JP2003117877A - 多関節型の産業用ロボット - Google Patents

多関節型の産業用ロボット

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JP2003117877A
JP2003117877A JP2001319385A JP2001319385A JP2003117877A JP 2003117877 A JP2003117877 A JP 2003117877A JP 2001319385 A JP2001319385 A JP 2001319385A JP 2001319385 A JP2001319385 A JP 2001319385A JP 2003117877 A JP2003117877 A JP 2003117877A
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industrial robot
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slip ring
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JP2001319385A
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Masabumi Sakamoto
正文 坂本
Kaoru Endo
薫 遠藤
Katsuhiro Yamazoe
勝広 山添
Takahiro Kobiki
雄洋 小曳
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Nidec Advanced Motor Corp
Original Assignee
Nidec Servo Corp
Tatsumo KK
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    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025—Means for supplying energy to the end effector
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R39/00—Rotary current collectors, distributors or interrupters
    • H01R39/64—Devices for uninterrupted current collection

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多関節型の産業用ロボットにおいて、アーム
の回転動作時に電線に曲げや捻れ等が生じたり、電線が
アームへ巻付くことがなく、これにより、疲労による電
線の断線が生じず、また、アームが無限回転動作でき
る。 【解決手段】 スリップリング１２は、その内部の回転
側と固定側との間で、電気的接続を維持しながら摺動回
転する。電線２２ａ，２３ａ，２４ａは、スリップリン
グ１２の固定側に接続され、電線２２ｂ，２３ｂ，２４
ｂは、第１アーム４の上部から、中空に構成されたモー
タ１１の出力軸１１ａの内部を通って、回転側に接続さ
れる。モータ１１により第１アーム４を回転させると、
電線２２ｂ、２３ｂ、２４ｂのスリップリング１２の回
転側への接続点は、スリップリング１２の回転側と共
に、第１アーム４と同じだけ回転する。これにより、電
線２２ｂ、２３ｂ、２４ｂは、捻れたり、第１アーム４
に巻付いたりしない。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造過程
における半導体ウェハの搬送等の作業を行う、複数の関
節を有する多関節型の産業用ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェハ等のワークを搬送す
る多関節型の産業用ロボットとして、図７及び図８に示
すような構造のものが知られている。この産業用ロボッ
ト７１は、固定されたベース部７２内部に配置されたモ
ータ７３の出力軸７３ａにアーム７４が連結され、アー
ム７４の先端に配置されたモータ７５の出力軸７５ａに
アーム７６が連結されている。また、アーム７６の先端
に配置されたモータ７７の出力軸７７ａに半導体ウェハ
等のワークを把持するロボットハンド７８が連結されて
いる。
【０００３】そして、モータ７３の動力によりアーム７
４を回転動作させ、モータ７５の動力によりアーム７６
を回転動作させ、モータ７７の動力によりロボットハン
ド７８を回転動作させるようになっている。また、ロボ
ットハンド７８の先端には、半導体ウェハ等のワークの
