JPH10277973A - ハンドリング用ロボットの制御方法 - Google Patents
ハンドリング用ロボットの制御方法Info
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- JPH10277973A JPH10277973A JP9089501A JP8950197A JPH10277973A JP H10277973 A JPH10277973 A JP H10277973A JP 9089501 A JP9089501 A JP 9089501A JP 8950197 A JP8950197 A JP 8950197A JP H10277973 A JPH10277973 A JP H10277973A
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- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
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- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送台の旋回、突入、没入の一連動作のサイ
クルタイムを短縮できるようにする。 【解決手段】 第１・第２の搬送台を旋回方向に位相を
ずらせて配置すると共に、この各搬送台をトランスファ
チャンバ内にて一体状に旋回すると共に、トランスファ
チャンバの周壁に設けたゲートを通って、トランスファ
チャンバと、これの周囲に設けたプロセスチャンバとに
対して突入及び没入するようにしたハンドリング用ロボ
ットの制御方法において、搬送台の突入動作と没入動作
を旋回動作と共に行うようにした。
クルタイムを短縮できるようにする。 【解決手段】 第１・第２の搬送台を旋回方向に位相を
ずらせて配置すると共に、この各搬送台をトランスファ
チャンバ内にて一体状に旋回すると共に、トランスファ
チャンバの周壁に設けたゲートを通って、トランスファ
チャンバと、これの周囲に設けたプロセスチャンバとに
対して突入及び没入するようにしたハンドリング用ロボ
ットの制御方法において、搬送台の突入動作と没入動作
を旋回動作と共に行うようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置
や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチ
ャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャ
ンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理される
ウエハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを
経由して、このトランスファチャンバに設けたハンドリ
ング用ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他の
プロセスチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバ
タイプの製造装置における上記ハンドリング用ロボット
の制御方法に関するものである。
や、ＬＣＤ製造装置等のように、１つのトランスファチ
ャンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャ
ンバを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理される
ウエハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを
経由して、このトランスファチャンバに設けたハンドリ
ング用ロボットにて、１つのプロセスチャンバから他の
プロセスチャンバへ搬送するようにしたマルチチャンバ
タイプの製造装置における上記ハンドリング用ロボット
の制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マルチチャンバタイプの半導体製造装置
は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ
１の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるステーシ
ョン２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワ
ークを受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３と
が配設されており、トランスファチャンバ１内は常時真
空装置にて真空状態が保たれている。
は図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ
１の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるステーシ
ョン２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、外部に対してワ
ークを受け渡しを行うワーク受け渡しステーション３と
が配設されており、トランスファチャンバ１内は常時真
空装置にて真空状態が保たれている。
【０００３】そして上記トランスファチャンバ１は図２
に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング
用ロボットＡが旋回可能に備えてあり、周壁で、かつ各
ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク
受け渡しステーション３に対向する仕切り壁５には各ス
テーションへのワークの出入口となるゲート６が設けて
ある。このゲート６はトランスファチャンバ２の内側に
各ゲート６に対向して設けられた図示しない開閉扉にて
開閉されるようになっている。
に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング
用ロボットＡが旋回可能に備えてあり、周壁で、かつ各
ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワーク
受け渡しステーション３に対向する仕切り壁５には各ス
テーションへのワークの出入口となるゲート６が設けて
ある。このゲート６はトランスファチャンバ２の内側に
各ゲート６に対向して設けられた図示しない開閉扉にて
開閉されるようになっている。
【０００４】上記ハンドリング用ロボットＡはいわゆる
フロッグレッグ式の双腕型といわれているものが用いら
れていて、その構成は図３から図６に示すようになって
いる。
フロッグレッグ式の双腕型といわれているものが用いら
れていて、その構成は図３から図６に示すようになって
いる。
【０００５】回転中心に対して同長の２本のアーム７
ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同
一形状の２つの搬送台８ａ，８ｂを回転中心に対して両
側に位置して有しており、この各搬送台８ａ，８ｂの基
部に、同長の２本のリンク９ａ，９ｂの一端が連結され
ている。この両リンク９ａ，９ｂの一端は搬送台８ａ，
８ｂに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を
介して連結されており、両リンク９ａ，９ｂは各搬送台
８ａ，８ｂに対して完全に対称方向に回転するようにな
っている。そして各搬送台８ａ，８ｂに連結した２本の
リンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方の
リンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。
ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同
一形状の２つの搬送台８ａ，８ｂを回転中心に対して両
側に位置して有しており、この各搬送台８ａ，８ｂの基
部に、同長の２本のリンク９ａ，９ｂの一端が連結され
ている。この両リンク９ａ，９ｂの一端は搬送台８ａ，
８ｂに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を
介して連結されており、両リンク９ａ，９ｂは各搬送台
８ａ，８ｂに対して完全に対称方向に回転するようにな
っている。そして各搬送台８ａ，８ｂに連結した２本の
リンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方の
リンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。
【０００６】図４は上記フロッグレッグ式の搬送台姿勢
規制機構を示すもので、搬送台８ａ，８ｂに連結される
２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図４（ａ）に示すよ
うに互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成によ
り結合されており、搬送台８ａ，８ｂに対するリンク９
ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に同じになるようにし
ている。これにより、搬送台８ａ，８ｂは常にトランス
ファチャンバ１の半径方向に向けられると共に、半径方
向へ動作される。上記リンク９ａ，９ｂの連結は歯車に
代えて、図４（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト
９ｄによるものもある。
規制機構を示すもので、搬送台８ａ，８ｂに連結される
２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図４（ａ）に示すよ
