KR20100058515A - 산업용 로보트 - Google Patents

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KR20100058515A
KR20100058515A KR1020107004399A KR20107004399A KR20100058515A KR 20100058515 A KR20100058515 A KR 20100058515A KR 1020107004399 A KR1020107004399 A KR 1020107004399A KR 20107004399 A KR20107004399 A KR 20107004399A KR 20100058515 A KR20100058515 A KR 20100058515A
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다카유키 야자와
히로토 나카지마
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

산업용 로보트(1)는 복수의 반송대상물(2)을 탑재하는 제1 핸드(3), 제2 핸드(4)와, 제1 핸드(3), 제2 핸드(4)를 각각 보유지지하는 제1 암(5), 제2 암(6)과, 제1 암(5) 및 제2 암(6)을 보유지지하는 공통암(7)과, 공통암(7)에 대한 제1 암(5), 제2 암(6)의 각각의 회동중심이 되는 제1 회동중심부(31), 제2 회동중심부(41)와 공통암(7)을 보유지지하는 본체부를 구비하고 있다. 제1 핸드(3)와 제2 핸드(4)는 로보트(1)의 선회동작시에 겹쳐지도록 배치되며, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에는 제1 회동중심부(31) 및 제2 회동중심부(41)와의 간섭을 방지하기 위한 회피부(43, 44)가 형성되어 있다. 이것에 의해, 산업용 로보트(1)는 선회지름을 작게 하면서, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물(2)을 반송하는 것이 가능하게 된다.

Description

산업용 로보트{INDUSTRIAL ROBOT}
본 발명은 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트에 관한 것이다.
종래부터, 반송대상물이 수납되는 수납부로부터 반송대상물을 반출하고, 또, 수납부에 반송대상물을 반입하는 산업용 로보트가 널리 이용되고 있다. 이런 종류의 산업용 로보트로서, 수납부가 되는 진공챔버로부터 반송대상물이 되는 반도체 웨이퍼 등의 기판을 반출하고, 또, 진공챔버에 기판을 반입하는 기판반송 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 및 2 참조).
특허문헌 1에 기재된 기판반송 로보트는 구동부가 수납된 구동상자에 정점(頂点)부분이 회동가능하게 보유지지되는 대략 'L' 형상의 제1 암과, 제1 암의 양단의 각각에 일단 측이 회동가능하게 보유지지되는 제2 암 및 제3 암과, 제2 암 및 제3 암의 각각 타단 측에 회동가능하게 보유지지되는 기판유지부(핸드)를 구비하고 있다.
이 기판반송 로보트는 제1 ~ 제3 암을 개별적으로 구동하기 위한 3개의 모터를 구비하고 있고, 제2 암에 대한 핸드의 회동중심과 제3 암에 대한 핸드의 회동중심이 겹친 상태에서 구동상자에 대해서 제1 ~ 제3 암이 선회한다. 그 때문에, 이 기판반송 로보트에서는 선회지름을 작게 하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 이 기판반송 로보트는 1개의 핸드에 1매만의 기판이 탑재되도록 구성되어 있고, 1회의 반입동작 혹은 반출동작에서는 1매만의 기판이 반송된다.
또, 특허문헌 2에 기재된 기판반송 로보트도 특허문헌 1에 기재한 기판반송 로보트와 대략 동일하게 구성되어 있다.
[특허문헌1]일본국특개평10-163296호공보 [특허문헌2]일본국특개평7-171778호공보
최근, 생산성의 향상을 도모하기 위해, 산업용 로보트에는 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수 매의 기판을 반송하는 것이 요구되고 있다. 그렇지만, 특허문헌 1 또는 2에 기재한 기판반송 로보트는 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 1매만의 기판이 반송되도록 구성되어 있다. 즉, 특허문헌 1 또는 2에는 선회지름을 작게 하면서, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수 매의 기판을 반송하는 것이 가능한 산업용 로보트의 구체적인 구성은 개시되어 있지 않다.
그래서, 본 발명의 과제는 선회지름을 작게 하면서, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물을 반송하는 것이 가능한 산업용 로보트의 구체적인 구성을 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 반송대상물이 수납되는 수납부로부터의 반송대상물의 반출 및 수납부로의 반송대상물의 반입을 행하는 산업용 로보트에 있어서, 복수의 반송대상물을 탑재하는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제1 암 및 제2 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제2 암과, 제1 암의 타단 측 및 제2 암의 타단 측을 회동가능하게 보유지지하는 공통암과, 공통암에 대한 제1 암의 회동중심이 되는 제1 회동중심부 및 공통암에 대한 제2 암의 회동중심이 되는 제2 회동중심부와, 공통암을 회동가능하게 보유지지하는 본체부를 구비하고, 본체부에 대해서 제1 암 및 제2 암이 수축된 상태가 되는 제1 핸드 및 제2 핸드의 대기상태에서 제1 핸드와 제2 핸드와는 겹치도록 배치됨과 동시에, 제1 핸드 및 제2 핸드에는 회동시에서의 제1 회동중심부 및 제2 회동중심부와의 간섭을 방지하기 위한 회피부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로보트는 공통암에 타단 측이 보유지지되는 제1 암의 일단 측에 보유지지되는 제1 핸드와, 공통암에 타단 측이 보유지지되는 제2 암의 일단 측에 보유지지되는 제2 핸드를 구비하고, 제1 핸드 및 제2 핸드의 대기상태에서 제1 핸드와 제2 핸드가 겹치도록 배치되어 있다. 그 때문에, 본 발명에서는 공통암, 제1 암 및 제2 암을 각각 개별적으로 구동하는 구동원을 설치함과 동시에, 제1 핸드 및 제2 핸드의 대기상태에서 산업용 로보트의 선회동작을 행함으로써, 공통암, 제1 암 및 제2 암등의 선회지름(즉, 산업용 로보트의 선회지름)을 작게 하는 것이 가능하게 된다.
