JPH10163296A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH10163296A JPH10163296A JP33291396A JP33291396A JPH10163296A JP H10163296 A JPH10163296 A JP H10163296A JP 33291396 A JP33291396 A JP 33291396A JP 33291396 A JP33291396 A JP 33291396A JP H10163296 A JPH10163296 A JP H10163296A
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- Japan
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- arm
- support shaft
- arm support
- motor
- pulley
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アーム構造のコンパクト化と軽量化を図って
伸縮動作時の横ゆれや、アームだれに対する性能向上
と、旋回時の旋回半径を小さくして旋回動作占有面積を
小さく、しかも伸縮動作時の基板搬送距離を大きくする
と共に、真空中での使用に於いては長寿命と価格低減に
寄与できる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 モーターにより回転される立設した支軸
上面に平面視でく字状に形成した第１アームを取付け、
且つ該第１アームの両端部に対し前記モータとは別設モ
ーターで駆動されるものとなした第２アーム支軸を配設
すると共に、各第２アーム支軸には初めの待期状態でく
字状の第１アームと対称形状をなす長さ寸法になした第
２アーム及び第３アームの片端を取付けるほか、各アー
ム他端には第２アーム支軸から一定比率で回動される第
３アーム支軸を相互が衝突しないよう一定の段差を上下
間に持たせて重なり合う状態に取付けしめ、該各軸に対
して基板把持部を配設したことを特徴とする。
伸縮動作時の横ゆれや、アームだれに対する性能向上
と、旋回時の旋回半径を小さくして旋回動作占有面積を
小さく、しかも伸縮動作時の基板搬送距離を大きくする
と共に、真空中での使用に於いては長寿命と価格低減に
寄与できる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 モーターにより回転される立設した支軸
上面に平面視でく字状に形成した第１アームを取付け、
且つ該第１アームの両端部に対し前記モータとは別設モ
ーターで駆動されるものとなした第２アーム支軸を配設
すると共に、各第２アーム支軸には初めの待期状態でく
字状の第１アームと対称形状をなす長さ寸法になした第
２アーム及び第３アームの片端を取付けるほか、各アー
ム他端には第２アーム支軸から一定比率で回動される第
３アーム支軸を相互が衝突しないよう一定の段差を上下
間に持たせて重なり合う状態に取付けしめ、該各軸に対
して基板把持部を配設したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハや液晶
ガラス基板、或はプラズマディスプレイ基板等の基板搬
送装置に関する。
ガラス基板、或はプラズマディスプレイ基板等の基板搬
送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハや液晶ガラス基板或はプラ
ズマディスプレイ基板等の基板は、通常基板が複数枚入
ったカセットから処理装置や検査装置に未処理基板を搬
入して、処理済み基板を処理装置や検査装置から搬出し
てカセットに搬入する動作を繰り返すことにより処理し
ている。
ズマディスプレイ基板等の基板は、通常基板が複数枚入
ったカセットから処理装置や検査装置に未処理基板を搬
入して、処理済み基板を処理装置や検査装置から搬出し
てカセットに搬入する動作を繰り返すことにより処理し
ている。
【０００３】以上のように処理装置や検査装置から処理
済み基板と未処理基板を短時間に交換して生産性向上を
目指した基板搬送装置には特公平４−３０４４７号で示
されるものや特公平８−２７４４０号の図２で示す如き
基板保持部を２個備えた構造のものがある。
済み基板と未処理基板を短時間に交換して生産性向上を
目指した基板搬送装置には特公平４−３０４４７号で示
されるものや特公平８−２７４４０号の図２で示す如き
基板保持部を２個備えた構造のものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来に於け
