JPH10329059A - ２アーム方式の搬送用ロボット装置 - Google Patents
２アーム方式の搬送用ロボット装置Info
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- JPH10329059A JPH10329059A JP9157570A JP15757097A JPH10329059A JP H10329059 A JPH10329059 A JP H10329059A JP 9157570 A JP9157570 A JP 9157570A JP 15757097 A JP15757097 A JP 15757097A JP H10329059 A JPH10329059 A JP H10329059A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
- B25J9/107—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20329—Joint between elements
- Y10T74/20335—Wrist
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトで使い勝手が良く、かつ安価で
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置を提
供すること。 【解決手段】 固定の枠体に同軸に支持された第１乃至
第４の回転軸が、固定の枠体に取付けられた、第１乃至
第４の回転駆動機に連結される。対をなす第１アーム
と、第１アームの夫々の先端に軸支されて、先端に歯車
が取付けられた対をなす第２アームと、前記歯車が噛合
うように第２アームの先端部を回転軸受機構を介して連
結する第１のハンド部材とにより第１のアーム機構が構
成される。第１のアーム機構と実質的に同一構造の第２
のアーム機構と、第１のアーム機構とが、垂直方向に離
間されて、夫々第１および第２の回転軸と、第３および
第４の回転軸とに取付けられる。２個のハンド部材は干
渉することなく、夫々自在に直線移動および旋回される
ため、待ち時間なく被加工物を搬送することができる。
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置を提
供すること。 【解決手段】 固定の枠体に同軸に支持された第１乃至
第４の回転軸が、固定の枠体に取付けられた、第１乃至
第４の回転駆動機に連結される。対をなす第１アーム
と、第１アームの夫々の先端に軸支されて、先端に歯車
が取付けられた対をなす第２アームと、前記歯車が噛合
うように第２アームの先端部を回転軸受機構を介して連
結する第１のハンド部材とにより第１のアーム機構が構
成される。第１のアーム機構と実質的に同一構造の第２
のアーム機構と、第１のアーム機構とが、垂直方向に離
間されて、夫々第１および第２の回転軸と、第３および
第４の回転軸とに取付けられる。２個のハンド部材は干
渉することなく、夫々自在に直線移動および旋回される
ため、待ち時間なく被加工物を搬送することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気
下で被加工物を処理室間に搬送するための２アーム方式
の搬送用ロボット装置に関する。
液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気
下で被加工物を処理室間に搬送するための２アーム方式
の搬送用ロボット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体製造装置や液晶基板製造装
置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するた
めのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動
させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水
平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、こ
の搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複
数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置され
て、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加
工物が搬入・搬出されている。
置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するた
めのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動
させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水
平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、こ
の搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複
数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置され
て、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加
工物が搬入・搬出されている。
【０００３】ところで、搬送処理の能率化を図るため、
夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる
２アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる
２アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
【０００４】従来、２アーム方式の搬送用ロボット装置
としては、例えば、図１０乃至図１３に示される装置が
提言されている。すなわち、図１０乃至図１３におい
て、８０は固定の枠体、８１は、固定の枠体８０に対し
て適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水
平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第
１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアー
ムで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられ
た適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。８３は第
１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点
Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８
４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第
３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部
材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固
定された第１の回転伝達部材、８６は、第２支点Ｑ1 を
軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝
達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアー
ム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３
支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４
の回転伝達部材、８９および９０は、第１の回転伝達部
材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達
部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設さ
れた第１および第２の連結具である。なお、第１および
第２の支点の間隔Ｓと、第３および第４の支点の間隔Ｓ
とが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の回転
伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３の回
転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成されてい
る。勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８８
は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に用
いられ、これらに応じて第１および第２の連結具８９，
９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用いられ
る。
としては、例えば、図１０乃至図１３に示される装置が
提言されている。すなわち、図１０乃至図１３におい
て、８０は固定の枠体、８１は、固定の枠体８０に対し
て適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水
平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第
１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアー
ムで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられ
た適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。８３は第
１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点
Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８
４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第
３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部
材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固
定された第１の回転伝達部材、８６は、第２支点Ｑ1 を
軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝
達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアー
ム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３
支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４
の回転伝達部材、８９および９０は、第１の回転伝達部
材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達
部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設さ
れた第１および第２の連結具である。なお、第１および
第２の支点の間隔Ｓと、第３および第４の支点の間隔Ｓ
とが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の回転
伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３の回
転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成されてい
る。勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８８
は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に用
いられ、これらに応じて第１および第２の連結具８９，
９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用いられ
る。
【０００５】上記８２乃至９０により第１のアーム機構
９１が構成され、この第１のアーム機構とＸ−Ｘ線に対
して線対称に構成された第２のアーム機構９２が、軸芯
Ｏ1と平行な第２支点Ｐ2 のまわりで回転自在に支持さ
れている。すなわち、軸芯Ｏ1 と第１及び第２の支点Ｐ
1 、Ｐ2 との間隔は同一である。上記８０乃至９２によ
り２アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されてい
る。この搬送用ロボット装置において、第１及び第２の
アーム機構９１、９２の動作は線対称であるが、実質的
に同一であるため、第１のアーム機構９１の動作につい
て説明する。今、仮に旋回台８１が固定の枠体８０に対
して固定の状態に維持されているものとする。図１２に
おいて、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が
一直線上に位置する状態で駆動機により第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されたものとする。
９１が構成され、この第１のアーム機構とＸ−Ｘ線に対
して線対称に構成された第２のアーム機構９２が、軸芯
Ｏ1と平行な第２支点Ｐ2 のまわりで回転自在に支持さ
れている。すなわち、軸芯Ｏ1 と第１及び第２の支点Ｐ
1 、Ｐ2 との間隔は同一である。上記８０乃至９２によ
り２アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されてい
る。この搬送用ロボット装置において、第１及び第２の
アーム機構９１、９２の動作は線対称であるが、実質的
に同一であるため、第１のアーム機構９１の動作につい
て説明する。今、仮に旋回台８１が固定の枠体８０に対
して固定の状態に維持されているものとする。図１２に
おいて、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が
一直線上に位置する状態で駆動機により第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されたものとする。
【０００６】今、第１の回転伝達部材８５は固定状態に
あり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のう
ち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつ
き、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻
された状態となる。すなわち、図１２において第１の連
結具８９はａ1 およびａ2 ロの方向に移動する。これに
より第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心とし
て時計方向に回動される。ところで第１の回転伝達部材
８５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１であ
るため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ
1 を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第
２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度
２θだけ時計方向に回動される。この場合、第２の回転
伝達部材８６は第２のアーム８３に固定されているた
め、第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第
２支点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動さ
れる。すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，
Ｑ1 ，Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動さ
れるが、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材
８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向
に回動される。このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12
の位置に回動される。従って、上記のごとく第１のアー
ム８２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計
方向に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置
は、第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１
および第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置してい
る。
あり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のう
ち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつ
き、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻
された状態となる。すなわち、図１２において第１の連
結具８９はａ1 およびａ2 ロの方向に移動する。これに
より第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心とし
て時計方向に回動される。ところで第１の回転伝達部材
８５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１であ
るため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ
1 を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第
２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度
２θだけ時計方向に回動される。この場合、第２の回転
伝達部材８６は第２のアーム８３に固定されているた
め、第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第
２支点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動さ
れる。すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，
Ｑ1 ，Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動さ
れるが、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材
８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向
に回動される。このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12
の位置に回動される。従って、上記のごとく第１のアー
ム８２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計
方向に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置
は、第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１
および第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置してい
る。
【０００７】さらに、上記のごとく、第２のアーム８３
により仮想的にＲ11に位置する第３支点が第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ、すなわちＲ12の位置まで時
計方向に回動された場合、第１のアーム８２に固定され
た第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８と
の間に配設された第２の連結具９０のうち、Ｙ2 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７に巻きつき、Ｙ1 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７から巻戻された状態とな
る。すなわち、図１２において第２の連結具９０は、ｂ
1 およびｂ2 の方向に移動する。これにより第４の回転
伝達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として反時計方向に
回動される。ところで、上記のごとく、第２のアーム８
３が第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に
回動すれば、第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達
部材８７とは半径比が２：１であるため、第４の回転伝