또, 본 발명의 산업용 로보트는 복수의 반송대상물을 탑재하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 구비하고, 제1 핸드 및 제2 핸드에는 회동시에서의 제1 회동중심부 및 제2 회동중심부와의 간섭을 방지하기 위한 회피부가 형성되어 있다. 그 때문에, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물을 반송하기 위해서 제1 핸드 및 제2 핸드가 대형화하는 경우라도 제1 핸드 및 제2 핸드 등의 동작을 지장 없이 행하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 본 발명에서는 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물을 반송하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 공통암은 공통암에 대한 제1 암 또는 제2 암의 회동중심의 축방향에서 보았을 때 대략 삼각형 모양으로 형성되고, 제1 회동중심부 및 제2 회동중심부의 각각은 공통암의 다른 각부(角部)의 근방에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 공통암의 강성을 높이면서, 공통암에 대해서 제1 암 및 제2 암을 밸런스 좋게 배치하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제1 핸드와 제2 핸드는 대기상태에서 근접 대향하고 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 산업용 로보트를 박형화하는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 있어서, 제1 핸드 및 제2 핸드는 반송대상물을 1매씩 탑재하기 위한 제1 탑재부 및 제2 탑재부와, 제1 탑재부의 기단 측 및 제2 탑재부의 기단 측이 고정되는 고정부를 구비하고, 제1 탑재부와 제2 탑재부는 반송대상물의 반송방향에 직교하는 직교방향으로 소정의 간격을 둔 상태로 고정부에 고정되며, 직교방향에서의 제1 탑재부 및 제2 탑재부의 외측에 회피부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 탑재부와 제2 탑재부가 직교방향으로 소정의 간격을 둔 상태로 고정부에 고정되어 있기 때문에, 제1 탑재부에 탑재된(혹은 탑재되는) 반송대상물이 수납되는 수납부와, 제2 탑재부에 탑재된(혹은 탑재되는) 반송대상물이 수납되는 수납부 사이에 구획이 있는 경우라도 반송대상물을 적절히 반출 혹은 반입하는 것이 가능하게 된다.
또, 상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 반송대상물이 수납되는 수납부로부터의 반송대상물의 반출 및 수납부로의 반송대상물의 반입을 행하는 산업용 로보트에 있어서, 복수의 반송대상물을 탑재하는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 제1 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제1 암 및 제2 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제2 암과, 제1 암의 타단 측 및 제2 암의 타단 측을 회동가능하게 보유지지하는 공통암과, 공통암에 대한 제1 암의 회동중심이 되는 제1 회동중심부 및 공통암에 대한 제2 암의 회동중심이 되는 제2 회동중심부와, 공통암을 회동가능하게 보유지지하는 본체부를 구비하고, 본체부에 대해서 제1 암 및 제2 암이 수축된 상태가 되는 제1 핸드 및 제2 핸드의 대기상태에서 제1 핸드와 제2 핸드는 위쪽으로부터 이 순서로 겹치도록 배치됨과 동시에, 제2 핸드에는 회동시에서의 제1 회동중심부와의 간섭을 방지하기 위한 회피부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 산업용 로보트는 공통암에 타단 측이 보유지지되는 제1 암의 일단 측에 보유지지되는 제1 핸드와, 공통암에 타단 측이 보유지지되는 제2 암의 일단 측에 보유지지되는 제2 핸드를 구비하고, 제1 핸드 및 제2 핸드의 대기상태에서 제1 핸드와 제2 핸드는 겹치도록 배치되어 있다. 그 때문에, 공통암, 제1 암 및 제2 암을 각각 개별적으로 구동하는 구동원을 설치함과 동시에, 제1 핸드 및 제2 핸드의 대기상태에서 산업용 로보트의 선회동작을 행함으로써, 공통암, 제1 암 및 제2 암등의 선회지름을 작게 하는 것이 가능하게 된다.
또, 본 발명의 산업용 로보트는 복수의 반송대상물을 탑재하는 제1 핸드 및 제2 핸드를 구비하고, 제1 핸드와 제2 핸드는 위쪽으로부터 이 순서로 겹치도록 되어 있다. 또, 아래쪽에 배치되는 제2 핸드에는 회동시에서의 제1 회동중심부와의 간섭을 방지하기 위한 회피부가 형성되어 있다. 그 때문에, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물을 반송하기 위해서 제1 핸드 및 제2 핸드가 대형화하는 경우라도 제1 핸드 및 제2 핸드 등의 동작을 지장 없이 행하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 본 발명에서는 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물을 반송하는 것이 가능하게 된다.
이상과 같이, 본 발명에 관한 산업용 로보트에서는 선회지름을 작게 하면서, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 반송대상물을 반송하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트를 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트를 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 산업용 로보트가 조립된 반도체 제조시스템의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 1에 나타내는 공통암의 평면도이다.
도 6은 도 1에 나타내는 산업용 로보트의 동력의 전달기구의 개략 구성을 설명하기 위한 개념도이다.
도 7은 도 1에 나타내는 제1 핸드의 평면도이다.
도 8은 도 1에 나타내는 산업용 로보트의 개략 동작을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 산업용 로보트의 원점복귀상태를 나타내고, (B)는 산업용 로보트의 제1 암부의 신축동작시의 상태를 나타낸다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다.
(산업용 로보트의 개략 구성)
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)를 나타내는 평면도이다. 도 2는 도 1의 E-E방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 측면도이다. 도 3은 도 1의 F-F방향에서 산업용 로보트(1)를 나타내는 측면도이다. 도 4는 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)가 조립된 반도체 제조시스템(12)의 개략 구성을 나타내는 평면도이다. 도 5는 도 1에 나타내는 공통암(7)의 평면도이다. 도 6은 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 동력의 전달기구의 개략 구성을 설명하기 위한 개념도이다.