る基板保持部を２個備えた基板搬送装置は、第１アーム
支軸が旋回部支軸に対して対称に２個外側に配設した構
造となっている。従って、夫々れの基板保持部が第１ア
ーム、第２アームの屈曲動作により伸縮動作する時の上
面から見た軌跡は旋回部支軸に対して対称に外側を通る
ことになる。
る基板保持部を２個備えた基板搬送装置は、第１アーム
支軸が旋回部支軸に対して対称に２個外側に配設した構
造となっている。従って、夫々れの基板保持部が第１ア
ーム、第２アームの屈曲動作により伸縮動作する時の上
面から見た軌跡は旋回部支軸に対して対称に外側を通る
ことになる。
【０００５】しかし、基板の搬送はどちらの基板、即ち
基板保持部とも上面から見て旋回部支軸上の同じ軌跡を
通らなければ処理装置の同じ位置での基板交換ができな
いため、コ字状の第３アームを片方に配設すると共に、
基板が旋回部支軸上を通るように基板保持部が第３アー
ムを変形した構成となっている。
基板保持部とも上面から見て旋回部支軸上の同じ軌跡を
通らなければ処理装置の同じ位置での基板交換ができな
いため、コ字状の第３アームを片方に配設すると共に、
基板が旋回部支軸上を通るように基板保持部が第３アー
ムを変形した構成となっている。
【０００６】これらの構成を第３アームに配設すること
はアームの先端部分の重量が増加して伸縮動作時の横ゆ
れ及びアームだれの原因をなすのであり、又旋回時に第
１アーム支軸が旋回部支軸に対して外側にあり、伸縮動
作による基板搬送距離を長くするため第１アーム及び第
２アームの軸間を長くすると旋回半径が大きくなり、旋
回時に必要な旋回動作占有面積も大きくなった。
はアームの先端部分の重量が増加して伸縮動作時の横ゆ
れ及びアームだれの原因をなすのであり、又旋回時に第
１アーム支軸が旋回部支軸に対して外側にあり、伸縮動
作による基板搬送距離を長くするため第１アーム及び第
２アームの軸間を長くすると旋回半径が大きくなり、旋
回時に必要な旋回動作占有面積も大きくなった。
【０００７】又、上記基板搬送装置を真空中で使用する
ためには、大気と真空を遮断するため２個の第１アーム
支軸と旋回部を磁性流体シールや通常のオイルシール又
はＯリング等の密封手段を設けるが、旋回部内へ２個の
第１アーム支軸の密封構造が入るため、旋回部密封位置
の半径が大きくなり、旋回動作時に密封位置での周速が
早くなるため密封部の寿命を短くしていた。又、旋回部
密封位置の半径が大きいため密封構成部品の必要加工精
度も高く要求され、価格上昇の主原因となっていた。
ためには、大気と真空を遮断するため２個の第１アーム
支軸と旋回部を磁性流体シールや通常のオイルシール又
はＯリング等の密封手段を設けるが、旋回部内へ２個の
第１アーム支軸の密封構造が入るため、旋回部密封位置
の半径が大きくなり、旋回動作時に密封位置での周速が
早くなるため密封部の寿命を短くしていた。又、旋回部
密封位置の半径が大きいため密封構成部品の必要加工精
度も高く要求され、価格上昇の主原因となっていた。
【０００８】そこで、本発明の課題はアーム構造のコン
パクト化と軽量化を図って伸縮動作時の横ゆれや、アー
ムだれに対する性能向上と、旋回時の旋回半径を小さく
して旋回動作占有面積を小さく、しかも伸縮動作時の基
板搬送距離を大きくすると共に、真空中での使用に於い
ては長寿命と価格低減に寄与できる基板搬送装置を提供
することにある。
パクト化と軽量化を図って伸縮動作時の横ゆれや、アー
ムだれに対する性能向上と、旋回時の旋回半径を小さく
して旋回動作占有面積を小さく、しかも伸縮動作時の基
板搬送距離を大きくすると共に、真空中での使用に於い
ては長寿命と価格低減に寄与できる基板搬送装置を提供
することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、モーターによ
り回転される立設した支軸上面に平面視でく字状に形成
した第１アームを取付け、且つ該第１アームの両端部に
対し前記モータとは別設モーターで駆動されるものとな
した第２アーム支軸を配設すると共に、各第２アーム支
軸には初めの待期状態でく字状の第１アームと対称形状
をなす長さ寸法になした第２アーム及び第３アームの片
端を取付けるほか、各アーム他端には第２アーム支軸か
ら一定比率で回動される第３アーム支軸を相互が衝突し
ないよう一定の段差を上下間に持たせて重なり合う状態
に取付けしめ、該各軸に対して基板把持部を配設したこ
とを特徴とする。
り回転される立設した支軸上面に平面視でく字状に形成
した第１アームを取付け、且つ該第１アームの両端部に
対し前記モータとは別設モーターで駆動されるものとな
した第２アーム支軸を配設すると共に、各第２アーム支
軸には初めの待期状態でく字状の第１アームと対称形状
