JP7275039B2 - リニア真空搬送モジュールを有する省スペースプラットフォームアーキテクチャ - Google Patents
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Description
本出願は、2017年3月15日出願の米国仮出願第62/471,478号の利益を主張する。上記出願の全ての開示は、参照により本明細書に援用される。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1:
基板処理ツールのための大気圧-真空(ATV)搬送モジュールであって、
少なくとも1つのローディングステーションと接続するように構成された第1の側と、
前記ATV搬送モジュール内に配置された搬送ロボットアセンブリであって、前記少なくとも1つのローディングステーションと、前記ATV搬送モジュールと真空搬送モジュール(VTM)との間に配置された少なくとも1つのロードロックとの間で基板を搬送するように構成されている搬送ロボットアセンブリと、
前記第1の側に対向する、前記少なくとも1つのロードロックと接続するように構成された第2の側であって、前記搬送ロボットアセンブリは、前記第2の側に隣接して配置され、前記少なくとも1つのロードロックは、前記第2の側を通って前記ATV搬送モジュールの内部に延びる、第2の側と、
を備える、ATV搬送モジュール。
適用例2:
適用例1のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのロードロックの少なくとも約30%は、前記ATV搬送モジュールの前記内部に位置する、ATV搬送モジュール。
適用例3:
適用例1のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのロードロックの少なくとも約50%は、前記ATV搬送モジュールの前記内部に位置する、ATV搬送モジュール。
適用例4:
適用例1のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのロードロックの少なくとも約70%は、前記ATV搬送モジュールの前記内部に位置する、ATV搬送モジュール。
適用例5:
適用例1のATV搬送モジュールであって、
前記ATV搬送モジュールは、装置フロントエンドモジュール(EFEM)に相当する、ATV搬送モジュール。
適用例6:
適用例1のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのロードロックは、第1のロードロックと、前記第1のロードロックの上方に配置された第2のロードロックとを備える、ATV搬送モジュール。
適用例7:
適用例6のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのローディングステーションは、第1のローディングステーションと、前記第1のローディングステーションの上方に配置された第2のローディングステーションとを備える、ATV搬送モジュール。
適用例8:
適用例6のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットアセンブリは、前記第1のロードロックおよび前記第2のロードロックにアクセスするように構成されている、ATV搬送モジュール。
適用例9:
適用例1のATV搬送モジュールであって、さらに、
横レールと、前記横レールに取り付けられた縦レールとを備え、
前記搬送ロボットアセンブリは、前記縦レールに取り付けられ、前記縦レールで垂直方向に昇降するように構成され、前記縦レールは、前記横レールで水平方向にスライドするように構成されている、ATV搬送モジュール。
適用例10:
適用例9のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットアセンブリは、2つのアームを備え、前記アームの各々は、アームセグメントおよびエンドエフェクタを備え、前記エンドエフェクタの長さは、前記アームセグメントの長さよりも長い、ATV搬送モジュール。
適用例11:
適用例10のATV搬送モジュールであって、
前記エンドエフェクタの前記長さは、前記アームセグメントの前記長さの2倍である、ATV搬送モジュール。
適用例12:
適用例10のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットアセンブリが折りたたまれた状態にあるときは、前記アームセグメントおよび前記エンドエフェクタは、同軸である、ATV搬送モジュール。
適用例13:
適用例1のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットアセンブリは、搬送ロボットを支持するように構成された搬送ロボットプラットフォームを備え、前記搬送ロボットアセンブリは、(i)前記搬送ロボットプラットフォームの位置を垂直方向に調節するために前記搬送ロボットプラットフォームを昇降させ、(ii)前記搬送ロボットプラットフォームの前記位置を水平方向に調節するように構成されている、ATV搬送モジュール。
適用例14:
適用例13のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットアセンブリは、前記搬送ロボットプラットフォームの前記位置を調節するように構成された第1のロボット配置アームおよび第2のロボット配置アームを備える、ATV搬送モジュール。
適用例15:
適用例13のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットは、(i)アームセグメントおよび(ii)エンドエフェクタを有するアームを備える、ATV搬送モジュール。
適用例16:
基板処理ツールであって、
適用例1のATV搬送モジュールを備え、
さらに、前記VTMを備える、基板処理ツール。
適用例17:
適用例16の基板処理ツールであって、
前記VTMは、複数の処理モジュールを備え、前記複数の処理モジュールは、前記VTMの第1の側に配置された少なくとも3つの処理モジュールと、前記第1の側に対向する前記VTMの第2の側に配置された少なくとも3つの処理モジュールとを含む、基板処理ツール。
適用例18:
適用例17の基板処理ツールであって、
前記複数の処理モジュールは、垂直に積み重ねられた構成の処理モジュールを含む、基板処理ツール。
Claims (12)
- 基板処理ツールのための大気圧-真空(ATV)搬送モジュール(204,300,404,500,604)であって、
少なくとも1つのローディングステーション(220,324,520)と接続するように構成された第1の側と、