본 형태의 산업용 로보트(1)(이하, 「로보트(1)」라고 함)는 반송대상물인 얇은 원반 모양의 반도체 웨이퍼(2)(이하, 「웨이퍼(2)」라고 함)를 반송하기 위한 로보트이다. 이 로보트(1)는, 도 1 ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 2매의 웨이퍼(2)를 탑재할 수 있는 제1 핸드(3)와, 2매의 웨이퍼(2)를 탑재할 수 있는 제2 핸드(4)와, 제1 핸드(3)를 선단 측(일단 측)에서 회동가능하게 보유지지하는 제1 암(5)과, 제2 핸드(4)를 선단 측(일단 측)에서 회동가능하게 보유지지하는 제2 암(6)과, 제1 암(5)의 기단 측(타단 측) 및 제2 암(6)의 기단 측(타단 측)을 회동가능하게 보유지지하는 공통암(7)과, 공통암(7)을 회동가능하게 보유지지하는 본체부(8)를 구비하고 있다. 본 형태에서는 제1 암(5)과 공통암(7)에 의해서 제1 암부(9)가 구성되고, 제2 암(6)과 공통암(7)에 의해서 제2 암부(10)가 구성되어 있다. 또한, 도 3에서는 제1 핸드(3)의 일부 및 제2 핸드(4)의 일부의 도시를 생략하고 있다.
또, 본 형태의 로보트(1)는, 예를 들어, 도 4에 나타내는 반도체 제조시스템(12)에 조립하여 사용된다. 구체적으로는, 로보트(1)는 반도체 제조시스템(12)과 외부장치(도시생략)와의 사이에서 웨이퍼(2)의 주고받음을 행하는 주고받음챔버(13)와, 웨이퍼(2)에 소정의 처리를 행하는 처리챔버(14)와, 로보트(1)가 배치되는 이송챔버(15)를 구비하는 반도체 제조시스템(12)에 조립하여 사용된다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 반도체 제조시스템(12)에서는, 이송챔버(15)는 대략 직방체(直方體) 모양으로 형성되어 있다. 이송챔버(15)의 하나의 측면에는, 예를 들어 2개의 주고받음챔버(13)가 인접 배치되며, 이송챔버(15)의 다른 3개의 측면의 각각에는, 예를 들어 2개의 처리챔버(14)가 인접 배치되어 있다. 인접하는 주고받음챔버(13)의 사이 및 처리챔버(14)의 사이에는 구획벽(16)이 형성되어 있다. 또, 주고받음챔버(13) 혹은 처리챔버(14)와 이송챔버(15)와의 사이에는 웨이퍼(2)의 출입을 행하기 위한 게이트(도시생략)가 배치되어 있다.
이송챔버(15)에 배치된 로보트(1)는 주고받음챔버(13) 혹은 처리챔버(14)로부터 웨이퍼(2)를 반출함과 동시에, 주고받음챔버(13) 혹은 처리챔버(14)로 웨이퍼(2)를 반입한다. 즉, 제1 암부(9) 및 제2 암부(10)가 본체부(8)에 대해서 신축하여, 주고받음챔버(13) 및 처리챔버(14)에 대한 웨이퍼(2)의 출입을 행한다.
구체적으로는, 웨이퍼(2)를 반입할 때에는, 수축되어 있던 제1 암부(9) 혹은 제2 암부(10)가 신장해 제1 핸드(3) 혹은 제2 핸드(4)가 게이트를 통과하여, 주고받음챔버(13) 혹은 처리챔버(14)의 내부로 비집고 들어간다. 또, 웨이퍼(2)를 반출할 때에는, 주고받음챔버(13) 혹은 처리챔버(14)의 내부로 비집고 들어가 신장되어 있던 제1 암부(9) 혹은 제2 암부(10)가 수축해 제1 핸드(3) 혹은 제2 핸드(4)가 게이트를 통과하여, 이송챔버(15) 안으로 돌아온다.
또한, 웨이퍼(2)를 취급할 때의 주고받음챔버(13) 내의 압력, 처리챔버(14) 내의 압력 및 이송챔버(15) 내의 압력은 모두 대기압으로 되어 있다. 즉, 본 형태의 로보트(1)는 대기압중에서 사용된다. 또, 본 형태에서는, 주고받음챔버(13) 및 처리챔버(14)는 반송대상물인 웨이퍼(2)가 수납되는 수납부이다.
제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는 웨이퍼(2)를 1매씩 탑재하기 위한 제1 탑재부(18) 및 제2 탑재부(19)와, 제1 탑재부(18)의 기단 측 및 제2 탑재부(19)의 기단 측이 고정되는 고정부(20)를 구비하고 있다. 이 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.
제1 암(5) 및 제2 암(6)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 상하방향(도 1의 지면 수직방향, 도 2, 도 3의 상하방향)에서 보았을 때의 형상이 육상 경기용 트랙과 같은 형상이 되도록 형성되어 있다. 또, 제1 암(5) 및 제2 암(6)은 중공형상으로 형성되어 있다.
공통암(7)은 상하방향(즉, 공통암(7)에 대한 제1 암(5) 또는 제2 암(6)의 회동중심의 축방향)에서 보았을 때의 형상이 대략 삼각형 모양이 되도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 공통암(7)은 상하방향에서 보았을 때의 형상이 대략 이등변 삼각형이 되도록 형성되어 있다. 본 형태에서는 꼭지각부(7a) 및 꼭지각부(7a) 이외의 2개의 각부(7b)에 대응하는 부분은 대략 곡면 모양으로 형성되어 있다. 또, 공통암(7)은 중공형상으로 형성되어 있다. 또한, 꼭지각부(7a)의 각도(θ1)(도 5 참조)는 약 75°로 되어 있다. 또, 공통암(7)에 대한 제1 암(5)의 회동중심이 되는 후술의 제1 회동중심부(31)의 중심(C1)과 후술의 공통암(7)의 회동중심(C)을 이은 선분과, 공통암(7)에 대한 제2 암(6)의 회동중심이 되는 후술의 제2 회동중심부(41)의 중심(C2)과 회동중심(C)을 이은 선분에 의해서 형성되는 각도(θ2)(도 5 참조)는 약 106°로 되어 있다.
