JP2000012647A

JP2000012647A - ウエハ搬送装置及びその方法

Info

Publication number: JP2000012647A
Application number: JP17280198A
Authority: JP
Inventors: Keiji Okada; 慶二岡田
Original assignee: Sumitomo Eaton Nova Corp
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co Ltd
Priority date: 1998-06-19
Filing date: 1998-06-19
Publication date: 2000-01-14

Abstract

(57)【要約】【課題】イオン注入装置において、ロードロック室のウ
エハ交換時間を短縮してシステムの処理能力（スループ
ット）を向上させること。【解決手段】真空室に連通可能なロードロック室４とカ
セットステーション16,17 の間に、１つのアライナ12に
対して複数のロボット14,15 を設ける。ロボットは、第
１，第２のロボットで構成され、コントローラにより制
御される。第１のロボット14が、ロードロック室から処
理済ウエハ５を排出して１つのカセットステーション16
に格納しそこから新たな未処理ウエハ5'を取り出して前
記アライナ12に載置する一連の第１動作を実行し、一
方、第２のロボット15が、アライナ12に既に載置されて
いる未処理ウエハ5'をアライナ12より受け取ってロード
ロック室に向かって保持待機してロードロック室内に供
給する第２動作を実行する。そして、第１のロボット14
が、第１動作において処理済のウエハを排出したとき、
第２のロボット15が、第２動作を実行するように制御さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造技術等
に利用されるイオン注入装置において、その端部ステー
ションであるウエハを処理する真空室（イオン注入室）
内にウエハを搬送するための装置及びその方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】イオン注入装置は、イオンビームを質量
分析磁石へ送るイオン源を設けており、この質量分析磁
石によってビームが屈折して、細長い径路に沿ってビー
ムシャッター及び加速電極を通過する。電極から出たビ
ームを左右上下に偏向させ、ウエハにビーム走査が行わ
れるようになっている。

【０００３】ウエハ処理室は、真空室内に設けられてお
り、ウエハは、ロードロック室を介して、または直接ウ
エハ処理室内に導入される。通常、ロードロック室が用
いられるが、ウエハを処理室内に移動させる途中でロー
ドロック室に挿入する時、ロードロック室の真空引きと
通気が繰り返される。

【０００４】このロードロック室を含むイオン注入装置
の端部ステーションについては、例えば、米国特許第
５，２２９，６１５号明細書に開示されている。この特
許では、端部ステーションは、ローディング部、ロード
ロック室、真空室、及び真空室内に配置されるウエハハ
ンドラーを備えている。

【０００５】このローディング部は、大気中にあり、図
９に示すように、真空室１０２との間に設けたロードロ
ック室１０４に対してウエハ１０５，１０５’を搬送す
る構成を備えている。即ち、ウエハ搬送用の１つのロボ
ット１０６を中心に、ウエハの方向を定めるウエハ配向
器（アライナ）１０８と、処理すべきウエハを格納した
カセットステーション１１０が円周上に配置された構成
となっている。

【０００６】カセットステーション１１０は、プラット
フォーム１１２上の端部に３つ配置され、そのうち２つ
は旋回可能となり、各々がロボット１０６を中心位置に
置く円周軌道Ｃ上に位置するとき、１つのロボット１０
６によりウエハカセット１２０内でウエハの取出し／格
納が行われる。

【０００７】また、ロボット１０６は、ロードロック室
の閉鎖中に、円周軌道上にある１つのカセットステーシ
ョン１１０から未処理ウエハ１０５’を１枚取り出して
ウエハ配向器（アライナ）１０８に前もって移送する。
このウエハ配向器は、ロードロック室が開くまでに、載
置された未処理ウエハ１０５’を所望の角度向きに位置
合わせする。

【０００８】そして、ロードロック室が開くと、真空室
１０２内のイオン注入室で処理されたウエハ１０５は、
ロードロック室１０４からロボット１０６により運ばれ
て、円周軌道上に移動されたカセットステーション１１
０内に格納される。この後、このロボット１０６は、ウ
エハ配向器１０８上に載置されている未処理ウエハ１０
５’を取り出して、ロードロック室１０４内に搬入す
る。

