JP2009023021A - 基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】アームを直動式の構成とし、その回転駆動部であるモータをダイレクトドライブ方式とし、さらにそのモータの回転位置検出器を１回転以内での位置検出が可能なものを使用できるようにする。
【解決手段】多段の直動式アームを伸縮動作させる大プーリ１６について、第２アームを直線状に駆動する連結プレートが第１ベルトの直線状部分におけるストローク量を移動しても第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えるように構成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、半導体や液晶のフラットパネルディスプレイの半導体製造装置において使用され、ウェハやガラスなどの基板を搬送する基板搬送ロボットに関する。

フォークに基板を載せて搬送する従来の搬送ロボットは、複数のアームを水平面内で回転させる事で伸縮または旋回動作を実現し、基板を搬送する水平多関節ロボットが一般的である。水平多関節ロボットは、各アームの筐体内にタイミングベルトやギヤなどを配置し、モータの回転を伝達させることによってアームを回転させる。。あるいは、リンク式のアームを用いて同様な旋回及び伸縮動作をするものもある。いずれにしても、これら水平多関節ロボットは、基板の搬送距離に応じたアーム長が必要であり、特に旋回動作においてアームの旋回動作領域を大きく確保する必要がある。これに対して、旋回動作領域を小さくするロボットとして、直動式の基板搬送ロボットが知られている（例えば、特許文献１）。直動式のロボットは、多段のスライドユニット（水平多関節ロボットのアームに相当する）の最上段にフォークが搭載されて、スライドユニットが伸長していくので、水平多関節ロボットのアームよりは旋回動作領域を小さくできる構成といえる。従って、旋回動作領域を小さくするためには一般的に直動式のロボットが有効である。

ところで、これら水平多関節や直動式のロボットのアームの回転駆動部は、ロボットの胴体やアームの筐体内に小型のサーボモータを収納し、各アームを回転させるものが一般的である。すなわち、一般的に販売されているサーボモータと減速機とを組み合わせ、さらにベルトやギヤでその回転力を伝達することでアームの回転を実現させている構成が一般的である。
しかし、アームの回転駆動部として、減速機などを介さずに、直接アームを駆動するダイレクトドライブモータ方式の構成がある。例えば、特許文献２などがその構成を示す。特許文献２の回転駆動部は、２つのモータが上下で重なり、それぞれのモータの出力軸（回転軸）が同芯状になるよう構成されている。そして、各々のモータの出力軸の先端にリンクアームを接続し、これら２つの出力軸を同時に同方向に回転した場合にリンクアームの旋回動作を実現させ、これらの出力軸を同時に反対方向に回転した場合にリンクアームの伸縮動作を実現させる。この構成の場合、モータがダイレクトにアームを回転させるので、減速機によるバックラッシが少なく、アームの高精度な位置決めができる。また、構成もより簡単となる。

以上のことから、ロボットのアームの動作領域を小さくしつつ、かつその回転駆動部の構成を簡単にしながらも高精度なアームの位置決めを実現させるためには、直動式のロボットであって、そのアームの回転駆動部をダイレクトドライブ方式にすることが理想だといえる。

しかし、ダイレクトドライブモータの構成の場合、モータの回転位置検出器（エンコーダ）が、モータの回転軸が任意の位置から３６０°回転した時点で、回転前の検出値と同じ値を出力する、すなわち１回転以内での位置検出のみが可能な位置検出器が使用されることがある。これは、上記のような水平多関節やリンク式のロボットでは、モータの1回転以内の回転でアームの伸縮動作が実現でき、さらにロボットは予め定められた動作を繰り返せばよいため、アームの回転動作も１回転以内で済み、モータの多回転が必要性が少なかったためである。また、多回転のカウントが不要であれば、位置検出器の位置データのバックアップの必要がなく、そのバックアップに使用するバッテリが不要になるという利点もあるためである。また、バッテリが不要になるほかに、モータ多回転のカウントに必要な部品も不要になり、低コスト、小型化、生産の工数減、信頼性の向上、などの利点もあるからである。
しかし、このような位置検出器を持つ回転駆動部の場合、当然ながら、モータが３６０°よりも大きい角度まで正回転した状態での回転位置検出器の出力は、実際の回転角度から３６０°を引いた値となる。このため、回転した絶対値を検出できない場合がある。
特許第３４８４０６７号 特表平０８-５０６７７１号公報