をなす長さ寸法になした第２アーム及び第３アームの片
端を取付けるほか、各アーム他端には第２アーム支軸か
ら一定比率で回動される第３アーム支軸を相互が衝突し
ないよう一定の段差を上下間に持たせて重なり合う状態
に取付けしめ、該各軸に対して基板把持部を配設したこ
とを特徴とする。
【００１０】このさい、第１支軸を中心として、その外
方に第２アームの各支軸を同心円状に配設したり（この
逆構成であっても差支えない）、第１アーム支軸上端に
平面視でく字状に形成した第１アームの両端部に対し、
別設モーターで駆動されるものとした第２アーム及び第
３アーム支軸を含む３軸を同心円状に配設したり、又各
回転軸間に磁性流体シールを介在させたりする。また、
第１アーム支軸上端に対して平面視でく字状に形成した
第１アームを取付け、該第１アームの両端部に対し第２
アーム及び第３アームを回動させる支軸及びモーターを
取付けたりすることができる。
方に第２アームの各支軸を同心円状に配設したり（この
逆構成であっても差支えない）、第１アーム支軸上端に
平面視でく字状に形成した第１アームの両端部に対し、
別設モーターで駆動されるものとした第２アーム及び第
３アーム支軸を含む３軸を同心円状に配設したり、又各
回転軸間に磁性流体シールを介在させたりする。また、
第１アーム支軸上端に対して平面視でく字状に形成した
第１アームを取付け、該第１アームの両端部に対し第２
アーム及び第３アームを回動させる支軸及びモーターを
取付けたりすることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は本発明装置の斜視図、図２
は内部構造図、図３は断面説明図である。３４は本発明
装置の駆動箱であって、フランジ３５を介して基台３６
に取付けられる。３１は駆動箱内の底板に固定された支
持台で減速機３２とモーター３３を支承してなる。
は内部構造図、図３は断面説明図である。３４は本発明
装置の駆動箱であって、フランジ３５を介して基台３６
に取付けられる。３１は駆動箱内の底板に固定された支
持台で減速機３２とモーター３３を支承してなる。
【００１２】１５は第１アーム支軸であって前記モータ
ー３３の回転を減速機３２を介して回転させ、その上端
に取付けた第１アーム１１を回動可能ならしめる。この
さい、第１アーム支軸１５には駆動箱３４内で棚板２４
が取付けられて第１アーム１１と同じように回動するよ
うなされている。
ー３３の回転を減速機３２を介して回転させ、その上端
に取付けた第１アーム１１を回動可能ならしめる。この
さい、第１アーム支軸１５には駆動箱３４内で棚板２４
が取付けられて第１アーム１１と同じように回動するよ
うなされている。
【００１３】第２アーム６ａの回動は棚板２４に取付け
られた減速機２２をモーター２３により回転させ、減速
機２２の出力軸２１に接続させたプーリー２０を回転さ
せ、その回転をタイミングベルト１９、プーリー１８に
より同心円状に構成した支軸１６を回転させる。このさ
い、プーリー２０とプーリー１８の回転比は１：１とな
してある。
られた減速機２２をモーター２３により回転させ、減速
機２２の出力軸２１に接続させたプーリー２０を回転さ
せ、その回転をタイミングベルト１９、プーリー１８に
より同心円状に構成した支軸１６を回転させる。このさ
い、プーリー２０とプーリー１８の回転比は１：１とな
してある。
【００１４】しかして、支軸１６の上端に接続されたプ
ーリー１４ａはタイミングベルト１３ａ、プーリー１２
ａを回転させると共にプーリー１２ａに接続された第２
アーム支軸９ａを回転させ、且つ該軸に固定した第２ア
ーム６ａを回動せしめる。このさい、プーリー１４ａと
プーリー１２ａの回転比は１：２となしてある。
ーリー１４ａはタイミングベルト１３ａ、プーリー１２
ａを回転させると共にプーリー１２ａに接続された第２
アーム支軸９ａを回転させ、且つ該軸に固定した第２ア
ーム６ａを回動せしめる。このさい、プーリー１４ａと
プーリー１２ａの回転比は１：２となしてある。
【００１５】第３アーム３ａの回動は第１アーム１１に
接続された支持筒１０ａとそれに固定されたプーリー８
ａにタイミングベルト７ａを介しプーリー５ａを回転さ
せ、それに接続させた第３アーム支軸４ａを介して回動
させる。このさい、プーリー８ａとプーリー５ａの回転
比は２：１となしてある。
接続された支持筒１０ａとそれに固定されたプーリー８
ａにタイミングベルト７ａを介しプーリー５ａを回転さ
せ、それに接続させた第３アーム支軸４ａを介して回動
させる。このさい、プーリー８ａとプーリー５ａの回転
比は２：１となしてある。
【００１６】他方、第３アーム３ｂの回動は棚板２４に
取付けられた減速機２９をモーター３０により回転さ