達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として角度θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
８の特定点Ｃ0 は第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ12を結ぶ
直線上の点Ｃ1 に位置されることとなる。
により仮想的にＲ11に位置する第３支点が第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ、すなわちＲ12の位置まで時
計方向に回動された場合、第１のアーム８２に固定され
た第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８と
の間に配設された第２の連結具９０のうち、Ｙ2 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７に巻きつき、Ｙ1 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７から巻戻された状態とな
る。すなわち、図１２において第２の連結具９０は、ｂ
1 およびｂ2 の方向に移動する。これにより第４の回転
伝達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として反時計方向に
回動される。ところで、上記のごとく、第２のアーム８
３が第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に
回動すれば、第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達
部材８７とは半径比が２：１であるため、第４の回転伝
達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として角度θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
８の特定点Ｃ0 は第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ12を結ぶ
直線上の点Ｃ1 に位置されることとなる。
【０００８】上記のごとく、第１のアーム８２が第１支
点Ｐ1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８８に固定されたハンド部材８４
は、第１のアーム８２の回動前の第１および第３支点Ｐ
1 ，Ｒ1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第１の
アーム機構９１がＸ方向に駆動される。
点Ｐ1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８８に固定されたハンド部材８４
は、第１のアーム８２の回動前の第１および第３支点Ｐ
1 ，Ｒ1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第１の
アーム機構９１がＸ方向に駆動される。
【０００９】同様に、第２のアーム機構９２が第１およ
び第３支点Ｐ2 ，Ｒ2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持
しつつＸ方向に駆動される。この第１および第２のアー
ム機構９１、９２の夫々のハンド部材８４Ａ、８４Ｂ
は、支点Ｐ1 、Ｐ2 間の位置となるように取付けられる
と共に、ハンド部材８４Ａ、８４Ｂの先端部は上下方向
に間隔を設けて取付けられているため、第１および第２
のアーム機構９１、９２の直線移動時に、夫々のハンド
部材８４、８４は相互に干渉することなく軸芯Ｏ1 を通
るＸ−Ｘ線に沿って移動する。さらに、水平旋回台８１
が軸芯Ｏ1 のまわりに旋回されることにより、第１およ
び第２のアーム機構９１、９２が同時に軸芯Ｏ1 のまわ
りに旋回される。
び第３支点Ｐ2 ，Ｒ2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持
しつつＸ方向に駆動される。この第１および第２のアー
ム機構９１、９２の夫々のハンド部材８４Ａ、８４Ｂ
は、支点Ｐ1 、Ｐ2 間の位置となるように取付けられる
と共に、ハンド部材８４Ａ、８４Ｂの先端部は上下方向
に間隔を設けて取付けられているため、第１および第２
のアーム機構９１、９２の直線移動時に、夫々のハンド
部材８４、８４は相互に干渉することなく軸芯Ｏ1 を通
るＸ−Ｘ線に沿って移動する。さらに、水平旋回台８１
が軸芯Ｏ1 のまわりに旋回されることにより、第１およ
び第２のアーム機構９１、９２が同時に軸芯Ｏ1 のまわ
りに旋回される。
【００１０】このように、２アーム式の搬送用ロボット
装置の旋回軸芯Ｏ1 を中心とした円周方向の放射状の複
数箇所に、例えば６箇所に適宜の処理室７１〜７６を配
置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
装置の旋回軸芯Ｏ1 を中心とした円周方向の放射状の複
数箇所に、例えば６箇所に適宜の処理室７１〜７６を配
置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の２アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図
１０乃至図１３示されるごとく、第１および第２のアー
ム機構９１，９２の回転駆動軸の軸芯Ｐ1 ，Ｐ2 は水平
旋回台８１の旋回軸の軸芯Ｏ1 を跨いで配置されている
ため、水平旋回台８１の回転半径が大きくなる。このた
め、水平旋回台８１を固定の枠体８０に回転自在に取付
けるための回転用軸受９３，９３や、この回転部分を上
下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール９
４が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用
軸受９３，９３および大径の磁性流体シール９４の使用
により装置が高価となっていた。
来の２アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図
１０乃至図１３示されるごとく、第１および第２のアー
ム機構９１，９２の回転駆動軸の軸芯Ｐ1 ，Ｐ2 は水平
旋回台８１の旋回軸の軸芯Ｏ1 を跨いで配置されている
ため、水平旋回台８１の回転半径が大きくなる。このた
め、水平旋回台８１を固定の枠体８０に回転自在に取付
けるための回転用軸受９３，９３や、この回転部分を上
下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール９
４が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用
軸受９３，９３および大径の磁性流体シール９４の使用
により装置が高価となっていた。
【００１２】さらに、第１および第２のアーム機構９
１，９２のハンド部材８４Ａ，８４Ｂを夫々直線移動さ
せるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載され
て、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆
動機には固定の枠体８０側から給電用のケーブルが配線
されるため、このケーブルの段線防止として旋回角度、
すなわち旋回回数が制限されていた。このため、初期設
置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｏ1 に対す
る時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例え
ば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的
監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装
置としての使い勝手が悪かった。
１，９２のハンド部材８４Ａ，８４Ｂを夫々直線移動さ
せるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載され
て、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆
動機には固定の枠体８０側から給電用のケーブルが配線
されるため、このケーブルの段線防止として旋回角度、
すなわち旋回回数が制限されていた。このため、初期設
置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｏ1 に対す
る時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例え
ば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的
監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装
置としての使い勝手が悪かった。
【００１３】さらにまた、旋回時には、水平旋回台８１
に搭載した第１および第２のアーム機構９１，９２が同
時に旋回するため、使用上次のような問題があった。
に搭載した第１および第２のアーム機構９１，９２が同
時に旋回するため、使用上次のような問題があった。
【００１４】すなわち、図１３において、例えば被加工
物であるウエハが収納された供給処理室７２に対して、
第１及び第２のアーム機構９１，９２が順次に作動され
て夫々２個のハンド部材８４Ａ，８４Ｂ上にウエハが載
置され、この後ウエハが処理室７３と処理室７１とに搬
送されるものとする。この場合、まず第１および第２の
アーム機構９１，９２を搭載した水平旋回台８１が適宜
に旋回され、続いて例えば第１のアーム機構９１が作動
されて処理室７３内にウエハが搬送される。この後、水
平旋回台８１が処理室７１相当方向に旋回され、続いて
第２のアーム機構９２が作動されて処理室７１内にウエ
ハが搬送される。
物であるウエハが収納された供給処理室７２に対して、
第１及び第２のアーム機構９１，９２が順次に作動され
て夫々２個のハンド部材８４Ａ，８４Ｂ上にウエハが載
置され、この後ウエハが処理室７３と処理室７１とに搬
送されるものとする。この場合、まず第１および第２の
アーム機構９１，９２を搭載した水平旋回台８１が適宜
に旋回され、続いて例えば第１のアーム機構９１が作動
されて処理室７３内にウエハが搬送される。この後、水
平旋回台８１が処理室７１相当方向に旋回され、続いて
第２のアーム機構９２が作動されて処理室７１内にウエ
ハが搬送される。
【００１５】この場合、処理室７１から見れば、水平旋
回台８１が処理室７２から処理室７３相当位置へ旋回す
る旋回時間、第１のアーム機構９１による処理室７３内
へのウエハの搬入時間および水平旋回台８１が処理室７
３から処理室７１相当位置へ旋回するときの途中時間、
すなわち処理室７３から処理室７２相当位置まで水平旋