従って、アームを直動式の構成とし、その回転駆動部をダイレクトドライブ方式とし、さらにそのモータの回転位置検出器を１回転以内での位置検出のみが可能なものにすると、以下のような問題がある。
つまり、直動式のアームは、回転駆動部の１回転未満の回転動作で伸縮動作を可能にさせる水平多関節のアームと異なり、多段のスライドユニットが伸長していくので、単に従来のダイレクトドライブ式の回転駆動部と直動式のアームとを組み合わせても、回転駆動部のモータは多回転動作が必要となり、上記のような利点をもつ１回転以内での位置検出のみが可能な回転位置検出器が使えなくなる。
そこで、本発明では、基板搬送ロボットの動作領域を小さくできる直動式のロボットであって、ダイレクトドライブ式の高精度なアームの位置決めを実現させつつも、上記のような利点を備える１回転以内での位置検出が可能な位置検出器を備えたロボットを提供することを目的とする。

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、胴体に収容された少なくとも第１及び第２モータからなる回転駆動部を備え、前記モータの回転によって、多段に構成された直動式アームの伸縮及び回転を行う基板搬送ロボットにおいて、前記直動式アームが、前記第１モータに直接回転駆動される第１アームと、前記第２モータに直接回転駆動される大プーリと、前記大プーリとともに第１ベルトを張架するアイドラと、前記第１ベルトの直線状部分に固定される連結プレートと、前記連結プレートと連結され、前記第１アームの上部に設けられる第２アームと、前記第２アームに搭載される２つのプーリと、前記２つのプーリに巻装される第２ベルトと、前記第２ベルトの直線状部分に連結されるフォークと、前記第２ベルトの前記フォークが連結される側と対峙する前記直線状部分に一端が固定され、その他端が前記第１アームに固定されるプレートと、から構成され、前記大プーリは、前記連結プレートが前記直線状部分におけるストローク量を移動しても前記第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えた基板搬送ロボットとするものである。
また、請求項２に記載の発明は、前記アイドラは、前記大プーリとともに前記第１ベルトを三角形状に張架する２つのアイドラで構成され、前記連結プレートは前記三角形状の長辺に固定される請求項１記載の基板搬送ロボットとするものである。
また、請求項３に記載の発明は、前記第１ベルトが、前記大プーリの周囲上部に巻装される上段ベルトと、前記大プーリの周囲下部に巻装される下段ベルトと、から構成され、それぞれのベルトの一端が前記大プーリに固定され、他端が前記連結プレートに固定される請求項２記載の基板搬送ロボットとするものである。
また、請求項４に記載の発明は、前記第１ベルトと前記第２ベルトとが、スチール製の金属ベルトで構成された請求項１乃至３いずれかに記載の基板搬送ロボットとするものである。
また、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４いずれかに記載の基板搬送ロボットを用いて基板を搬送する半導体製造装置とするものである。

請求項１に記載の発明によると、大プーリは、連結プレートが第１ベルトの直線状部分におけるストローク量を移動しても第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えたものであるので、胴体内の第１モータは１回転以内で第２アームやフォークを伸縮スライドさせることができる。また、第２モータは第１アームを直接回転させる。これらの構成から、第１及び第２モータの１回転以内の動作で直動式アームの回転・伸縮動作を実現できる。よって、各モータの位置検出器についてバッテリなどを不要にさせ、その構成を簡単にできる。
また、直動式アームを構成するので、直動ガイドによって第２アーム及びフォークの横方向の動きが規制されるために、水平多関節に比べて伸縮動作時の横揺れを少なくする事ができ、アームの位置決め精度が向上する。
また、請求項２に記載の発明によると、大プーリの中心から２つのアイドラまでの距離を同じにすることで、ベルトの直線状部分を確保しつつ、大プーリの中心で回転する第１アーム筐体が必要とする最小旋回径を小さくすることができる。
また、請求項３に記載の発明によると、２つの有端ベルトを使ってそれぞれの有端ベルトの一端が大プーリに固定されるよう構成できるので、無端ベルトを使うと必要となるはずのテンショナが不要であって、かつプーリとベルトの滑りを無くすことができる。
また、請求項４に記載の発明によると、前記第１アーム部及び第２アーム内部に備えたベルトを金属ベルトとすることで、ロボットを減圧環境下（真空中）に置いたときに発生するガスの量や有害なガスの成分を抑制することができる。また、請求項５に記載の発明によると、位置検出器の構成が簡単な、信頼性が高い基板搬送ロボットであって、その占有面積も狭くて済む基板搬送ロボットを用いることで、半導体製造装置の信頼性が高く、フットプリントも小さい製造装置とすることができる。