せ、減速機２９の出力軸２８に接続させたプーリー２７
を回転させ、その回転をタイミングベルト２６、プーリ
ー２５により同心円状に構成した支軸１７を回転させ
る。このさい、プーリー２７とプーリー２５の回転比は
１：１となしてある。
取付けられた減速機２９をモーター３０により回転さ
せ、減速機２９の出力軸２８に接続させたプーリー２７
を回転させ、その回転をタイミングベルト２６、プーリ
ー２５により同心円状に構成した支軸１７を回転させ
る。このさい、プーリー２７とプーリー２５の回転比は
１：１となしてある。
【００１７】しかして、支軸１７の上端に接続されたプ
ーリー１４ｂはタイミングベルト１３ｂ、プーリー１２
ｂを回転させると共に、プーリー１２ｂに接続された第
２アーム支軸９ｂを回転させ、且つ該軸に固定した第２
アーム６ｂを回動せしめる。このさい、プーリー１４ｂ
と１２ｂの回転比は１：２となしてある。
ーリー１４ｂはタイミングベルト１３ｂ、プーリー１２
ｂを回転させると共に、プーリー１２ｂに接続された第
２アーム支軸９ｂを回転させ、且つ該軸に固定した第２
アーム６ｂを回動せしめる。このさい、プーリー１４ｂ
と１２ｂの回転比は１：２となしてある。
【００１８】第３アーム３ｂの回動は第１アーム１１に
接続された支持筒１０ｂに固定されたプーリー８ｂに対
しタイミングベルト７ｂを介しプーリー５ｂを回転さ
せ、そのさいこれに接続させた第３アーム支軸４ｂを介
して回動させるのである。このさい、プーリー８ｂとプ
ーリー５ｂの回転比は２：１となしてある。
接続された支持筒１０ｂに固定されたプーリー８ｂに対
しタイミングベルト７ｂを介しプーリー５ｂを回転さ
せ、そのさいこれに接続させた第３アーム支軸４ｂを介
して回動させるのである。このさい、プーリー８ｂとプ
ーリー５ｂの回転比は２：１となしてある。
【００１９】本発明装置は以上の如き構成であって、以
下に動作説明を図４、図５及び図６によって行う。図４
は待期位置を示しており、各支軸間を結ぶ角度即ち第２
アーム支軸９ａと第１アーム支軸１５及び第２アーム支
軸９ｂとを結ぶ角度θは１２０゜となしてあり、また同
様に第２アーム支軸９ａと第３アーム支軸４ａと４ｂ及
び第２アーム支軸９ｂを結ぶ角度も前者と対称の１２０
゜となるように第２アーム６ａと第２アーム６ｂの長さ
寸法を設定してある。このさいの角度ｓは本発明者の種
々の実験結果から１００゜〜１４０゜の範囲で選定する
ものとする。
下に動作説明を図４、図５及び図６によって行う。図４
は待期位置を示しており、各支軸間を結ぶ角度即ち第２
アーム支軸９ａと第１アーム支軸１５及び第２アーム支
軸９ｂとを結ぶ角度θは１２０゜となしてあり、また同
様に第２アーム支軸９ａと第３アーム支軸４ａと４ｂ及
び第２アーム支軸９ｂを結ぶ角度も前者と対称の１２０
゜となるように第２アーム６ａと第２アーム６ｂの長さ
寸法を設定してある。このさいの角度ｓは本発明者の種
々の実験結果から１００゜〜１４０゜の範囲で選定する
ものとする。
【００２０】以上により第１アーム支軸１５からの第２
アーム支軸９ａ及び９ｂまでの距離と、且つこれら支軸
９ａ，９ｂから第３アーム支軸４ａ，４ｂまでの距離は
全て等しくなる。従って、この待期位置で旋回すること
により旋回半径を最小にすることができる。
アーム支軸９ａ及び９ｂまでの距離と、且つこれら支軸
９ａ，９ｂから第３アーム支軸４ａ，４ｂまでの距離は
全て等しくなる。従って、この待期位置で旋回すること
により旋回半径を最小にすることができる。
【００２１】上記の状態から基板保持部２ａを伸縮動作
するさいの各アームの動きは図５Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに示す
通りである。また、この時のアーム角度説明は図６Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄで示す如くなる。即ち、図６Ａの待期位置よ
りＢに変化した時を見ると、第１アーム１１がθ度回動
した時、第２アーム６ａは第１アーム１１に対して２θ
度回動し、第３アーム３ａは第２アーム６ａに対してθ
度回動している。以下同様にしてＢからＣ、ＣからＤへ
と同じ角度比率で変化することにより、基板保持部２ａ
が第１アーム支軸１５を通る直線で伸縮動作するのであ
る。
するさいの各アームの動きは図５Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに示す
通りである。また、この時のアーム角度説明は図６Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄで示す如くなる。即ち、図６Ａの待期位置よ
りＢに変化した時を見ると、第１アーム１１がθ度回動