回台８１が旋回するまでの遊走旋回時間の合計時間が処
理室７１にとっての待ち時間となっている。
回台８１が処理室７２から処理室７３相当位置へ旋回す
る旋回時間、第１のアーム機構９１による処理室７３内
へのウエハの搬入時間および水平旋回台８１が処理室７
３から処理室７１相当位置へ旋回するときの途中時間、
すなわち処理室７３から処理室７２相当位置まで水平旋
回台８１が旋回するまでの遊走旋回時間の合計時間が処
理室７１にとっての待ち時間となっている。
【００１６】勿論、上記待ち時間は２つの処理室の間隔
が離れる程大きくなり、しかも、２アーム式の搬送用ロ
ボット装置は多数の処理室、例えば７１〜７６に対して
適宜に反復作動されて被加工物の搬送が行なわれるた
め、１日の作業における上記待ち時間の合計時間は相当
な値となっていた。このため、上記待ち時間の少ない、
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置の実
現が嘱望されていた。
が離れる程大きくなり、しかも、２アーム式の搬送用ロ
ボット装置は多数の処理室、例えば７１〜７６に対して
適宜に反復作動されて被加工物の搬送が行なわれるた
め、１日の作業における上記待ち時間の合計時間は相当
な値となっていた。このため、上記待ち時間の少ない、
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置の実
現が嘱望されていた。
【００１７】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、その目的は、コンパクトで使い勝手が良く、かつ安
価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置
を提供することである。
で、その目的は、コンパクトで使い勝手が良く、かつ安
価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置
を提供することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１の発明は、被加工物を載置するためのハンド
部材を夫々先端に取付けた第１および第２のアーム機構
を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移動させると共
に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２アーム方式の
搬送用ロボット装置に適用される。その特徴とするとこ
ろは、固定の枠体と、垂直線を軸芯として前記固定の枠
体に回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の回転軸
と、前記固定の枠体に取付けられて、前記第１乃至第４
の回転軸に夫々連結された第１乃至第４の回転駆動機
と、前記第１および第２の回転軸に夫々取付けられた対
をなす第１アームと、前記第１アームの夫々の先端に垂
直線廻りに回転自在に取付けられて、夫々の先端に歯車
が取付けられた対をなす第２アームと、前記歯車が噛合
うように前記第２アームの先端部を回転軸受機構を介し
て連結する第１のハンド部材と、前記第３および第４の
回転軸に夫々取付けられた、前記第１アームと実質的に
同一構造の第３アームと、前記第３アームの夫々の先端
に取付けられた、前記第２アームと実質的に同一構造の
第４アームと、前記第４アームの先端部を連結する、前
記第１のハンド部材と実質的に同一構造の第２のハンド
部材と、前記第１および第２の回転駆動機と前記第３お
よび第４の回転駆動機が適宜に夫々同一方向と逆方向と
に同期回転制御される制御装置とを具備し、前記第１ア
ームと第３アームとが垂直方向に離設されると共に第２
アームと第４アームおよび第１のハンド部材と第２のハ
ンド部材が垂直方向に相対向して配設されたことであ
る。
め、本第１の発明は、被加工物を載置するためのハンド
部材を夫々先端に取付けた第１および第２のアーム機構
を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移動させると共
に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２アーム方式の
搬送用ロボット装置に適用される。その特徴とするとこ
ろは、固定の枠体と、垂直線を軸芯として前記固定の枠
体に回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の回転軸
と、前記固定の枠体に取付けられて、前記第１乃至第４
の回転軸に夫々連結された第１乃至第４の回転駆動機
と、前記第１および第２の回転軸に夫々取付けられた対
をなす第１アームと、前記第１アームの夫々の先端に垂
直線廻りに回転自在に取付けられて、夫々の先端に歯車
が取付けられた対をなす第２アームと、前記歯車が噛合
うように前記第２アームの先端部を回転軸受機構を介し
て連結する第１のハンド部材と、前記第３および第４の
回転軸に夫々取付けられた、前記第１アームと実質的に
同一構造の第３アームと、前記第３アームの夫々の先端
に取付けられた、前記第２アームと実質的に同一構造の
第４アームと、前記第４アームの先端部を連結する、前
記第１のハンド部材と実質的に同一構造の第２のハンド
部材と、前記第１および第２の回転駆動機と前記第３お
よび第４の回転駆動機が適宜に夫々同一方向と逆方向と
に同期回転制御される制御装置とを具備し、前記第１ア
ームと第３アームとが垂直方向に離設されると共に第２
アームと第４アームおよび第１のハンド部材と第２のハ
ンド部材が垂直方向に相対向して配設されたことであ
る。
【００１９】さらに、本第２の発明は、本第１の発明に
おいて、前記第２アームおよび第４アームの先端部に設
けられる回転軸受機構は、第２アームおよび第４アーム
の先端部に垂直方向に貫通する大径の貫通孔と、該貫通
孔に遊入される円板と、該円板が貫通孔に遊入された状
態で、貫通孔および円板の内外周部に相対向して周設さ
れる円状の溝と、該円状の溝に連通するように第２アー
ムおよび第４アームの先端部に設けられた通路と、該通
路より円状の溝内に挿入された複数個の球体と、球体が
挿入された状態で第２アームおよび第４アームの先端部
に設けられた通路を遮断する遮断具とからなる薄肉状の
回転軸受機構であることを特徴としている。
おいて、前記第２アームおよび第４アームの先端部に設
けられる回転軸受機構は、第２アームおよび第４アーム
の先端部に垂直方向に貫通する大径の貫通孔と、該貫通
孔に遊入される円板と、該円板が貫通孔に遊入された状
態で、貫通孔および円板の内外周部に相対向して周設さ
れる円状の溝と、該円状の溝に連通するように第２アー
ムおよび第４アームの先端部に設けられた通路と、該通
路より円状の溝内に挿入された複数個の球体と、球体が
挿入された状態で第２アームおよび第４アームの先端部
に設けられた通路を遮断する遮断具とからなる薄肉状の
回転軸受機構であることを特徴としている。
【００２０】さらに、本第３の発明は、本第１または第
２の発明において、前記同軸に支持された第１乃至第４
の回転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在
に支持されてなることを特徴としている。
２の発明において、前記同軸に支持された第１乃至第４
の回転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在
に支持されてなることを特徴としている。
【００２１】＜作用＞上記のごとく、本第１の発明にお
いては、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯として
同軸に回転支持されているため、第１乃至第４の回転軸
を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁性流体
シールを夫々可及的に小径とすることができ、装置がコ
ンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径の磁性
流体シールを使用するため装置が安価となる。
いては、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯として
同軸に回転支持されているため、第１乃至第４の回転軸
を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁性流体
シールを夫々可及的に小径とすることができ、装置がコ
ンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径の磁性
流体シールを使用するため装置が安価となる。
【００２２】更に、前記第１アームと第３アームとが垂
直方向に離設されると共に第２アームと第４アームおよ
び第１のハンド部材と第２のハンド部材が垂直方向に相
対向して配設されているため、第１および第２のハンド
部材は相互に干渉することがなく、かつ第１および第２
のハンド部材の相互の上下面の間隔を小さくすることが
でき、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を小さくす
ることができる。
直方向に離設されると共に第２アームと第４アームおよ
び第１のハンド部材と第２のハンド部材が垂直方向に相
対向して配設されているため、第１および第２のハンド
部材は相互に干渉することがなく、かつ第１および第２
のハンド部材の相互の上下面の間隔を小さくすることが
でき、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を小さくす
ることができる。
【００２３】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機が適宜に夫々同一方向
と逆方向とに同期回転制御されてハンド部材が適宜に旋
回と直線移動される。このように、第１および第２のハ
ンド部材は相互に干渉することがなく、かつ夫々任意
に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時間な
く第１および第２のハンド部材により被加工物を適宜の
処理室に対して搬送することができ、生産性が向上す
る。
前記第３および第４の回転駆動機が適宜に夫々同一方向
と逆方向とに同期回転制御されてハンド部材が適宜に旋
回と直線移動される。このように、第１および第２のハ
ンド部材は相互に干渉することがなく、かつ夫々任意
に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時間な
く第１および第２のハンド部材により被加工物を適宜の
処理室に対して搬送することができ、生産性が向上す
る。
【００２４】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を水平方向に旋回させるときには、角度に
制限されることなく旋回させることができる。このた
め、第１および第２のハンド部材は、旋回角度、すなわ
ち旋回方向の回動角度の確認が必要であった従来の装置