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。

図１は、本発明の直動式アームを備えた基板搬送ロボットにおいて、直動式アームが伸びた状態の斜視図である。まず、本ロボットの概要構成を説明する。図１のように、本発明の基板搬送ロボット１は、回転駆動部を収容する胴体２の上部に、直動式アーム３３を備えている。直動式アーム３３は、胴体２の上部で回転可能な第１アーム３と、第１アーム３の上部で直動し、第１アーム３の回転中心から放射状の方向に直動可能な第２アーム８と、第２アーム８の直動方向と同方向に、第２アーム８からさらに直動可能な第３アーム１２とから構成されている。第３アーム１２の先端には、フォーク１４が一体的に設けられる。この構成により、胴体２内部の回転駆動部によって直動式アーム３３は伸縮・回転動作して、フォーク１４に載置される基板を目的の位置に搬送する。

まず、胴体２内部の回転駆動部について説明する。図２は胴体２の側断面図を示している。なお、直動式アーム３３は図示省略している。図２のように、回転駆動部４１は、ほぼ同一構成の第１のモータ４２と、第２のモータ４３とが上下に同芯状に配置されている。第１のモータ４２において、円筒状のステータ４６ａの内周面には巻線４５ａが設けられている。また、ロータ４４ａがステータ４６ａに回転自在に支持されていて、ロータ４４ａの一部に、巻線４５ａと微小な隙間を介して対向するように永久磁石が貼付されている。巻線４５ａには図示しないロボットコントローラから電流が供給され、発生した電磁力により、永久磁石すなわちロータ４４ａを回転させる。第２のモータ４３も同様な構成と作用により、ロータ４４ｂが回転する。第２のモータ４３の同様な構成には添え字ｂを付す。第１のモータ４２のロータ４４ａは円筒状の外シャフト２５に連結されている。また、第２のモータ４３のロータ４４ｂは、内シャフト２４に連結されている。内シャフト２４は、外シャフト２５の内部に挿通されるように構成されて、これらが同芯状で、互いに独立して回転できる構成になっている。
ロータ４４ａの一部には、位置検出器４７のディスク４７ａが貼付されている。ディスク４７ａは薄い円盤状のもので、これに全周にわたってスリットが設けられている。ステータ４６の一部には、ディスク４７ａと微小な隙間を介して対向する様にヘッド４７ｂが設けられていて、ヘッド４７ｂは、ディスク４７ａのスリットを磁気的に読み取って、ロータ４４の回転位置を検出する。そして、ヘッド４７ｂは、図示しないロボットコントローラに信号を送出する。これらが第１のモータ４２と第２のモータ４３との双方に設けられている。２つの位置検出器４７は、上記のように、位置データのバックアップに使用するバッテリが無いものである。また、モータ多回転のカウントに必要な部品も備えていない。

ステータ４６ａと４６ｂとは、上下で連結されている。これらのさらに外周は円筒状のカバー５０で覆われている。カバー５０の内部の一部に複数の支柱５１が設けられていて、支柱５１の内側に設けられた複数のリニアガイド５２にステータ４６ａと４６ｂが連結されている。よって、ステータ４６ａらはリニアガイド５２によって上下に移動可能である。
また、ステータ４６ｂの下部にはボールネジ５３が設けられている。ボールネジ５３は、一般に市販されている回転型のモータ５５によってベルト５４を介して回転させられ、ステータ４６ａ、４６ｂらは上下する。
ここで、ロボットを減圧環境下に置く場合は、ステータ４６ａ、４６ｂを気密な構成とする。気密にする手段はＯリングなどを使用すればよい。さらに、ステータ４６ａの上部と、支柱５１の上部のフランジ５６との間に、シャフト２４、２５を内部に挿通させるようなベローズ１５を設け、ステータ内部を気密に保てばよい。

次に、直動式アーム３３の詳細構成を説明する。本発明では、下記に説明する直動式アームの構成により、上記の位置検出器４７を問題なく使用できるようになっている。図３が直動式アーム３３の構成を示す各部の分解斜視図である。
図３において、上述した内シャフト２４の上端と連結されるのが大プーリ１６である。大プーリ１６はその外周にベルト１７の一部が巻装されている。一方、上述した外シャフト２５の上端と連結されるのが第１アーム３の第１アーム筐体１９である。そして、第１アーム筐体１９の上に固定された２つのアイドラ２３ａ、２３ｂのにベルト１７が巻装されている。ベルト１７は、大プーリ１６と２つのアイドラ２３に巻装されるので、二等辺三角形状に張られている。従って、これらを収容する第１アーム筐体１９も概ね二等辺三角形状の箱体となっている。