うに互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成によ
り結合されており、搬送台８ａ，８ｂに対するリンク９
ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に同じになるようにし
ている。これにより、搬送台８ａ，８ｂは常にトランス
ファチャンバ１の半径方向に向けられると共に、半径方
向へ動作される。上記リンク９ａ，９ｂの連結は歯車に
代えて、図４（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト
９ｄによるものもある。
【０００７】図５は上記アーム７ａ，７ｂをそれぞれ独
立して回転するための機構を示すものである。各アーム
７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、こ
の各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して同
軸状にしてトランスファチャンバ１に対して回転自在に
支持されている。
立して回転するための機構を示すものである。各アーム
７ａ，７ｂの基部はそれぞれリング状になっていて、こ
の各リング状ボス１０ａ，１０ｂは回転中心に対して同
軸状にしてトランスファチャンバ１に対して回転自在に
支持されている。
【０００８】一方両リング状ボス１０ａ，１０ｂの内側
には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて
同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状
ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，
１２ｂにて回転方向に磁気力にて連結されている。
には円板状ボス１１ａ，１１ｂがそれぞれに対向されて
同じ同心状に配置されており、この各対向するリング状
ボスと円板状ボスとがマグネットカップリング１２ａ，
１２ｂにて回転方向に磁気力にて連結されている。
【０００９】上記各円板状ボス１１ａ，１１ｂのそれぞ
れの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、
このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチ
ャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置を
ずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出
力部に連結されている。
れの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されていて、
このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂはトランスファチ
ャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に位置を
ずらせて支持されたモータユニット１４ａ，１４ｂの出
力部に連結されている。
【００１０】上記モータユニット１４ａ，１４ｂは、例
えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニ
ックドライブ（商品名、以下同じ）を用いた減速機１６
が一体状に結合されていて、各減速機１６，１６の出力
部が上記各回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されてい
る。アーム７ａ，７ｂが位置されるトランスファチャン
バ１内は真空状態に維持されることから、このアーム回
転機構のリング状ボス１０ａ，１０ｂと円板状ボス１１
ａ，１１ｂとの間に密閉用の隔壁１７が設けてある。
えばＡＣサーボモータを用いたモータ１５と、ハーモニ
ックドライブ（商品名、以下同じ）を用いた減速機１６
が一体状に結合されていて、各減速機１６，１６の出力
部が上記各回転軸１３ａ，１３ｂの基端に連結されてい
る。アーム７ａ，７ｂが位置されるトランスファチャン
バ１内は真空状態に維持されることから、このアーム回
転機構のリング状ボス１０ａ，１０ｂと円板状ボス１１
ａ，１１ｂとの間に密閉用の隔壁１７が設けてある。
【００１１】図６の（ａ），（ｂ）は上記した従来のハ
ンドリング用ロボットＡの作用を示すもので、図６
（ａ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂが回転中心に
対して直径方向に対称位置にあるときには、両搬送台８
ａ，８ｂに対してリンク９ａ，９ｂが最も拡開するよう
回転された状態となり、従って両搬送台８ａ，８ｂは旋
回中心側へ移動されている。
ンドリング用ロボットＡの作用を示すもので、図６