상술한 바와 같이, 제1 핸드(3)의 기단 측은 제1 암(5)의 선단 측에 회동가능하게 연결되고, 제2 핸드(4)의 기단 측은 제2 암(6)의 선단 측에 회동가능하게 연결되어 있다. 또, 제1 암(5) 및 제2 암(6)의 기단 측은 공통암(7)에 회동가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 제1 암(5) 및 제2 암(6)은 2개의 각부(7b)(도 5 참조)의 각각의 근방에서 공통암(7)에 회동가능하게 연결되어 있다. 공통암(7)은 본체부(8)에 회동가능하게 연결되어 있다. 구체적으로는, 상하방향에서 보았을 때의 공통암(7)의 중심위치보다 약간 꼭지각부(7a)에 가까운 위치(회동중심(C), 도 5 참조)에서 공통암(7)은 본체부(8)에 회동가능하게 연결되어 있다. 또, 상하방향에서는 제1 암(5), 제1 핸드(3), 제2 핸드(4), 제2 암(6), 공통암(7) 및 본체부(8)는 위쪽으로부터 이 순서로 배치되어 있다.
본체부(8)는 외형이 대략 원기둥 모양이 되도록 형성되어 있다. 이 본체부(8)는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 지름방향의 중심부에 배치되는 중실(中實)회전축(22)과, 중실회전축(22)의 외주면을 가리도록 중실회전축(22)과 동심상으로 배치되는 제1 중공(中空)회전축(23)과, 제1 중공회전축(23)의 외주면을 가리도록 중실회전축(22)과 동심상에 배치되는 제2 중공회전축(21)과, 중실회전축(22), 제1 중공회전축(23) 및 제2 중공회전축(21)의 각각을 회동시키기 위한 3개의 구동모터(도시생략)와, 중실회전축(22), 제1 중공회전축(23) 및 제2 중공회전축(21)을 함께 승강시키기 위한 승강기구(도시생략)를 구비하고 있다.
제2 중공회전축(21), 중실회전축(22) 및 제1 중공회전축(23)은 서로 상대회전가능하게 되어 있다. 본 형태에서는, 제2 중공회전축(21)은 본체부(8)에 대해서 공통암(7)을 회동시키는 기능을 발휘하고, 중실회전축(22)은 본체부(8) 및 공통암(7)에 대해서 제1 암(5)을 회동시키는 기능을 발휘하며, 제1 중공회전축(23)은 본체부(8) 및 공통암(7)에 대해서 제2 암(6)을 회동시키는 기능을 발휘하고 있다.
제2 중공회전축(21)의 상단 측에는 공통암(7)이 고정되어 있다. 구체적으로는, 제2 중공회전축(21)의 축중심과 회동중심(C)이 일치하도록 제2 중공회전축(21)의 상단 측에 공통암(7)이 고정되어 있다. 또, 중실회전축(22)의 상단 측 및 제1 중공회전축(23)의 상단 측은 공통암(7)의 내부에 배치되어 있다.
중실회전축(22)의 상단 측에는 공통암(7)의 내부에 배치된 풀리(24)가 고정되어 있다. 제1 암(5)의 기단 측의 바닥면에는 풀리(55)가 고정되며, 제1 암(5)의 선단 측의 내부에는 고정축(26)이 고정되어 있다. 또, 공통암(7)의 내부에서, 한쪽의 각부(7b)의 근방에는 고정축(27)이 고정되어 있다. 이 고정축(27)의 상단에는 제1 암(5)의 내부에 배치되는 풀리(25)가 고정되어 있다. 풀리(55)는 공통암(7)의 내부에 배치되어 있다. 이 풀리(55)에는 고정축(27)이 삽입하여 통과되고, 풀리(55)는 고정축(27)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 풀리(24)와 풀리(55)와의 사이에는 벨트(28)가 걸쳐져 있다.
제1 핸드(3)의 기단 측의 상면에는 풀리(29)가 고정되어 있다. 풀리(29)는 제1 암(5)의 선단 측의 내부에 배치되어 있다. 또, 풀리(29)에는 고정축(26)이 삽입하여 통과되고, 풀리(29)는 고정축(26)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 풀리(29)와 풀리(25)와의 사이에는 벨트(30)가 걸쳐져 있다.
본 형태에서는 풀리(25, 55) 및 고정축(27) 등에 의해서, 공통암(7)에 대한 제1 암(5)의 회동중심이 되는 제1 회동중심부(31)가 구성되어 있다. 이 제1 회동중심부(31)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 풀리(55)와 제1 암(5)과의 연결부를 가리는 커버부재(32)를 구비하고 있고, 공통암(7)의 한쪽의 각부(7b)의 근방에 배치되어 있다. 또한, 도 6에서는 커버부재(32)의 도시를 생략하고 있다.
제1 중공회전축(23)의 상단 측에는 공통암(7)의 내부에 배치된 풀리(34)가 고정되어 있다. 이 풀리(34)로부터 제2 핸드(4)까지의 동력의 전달기구는 풀리(24)로부터 제1 핸드(3)까지의 동력의 전달기구와 대략 동일하게 구성되어 있다. 즉, 제2 암(6)의 기단 측의 바닥면에 고정된 풀리(65)에는 공통암(7)의 내부에서 다른 쪽의 각부(7b)의 근방에 고정된 고정축(37)이 삽입하여 통과되고, 풀리(65)는 고정축(37)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 이 풀리(65)는 공통암(7)의 내부에 배치되어 있다. 또, 고정축(37)의 상단에는 제2 암(6)의 내부에 배치되는 풀리(35)가 고정되어 있다. 풀리(65)와 풀리(34)와의 사이에는 벨트(38)가 걸쳐져 있다. 또, 제2 핸드(4)의 기단 측의 바닥면에는 제2 암(6)의 선단 측의 내부에 배치되는 풀리(39)가 고정되어 있다. 풀리(39)에는 제2 암(6)의 선단 측의 내부에 고정된 고정축(36)이 삽입하여 통과되며, 풀리(39)는 고정축(36)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 또, 풀리(35)와 풀리(39)와의 사이에는 벨트(40)가 걸쳐져 있다.