ここで、大プーリ１６とベルト１７の構成を図４にてさらに詳しく説明する。図４（ａ）は大プーリのベルト巻装を説明する斜視図である。（ｂ）がその分解図である。図４のように、ベルト１７は、上段ベルト１７ａと下段ベルト１７ｂとで構成される。各ベルトは有端ベルトである。
上段ベルト１７ａの一端は図４（ｂ）のように大プーリ１６の外周部の上部に固着され、大プーリ１６を上から見たときに時計回りに巻装され、さらにアイドラ２３ｂに巻装されて、他端が連結プレート５に固着される。また、下段ベルト１７ｂの一端は図４（ｂ）のように大プーリ１６の外周部の下部に固着され、大プーリ１６を上から見たときに反時計回り、つまり上段ベルト１７ａの巻装方向とは逆に巻装され、さらにアイドラ２３ａに巻装されて、他端が連結プレート５に固着される。
以上の構成により、例えば大プーリ１６が図のように時計回りに回転すると、下段ベルト１７ｂが大プーリ１６により多く巻装されるように作用するので、連結プレート５はアイドラ２３ａに近づくように移動する。このとき、上段ベルト１７ａは大プーリ１６から巻装量が減るように連結プレート５に引っ張られるように移動する。このように、連結プレート５は二等辺三角形状に張られたベルトの長辺で移動可能である。
大プーリ１６の外形寸法については、これを大きく取ることで、ベルト１７の巻きつけ長さを十分に長く取るように構成されている。つまり、大プーリ１６に対するベルト１７ａ、ｂの各巻きつけ長さが、連結プレート５が移動できるストローク以上となるように大プーリ１６の直径が決定されている。これにより、大プーリ１６が１回転以内の回転で、連結プレート５のストロークを確保できるようになっている。
なお、２つのアイドラ２３を１つに変更し、大プーリ１６とともにベルト１７を張架し、そのベルト１７の直線状部分に連結プレート５を固定してもよいが、この場合はベルト１７の直線状部分の両端を大プーリ１６の回転中心から均等に配置することができない。一方、上記の構成（２つのアイドラ２３と大プーリ１６による三角形状の張架構成）とすることによって、ベルト１７の直線状の部分を長く確保しつつ、大プーリ１６の回転中心から直線状部分の両端までを均等な距離に配置でき、大プーリ１６の回転中心で回転したときの第１アーム筐体１９の必要な旋回径を小さくすることができる。すなわち、直動式アーム３３全体の最小旋回半径が小さく構成できる。

再び図３において、直動式アーム３３の構成を説明する。上述した大プーリ１６らを収容した第１アーム筐体１９の上部を覆うように設けられるのがベース４である。ベース４は板状体である。ベース４には連結プレート５のストロークに応じたスリット穴３２が設けられている。連結プレート５はスリット穴３２からベース４の上面に突出するが、ベース４と干渉することなく上記ストロークの動作が可能である。
ベース４の上面には、スリット穴３２に沿うように２本の直動ガイド６ａが敷設されている。直動ガイド６ａには複数のブロック６ｂが装着されていて、ブロック６ｂらは直動ガイド６ａにより、精密に直線状に案内される。ブロック６ｂらの上面には板状の第２アームベース７が固定される。これにより、第２アームベース７が直線状に移動可能である。第２アームベース７は、連結部３４を介して連結プレート５と連結される。これにより、連結プレート５が上記ストロークに沿って移動すると、これに伴って第２アームベース７は直動ガイド６ａに案内されながら移動する。

