JP5323718B2 - 高生産性ウエハ連続処理末端装置 - Google Patents
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Description
本発明は、概して、ワークピースを処理するためのワークピース処理システムおよびその方法に関するものであり、より詳細には、処理量を最大限にされた、ワークピースを処理するためのシステムおよびその方法に関するものである。
半導体プロセスでは、1つのワークピースまたは半導体ウエハに対して、多くの工程が行われる。一般に、ワークピースに対して行なわれる各処理工程は、典型的に、ある特定の順序で行なわれる。すなわち、各工程は、前工程の完了を待つため、ワークピースがその後の処理ステップに使用できるようになる時間に影響を及ぼす。処理場まで至るプロセスの流れが、この処理に関連する連続的な事象によって中断される場合、例えばイオン注入等、真空下で行なわれる比較的短い工程のためのツールの生産性または処理量が、非常に限定されることがある。例えば、輸送担体または記録カセットと処理システムとの間におけるワークピースの交換、大気環境から処理システムの注入チャンバの真空環境までのワークピースの輸送、および、真空環境におけるワークピースの位置合わせ(例えばノッチアライメント)等は、ツールの生産性に対して顕著な影響を与えることがある。
本発明は、大気環境と真空環境との間において、ワークピースを搬送するためのシステム、装置、および方法を提供することによって、先行技術の制限を克服すると共に、スループットを最大限にし、かつ本システムに係る所有コストを最小限にする。さらに具体的には、本発明は、アイドルタイム、または、処理システムが処理されたワークピースを生産する時間だけでなく、これを操作するための時間について、最小限にすることによって、本システムに係る所有コストを減少させるためのシステムおよび方法を提供する。
図1Aは、本発明の一態様に係る模範的なワークピース処理システムの構成図である。
本発明は、概して、半導体プロセスのためのワークピース処理を対象にしており、特には、アライメントおよびワークピースへのイオン注入などの連続的な工程を実行している間に、2つ以上のワークピースを略同時にシステムに搬送することができる処理システムを対象にしている。ついては、本発明について図面を参照して以下に説明する。本明細書中、類似の参照番号は類似の要素を言及して使用される。これらの実施形態の説明は、単に一例に過ぎず、意味を限定して解釈されるべきではないことは明らかであろう。以下の記述において、説明のために、多数の具体的な詳細が、本発明の十分な理解を提供するために示される。当業者にとって明らかであるが、本発明はこれらの詳細な説明なしに実施されてもよい。
Claims (50)
- 複数のワークピースを支持するように構成されたワークピース輸送コンテナ;
上記ワークピース輸送コンテナと選択的に係合する前部モジュール;
真空チャンバ;
上記真空チャンバと動作可能に連結された処理モジュール;
第1ロードロックチャンバ、第2ロードロックチャンバ、第3ロードロックチャンバ、および第4ロードロックチャンバ;および、
制御装置を備え、
上記前部モジュールは、
第1複式ワークピース処理アームが動作可能に連結された第1ロボット;
第2複式ワークピース処理アームが動作可能に連結された第2ロボット;および、
上記第1ロボットと上記第2ロボットとの間に概して配置されたアライメント機構を備え、
上記アライメント機構は、評価装置、および上記複数のワークピースのうちの2つ以上を選択的に支持するように構成された2つ以上の垂直配向ワークピース支持部を備え、
上記真空チャンバは、
第1単式ワークピース処理アームが動作可能に連結された第3ロボット;および、
第2単式ワークピース処理アームが動作可能に連結された第4ロボットを備え、
上記第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバの各々は、上記前部モジュールおよび上記真空チャンバと動作可能に連結され、かつ、上記複数のワークピースのうちの2つ以上を支持するように構成され、上記第1および第3ロードロックチャンバは、略垂直に並べられて第1ロードロックモジュールを定義し、上記第2および第4ロードロックチャンバは、略垂直に並べられて第2ロードロックモジュールを定義しており、
上記第1ロボットは、上記第1複式ワークピース処理アームを介して、上記ワークピース輸送コンテナ、上記アライメント機構、ならびに上記第2および第4ロードロックチャンバの間において、上記複数のワークピースを選択的に搬送するように構成され、