（ａ）に示すように、両アーム７ａ，７ｂが回転中心に
対して直径方向に対称位置にあるときには、両搬送台８
ａ，８ｂに対してリンク９ａ，９ｂが最も拡開するよう
回転された状態となり、従って両搬送台８ａ，８ｂは旋
回中心側へ移動されている。
【００１２】この状態で両アーム７ａ，７ｂを同一方向
に回転することにより、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向
の位置を維持したまま回転中心に対して旋回される。ま
た図６（ａ）に示す状態から、両アーム７ａ，７ｂを、
これらが互いに近付く方向（互いに逆方向）に回転する
ことにより、図６（ｂ）に示すように両アーム７ａ，７
ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８ａがリ
ンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動されて
トランスファチャンバ１に対して放射方向外側に隣接し
て設けられた上記ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチャンバ
内に突入する。
に回転することにより、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向
の位置を維持したまま回転中心に対して旋回される。ま
た図６（ａ）に示す状態から、両アーム７ａ，７ｂを、
これらが互いに近付く方向（互いに逆方向）に回転する
ことにより、図６（ｂ）に示すように両アーム７ａ，７
ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８ａがリ
ンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動されて
トランスファチャンバ１に対して放射方向外側に隣接し
て設けられた上記ステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチャンバ
内に突入する。
【００１３】このとき、他方の搬送台は旋回中心側へ移
動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂと
のなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。
動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂと
のなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。
【００１４】上記第１のハンドリング用ロボットにあっ
ては、搬送台が２個あることにより、この２個の搬送台
を各ステーションに対して交互に、あるいは連続して用
いることができ、双腕ロボットとしての作用効果が期待
されていたが、現実には次のような問題がある。
ては、搬送台が２個あることにより、この２個の搬送台
を各ステーションに対して交互に、あるいは連続して用
いることができ、双腕ロボットとしての作用効果が期待
されていたが、現実には次のような問題がある。
【００１５】すなわち、プロセスの順番が決まってお
り、各ステーションで処理したウエハを各ステーション
に順番に送っていく場合において、各ステーション内に
は処理中または処理済みのウエハがある。このとき、あ
るステーション内の処理済みのウエハを未処理のウエハ
と交換する場合、この従来のハンドリング用ロボットＡ
では、図７から図１１に示すように、まず、一方の搬送
台８ａに未処理のウエハＷ1 を支持してからハンドリン
グ用ロボットＡを旋回して空いている方の搬送台８ｂを
交換しようとするステーション２ｅに対向させる（図
７）。
り、各ステーションで処理したウエハを各ステーション
に順番に送っていく場合において、各ステーション内に
は処理中または処理済みのウエハがある。このとき、あ
るステーション内の処理済みのウエハを未処理のウエハ
と交換する場合、この従来のハンドリング用ロボットＡ
では、図７から図１１に示すように、まず、一方の搬送
台８ａに未処理のウエハＷ1 を支持してからハンドリン
グ用ロボットＡを旋回して空いている方の搬送台８ｂを
交換しようとするステーション２ｅに対向させる（図
７）。
【００１６】ついで、この空いている方の搬送台８ｂを
ステーション２ｅ内へ突入させてこれの上に処理済みの
ウエハＷ2 を受け取り（図８）、トランスファチャンバ
１内へ搬送する。その後、ハンドリング用ロボットＡを
１８０度旋回して（図９）、未処理のウエハＷ1 を支持
している搬送台８ａを上記ステーション２ｅに対向させ
てからこれをステーション２ｅ内へ突入動（図１０）し
て未処理のウエハＷ1をこのステーション２ｅ内へ搬入
し、空になった搬送台８ａはトランスファチャンバ１内
に没入動される（図１１）。
ステーション２ｅ内へ突入させてこれの上に処理済みの
ウエハＷ2 を受け取り（図８）、トランスファチャンバ