第２アームベース７の上部には、第２アーム筐体２０が固定される。第２アーム筐体２０は概ね直方体形状であって、第２アームベース７が図３のように直動ガイド６ａの端に位置したときに、第２アーム筐体２０の下面の一端が固定され、第２アームベース７が直動ガイド６ａのもう一端に位置したときに、第２アーム筐体２０の他端がベース４から突出するように固定されている。
第２アーム筐体２０の上面には、プーリ２１とプーリ２２とが第２アーム筐体２０に対して回転可能に設けられている。そして、これらプーリに巻装されるベルト１１が設けられている。プーリ２１、２２はベルト１１の直線状の部分がスリット穴３２や直動ガイド６ａに沿うように設けられる。また、ベルト１１の直線状の部分は、第２アームベース７の直線動作量程度になるようその長さが確保される。なお、ベルト１１を例えばスチール製ベルトなどの金属ベルトで構成してもよい。
また、ベース４上において第２アーム筐体２０を挟んで連結プレート５と対峙する側の、ベース４の側面には、図５のようにベルト固定プレート１０が設けられている。図５は図３における反対側からの分解鳥瞰図である。ただし、フォーク１４らは省略している。ベルト固定プレート１０は略コの字状となった板状体であり、その一端がベース４の側面に固定されている。そして、その他端には図３のようにピン１８が設けられていて、ピン１８がベルト１１ａ、１１ｂの一端のベルトピン穴３６に挿通固定されている。
一方、第２アーム筐体２０内には、直動ガイド９が敷設されており、直動ガイド９に案内されて移動可能な図示しないブロックの上面が、第３アーム１２の下面に固定されている。また、第３アーム１２の下面には、第３アーム連結プレート３７が設けられていて、第３アーム連結プレート３７は、ベルト固定プレート１０に固定されているベルト１１に関して、プーリ２１とプーリ２２を挟んで対峙するベルトの反対側の直線状の部分に固定されている。また、第２アームベース７が図５の状態、つまり第２アーム筐体２０がベース４の上部に重なった状態のとき、第３アーム連結プレート３７は、プーリ２２に近接した側に固定される。

第３アーム１２には、図３のように、板状体のフォークプレート１３が連結され、フォークプレート１３には、フォーク１４が連結される。第３アーム１２、フォークプレート１３、フォーク１４は、実質的に一体のものである。

以上の構成により、内シャフト２４と外シャフト２５とが第１及び第２のモータ４２、４３によって同時に同じ方向に回転した場合、第１アーム筐体１９と大プーリ１６とは相対的な回転差がないために、連結プレート５は第１アーム筐体１９上では止まっており、従って第２アームベース７は直進運動をせずに止まったままとなる。そのため、第２アームベース７上の第２アーム筐体２０もこの間は動いておらず、一方、第１アーム筐体１９は外シャフト２５によって回転しているために、第１アーム３から上部は旋回（回転）動作をとることができる。

これに対して、内シャフト２４のみが回転し、と外シャフト２５が回転しない場合、第１アーム筐体１９とプーリ１６とは相対的な回転差が生じ、大プーリ１６は第１アーム筐体１９に対して回転することとなる。これによって、大プーリ１６に巻装されたベルト１７が大プーリ１６によって移動するため、連結プレート５が２つのアイドラ２３ａ、ｂ間のストロークを移動する。更に、連結プレート５に固定された第２アームベース７と、第２アームベース７に固定された第２アーム筐体２０は直動ガイド６ａに沿って直線運動する。このとき、直線運動をする第２アーム筐体２０上では、ベルト固定プレート１０の上端に固定されたベルト１１が第２アーム筐体２０に対して回転するために、ベルト１１に固定されている第３アーム１２が、直動ガイド９に沿って直線運動を行う。
これらの一連の動きによって第２アーム８及び第３アーム１２が同時に直線方向に移動することで、直動式アーム３３の伸長運動が達成され、第３アーム１２上にフォークプレート１３を介して固定されたフォーク１４が直線移動を行う。

本発明の直動式アーム３３は、アームの伸縮方向が直動ガイド６ａや９によって規制されているために、各アームの進行方向に対して横方向の動きが少なくなり、横揺れが少ない搬送を実現でき、高精度なアームの位置決めが可能となる。
また、アームの伸縮方向に対して各アームが階層的に多段に重なるために、アームが縮んだ状態では水平多関節のアームと比較するとアームが旋回（回転）したときの最小旋回半径が小さくでき、省スペース化が実現できるようになる。

そして、本発明では上述のように、プーリ１６の外形を大きく取ることで、ベルト１７の巻きつけ長さを十分に長く取ることができるので、１回転以内でなければ回転位置検出ができないような位置検出器を備えた回転駆動部を構成することができ、十分な伸縮ストロークを持ったアームの構成が可能となる。

また、ベルト１７とベルト１１を金属ベルトにすることで、ロボットを減圧環境下においても、発生ガス量及び、半導体製造のプロセスに有害なガスなどを抑制する事ができ、減圧環境（真空）内での環境を高真空でガスの少ない環境を実現できる。