본 형태에서는, 풀리(35, 65) 및 고정축(37) 등에 의해서, 공통암(7)에 대한 제2 암(6)의 회동중심이 되는 제2 회동중심부(41)가 구성되어 있다. 이 제2 회동중심부(41)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 암(6)의 상면 측을 가리는 커버부재(42)를 구비하고 있고, 공통암(7)의 다른 쪽의 각부(7b)의 근방에 배치되어 있다. 또한, 도 6에서는 커버부재(42)의 도시를 생략하고 있다.
여기서, 본 형태에서는 풀리(24, 25)의 풀리간 피치, 풀리(25, 29)의 풀리간 피치, 풀리(34, 35)의 풀리간 피치 및 풀리(35, 39)의 풀리간 피치가 동일하게 되어 있다. 또, 풀리(24)의 지름과 제2 풀리부(25b)의 지름과의 비 및 풀리(34)의 지름과 제2 풀리부(35b)의 지름과의 비가 2 : 1이 되고, 제1 풀리부(25a)의 지름과 풀리(29)의 지름과의 비 및 제1 풀리부(35a)의 지름과 풀리(39)의 지름과의 비가 1 : 2로 되어 있다.
그 때문에, 본 형태에서는, 후술의 신축동작시에는 제1 핸드(3)와 제1 암(5)과의 각도 및 제1 암(5)과 공통암(7)과의 각도는 변화하지만, 제1 핸드(3)는 풀리(24)의 중심(즉, 본체부(8)의 중심)과 풀리(29)의 중심(즉, 제1 핸드(3)의 회동중심)을 이은 가상 직선상을, 방향을 일정하게 한 상태로 이동한다. 마찬가지로, 신축동작시에 제2 핸드(4)와 제2 암(6)과의 각도 및 제2 암(6)과 공통암(7)과의 각도는 변화하지만, 제2 핸드(4)는 풀리(34)의 중심과 풀리(39)의 중심을 이은 가상 직선상을, 방향을 일정하게 한 상태로 이동한다.
(제1 핸드 및 제2 핸드의 구성)
도 7은 도 1에 나타내는 제1 핸드(3)의 평면도이다.
제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는, 상술한 바와 같이, 제1 탑재부(18) 및 제2 탑재부(19)와 고정부(20)를 구비하고 있다. 이 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에서는 선단 측에 대해 기단 측의 폭이 좁아져 있고(즉, 기단 측이 좁아져 있음), 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)는 전체적으로 대략 'T' 형상으로 형성되어 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 제1 탑재부(18)와 제2 탑재부(19)는 소정의 간격을 둔 상태로 고정부(20)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 상술의 가상 직선의 방향이 되는 웨이퍼(2)의 반송방향(도 7의 좌우방향)(X)에 직교하는 직교방향(도 7의 상하방향)(Y)으로 소정의 간격을 둔 상태로 제1 탑재부(18)와 제2 탑재부(19)는 고정부(20)에 고정되고 있다.
제1 탑재부(18)는 박판(薄板) 모양의 부재이며, 예를 들어, 세라믹으로 형성되어 있다. 이 제1 탑재부(18)의 선단 측에 웨이퍼(2)가 탑재된다. 또, 도 7에 나타내는 바와 같이, 직교방향(Y)에서의 제1 탑재부(18)의 선단 측의 폭은 기단 측의 폭보다 넓게 되어 있다.
구체적으로는, 상하방향(도 7의 지면 수직방향)에서 보았을 때의 직교방향(Y)에서의 제1 탑재부(18)의 내측은 반송방향(X)에 평행한 직선부(18a)와, 직교방향(Y)의 외측을 향하여 경사지는 경사부(18b)와, 반송방향(X)에 평행한 직선부(18c)로 구성되어 있다. 직선부(18a)와 경사부(18b)와 직선부(18c)는 기단 측으로부터 선단 측을 향하여 이 순서로 형성되어 있다. 직선부(18a)와 경사부(18b)는 원호부(18d)에 의해 매끄럽게 접속되며, 경사부(18b)와 직선부(18c)는 원호부(18e)에 의해 매끄럽게 접속되어 있다.
한편, 상하방향에서 보았을 때의 직교방향(Y)에서의 제1 탑재부(18)의 외측은 반송방향(X)에 평행한 직선부(18f)와, 직교방향(Y)의 외측을 향하고 또한 경사부(18b)보다 급격한 각도로 경사지는 경사부(18g)와, 반송방향(X)에 평행한 직선부(18h)로 구성되어 있다. 직선부(18f)와 경사부(18g)와 직선부(18h)는 기단 측으로부터 선단 측을 향하여 이 순서로 형성되어 있다. 직선부(18f)와 경사부(18g)는 원호부(18j)에 의해 매끄럽게 접속되며, 경사부(18g)와 직선부(18h)는 원호부(18k)에 의해 매끄럽게 접속되어 있다.
본 형태에서는, 경사부(18g) 및 원호부(18j)는 제1 암(5)에 대한 제1 핸드(3)의 회동시에서의 제1 핸드(3)와 제2 회동중심부(41)와의 간섭을 방지하기 위한 회피부(43)가 된다. 마찬가지로, 경사부(18g) 및 원호부(18j)는 제2 암(6)에 대한 제2 핸드(4)의 회동시에서의 제2 핸드(4)와 제2 회동중심부(41)와의 간섭을 방지하기 위한 회피부(43)가 된다.
또, 제1 탑재부(18)의 선단 측(직선부(18c)와 직선부(18h)와의 사이)은 대략 'E' 형상으로 형성되어 있다. 또, 본 형태에서는, 도 7 등에 나타내는 바와 같이, 제1 탑재부(18)의 선단 측에 웨이퍼(2)를 흡착하기 위한 흡착부(18n)가 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 탑재부(18)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 중심과 흡착부(18n)가 대략 일치하도록 흡착부(18n)가 형성되어 있다.