上記第2ロボットは、上記第2複式ワークピース処理アームを介して、上記ワークピース輸送コンテナ、上記アライメント機構、ならびに上記第1および第3ロードロックチャンバの間において、上記複数のワークピースを選択的に搬送するように構成され、
上記第3ロボットは、上記第1単式ワークピース処理アームを介して、上記第1および第3ロードロックチャンバ、ならびに上記処理モジュールの間において、上記複数のワークピースを選択的に搬送するように構成されるために、上記第1ロードロックモジュールによって位置づけられ、
上記第4ロボットは、上記第2単式ワークピース処理アームを介して、上記第2および第4ロードロックチャンバ、ならびに上記処理モジュールの間において、上記複数のワークピースを選択的に搬送するように構成されるために、上記第2ロードロックモジュールによって位置づけられ、
上記制御装置は、上記第1、第2、第3、および第4ロボットの制御を介して、上記ワークピース輸送コンテナ、上記アライメント機構、上記第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバ、ならびに上記処理モジュールの間において、上記複数のワークピースを選択的に搬送するように構成される、ワークピース処理システム。 - 上記第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバの各々は、個別に、上記前部モジュールに対する第1遮断弁と、上記真空チャンバに対する第2遮断弁とを備え、
各上記第1遮断弁は、上記前部モジュールと、上記第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバの各内部空間との間において、流通を選択的に可能にするように構成され、
各上記第2遮断弁は、上記真空チャンバと、上記第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバの各上記内部空間との間において、流通を選択的に可能にするように構成されている、請求項1に記載のワークピース処理システム。 - 上記第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバの各上記内部空間は、機械的隔離板が間に配置されることによって概して分けられた第1空間および第2空間を個別に含み、
上記第1空間は、上記複数のワークピースのうちの1つを概して収容するように構成され、
上記第2空間は、上記複数のワークピースのうちの他の1つを概して収容するように構成され、
上記機械的隔離板は、概して各上記内部空間についての上記第1空間と上記第2空間との間における交差混交を防止する、請求項2に記載のワークピース処理システム。 - 上記第1および第2複式ワークピース処理アームの各々は、上記複数のワークピースのうちの1つまたは2つを選択的に支持するように構成されている、請求項1に記載のワークピース処理システム。
- 上記第1ロボットは、上記第1複式ワークピース処理アームを介して、上記ワークピース輸送コンテナ、上記アライメント機構、ならびに上記第2および第4ロードロックチャンバの間において、上記複数のワークピースのうちの2つを同時に、選択的に搬送するように構成されている、請求項4に記載のワークピース処理システム。
- 上記第2ロボットは、上記アライメント機構から上記複数のワークピースを一度に1つずつ連続的に、選択的に搬出し、上記第1および第2ロードロックチャンバから、ならびに当該第1および第2ロードロックチャンバに、上記複数のワークピースを一度に2つずつ搬送するように構成されている、請求項5に記載のワークピース処理システム。
- 上記第1および第2複式ワークピース処理アームの各々は、2つのワークピースを同時に支持するように構成されている、請求項1に記載のワークピース処理システム。
- 上記第1および第2単式ワークピース処理アームは、1つのワークピースを支持するように構成されている、請求項1に記載のワークピース処理システム。
- 上記処理モジュールは、上記複数のワークピースの各々を選択的に支持するように構成された静電チャックを備える、請求項1に記載のワークピース処理システム。
- 上記処理モジュールは、処理媒体を経由して上記静電チャックを平行移動させるように構成された処理ロボットを備える、請求項9に記載のワークピース処理システム。
- 上記処理モジュールは、上記複数のワークピースにイオンを注入するように構成されたイオン注入システムを備える、請求項1に記載のワークピース処理システム。
- 上記処理モジュールは、線量測定システムをさらに備える、請求項11に記載のワークピース処理システム。
