JP2003124289A - 半導体製造装置用ロボット - Google Patents
半導体製造装置用ロボットInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハ等を真空吸着する半導体製造用ロボッ
トにおいて、真空配管をロボット内に引き回す必要がな
く、煩雑な真空配管の引き回し作業を不要とする。 【解決手段】 産業用ロボット１は、ベース部２に、第
１アーム４、第２アーム６、ロボットハンド８が、それ
ぞれ関節部３、５、７によって順次連結される。ロボッ
トハンド８の上側には、半導体ウェハ６０を真空吸着す
る吸着部９が設けられ、ロボットハンド８の下側には、
電力の供給により真空圧を発生する真空ポンプ１０が設
けられる。ベース部２内部の制御回路部２０から、電線
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄにより真空ポンプ１０
へ電力を供給すると、真空ポンプ１０は真空圧を発生す
る。その真空圧は、ロボットハンド８に設けられた吸着
部９と真空ポンプ１０とを連通する通気孔９ａを介し
て、吸着部９へ供給される。
トにおいて、真空配管をロボット内に引き回す必要がな
く、煩雑な真空配管の引き回し作業を不要とする。 【解決手段】 産業用ロボット１は、ベース部２に、第
１アーム４、第２アーム６、ロボットハンド８が、それ
ぞれ関節部３、５、７によって順次連結される。ロボッ
トハンド８の上側には、半導体ウェハ６０を真空吸着す
る吸着部９が設けられ、ロボットハンド８の下側には、
電力の供給により真空圧を発生する真空ポンプ１０が設
けられる。ベース部２内部の制御回路部２０から、電線
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄにより真空ポンプ１０
へ電力を供給すると、真空ポンプ１０は真空圧を発生す
る。その真空圧は、ロボットハンド８に設けられた吸着
部９と真空ポンプ１０とを連通する通気孔９ａを介し
て、吸着部９へ供給される。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造過程
において半導体ウェハを真空吸着して搬送する等の作業
を行う半導体製造装置用ロボットに関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、半導体ウェハ等のワーク等を真空
吸着して搬送する多関節型の産業用ロボットとして、図
５及び図６に示すような構造のものが知られている。こ
の産業用ロボット７１は、固定されたベース部７２内部
に配置されたモータ７３の出力軸７３ａにアーム７４が
連結されている。また、アーム７４の先端に配置された
モータ７５の出力軸７５ａにアーム７６が連結され、ア
ーム７６の先端に配置されたモータ７７の出力軸７７ａ
にロボットハンド７８が連結されている。ロボットハン
ド７８の先端には、半導体ウェハ等のワークを真空吸着
する吸着部７９が設けられている。 【０００３】産業用ロボット７１は、ロボットハンド７
８の先端に設けられた吸着部７９により、半導体ウェハ
等のワークを真空吸着して把持する。そして、モータ７
３の動力によりアーム７４を回転動作させ、モータ７５
の動力によりアーム７６を回転動作させ、モータ７７の
動力によりロボットハンド７８を回転動作させることに
より、吸着部７９で真空吸着した半導体ウェハ等のワー
クを搬送する。 【０００４】上記吸着部７９へは真空圧の供給が必要で
あり、ロボット７１外部の真空圧供給装置８４から、真
空配管８５がロボット７１内を引き回して吸着部７９へ
接続されている。吸着部７９へは、この真空配管８５に
より、ロボット外部の真空圧供給装置８４から真空圧が
供給される。また、上記各モータ７３，７５，７７へは
電力の供給が必要であり、ベース部７２の内部に配置さ
れた駆動制御部８０から、モータ７３へは電線８１が、
モータ７５へは電線８２が、モータ７７へは電線８３
が、それぞれ接続されている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の産業用ロボットでは、真空圧を供給するための真空
配管を、ロボット外部の真空圧供給装置からロボットハ
ンド先端の吸着部へ、ロボット内を引き回して接続して
いた。この真空配管の引き回しは、ロボットハンドやア
ームが回転したときに真空配管がロボットハンドやアー
ムへ巻付くことがなく、ロボットハンドやアームがどの
方向へも上手く回転できるように行わなければならなか
った。このため、真空配管の引き回しは複雑なものとな
り、真空配管の引き回し作業が煩雑であった。 【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、真空配管をロボット内に引き回す必要