有無を確認するためのワーク確認用センサ７９が設けら
れている。
【０００４】これらの各モータ７３，７５，７７、及び
ワーク確認用センサ７９へは電力や制御信号の供給が必
要であり、ベース部７２の内部に配置された駆動制御部
８０から、モータ７３へは電線８１が、モータ７５へは
電線８２が、モータ７７へは電線８３が、ワーク確認用
センサ７９へは電線８４が、それぞれ接続されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の産業用ロボットでは、固定されたベース部の駆動制
御部から、回転するアームに配置されたモータへ電線を
接続しているので、アームが回転したときに、電線に曲
げや捻れ等が生じたり、電線がアームへ巻付いたりして
いた。このため、電線が疲労によって断線するという問
題や、アームの回転に制約ができてしまい、アームが無
限回転動作できないという問題があった。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、アームの回転動作時に電線に曲げや捻
れ等が生じたり、電線がアームへ巻付いたりすることが
なく、これにより、疲労による電線の断線が生じず、ま
た、アームが無限回転動作できる多関節型の産業用ロボ
ットを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、複数のアームが回転機構部により
回転可能に連結された多関節型の産業用ロボットにおい
て、前記回転機構部に、電線を使用することなく、回転
自在で、かつ電気的接続を行う構造を有するものとし
た。
【０００８】この構成においては、回転機構部に電線を
使用しないので、アームの回転動作時に、電線が捻れた
りアームや回転機構部に巻付くという事態は起こらな
い。このため、回転機構部における電線の断線という問
題は生じず、また、回転機構部は回転数が制約されず、
アームが無限回転可能となる。
【０００９】請求項２の発明は、複数のアームが回転機
構部により回転可能に連結された多関節型の産業用ロボ
ットにおいて、全ての回転機構部に、電線を使用するこ
となく、回転自在で、かつ電気的接続を行う構造を有
し、該機構部を無限回転可能としたものである。
【００１０】この構成においては、全ての回転機構部に
おいて、上記と同様の作用が得られる。
【００１１】請求項３の発明は、複数のアームが回転機
構部により回転可能に連結された多関節型の産業用ロボ
ットにおいて、前記回転機構部に、アームの回転動作時
に、アームの回転と共に回転する導電性の回転部と導電
性の固定部との間で、摺動接触による電気的接続が行わ
れるスリップリング構造を有するものとした。
【００１２】この構成においては、アームの回転動作時
に、スリップリング構造により、回転機構部の回転部と
固定部との間で摺動接触しながら電気的接続が行われる
ので、電線が捻れたりアームや回転機構部に巻付くとい
う事態は起こらない。このため、上記と同様に、回転機
構部における電線の断線という問題は生じず、また、回
転機構部は回転数が制約されず、アームが無限回転可能
となる。
【００１３】請求項４の発明は、複数のアームが回転機
構部により回転可能に連結された多関節型の産業用ロボ
ットにおいて、前記回転機構部に、前記アームの回転と
共に回転する回転部と固定部との間にロータリトランス
を挿入し、電磁結合により電気的接続を行う電磁結合構
造を有するものとした。
【００１４】この構成においては、アームの回転動作時
に、電磁結合により機械的接触なしで電気的接続が行わ
れるので、電線が捻れたりアームや回転機構部に巻付く
という事態は起こらない。このため、上記と同様に、回
転機構部における電線の断線という問題は生じず、ま
た、回転機構部は回転数が制約されず、アームが無限回
転可能となる。
【００１５】請求項５の発明は、複数のアームが回転機
構部により回転可能に連結された多関節型の産業用ロボ
ットにおいて、前記回転機構部に、該アームの回転と共
に回転する導電性の回転部と導電性の固定部との間で、
摺動接触による電気的接続が行われるスリップリング構
造と、このスリップリングと回転位置検出用のエンコー
ダを一体化した構造を有するものとした。
【００１６】この構成においては、請求項３と同様の作
用が得られる他に、回転機構部を小型に保ちつつ、アー
ムの回転位置を検出することができる。
【００１７】請求項６の発明は、複数のアームが回転機
構部により回転可能に連結された多関節型の産業用ロボ
ットにおいて、前記回転機構部に、前記アームの回転と
共に回転する回転部と固定部との間にロータリトランス
を挿入し、電磁結合により電気的接続を行う電磁結合構
造と、前記ロータリトランスと回転位置検出用のエンコ
ーダを一体化した構造を有するものとした。
【００１８】この構成においては、請求項４と同様の作
用が得られる他に、回転機構部を小型に保ちつつ、アー