１内へ搬送する。その後、ハンドリング用ロボットＡを
１８０度旋回して（図９）、未処理のウエハＷ1 を支持
している搬送台８ａを上記ステーション２ｅに対向させ
てからこれをステーション２ｅ内へ突入動（図１０）し
て未処理のウエハＷ1をこのステーション２ｅ内へ搬入
し、空になった搬送台８ａはトランスファチャンバ１内
に没入動される（図１１）。
【００１７】このように、上記従来のハンドリング用ロ
ボットＡでは、１つのステーションに対してウエハを交
換する度に１８０度旋回しなければならず、その上、こ
のハンドリング用ロボットＡの旋回は、各搬送台８ａ，
８ｂが各ステーション２ａ〜２ｅから、トランスファチ
ャンバ１内の所定の位置まで完全に没入動作してから行
われるようになっていたため、ウエハ交換のサイクルタ
イムが長くなってしまうという問題があった。
ボットＡでは、１つのステーションに対してウエハを交
換する度に１８０度旋回しなければならず、その上、こ
のハンドリング用ロボットＡの旋回は、各搬送台８ａ，
８ｂが各ステーション２ａ〜２ｅから、トランスファチ
ャンバ１内の所定の位置まで完全に没入動作してから行
われるようになっていたため、ウエハ交換のサイクルタ
イムが長くなってしまうという問題があった。
【００１８】これに対して、本発明の出願人が先に特願
平８−３２４２３７号にて提案したように、１つのステ
ーションに対してハンドリング用ロボットを４５°程度
のわずかな角度にわたって回転するだけで、ステーショ
ン内の処理済みのウエハと、トランスファチャンバ内の
未処理のウエハを交換することができるようにしてウエ
ハ交換のサイクルタイムを短縮できるようにした第２・
第３のハンドリング用ロボットＡ′，Ａ″がある。
平８−３２４２３７号にて提案したように、１つのステ
ーションに対してハンドリング用ロボットを４５°程度
のわずかな角度にわたって回転するだけで、ステーショ
ン内の処理済みのウエハと、トランスファチャンバ内の
未処理のウエハを交換することができるようにしてウエ
ハ交換のサイクルタイムを短縮できるようにした第２・
第３のハンドリング用ロボットＡ′，Ａ″がある。
【００１９】この第２のハンドリング用ロボットＡ′は
図１２から図１４に示すようになっている。トランスフ
ァチャンバの中心部に第１・第２の２個のリング状ボス
２０ａ，２０ｂがそれぞれ同心状にして下側から順に重
ね合わせた状態で、かつ図示しない軸受を介して個々に
回転自在に支持されている。そして上記各リング状ボス
２０ａ，２０ｂのそれぞれに対向する内側には円板状ボ
ス２１ａ，２１ｂが軸方向に重ね合わせ状にしてトラン
スファチャンバ１のフレーム１ａ側に図示しない軸受を
介して個々に回転自在に支持されている。
図１２から図１４に示すようになっている。トランスフ
ァチャンバの中心部に第１・第２の２個のリング状ボス
２０ａ，２０ｂがそれぞれ同心状にして下側から順に重
ね合わせた状態で、かつ図示しない軸受を介して個々に
回転自在に支持されている。そして上記各リング状ボス
２０ａ，２０ｂのそれぞれに対向する内側には円板状ボ
ス２１ａ，２１ｂが軸方向に重ね合わせ状にしてトラン
スファチャンバ１のフレーム１ａ側に図示しない軸受を
介して個々に回転自在に支持されている。
【００２０】上記互いに対向する各リング状ボス２０
ａ，２０ｂと円板状ボス２１ａ，２１ｂのそれぞれはマ
グネットカップリング２２ａ，２２ｂにて磁気力にて連
結されている。そしてこの両ボスの間に、トランスファ
チャンバ内の真空状態を維持するために、隔壁２３が設
けてある。
ａ，２０ｂと円板状ボス２１ａ，２１ｂのそれぞれはマ
グネットカップリング２２ａ，２２ｂにて磁気力にて連
結されている。そしてこの両ボスの間に、トランスファ
チャンバ内の真空状態を維持するために、隔壁２３が設
けてある。
【００２１】上記各円板状ボス２１ａ，２１ｂのそれぞ
れは、これらの軸心部に同心状に配置された回転軸２４
ａ，２４ｂに結合されている。この両回転軸のうち、第
１の回転軸２４ａが中空になっていて、これに第２の回
転軸２４ｂが嵌挿されており、各回転軸２４ａ，２４ｂ
はタイミンクベルト等の連結機構を介して第１・第２の
各モータユニット２５ａ，２５ｂの各出力軸２６ａ，２
６ｂに連結されている。
れは、これらの軸心部に同心状に配置された回転軸２４
ａ，２４ｂに結合されている。この両回転軸のうち、第
１の回転軸２４ａが中空になっていて、これに第２の回
転軸２４ｂが嵌挿されており、各回転軸２４ａ，２４ｂ
はタイミンクベルト等の連結機構を介して第１・第２の
各モータユニット２５ａ，２５ｂの各出力軸２６ａ，２
６ｂに連結されている。
【００２２】上記両モータユニット２５ａ，２５ｂはサ
ーボモータと減速機を組合わせたもの、またはモータの
みが用いられ、それぞれの出力軸２６ａ，２６ｂは極め
て大きな減速比でもって減速されると共に、正転、逆転
が正確に制御されるようになっている。また各出力軸２
６ａ，２６ｂと各回転軸２４ａ，２４ｂとを連結する連
結機構の連結回転比は同一になっている。
