
JP2001024045A (ja) | 1999-07-08 | 2001-01-26 | Nikon Corp | 搬送装置およびそれを用いた露光装置 |
JP3263684B2 (ja) | 1999-07-26 | 2002-03-04 | 株式会社ジェーイーエル | 基板搬送用ロボット |
JP2001121461A (ja) | 1999-10-26 | 2001-05-08 | Denso Corp | ロボットシステム |
US6568899B1 (en) * | 1999-11-30 | 2003-05-27 | Wafermasters, Inc. | Wafer processing system including a robot |
EP1357589A4 (en) * | 2000-12-27 | 2005-04-20 | Tokyo Electron Ltd | "WORKPIECE TRANSFER SYSTEM, TRANSFER METHOD, VACUUM CHUCK AND WAFER CENTERING METHOD" |
US6663333B2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-12-16 | Axcelis Technologies, Inc. | Wafer transport apparatus |
JP2003039376A (ja) | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Yaskawa Electric Corp | 衝突検出センサ |
JP2003117877A (ja) | 2001-10-17 | 2003-04-23 | Japan Servo Co Ltd | 多関節型の産業用ロボット |
JP3971701B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-09-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2003170384A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-17 | Rorze Corp | 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム |
JP2003203963A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Tokyo Electron Ltd | 搬送機構、処理システム及び搬送方法 |
US7988398B2 (en) | 2002-07-22 | 2011-08-02 | Brooks Automation, Inc. | Linear substrate transport apparatus |
KR20060015557A (ko) | 2003-04-28 | 2006-02-17 | 스티븐 제임스 크램톤 | 외골격을 구비한 cmm 암 |
JP4282064B2 (ja) * | 2003-05-01 | 2009-06-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ロボット位置制御装置及び方法並びにロボットシステム |
AU2003304270A1 (en) | 2003-07-04 | 2005-01-21 | Rorze Corporation | Transfer device, thin plate-like article transfer method, and thin plate-like article production system |
JP3826118B2 (ja) * | 2003-07-08 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
US8016541B2 (en) * | 2003-09-10 | 2011-09-13 | Brooks Automation, Inc. | Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation |
JP4469592B2 (ja) * | 2003-10-31 | 2010-05-26 | 山洋電気株式会社 | リニアモータ |
CN1902031A (zh) | 2003-11-10 | 2007-01-24 | 布卢希弗特科技公司 | 用于处理基于真空的半导体处理系统中的工件的方法和系统 |
US7458763B2 (en) * | 2003-11-10 | 2008-12-02 | Blueshift Technologies, Inc. | Mid-entry load lock for semiconductor handling system |
JP2005295762A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Canon Inc | ステージ装置および露光装置 |
US8376685B2 (en) * | 2004-06-09 | 2013-02-19 | Brooks Automation, Inc. | Dual scara arm |
US20060216137A1 (en) | 2004-07-02 | 2006-09-28 | Katsunori Sakata | Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate |
CN1981371B (zh) | 2004-07-09 | 2010-05-05 | 日商乐华股份有限公司 | 驱动源及移动式搬运机器人 |
DE102004045992A1 (de) | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Siemens Ag | Elektrische Maschine |
JP2006159318A (ja) | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Rorze Corp | 搬送ロボットおよびその搬送方法 |
WO2006062183A1 (ja) * | 2004-12-10 | 2006-06-15 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボット及び搬送装置 |
US7371022B2 (en) | 2004-12-22 | 2008-05-13 | Sokudo Co., Ltd. | Developer endpoint detection in a track lithography system |
CA2594754A1 (en) | 2005-01-13 | 2006-07-20 | Hsbc North America Holdings Inc. | Computer software implemented framework for configuration and release management of group systems software, and method for same |
US8573919B2 (en) * | 2005-07-11 | 2013-11-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
JP2007038360A (ja) * | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 多関節搬送装置及びそれを用いた半導体製造装置 |
JP2007122181A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 駆動ステージ装置 |
ATE490422T1 (de) * | 2006-01-13 | 2010-12-15 | Nabtesco Corp | Exzentrisch schwingendes untersetzungsgetriebe |
JP5020662B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2012-09-05 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP4848845B2 (ja) | 2006-06-01 | 2011-12-28 | 株式会社安川電機 | 真空ロボット、処理装置、モータの製造方法、およびモータ |
US7695232B2 (en) * | 2006-06-15 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Multi-level load lock chamber, transfer chamber, and robot suitable for interfacing with same |
JP4098338B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2008-06-11 | 川崎重工業株式会社 | ウェハ移載装置および基板移載装置 |
JP4660434B2 (ja) * | 2006-07-21 | 2011-03-30 | 株式会社安川電機 | 搬送機構およびそれを備えた処理装置 |
US20080166210A1 (en) | 2007-01-05 | 2008-07-10 | Applied Materials, Inc. | Supinating cartesian robot blade |
JPWO2008120294A1 (ja) * | 2007-03-02 | 2010-07-15 | 株式会社ダイヘン | 搬送装置 |
US7898135B2 (en) | 2007-03-07 | 2011-03-01 | Qm Power, Inc. | Hybrid permanent magnet motor |
JP4973267B2 (ja) | 2007-03-23 | 2012-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体 |
JP4979076B2 (ja) | 2007-06-14 | 2012-07-18 | ヤマハ発動機株式会社 | ロボット |
US8283813B2 (en) * | 2007-06-27 | 2012-10-09 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
US7836939B2 (en) | 2007-08-01 | 2010-11-23 | Harris Corporation | Non-contacting thermal rotary joint |
JP4920547B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2012-04-18 | パナソニック電工Sunx株式会社 | ウエハ検出装置及びウエハ搬送装置 |
GB0807626D0 (en) | 2008-04-25 | 2008-06-04 | Ultra Electronics Ltd | Routing of cables |
KR101259681B1 (ko) * | 2008-05-09 | 2013-05-02 | 가와사키 쥬코교 가부시키가이샤 | 물품반송 로봇장치 |
JP5419384B2 (ja) | 2008-05-20 | 2014-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
JP5470770B2 (ja) | 2008-08-07 | 2014-04-16 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 真空処理装置 |
JP5353107B2 (ja) | 2008-08-07 | 2013-11-27 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送装置 |
JP5262412B2 (ja) * | 2008-08-07 | 2013-08-14 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 真空処理装置 |
KR20100040067A (ko) * | 2008-10-09 | 2010-04-19 | 주식회사 아토 | 웨이퍼 이송 방법 |