【０００９】このため、ロードロック室へのウエハの給
排時間は、１つのロボットが、処理済のウエハを排出し
てから、これをカセットステーションに格納し、さら
に、ウエハ配向器に載置されている未処理のウエハを把
持してロードロック室内に供給するのに要する全体の経
過時間となる。

【００１０】この過程をロボット動作によるフローチャ
ートで示すと、図１０のようになり、処理済のウエハを
ロードロックから排出するロボット取り動作(a) 、次
に、ロボットを回転かつ上下移動(b) させて、カセット
内にウエハを格納するロボット置き動作(c) 、さらに、
ロボットを上下移動および回転(d) させて、前もってア
ライナに配置された未処理のウエハを把持するロボット
取り動作(e) 、そして、ロボットを上下移動および回転
(f) させて、ロードロック室内にウエハを供給するロボ
ット置き動作(g) が実行される。

【００１１】このような手順から、ウエハの処理の流れ
は、カセットからアライナ、アライナからロードロック
室、その後は、ロードロック室での真空引き作業から真
空室内への真空搬送とイオン注入処理、さらに、注入処
理後の真空搬送を経てロードロック室に戻り、通気され
てドアが開いたロードロック室内から、再び、同一のロ
ボットにより、ウエハを取り出してカセットのもとあっ
た位置まで戻るようになる。

【００１２】ここで、連続的に処理している場合のこと
を考えると、処理済のウエハがロードロック室のもとあ
った位置に戻ってきた時、次のウエハは、既に、同一の
ロボットによりロードロック室の閉鎖中にカセットから
アライナへ運ばれており、その位置あわせはすでに完了
している。そのため、１つのロボットが、処理済ウエハ
をロードロック室からカセットに戻すと、続いて未処理
ウエハをアライナからロードロック室へ搬送する。その
結果、ロードロック室が閉鎖され、この後、同一のロボ
ットが、カセットから別の未処理ウエハをアライナまで
搬送して置く。このように、１つのロボットでウエハを
給排する一連の搬送動作が行われる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】したがって、従来のウ
エハ搬送装置の場合、ウエハの処理能力は、ロードロッ
ク室のウエハ交換時間、真空引き及び通気の時間、さら
に真空内での搬送時間により拘束されており、ロードロ
ック室のウエハ交換時間が必要以上に長く掛るために、
ラインの生産性が抑えられる結果となっていた。

【００１４】また、ローディング部に配置できるカセッ
トステーションの台数が、従来の場合ではほぼ３個に制
限されているために、ウエハカセットの取り替え作業の
サイクルを長くすることが難しく、その交換作業ための
間接コストが上昇するという問題が生じていた。

【００１５】このようなことから本発明の目的は、イオ
ン注入装置において、ロードロック室のウエハ交換時間
を短縮してシステムの処理能力（スループット）を向上
させることであり、更なる目的は、これを実現するため
のウエハ搬送装置およびその搬送方法を提供することで
ある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、各請求項に記載の構成を有している。具
体的には、請求項１によれば、本発明のウエハ搬送装置
は、１つのアライナに対して複数のロボットを設け、該
ロボットの各々に対してロボットアームの旋回移動範囲
内に少なくとも１つのカセットステーションを配置し、
前記複数のロボットは、前記真空室に連通可能なロード
ロック室から処理済のウエハを排出して１つのカセット
ステーションに格納し、そこから新たな未処理のウエハ
を取り出して前記アライナに載置する一連の第１動作を
実行する第１のロボットと、このアライナに既に載置さ
れている未処理のウエハを受取り保持待機して前記ロー
ドロック室内に供給する第２動作を実行する第２のロボ
ットを構成し、さらに、処理すべきウエハのカセットス
テーションに近接する第１のロボットが、前記第１動作
において処理済のウエハを排出したとき、前記第１のロ
ボットに対して対向位置にある第２のロボットが、前記
第２動作を実行するように制御するコントローラを備え
たことを特徴としている。