- 上記前部モジュールは、実質的に大気圧である内部環境を含み、
上記真空チャンバおよび上記処理モジュールは、概して真空引きされた内部環境を含む、請求項1に記載のワークピース処理システム。 - 上記真空チャンバおよび上記処理モジュールのうちの1つ以上と流通している高真空ポンプをさらに備える、請求項13に記載のワークピース処理システム。
- 上記アライメント機構は、基部、および当該基部と動作可能に連結された昇降装置をさらに備え、
上記昇降装置は、上記2つ以上のワークピースを個別に、垂直に平行移動させて、当該2つ以上のワークピースを評価位置に移動させるように構成されている、請求項1に記載のワークピース処理システム。 - 上記2つ以上の垂直配向ワークピース支持部は、互いに略垂直に配向された2つ以上のワークピース載置台を含み、
各上記ワークピース載置台は、バッファ位置における上記複数のワークピースのうちの各1つを選択的に支持するよう機能する、請求項15に記載のワークピース処理システム。 - 上記昇降装置は、昇降ワークピース支持部と動作可能に連結された昇降シャフトを備え、
上記昇降シャフトは、上記基部と直線的に摺動可能に係合しており、
上記昇降ワークピース支持部は、上記複数のワークピース載置台から上記複数のワークピースの各々を選択的に支持するよう機能し、
上記昇降シャフトは、各上記バッファ位置から評価位置に、上記複数のワークピースを垂直に平行移動させるよう機能する、請求項16に記載のワークピース処理システム。 - 各上記ワークピースが上記評価位置にあるとき、上記評価装置は上記複数のワークピースについての1つ以上の特性を検出するよう機能する、請求項17に記載のワークピース処理システム。
- 上記評価装置は光学センサを備え、
各上記ワークピースが上記評価位置にあるとき、上記光学センサは、上記複数のワークピースについての上記1つ以上の特性を検出するよう機能する、請求項18に記載のワークピース処理システム。 - 上記1つ以上の特性は、上記ワークピースにおけるノッチ、上記昇降ワークピース支持部に対する上記ワークピースの配置、および、上記ワークピースに関する印のうち、1つ以上を含む、請求項19に記載のワークピース処理システム。
- 上記ワークピースの配置は、上記ワークピースの回転位置、および上記ワークピースの中心のうち、1つ以上を含む、請求項20に記載のワークピース処理システム。
- 上記ワークピース載置台、上記昇降装置、および上記評価装置を制御するよう機能する制御装置をさらに含む、請求項17に記載のワークピース処理システム。
- 各上記ワークピース載置台は、
上記ワークピースの外周に関与する複数のワークピース支持部;および、
上記複数のワークピース支持部と動作可能に連結された水平移動装置を備え、
上記複数のワークピース支持部は、引き込み位置において上記ワークピースを支持するよう機能し、
上記水平移動装置は、上記引き込み位置から伸展位置に向かって、上記ワークピースの上記外周を超えて、上記複数のワークピース支持部を選択的に、半径方向に伸ばすよう機能し、
上記複数のワークピース支持部が上記伸展位置にあるとき、上記昇降装置は上記ワークピースを支持するよう機能する、請求項17に記載のワークピース処理システム。 - 上記昇降装置は、上記複数のワークピース支持部が上記引き込み位置にあるとき、上記複数のワークピース支持部から上記ワークピースを概して持ち上げ、上記複数のワークピース支持部が上記伸展位置にあるとき、上記複数のワークピース支持部の下方に上記ワークピースを平行移動させるよう機能する、請求項23に記載のワークピース処理システム。
- 上記複数のワークピース支持部は、2つ以上の弧状支持部を備える、請求項23に記載のワークピース処理システム。
- 上記昇降シャフトは、さらに、上記基部に対して回転可能に連結されている、請求項17に記載のワークピース処理システム。
- 上記昇降シャフトに対して回転可能に連結されたモーターをさらに備え、
上記モーターは、上記昇降シャフトを、当該昇降シャフトの軸を中心に回転させるよう機能する、請求項26に記載のワークピース処理システム。 - 上記モーターはサーボモーターを備える、請求項27に記載のワークピース処理システム。
- 上記昇降ワークピース支持部は、上記複数のワークピースの各々を選択的に把持するよう機能する真空チャックを備える、請求項26に記載のワークピース処理システム。
- 上記ワークピース輸送コンテナはFOUPを備える、請求項1に記載のワークピース処理システム。
- イオン注入システムにおいて複数のワークピースを処理する方法であって、
略大気環境において、第1ロボットを介して、ワークピース輸送コンテナから、第1ワークピースおよび第2ワークピースを同時に搬出する工程;
