JPWO2018170104A5 - - Google Patents

Description

一例では、搬送ロボットアセンブリ５０４は、プラットフォーム５１２の位置を調節するために回転軸５３０および回転軸５３２（対応するモータを備えてよい）の周りで機能するように構成された２つのロボット配置アーム５２４およびロボット配置アーム５２８を備える。プラットフォーム５１２は、搬送ロボット５３６を支持する。搬送ロボット５３６は、アームセグメント５４０およびエンドエフェクタ５４４を含むアームを備える。アセンブリ５０４および搬送ロボット５３６は、図のように折りたたまれた状態にあるときは、ＥＦＥＭ５００に対して（例えば、搬送されている基板の寸法に応じて）相対的に狭い形状を有する。それに応じて、ＥＦＥＭ５００は、図３Ａ～図３ＤのＥＦＥＭ３００に類似する方法で、ロードロック５１６の少なくとも一部を収容するように構成されている。いくつかの例では、プラットフォーム５１２は、統合基板アライナ５４８を備えてよい。この例では、搬送ロボット５３６が図５Ａ、図５Ｂ、および図５Ｃに示す折りたたまれた状態にあるときは、エンドエフェクタ５４４は、基板アライナ５４８の上に位置する。搬送ロボット５３６は、アームセグメント５４０、エンドエフェクタ５４４、および基板アライナ５４８が線５５２で一直線になる（例えば、線５５２と同軸）比較的線状の折りたたまれた状態を有する。

Claims (12)

1. 基板処理ツールのための大気圧－真空（ＡＴＶ）搬送モジュール（２０４，３００，４０４，５００，６０４）であって、
   少なくとも１つのローディングステーション（２２０，３２４，５２０）と接続するように構成された第１の側と、
   前記ＡＴＶ搬送モジュール内に配置された搬送ロボットアセンブリであって、前記少なくとも１つのローディングステーション（２２０，３２４，５２０）と、前記ＡＴＶ搬送モジュールと真空搬送モジュール（ＶＴＭ）（２１２，４２８，６１２）との間に配置された少なくとも１つのロードロック（２０８，３２０，４２４，５１６，６０８）との間で基板を搬送するように構成されている搬送ロボットアセンブリと、
   前記第１の側に対向する、前記少なくとも１つのロードロック（２０８，３２０，４２４，５１６，６０８）と接続するように構成された第２の側であって、前記搬送ロボットアセンブリは、前記第２の側に隣接して配置される、第２の側と、
   搬送ロボットと、を備え、
   前記搬送ロボットアセンブリは、
   第１のロボット配置アームと、
   前記第１のロボット配置アームと、前記搬送ロボットを支持する搬送ロボットプラットフォームと、の間に接続された第２のロボット配置アームと、を含み、
   前記第２のロボット配置アームは、前記第１のロボット配置アームに対して回転軸を中心に回転するように構成されており、
   前記搬送ロボットアセンブリは、
   （i）前記第１のロボット配置アームおよび前記第２のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームを昇降させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を垂直方向に調節し、
   （ii）前記第１のロボット配置アームおよび前記第２のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を水平方向に調節するように、構成されており、
   前記搬送ロボットは、エンドエフェクタと、前記エンドエフェクタと前記搬送ロボットプラットフォームとの間に接続されたアームセグメントと、を含み、
   折りたたまれた状態にあるとき、前記搬送ロボットは、前記エンドエフェクタと前記アームセグメントが水平方向で同軸に整列し、前記エンドエフェクタが前記アームセグメントの上に配置される、前記搬送ロボットアセンブリによって搬送されることができる前記基板の直径よりも狭い、形状を有する、ＡＴＶ搬送モジュール。
2. 請求項１に記載のＡＴＶ搬送モジュールであって、
   前記少なくとも１つのロードロックの少なくとも３０％は、前記ＡＴＶ搬送モジュールの内部に位置する、または
   前記少なくとも１つのロードロックの少なくとも５０％は、前記ＡＴＶ搬送モジュールの内部に位置する、または
   前記少なくとも１つのロードロックの少なくとも７０％は、前記ＡＴＶ搬送モジュールの内部に位置する、または
   前記ＡＴＶ搬送モジュールは、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）である、ＡＴＶ搬送モジュール。
3. 請求項１に記載のＡＴＶ搬送モジュールであって、
   前記少なくとも１つのロードロックは、第１のロードロックと、前記第１のロードロックの上方に配置された第２のロードロックとを備える、ＡＴＶ搬送モジュール。
4. 請求項３に記載のＡＴＶ搬送モジュールであって、
   前記少なくとも１つのローディングステーションは、第１のローディングステーションと、前記第１のローディングステーションの上方に配置された第２のローディングステーションとを備える、ＡＴＶ搬送モジュール。
5. 請求項３に記載のＡＴＶ搬送モジュールであって、
   前記搬送ロボットアセンブリは、前記第１のロードロックおよび前記第２のロードロックにアクセスするように構成されている、ＡＴＶ搬送モジュール。
6. 基板処理ツールであって、
   請求項１に記載のＡＴＶ搬送モジュールを備え、
   さらに、前記ＶＴＭを備える、基板処理ツール。
7. 請求項６に記載の基板処理ツールであって、
   前記ＶＴＭは、複数の処理モジュールを備え、前記複数の処理モジュールは、前記ＶＴＭの第１の側に配置された少なくとも３つの処理モジュールと、前記第１の側に対向する前記ＶＴＭの第２の側に配置された少なくとも３つの処理モジュールとを含む、基板処理ツール。
8. 請求項７に記載の基板処理ツールであって、
   前記複数の処理モジュールは、垂直に積み重ねられた構成の処理モジュールを含む、基板処理ツール。
9. 請求項８に記載の基板処理ツールであって、
   前記ＡＴＶ搬送モジュールは、少なくとも１つのローディングステーションと、前記少なくとも１つのローディングステーションの反対側に位置する少なくとも２つの垂直に配置されたロードロックとを含み、
   前記搬送ロボットアセンブリは、基板を、前記少なくとも１つのローディングステーションから少なくとも２つの垂直に配置されたロードロックの１つに移送するように構成される、基板処理ツール。
10. 請求項１に記載のＡＴＶ搬送モジュールであって、
    前記搬送ロボットは、統合基板アライナを含み、
    折りたたまれた状態にあるとき、前記エンドエフェクタは、前記統合基板アライナの上に位置する、ＡＴＶ搬送モジュール。
11. ＡＴＶ搬送モジュール内に配置された搬送ロボットアセンブリであって、
    搬送ロボットを支持するように構成された搬送ロボットプラットフォームであって、前記搬送ロボットが前記搬送ロボットプラットフォーム上に取り付けられている、搬送ロボットプラットフォームであり、
    前記搬送ロボットプラットフォーム上に取り付けられた搬送ロボットは、
    エンドエフェクタと、
    前記エンドエフェクタと前記搬送ロボットプラットフォームとの間に接続されたアームセグメントとを含む、搬送ロボットプラットフォームと、
    前記搬送ロボットプラットフォームと第２のロボット配置アームとの間に接続される第１のロボット配置アームと、
    前記第１のロボット配置アームと取付シャーシとの間に接続された第２のロボット配置アームと、を含み
    前記搬送ロボットアセンブリは、
    （i）前記第１のロボット配置アームおよび前記第２のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームを昇降させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を垂直方向に調節し、
    （ii）前記第１のロボット配置アームおよび前記第２のロボット配置アームを作動させて、前記搬送ロボットプラットフォームの位置を水平方向に調節するように、構成されており、
    折りたたまれた状態にあるとき、前記搬送ロボットは、前記エンドエフェクタと前記アームセグメントが水平方向で同軸に整列し、前記エンドエフェクタが前記アームセグメントの上に配置される、前記搬送ロボットアセンブリによって搬送されることができる基板の直径よりも狭い、形状を有している、搬送ロボットアセンブリ。
12. 請求項１１に記載の搬送ロボットアセンブリであって、
    前記搬送ロボットは、統合基板アライナを含み、
    折りたたまれた状態にあるとき、前記エンドエフェクタが前記統合基板アライナの上に位置する、搬送ロボットアセンブリ。