【００１７】また、請求項５によれば、ウエハの搬送方
法が、第１のロボットが、新たな未処理のウエハをカセ
ットステーションから取り出してその載置方向を決める
アライナに載置する第１工程と、前記真空室内のロード
ロック室から、第１のロボットが、処理済のウエハを排
出して１つのカセットステーションに格納する第２工程
と、第２のロボットが、前記アライナに既に載置されて
いる未処理のウエハを、前記ロードロック室内に供給す
る第３工程とを含み、前記第１のロボットが前記第３工
程および第１工程を連続して実行するとともに、この第
１のロボットが前記ロードロック室から処理済のウエハ
を排出したとき、直ちに、前記アライナに既に載置され
た未処理のウエハを保持して待機している第２のロボッ
トが、前記ロードロック室内に供給するようにしたこと
を特徴としている。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。図１は、本発明におけるウエハ搬送装置
１０の概略構成図であり、図７にその全体構造を示すイ
オン注入装置１の端部ステーション２として配置されて
いる。図１において、このウエハ搬送装置１０は、イオ
ンを注入してウエハを処理する真空室３（破断線でハウ
ジング断面の一部のみを示す）へロードロック室４を介
してウエハ５を給排するローディング部６からなってい
る。

【００１９】このローディング部６は、大気中に置かれ
たプラットフォーム８上に、ほぼ中央に位置するアライ
ナ１２と、これに対向配置された２つのウエハ搬送用の
ロボット１４，１５と、各ロボットに対応して隣接配置
された一対のカセットステーション１６，１７を備えて
いる。

【００２０】アライナ１２は、公知の装置で、ウエハを
イオン注入に適した角度方向に位置合わせするために、
回転可能なポジショナーに対して装置本体に固定配置さ
れたセンサ発光側プレート及びセンサ受光側プレートを
介してウエハの位置決め用カット面やノッチを検出して
位置合わせする装置である。

【００２１】ウエハ搬送用のロボット１４（１５）は、
図３，図４において後述する３軸アームロボットであ
り、プラットフォーム８上の所定位置に固定され、ウエ
ハ５（５’）を保持して、ロードロック室４およびカセ
ットステーション１６（１７）内にウエハを給排するた
めのアーム構造を有し、上下移動、回転および前後移動
が可能になっている。

【００２２】また、カセットステーション１６，１７
は、多数のウエハ５を積み重ねて格納する取り外し自在
のカセット１８を備え、対応するロボット１４，１５に
対面する位置に回転可能な構造を有しており、対応する
ロボットがそのステーションから未処理のウエハ５を取
り出す時、また逆に、処理済のウエハ５を格納する時
に、開口部がロボットに対面する方向に向くように所定
角度旋回する。

【００２３】本実施形態では、このカセットステーショ
ン１６，１７は、プラットフォーム８上の一端部側に各
ロボットに対して２つ隣接して配置され、全体として４
つ設けられている。なお、カセットステーション１６，
１７は、各ロボットに対して必要な数だけ配置できるの
で、スペースに余裕のある限り、４つ以上設置可能であ
る。

【００２４】図２は、本発明に係るウエハの搬送工程に
おけるロボットの動作原理を示すものである。ロボット
の動作によるウエハの搬送は、先ず、予めカセットＡか
ら１枚の未処理のウエハ５’が第１のロボットＡ(14)に
よってアライナ１２上に載置される準備工程（第１工程
）から開始される。この準備工程の動作は、最初のウ
エハを処理する際の前段階として実行され、また、その
後に続く連続作業の動作時において、処理済ウエハ５が
カセットへ格納された後に、続行される未処理ウエハ
５’のアライナへの載置動作として第１のロボットＡが
行う一連の第１動作−に組み込まれる。