がなく、煩雑な真空配管の引き回し作業が不要な多関節
型の産業用ロボットを提供することを目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、ウェハ等を真空吸着する吸着部を
ロボットハンド上に備えた半導体製造用ロボットにおい
て、前記吸着部に連通し真空吸引する真空ポンプをロボ
ット内に配置した。 【０００８】この構成においては、ウェハ等を真空吸着
する吸着部へは、ロボット内に配置された真空ポンプか
ら真空圧が供給される。このため、真空配管をロボット
外部からロボット内に複雑に引き回す必要がない。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態について図面を参照して説明する。図１及び図２は、
本発明の一実施形態に係る産業用ロボットの構成を示
す。産業用ロボット１は、固定されたベース部２に、第
１アーム４の基端側が関節部３によって連結されてい
る。また、第１アーム４の先端側に、第２アーム６の基
端側が関節部５によって連結され、第２アーム６の先端
側に、ロボットハンド８の基端側が関節部７によって連
結されている。 【００１０】ロボットハンド８の先端側には、その上側
に、半導体ウェハ６０等のワークを真空吸着するための
吸着部９が設けられ、その下側に、吸着部９へ真空圧を
供給するための真空ポンプ１０が設けられている。この
真空ポンプ１０は、電力の供給により真空圧を発生する
ものである。また、ロボットハンド８には、吸着部９と
真空ポンプ１０とを連通する通気孔９ａが形成されてお
り、真空ポンプ１０によって発生した真空圧は、この通
気孔９ａを通って吸着部９へ供給される。 【００１１】産業用ロボット１は、ロボットハンド８に
設けられた吸着部９により半導体ウェハ６０等のワーク
を真空吸着して把持し、第１アーム４、第２アーム６、
ロボットハンド８を各関節部３，５，７において回転動
作させることにより、半導体ウェハ６０等のワークを搬
送する。 【００１２】関節部３は、モータ１１と、スリップリン
グ１２と、回転角度検出用のエンコーダ１３とから構成
されている。第１アーム４は、モータ１１の回転駆動力
により、関節部３を中心として水平面内で回転動作す
る。同様に、関節部５は、モータ１４と、スリップリン
グ１５と、回転角度検出用のエンコーダ１６とから構成
されており、第２アーム６は、モータ１４の回転駆動力
により、関節部５を中心として水平面内で回転動作す
る。また、同様に、関節部７は、モータ１７と、スリッ
プリング１８と、回転角度検出用のエンコーダ１９とか
ら構成されており、ロボットハンド８は、モータ１７の
回転駆動力により、関節部７を中心として水平面内で回
転動作する。 【００１３】ベース部２の内部には、制御回路部２０が
設けられており、ロボットハンド８に設けられた真空ポ
ンプ１０へは、電線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄに
より電力が供給される。また、関節部３のモータ１１へ
は、電線２２により電力が供給され、関節部５のモータ
１４へは、電線２３ａ，２３ｂにより電力が供給され、
関節部７のモータ１７へは、電線２４ａ，２４ｂ，２４
ｃにより電力が供給される。なお、エンコーダ１３，１
６，１９の信号線は、図示を省略している。 【００１４】図３は、本実施形態に係る産業用ロボット
１の関節部３の構造を示す。関節部３は、モータ１１が
ベース部２と第１アーム４の間に配置され、スリップリ
ング１２と回転角度検出用のエンコーダ１３がベース部
２の内部に配置されている。第１アーム４は、モータ１
１の出力軸１１１に連結されており、モータ１１を駆動
することにより、モータ１１の出力軸１１１と伴に回転
動作する。また、スリップリング１２の回転軸１２１の
一端には、モータ１１の出力軸１１１が連結され、他端
には、エンコーダ１３の回転軸（不図示）が連結されて
おり、これにより、スリップリング１２とエンコーダ１
３も、モータ１１の出力軸１１１と伴に回転するように
なっている。 【００１５】電線２１ａと２１ｂ，電線２３ａと２３
ｂ，電線２４ａと２４ｂは、それぞれ、スリップリング
１２によって、電気的接続がなされている。スリップリ
ング１２の回転軸１２１とモータ１１の出力軸１１１
は、内部が中空に構成されており、電線２１ｂ，２３
ｂ、２４ｂは、これらの回転軸１２１及び出力軸１１１
の内部を通って、第１アーム４の上部から引き出されて
いる。 【００１６】スリップリング１２は、図４（ａ）（ｂ）
に示すように、回転軸１２１に集電環１２２ａ，１２２
ｂ，１２２ｃが設けられると共に、固定側であるケース