JP5424628B2 (ja) * | 2008-12-11 | 2014-02-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空処理装置 |
JP2010171344A (ja) | 2009-01-26 | 2010-08-05 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置 |
JP2011011316A (ja) | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Rexxam Co Ltd | ワーク搬送ロボット |
JP4792517B2 (ja) | 2009-07-07 | 2011-10-12 | 日本航空電子工業株式会社 | コネクタ組立体 |
JP2011078227A (ja) | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Nitta Corp | 電力中継回転継手 |
FR2951403B1 (fr) * | 2009-10-15 | 2011-12-23 | Salomon Sas | Jante composite et roue comportant une telee jante |
JP2011205878A (ja) | 2009-12-25 | 2011-10-13 | Canon Anelva Corp | 真空アクチュエータ及び基板搬送ロボット |
KR101338858B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2013-12-16 | 주식회사 나온테크 | 개별적으로 구동되는 핸드를 갖는 기판 이송 장치 및 그 제어 방법 |
US20120215358A1 (en) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Robotex Inc. | Robotic arm system |
US8461514B1 (en) * | 2011-02-03 | 2013-06-11 | Robert Rickenbach | Optical spectrum modulated position sensor having a controller with at least one fiber optic line |
KR102618895B1 (ko) * | 2011-03-11 | 2023-12-28 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 기판 처리 툴 |
KR20130104341A (ko) * | 2012-03-13 | 2013-09-25 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 방법, 기판 이송 로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템 |
JP5956324B2 (ja) | 2012-12-13 | 2016-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送基台及び搬送システム |
JP5819356B2 (ja) * | 2013-07-09 | 2015-11-24 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 |
JP6027661B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2016-11-16 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP2017017355A (ja) * | 2016-10-14 | 2017-01-19 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP6640923B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2020-02-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP6649995B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2020-02-19 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP2018152609A (ja) * | 2018-06-22 | 2018-09-27 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP2020074440A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
-
2012
- 2012-09-14 KR KR1020237018117A patent/KR20230084597A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-09-14 KR KR1020217027788A patent/KR102464941B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 KR KR1020187034046A patent/KR20180128987A/ko not_active Application Discontinuation
- 2012-09-14 US US13/618,117 patent/US10569430B2/en active Active
- 2012-09-14 JP JP2014530870A patent/JP6084618B2/ja active Active
- 2012-09-14 KR KR1020207007133A patent/KR102578140B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 CN CN201280054326.1A patent/CN103917337B/zh active Active
- 2012-09-14 KR KR1020147009950A patent/KR101829397B1/ko active IP Right Grant
- 2012-09-14 WO PCT/US2012/055496 patent/WO2013040401A1/en active Application Filing
- 2012-09-14 KR KR1020177037506A patent/KR101923607B1/ko active IP Right Grant
-
2015
- 2015-11-11 US US14/938,292 patent/US10538000B2/en active Active
-
2016
- 2016-10-14 US US15/294,099 patent/US10882194B2/en active Active
- 2016-10-31 JP JP2016212483A patent/JP6450728B2/ja active Active
-
2017
- 2017-12-14 US US15/841,546 patent/US10792822B2/en active Active
- 2017-12-14 US US15/841,675 patent/US10800050B2/en active Active
-
2018
- 2018-12-10 JP JP2018230524A patent/JP6707615B2/ja active Active
-
2020
- 2020-02-28 JP JP2020032497A patent/JP7217718B2/ja active Active
- 2020-08-25 US US17/001,884 patent/US20200384657A1/en active Pending
- 2020-12-09 US US17/116,356 patent/US20210114238A1/en not_active Abandoned
-
2022
- 2022-03-14 JP JP2022038738A patent/JP2022091812A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004265894A (ja) | 2003-01-17 | 2004-09-24 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JP2007511104A (ja) | 2003-11-10 | 2007-04-26 | ブルーシフト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 真空下の半導体処理システムにおいて加工中の製品を処理する方法及びシステム |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7217718B2 (ja) | ロボット及び無線データカップリング | |
US11769680B2 (en) | Substrate transport vacuum platform | |
KR20190093675A (ko) | 콤팩트하고 샤프트 없는 직접 구동의 기판 수송 장치 | |
JP2023513221A (ja) | 分散型アクチュエータを搭載した真空環境ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210413 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210707 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20210908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211011 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20211116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220314 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220314 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220323 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220324 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20220415 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20220419 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220830 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220915 |
|
C302 | Record of communication |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302 Effective date: 20221117 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20221121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221122 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20221130 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20221226 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20221226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7217718 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |