JP2001157974A - ダブルアーム型基板搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ロボットをコンパクトに構成して設置する床面
積のスペースを小さくすること。 【解決手段】ロボットＲは、第１のアーム体３Ａと第２
のアーム体３Ｂとを回動ベース２上に対称位置となるよ
うに並設する。第１のアーム体３Ａの第１駆動軸３１Ａ
は、第１の駆動モータ１３Ａに第１軸１１Ａを介して連
結され、第２のアーム体３Ｂの第２駆動軸３１Ｂは、第
２の駆動モータ１３Ｂに第２軸１１Ｂを介して連結され
ている。第２軸１１Ｂは、第１軸１１Ａを同一軸線上で
囲繞するように配置され、回動ベース２を連結する第３
軸２１は、第２軸１１Ｂを同一軸線上で囲繞するように
配置されて第３の駆動モータ２３に連結されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、２組のアーム体
を有してウェハやガラス基板等の基板を保持して搬送す
るダブルアーム型基板搬送ロボットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、基板搬送ロボットは、ウェハやガ
ラス基板等の需要が増加に伴い、スループットを向上す
る目的で、基板を保持するハンドを２組有するダブルア
ーム型の搬送ロボットが提供されてきた。従来のダブル
アーム型搬送ロボットＲ１は、図５に示すように、基板
Ｗを支持するハンド７１を備えたアーム体７２が、機台
７３に相対向するように２組配設され、それぞれのアー
ム体７２、７２は、機台７３内に相対向して取り付けら
れた駆動モータ７４、７４に連結され、駆動モータ７
４、７４によってそれぞれの基板Ｗを直線的に移動する
ように駆動されていた。

【０００３】しかし、ウェハやガラス基板を搬送する搬
送ロボットは、ロボットの周りに複数の基板処理装置が
設置されることが多く、ロボット自体の床面積を小さく
構成しなければならなかった。上記に示す搬送ロボット
Ｒ１は２組のアーム体７２、７２を駆動する駆動系統
が、各アーム体７２、７２の駆動軸に沿って配置されて
いるため、それぞれのアーム体７２、７２の駆動系統を
構成する駆動部７５が、大径に形成された機台７３の中
に収納されていた。この課題を解決するために、特開平
５−１０９８６６号や特開平１１−３３９５１号に、２
組のアーム体の駆動軸を同一軸線上に配置する技術が記
載されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前者公報に記
載されたものは、２組のアーム体を駆動する駆動軸が同
一軸線上に配置するように構成されているものの、それ
ぞれの基板を直線的に駆動するために、第１アームを駆
動するための駆動モータと、第２アームを駆動するため
に第１アームの内部に配置されたプーリを駆動するため
の駆動モータが、それぞれ別途に設けられるために、同
一軸線上に配置される駆動軸が四重となり、一番外側の
駆動軸の外径を太く形成しなければならなかった。その
ため、各駆動モータを収納する駆動ケースを大きく形成
しなければならなく、設置する床面積も広いスペースを
とっていた。

【０００５】また、駆動軸の外径を太くすることは、真
空ロボット装置においては、駆動軸周りに配設される部
位、例えば、大気槽と真空槽を分離するために設けられ
た金属ベローズの径も大径に形成する必要があり、金属
ベローズ有効面積に比例して大気圧を大きくし、金属ベ
ローズの伸縮にかかわる駆動モータの大型化につながっ
ていた。

【０００６】さらにこの公報のものは、一方のアーム体
が他方のアーム体の旋回を避けるためにアーム体の長さ
を大きくしなければならず、アーム体の旋回半径を大き
くとらなければならなかった。

【０００７】後者の公報に記載されたものは、２組のア
ーム体の構成が平行４節リンク機構を採用しているた
め、リンク及びリンクの枢支点が多くなり、構成が複雑
になるとともに摺動による摩耗を発生しやすくなってい
た。摩耗が発生するとウェハやガラス基板を痛めやすく
するとともに、がたを発生させて基板の搬送精度を悪く
してしまうおそれがあった。

【０００８】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、搬送ロボットを設置する床面積を小さくするとと
もに、２組のアーム体のメイン駆動軸を小さくでき、ア
ーム体の旋回半径を大きくさせることなく、容易な構造
で摩耗の発生しにくいダブルアーム型基板搬送ロボット
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわるダブ
ルアーム型基板搬送ロボットでは、上記の課題を解決す
るために、以下のように構成するものである。すなわ
ち、コ字形に形成された一方の基板保持部と前記基板保
持部の中空部に基板を挿通可能に保持する他方の基板保
持部とを、いずれかに備える第１のアーム体及び第２の
アーム体を、それぞれ対向するように配設する回動ベー
スと、第１のアーム体を屈伸駆動するための第１の駆動
手段と、第２のアーム体を屈伸駆動するための第２の駆
動手段と、を有して構成され、前記第１の駆動手段が、
前記第１のアーム体の駆動軸に連結する第１軸と前記第
１軸を連結駆動する第１の駆動源とを有し、前記第２の
駆動手段が、前記第２のアーム体の駆動軸に連結され、
前記第１軸を同一軸線上に囲繞する第２軸と前記第２軸
を連結駆動する第２の駆動源とを有し、前記回動ベース
内には、前記第１軸から前記第１のアーム体の駆動軸に
連結する第１軸連結手段が配設され、かつ前記第２軸か
ら前記第２のアーム体の駆動軸に連結する第２軸連結手
段が前記第１軸連結手段の下方に配設されていることを
特徴とするものである。

【００１０】また、前記回動ベースは、前記第２軸を同
一軸線上で囲繞する第３軸の一端に連結されるととも
に、前記第３軸の他端に連結される第３の駆動源によっ
て回動駆動されることが望ましい。

【００１１】さらに、前記第１軸は、前記第１の駆動源
に第１の連結手段に連結され、前記第２軸は、前記第２
の駆動源に第２の連結手段に連結され、前記第３軸は、
前記第３の駆動源に第３の連結手段に連結され、前記第
１の駆動源、前記第２の駆動源、前記第３の駆動源及
び、前記第１の連結手段、前記第２の連結手段、前記第
３の連結手段は、１収納部内に収納され、前記収納部
が、上下動可能に構成されていればよい。

【００１２】また、本発明に係わるダブルアーム型真空
ロボット装置は、真空槽を形成する真空ケースと大気槽
を有する本体ケースとを備えて構成される機台と、前記
機台内に上下移動可能に配設されるロボットと、を有し
て構成され、前記ロボットが、基板を直線的に移動させ
るために屈伸可能に構成された第１のアーム体及び第２
のアーム体を、それぞれ対向するように配設する回動ベ
ースと、第１のアーム体を屈伸駆動するための第１の駆
動手段と、第２のアーム体を屈伸駆動するための第２の
駆動手段と、を有して構成され、前記第１の駆動手段
が、前記第１のアーム体の駆動軸に連結する第１軸と前
記第１軸を連結駆動する第１の駆動源とを有し、前記第
２の駆動手段が、前記第２のアーム体の駆動軸に連結さ
れ、前記第１軸を同一軸線上に囲繞する第２軸と前記第
２軸を連結駆動する第２の駆動源とを有し、前記回動ベ
ースは、前記第２軸を同一軸線上で囲繞するとともに第
３の駆動源に連結駆動される第３軸に連結され、前記第
１の駆動源と、前記第２の駆動源と、前記第３の駆動源
と、は上下動可能な収納部内に配設され、前記ロボット
の上部に配置された前記回動ベースと前記第１のアーム
体及び第２のアーム体とが前記真空ケース内に配設さ
れ、前記本体ケース内に配設されるロボットの下部と前
記真空ケースとの間に、前記真空槽と前記大気槽を分離
するベローズが、前記ロボットの上下移動により伸縮可
能に配設されていることを特徴とするものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１４】本形態のダブルアーム型基板搬送ロボット
（以下、ロボットという）Ｒは、図１に示すように、駆
動装置４を内部に収納して筐体状に形成される収納部
（以下、駆動ボックスという）１と、駆動ボックス１の
上方に配置され駆動ボックス１に対して回動可能な回動
ベース２と、回動ベース２の上方に配置され、回動ベー
ス２の軸心に対して対称位置に並設される２組のアーム
体３（第１のアーム体３Ａ及び第２のアーム体３Ｂ）
と、を有して構成されている。

【００１５】回動ベース２内には、中心軸線上に沿って
第１のアーム体３Ａの第１駆動軸３１Ａに連結される第
１軸１１Ａの上端部と、第１軸１１Ａの周りを同一軸線
上で囲むように形成され第２のアーム体３Ｂの第２駆動
軸３１Ｂとを連結する筒状の第２軸１１Ｂの上端部とが
配置されている。

【００１６】第１軸１１Ａは、上端部に第１のアーム体
３Ａの第１駆動軸３１Ａに連結するためのプーリ１２Ａ
を設け、下端部を駆動ボックス１内に延設するとともに
下端部には駆動ボックス１内に装着された第１の駆動モ
ータ１３Ａに連結するためのプーリ１４Ａが設けられて
いる。そして、プーリ１２Ａは、第１のアーム体３Ａの
第１駆動軸３１Ａに装着されたプーリ１５Ａとの間に、
第１軸１１Ａの駆動を伝達するためのベルト１６Ａが装
着され、プーリ１４Ａは、第１の駆動モータ１３Ａの出
力軸に装着されたプーリ１７Ａとの間に、第１の駆動モ
ータ１３Ａの駆動を伝達するためのベルト１８Ａが巻装
されている。

【００１７】第２軸１１Ｂは、上端部に第２のアーム体
３Ｂの第２駆動軸３１Ｂに連結するためのプーリ１２Ｂ
を設け下端部を駆動ボックス１内に延設するとともに下
端部には駆動ボックス１内に装着された第２の駆動モー
タ１３Ｂに連結するためのプーリ１４Ｂが設けられてい
る。そしてプーリ１２Ｂは、プーリ１２Ａより下方に配
置され、第２のアーム体３Ｂの第２駆動軸３１Ｂに装着
されたプーリ１５Ｂとの間に、第２軸１１Ｂの駆動を伝
達するためのベルト１６Ｂが巻装され、プーリ１４Ｂ
は、プーリ１４Ａより上方で第２の駆動モータ１３Ｂの
出力軸に装着されるプーリ１７Ｂとの間に、第２の駆動
モータ１３Ｂの駆動を伝達するためのベルト１８Ｂが装
着されている。

【００１８】さらに、第２軸１１Ｂの周りには、一端を
回動ベース２の下面側に連結し他端を駆動ボックス１内
に収納した第３軸２１が、第２軸１１Ｂと同一軸線上で
第２軸１１Ｂを囲むように筒状に形成されて配置されて
いる。第３軸２１は、軸心方向の中央部において、駆動
ボックス１の上方に配置されたハウジング部５に回動可
能に支持され、駆動ボックス１内に挿入された下端部
は、第１の駆動モータ１３Ａと第２の駆動モータ１３Ｂ
とを取り付けるためのフランジ部２１ａを有して形成さ
れている。また、第３軸２１の下方には、フランジ部２
１ａに上端面を取り付けた駆動モータ連結部材２２が配
置され、駆動ボックス１内に配置された第３の駆動モー
タ２３に駆動連結されている。

【００１９】駆動モータ連結部材２２は、図２に示すよ
うに、軸部２２ａを挟んで下方に、第３の駆動モータ２
３の出力軸に装着されたプーリ２４（図１参照）にベル
ト２５（図１参照）で連結されるプーリ２２ｂを有し、
軸部の上方に円板のテーブル部２２ｃを形成している。
テーブル部２２ｃ上にはテーブル部２２ｃの外周部２か
所に、お互いに対向する位置で略Ｔ字型の支柱２２ｄを
立設し、支柱２２ｄの上面が第３軸２１のフランジ部２
１ａ下面に取り付けられる。

【００２０】駆動モータ連結部材２２のテーブル部２２
ｃ上で支柱２２ｄとの間の空間部に、前述の第１軸１１
Ａのプーリ１４Ａ及び第２軸１１Ｂのプーリ１４Ｂとが
配置され、ベルト１８Ａ及びベルト１８Ｂが支柱２２ｄ
に干渉しないようにそれぞれ第１の駆動モータ１３Ａ及
び第２の駆動モータ１３Ｂに巻装されている。

【００２１】従って、第１の駆動モータ１３Ａ、第２の
駆動モータ１３Ｂ及び第３の駆動モータ２３を、それぞ
れ第１軸１１Ａ、第２軸１１Ｂ及び第３軸２１にできる
だけ近づけるように配置させれば、駆動ボックス１の外
枠の幅を小さくできてコンパクトに形成することができ
る。

【００２２】回動ベース２上に配置される第１のアーム
体３Ａと第２のアーム体３Ｂの構成は、基板Ｗを直線的
に移動するための公知のものが使用されている。

【００２３】本形態の２組のアーム体３Ａ、３Ｂは、そ
れぞれ第１駆動軸３１Ａ、第２駆動軸３１Ｂの上端部を
一端に収納する第１アーム３２Ａ、３２Ｂと、第１アー
ム３２Ａ、３２Ｂの他端側で第１アーム３２Ａに一端が
回動可能に配設される第２アーム３３Ａ、３３Ｂと、第
２アーム３３Ａ、３３Ｂの他端側で第２アーム３３Ａ、
３３Ｂに対して回動可能に一端が配設される第３アーム
３４Ａ、３４Ｂとを有し、第３アーム３４Ａ、３４Ｂの
他端は基板Ｗを保持するために基板保持部３５Ａ、３５
Ｂを形成している。なお、第１のアーム体３Ａの第３ア
ーム３４と第２のアーム体３Ｂの第３アーム３４Ｂと
は、基板Ｗを搬送する際にお互いに干渉しないために上
下方向にずれるように形成されている。つまり、第２の
アーム体３Ｂの第３アーム３４Ｂは、コ字形に形成され
て基板保持部３５Ｂが上部に形成され、コ字形の中空部
に、第１のアーム体３Ａの第３アーム３４Ａの基板保持
部３５Ａに保持された基板Ｗが、挿通可能に配置される
ことになる。

【００２４】それぞれのアーム体３の基板Ｗを駆動する
構成は、第１のアーム体３Ａと第２のアーム体３Ｂとも
同様であり、以下の説明では、図３に示すように、第１
のアーム体３Ａで説明するものとする。

【００２５】回動ベース２に回動可能に支承される第１
駆動軸３１Ａは、その先端部を第１アーム３２Ａ内の一
端に延設するとともに第１アーム３２Ａの壁体に固着し
て、第１駆動軸３１Ａの回動を第１アーム３２Ａに伝達
させる。第１アーム３２Ａ内では第１駆動軸３１Ａの周
りにタイミングプーリ４１Ａが遊嵌されている。タイミ
ングプーリ４１Ａは、下面部が回転ベース２の上面に取
り付けられ上部にはタイミングベルト４２Ａが巻装され
る。

【００２６】一方、第１アーム３２Ａの他端には、タイ
ミングプーリ４３Ａが第１アーム３２Ａに枢着されてタ
イミングベルト４２Ａが巻装され、タイミングプーリ４
１Ａの上部を第２アーム３３Ａに固着することによっ
て、タイミングプーリ４１Ａの回動を第２アーム３３Ａ
に伝達するようにしている。タイミングプーリ４３Ａの
軸心部には第１アーム３２Ａに固着された軸４４Ａが、
タイミングプーリ４３Ａを枢着するように配置されてい
る。軸４４Ａの先端部は第２アーム３３Ａ内の一端に延
設され、タイミングプーリ４５Ａを一体的に固着してい
る。タイミングプーリ４５Ａの外周面にはタイミングベ
ルト４６Ａを巻装させている。

【００２７】第２アーム３３Ａの他端には、タイミング
プーリ４７Ａが、第２アーム３３Ａの軸４８Ｂに枢支さ
れた状態でタイミングベルト４６Ａを巻装することによ
って、タイミングプーリ４５Ａの回動が伝達され、第２
アーム３３Ａの上部に第３アーム３４Ａの一端を固着す
ることによって、第３アーム３４Ａを第２アーム３３Ａ
に回動可能に支持することになる。第３アーム３４Ａの
基板保持部３５には基板Ｗが保持され、所定の位置に搬
送することができる。

【００２８】この際、タイミングプーリ４１Ａの外径と
タイミングプーリ４３Ａの外径を２：１で形成し、タイ
ミングプーリ４５Ａの外径とタイミングプーリ４７の外
径を１：２で形成し、タイミングプーリ４１Ａとタイミ
ングプーリ４３Ａとの軸心間の距離と、タイミングプー
リ４５Ａとタイミングプーリ４７との軸心間の距離が
１：１で形成されれば、基板保持部３５Ａに保持された
基板Ｗは直線的に移動されることとなる。上記のアーム
体の構成は、平行４節リンク機構に比べて、リンク及び
リンクの枢支点が少なくいため、摺動による摩耗が少な
く、また、容易な構成となる。

【００２９】なお、基板Ｗを基板保持部３５に保持する
手段は、空気で吸着して保持してもよく、また、基板保
持部３４Ａ材に形成された保持部に落し込みによって保
持するようにしてもよい。

【００３０】さらに、上記ロボットＲは、駆動ボックス
１の周りを囲うように機台を設け、駆動ボックス１と該
機台との間に、例えば、ボールねじを装着して駆動ボッ
クス１を上下動させるように構成してもよい。

【００３１】上記のように構成されたロボットＲは、第
１の駆動モータ１３Ａ及び第２の駆動モータ１３Ｂを駆
動することによって、第１軸１１Ａ及び第２軸１１Ｂを
軸心に対して回動し、第１軸１１Ａに連結された第１の
アーム体３Ａの第１駆動軸３１Ａ、第２軸１１Ｂに連結
された第２のアーム体３Ｂの第２駆動軸３１Ｂを回動駆
動させる。第１駆動軸の回動により第３アーム３３Ａ、
第２駆動軸の回動により第２のアーム体３Ｂの第３アー
ム３３Ｂを回動させ、それによって、基板保持部３５
Ａ、３５Ｂを直線的に移動する。

【００３２】また、第３の駆動モータ２３を駆動するこ
とによって、第１のアーム体３Ａと第２のアーム体３Ｂ
とを共に第３軸の軸心に対して旋回させる。

【００３３】一方、ウェハやガラス基板等の基板は、加
工精度を向上するために真空内で加工処理されることが
多くなってきているため、次に、上記のロボットＲを真
空ロボット装置Ｍとして採用する場合の構成を説明す
る。

【００３４】真空ロボット装置Ｍは、図４に示すよう
に、上記のように構成されたロボットＲを、大気槽Ｅと
真空槽Ｖに分離された機台５０内に収納することによっ
て構成されている。機台５０は、ロボットＲの駆動ボッ
クス１及びハウジング部５とを上部に収納し、ロボット
Ｒを上下方向に駆動する駆動室５２を下部に設けて２段
に形成された本体ケース５１と、ロボットＲの回動ベー
ス２と２組のアーム体３とを内部に収納して真空部を形
成する真空ケース５３とで形成されている。

【００３５】本体ケース５１には、駆動室５２を下方に
位置するように分割する中間壁５４が形成され、中間壁
５４を挿通するようにボールねじ５５が回動可能に支持
されている。ボールねじ５５の上部は中間壁５４から上
方に延設して駆動ボックス１の底壁に螺着され、ボール
ねじ５５の下部は駆動室５２内に延設してプーリ５７を
装着している。

【００３６】中間壁５４の上面には、出力軸を駆動室５
２内に向けた駆動モータ５８が配置され、駆動モータ５
８の出力軸にプーリ５９が取り付けられている。ボール
ねじ５５側のプーリ５７と駆動モータ５８側のプーリ５
９とを巻装するようにベルト６０が配置され、駆動モー
タ５８の駆動によってボールねじ５５を回動させてロボ
ットＲを上下方向に移動可能に構成している。

【００３７】一方、本体ケース５１の上壁５１ａとロボ
ット３のハウジング部５には、第３軸２１の上部を覆う
ように蛇腹状のベローズ６１が装着され、真空槽と大気
槽とを分離させている。ベローズ６１は金属製で形成さ
れ、上下移動するロボットＲに対して伸縮可能に取り付
けられている。

【００３８】ベローズは、第３軸２１を小径に形成する
ことによって、小径化を図ることができ、そのために、
ロボットＲを上下移動する駆動モータ５８の小型化を図
ることができる。

【００３９】上記のように構成された真空ロボット装置
Ｍは、真空ケース内に配置された基板Ｗを取り出すため
に、ロボットＲを上下いずれかの方向に移動させる。こ
の作用は、駆動モータ５８の作動によりプーリ５９、ベ
ルト６０、プーリ５７を介してボールねじ５５を一方の
方向に回転させることによって行なわれる。ボールねじ
５５は中間壁５４に支持されているため、駆動ボックス
１がボールねじ５５によって、駆動ボックス１が上下い
ずれかの方向に移動され、それに伴いロボットＲが、２
組のアーム体３の第３アーム３４Ａ、３４Ｂを所定の位
置に配置させる。

【００４０】この際、ロボットＲのハウジング部５に下
端部を取り付けたベローズ６１は、上端部を取り付けた
本体ケース５１の上壁５１ａに対して、伸縮するように
作用される。このベローズの配置により、ロボットＲが
上下方向に移動しても、真空ケース５３内の真空槽Ｅと
本体ケース５１内の大気槽Ｖとは、完全に分離された状
態にある。

【００４１】基板Ｗに対向する位置にある、例えば第１
のアーム体３Ａが、第１の駆動モータ１３Ａの駆動によ
り第１軸１１Ａを介して第３アーム３４Ａの基板保持部
３５Ａを伸長させて基板Ｗを取り出す。そして、第３の
駆動モータ２３の駆動により第３軸２１を介して回動ベ
ース２を旋回させて、取り出した基板Ｗを図示しない加
工処理装置に搬送する。

【００４２】搬送した基板Ｗが加工処理装置で加工され
ている間、回動ベース２は、第３の駆動モータ２３によ
り旋回され、第２のアーム体３Ｂが、第２の駆動モータ
１３Ｂにより第３アーム３４Ｂの基板保持部３５Ｂを伸
長させて基板Ｗを取り出す。そして、再び、第３の駆動
モータ２３の駆動によって前述の加工処理装置に対向す
る位置に旋回する。そして、その位置で待機することに
なる。加工処理が完了した基板Ｗは、第１のアーム体３
Ａにより取り出され、第１のアーム体３Ａの屈伸により
元の位置に復帰移動される。この際、次の基板Ｗを保持
した第２のアーム体３Ｂが、第２の駆動モータ１３Ｂの
駆動により第３アーム３４Ｂの基板保持部３５Ｂを伸長
させる。第１のアーム体３Ａの基板保持部３５Ａと第２
のアーム体３Ｂの基板保持部３５Ｂとは高さ方向に位置
ずれを形成しているため、交差する位置においてお互い
に干渉することはない。以下、同様の作用を繰り返すこ
とになる。

【００４３】なお、上述のロボット１の構成はその要旨
を逸脱するものでなければ上記に限るものではない。例
えば、駆動を伝達するために設けられたプーリとベルト
との構成は、歯車機構を採用してもよく、また、他の伝
達機構を採用してもよい。

【００４４】また、ロボットＲの上下方向の移動は駆動
モータによるものでなく流体シリンダを使用して構成す
るものであってもよい。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、ダブルアーム型基板搬
送ロボットは、上記のように、第１アーム体を駆動する
ために配設された第１軸と、第２アーム体を駆動するた
めに配設された第２軸と、が同一軸線上に配置されてい
るため、前記第１軸と前記第２軸を駆動する各駆動源の
配置を、前記第１軸または前記第２軸の軸線に近づける
ことができ、各駆動源を収納する収納部をコンパクトに
構成して設置する床面積を小さくすることができる。し
かも各アーム体が回動ベースに対して対称の位置に並設
され、一方の基板保持部がコ字形に形成され、他方の基
板保持部に保持された基板を、コ字形に形成された基板
保持部の中空部に挿通可能に形成しているため、一方の
アーム体の旋回範囲を避けるために他方のアーム体を長
く形成する必要がなく、各アーム体の旋回半径を小さく
できる。

【００４６】また、上記のロボットは、回動ベースを旋
回駆動する第３軸を前記第２軸と同一軸線上に配設して
いるので、前記第２軸に極めて接近した第３軸を形成す
ることによって、前記第３軸を小径化することができ
る。そのため、このロボットを真空ロボット装置に採用
すれば、第３軸の周りに配設して真空槽と大気槽とを分
離するベローズを小径化することができ、ロボットの上
下移動に加えてベローズの伸縮作用による負荷がかかる
上下駆動用の駆動源の小径化をも図ることができ、コン
パクトな真空ロボット装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による一形態のロボットを示す一部断面
図

【図２】図１による第３軸に連結する駆動モータ連結部
材を示す斜視図

【図３】図１によるロボットのアーム体の一形態を示す
一部断面図

【図４】図１のロボットを真空ロボット装置として採用
する形態を示す一部断面図

【図５】従来のダブルアーム型搬送ロボットを示す一部
断面図

【符号の説明】

Ｒ…ロボット １…駆動ボックス ２…回転ベース ３Ａ…第１のアーム体 ３Ｂ…第２のアーム体 １１Ａ…第１軸 １１Ｂ…第２軸 １３Ａ…第１の駆動モータ（第１の駆動源） １３Ｂ…第２の駆動モータ（第２の駆動源） ２１…第３軸 ２２…駆動モータ連結部材 ２３…第３の駆動モータ（第３の駆動源） ３１Ａ…第１の駆動軸 ３１Ｂ…第２の駆動軸 Ｍ…真空ロボット装置 ５０…機台 ５１…本体ケース ５３…真空ケース ６１…ベローズ Ｅ…大気槽 Ｖ…真空槽 Ｗ…基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F060 AA01 AA07 AA09 BA06 DA09 DA10 EB12 EC12 FA02 GA05 GA13 GB02 GB06 GB16 GB19 GB31 HA00 HA30 5F031 GA43 GA47 GA50

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コ字形に形成された一方の基板保持部と
   前記基板保持部の中空部に基板を挿通可能に保持する他
   方の基板保持部とを、いずれかに備える第１のアーム体
   及び第２のアーム体を、それぞれ対向するように配設す
   る回動ベースと、第１のアーム体を屈伸駆動するための
   第１の駆動手段と、第２のアーム体を屈伸駆動するため
   の第２の駆動手段と、を有して構成され、 前記第１の駆動手段が、前記第１のアーム体の駆動軸に
   連結する第１軸と前記第１軸を連結駆動する第１の駆動
   源とを有し、 前記第２の駆動手段が、前記第２のアーム体の駆動軸に
   連結され、前記第１軸を同一軸線上に囲繞する第２軸と
   前記第２軸を連結駆動する第２の駆動源とを有し、 前記回動ベース内には、前記第１軸から前記第１のアー
   ム体の駆動軸に連結する第１軸連結手段が配設され、か
   つ前記第２軸から前記第２のアーム体の駆動軸に連結す
   る第２軸連結手段が前記第１軸連結手段の下方に配設さ
   れていることを特徴とするダブルアーム型基板搬送ロボ
   ット。
2. 【請求項２】 前記回動ベースは、前記第２軸を同一軸
   線上で囲繞する第３軸の一端に連結されるとともに、前
   記第３軸の他端に連結される第３の駆動源によって回動
   駆動されることを特徴とする請求項１記載のダブルアー
   ム型基板搬送ロボット。
3. 【請求項３】 前記第１軸は、前記第１の駆動源に第１
   の連結手段に連結され、前記第２軸は、前記第２の駆動
   源に第２の連結手段に連結され、前記第３軸は、前記第
   ３の駆動源に第３の連結手段に連結され、前記第１の駆
   動源、前記第２の駆動源、前記第３の駆動源及び、前記
   第１の連結手段、前記第２の連結手段、前記第３の連結
   手段は、１収納部内に収納され、前記収納部が、上下動
   可能に構成されていることを特徴とする請求項２記載の
   ダブルアーム型基板搬送ロボット。
4. 【請求項４】 真空槽を形成する真空ケースと大気槽を
   有する本体ケースとを備えて構成される機台と、前記機
   台内に上下移動可能に配設されるロボットと、を有して
   構成され、 前記ロボットが、基板を直線的に移動させるために屈伸
   可能に構成された第１のアーム体及び第２のアーム体
   を、それぞれ対向するように配設する回動ベースと、第
   １のアーム体を屈伸駆動するための第１の駆動手段と、
   第２のアーム体を屈伸駆動するための第２の駆動手段
   と、を有して構成され、 前記第１の駆動手段が、前記第１のアーム体の駆動軸に
   連結する第１軸と前記第１軸を連結駆動する第１の駆動
   源とを有し、 前記第２の駆動手段が、前記第２のアーム体の駆動軸に
   連結され、前記第１軸を同一軸線上に囲繞する第２軸と
   前記第２軸を連結駆動する第２の駆動源とを有し、 前記回動ベースは、前記第２軸を同一軸線上で囲繞する
   とともに第３の駆動源に連結駆動される第３軸に連結さ
   れ、 前記第１の駆動源と、前記第２の駆動源と、前記第３の
   駆動源と、は上下動可能な収納部内に配設され、 前記ロボットの上部に配置された前記回動ベースと前記
   第１のアーム体及び第２のアーム体とが前記真空ケース
   内に配設され、前記本体ケース内に配設されるロボット
   の下部と前記真空ケースとの間に、前記真空槽と前記大
   気槽を分離するベローズが、前記ロボットの上下移動に
   より伸縮可能に配設されていることを特徴とするダブル
   アーム型真空ロボット装置。