した時、第２アーム６ａは第１アーム１１に対して２θ
度回動し、第３アーム３ａは第２アーム６ａに対してθ
度回動している。以下同様にしてＢからＣ、ＣからＤへ
と同じ角度比率で変化することにより、基板保持部２ａ
が第１アーム支軸１５を通る直線で伸縮動作するのであ
る。
【００２２】図５Ａ，Ｅ，Ｆ，Ｇは基板保持部２ｂを伸
縮動作するさいの各アームの動きを示すものである。
縮動作するさいの各アームの動きを示すものである。
【００２３】図５Ａ，Ｈ，Ｉ，Ｊ，は基板保持部２ａ，
２ｂを共に右回動させるさいの状態図であって、モータ
ー３０の右回転駆動により行われる。
２ｂを共に右回動させるさいの状態図であって、モータ
ー３０の右回転駆動により行われる。
【００２４】図５Ａ，Ｋ，Ｌ，Ｍは基板保持部２ａ，２
ｂを共に左回動させるさいの状態図であって、モーター
３０左回転駆動により行われる。
ｂを共に左回動させるさいの状態図であって、モーター
３０左回転駆動により行われる。
【００２５】次に基板保持部２ａが伸縮動作により伸び
る状態例を図２及び図３により説明する。減速機３２の
出力軸に接続された第１アーム支軸１５をモーター３３
の回転により右回転させると同時に、減速機２２の出力
軸に接続されたプーリー２０を同速度で左回転させるべ
くモーター２３を回転させる。
る状態例を図２及び図３により説明する。減速機３２の
出力軸に接続された第１アーム支軸１５をモーター３３
の回転により右回転させると同時に、減速機２２の出力
軸に接続されたプーリー２０を同速度で左回転させるべ
くモーター２３を回転させる。
【００２６】以上により、第１アーム１１が右回転する
と同時に棚板２４も右回転し、その上に固定された減速
機２９及びプーリー２７はモーター３０が停止している
ため第１アーム支軸１５を中心に同速度で第１アーム支
軸１５と共に回転する。しかして、支軸１７と第１アー
ム支軸１５は同速度で右回転するため、第２アーム６ｂ
及び第３アーム３ｂは伸縮動作はしなくて第１アーム１
１と共に旋回する。
と同時に棚板２４も右回転し、その上に固定された減速
機２９及びプーリー２７はモーター３０が停止している
ため第１アーム支軸１５を中心に同速度で第１アーム支
軸１５と共に回転する。しかして、支軸１７と第１アー
ム支軸１５は同速度で右回転するため、第２アーム６ｂ
及び第３アーム３ｂは伸縮動作はしなくて第１アーム１
１と共に旋回する。
【００２７】他方、プーリー２０にタイミングベルト１
９を介して接続されたプーリー１８により支軸１６及び
プーリー１４ａは支軸１５の回転と逆方向で同速度のた
め、基台３６やフランジ３５や筺体３４に対して停止し
た状態となる。従って、第１アーム１１の回動によりプ
ーリー１４ａと回転比１：２で接続されたプーリー１２
ａは第１アーム１１の角速度に対して２倍の角度で逆方
向に回転する。そしてプーリー１２ａに接続された第２
アーム支軸９ａを介して第２アーム６ａを第１アーム１
１の２倍の角速度で回動させる。
９を介して接続されたプーリー１８により支軸１６及び
プーリー１４ａは支軸１５の回転と逆方向で同速度のた
め、基台３６やフランジ３５や筺体３４に対して停止し
た状態となる。従って、第１アーム１１の回動によりプ
ーリー１４ａと回転比１：２で接続されたプーリー１２
ａは第１アーム１１の角速度に対して２倍の角度で逆方
向に回転する。そしてプーリー１２ａに接続された第２
アーム支軸９ａを介して第２アーム６ａを第１アーム１
１の２倍の角速度で回動させる。
【００２８】次に第３アーム３ａは第１アーム１１に固
定された支軸筒１０ａを介しプーリー８ａとプーリー５
ａとがタイミングベルト７ａを介し２：１の回転比で接
続されているため、第２アーム６ａの回動に対して１／
２の角速度で逆方向へ回動されるものとなる。
定された支軸筒１０ａを介しプーリー８ａとプーリー５
ａとがタイミングベルト７ａを介し２：１の回転比で接
続されているため、第２アーム６ａの回動に対して１／
２の角速度で逆方向へ回動されるものとなる。
【００２９】以上により、基板保持部２ａは図５Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄで示す通り外側へ向けて伸出動作するものと
なる。これに対し、縮める方向に動作させるにはモータ
ー３３及びモーター２３を前述の逆方向へ回転駆動させ
れば良い。
Ｂ，Ｃ，Ｄで示す通り外側へ向けて伸出動作するものと
なる。これに対し、縮める方向に動作させるにはモータ
ー３３及びモーター２３を前述の逆方向へ回転駆動させ
れば良い。
【００３０】上記は基板保持部２ａの伸縮動作について
説明したが、基板保持部２ｂの伸縮動作はモーター３０
とモーター３３の駆動により前述と同様に動作できるも