ーボモータと減速機を組合わせたもの、またはモータの
みが用いられ、それぞれの出力軸２６ａ，２６ｂは極め
て大きな減速比でもって減速されると共に、正転、逆転
が正確に制御されるようになっている。また各出力軸２
６ａ，２６ｂと各回転軸２４ａ，２４ｂとを連結する連
結機構の連結回転比は同一になっている。
【００２３】上記第１のリング状ボス２０ａの側面には
第１・第２のアーム２７ａ，２７ｂが、第２のリング状
ボス２０ｂの側面には第３のアーム２７ｃが、またこの
第２のリング状ボス２０ｂの頂面の軸心部に脚柱２７ｅ
を介して第４のアーム２７ｄがそれぞれ放射方向に突設
されており、それぞれのアームの先端部上面が回転支点
となっている。
第１・第２のアーム２７ａ，２７ｂが、第２のリング状
ボス２０ｂの側面には第３のアーム２７ｃが、またこの
第２のリング状ボス２０ｂの頂面の軸心部に脚柱２７ｅ
を介して第４のアーム２７ｄがそれぞれ放射方向に突設
されており、それぞれのアームの先端部上面が回転支点
となっている。
【００２４】上記各アーム２７ａ〜２７ｄのそれぞれの
回転支点の半径Ｒは同一寸法になっている。そして上記
第１・第４のアーム２７ａ，２７ｂの回転支点は上下方
向で同一位置になっており、また第２・第３のアーム２
７ｂ，２７ｃの回転支点は上下方向同一位置で、かつ上
記第１・第４のアーム２７ａ，２７ｄのそれより低くな
っている。
回転支点の半径Ｒは同一寸法になっている。そして上記
第１・第４のアーム２７ａ，２７ｂの回転支点は上下方
向で同一位置になっており、また第２・第３のアーム２
７ｂ，２７ｃの回転支点は上下方向同一位置で、かつ上
記第１・第４のアーム２７ａ，２７ｄのそれより低くな
っている。
【００２５】上記各アーム２７ａ〜２７ｄの回転支点に
は同長で、かつ上記各アームの長さＲより長くした第１
・第２・第３・第４のリンク２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，
２８ｄの一端が回転自在に連結されている。そして上記
第１・第４のリング２８ａ，２８ｄの先端の下面にフロ
ッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送
台８ａが連結されている。また第２・第３のリング３８
ｂ，３８ｃの先端上面に搬送台姿勢規制機構を介して第
２の搬送台８ｂが連結されている。
は同長で、かつ上記各アームの長さＲより長くした第１
・第２・第３・第４のリンク２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，
２８ｄの一端が回転自在に連結されている。そして上記
第１・第４のリング２８ａ，２８ｄの先端の下面にフロ
ッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介して第１の搬送
台８ａが連結されている。また第２・第３のリング３８
ｂ，３８ｃの先端上面に搬送台姿勢規制機構を介して第
２の搬送台８ｂが連結されている。
【００２６】このとき、第１の搬送台８ａは、第１・第
４の両アーム２７ａ，２７ｄが直径方向に一直線状にな
った状態でいわゆる待機状態となるようになっている。
また同様に、第２の搬送台８ｂは第２・第３のアーム２
７ｂ，２７ｃが直径方向に一直線状になったときに待機
状態となるようになっている。そしてこの待機状態の両
搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの回転方向に位置がず
れており、この状態（図１４）がハンドリング用ロボッ
トの待機状態となり、この状態から、各リング状ボスの
回転により各搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方
向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用
ロボットが旋回されるようになっている。このとき、両
搬送台８ａ，８ｂは旋回方向に重複しないので、図１３
に示すように、上下方向に同一位置となっている。ま
た、第１のアーム２７ａの先端部は、第３のアーム２７
ｃの先端部が干渉しないように外側へ湾曲されている。
４の両アーム２７ａ，２７ｄが直径方向に一直線状にな
った状態でいわゆる待機状態となるようになっている。
また同様に、第２の搬送台８ｂは第２・第３のアーム２
７ｂ，２７ｃが直径方向に一直線状になったときに待機
状態となるようになっている。そしてこの待機状態の両
搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの回転方向に位置がず
れており、この状態（図１４）がハンドリング用ロボッ
トの待機状態となり、この状態から、各リング状ボスの
回転により各搬送台８ａ，８ｂがリング状ボスの半径方
向に出没作動され、またこの待機状態でハンドリング用
ロボットが旋回されるようになっている。このとき、両
搬送台８ａ，８ｂは旋回方向に重複しないので、図１３