に比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて
被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べ
て装置の使い勝手がよい。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を水平方向に旋回させるときには、角度に
制限されることなく旋回させることができる。このた
め、第１および第２のハンド部材は、旋回角度、すなわ
ち旋回方向の回動角度の確認が必要であった従来の装置
に比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて
被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べ
て装置の使い勝手がよい。
【００２５】要するに、本第１の発明によればコンパク
トで使い勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アー
ム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
トで使い勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アー
ム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００２６】さらに本第２の発明によれば、前記第２ア
ームおよび第４のアームの先端部に設けられる回転軸受
機構は、第２アームおよび第４アームの先端部に垂直方
向に貫通する大径の貫通孔に円板が遊入された状態で、
貫通孔と円板との内外周部に周設される円状の溝に球体
が挿入・配置された薄肉状の回転軸受機構であるため、
第１および第２のハンド部材の上下面間の間隔を極めて
小さくすることができ、ハンド部材出入り用の真空処理
室の窓を極めて小さくすることができる。このため、真
空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロ
ボット装置として、特に好適である。
ームおよび第４のアームの先端部に設けられる回転軸受
機構は、第２アームおよび第４アームの先端部に垂直方
向に貫通する大径の貫通孔に円板が遊入された状態で、
貫通孔と円板との内外周部に周設される円状の溝に球体
が挿入・配置された薄肉状の回転軸受機構であるため、
第１および第２のハンド部材の上下面間の間隔を極めて
小さくすることができ、ハンド部材出入り用の真空処理
室の窓を極めて小さくすることができる。このため、真
空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロ
ボット装置として、特に好適である。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例によ
り詳細に説明する。図１乃至図９において、１は固定の
枠体、２乃至５は、垂直線Ｏ1 −Ｏ1 を軸芯として固定
の枠体１に回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸で、適宜に回転軸受を介して支持されている。例
えば、固定の枠体１は真空室Ｖ．Ｃに取付けられるが、
真空状態を維持するために、夫々の回転軸部には気密用
の磁性流体シール６乃至９が配設されている。
り詳細に説明する。図１乃至図９において、１は固定の
枠体、２乃至５は、垂直線Ｏ1 −Ｏ1 を軸芯として固定
の枠体１に回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸で、適宜に回転軸受を介して支持されている。例
えば、固定の枠体１は真空室Ｖ．Ｃに取付けられるが、
真空状態を維持するために、夫々の回転軸部には気密用
の磁性流体シール６乃至９が配設されている。
【００２８】１１乃至１４は、第１乃至第４の回転軸２
乃至５に夫々固定された第１乃至第４の回転伝達部材
で、これらの第１乃至第４の回転伝達部材１１乃至１４
は、固定の枠体１に夫々支持された第１乃至第４の回転
駆動機１５乃至１８により駆動される。すなわち第１乃
至第４の回転駆動機１５乃至１８に適宜に連結された減
速機、回転伝達部材および連結具を介して回転伝達部材
１１乃至１４が夫々別々に回転駆動される。なお、回転
伝達部材１１乃至１４は、チェーンスプロケットあるい
はプーリー等が適宜に用いられ、これに応じてチェーン
あるいは歯付ベルト等の連結具が適宜に用いられる。
乃至５に夫々固定された第１乃至第４の回転伝達部材
で、これらの第１乃至第４の回転伝達部材１１乃至１４
は、固定の枠体１に夫々支持された第１乃至第４の回転
駆動機１５乃至１８により駆動される。すなわち第１乃
至第４の回転駆動機１５乃至１８に適宜に連結された減
速機、回転伝達部材および連結具を介して回転伝達部材
１１乃至１４が夫々別々に回転駆動される。なお、回転
伝達部材１１乃至１４は、チェーンスプロケットあるい
はプーリー等が適宜に用いられ、これに応じてチェーン
あるいは歯付ベルト等の連結具が適宜に用いられる。
【００２９】２１および２２は、夫々第１および第２の
回転軸２，３に取付けられた対をなる第１アーム、２３
および２４は、夫々第１アーム２１，２２の先端に垂直
線廻りに回転自在に取付けられて、夫々の先端に歯車が
取付けられた対をなす第２アームで、図示の場合、一方
の第２アーム２３は第２アーム本体２３１と、継足しア
ーム２３２と、第１の歯車２３３とにより構成されてい
る。また、他方の第２アーム２４は第２アーム本体２４
１と、継足しアーム２４２と、第２の歯車２４３とによ
り構成されている。２５は、第１および第２の歯車２３
３，２４３が噛合うように夫々の第２アーム２３，２４
の先端部を後述する回転軸受機構３２を介して連結する
第１のハンド部材である。
回転軸２，３に取付けられた対をなる第１アーム、２３
および２４は、夫々第１アーム２１，２２の先端に垂直
線廻りに回転自在に取付けられて、夫々の先端に歯車が
取付けられた対をなす第２アームで、図示の場合、一方
の第２アーム２３は第２アーム本体２３１と、継足しア
ーム２３２と、第１の歯車２３３とにより構成されてい
る。また、他方の第２アーム２４は第２アーム本体２４
１と、継足しアーム２４２と、第２の歯車２４３とによ
り構成されている。２５は、第１および第２の歯車２３
３，２４３が噛合うように夫々の第２アーム２３，２４
の先端部を後述する回転軸受機構３２を介して連結する
第１のハンド部材である。
【００３０】さて、回転軸受機構３２は、一方の第２ア
ーム２３の先端部に垂直方向に貫通する大径の貫通孔２
６と、該貫通孔２６に遊入される円板２７と、該円板２
７が貫通孔２６に遊入された状態で、貫通孔２６の内周
部と円板２７の外周部とに周設されて相対向する円状の
溝２８と、円状の溝２８に連通するように第２アーム２
３に設けられた通路２９と、該通路２９より円状の溝２
８内に挿入された複数個の球体３０と、球体３０が円状
の溝２８内に挿入された状態で第２アーム２３に設けら
れた通路２９を遮断する遮断具３１とにより構成されて
いる。
ーム２３の先端部に垂直方向に貫通する大径の貫通孔２
６と、該貫通孔２６に遊入される円板２７と、該円板２
７が貫通孔２６に遊入された状態で、貫通孔２６の内周
部と円板２７の外周部とに周設されて相対向する円状の
溝２８と、円状の溝２８に連通するように第２アーム２
３に設けられた通路２９と、該通路２９より円状の溝２
８内に挿入された複数個の球体３０と、球体３０が円状
の溝２８内に挿入された状態で第２アーム２３に設けら
れた通路２９を遮断する遮断具３１とにより構成されて
いる。
【００３１】同様の回転軸受機構３２が、他方の第２ア
ーム２４の先端部に設けられている。
ーム２４の先端部に設けられている。
【００３２】この夫々の回転軸受機構３２，３２の円板
２７，２７と第１のハンド部材２５とが一体的に取付け
られる。例えば第１のハンド部材２５に最終組立て構造
が水平方向の一方に開口する開口部を設け、この開口部
に円板２７，２７を挿入した状態で第１のハンド部材２
５と円板２７，２７とを一体的に取付けるものとすれ
ば、第１のハンド部材２５基部側を可及的に薄く、かつ
機械的強度を大きくすることができる。上記２１乃至３
２により、第１のアーム機構３３が構成される。
２７，２７と第１のハンド部材２５とが一体的に取付け
られる。例えば第１のハンド部材２５に最終組立て構造
が水平方向の一方に開口する開口部を設け、この開口部
に円板２７，２７を挿入した状態で第１のハンド部材２
５と円板２７，２７とを一体的に取付けるものとすれ
ば、第１のハンド部材２５基部側を可及的に薄く、かつ
機械的強度を大きくすることができる。上記２１乃至３
２により、第１のアーム機構３３が構成される。
【００３３】この第１のアーム機構３３と実質的に同一
構造をした第２のアーム機構５３が第３および第４の回
転軸４，５に取付けられている。
構造をした第２のアーム機構５３が第３および第４の回
転軸４，５に取付けられている。
【００３４】すなわち、第３および第４の回転軸４，５
に夫々取付けられた、第１アーム２１，２２と実質的に
同一構造の第３アーム４１，４２と、第３アーム４１，
４２の夫々の先端に取付けられた、第２アーム２３，２
４と実質的に同一構造の第４アーム４３，４４と、第４
アーム４３，４４の先端部を連結する、第１のハンド部
材２５と実質的に同一構造の第２のハンド部材４５とに
より第２のアーム機構５３が構成されている。
に夫々取付けられた、第１アーム２１，２２と実質的に
同一構造の第３アーム４１，４２と、第３アーム４１，
４２の夫々の先端に取付けられた、第２アーム２３，２
４と実質的に同一構造の第４アーム４３，４４と、第４
アーム４３，４４の先端部を連結する、第１のハンド部
材２５と実質的に同一構造の第２のハンド部材４５とに
より第２のアーム機構５３が構成されている。
【００３５】勿論、第４アーム４３，４４の先端部に
は、第１および第２の歯車２３３，２４３と実質的同一
構造の第３および第４の歯車４３３，４４３が設けられ
ていて、この第３および第４の歯車４３３，４４３が噛
合うように夫々の第４アーム４３，４４の先端部と第２
のハンド部材４５とが回転軸受機構３２，３２を介して
相互に回転自在に連結されている。
は、第１および第２の歯車２３３，２４３と実質的同一
構造の第３および第４の歯車４３３，４４３が設けられ
ていて、この第３および第４の歯車４３３，４４３が噛
合うように夫々の第４アーム４３，４４の先端部と第２
のハンド部材４５とが回転軸受機構３２，３２を介して
相互に回転自在に連結されている。
【００３６】なお、第１アーム２１，２２と第３アーム
４１，４２とは垂直方向に離間して配設されると共に、
第２アーム２３，２４と第４アーム４３，４４および第
１のハンド部材２５と第２のハンド部材４５は垂直方向
に相対向して配設されている。勿論、上下に接近して配
設される第１および第２のハンド部材２５，４５の自由
端部に被加工物が載置されるが、例えば、図示のごと
く、第１および第２のハンド部材２５，４５には夫々の