ムの回転位置を検出することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態について図面を参照して説明する。図１及び図２は、
第１実施形態による産業用ロボットの構成を示す。産業
用ロボット１は、固定されたベース部２に設けられた回
転機構部３に第１アーム４の基端側が連結され、この第
１アーム４の先端側に設けられた回転機構部５に第２ア
ーム６の基端側が連結され、この第２アーム６の先端側
に設けられた回転機構部７に半導体ウェハ６０を保持す
るためのロボットハンド８が連結されている。ロボット
ハンド８の先端側には、半導体ウェハ６０の有無確認用
センサ９が設けられている。
【００２０】回転機構部３は、図３に示すように、モー
タ１１と、スリップリング１２と、回転角度検出用のエ
ンコーダ１３から構成されている。スリップリング１２
とエンコーダ１３は、回転軸が連結されて一体化された
ユニット構造となっている。第１アーム４は、モータ１
１のモータ軸１１ａに連結されており、モータ１１の回
転駆動力により水平面内で回転動作する。また、モータ
１１の出力軸１１ａは、中空に構成されており、電線２
２ｂ、２３ｂ、２４ｂは、第１アーム４の上部から、モ
ータ１１の出力軸１１ａの内部を通ってスリップリング
１２に接続されている。
【００２１】同様に、回転機構部５は、モータ１４と、
スリップリング１５と、このスリップリング１５と一体
化された回転角度検出用のエンコーダ１６から構成され
ている。第２アーム６は、モータ１４のモータ軸１４ａ
に連結されており、モータ１４の回転駆動力により水平
面内で回転動作する。電線２３ｃ、２４ｃは、第２アー
ム６の上部から、モータ１４の出力軸１４ａの内部を通
ってスリップリング１５に接続されている。
【００２２】また同様に、回転機構部７は、モータ１７
と、スリップリング１８と、このスリップリング１８と
一体化された回転角度検出用のエンコーダ１９から構成
されている。ロボットハンド８は、モータ１７のモータ
軸１７ａに連結されており、モータ１７の回転駆動力に
より水平面内で回転動作する。電線２４ｄは、ロボット
ハンド８の上部から、モータ１７の出力軸１７ａの内部
を通ってスリップリング１８に接続されている。
【００２３】ベース部２の内部には、制御回路部２０が
設けられている。電線２１は、ベース部２に設けられて
いるモータ１１の動力用電線であり、制御回路部２０と
モータ１１とを直接接続している。電線２２ａ，２２ｂ
は、第１アーム４に設けられているモータ１４の動力用
電線であり、制御回路部２０とモータ１４とをスリップ
リング１２を介して接続している。電線２３ａ，２３
ｂ，２３ｃは、第２アーム６に設けられているモータ１
７の動力用電線であり、制御回路部２０とモータ１７と
をスリップリング１２、及びスリップリング１５を介し
て接続している。電線２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ
は、ロボットハンド８に設けられている有無確認用セン
サ９の制御電線であり、制御回路部２０と有無確認用セ
ンサ９とをスリップリング１２、スリップリング１５、
及びスリップリング１８を介して接続している。なお、
エンコーダ１３，１６，１９の信号線は図示を省略して
いる。
【００２４】スリップリング１２は、図４（ａ）（ｂ）
に示すように、回転軸１２１に集電環１２２ａ，１２２
ｂ，１２２ｃが設けられると共に、固定側であるケース
１２３にブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃと端子１
２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃが設けられた構成となって
いる。ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃは、それぞ
れ、集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに接触状態に
保持されていて、回転軸１２１が回転しているとき、各
集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃが、各ブラシ１２
４ａ，１２４ｂ，１２４ｃと接触状態を保ちながら摺動
するようになっている。これにより、回転軸１２１が回
転している間も、各集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２
ｃと、各ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃとが電気
的接続が行われている状態となる。
【００２５】回転軸１２１は中空に構成されており、モ
ータ１１の出力軸１１ａの内部を通された電線２２ｂ、