アライメント機構の第1および第2ワークピース支持部の各々に、上記第1および第2ワークピースを同時に配置する工程;
昇降装置を介して、上記第1ワークピース支持部から上記第1ワークピースを上昇させて、当該第1ワークピースを評価位置に平行移動させる工程と、
上記第1ワークピースを評価する工程;
第2ロボットを介して、上記第1ワークピース支持部から上記第1ワークピースを搬出する工程;
上記昇降装置を介して、上記第2ワークピース支持部から上記第2ワークピースを上昇させて、当該第2ワークピースを上記評価位置に平行移動させる工程;
上記第2ワークピースを評価する工程;
上記第2ロボットを介して、上記第2ワークピース支持部から上記第2ワークピースを搬出する工程;
第1ロードロックチャンバに、上記第1および第2ワークピースを概して同時に搬入する工程;
第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバのうち、上記第3ロードロックチャンバと略垂直に並べられた第1ロードロックチャンバに、上記第1および第2ワークピースを概して同時に搬入する工程;
上記第1ロードロックチャンバを概して真空引きする工程;
上記第1ロードロックチャンバによって位置づけられた第3ロボットを介して、上記第1ロードロックチャンバから真空チャンバに、上記第1ワークピースを搬送する工程;
上記真空チャンバに関与する処理媒体を通して上記第1ワークピースを処理する工程;
上記第4ロードロックチャンバと略垂直に並べられた上記第2ロードロックチャンバによって位置づけられた第4ロボットを介して、上記真空チャンバから第2ロードロックチャンバに、上記第1ワークピースを搬送する工程;
上記第3ロボットを介して、上記第1ロードロックチャンバから上記真空チャンバに、上記第2ワークピースを搬送する工程;
上記処理媒体を通して上記第2ワークピースを処理する工程;
上記第4ロボットを介して、上記真空チャンバから上記第2ロードロックチャンバに、上記第2ワークピースを搬送する工程;および、
上記第2ロードロックチャンバを、概して大気に開放する工程を、含む方法。 - 上記第1ロボットを介して、上記第2ロードロックチャンバから上記ワークピース輸送コンテナに、上記第1および第2ワークピースを概して同時に搬送する工程をさらに含む、請求項31に記載の方法。
- 上記第1ロボットを介して、上記ワークピース輸送コンテナから、第3ワークピースおよび第4ワークピースを概して同時に搬出する工程;
上記アライメント機構の上記第1および第2ワークピース支持部の各々に、上記第3および第4ワークピースを概して同時に配置する工程;
上記昇降装置を介して、上記第1ワークピース支持部から上記第3ワークピースを上昇させて、当該第3ワークピースを上記評価位置に平行移動させる工程;
上記第3ワークピースを評価する工程;
上記第2ロボットを介して、上記第1ワークピース支持部から上記第3ワークピースを搬出する工程;
上記昇降装置を介して、上記第2ワークピース支持部から上記第4ワークピースを上昇させて、当該第4ワークピースを上記評価位置に平行移動させる工程;
上記第4ワークピースを評価する工程;
上記第2ロボットを介して、上記第2ワークピース支持部から上記第4ワークピースを搬出する工程;
第3ロードロックチャンバに、上記第3および第4ワークピースを概して同時に搬入する工程;および、
上記第3ロードロックチャンバを概して真空引きする工程をさらに含む、請求項31に記載の方法。 - 上記第3ロボットを介して、上記第3ロードロックチャンバから上記真空チャンバに、上記第3ワークピースを搬送する工程;
上記処理媒体を通して上記第3ワークピースを処理する工程;
上記第4ロボットを介して、上記真空チャンバから第4ロードロックチャンバに、上記第3ワークピースを搬送する工程;
上記第3ロボットを介して、上記第3ロードロックチャンバから上記真空チャンバに、上記第4ワークピースを搬送する工程;
上記処理媒体を通して上記第4ワークピースを処理する工程;
上記第4ロボットを介して、上記真空チャンバから上記第4ロードロックチャンバに、上記第4ワークピースを搬送する工程;および、
上記第4ロードロックチャンバを、概して大気に開放する工程をさらに含む、請求項33に記載の方法。 - 上記第1ロボットを介して、上記第4ロードロックチャンバから上記ワークピース輸送コンテナに、上記第3および第4ワークピースを概して同時に搬送する工程をさらに含む、請求項34に記載の方法。
- 上記第3および第4ワークピースが評価されて、上記第3ロードロックチャンバに搬入されるのと同時に、