１２３にブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃと端子１
２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃが設けられた構成となって
いる。ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃは、それぞ
れ、集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに接触状態に
保持されていて、回転軸１２１が回転しているとき、各
集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃが、各ブラシ１２
４ａ，１２４ｂ，１２４ｃと接触状態を保ちながら摺動
するようになっている。これにより、回転軸１２１が回
転している間も、各集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２
ｃと、各ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃとが電気
的接続が行われている状態となる。 【００１７】回転軸１２１は中空に構成されており、モ
ータ１１の出力軸１１１の内部を通された電線２１ｂ，
２３ｂ、２４ｂが、回転軸１２１の内部を通って、それ
ぞれ集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに接続され
る。また、端子１２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃには、そ
れぞれ、電線２１ａ，２３ａ，２４ａが接続される。こ
れにより、電線２１ａと２１ｂ、電線２３ａと２３ｂ、
電線２４ａと２４ｂが、それぞれ電気的に接続される。
このような構成により、モータ１１により第１アーム４
を回転させても、これらの電線２１ａと２１ｂ、２３ａ
と２３ｂ、２４ａと２４ｂは、関節部３に巻き付くこと
がない。 【００１８】関節部５も同様の構造になっており、関節
部５においては、モータ１４が第１アーム４と第２アー
ム６の間に配置されていると共に、第２アーム６がモー
タ１４の出力軸１４１に連結されており、第２アーム６
は、モータ１４を駆動することにより、モータ１４の出
力軸１４１と伴に回転動作する。また、電線２１ｂと２
１ｃ，電線２４ｂと２４ｃが、それぞれ、スリップリン
グ１５によって電気的に接続され、電線２１ｃと２４ｃ
が、中空に構成されたモータ１４の出力軸１４１の内部
を通って、第２アーム６の上部から引き出されている。
これにより、モータ１４により第２アーム６を回転させ
ても、電線２１ｂと２１ｃ、２４ｂと２４ｃは、関節部
５に巻き付くことがない。 【００１９】また、関節部７も同様の構造になってお
り、関節部７においては、モータ１７が第２アーム６と
ロボットハンド８の間に配置されていると共に、ロボッ
トハンド８がモータ１７の出力軸１７１に連結されてお
り、ロボットハンド８は、モータ１７を駆動することに
より、モータ１７の出力軸１７１と伴に回転動作する。
また、電線２１ｃと２１ｄが、スリップリング１８によ
って電気的に接続され、電線２１ｄが、中空に構成され
たモータ１７の出力軸１７１の内部を通って、ロボット
ハンド８の上部から引き出されている。これにより、モ
ータ１７によりロボットハンド８を回転させても、電線
２１ｃと２１ｄは、関節部７に巻き付くことがない。 【００２０】このような構成により、ロボットハンド８
の下側に設けられた真空ポンプ１０へは、スリップリン
グ１２，１５，１８によって接続された電線２１ａ，２
１ｂ，２１ｃ，２１ｄにより、ベース部２内部の制御回
路部２０から電力が供給され、真空ポンプ１０はこの電
力供給により真空圧を発生する。真空ポンプ１０が発生
した真空圧は、ロボットハンド８に形成された通気孔９
ａを通して、ロボットハンド８の上側の吸着部９へ供給
され、これにより、ロボットハンド８は、吸着部９で半
導体ウェハ６０等のワークを真空吸着して把持する。 【００２１】また、モータ１１へは電線２２により、モ
ータ１４へはスリップリング１２によって接続された電
線２３ａ，２３ｂにより、モータ１７へはスリップリン
グ１２，１５によって接続された電線２４ａ，２４ｂ，
２４ｃにより、それぞれ、ベース部２内部の制御回路部
２０から電力が供給され、各モータ１１，１４，１７は
この電力供給により駆動される。これにより、第１アー
ム４、第２アーム６、ロボットハンド８が回転動作し、
ロボットハンド８の吸着部９で把持された半導体ウェハ
６０等のワークが搬送される。 【００２２】上記のように構成された産業用ロボット１
においては、真空ポンプ１０をロボット１内のロボット