제2 탑재부(19)는 제1 탑재부(18)와 동일하게 형성되며, 직교방향(Y)에서의 고정부(20)의 중심선을 대해 제1 탑재부(18)와 대칭 배치되도록 고정부(20)에 고정되어 있다. 그 때문에, 제2 탑재부(19)의 상세한 설명에 대해서는 생략한다. 또한, 제2 탑재부(19)의 직선부(19a), 경사부(19b), 직선부(19c), 원호부(19d, 19e), 직선부(19f), 경사부(19g), 직선부(19h), 원호부(19j, 19k), 흡착부(19n)는 각각 제1 탑재부(18)의 직선부(18a), 경사부(18b), 직선부(18c), 원호부(18d, 18e), 직선부(18f), 경사부(18g), 직선부(18h), 원호부(18j, 18k), 흡착부(18n)에 상당한다.
또, 본 형태에서는, 경사부(19g) 및 원호부(19j)는 제1 암(5)에 대한 제1 핸드(3)의 회동시에서의 제1 핸드(3)와 제1 회동중심부(31)와의 간섭을 방지하기 위한 회피부(44)가 된다. 마찬가지로, 경사부(19g) 및 원호부(19j)는 제2 암(6)에 대한 제2 핸드(4)의 회동시에서의 제2 핸드(4)와 제1 회동중심부(31)와의 간섭을 방지하기 위한 회피부(44)가 된다.
고정부(20)는 대략 삼각형 모양으로 형성되고, 제1 핸드(3) 혹은 제2 핸드(4)의 기단 측 부분을 구성하고 있다. 제1 핸드(3)에서는 고정부(20)의 상면에는 풀리(29)가 고정되어 있다. 또, 제2 핸드(4)에서는 고정부(20)의 바닥면에 풀리(39)가 고정되어 있다.
또한, 본 형태에서는 직교방향(Y)에서의 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)의 폭(직선부(18h)와 직선부(19h)와의 거리)(H)(도 7 참조)은 2개의 각부(7b) 사이의 거리(L)(도 5 참조)와 대략 동일하게 되어 있다.
(로보트의 개략 동작)
도 8은 도 1에 나타내는 로보트(1)의 개략 동작을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 로보트(1)의 원점복귀상태를 나타내고, (B)는 로보트(1)의 제1 암부(9)의 신축동작시의 상태를 나타낸다.
본 형태에서는, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 제1 암부(9) 및 제2 암부(10)가 수축된 상태가 로보트(1)의 초기상태(원점복귀상태)가 된다. 즉, 본체부(8)에 대해서 제1 암(5) 및 제2 암(6)이 수축된 원점복귀상태는 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)의 대기상태가 된다.
원점복귀상태에서는, 제1 핸드(3)와 제2 핸드(4)는 상하방향으로 겹치도록 배치되어 있다. 구체적으로는, 원점복귀상태에서는, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 직교방향(Y)에서의 로보트(1)의 중심선을 대칭으로 하여 제1 암(5)과 제2 암(6)이 배치된 상태에서 제1 핸드(3)의 하면과 제2 핸드(4)의 상면이 근접 대향하고 있다. 또, 이 상태에서는 제1 핸드(3)의 외형과 제2 핸드(4)의 외형이 대략 일치하도록 제1 핸드(3)와 제2 핸드(4)가 상하방향으로 겹쳐져 있다.
또한, 이 상태에서는, 공통암(7)의 2개의 각부(7b)가 직교방향(Y)에서의 로보트(1)의 중심선을 대칭으로 하여 배치되어 있다. 즉, 제1 핸드(3)의 기단 측과 제2 핸드(4)의 기단 측과의 겹침부분과, 회동중심(C)과 꼭지각부(7a)는 이 순서로 직교방향(Y)에서의 로보트(1)의 중심선상에 배치되어 있다. 또한, 원점복귀상태에서는 제1 암(5)의 선단 측 및 제2 암(6)의 선단 측이 회동중심(C)으로부터 가장 떨어진 위치에 배치된다.
또, 본 형태에서는, 제2 중공회전축(21)의 구동모터, 중실회전축(22)의 구동모터 및 제1 중공회전축(23)의 구동모터가 회전하여, 제2 중공회전축(21), 중실회전축(22) 및 제1 중공회전축(23)이 같은 회전속도로 같은 회전각도만큼 회전하면, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)와 본체부(8)와의 상대위치가 일정한 상태(즉, 제1 암부(9) 및 제2 암부(10)가 본체부(8)에 대해서 신축하지 않는 상태)에서 회동중심(C)을 중심으로 하여 공통암(7)이 본체부(8)에 대해서 상대회전한다. 즉, 구동모터에 의해서, 제2 중공회전축(21), 중실회전축(22) 및 제1 중공회전축(23)이 같은 회전속도로 같은 회전각도만큼 회전하면, 로보트(1)는 선회동작을 행한다.
이 때, 로보트(1)는 원점복귀상태에서 선회동작을 행한다. 그 때문에, 제1 암(5)의 선단 측 및 제2 암(6)의 선단 측은 회동중심(C)을 중심으로 하는 가상원(R)을 따라서 이동한다.
또, 선회동작시의 로보트(1)의 최대지름(선회지름)(D)은, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 제1 암(5)의 선단 측 및 제2 암(6)의 선단 측과 회동중심(C)과의 거리의 2배가 된다.
한편, 중실회전축(22)의 구동모터가 정지한 상태에서 제2 중공회전축(21)의 구동모터 및 제1 중공회전축(23)의 구동모터가 회전하여, 제2 중공회전축(21) 및 제1 중공회전축(23)이 같은 회전속도로 같은 회전각도만큼 회전하면, 제1 암부(9)가 본체부(8)에 대해서 신축한다. 즉, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 중실회전축(22)이 정지한 상태에서 제2 중공회전축(21) 및 제1 중공회전축(23)이 같은 회전속도로 같은 회전각도만큼 회전하면, 로보트(1)는 제1 암부(9)의 신축동작을 행한다.