【００２５】連続作業時において、第１のロボットＡ
は、ロードロック室４から処理済のウエハ５を受け取
り、それをカセットＡに格納（第２工程）し、このカ
セットＡから別のウエハを取り出してアライナ１２上に
載置する（第１工程）。一方で第２のロボットＢ(15)
は、アライナ１２上で既に所定の角度位置合わせを行っ
た未処理のウエハを保持して待機しており、ロボットＡ
の処理済のウエハ５の排出後、直ちに、ロボットＡが次
のウエハをアライナ１２に供給する前に、未処理ウエハ
５’をロードロック室４内に供給する（第３工程）。

【００２６】このような第１，第２，第３工程を逐次２
つのロボットにより実行し、カセットＡのウエハが全部
イオン注入処理されたウエハになってカセットＡに格納
されると、今度は、カセットＢのウエハの処理を行うよ
うになっている。この場合、ロボットＡとロボットＢの
動作は逆転する。

【００２７】本発明に使用する第１，第２のロボット１
４，１５は、図３，４に示すように、装置本体上に取付
けられた３軸アーム構造で、第１，第２，第３アーム２
１，２２，２３を有し、このロボット操作は、装置本体
２４もしくは他の制御盤に配置したコントローラ３０に
より制御される。コントローラはマイクロプロセッサを
含む制御回路で構成されている。

【００２８】このロボットは、先端部にウエハ保持部２
５を備えて、図１に見るように、中心軸回りに回転して
カセット１８およびアライナ１２に対面する方向にその
向きを変えることができ、その作動範囲は、Ｘ軸方向に
６９０ｍｍ、θ軸方向に３６５°、Ｚ軸方向に３２３ｍ
ｍとなっている。

【００２９】このため、ロボットは、上下移動、回転、
及び前後移動することができ、アーム２１，２２，２３
が先端保持部２５を半径方向に移動させてウエハの所望
角度向きを維持しながら、カセット内の所定位置にウエ
ハ５を格納し、かつ未処理の別のウエハ５’を取り出せ
るようになっている。

【００３０】また、図５は、本発明にかかるイオン注入
用のウエハ搬送装置１０とロードロック室４との間での
ウエハ５，５’の給排を行うための機構を断面で示した
概略構成図であり、図６は、全体の端部ステーション２
に配置関係をより詳細に示した概略断面構成図である。

【００３１】図５，図６において、ロードロック室４
は、上側ロードロック室３１と下側ロードロック室３２
に分割されており、上側ロードロック室３１には、ロー
ディング部６のロボットのアーム２３が挿入できるよう
にカバー部材３３の側壁に２つのロックドア３４，３５
（図１では、その平面配置を示す）が設けられている。

【００３２】本実施形態では、アライナ１２を中心にし
て対向配置された２つのロボット１４，１５に対応し
て、それぞれ専用のドアを設けたが、通常のように、よ
り大きなドアを中央部に配置することも可能である。こ
のドアは、フラップ形式のもので、底部が上方に旋回し
て開くヒンジ構造を有し、内側面にシールリング３６が
取付られ、ドアの閉鎖時に完全に外気から遮断される。

【００３３】ロードロック室４内には、上面にウエハ
５，５’を載置するためのウエハ受取りプラテン４０を
備える支持台４１が設けられている。支持台４１は、そ
の上面の周囲にシール４３を有し、底部に支軸４２が連
結されている。この支軸４２は、図６に見るように、下
側ロードロック室３２を貫通してロードロック室４の下
側に配置された回転式アクチュエータを有する駆動機構
４４に連結されて垂直方向に移動できるようになってい
る。

【００３４】図５において、駆動機構４４のハウジング
４５は、下側ロードロック室３２の底部に固定され、一
方、カバー部材３３は、ロードロック室４内を完全に包
囲するとともにカバー部材３３の頂部壁がウエハを処理
する真空室３の壁面部分に接続されて、全体として端部
ステーション２のハウジング３８を構成している。