ハンド８の下側に配置し、この真空ポンプ１０が発生す
る真空圧を、ロボットハンド８に形成した通気孔９ａを
介して、ロボットハンド８の上側の吸着部９へ供給して
いる。このため、ロボット１の外部からの真空配管を必
要とせず、また、ロボット１内でも真空配管を必要とせ
ずに、吸着部９へ真空圧を供給できる。 【００２３】また、ロボットハンド８に設けられた真空
ポンプ１０へ電力供給するための電線２１ａ，２１ｂ，
２１ｃ，２１ｄは、スリップリング１２，１５，１８に
より接続されているので、第１アーム４、第２アーム
６、ロボットハンド８が回転しても、それらの電線２１
ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが関節部３，５，７に巻き
付くことがない。また、モータ１４へ電力供給するため
の電線２３ａ，２３ｂは、スリップリング１２により接
続されているので、第１アーム４が回転しても、それら
の電線２３ａ，２３ｂが関節部３に巻き付くことがな
く、モータ１７へ電力供給するための電線２４ａ，２４
ｂ，２４ｃは、スリップリング１２，１５により接続さ
れているので、第１アーム４、第２アーム６が回転して
も、それらの電線２４ａ，２４ｂ，２４ｃが関節部３，
５に巻き付くことがない。 【００２４】このように、上記のように構成された産業
用ロボット１によれば、ロボット１の外部から真空配管
を必要とせず、また、ロボット１内でも真空配管を必要
としないので、ロボット１内での煩雑な真空配管の引き
回しが不要である。また、真空ポンプ１０及び各モータ
１１，１４，１７への電線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２
１ｄ、２２、２３ａ，２３ｂ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ
は、第１アーム４、第２アーム６、ロボットハンド８が
回転しても、関節部３，５，７巻き付くことがないの
で、第１アーム４、第２アーム６、ロボットハンド８
は、回転に制約を受けない。 【００２５】なお、本発明は、上記実施形態の構成に限
られず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形
態において、ロボットハンドに通気孔を形成せず、真空
配管により、ロボットハンド上側の吸着部と下側の真空
ポンプとを連通させてもよい。また、真空ポンプの配置
箇所は、ロボットハンドに限られず、ロボット内であれ
ば、例えばアームに配置してもよい。 【００２６】 【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、ロボット内に配置された真空ポンプから真空圧が
供給されるため、ロボット外部からの真空圧の供給を必
要とせず、また、真空配管をロボット外部からロボット
内に複雑に引き回す必要がない。これにより、煩雑な真
空配管の引き回し作業が不要になる。
において半導体ウェハを真空吸着して搬送する等の作業
を行う半導体製造装置用ロボットに関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、半導体ウェハ等のワーク等を真空
吸着して搬送する多関節型の産業用ロボットとして、図
５及び図６に示すような構造のものが知られている。こ
の産業用ロボット７１は、固定されたベース部７２内部
に配置されたモータ７３の出力軸７３ａにアーム７４が
連結されている。また、アーム７４の先端に配置された
モータ７５の出力軸７５ａにアーム７６が連結され、ア
ーム７６の先端に配置されたモータ７７の出力軸７７ａ
にロボットハンド７８が連結されている。ロボットハン
ド７８の先端には、半導体ウェハ等のワークを真空吸着
する吸着部７９が設けられている。 【０００３】産業用ロボット７１は、ロボットハンド７
８の先端に設けられた吸着部７９により、半導体ウェハ
等のワークを真空吸着して把持する。そして、モータ７
３の動力によりアーム７４を回転動作させ、モータ７５
の動力によりアーム７６を回転動作させ、モータ７７の
動力によりロボットハンド７８を回転動作させることに
より、吸着部７９で真空吸着した半導体ウェハ等のワー
クを搬送する。 【０００４】上記吸着部７９へは真空圧の供給が必要で
あり、ロボット７１外部の真空圧供給装置８４から、真
空配管８５がロボット７１内を引き回して吸着部７９へ
接続されている。吸着部７９へは、この真空配管８５に
より、ロボット外部の真空圧供給装置８４から真空圧が
供給される。また、上記各モータ７３，７５，７７へは
電力の供給が必要であり、ベース部７２の内部に配置さ
れた駆動制御部８０から、モータ７３へは電線８１が、
モータ７５へは電線８２が、モータ７７へは電線８３