自由端部の上面に被加工物を載置するための広幅の溝を
形成した方が好ましい。
４１，４２とは垂直方向に離間して配設されると共に、
第２アーム２３，２４と第４アーム４３，４４および第
１のハンド部材２５と第２のハンド部材４５は垂直方向
に相対向して配設されている。勿論、上下に接近して配
設される第１および第２のハンド部材２５，４５の自由
端部に被加工物が載置されるが、例えば、図示のごと
く、第１および第２のハンド部材２５，４５には夫々の
自由端部の上面に被加工物を載置するための広幅の溝を
形成した方が好ましい。
【００３７】上記１乃至５３により２アーム方式の搬送
用ロボット装置が構成される。なお、第１および第２の
回転駆動機１５，１６と、第３および第４の回転駆動機
１７，１８とが、制御装置により適宜に夫々同一方向と
逆方向とに同期回転制御される。勿論、垂直の軸芯Ｏ1
を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処理室が
設けられることは、従来と同様である。
用ロボット装置が構成される。なお、第１および第２の
回転駆動機１５，１６と、第３および第４の回転駆動機
１７，１８とが、制御装置により適宜に夫々同一方向と
逆方向とに同期回転制御される。勿論、垂直の軸芯Ｏ1
を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処理室が
設けられることは、従来と同様である。
【００３８】上記構成において、例えば第１のアーム機
構３３の動作について説明する。図１および図２におい
て、第１および第２の回転駆動機１５，１６が互いに逆
方向に同期して回転されると、第１アーム２１，２２は
軸芯Ｏ1 廻りに相互に反対方向に回動される。第１およ
び第２の回転駆動機１５，１６が互いに逆方向に同期回
転されて、例えば、一方の第１アーム２１が軸芯Ｏ1 廻
りに時計方向に回動されると、他方の第１アーム２２が
軸芯Ｏ1 廻りに反時計方向に、一方の第１アーム２１と
同じ角度だけ回動される。
構３３の動作について説明する。図１および図２におい
て、第１および第２の回転駆動機１５，１６が互いに逆
方向に同期して回転されると、第１アーム２１，２２は
軸芯Ｏ1 廻りに相互に反対方向に回動される。第１およ
び第２の回転駆動機１５，１６が互いに逆方向に同期回
転されて、例えば、一方の第１アーム２１が軸芯Ｏ1 廻
りに時計方向に回動されると、他方の第１アーム２２が
軸芯Ｏ1 廻りに反時計方向に、一方の第１アーム２１と
同じ角度だけ回動される。
【００３９】この場合、第１アーム２１，２２の夫々の
端部に回転自在に取付けられた第２アーム２３，２４
は、第２アーム２３，２４の夫々先端に取付けられた歯
車２３３，２４３が噛合い、かつ回転軸受機構３２，３
２を介して第１のハンド部材２５に回転自在に連結され
ているため、軸芯Ｏ1 廻りに回動される第１アーム２
１，２２の自由端部が同期して離間されると、この第１
アーム２１，２２に追従する第２アーム２３，２４は、
第２アーム２３，２４の夫々先端に取付けられた歯車２
３３，２４３が噛合いつつ、回転軸受機構３２，３２の
軸芯Ｏ2 ，Ｏ3 廻りに同期回転して、結果として第１の
ハンド部材２５が軸芯Ｏ1 を通る水平方向の直線上を軸
芯Ｏ1 方向に引寄せられる。
端部に回転自在に取付けられた第２アーム２３，２４
は、第２アーム２３，２４の夫々先端に取付けられた歯
車２３３，２４３が噛合い、かつ回転軸受機構３２，３
２を介して第１のハンド部材２５に回転自在に連結され
ているため、軸芯Ｏ1 廻りに回動される第１アーム２
１，２２の自由端部が同期して離間されると、この第１
アーム２１，２２に追従する第２アーム２３，２４は、
第２アーム２３，２４の夫々先端に取付けられた歯車２
３３，２４３が噛合いつつ、回転軸受機構３２，３２の
軸芯Ｏ2 ，Ｏ3 廻りに同期回転して、結果として第１の
ハンド部材２５が軸芯Ｏ1 を通る水平方向の直線上を軸
芯Ｏ1 方向に引寄せられる。
【００４０】第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 方向の水
平方向に所望量だけ直線移動されると、第１および第２
の回転駆動機１５，１６が停止される。すなわち、第１
アーム２１，２２および第２アーム２３，２４の配置が
相互に屈折されて、第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 方
向に引寄せられた状態が、第１のハンド部材２５の水平
旋回状態である。
平方向に所望量だけ直線移動されると、第１および第２
の回転駆動機１５，１６が停止される。すなわち、第１
アーム２１，２２および第２アーム２３，２４の配置が
相互に屈折されて、第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 方
向に引寄せられた状態が、第１のハンド部材２５の水平
旋回状態である。
【００４１】上記のごとく、第１のハンド部材２５が水
平旋回状態に配置されている場合に、軸芯Ｏ1 廻りに第
１アーム２１，２２の自由端部が相互に接近するよう
に、第１および第２の回転駆動機１５，１６が互いに逆
方向に同期回転されると、第１アーム２１，２２および
第２アーム２３，２４は相互に同期回転されて、上記動
作とは反対に第１アーム２１，２２および第２アーム２
３，２４の配置状況が水平半径方向に伸ばされて、第１
のハンド部材２５に対して被加工物を搬入・搬出する状
態で、第１および第２の回転駆動機１５，１６が停止さ
れる。
平旋回状態に配置されている場合に、軸芯Ｏ1 廻りに第
１アーム２１，２２の自由端部が相互に接近するよう
に、第１および第２の回転駆動機１５，１６が互いに逆
方向に同期回転されると、第１アーム２１，２２および
第２アーム２３，２４は相互に同期回転されて、上記動
作とは反対に第１アーム２１，２２および第２アーム２
３，２４の配置状況が水平半径方向に伸ばされて、第１
のハンド部材２５に対して被加工物を搬入・搬出する状
態で、第１および第２の回転駆動機１５，１６が停止さ
れる。
【００４２】次に、第１のハンド部材２５の水平旋回動
作について説明する。今、上記したごとく、第１のハン
ド部材２５が軸芯Ｏ1 方向に引寄せられた、水平旋回状
態に配置されているものとする。この場合、第１および
第２の回転駆動機１５，１６が互いに同一方向に同期回
転されると、第１アーム２１，２２が軸芯Ｏ1 廻りに時
計方向または反時計方向の同一方向に同期して回転され
る。これにより、第２アーム２３，２４を介して第１ア
ーム２１，２２に連結された第１のハンド部材２５が、
軸芯Ｏ1 廻りに所定角度だけ旋回された状態で、第１お
よび第２の回転駆動機１５，１６が停止される。
作について説明する。今、上記したごとく、第１のハン
ド部材２５が軸芯Ｏ1 方向に引寄せられた、水平旋回状
態に配置されているものとする。この場合、第１および
第２の回転駆動機１５，１６が互いに同一方向に同期回
転されると、第１アーム２１，２２が軸芯Ｏ1 廻りに時
計方向または反時計方向の同一方向に同期して回転され
る。これにより、第２アーム２３，２４を介して第１ア
ーム２１，２２に連結された第１のハンド部材２５が、
軸芯Ｏ1 廻りに所定角度だけ旋回された状態で、第１お
よび第２の回転駆動機１５，１６が停止される。
【００４３】このように第１のハンド部材２５が適宜の
角度旋回された後、第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 を
通る水平方向に突出するように、第１および第２の回転
駆動機１５，１６が互いに逆方向に同期回転されて、第
１のハンド部材２５が被加工物の搬入・搬出位置へと位
置変位される。
角度旋回された後、第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 を
通る水平方向に突出するように、第１および第２の回転
駆動機１５，１６が互いに逆方向に同期回転されて、第
１のハンド部材２５が被加工物の搬入・搬出位置へと位
置変位される。
【００４４】勿論、この後第１のハンド部材２５が、軸
芯Ｏ1 方向に引寄せられた水平旋回状態の位置に位置変
位されることはすでに説明した通りである。
芯Ｏ1 方向に引寄せられた水平旋回状態の位置に位置変
位されることはすでに説明した通りである。
【００４５】ところで、図１乃至図３において、第１の
アーム機構３３と垂直方向に離間して配設される第２の
アーム機構５３も第１のアーム機構３３と同一の形態で
作動される。すなわち第３および第４の回転駆動機１
７，１８が同一方向に同期回転されつつ第２のハンド部
材４５が軸芯Ｏ1 廻りに水平旋回され、さらに第３およ
び第４の回転駆動機１７，１８が互いに逆方向に同期し
て回転されることにより、第２のハンド部材４５が軸芯
Ｏ1 を通る水平方向の直線上を移動して、被加工物の搬
入・搬出位置と水平旋回状態の位置とに位置変位され
る。勿論、第１のアーム機構３３と第２のアーム機構５
３とは垂直方向に離間して配設されているため、これら
を個別に自在に作動させても相互に干渉することはな
い。
アーム機構３３と垂直方向に離間して配設される第２の
アーム機構５３も第１のアーム機構３３と同一の形態で
作動される。すなわち第３および第４の回転駆動機１
７，１８が同一方向に同期回転されつつ第２のハンド部
材４５が軸芯Ｏ1 廻りに水平旋回され、さらに第３およ
び第４の回転駆動機１７，１８が互いに逆方向に同期し
て回転されることにより、第２のハンド部材４５が軸芯
Ｏ1 を通る水平方向の直線上を移動して、被加工物の搬
入・搬出位置と水平旋回状態の位置とに位置変位され
る。勿論、第１のアーム機構３３と第２のアーム機構５
３とは垂直方向に離間して配設されているため、これら
を個別に自在に作動させても相互に干渉することはな
い。
【００４６】すなわち、第１のアーム機構３３および第
２のアーム機構５３が相互の位置・姿勢の状態に拘わら
ず夫々別々に作動されて、第１および第２のハンド部材
２５，４５が夫々個別に水平方向の直線移動と旋回との
状態に自在に選定される。
２のアーム機構５３が相互の位置・姿勢の状態に拘わら
ず夫々別々に作動されて、第１および第２のハンド部材
２５，４５が夫々個別に水平方向の直線移動と旋回との
状態に自在に選定される。
【００４７】上記のごとく、第１乃至第４の回転軸１５
〜１８は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されてい
るため、第１乃至第４の回転軸１５〜１８を回転自在に
支持する回転軸受および気密用の磁性流体シールを夫々
可及的に小径とすることができ、装置がコンパクトとな
り、かつ小径の回転軸受および小径の磁性流体シールを
使用するため装置が安価となる。
〜１８は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されてい
るため、第１乃至第４の回転軸１５〜１８を回転自在に
支持する回転軸受および気密用の磁性流体シールを夫々
可及的に小径とすることができ、装置がコンパクトとな
り、かつ小径の回転軸受および小径の磁性流体シールを
