JP2007533167A - ワークピース処理システム - Google Patents
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Abstract
Description
ロードロック内へアクセス開口269、262を開閉するために、z方向に上下に移動する。図4Bに示されるように、ゲートバルブ277は、開口260を規定するゲートバルブハウジング281の表面を封止結合するシール283を入れ替わりに支持するピストンとプレートを備えている。上記ゲートが低圧あるいは真空圧である間、ベローズ279は、ロードロックのアクチュエータ275が大気圧であるようにするために、ゲートバルブのピストンを取り囲む。
頂部ロードロック116は、バルブV1に独立に結合され、二つのロードロックは互いに分離されているので、ロードロック117が排気される事実は、頂部ロードロック116が特定の圧力であることが必要であるということを意味しない。
ウエハ 112
ロードロック 116,117
高圧領域 118
低圧領域 120
真空内ロボット 132
移送ステーション 134
大気内ロボット 148
エンドエフェクタ 280
Claims (25)
- a)ワークピースを高圧領域から低圧領域へ、そして上記高圧領域へ戻す移送を行うための第1分離ロードロック、
b)ワークピースを高圧領域から低圧領域へ、そして上記高圧領域へ戻す移送を行うための第1分離ロードロックに隣接して配置される第2分離ロードロック、
c)低圧でワークピースを処理するためのワークピース処理ステーション、
及び
d)上記第1及び第2ワークピース分離ロードロックの一つから、ワークピース処理ステーションへワークピースを移送するロボット、
を含む、低圧でワークピースを処理するためのツールを使用するワークピース移送システム。 - さらに、上記ワークピース分離ロードロックにより移動されるワークピースの配列を制御するためのワークピースアライナを含む請求項1記載の移送システム。
- 上記第1及び第2分離ロードロックは、
異なる方向からロードロックハウジング内部へワークピースが挿入できるように開閉する両側の入口を備えたロードロックハウジングと、
上記ハウジング内の支持体上に置かれるワークピースを支持するための支持体を含む上記ハウジングと、
上記ロードロックハウジング内部の圧力を低めるため、ロードロックハウジング内部を、大気圧と真空源とに選択的に通気するための制御バルブと、
からなる請求項1記載の移送システム。 - 上記第1及び第2分離ロードロックは、互いに垂直方向に離れており、
上記ロボットは、上記第1及び第2分離ロードロック内にワークピースを入手するように移動できる2個の離れているエンドエフェクタを含む請求項1記載の移送システム。 - 上記離れているエンドエフェクタは、いずれのエンドエフェクタも第1あるいは第2のロードロックのどちらにも入ることが可能なように、ロードロックに関して上下できる請求項4記載の移送システム。
- a)低圧領域内のワークピース処理ステーションで、ワークピースを処理するための低圧領域を定める筐体、
b)各ロードロックが、
i) 大気圧といったり来たりしてロードロック内へワークピースを移送するために、大気圧と選択的に連通する二つのアクセス開口、
ii) 上記処理後、低圧で処理するために上記ロードロック内部へワークピースを移送し、そして高圧領域に戻すための第3のアクセス開口、
を含む二つの隣接したワークピース分離ロードロック、
c)隣接するワークピース分離ロードロックから上記低圧領域内の処理ステーションへ、ワークピースを移送するための第1ロボット、
及び
d)ワークピースを、隣接するワークピース分離ロードロックと行ったり来たりして、処理前に上記ワークピース源から移送し、上記処理後にワークピースの行き先へ移送するための、低圧領域の外側に配置される多数の他のロボット、
からなる低圧でワークピースを処理するためのツールを使用する移送装置。 - 上記隣接するワークピース分離ロードロックは、一方に対して他方が上にある請求項6記載の装置。
- ロードロックの上記二つのアクセス開口は、ワークピースが異なる工程の経路に沿って挿入され、ロードロック支持体上に置かれることを可能にするために開かれている請求項7記載の装置。
- 第1ロボットは、移送ステーションに対し弓形にワークピースを移動させる請求項6記載の装置。
- 第1ロボットは、二つのエンドエフェクタを備え、各エンドエフェクタはいずれかのロードロック内でワークピースを積極的につかむことができる請求項9記載の装置。
- 上記ロードロックは、他のロードロックの上方にあり、また、上記ウエハは概して平らなウエハであり、そして、上記二つのエンドエフェクタは、概して上記平らなウエハの平面を横切る方向に上下に移動する請求項10記載の装置。