が、それぞれ接続されている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の産業用ロボットでは、真空圧を供給するための真空
配管を、ロボット外部の真空圧供給装置からロボットハ
ンド先端の吸着部へ、ロボット内を引き回して接続して
いた。この真空配管の引き回しは、ロボットハンドやア
ームが回転したときに真空配管がロボットハンドやアー
ムへ巻付くことがなく、ロボットハンドやアームがどの
方向へも上手く回転できるように行わなければならなか
った。このため、真空配管の引き回しは複雑なものとな
り、真空配管の引き回し作業が煩雑であった。 【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、真空配管をロボット内に引き回す必要
がなく、煩雑な真空配管の引き回し作業が不要な多関節
型の産業用ロボットを提供することを目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、ウェハ等を真空吸着する吸着部を
ロボットハンド上に備えた半導体製造用ロボットにおい
て、前記吸着部に連通し真空吸引する真空ポンプをロボ
ット内に配置した。 【０００８】この構成においては、ウェハ等を真空吸着
する吸着部へは、ロボット内に配置された真空ポンプか
ら真空圧が供給される。このため、真空配管をロボット
外部からロボット内に複雑に引き回す必要がない。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態について図面を参照して説明する。図１及び図２は、
本発明の一実施形態に係る産業用ロボットの構成を示
す。産業用ロボット１は、固定されたベース部２に、第
１アーム４の基端側が関節部３によって連結されてい
る。また、第１アーム４の先端側に、第２アーム６の基
端側が関節部５によって連結され、第２アーム６の先端
側に、ロボットハンド８の基端側が関節部７によって連
結されている。 【００１０】ロボットハンド８の先端側には、その上側
に、半導体ウェハ６０等のワークを真空吸着するための
吸着部９が設けられ、その下側に、吸着部９へ真空圧を
供給するための真空ポンプ１０が設けられている。この
真空ポンプ１０は、電力の供給により真空圧を発生する
ものである。また、ロボットハンド８には、吸着部９と
真空ポンプ１０とを連通する通気孔９ａが形成されてお
り、真空ポンプ１０によって発生した真空圧は、この通
気孔９ａを通って吸着部９へ供給される。 【００１１】産業用ロボット１は、ロボットハンド８に
設けられた吸着部９により半導体ウェハ６０等のワーク
を真空吸着して把持し、第１アーム４、第２アーム６、
ロボットハンド８を各関節部３，５，７において回転動
作させることにより、半導体ウェハ６０等のワークを搬
送する。 【００１２】関節部３は、モータ１１と、スリップリン
グ１２と、回転角度検出用のエンコーダ１３とから構成
されている。第１アーム４は、モータ１１の回転駆動力
により、関節部３を中心として水平面内で回転動作す
る。同様に、関節部５は、モータ１４と、スリップリン
グ１５と、回転角度検出用のエンコーダ１６とから構成
されており、第２アーム６は、モータ１４の回転駆動力
により、関節部５を中心として水平面内で回転動作す
る。また、同様に、関節部７は、モータ１７と、スリッ
プリング１８と、回転角度検出用のエンコーダ１９とか
ら構成されており、ロボットハンド８は、モータ１７の
回転駆動力により、関節部７を中心として水平面内で回
転動作する。 【００１３】ベース部２の内部には、制御回路部２０が
設けられており、ロボットハンド８に設けられた真空ポ
ンプ１０へは、電線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄに
より電力が供給される。また、関節部３のモータ１１へ
は、電線２２により電力が供給され、関節部５のモータ
１４へは、電線２３ａ，２３ｂにより電力が供給され、
関節部７のモータ１７へは、電線２４ａ，２４ｂ，２４
ｃにより電力が供給される。なお、エンコーダ１３，１
６，１９の信号線は、図示を省略している。 【００１４】図３は、本実施形態に係る産業用ロボット
１の関節部３の構造を示す。関節部３は、モータ１１が
ベース部２と第１アーム４の間に配置され、スリップリ
ング１２と回転角度検出用のエンコーダ１３がベース部
２の内部に配置されている。第１アーム４は、モータ１
１の出力軸１１１に連結されており、モータ１１を駆動
することにより、モータ１１の出力軸１１１と伴に回転
動作する。また、スリップリング１２の回転軸１２１の
一端には、モータ１１の出力軸１１１が連結され、他端
には、エンコーダ１３の回転軸（不図示）が連結されて