使用するため装置が安価となる。
【００４８】更に、第１アーム２１，２２と第３アーム
４１，４２とが垂直方向に離設されると共に第２アーム
２３，２４と第４アーム４３，４４および第１のハンド
部材２５と第２のハンド部材４５が垂直方向に相対向し
て配設されているため、第１および第２のハンド部材２
５，４５は相互に干渉することがなく、かつ第１および
第２のハンド部材２５，４５の相互の上下面の間隔Ｈ1
を小さくすることができ、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を小さくすることができる。
４１，４２とが垂直方向に離設されると共に第２アーム
２３，２４と第４アーム４３，４４および第１のハンド
部材２５と第２のハンド部材４５が垂直方向に相対向し
て配設されているため、第１および第２のハンド部材２
５，４５は相互に干渉することがなく、かつ第１および
第２のハンド部材２５，４５の相互の上下面の間隔Ｈ1
を小さくすることができ、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を小さくすることができる。
【００４９】勿論、第１および第２の回転駆動機１５，
１６と第３および第４の回転駆動機１７，１８が適宜に
夫々同一方向と逆方向とに同期回転制御されて、第１お
よび第２のハンド部材２５，４５が夫々適宜に旋回と直
線移動される。このように、第１および第２のハンド部
材２５，４５は相互に干渉することがなく、かつ夫々任
意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時間
なく第１および第２のハンド部材２５，４５により被加
工物を適宜の処理室に対して搬送することができ、生産
性が向上する。
１６と第３および第４の回転駆動機１７，１８が適宜に
夫々同一方向と逆方向とに同期回転制御されて、第１お
よび第２のハンド部材２５，４５が夫々適宜に旋回と直
線移動される。このように、第１および第２のハンド部
材２５，４５は相互に干渉することがなく、かつ夫々任
意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時間
なく第１および第２のハンド部材２５，４５により被加
工物を適宜の処理室に対して搬送することができ、生産
性が向上する。
【００５０】更に、第１および第２のハンド部材２５，
４５は相互に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の
回転駆動機１５〜１８は固定の枠体１に取付けられてい
るため、第１および第２のハンド部材２５，４５を水平
方向に旋回させるときには、角度に制限されることなく
旋回させることができる。このため、第１および第２の
ハンド部材２５，４５は、旋回角度、すなわち旋回方向
の回動角度の確認が必要であった従来の装置に比較し
て、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて被加工物
の搬送を行なうことができるため、従来に比べて装置の
使い勝手がよい。
４５は相互に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の
回転駆動機１５〜１８は固定の枠体１に取付けられてい
るため、第１および第２のハンド部材２５，４５を水平
方向に旋回させるときには、角度に制限されることなく
旋回させることができる。このため、第１および第２の
ハンド部材２５，４５は、旋回角度、すなわち旋回方向
の回動角度の確認が必要であった従来の装置に比較し
て、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて被加工物
の搬送を行なうことができるため、従来に比べて装置の
使い勝手がよい。
【００５１】要するに、本第１の発明によればコンパク
トで使い勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アー
ム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
トで使い勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アー
ム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００５２】さらに本第２の発明によれば、第２アーム
２３，２４および第４のアーム４３，４４の夫々の先端
部に設けられる回転軸受機構３２は、第２アーム２３，
２４および第４のアーム４３，４４の先端部に垂直方向
に貫通する大径の貫通孔２６に円板２７が遊入された状
態で、貫通孔２６と円板２７との内外周部に周設される
円状の溝２８に球体３０が挿入・配置された薄肉状の回
転軸受機構３２であるため、第１および第２のハンド部
材２５，４５の上下面間の間隔Ｈ1 を極めて小さくする
ことができ、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を極
めて小さくすることができる。このため、真空雰囲下で
処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置
として、特に好適である。
２３，２４および第４のアーム４３，４４の夫々の先端
部に設けられる回転軸受機構３２は、第２アーム２３，
２４および第４のアーム４３，４４の先端部に垂直方向
に貫通する大径の貫通孔２６に円板２７が遊入された状
態で、貫通孔２６と円板２７との内外周部に周設される
円状の溝２８に球体３０が挿入・配置された薄肉状の回
転軸受機構３２であるため、第１および第２のハンド部
材２５，４５の上下面間の間隔Ｈ1 を極めて小さくする
ことができ、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を極
めて小さくすることができる。このため、真空雰囲下で
処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置
として、特に好適である。
【００５３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本第１の
発明に係る搬送用ロボット装置は、被加工物を載置する
ためのハンド部材を夫々先端に取付けた第１および第２
のアーム機構を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移
動させると共に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２
アーム方式の搬送用ロボット装置において、固定の枠体
と、垂直線を軸芯として前記固定の枠体に回転自在に同
軸に支持された第１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠
体に取付けられて、前記第１乃至第４の回転軸に夫々連
結された第１乃至第４の回転駆動機と、前記第１および
第２の回転軸に夫々取付けられた対をなす第１アーム
と、前記第１アームの夫々の先端に垂直線廻りに回転自
在に取付けられて、夫々の先端に歯車が取付けられた対
をなす第２アームと、前記歯車が噛合うように前記第２
アームの先端部を回転軸受機構を介して連結する第１の
ハンド部材と、前記第３および第４の回転軸に夫々取付
けられた、前記第１アームと実質的に同一構造の第３ア
ームと、前記第３アームの夫々の先端に取付けられた、
前記第２アームと実質的に同一構造の第４アームと、前
記第４アームの先端部を連結する、前記第１のハンド部
材と実質的に同一構造の第２のハンド部材と、前記第１
および第２の回転駆動機と前記第３および第４の回転駆
動機が適宜に夫々同一方向と逆方向とに同期回転制御さ
れる制御装置とを具備し、前記第１アームと第３アーム
とが垂直方向に離設されると共に第２アームと第４アー
ムおよび第１のハンド部材と第２のハンド部材が垂直方
向に相対向して配設されてなり、特に、第１乃至第４の
回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されてい
るため、第１乃至第４の回転軸を回転自在に支持する回
転軸受および気密用の磁性流体シールを夫々可及的に小
径とすることができ、装置がコンパクトとなり、かつ小
径の回転軸受および小径の磁性流体シールを使用するた
め装置が安価となる。
発明に係る搬送用ロボット装置は、被加工物を載置する
ためのハンド部材を夫々先端に取付けた第１および第２
のアーム機構を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移
動させると共に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２
アーム方式の搬送用ロボット装置において、固定の枠体
と、垂直線を軸芯として前記固定の枠体に回転自在に同
軸に支持された第１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠
体に取付けられて、前記第１乃至第４の回転軸に夫々連
結された第１乃至第４の回転駆動機と、前記第１および
第２の回転軸に夫々取付けられた対をなす第１アーム
と、前記第１アームの夫々の先端に垂直線廻りに回転自
在に取付けられて、夫々の先端に歯車が取付けられた対
をなす第２アームと、前記歯車が噛合うように前記第２
アームの先端部を回転軸受機構を介して連結する第１の
ハンド部材と、前記第３および第４の回転軸に夫々取付
けられた、前記第１アームと実質的に同一構造の第３ア
ームと、前記第３アームの夫々の先端に取付けられた、
前記第２アームと実質的に同一構造の第４アームと、前
記第４アームの先端部を連結する、前記第１のハンド部
材と実質的に同一構造の第２のハンド部材と、前記第１
および第２の回転駆動機と前記第３および第４の回転駆
動機が適宜に夫々同一方向と逆方向とに同期回転制御さ
れる制御装置とを具備し、前記第１アームと第３アーム
とが垂直方向に離設されると共に第２アームと第４アー
ムおよび第１のハンド部材と第２のハンド部材が垂直方
向に相対向して配設されてなり、特に、第１乃至第４の
回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回転支持されてい
るため、第１乃至第４の回転軸を回転自在に支持する回
転軸受および気密用の磁性流体シールを夫々可及的に小
径とすることができ、装置がコンパクトとなり、かつ小
径の回転軸受および小径の磁性流体シールを使用するた
め装置が安価となる。
【００５４】更に、前記第１アームと第３アームとが垂
直方向に離設されると共に第２アームと第４アームおよ
び第１のハンド部材と第２のハンド部材が垂直方向に相
対向して配設されているため、第１および第２のハンド
部材は相互に干渉することがなく、かつ第１および第２
のハンド部材の相互の上下面の間隔を小さくすることが
でき、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を小さくす