２３ｂ、２４ｂが、回転軸１２１の内部を通って、それ
ぞれ集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに接続され
る。また、端子１２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃには、そ
れぞれ、電線２２ａ，２３ａ，２４ａが接続される。こ
れにより、電線２２ａと２２ｂ、電線２３ａと２３ｂ、
電線２４ａと２４ｂが、それぞれ電気的に接続される。
回転軸１２１の一端は、回転軸１２１がモータ１１の出
力軸１１ａと一緒に回転するように、モータ１１の出力
軸１１ａと連結される。また、回転軸１２１の他端は、
一体化されるエンコーダ１３の検出軸（不図示）が連結
される。
【００２６】このような構成により、モータ１１により
第１アーム４を回転させたとき、モータ１１の出力軸１
１ａの一方側は第１アーム４に連結され、他方側はスリ
ップリング１２の回転軸１２１に連結されているので、
第１アーム４とスリップリング１２の回転軸１２１は同
じ角度だけ回転する。このとき、スリップリング１２の
回転軸１２１に設けられた集電環１２２ａ，１２２ｂ，
１２２ｃは、ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃとの
間で電気的接続を保ちつつ、ブラシ１２４ａ，１２４
ｂ，１２４ｃに対して摺動しながら回転する。
【００２７】このため、モータ１１により第１アーム４
を回転させると、スリップリング１２の回転軸１２１に
設けられた集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃへの電
線２２ｂ，２３ｂ，２４ｃの接続点は、スリップリング
１２の回転軸１２１と共に、第１アーム４と同じだけ回
転する。その結果、モータ１１により第１アーム４を回
転させても、スリップリング１２の回転軸１２１に設け
られた集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃへの電線２
２ｂ，２３ｂ，２４ｃの接続点と、第１アーム４の先端
側に設けられた回転機構部５への電線２２ｂ，２３ｂ，
２４ｂの接続点とは、その角度関係が変化しない。従っ
て、モータ１１により第１アーム４を回転させても、こ
れらの電線２２ｂ，２３ｂ，２４ｂは、捻れたり巻付い
たりすることがない。
【００２８】スリップリング１５も同様の構造となって
おり、スリップリング１５により、電線２３ｂと２３
ｃ、電線２４ｂと２４ｃが、それぞれ電気的に接続され
ている。従って、モータ１４により第２アーム６を回転
させても、電線２３ｃ，２４ｃは、捻れたり巻付いたり
することがない。また、スリップリング１８も同様の構
造となっており、スリップリング１８により、電線２４
ｃと２４ｄが電気的に接続されている。従って、モータ
１７によりロボットハンド８を回転させても、電線２４
ｄは、捻れたり巻付いたりすることがない。これによ
り、第１アーム４、第２アーム６、及びロボットハンド
８は、それぞれ回転数が制約されず、無限回転が可能と
なる。
【００２９】図５は、本発明の第２の実施形態による産
業用ロボットの構成を示す。産業用ロボット１は、上記
第１の実施形態と同様に、ベース部２から、第１アーム
４、第２アーム６、及びロボットハンド８が、回転機構
部３，５，７によって連結され、ロボットハンド８の先
端側に半導体ウェハ６０の有無確認用センサ９が設けら
れている。
【００３０】本実施形態においては、回転機構部３は、
モータ１１と、ロータリートランス３１と、回転角度検
出用のエンコーダ１３から構成されている。ロータリー
トランス３１とエンコーダ１３は、回転軸が連結されて
一体化されたユニット構造となっている。同様に、回転
機構部５は、モータ１４と、ロータリートランス３２
と、このロータリートランス３２と一体化された回転角
度検出用のエンコーダ１６から構成されている。また同
様に、回転機構部７は、モータ１７と、ロータリートラ
ンス３３と、このロータリートランス３３と一体化され
た回転角度検出用のエンコーダ１９から構成されてい
る。モータ１１，１４，１７、及びエンコーダ１３，１
６，１９は、上記第１の実施形態と同様の構成である。
【００３１】電線４１は、ベース部２に設けられている
モータ１１の動力用電線であり、制御回路部２０とモー
タ１１とを直接接続している。電線４２は、ロボット１
の各部に電力を供給するための動力線であり、電線４３
は、ロボット１の各部を制御するための信号を送信する
シリアル信号線である。電線４４ａ，４４ｂ，４４ｃ，
４４ｄは、ロータリートランス３１，３２，３３が信号
を伝送できるように変復調器５１により変復調された動
力伝送信号を送信する動力伝送信号線である。電線４５
ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄは、ロータリートランス３
１，３２，３３が信号を伝送できるように変復調器５１
により変復調された制御伝送信号を送信する制御伝送信
号線である。
【００３２】電線４４ｂと４５ｂは、第１アーム４の上
部から、モータ１１の出力軸１１ａの内部を通ってロー
タリートランス３１に接続されている。また、電線４４
ｃと４５ｃは、第２アーム６の上部から、モータ１４の
出力軸１４ａの内部を通ってロータリートランス３２に
接続され、電線４４ｄと４５ｄは、ロボットハンド８の
上部から、モータ１７の出力軸１７ａの内部を通ってロ
ータリートランス３３に接続されている。
【００３３】変復調器５２は、電線４４ｂ及び４５ｂか
らの信号を動力信号に復調し、モータ１１へ電力を供給
する。また、変復調器５３は、電線４４ｃ及び４５ｃか
らの信号を動力信号に復調し、モータ１４へ電力を供給
する。変復調器５４は、電線４４ｄ及び４５ｄからの信
号を復調し、センサ９へ制御信号を送信する。
【００３４】ロータリートランス３１は、図６に示すよ
うに、ケース３１１に、固定側トランス（１次コイル）
３１２と、これに接続される端子３１３ａ，３１３ｂが
設けられ、回転軸３１４に、回転側トランス（２次コイ
ル）３１５が設けられた構成となっている。これによ
り、固定側トランス３１２と回転側トランス３１５の間
で、電磁相互誘導作用により、電気的接続が行われてい
る状態となる。このロータリートランス３１は、２種類
の信号を同時に送信できる２チャンネルの構成となって
いる。
【００３５】回転軸３１４は中空に構成されており、モ
ータ１１の出力軸１１ａの内部を通された電線４４ｂ，
４５ｂが、回転軸３１５の内部を通って、それぞれ回転
側トランス３１５に接続される。また、端子３１３ａ，
３１３ｂには、それぞれ、電線４４ａ，４５ａが接続さ
れる。これにより、電線４４ａと４４ｂ、電線４５ａと
４５ｂが、それぞれ電気的に接続される。回転軸３１４
の一端は、回転軸３１４がモータ１１の出力軸１１ａと
一緒に回転するように、モータ１１の出力軸１１ａと連
結される。また、回転軸３１４の他端は、一体化される
エンコーダ１３の検出軸（不図示）が連結される。
【００３６】このような構成により、モータ１１により
第１アーム４を回転させたとき、モータ１１の出力軸１
１ａの一方側は第１アームに連結され、他方側はロータ
リートランス３１の回転軸３１４に連結されているの
で、第１アームとロータリートランス３１の回転軸３１
４は同じ角度だけ回転する。このとき、ロータリートラ
ンス３１の回転軸３１４に設けられた回転側トランス３
１５は、電磁相互誘導作用による電気的接続を保ちつつ
固定側トランス３１２に対して回転する。
【００３７】このため、モータ１１により第１アーム４
を回転させると、ロータリートランス３１の回転側トラ
ンス３１５への電線４４ｂ，４５ｂの接続点は、ロータ
リートランス３１の回転軸３１４の回転と共に、第１ア
ーム４と同じだけ回転する。その結果、モータ１１によ
り第１アーム４を回転させても、ロータリートランス３
１の回転側トランス３１５への電線４４ｂ，４５ｂの接
続点と、第１アームの先端側に設けられた回転機構部５
への電線４４ｂ，４５ｂの接続点とは、その角度関係が
変化しない。従って、モータ１１により第１アーム４を
回転させても、これらの電線４４ｂ，４５ｂは、捻れた
り巻付いたりすることがない。
【００３８】ロータリートランス３２も同様の構造とな
っており、ロータリートランス３２により、電線４４ｂ
と４４ｃ、電線４５ｂと４５ｃが、それぞれ電気的に接
続されている。従って、モータ１４により第２アーム６
を回転させても、電線４４ｃ，４５ｃは、捻れたり巻付
いたりすることがない。また、ロータリートランス３３
も同様の構造となっており、ロータリートランス３３に
より、電線４４ｃと４４ｄ、電線４５ｃと４５ｄが電気
的に接続されている。従って、モータ１７によりロボッ
トハンド８を回転させても、電線４４ｄ、４５ｄは、捻
れたり巻付いたりすることがない。これにより、第１ア
ーム４、第２アーム６、及びロボットハンド８は、それ
ぞれは回転数が制約されず、無限回転が可能となる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、回転機構部に電線を使用しないので、断線による
電線の交換の必要がなく、ロボットの保守性の向上が図
れると共に、複雑な電線の引き回しがなくなり、ロボッ
トの組み立て作業の簡素化が図れる。また、ロボットの
回転機構の回転数が制約されず、ロボットのアームが無
限回転可能となり、そのため、目的の回転角度までの移
動が最短の角度で移動でき、移動時間の短縮が図れる。
【００４０】請求項２の発明によれば、全ての回転機構
部において、請求項１の発明と同様の効果が得られる。