おり、これにより、スリップリング１２とエンコーダ１
３も、モータ１１の出力軸１１１と伴に回転するように
なっている。 【００１５】電線２１ａと２１ｂ，電線２３ａと２３
ｂ，電線２４ａと２４ｂは、それぞれ、スリップリング
１２によって、電気的接続がなされている。スリップリ
ング１２の回転軸１２１とモータ１１の出力軸１１１
は、内部が中空に構成されており、電線２１ｂ，２３
ｂ、２４ｂは、これらの回転軸１２１及び出力軸１１１
の内部を通って、第１アーム４の上部から引き出されて
いる。 【００１６】スリップリング１２は、図４（ａ）（ｂ）
に示すように、回転軸１２１に集電環１２２ａ，１２２
ｂ，１２２ｃが設けられると共に、固定側であるケース
１２３にブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃと端子１
２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃが設けられた構成となって
いる。ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃは、それぞ
れ、集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに接触状態に
保持されていて、回転軸１２１が回転しているとき、各
集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃが、各ブラシ１２
４ａ，１２４ｂ，１２４ｃと接触状態を保ちながら摺動
するようになっている。これにより、回転軸１２１が回
転している間も、各集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２
ｃと、各ブラシ１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃとが電気
的接続が行われている状態となる。 【００１７】回転軸１２１は中空に構成されており、モ
ータ１１の出力軸１１１の内部を通された電線２１ｂ，
２３ｂ、２４ｂが、回転軸１２１の内部を通って、それ
ぞれ集電環１２２ａ，１２２ｂ，１２２ｃに接続され
る。また、端子１２５ａ，１２５ｂ，１２５ｃには、そ
れぞれ、電線２１ａ，２３ａ，２４ａが接続される。こ
れにより、電線２１ａと２１ｂ、電線２３ａと２３ｂ、
電線２４ａと２４ｂが、それぞれ電気的に接続される。
このような構成により、モータ１１により第１アーム４
を回転させても、これらの電線２１ａと２１ｂ、２３ａ
と２３ｂ、２４ａと２４ｂは、関節部３に巻き付くこと
がない。 【００１８】関節部５も同様の構造になっており、関節
部５においては、モータ１４が第１アーム４と第２アー
ム６の間に配置されていると共に、第２アーム６がモー
タ１４の出力軸１４１に連結されており、第２アーム６
は、モータ１４を駆動することにより、モータ１４の出
力軸１４１と伴に回転動作する。また、電線２１ｂと２
１ｃ，電線２４ｂと２４ｃが、それぞれ、スリップリン
グ１５によって電気的に接続され、電線２１ｃと２４ｃ
が、中空に構成されたモータ１４の出力軸１４１の内部
を通って、第２アーム６の上部から引き出されている。
これにより、モータ１４により第２アーム６を回転させ
ても、電線２１ｂと２１ｃ、２４ｂと２４ｃは、関節部
５に巻き付くことがない。 【００１９】また、関節部７も同様の構造になってお
り、関節部７においては、モータ１７が第２アーム６と
ロボットハンド８の間に配置されていると共に、ロボッ
トハンド８がモータ１７の出力軸１７１に連結されてお
り、ロボットハンド８は、モータ１７を駆動することに
より、モータ１７の出力軸１７１と伴に回転動作する。
また、電線２１ｃと２１ｄが、スリップリング１８によ
って電気的に接続され、電線２１ｄが、中空に構成され
たモータ１７の出力軸１７１の内部を通って、ロボット
ハンド８の上部から引き出されている。これにより、モ
ータ１７によりロボットハンド８を回転させても、電線
２１ｃと２１ｄは、関節部７に巻き付くことがない。 【００２０】このような構成により、ロボットハンド８
の下側に設けられた真空ポンプ１０へは、スリップリン
グ１２，１５，１８によって接続された電線２１ａ，２
１ｂ，２１ｃ，２１ｄにより、ベース部２内部の制御回
路部２０から電力が供給され、真空ポンプ１０はこの電
力供給により真空圧を発生する。真空ポンプ１０が発生
した真空圧は、ロボットハンド８に形成された通気孔９
ａを通して、ロボットハンド８の上側の吸着部９へ供給
され、これにより、ロボットハンド８は、吸着部９で半
導体ウェハ６０等のワークを真空吸着して把持する。 【００２１】また、モータ１１へは電線２２により、モ