上記第1および第2ワークピースは、上記第2ロードロックチャンバから上記ワークピース輸送コンテナに搬送される、請求項33に記載の方法。 - 上記第2ワークピースが上記処理媒体を通して処理された後、または当該処理の間において、上記第3ロボットは、上記第3のワークピースを上記真空チャンバに搬入する、請求項33に記載の方法。
- イオン注入システムにおいて複数のワークピースを処理する方法であって、
(a)第1ロボットを介して、第1ワークピース輸送コンテナから、第1ワークピースおよび第2ワークピースを並行して搬出する工程;
(b)上記第1ロボットを介して、アライメント機構に、上記第1ワークピースおよび上記第2ワークピースを並行して配置する工程;
(c)上記アライメント機構を介して、上記第1ワークピースを位置合わせする工程;
(d)第2ロボットを介して、上記アライメント機構から上記第1ワークピースを搬出する工程;
(e)上記アライメント機構を介して、上記第2ワークピースを位置合わせする工程;
(f)上記第2ロボットを介して、上記アライメント機構から上記第2ワークピースを搬出する工程;
(g)上記第2ロボットを介して、第1、第2、第3、および第4ロードロックチャンバのうち、上記第3ロードロックチャンバと略垂直に並べられた第1ロードロックチャンバに、上記第1ワークピースおよび上記第2ワークピースを並行して搬入する工程;
(h)上記第1ロードロックチャンバを概して真空引きする工程;
(i)上記第1ロードロックチャンバ近傍に位置する第3ロボットを介して、上記第1ロードロックチャンバから上記第1ワークピースを搬出して、当該第1ワークピースを処理チャンバに搬入する工程;
(j)上記第1ワークピースにイオンを注入する工程;
(k)上記第4ロードロックチャンバと略垂直に並べられた上記第2ロードロックチャンバ近傍に位置する第4ロボットを介して、上記処理チャンバから上記第1ワークピースを搬出して、当該第1ワークピースを第2ロードロックチャンバに搬入すると同時に、上記第3ロボットを介して、上記第1ロードロックチャンバから上記第2ワークピースを搬出して、当該第2ワークピースを上記処理チャンバに搬入する工程;
(l)上記第2ワークピースにイオンを注入する工程;
(m)第4ロボットを介して、上記処理チャンバから上記第2ワークピースを搬出して、当該第2ワークピースを上記第2ロードロックチャンバに搬入する工程;
(n)上記第2ロードロックチャンバを概して大気圧に開放する工程;
(o)上記第1ロボットを介して、上記第2ロードロックチャンバから、上記第1ワークピースおよび上記第2ワークピースを並行して搬出する工程;および、
(p)第2ワークピース輸送コンテナに、上記第1ワークピースおよび上記第2ワークピースを並行して搬入する工程、を含む方法。 - (q)上記第1ロボットを介して、上記第1ワークピース輸送コンテナから、第3ワークピースおよび第4ワークピースを並行して搬出する工程;
(r)上記第1ロボットを介して、上記アライメント機構に、上記第3ワークピースおよび上記第4ワークピースを並行して配置する工程;
(s)上記アライメント機構を介して、上記第3ワークピースを位置合わせする工程;
(t)上記第2ロボットを介して、上記アライメント機構から上記第3ワークピースを搬出する工程;
(u)上記アライメント機構を介して、上記第4ワークピースを位置合わせする工程;
(v)上記第2ロボットを介して、上記アライメント機構から上記第4ワークピースを搬出する工程;
(w)上記第2ロボットを介して、第3ロードロックチャンバに、上記第3ワークピースおよび上記第4ワークピースを並行して搬入する工程;
(x)上記第3ロードロックチャンバを概して真空引きする工程;
(y)上記第3ロボットを介して、上記第3ロードロックチャンバから上記第3ワークピースを搬出して、当該第3ワークピースを上記処理チャンバに搬入する工程;
(z)上記第3ワークピースにイオンを注入する工程;
(aa)上記第4ロボットを介して、上記処理チャンバから上記第3ワークピースを搬出して、当該第3ワークピースを第4ロードロックチャンバに搬入すると同時に、上記第3ロボットを介して、上記第3ロードロックチャンバから上記第4ワークピースを搬出して、当該第4ワークピースを上記処理チャンバに搬入する工程;
(bb)上記第4ワークピースにイオンを注入する工程;
(cc)上記第4ロボットを介して、上記処理チャンバから上記第4ワークピースを搬出して、当該第4ワークピースを上記第4ロードロックチャンバに搬入する工程;
(dd)上記第4ロードロックチャンバを略大気圧に開放する工程;
(ee)上記第1ロボットを介して、上記第4ロードロックチャンバから、上記第3ワークピースおよび上記第4ワークピースを並行して搬出する工程;および、