【００３５】ウエハ受取りプラテン４０は、駆動機構４
４により垂直方向に昇降し、支持台４１の上面に設けた
シール４３がカバー部材３３の内壁に取り付けたストッ
パ部材４５に当接する上昇位置と、下側ロードロック室
３２の底面に対して支持台の下端部が当接する降下位置
との間を正確に垂直移動する。このプラテン４０の上昇
位置では、シール４３がストッパ部材４５に密着して上
側ロードロック室３１と下側ロードロック室３２の間が
完全に閉鎖（アイソレーションバルブの閉じ状態）さ
れ、その結果、上側ロードロック室３１を大気圧にし
て、ロボット１４，１５がウエハ５，５’を上側ロード
ロック室３１内に挿入できるようになる。そして、ロッ
クドア３４，３５を閉じて上側ロードロック室３１を真
空引きした後、プラテン４０の降下位置において、ウエ
ハを真空室３へ真空搬送することが可能となる。

【００３６】一方、真空室３内には、図６に見るよう
に、ウエハ移送アームアセンブリ５０が配置されてお
り、このアセンブリを中心にして、ロードロック室４の
ウエハ受取りプラテン４０に対向する反対側の位置に、
ウエハ受取りプラテン４０と同様にウエハ５を所定位置
に保持するイオン注入時のウエハ保持用の静電式プラテ
ン５５を有するプラテンアセンブリ５２が設けられてい
る。

【００３７】ウエハ移送アームアセンブリ５０の上部に
は、回転可能なトランスファアーム２０が取付けられ、
その両端部にウエハを保持するためのリング形状の保持
部５１を有している。また、トランスファアーム２０
は、真空室３とロードロック室４との間で、ウエハ５ま
たはウエハ５’を真空搬送するために、真空室３に固定
されてそれから突出しているハウジング５２及びベロー
ズ５３内に線形移動可能な内軸と回転駆動可能な外軸と
を備え、上下移動と回転駆動することができる。

【００３８】このトランスファアーム２０により下側ロ
ードロック室３２から真空室３内のプラテンアセンブリ
５２上に搬送された未処理のウエハ５’は、ここでは詳
細な説明を省略するウエハハンドラーによって、プラテ
ンアセンブリ５２上で、この軸回りに回転及び線形移動
される。ウエハハンドラーは、ウエハの傾斜角度も必要
に応じて調整し、ウエハとイオンビームとの間の注入角
度を制御して、このウエハ５をイオンビーム内で走査す
ることができる。

【００３９】こうして、イオン注入が完了したウエハ
を、本発明に係るウエハ搬送装置を用いて処理するため
の、端部ステーションにおけるウエハの搬送工程を図８
に示すフローチャートに基づいて説明する。

【００４０】イオン注入の処置が終了すると、真空室３
からロードロック室４へウエハの真空搬送が行われる
（ステップ６１，６２）。このため、イオン注入が完了
した処理済のウェハ５は、プラテンアセンブリ５２上に
載置され、トランスファアーム２０が上昇して、アーム
の保持部５１によりウエハ５を保持する。そして、この
トランスファアーム２０を１８０°旋回させて、ウエハ
を下側ロードロック室３２に移動し、そのウエハを降下
位置あるウエハ受取りプラテン４０上に載置する。そし
て、トランスファアーム２０は、図６に示す位置まで降
下し、この時、未処理ウエハをプラテンアセンブリ５２
に搬送するのも同時に行われる。

【００４１】この真空搬送が完了すると、下側ロードロ
ック室３２にあるウエハは、プラテン４０を上昇させる
ことにより上側ロードロック室３１に移動し、ストッパ
部材４５と支持台４１を当接させて密閉するアイソレー
ションバルブの閉じ動作が実行され、真空室３と上側ロ
ードロック室３２を分離し、このロードロック室のベン
ト（通気）が行われる（ステップ６３，６４）。そし
て、上側ロードロック室３１が大気圧状態になるとロー
ドロック室のドアを開く（ステップ６５）。