ータ１４へはスリップリング１２によって接続された電
線２３ａ，２３ｂにより、モータ１７へはスリップリン
グ１２，１５によって接続された電線２４ａ，２４ｂ，
２４ｃにより、それぞれ、ベース部２内部の制御回路部
２０から電力が供給され、各モータ１１，１４，１７は
この電力供給により駆動される。これにより、第１アー
ム４、第２アーム６、ロボットハンド８が回転動作し、
ロボットハンド８の吸着部９で把持された半導体ウェハ
６０等のワークが搬送される。 【００２２】上記のように構成された産業用ロボット１
においては、真空ポンプ１０をロボット１内のロボット
ハンド８の下側に配置し、この真空ポンプ１０が発生す
る真空圧を、ロボットハンド８に形成した通気孔９ａを
介して、ロボットハンド８の上側の吸着部９へ供給して
いる。このため、ロボット１の外部からの真空配管を必
要とせず、また、ロボット１内でも真空配管を必要とせ
ずに、吸着部９へ真空圧を供給できる。 【００２３】また、ロボットハンド８に設けられた真空
ポンプ１０へ電力供給するための電線２１ａ，２１ｂ，
２１ｃ，２１ｄは、スリップリング１２，１５，１８に
より接続されているので、第１アーム４、第２アーム
６、ロボットハンド８が回転しても、それらの電線２１
ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄが関節部３，５，７に巻き
付くことがない。また、モータ１４へ電力供給するため
の電線２３ａ，２３ｂは、スリップリング１２により接
続されているので、第１アーム４が回転しても、それら
の電線２３ａ，２３ｂが関節部３に巻き付くことがな
く、モータ１７へ電力供給するための電線２４ａ，２４
ｂ，２４ｃは、スリップリング１２，１５により接続さ
れているので、第１アーム４、第２アーム６が回転して
も、それらの電線２４ａ，２４ｂ，２４ｃが関節部３，
５に巻き付くことがない。 【００２４】このように、上記のように構成された産業
用ロボット１によれば、ロボット１の外部から真空配管
を必要とせず、また、ロボット１内でも真空配管を必要
としないので、ロボット１内での煩雑な真空配管の引き
回しが不要である。また、真空ポンプ１０及び各モータ
１１，１４，１７への電線２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２
１ｄ、２２、２３ａ，２３ｂ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ
は、第１アーム４、第２アーム６、ロボットハンド８が
回転しても、関節部３，５，７巻き付くことがないの
で、第１アーム４、第２アーム６、ロボットハンド８
は、回転に制約を受けない。 【００２５】なお、本発明は、上記実施形態の構成に限
られず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形
態において、ロボットハンドに通気孔を形成せず、真空
配管により、ロボットハンド上側の吸着部と下側の真空
ポンプとを連通させてもよい。また、真空ポンプの配置
箇所は、ロボットハンドに限られず、ロボット内であれ
ば、例えばアームに配置してもよい。 【００２６】 【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、ロボット内に配置された真空ポンプから真空圧が
供給されるため、ロボット外部からの真空圧の供給を必
要とせず、また、真空配管をロボット外部からロボット
内に複雑に引き回す必要がない。これにより、煩雑な真
空配管の引き回し作業が不要になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態に係る産業用ロボットの
斜視図。 【図２】 同ロボットの側面図。 【図３】 同ロボットの関節部の構造を示す断面図。 【図４】 （ａ）は同関節部のスリップリングを横から
見た断面図、（ｂ）は同スリップリングを上から見た断
面図。 【図５】 従来の産業用ロボットの斜視図。 【図６】 従来の産業用ロボットの側面図。 【符号の説明】 １ 産業用ロボット ２ ベース部 ３，５，７ 関節部 ４ 第１アーム ６ 第２アーム ８ ロボットハンド ９ 吸着部 ９ａ 通気孔 １０ 真空ポンプ
斜視図。 【図２】 同ロボットの側面図。 【図３】 同ロボットの関節部の構造を示す断面図。 【図４】 （ａ）は同関節部のスリップリングを横から
見た断面図、（ｂ）は同スリップリングを上から見た断
面図。 【図５】 従来の産業用ロボットの斜視図。 【図６】 従来の産業用ロボットの側面図。 【符号の説明】 １ 産業用ロボット ２ ベース部 ３，５，７ 関節部 ４ 第１アーム ６ 第２アーム ８ ロボットハンド ９ 吸着部 ９ａ 通気孔 １０ 真空ポンプ