- 上記二つのエンドエフェクタは、同時に上記エンドエフェクタを動かす可動キャリッジに結合されている請求項11記載の装置。
- 互いに隣接して配置されている第1及び第2のロードロックから処理ステーションへ、ワークピースを移動させるための二つのエンドエフェクタを有する低圧ロボットを備え、
未処理ワークピースを第1ロードロックへ移動し、第1ロードロック内へ上記未処理ワークピースを置き、
第1ロードロック内の圧力を低下させ、
上記低圧ロボットの一つのエンドエフェクタを備える第1ロードロックから上記未処理ワークピースを移動し、そして、上記処理ステーションへ上記未処理ワークピースを移動し、
上記第1あるいは第2ロードロックの一つのロードロック内へ、上記低圧ロボットの第2のエンドエフェクタを備える上記処理ステーションから得られるすでに処理されたワークピースを置き、
上記一つのロードロック内の圧力を上げ、そして、
上記一つのロードロックから処理済みワークピースを移動させる、
複数のワークピースを低圧で連続的に処理するプロセス。 - 未処理ワークピースが、処理ステーションで処理されている同じ時間に、処理済ワークピースが、一つのロードロック内へ置かれる請求項13記載のプロセス。
- ワークピースは半導体ウエハであり、低圧ロボットはウエハを引き付けるウエハチャック上への配置のためにウエハを供給し、さらに処理前にウエハを再度、方向付けし、つかむことからなる請求項14記載のプロセス。
- 一つのロードロックが第2のロードロックの上にある請求項13のプロセス。
- 第1あるいは第2のロードロックのいずれかの中のワークピースへ、エンドエフェクタのいずれかを近づけることができるように、低圧ロボットの二つのエンドエフェクタを上下させる請求項16記載のプロセス。
- 二つのエンドエフェクタは、各エンドエフェクタを独立に動かす駆動モータを支持するキャリッジ上に、互いに同一線上に取り付けられており、さらに、一つのロードロックに関して、一つのエンドエフェクタを略位置づけ、ロードロックに関して上記キャリッジを上下させることを含む請求項17記載のプロセス。
- 上記第1及び第2のロードロックは、上記ロードロックの大気側からロードロックへ異なる方向からワークピースを挿入できるように互いに関してある角度でアクセス開口を有しており、さらに、上記ロードロックの内外へワークピースを移動させる複数の大気内ロボットを含んでいる請求項13記載のプロセス。
- 上記ワークピースは、概して平らなウエハであり、さらに、未処理ウエハをロードロック内へ挿入するより前に、ウエハの方向を整列することを含む請求項13記載のプロセス。
- 概して平らなウエハを上記ロードロックへ往復移動させるための第1及び第2の大気内ロボットを備え、第1の大気内ロボットは、ウエハ源からウエハを集め、方向付けのためアライナ上へ未処理ウエハを置き、そして、第2の大気内ロボットは、ロードロックを介して移動のためのアライナから整列されたウエハを処理ステーションへ、移動させることを、更に含む請求項20記載のプロセス。
- 1以上のさらなる未処理ワークピースは、ロードロックの一方から処理済ワークピースを移動させる前に、大気内ロボットによってウエハ源から上記第1及び第2のロードロックへ、連続的に移動される請求項13記載のプロセス。
- さらなる未処理ワークピースの代わりのものが、排気されたロードロックから先行するワークピースを移動させることを可能とするために、上記第1及び第2のロードロックの代わりのロードロックへ置かれ、その間、代わりのロードロックは、未処理ワークピースを受け取るために、大気に開口されている請求項22記載のプロセス。
- 与えられたワークピースは、上記与えられたワークピースが処理されるより前に置かれた同じロードロックから処理後に移動される請求項13記載のプロセス。
- 第1及び第2のロードロックは、互いに隣接して配置され、
第1及び第2のロードロックから処理ステーションへワークピースを移動させ、ロボットの中央軸の周囲に回転する二つのエンドエフェクタを有する第1の低圧ロボット、
第1のロードロックへ未処理ワークピースを移動させ、また、第1のロードロック内へ未処理ワークピースを置く第2の大気内ロボット、
第1のロードロック内の圧力を減少するために第1のロードロックを排気するポンプ、及び、
上記第1ロボットの一つのエンドエフェクタを備える上記第1ロードロックから、上記第1ロボットに未処理ワークピースを移動させ、第2のロードロックの圧力を上げる前に、第2のロードロック内へ上記第1ロボットの第2エンドエフェクタを備える処理ステーションから得られた処理済ワークピースを置くための制御器、
を含む複数のワークピースを低圧で連続的に処理する装置。
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