(ff)上記第2ワークピース輸送コンテナに、上記第3ワークピースおよび上記第4ワークピースを並行して搬入する工程、を含む請求項38に記載の方法。 - 工程(s)、(t)、(u)、および(ff)は、工程(h)と少なくとも部分的に同時に行なわれ、
工程(i)、(j)、(k)、および(l)は、工程(x)と少なくとも部分的に同時に行なわれる、請求項39に記載の方法。 - 工程(e)、(f)、(q)、および(r)は、工程(dd)と少なくとも部分的に同時に行なわれ、
工程(z)、(aa)、および(bb)は、工程(n)と少なくとも部分的に同時に行なわれる、請求項39に記載の方法。 - 上記第1ワークピース輸送コンテナおよび上記第2ワークピース輸送コンテナは、同じワークピース輸送コンテナである、請求項38に記載の方法。
- 工程(b)は、上記アライメント機構の第1ワークピース支持部に上記第1ワークピースを配置する工程と、上記アライメント機構の第2ワークピース支持部に上記第2ワークピースを配置する工程とを、同時に含む、請求項38に記載の方法。
- 工程(c)は、
上記アライメント機構の昇降装置を介して、上記第1ワークピース支持部から評価位置に、上記第1ワークピースを上昇させる工程;
上記昇降装置を介して、上記第1ワークピースを回転させる工程;および、
上記第1ワークピースの1つ以上の特性を検出する工程を含み、
上記第1ワークピースは、上記第1ワークピースの上記1つ以上の特性に基づいて、当該第1ワークピースの上記回転を介して、上記アライメント機構に対して概して位置合わせされる、請求項43に記載の方法。 - 工程(d)は、上記第2ロボットを介して、上記第1ワークピース支持部から上記第1ワークピースを搬出する工程を含む、請求項44に記載の方法。
- 工程(e)は、上記アライメント機構の上記昇降装置を介して、上記第2ワークピース支持部から上記評価位置に、上記第2ワークピースを上昇させる工程、
上記昇降装置を介して、上記第2ワークピースを回転させる工程;および、
上記第2ワークピースの1つ以上の特性を検出する工程を含み、
上記第2ワークピースは、上記第2ワークピースの上記1つ以上の特性に基づいて、当該第2ワークピースの上記回転を介して、上記アライメント機構に対して概して位置合わせされる、請求項43に記載の方法。 - 工程(f)は、上記第2ロボットを介して、上記第2ワークピース支持部から上記第2ワークピースを搬出する工程を含む、請求項46に記載の方法。
- 複数のワークピースを支持するように構成されたワークピース輸送コンテナ;
一対の大気ロボット、および当該一対の大気ロボットの間に概して配置された複式ワークピースアライメント機構を備える前部モジュール;
一対の真空ロボットを備える真空チャンバ;
上記真空チャンバと動作可能に連結された処理モジュール;
上記前部モジュールおよび上記真空チャンバと動作可能に連結された、4つの複式ワークピースロードロックチャンバ;および、
上記一対の大気ロボットを介して、2つ以上の上記ワークピース輸送コンテナ、上記アライメント機構、および上記4つの複式ロードロックチャンバの間において、2つ以上のワークピースを同時に選択的に搬送するように構成された制御装置を備え、
上記4つの複式ワークピースロードロックチャンバのうち、第1および第3ロードロックチャンバは、略垂直に並べられて第1ロードロックモジュールを定義し、第2および第4ロードロックチャンバは、略垂直に並べられて第2ロードロックモジュールを定義しており、
上記前部モジュールは、選択的に、上記ワークピース輸送コンテナと動作可能に連結され、
上記一対の大気ロボットの各々は、複式ワークピース処理アームを備え、
上記真空ロボットは、単式ワークピース処理アームを備え、
上記制御装置は、さらに、上記一対の真空ロボットを介して、上記4つの複式ワークピースロードロックチャンバおよび上記処理モジュールの間において、各ワークピースを選択的かつ個別に搬送するように構成されている、ワークピース処理システム。 - 上記ワークピース輸送コンテナはFOUPを備える、請求項48に記載のワークピース処理システム。
- 上記前部モジュールと動作可能に連結された複数のワークピース輸送コンテナを備え、
上記一対の大気ロボットは、上記一対の大気ロボットの上記制御を介して、上記複数のワークピース輸送コンテナ、上記アライメント機構、および上記4つの複式ワークピースロードロックチャンバに間において、上記複数のワークピースを搬送する働きをする、請求項48に記載のワークピース処理システム。
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