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3C007 AS01 AS24 BS15 CU05 CV07
CW07 CY02 CY03 CY06 DS01
FS01 NS09 NS13
5F031 CA02 EA01 EA07 GA02 GA08
GA43 GA47
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ウェハ等を真空吸着する吸着部をロボッ
トハンド上に備えた半導体製造用ロボットにおいて、前
記吸着部に連通し真空吸引する真空ポンプをロボット内
に配置したことを特徴とする半導体製造用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001318788A JP2003124289A (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 半導体製造装置用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001318788A JP2003124289A (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 半導体製造装置用ロボット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003124289A true JP2003124289A (ja) | 2003-04-25 |
Family
ID=19136423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001318788A Pending JP2003124289A (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 半導体製造装置用ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003124289A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104995003A (zh) * | 2013-02-13 | 2015-10-21 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| JP2019520229A (ja) * | 2016-04-21 | 2019-07-18 | 孫天斉 | ６足歩行汎用ロボット及びその胴体構造 |
| CN112850355A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 株式会社安川电机 | 机器人系统、搬运装置及布线方法 |
-
2001
- 2001-10-17 JP JP2001318788A patent/JP2003124289A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104995003A (zh) * | 2013-02-13 | 2015-10-21 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
| JP2019520229A (ja) * | 2016-04-21 | 2019-07-18 | 孫天斉 | ６足歩行汎用ロボット及びその胴体構造 |
| CN112850355A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 株式会社安川电机 | 机器人系统、搬运装置及布线方法 |
| JP2021084172A (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム、搬送装置及び配線方法 |
| JP7136067B2 (ja) | 2019-11-27 | 2022-09-13 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム |
| US11731266B2 (en) | 2019-11-27 | 2023-08-22 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot system, conveying device, and wiring method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050830 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060105 |