【００４２】ドアが開くと、第１のロボット１４が作動
し、アーム２３が室内に挿入されてウエハ５を保持す
る、ロボット１取り動作が行われる（ステップ６６）。
そして、第１のロボットは、回転かつ上下動作（ステッ
プ７０）を経て、ロボット１置き動作（ステップ７１）
としてカセットステーション１６内のウエハカセット１
８に処理済のウエハを格納する。さらに、この第１のロ
ボット１４は、このカセット１８から別のウエハ５’を
取り出すロボット１取り動作（ステップ７２）を行い、
ロボットの回転かつ上下動作（ステップ７３）を経て、
ロボット１置き動作（ステップ７４）としてアライナ１
２へ未処理のウエハ５’を載置する。このように、ステ
ップ６６，７０〜７４の一連の動作は、第１のロボット
１４の第１動作として連続的に行われる。

【００４３】アライナ１２では、未処理のウエハ５’の
アライニング動作（ステップ７５）が実行され、さら
に、第２のロボット１５が、このアライナからウエハ
５’を受け取り、回転駆動及び上下移動を行って、未処
理のウエハをロードロック室に向いて保持待機する（ス
テップ７６，７７）。従って、上記第１のロボットの動
作（ステップ７０〜７４）と、アライナ及び第２のロボ
ットの動作（ステップ７５〜７７）は、本発明において
は、サブルーチンとして、イオン注入作業時のウエハ搬
送動作の１サイクル（ステップ６１〜６９）作業手順か
ら除外できる。

【００４４】一方、第１のロボット１４が、処理済のウ
エハ５をロードロック室４から排出すると直ちに、第２
のロボット１５が、ロボット２置き動作（ステップ６
７）を実行し、既にアライナ１２から第２のロボット１
５に移載されている未処理のウエハ５’をロードロック
室４に供給してウエハ受取りプラテン４０上に載置す
る。このため、ロードロック室４のドアをロスタイムを
生じないで閉じる動作（ステップ６８）を完了すること
ができ、続いて、ロードロック室４の真空引き動作（ス
テップ６９）が開始される。

【００４５】したがって、本発明では、ウエハを処理す
る真空室３に連通可能なロードロック室４から処理済の
ウエハ５を排出して１つのカセットステーション１６に
格納し、そこから新たな未処理のウエハ５’を取り出し
てアライナ１２に載置する一連の第１動作を第１のロボ
ット１４が実行し、このアライナ１２に既に載置されて
いる未処理のウエハ５’をロードロック室４内に供給す
る第２動作を第２のロボット１５が実行する。

【００４６】そして、第１のロボット１４に対応する１
つまたは複数のカセットステーション１６のウエハがす
べて、処理された後、今度は、第２ロボット１５に対応
するカセットステーション１７からウエハの取出し／格
納を行うために、第１，第２動作を交代してそれぞれの
ロボット１４，１５が実行する。このようにして、ロー
ディング部６のプラットフォーム８上に配置されたカセ
ットステーション１６，１７内のウエハが順次連続して
処理される。

【００４７】このように、上記のステップによれば、従
来、ロボットがウエハをロードロック室から排出して、
ウエハをカセットステーションに格納し、次のウエハを
運んで来るまで、即ち、図１０におけるステップｂ〜ｆ
を行うのに要する時間を省いて、ロードロック室からウ
エハを排出した後、直ちに、別のロボットにより未処理
のウエハを供給することができる。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたことから明らかなように、本
発明のウエハ搬送装置及びその方法は、ロードロック室
へのウエハの給排を直ちに行って、ウエハ交換時間を短
縮することによりロードロック室の開き時間を少なく
し、イオン注入装置におけるシステムの処理能力を向上
させることができる。また、端部ステーションのローデ
ィング部に設置するカセットステーションの数を従来よ
りも多く配置できるため、カセットの取り替え作業のサ
イクルを長くすることにより、間接コストを低減するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエハ搬送装置におけるロボット
とカセットステーションの配置を示す概略構成図であ
る。