前記ATV搬送モジュール内に配置された搬送ロボットアセンブリであって、前記少なくとも1つのローディングステーション(220,324,520)と、前記ATV搬送モジュールと真空搬送モジュール(VTM)(212,428,612)との間に配置された少なくとも1つのロードロック(208,320,424,516,608)との間で基板を搬送するように構成されている搬送ロボットアセンブリと、
前記第1の側に対向する、前記少なくとも1つのロードロック(208,320,424,516,608)と接続するように構成された第2の側であって、前記搬送ロボットアセンブリは、前記第2の側に隣接して配置される、第2の側と、
搬送ロボットと、を備え、
前記搬送ロボットアセンブリは、
第1のロボット配置アームと、
前記第1のロボット配置アームと、前記搬送ロボットを支持する搬送ロボットプラットフォームと、の間に接続された第2のロボット配置アームと、を含み、
前記第2のロボット配置アームは、前記第1のロボット配置アームに対して回転軸を中心に回転するように構成されており、
前記搬送ロボットアセンブリは、
(i)前記第1のロボット配置アームおよび前記第2のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームを昇降させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を垂直方向に調節し、
(ii)前記第1のロボット配置アームおよび前記第2のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を水平方向に調節するように、構成されており、
前記搬送ロボットは、エンドエフェクタと、前記エンドエフェクタと前記搬送ロボットプラットフォームとの間に接続されたアームセグメントと、を含み、
折りたたまれた状態にあるとき、前記搬送ロボットは、前記エンドエフェクタと前記アームセグメントが水平方向で同軸に整列し、前記エンドエフェクタが前記アームセグメントの上に配置される、前記搬送ロボットアセンブリによって搬送されることができる前記基板の直径よりも狭い、形状を有する、ATV搬送モジュール。 - 請求項1に記載のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのロードロックの少なくとも30%は、前記ATV搬送モジュールの内部に位置する、または
前記少なくとも1つのロードロックの少なくとも50%は、前記ATV搬送モジュールの内部に位置する、または
前記少なくとも1つのロードロックの少なくとも70%は、前記ATV搬送モジュールの内部に位置する、または
前記ATV搬送モジュールは、装置フロントエンドモジュール(EFEM)である、ATV搬送モジュール。 - 請求項1に記載のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのロードロックは、第1のロードロックと、前記第1のロードロックの上方に配置された第2のロードロックとを備える、ATV搬送モジュール。 - 請求項3に記載のATV搬送モジュールであって、
前記少なくとも1つのローディングステーションは、第1のローディングステーションと、前記第1のローディングステーションの上方に配置された第2のローディングステーションとを備える、ATV搬送モジュール。 - 請求項3に記載のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットアセンブリは、前記第1のロードロックおよび前記第2のロードロックにアクセスするように構成されている、ATV搬送モジュール。 - 基板処理ツールであって、
請求項1に記載のATV搬送モジュールを備え、
さらに、前記VTMを備える、基板処理ツール。 - 請求項6に記載の基板処理ツールであって、
前記VTMは、複数の処理モジュールを備え、前記複数の処理モジュールは、前記VTMの第1の側に配置された少なくとも3つの処理モジュールと、前記第1の側に対向する前記VTMの第2の側に配置された少なくとも3つの処理モジュールとを含む、基板処理ツール。 - 請求項7に記載の基板処理ツールであって、
前記複数の処理モジュールは、垂直に積み重ねられた構成の処理モジュールを含む、基板処理ツール。 - 請求項8に記載の基板処理ツールであって、
前記ATV搬送モジュールは、少なくとも1つのローディングステーションと、前記少なくとも1つのローディングステーションの反対側に位置する少なくとも2つの垂直に配置されたロードロックとを含み、
前記搬送ロボットアセンブリは、基板を、前記少なくとも1つのローディングステーションから少なくとも2つの垂直に配置されたロードロックの1つに移送するように構成される、基板処理ツール。 - 請求項1に記載のATV搬送モジュールであって、
前記搬送ロボットは、統合基板アライナを含み、
折りたたまれた状態にあるとき、前記エンドエフェクタは、前記統合基板アライナの上に位置する、ATV搬送モジュール。 - ATV搬送モジュール内に配置された搬送ロボットアセンブリであって、
搬送ロボットを支持するように構成された搬送ロボットプラットフォームであって、前記搬送ロボットが前記搬送ロボットプラットフォーム上に取り付けられている、搬送ロボットプラットフォームであり、
前記搬送ロボットプラットフォーム上に取り付けられた搬送ロボットは、
エンドエフェクタと、
前記エンドエフェクタと前記搬送ロボットプラットフォームとの間に接続されたアームセグメントとを含む、搬送ロボットプラットフォームと、
前記搬送ロボットプラットフォームと第2のロボット配置アームとの間に接続される第1のロボット配置アームと、
前記第1のロボット配置アームと取付シャーシとの間に接続された第2のロボット配置アームと、を含み
前記搬送ロボットアセンブリは、
(i)前記第1のロボット配置アームおよび前記第2のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームを昇降させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を垂直方向に調節し、
(ii)前記第1のロボット配置アームおよび前記第2のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を水平方向に調節するように、構成されており、
折りたたまれた状態にあるとき、前記搬送ロボットは、前記エンドエフェクタと前記アームセグメントが水平方向で同軸に整列し、前記エンドエフェクタが前記アームセグメントの上に配置される、前記搬送ロボットアセンブリによって搬送されることができる基板の直径よりも狭い、形状を有している、搬送ロボットアセンブリ。 - 請求項11に記載の搬送ロボットアセンブリであって、
前記搬送ロボットは、統合基板アライナを含み、
折りたたまれた状態にあるとき、前記エンドエフェクタが前記統合基板アライナの上に位置する、搬送ロボットアセンブリ。
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