제1 핸드(3)에는 회피부(43, 44)가 형성되어 있기 때문에, 이 신축동작시에는, 제1 핸드(3)는 제1 회동중심부(31) 및 제2 회동중심부(41)과 간섭하지 않고 부드럽게 이동한다. 또, 이 신축동작시에는 제2 핸드(4) 및 제2 암(6)은 공통암(7)에 대한 상대위치를 일정하게 유지한 상태로 공통암(7)과 함께 회동한다. 또한, 제1 암부(9)가 신장하여 주고받음챔버(13) 내 혹은 처리챔버(14) 내에 제1 핸드(3)가 들어가 있는 상태에서는, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 제1 탑재부(18)와 제2 탑재부(19)와의 사이에 구획벽(16)이 배치되어 있다.
마찬가지로, 제1 중공회전축(23)의 구동모터가 정지한 상태에서, 제2 중공회전축(21)의 구동모터 및 중실회전축(22)의 구동모터가 회전하여, 제2 중공회전축(21) 및 중실회전축(22)이 같은 회전속도로 같은 회전각도만큼 회전하면, 제2 암부(10)가 본체부(8)에 대해서 신축한다. 즉, 제1 중공회전축(23)이 정지한 상태에서 제2 중공회전축(21) 및 중실회전축(22)이 같은 회전속도로 같은 회전각도만큼 회전하면, 로보트(1)는 제2 암부(10)의 신축동작을 행한다. 이 신축동작시에는, 제1 핸드(3) 및 제1 암(5)은 공통암(7)에 대한 상대위치를 일정하게 유지한 상태로 공통암(7)과 함께 회동한다.
여기서, 본 형태의 로보트(1)는 조립시 등에서 로보트(1)를 원점복귀상태로 하기 위해(로보트(1)의 원점복귀를 실시하기 위해), 제2 중공회전축(21)에 대한 중실회전축(22)의 상대회동위치를 검출하는 제1 근접센서(도시생략)와, 제2 중공회전축(21)에 대한 제1 중공회전축(23)의 상대회동위치를 검출하는 제2 근접센서(도시생략)를 구비하고 있다. 제1 근접센서는 제1 암부(9)가 수축되었을 때에 온(on) 상태가 되고, 제2 근접센서는 제2 암부(10)가 수축되었을 때에 온 상태가 된다.
본 형태에서는, 제1 근접센서 혹은 제2 근접센서의 한쪽이 온 상태가 되어 있을 때에는 제1 암부(9) 혹은 제2 암부(10)의 한쪽이 신장하고, 다른 쪽이 수축된 적절한 상태이며, 원점복귀가 가능한 상태라고 추정되어, 로보트(1)의 원점복귀가 행해진다. 한편, 제1 근접센서 및 제2 근접센서의 양쪽 모두가 오프(off) 상태가 되어 있을 때에는 제1 암부(9) 및 제2 암부(10) 상태를 파악할 수 없기 때문에, 원점복귀가 불가능한 상태라고 추정되어, 개별조작으로 제1 근접센서 혹은 제2 근접센서의 한쪽이 온 상태가 되도록 하고 나서 원점복귀가 행해진다.
(본 형태의 주된 효과)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태의 로보트(1)는 공통암(7)에 타단 측이 보유지지되는 제1 암(5)의 일단 측에 보유지지되는 제1 핸드(3)와, 공통암(7)에 타단 측이 보유지지되는 제2 암(6)의 일단 측에 보유지지되는 제2 핸드(4)를 구비하고, 로보트(1)의 선회동작시에는 제1 핸드(3)와 제2 핸드(4)가 겹치도록 배치되어 있다. 그 때문에, 로보트(1)의 선회지름(D)을 작게 할 수 있다.
또, 로보트(1)는 각각 2매의 웨이퍼(2)를 탑재하는 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)를 구비하고, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)에는 신축동작시에서의 제1 회동중심부(31) 및 제2 회동중심부(41)와의 간섭을 방지하기 위한 회피부(43, 44)가 형성되어 있다. 그 때문에, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 2매의 웨이퍼(2)를 반송하기 위해서 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가 대형화하는 경우라도, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)를 부드럽게 동작시킬 수 있다. 그 결과, 본 형태에서는 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 2매의 웨이퍼(2)를 적절히 반송할 수 있다.
본 형태에서는, 공통암(7)은 상하방향에서 보았을 때 대략 삼각형 모양으로 형성되고, 제1 회동중심부(31) 및 제2 회동중심부(41)의 각각은 공통암(7)의 다른 각부(7b)의 근방에 배치되어 있다. 그 때문에, 공통암(7)의 강성을 높이면서, 공통암(7)에 대해서 제1 암(5) 및 제2 암(6)을 밸런스 좋게 배치할 수 있다.
본 형태에서는, 원점복귀상태에서는 제1 핸드(3)와 제2 핸드(4)가 근접 대향하고 있다.
그 때문에, 로보트(1)를 박형화할 수 있다.
본 형태에서는, 제1 탑재부(18)와 제2 탑재부(19)는 직교방향(Y)에서 소정의 간격을 둔 상태로 고정부(20)에 고정되어 있다. 그 때문에, 인접하는 2개의 주고받음챔버(13)의 사이 혹은 처리챔버(14)의 사이에 구획벽(16)이 형성되어 있는 경우라도 2개의 주고받음챔버(13) 혹은 처리챔버(14)에 대해서 동시에 또한 적절히 웨이퍼(2)의 반출 혹은 반입을 행할 수 있다.
(다른 실시형태)
상술한 형태는 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지 변형실시가 가능하다.