【図２】本発明に係るウエハの搬送工程におけるロボッ
トの動作原理を示す模式図である。

【図３】図１に示すロボットの側面図である。

【図４】図７のロボットアームを展開して示す平面図で
ある。

【図５】図１におけるロードロック室とロボットの動き
を示す概略構成図である。

【図６】図１における端部ステーションでの真空室、ロ
ードロック室及びカセットステーションの配置関係を示
す概略構成図である。

【図７】本発明に係るイオン注入装置の全体の構成を示
す平面図である。

【図８】図１の装置を用いた場合のウエハの搬送手順を
ロボットの動きに基づいて示すフローチャート図であ
る。

【図９】従来のウエハ搬送装置の一例を示す図１と同様
の概略構成図である。

【図１０】図９のウエハ搬送装置を用いた場合のロボッ
トの動きを示すフローチャート図である。

【符号の説明】

１イオン注入装置２端部ステーション３真空室４ロードロック室５，５’ ウエハ１０ウエハ搬送装置１２アライナ１４，１５ロボット１６，１７カセットステーション１８カセット２０トランスファアーム２１，２２，２３アーム３０コントローラ４０ウエハ受取りプラテン５０ウエハ移送アームアセンブリ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】イオン注入装置において、イオンを注入す
る真空室内にウエハを給排するためのウエハ搬送装置で
あって、１つのアライナに対して複数のロボットを設け、該ロボ
ットの各々に対してロボットアームの旋回移動範囲内に
少なくとも１つのカセットステーションを配置し、前記複数のロボットは、前記真空室に連通可能なロード
ロック室から処理済のウエハを排出して１つのカセット
ステーションに格納し、そこから新たな未処理のウエハ
を取り出して前記アライナに載置する一連の第１動作を
実行する第１のロボットと、このアライナに既に載置さ
れている未処理のウエハを受取り保持待機して前記ロー
ドロック室内に供給する第２動作を実行する第２のロボ
ットを構成し、さらに、処理すべきウエハのカセットステーションに近接する前
記第１のロボットが、前記第１動作において処理済のウ
エハを排出したとき、前記第１のロボットに対して対向
位置にある第２のロボットが、前記第２動作を実行する
ように制御するコントローラを備えたことを特徴とする
ウエハ搬送装置。
【請求項２】複数のロボットは、アライナを中心にして
対向された第１，第２のロボットからなり、カセットス
テーションは、回転可能でかつ前記ロボットの各々に対
向して隣接配置されていることを特徴とする請求項１記
載の装置。
【請求項３】ロードロック室が左右に分かれた２つのロ
ックドアを有し、２つのロボットにおけるウエハの給排
が各々一方のロックドアの開閉動作に対応して実行され
ることを特徴とする請求項２記載の装置。
【請求項４】第１，第２のロボットは、ロードロック室
に対する給排を行う第１，第２動作を交代で実行するよ
うにしたことを特徴とする請求項２または請求項３に記
載の装置。
【請求項５】イオン注入装置において、イオンを注入す
る真空室内にウエハを給排するためのウエハ搬送方法で
あって、第１のロボットが、新たな未処理のウエハをカセットス
テーションから取り出してその載置方向を決めるアライ
ナに載置する第１工程と、前記真空室内のロードロック室から、第１のロボット
が、処理済のウエハを排出して１つのカセットステーシ
ョンに格納する第２工程と、第２のロボットが、前記アライナに既に載置されている
未処理のウエハを、前記ロードロック室内に供給する第
３工程とを含み、前記第１のロボットが前記第２工程および第１工程を連
続して実行するとともに、この第１のロボットが前記ロ
ードロック室から処理済のウエハを排出したとき、直ち
に、前記アライナに既に載置された未処理のウエハを保
持して待機している第２のロボットが、前記ロードロッ
ク室内に供給するようにしたことを特徴とするウエハ搬
送方法。
【請求項６】第１，第２のロボットが、ロードロック室
に対する給排を行うために、第２工程及び第１工程と、
第３工程とを交代で行うことを特徴とする請求項５記載
の方法。