ることができる。
直方向に離設されると共に第２アームと第４アームおよ
び第１のハンド部材と第２のハンド部材が垂直方向に相
対向して配設されているため、第１および第２のハンド
部材は相互に干渉することがなく、かつ第１および第２
のハンド部材の相互の上下面の間隔を小さくすることが
でき、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を小さくす
ることができる。
【００５５】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機が適宜に夫々同一方向
と逆方向とに同期回転制御されてハンド部材が適宜に旋
回と直線移動される。このように、第１および第２のハ
ンド部材は相互に干渉することがなく、かつ夫々任意
に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時間な
く第１および第２のハンド部材により被加工物を適宜の
処理室に対して搬送することができ、生産性が向上す
る。
前記第３および第４の回転駆動機が適宜に夫々同一方向
と逆方向とに同期回転制御されてハンド部材が適宜に旋
回と直線移動される。このように、第１および第２のハ
ンド部材は相互に干渉することがなく、かつ夫々任意
に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時間な
く第１および第２のハンド部材により被加工物を適宜の
処理室に対して搬送することができ、生産性が向上す
る。
【００５６】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を水平方向に旋回させるときには、角度に
制限されることなく旋回させることができる。このた
め、第１および第２のハンド部材は、旋回角度、すなわ
ち旋回方向の回動角度の確認が必要であった従来の装置
に比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて
被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べ
て装置の使い勝手がよい。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を水平方向に旋回させるときには、角度に
制限されることなく旋回させることができる。このた
め、第１および第２のハンド部材は、旋回角度、すなわ
ち旋回方向の回動角度の確認が必要であった従来の装置
に比較して、旋回角度に関係なく自在位置に旋回されて
被加工物の搬送を行なうことができるため、従来に比べ
て装置の使い勝手がよい。
【００５７】要するに、本第１の発明によればコンパク
トで使い勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アー
ム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
トで使い勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アー
ム方式の搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００５８】さらに本第２の発明によれば、前記第２ア
ームおよび第４のアームの先端部に設けられる回転軸受
機構は、第２アームおよび第４アームの先端部に垂直方
向に貫通する大径の貫通孔に円板が遊入された状態で、
貫通孔と円板との内外周部に周設される円状の溝に球体
が挿入・配置された薄肉状の回転軸受機構であるため、
第１および第２のハンド部材の上下面間の間隔を極めて
小さくすることができ、ハンド部材出入り用の真空処理
室の窓を極めて小さくすることができる。このため、真
空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロ
ボット装置として、特に好適である。
ームおよび第４のアームの先端部に設けられる回転軸受
機構は、第２アームおよび第４アームの先端部に垂直方
向に貫通する大径の貫通孔に円板が遊入された状態で、
貫通孔と円板との内外周部に周設される円状の溝に球体
が挿入・配置された薄肉状の回転軸受機構であるため、
第１および第２のハンド部材の上下面間の間隔を極めて
小さくすることができ、ハンド部材出入り用の真空処理
室の窓を極めて小さくすることができる。このため、真
空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロ
ボット装置として、特に好適である。
【図１】本発明の実施例を示す一部断面平面図
【図２】図１の縦断面展開図
【図３】図２の先端部を示す拡大正面図
【図４】図１における上側のアーム機構を省略して示す
斜視図
斜視図
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線断面展開図
【図６】図４におけるVI−VI線断面図
【図７】図４における VII−VII 線断面図
【図８】図４の先端部に設けられる回転軸受機構３２を
説明するための斜視図
説明するための斜視図
【図９】図８における“Ａ”部拡大断面図
【図１０】従来例を示す要部断面側面図
【図１１】図１０の縦断面正面図
【図１２】図１１の動作状態を説明するための平面図
【図１３】図１０の使用状態を説明するための平面図
１ 固定の枠体 ２乃至５ 第１乃至第４の回転軸 ６乃至９ 気密用の磁性流体シール １１乃至１４ 第１乃至第４の回転伝達部材 １５乃至１８ 第１乃至第４の回転駆動機 ２１，２２ 対をなす第１アーム ２３，２４ 先端に歯車２３３，２４３が取付けられ
た対をなす第２アーム ２５ 第１のハンド部材 ２６ 第２アームの先端部に設けられた、垂直方向に
貫通する大径の貫通孔 ２７ 貫通孔２６に遊入された円板 ２８ 貫通孔２６の内周部と円板２７の外周部とに周
設された相対向する円状の溝 ２９ 円状の溝２８に連通する通路 ３０ 円状の溝２８内に挿入された複数個の球体 ３１ 通路２９を遮断する遮断具 ３２ ２６乃至３１よりなる回転軸受機構 ３３ 第１のアーム機構 ４１，４２ 対をなす第３アーム ４３，４４ 先端に歯車４３３，４４３が取付けられ
た対をなす第４アーム ４５ 第２のハンド部材 ５３ 第２のアーム機構
た対をなす第２アーム ２５ 第１のハンド部材 ２６ 第２アームの先端部に設けられた、垂直方向に
貫通する大径の貫通孔 ２７ 貫通孔２６に遊入された円板 ２８ 貫通孔２６の内周部と円板２７の外周部とに周
設された相対向する円状の溝 ２９ 円状の溝２８に連通する通路 ３０ 円状の溝２８内に挿入された複数個の球体 ３１ 通路２９を遮断する遮断具 ３２ ２６乃至３１よりなる回転軸受機構 ３３ 第１のアーム機構 ４１，４２ 対をなす第３アーム ４３，４４ 先端に歯車４３３，４４３が取付けられ
た対をなす第４アーム ４５ 第２のハンド部材 ５３ 第２のアーム機構
Claims (3)
- 【請求項１】 被加工物を載置するためのハンド部材を
夫々先端に取付けた第１および第２のアーム機構を有
し、該ハンド部材を水平方向に直線移動させると共に該
ハンド部材を水平方向に旋回させる２アーム方式の搬送
用ロボット装置において、固定の枠体と、垂直線を軸芯
として前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第
１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられ
て、前記第１乃至第４の回転軸に夫々連結された第１乃
至第４の回転駆動機と、前記第１および第２の回転軸に
夫々取付けられた対をなす第１アームと、前記第１アー
ムの夫々の先端に垂直線廻りに回転自在に取付けられ
て、夫々の先端に歯車が取付けられた対をなす第２アー
ムと、前記歯車が噛合うように前記第２アームの先端部
を回転軸受機構を介して連結する第１のハンド部材と、
前記第３および第４の回転軸に夫々取付けられた、前記
第１アームと実質的に同一構造の第３アームと、前記第
３アームの夫々の先端に取付けられた、前記第２アーム
と実質的に同一構造の第４アームと、前記第４アームの
先端部を連結する、前記第１のハンド部材と実質的に同
一構造の第２のハンド部材と、前記第１および第２の回
転駆動機と前記第３および第４の回転駆動機が適宜に夫
々同一方向と逆方向とに同期回転制御される制御装置と
を具備し、前記第１アームと第３アームとが垂直方向に
離設されると共に第２アームと第４アームおよび第１の
ハンド部材と第２のハンド部材が垂直方向に相対向して
配設されたことを特徴とする２アーム方式の搬送用ロボ
ット装置。 - 【請求項２】 前記第２アームおよび第４アームの先端
部に設けられる回転軸受機構は、第２アームおよび第４
アームの先端部に垂直方向に貫通する大径の貫通孔と、
該貫通孔に遊入される円板と、該円板が貫通孔に遊入さ
れた状態で、貫通孔および円板の内外周部に相対向して
周設される円状の溝と、該円状の溝に連通するように第
２アームおよび第４アームの先端部に設けられた通路
と、該通路より円状の溝内に挿入された複数個の球体
と、球体が挿入された状態で第２アームおよび第４アー
ムの先端部に設けられた通路を遮断する遮断具とからな
る薄肉状の回転軸受機構である請求項１記載の２アーム
方式の搬送用ロボット装置。 - 【請求項３】 前記同軸に支持された第１乃至第４の回
転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支
持されてなる請求項１または２に記載の２アーム方式の
搬送用ロボット装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157570A JPH10329059A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
| US09/030,112 US6099238A (en) | 1997-05-30 | 1998-02-25 | Two-armed transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9157570A JPH10329059A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10329059A true JPH10329059A (ja) | 1998-12-15 |
Family
ID=15652584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9157570A Pending JPH10329059A (ja) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
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| JP (1) | JPH10329059A (ja) |
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