のとなる。なお、上記は基板保持部２ａ，２ｂを図５の
待期位置としたＡに於ける伸縮動作を説明するものであ
るが、基板保持部２ａ，２ｂの伸縮方向を変えた即ち図
５のＨ，Ｉ，Ｊ或はＫ，Ｌ，Ｍ等の位置に於ける旋回動
作ではモーター２３及び３０を停止した状態で、単にモ
ーター３３を右回転或は左回転させることによってその
適当位置で前記同様の伸縮動作を行わしめることにより
動作させることのできるものとなる。
説明したが、基板保持部２ｂの伸縮動作はモーター３０
とモーター３３の駆動により前述と同様に動作できるも
のとなる。なお、上記は基板保持部２ａ，２ｂを図５の
待期位置としたＡに於ける伸縮動作を説明するものであ
るが、基板保持部２ａ，２ｂの伸縮方向を変えた即ち図
５のＨ，Ｉ，Ｊ或はＫ，Ｌ，Ｍ等の位置に於ける旋回動
作ではモーター２３及び３０を停止した状態で、単にモ
ーター３３を右回転或は左回転させることによってその
適当位置で前記同様の伸縮動作を行わしめることにより
動作させることのできるものとなる。
【００３１】上記実施例ではプーリーとタイミングベル
トにより第１アーム１１の回動に対して第２アーム６ａ
及び第３アーム６ｂの回動角度を変えて伸縮動作を直線
上で行えるようになしたが、図７に示す通り同心円状の
支軸１５，１６，１７の３軸に対し第１アーム１１と平
行リンク３９ａ，３９ｂ、４０ａ，４０ｂ，４１ａ，４
１ｂ及び減速比１：１のギヤー３７ａ，３８ａ及び３７
ｂ，３８ｂの構成で同様に実施することができる。この
他にもプーリーと、ワイヤーなどの使用で同様に実施す
ることが可能である。
トにより第１アーム１１の回動に対して第２アーム６ａ
及び第３アーム６ｂの回動角度を変えて伸縮動作を直線
上で行えるようになしたが、図７に示す通り同心円状の
支軸１５，１６，１７の３軸に対し第１アーム１１と平
行リンク３９ａ，３９ｂ、４０ａ，４０ｂ，４１ａ，４
１ｂ及び減速比１：１のギヤー３７ａ，３８ａ及び３７
ｂ，３８ｂの構成で同様に実施することができる。この
他にもプーリーと、ワイヤーなどの使用で同様に実施す
ることが可能である。
【００３２】図８は同心円状に構成した３軸の支軸に磁
性流体シール４２を配設して構成したものであり、動作
説明は前述の通りである。なお、図３と本図（図８）を
含めて本発明では同心円状に構成する３軸を、第１支軸
が内方でその外方へ第２支軸１６，１７を配設したもの
で示したが、これらを逆に即ち第２支軸１６，１７を内
方とした外方へ第１支軸１５が配設される構成とするこ
とも差支えないのである。
性流体シール４２を配設して構成したものであり、動作
説明は前述の通りである。なお、図３と本図（図８）を
含めて本発明では同心円状に構成する３軸を、第１支軸
が内方でその外方へ第２支軸１６，１７を配設したもの
で示したが、これらを逆に即ち第２支軸１６，１７を内
方とした外方へ第１支軸１５が配設される構成とするこ
とも差支えないのである。
【００３３】図９は上記例と異なる他の例を示す斜視図
であり、図１０は断面説明図である。図９のものは待期
位置を示しており、この状態から図５Ｂ，Ｃ，Ｄの如く
第３アーム３ａを伸縮動作により伸ばす動作を説明する
と、次の如くなる。
であり、図１０は断面説明図である。図９のものは待期
位置を示しており、この状態から図５Ｂ，Ｃ，Ｄの如く
第３アーム３ａを伸縮動作により伸ばす動作を説明する
と、次の如くなる。
【００３４】支持台３１に取付けた減速機３２をモータ
ー３３の回動で減速機出力軸に接続した第１アーム支軸
１５を介し第１アーム１１を回動させるのであり、今第
１アーム１１が右回転すると同時にその２倍の速度で第
２アーム支軸９ａを左回転させると図６のアーム角度説
明図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各動作が行われるものとなる。
ー３３の回動で減速機出力軸に接続した第１アーム支軸
１５を介し第１アーム１１を回動させるのであり、今第
１アーム１１が右回転すると同時にその２倍の速度で第
２アーム支軸９ａを左回転させると図６のアーム角度説
明図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各動作が行われるものとなる。
【００３５】第２アーム支軸９ａは減速機４３ａをモー
ター４４ａで回転させることにより回動するのであり、
このさい減速機４３ａと減速機３２の減速比が同じなら
モーター３３の回転に対してモーター４４ａを２倍の速
度でモーター３３の逆方向へ回転させれば良く、又減速
機４３ａと減速機３２の減速比を１：２にしておけば、
モーター３３の回転に対してモーター４４ａは同速で逆
回転すれば良い。
ター４４ａで回転させることにより回動するのであり、