【００４１】請求項３の発明によれば、請求項１の発明
と同様の効果が得られる他に、スリップリング構造を用
いて、摺動接触により電気的接続が行われるので、電力
を効率よく供給することができる。
【００４２】請求項４の発明によれば、請求項１の発明
と同様の効果が得られる他に、ロータリートランスを用
いて、電磁結合により機械的接触なしで電気的接続が行
われるので、電気的接続部の摩耗等による問題を生じな
い。
【００４３】請求項５の発明によれば、請求項１の発明
と同様の効果が得られる他に、アームの回転位置を検出
することができるので、アームの回転を正確に制御する
ことができる。
【００４４】請求項６の発明によれば、請求項１の発明
と同様の効果が得られる他に、アームの回転位置を検出
することができるので、アームの回転を正確に制御する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１実施形態による産業用ロボット
の斜視図。
【図２】 同ロボットの側面図。
【図３】 同ロボットの回転機構部の構成を示す断面
図。
【図４】 同ロボットのスリップリングの構成を示す
図。
【図５】 本発明の第２実施形態による産業用ロボット
の側面図。
【図６】 同ロボットのロータリートランスの構成を示
す図。
【図７】 従来の産業用ロボットの斜視図。
【図８】 従来の産業用ロボットの側面図。
【符号の説明】
１ 産業用ロボット ２ ベース部 ３，５，７ 回転機構 ４ 第１アーム ６ 第２アーム ８ ロボットハンド １１，１４，１７ モータ １２，１５，１８ スリップリング １３，１５，１９ エンコーダ ３１，３２，３３ ロータリートランス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山添 勝広 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内 (72)発明者 小曳 雄洋 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 AS24 BS15 CX01 CY05 CY06 HS27 KV01 KX15

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のアームが回転機構部により回転可
    能に連結された多関節型の産業用ロボットにおいて、 前記回転機構部に、電線を使用することなく、回転自在
    で、かつ電気的接続を行う構造を有することを特徴とす
    る多関節型の産業用ロボット。
  2. 【請求項２】 複数のアームが回転機構部により回転可
    能に連結された多関節型の産業用ロボットにおいて、 全ての回転機構部に、電線を使用することなく、回転自
    在で、かつ電気的接続を行う構造を有し、該機構部を無
    限回転可能としたことを特徴とする多関節型の産業用ロ
    ボット。
  3. 【請求項３】 複数のアームが回転機構部により回転可
    能に連結された多関節型の産業用ロボットにおいて、 前記回転機構部に、アームの回転動作時に、アームの回
    転と共に回転する導電性の回転部と導電性の固定部との
    間で、摺動接触による電気的接続が行われるスリップリ
    ング構造を有することを特徴とする多関節型の産業用ロ
    ボット。
  4. 【請求項４】 複数のアームが回転機構部により回転可
    能に連結された多関節型の産業用ロボットにおいて、 前記回転機構部に、前記アームの回転と共に回転する回
    転部と固定部との間にロータリトランスを挿入し、電磁
    結合により電気的接続を行う電磁結合構造を有すること
    を特徴とする多関節型の産業用ロボット。
  5. 【請求項５】 複数のアームが回転機構部により回転可
    能に連結された多関節型の産業用ロボットにおいて、 前記回転機構部に、該アームの回転と共に回転する導電
    性の回転部と導電性の固定部との間で、摺動接触による
    電気的接続が行われるスリップリング構造と、このスリ
    ップリングと回転位置検出用のエンコーダを一体化した
    構造を有することを特徴とする多関節型の産業用ロボッ
    ト。
  6. 【請求項６】 複数のアームが回転機構部により回転可
    能に連結された多関節型の産業用ロボットにおいて、 前記回転機構部に、前記アームの回転と共に回転する回
    転部と固定部との間にロータリトランスを挿入し、電磁
    結合により電気的接続を行う電磁結合構造と、前記ロー
    タリトランスと回転位置検出用のエンコーダを一体化し
    た構造を有することを特徴とする多関節型の産業用ロボ
    ット。
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