以上のように、本発明の構成は、通常の大気圧の雰囲気で使用してもよいが、特に、減圧環境内で基板を搬送する真空基板搬送ロボットは、真空容器内に設置され、スループットの向上のために、真空容器の小型化が要求され、また、減圧環境を高真空かつクリーンな状態に保つために、真空内での搬送ロボットから発生するガス量やプロセスに有害なガスを抑制することが求められるため、本発明のように、アームの伸縮にスライド方式のアームとすることで必要な伸縮ストロークを確保したロボットアームを持ち、その駆動に金属ベルトを使用することでコンパクトかつ発生ガス量が少ない真空基板搬送ロボットを提供できるようになる。また、本発明によれば、直動式アームの回転動作及び伸縮動作を実現させるにあたって、回転駆動部のモータは１回転以内で済み、モータの多回転が必要性がなくなる。また、多回転のカウントが不要なので、モータの位置検出器の位置データのバックアップの必要がなく、そのバックアップに使用するバッテリが不要になる。また、バッテリが不要になるほかに、モータ多回転のカウントに必要な部品も不要になり、低コスト、小型化、生産の工数減、信頼性の向上、などの利点も得ることができる。

本発明の基板搬送ロボットの斜視図 図１の胴体の側断面図 本発明の基板搬送ロボットの直動式アームの分解斜視図 図３におけるプーリとベルトの詳細を示す分解斜視図真空搬送ロボットの右側面図 図３を反対側から見た分解斜視図

符号の説明

１ 基板搬送ロボット２ 胴体
３ 第1アーム
４ ベース
５ 連結プレート
６ａ，ｂ 直動ガイド
７ 第２アームベース
８ 第２アーム
９ 直動ガイド
１０ ベルト固定プレート
１１ａ，ｂ ベルト
１２ 第３アーム
１３ フォークプレート
１４ フォーク
１５ ベローズ
１６ 大プーリ
１７ａ，ｂ ベルト
１８ａ，ｂ ピン
１９ 第１アーム筐体

２０ 第２アーム筐体
２１ プーリ
２２ プーリ
２３ａ，ｂ アイドラ
２４ 内シャフト
２５ 外シャフト

３２ スリット穴
３３ 直動式アーム
３４ 連結部
３５ ベルト連結部
３６ ベルトピン穴
３７ 第３アーム連結プレート

４１ 回転駆動部
４２ 第１のモータ
４３ 第２のモータ
４４ ロータ
４５ 巻線
４６ ステータ
４７ 位置検出器

５０ カバー
５１ 支柱
５２ リニアガイド
５３ ボールネジ
５４ ベルト
５５ モータ
５６ フランジ

Claims (5)

1. 胴体に収容された少なくとも第１及び第２モータからなる回転駆動部を備え、前記モータの回転によって、多段に構成された直動式アームの伸縮及び回転を行う基板搬送ロボットにおいて、
   前記直動式アームが、前記第１モータに直接回転駆動される第１アームと、前記第２モータに直接回転駆動される大プーリと、前記大プーリとともに第１ベルトを張架するアイドラと、前記第１ベルトの直線状部分に固定される連結プレートと、前記連結プレートと連結され、前記第１アームの上部に設けられる第２アームと、前記第２アームに搭載される２つのプーリと、前記２つのプーリに巻装される第２ベルトと、前記第２ベルトの直線状部分に連結されるフォークと、前記第２ベルトの前記フォークが連結される側と対峙する前記直線状部分に一端が固定され、その他端が前記第１アームに固定されるプレートと、から構成され、
   前記大プーリは、前記連結プレートが前記直線状部分におけるストローク量を移動しても前記第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えたものであることを特徴とする基板搬送ロボット。
   
2. 前記アイドラは、前記大プーリとともに前記第１ベルトを三角形状に張架する２つのアイドラで構成され、前記連結プレートは前記三角形状の長辺に固定されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送ロボット。
3. 前記第１ベルトが、前記大プーリの周囲上部に巻装される上段ベルトと、前記大プーリの周囲下部に巻装される下段ベルトと、から構成され、それぞれのベルトの一端が前記大プーリに固定され、他端が前記連結プレートに固定されることを特徴とする請求項２記載の基板搬送ロボット。
4. 前記第１ベルトと前記第２ベルトとが、スチール製の金属ベルトで構成されたことを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板搬送ロボット。
5. 請求項１乃至４いずれかに記載の基板搬送ロボットを用いて基板を搬送することを特徴とする半導体製造装置。

Images