このさい減速機４３ａと減速機３２の減速比が同じなら
モーター３３の回転に対してモーター４４ａを２倍の速
度でモーター３３の逆方向へ回転させれば良く、又減速
機４３ａと減速機３２の減速比を１：２にしておけば、
モーター３３の回転に対してモーター４４ａは同速で逆
回転すれば良い。
【００３６】第２アーム６ｂに接続された第２アーム支
軸９ｂはモーター４４ｂを停止しておけば、減速機４３
ｂの出力も回動しないため、第１アーム１１と共に伸縮
動作なしに回動するものとなる。なお、旋回する時は、
モーター４４ａとモーター４４ｂを停止した状態でモー
ター３３を回転すれば良い。
軸９ｂはモーター４４ｂを停止しておけば、減速機４３
ｂの出力も回動しないため、第１アーム１１と共に伸縮
動作なしに回動するものとなる。なお、旋回する時は、
モーター４４ａとモーター４４ｂを停止した状態でモー
ター３３を回転すれば良い。
【００３７】
【発明の効果】本発明は以上の通り構成するものであっ
て、２個の基板保持部の旋回半径を小さくして且つ大き
な搬送距離を実現できるものとなるため、今後ますます
大形サイズとなる半導体ウエハ基板やフラットパネルデ
ィスプレイ基板などの製造装置に使用するさいに於い
て、装置全体のコンパクト化と小型化に寄与すること大
ならしめるものとなる。そして又、同心円状に配設した
３個の支軸を回転することにより基板搬送装置全体の動
作ができるため、真空用の基板搬送装置に本発明を採用
して容易に高性能で、しかも低価格の真空搬送装置を構
成することができるものとなる。
て、２個の基板保持部の旋回半径を小さくして且つ大き
な搬送距離を実現できるものとなるため、今後ますます
大形サイズとなる半導体ウエハ基板やフラットパネルデ
ィスプレイ基板などの製造装置に使用するさいに於い
て、装置全体のコンパクト化と小型化に寄与すること大
ならしめるものとなる。そして又、同心円状に配設した
３個の支軸を回転することにより基板搬送装置全体の動
作ができるため、真空用の基板搬送装置に本発明を採用
して容易に高性能で、しかも低価格の真空搬送装置を構
成することができるものとなる。
【図１】本発明装置の斜視図である。
【図２】本発明装置の内部構造図である。
【図３】本発明装置の断面説明図である。
【図４】基板保持部の使用時に於ける待期位置を示す平
面視図である。
面視図である。
【図５】基板保持部の動作説明図である。
【図６】基板保持部の伸縮動作のアーム角度説明図であ
る。
る。
【図７】第２アーム及び第３アームの回動平行リンク機
構で行う例を示す説明図である。
構で行う例を示す説明図である。
【図８】磁性流体シール例を示す断面説明図である。
【図９】他の例を示す斜視図である。
【図１０】図９の断面説明図である。
１ａ，１ｂ 基板 ２ａ，２ｂ 基板把持部 ３ａ，３ｂ 第３アーム ４ａ，４ｂ 第３アーム支軸 ５ａ，５ｂ プーリー ６ａ，６ｂ 第２アーム ７ａ，７ｂ タイミングベルト ８ａ，８ｂ プーリー ９ａ，９ｂ 第２アーム支軸 １０ａ，１０ｂ 支持筒 １１ 第１アーム １２ａ，１２ｂ プーリー １３ａ，１３ｂ タイミングベルト １４ａ，１４ｂ プーリー １５ 第１アーム支軸 １６ 第２アーム支軸 １７ 第３アーム支軸 １８ プーリー １９ タイミングベルト ２０ プーリー ２１ 出力軸 ２２ 減速機 ２３ モーター ２４ 棚板 ２５ プーリー ２６ タイミングベルト ２７ プーリー ２８ 出力軸 ２９ 減速機 ３０ モーター ３１ 支持台 ３２ 減速機 ３３ モーター ３４ 駆動箱 ３５ フランジ ３６ 基台 ３７ａ，３７ｂ ギヤ ３８ａ，３８ｂ ギヤ ３９ａ，３９ｂ 平行リンク ４０ａ，４０ｂ 平行リンク ４１ａ，４１ｂ 平行リンク ４２ 磁性流体シール ４３ａ，４３ｂ 減速機 ４４ａ，４４ｂ モーター
Claims (6)
- 【請求項１】 モーターにより回転される立設した支軸
上面に平面視でく字状に形成した第１アームを取付け、
且つ該第１アームの両端部に対し前記モータとは別設モ
ーターで駆動されるものとなした第２アーム支軸を配設
すると共に、各第２アーム支軸には初めの待期状態でく
字状の第１アームと対称形状をなす長さ寸法になした第
２アーム及び第３アームの片端を取付けるほか、各アー
ム他端には第２アーム支軸から一定比率で回動される第
３アーム支軸を相互が衝突しないよう一定の段差を上下
間に持たせて重なり合う状態に取付けしめ、該各軸に対
して基板把持部を配設したことを特徴とする基板搬送装
置。 - 【請求項２】 第１アームの支軸を内方となし、その外
方に第２アームの各支軸を同心円状に配設したことを特
徴とする請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 第２アームの各支軸を内方となし、その