상술한 형태에서는 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)의 양쪽 모두에 회피부(43, 44)가 형성되어 있다. 이 그 밖에도 예를 들어, 제1 핸드(3)와 제2 회동중심부(41)이 간섭할 우려가 없을 때에는 제1 핸드(3)에는 회피부(44)만 형성되어도 된다. 또, 제1 핸드(3)가 제1 암(5)의 위쪽에 배치되고, 제1 회동중심부(31) 및 제2 회동중심부(41)와 제1 핸드(3)가 간섭할 우려가 없을 때에는 제2 핸드(4)에만 회피부(43, 44)가 형성되어도 된다. 또한, 제2 핸드(4)와 제2 회동중심부(41)가 간섭할 우려가 없을 때에는 제2 핸드(4)에 회피부(44)만이 형성되어도 된다. 이러한 경우에서도 선회지름을 작게 하면서, 1회의 반입동작 혹은 반출동작으로 복수의 웨이퍼(2)를 반송할 수 있다.
상술한 형태에서는, 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)의 각각에 2매의 웨이퍼(2)의 탑재가 가능하게 되어 있다. 이 그 밖에도 예를 들어, 3매 이상의 웨이퍼(2)의 탑재가 가능해지도록 제1 핸드(3) 및 제2 핸드(4)가 구성되어도 된다.
상술한 형태에서는, 공통암(7)은 상하방향에서 본 형상이 대략 삼각형 모양이 되도록 형성되어 있지만, 공통암(7)은 상하방향에서 본 형상이 대략 삼각형 모양 이외의 다각형상이나 'L' 형상이 되도록 형성되어도 된다.
상술한 형태에서는, 로보트(1)는 대기중에서 사용되는 이른바 대기 로보트이지만, 로보트(1)는 진공상태에서 사용되는 이른바 진공 로보트라도 된다. 즉, 본 발명의 구성이 적용되는 로보트는 대기 로보트에 한정되지 않는다. 또, 상술한 형태에서는 로보트(1)에 반송되는 반송대상물은 원반 모양의 웨이퍼(2)이지만, 로보트(1)에 반송되는 반송대상물은 웨이퍼(2) 이외의 원반 모양으로 형성된 기판이라도 되고, 직사각형 모양 등의 다각형상으로 형성된 기판 등이라도 된다.
1 로보트(산업용 로보트)
2 웨이퍼(반송대상물)
3 제1 핸드
4 제2 핸드
5 제1 암
6 제2 암
7 공통암
7b 각부
8 본체부
13 주고받음챔버(수납부)
14 처리챔버(수납부)
18 제1 탑재부
19 제2 탑재부
20 고정부
31 제1 회동중심부
41 제2 회동중심부
43, 44 회피부
X 반송방향
Y 직교방향

Claims (5)

  1. 반송대상물이 수납되는 수납부로부터의 상기 반송대상물의 반출 및 상기 수납부로의 상기 반송대상물의 반입을 행하는 산업용 로보트에 있어서,
    복수의 상기 반송대상물을 탑재하는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드를 일단 측에서 회동(回動)가능하게 보유지지하는 제1 암(arm) 및 상기 제2 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제2 암과, 상기 제1 암의 타단 측 및 상기 제2 암의 타단 측을 회동가능하게 보유지지하는 공통암과, 상기 공통암에 대한 상기 제1 암의 회동중심이 되는 제1 회동중심부 및 상기 공통암에 대한 상기 제2 암의 회동중심이 되는 제2 회동중심부와, 상기 공통암을 회동가능하게 보유지지하는 본체부를 구비하고,
    상기 본체부에 대해서 상기 제1 암 및 상기 제2 암이 수축된 상태가 되는 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 대기상태에서 상기 제1 핸드와 상기 제2 핸드는 겹치도록 배치됨과 동시에,
    상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드에는 회동시에서의 상기 제1 회동중심부 및 상기 제2 회동중심부와의 간섭을 방지하기 위한 회피부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 공통암은 상기 공통암에 대한 상기 제1 암 또는 상기 제2 암의 회동중심의 축방향에서 보았을 때 대략 삼각형 모양으로 형성되고,
    상기 제1 회동중심부 및 상기 제2 회동중심부의 각각은 상기 공통암의 다른 각부(角部)의 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 제1 핸드와 상기 제2 핸드는 상기 대기상태에서 근접 대향하고 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  4. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드는 상기 반송대상물을 1매씩 탑재하기 위한 제1 탑재부 및 제2 탑재부와, 상기 제1 탑재부의 기단(基端) 측 및 상기 제2 탑재부의 기단 측이 고정되는 고정부를 구비하고,
    상기 제1 탑재부와 상기 제2 탑재부는 상기 반송대상물의 반송방향에 직교하는 직교방향으로 소정의 간격을 둔 상태에서 상기 고정부에 고정되며, 상기 직교방향에서의 상기 제1 탑재부 및 상기 제2 탑재부의 외측에 상기 회피부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
  5. 반송대상물이 수납되는 수납부로부터의 상기 반송대상물의 반출 및 상기 수납부로의 상기 반송대상물의 반입을 행하는 산업용 로보트에 있어서,
    복수의 상기 반송대상물을 탑재하는 제1 핸드 및 제2 핸드와, 상기 제1 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제1 암 및 상기 제2 핸드를 일단 측에서 회동가능하게 보유지지하는 제2 암과, 상기 제1 암의 타단 측 및 상기 제2 암의 타단 측을 회동가능하게 보유지지하는 공통암과, 상기 공통암에 대한 상기 제1 암의 회동중심이 되는 제1 회동중심부 및 상기 공통암에 대한 상기 제2 암의 회동중심이 되는 제2 회동중심부와, 상기 공통암을 회동가능하게 보유지지하는 본체부를 구비하고,
    상기 본체부에 대해서 상기 제1 암 및 상기 제2 암이 수축된 상태가 되는 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 대기상태에서 상기 제1 핸드와 상기 제2 핸드는 상측으로부터 이 순서로 겹치도록 배치됨과 동시에,
    상기 제2 핸드에는 회동시에서의 상기 제1 회동중심부와의 간섭을 방지하기 위한 회피부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
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