外方に第１アームの支軸を同心円状に配設したことを特
徴とする請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項４】 第１アーム支軸上端に平面視でく字状に
形成した第１アームの両端部に対し、別設モーターで駆
動されるものとした第２アーム支軸を含む３軸を同心円
状に配設し、且つ各回転軸間に磁性流体シールを介在さ
せたことを特徴とする請求項２又は３記載の基板搬送装
置。 - 【請求項５】 第１アーム支軸上端に平面視でく字状に
形成した第１アームを取付け、該第１アームの両端部に
対し第２アームを回動させる支軸及びモーターを取付け
たことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。 - 【請求項６】 く字状に形成した第１アームの屈折角ｓ
が１００゜〜１４０゜となされていることを特徴とした
請求項１から５記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33291396A JPH10163296A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33291396A JPH10163296A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10163296A true JPH10163296A (ja) | 1998-06-19 |
Family
ID=18260210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33291396A Pending JPH10163296A (ja) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10163296A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002172571A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
| JP2002172572A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ダブルアームおよびそれを備えたロボット |
| WO2005008769A1 (ja) | 2003-07-16 | 2005-01-27 | Tokyo Electron Limited | 搬送装置及び駆動機構 |
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| US8376685B2 (en) | 2004-06-09 | 2013-02-19 | Brooks Automation, Inc. | Dual scara arm |
| JP2013541843A (ja) * | 2010-09-15 | 2013-11-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 高さが低い双アーム真空ロボット |
| US8882430B2 (en) | 2007-08-31 | 2014-11-11 | Nidec Sankyo Corporation | Industrial robot |
| KR20160007420A (ko) * | 2014-07-10 | 2016-01-20 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
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| KR20160127659A (ko) * | 2015-04-27 | 2016-11-04 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 및 제조 시스템 |
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| KR102272535B1 (ko) * | 2020-12-14 | 2021-07-05 | (주)볼타오토메이션 | 반송로봇용 듀얼타입의 반송암모듈 |
-
1996
- 1996-11-27 JP JP33291396A patent/JPH10163296A/ja active Pending
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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