に示すように、上下方向に同一位置となっている。ま
た、第１のアーム２７ａの先端部は、第３のアーム２７
ｃの先端部が干渉しないように外側へ湾曲されている。
【００２７】このように構成されたハンドリング用ロボ
ットＡ′は図１５から図１９に示すような動作を行う。
すなわち、一方の搬送台に未処理のウエハＷ1 を載置し
た状態で、ウエハを載置していない方、すなわちの空い
ている方の搬送台が処理済みのウエハＷ2 があるステー
ション２ｅに対向するように待機状態で回転する（図１
５）。
ットＡ′は図１５から図１９に示すような動作を行う。
すなわち、一方の搬送台に未処理のウエハＷ1 を載置し
た状態で、ウエハを載置していない方、すなわちの空い
ている方の搬送台が処理済みのウエハＷ2 があるステー
ション２ｅに対向するように待機状態で回転する（図１
５）。
【００２８】ついで空いている方の搬送台を上記ステー
ション２ｅ内に突入させて、この上に載置して上記処理
済みのウエハＷ2 を搬出する（図１６）。ついで、未処
理のウエハＷ1 を載置している方の搬送台を、これの処
理を行うステーション２ｅに対向するよう全体で旋回す
る（図１７）。このときの回転角は両搬送台の回転方向
のずれ分だけで、例えば約４５°である。
ション２ｅ内に突入させて、この上に載置して上記処理
済みのウエハＷ2 を搬出する（図１６）。ついで、未処
理のウエハＷ1 を載置している方の搬送台を、これの処
理を行うステーション２ｅに対向するよう全体で旋回す
る（図１７）。このときの回転角は両搬送台の回転方向
のずれ分だけで、例えば約４５°である。
【００２９】この状態で未処理のウエハＷ1 を載置して
いる搬送台をステーション２ｅ内に突入してこのウエハ
Ｗ1 をステーション内にセットする（図１８）。ついで
空いた搬送台をトランスファチャンバ側へ没入させ、他
方の搬送台上の処理済みのウエハＷ2 が次のプロセスを
行うステーション２ａの方へ旋回し、上記と同様の動作
を繰り返す。
いる搬送台をステーション２ｅ内に突入してこのウエハ
Ｗ1 をステーション内にセットする（図１８）。ついで
空いた搬送台をトランスファチャンバ側へ没入させ、他
方の搬送台上の処理済みのウエハＷ2 が次のプロセスを
行うステーション２ａの方へ旋回し、上記と同様の動作
を繰り返す。
【００３０】一方第３のハンドリング用ロボットＡ″は
図２０から図２２に示すようになっている。図中３０は
トランスファチャンバのフレームに回転自在に支承され
た回転台であり、この回転台３０の回転中心に駆動軸３
１がこの回転台３０に対して回転自在に支承されてい
る。そして上記回転台３０はトランスファチャンバ１の
フレーム１ａ側に固着された第１のモータユニット３２
ａにて正転及び逆転方向に駆動されるようになってお
り、また、駆動軸３１は回転台３０側に固着された第２
のモータユニット３２ｂにて正転及び逆転方向に駆動さ
れるようになっている。
図２０から図２２に示すようになっている。図中３０は
トランスファチャンバのフレームに回転自在に支承され
た回転台であり、この回転台３０の回転中心に駆動軸３
１がこの回転台３０に対して回転自在に支承されてい
る。そして上記回転台３０はトランスファチャンバ１の
フレーム１ａ側に固着された第１のモータユニット３２
ａにて正転及び逆転方向に駆動されるようになってお
り、また、駆動軸３１は回転台３０側に固着された第２
のモータユニット３２ｂにて正転及び逆転方向に駆動さ
れるようになっている。
【００３１】３３と３４は上記駆動軸３１の軸心に対し
て両側に配置される第１・第２のロボットリンク機構Ｂ
1 ，Ｂ2 の平行リンク構成にしたそれぞれの駆動リンク
機構であり、この第１・第２の駆動リンク機構３３，３
４はそれぞれ平行に配置される駆動リンク３３ａ，３４
ａと、従動リンク３３ｂ，３４ｂと、各両リンク３３
ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂのそれぞれの先端を連結す
る連結リンク３３ｃ，３４ｃとからなっている。
て両側に配置される第１・第２のロボットリンク機構Ｂ
1 ，Ｂ2 の平行リンク構成にしたそれぞれの駆動リンク
機構であり、この第１・第２の駆動リンク機構３３，３
４はそれぞれ平行に配置される駆動リンク３３ａ，３４
ａと、従動リンク３３ｂ，３４ｂと、各両リンク３３
ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂのそれぞれの先端を連結す
る連結リンク３３ｃ，３４ｃとからなっている。
【００３２】そして上記各駆動リンク機構３３，３４の
それぞれの駆動リンク３３ａ，３４ａの基端部は上記駆
動軸３１に固着結合されている。またそれぞれの従動リ
ンク３３ｂ，３４ｂの基端は、回転台３０の回転中心に
対して離間角度α（６０°）だけ離間する位置となるよ
うにして回転台３０に枢支されている。各駆動リンク機
構３３，３４の連結リンク３３ｃ，３４ｃの両端の支持
軸３５ａ，３５ｂ，３６ａ，３６ｂにはそれぞれ同一歯
数で、かつ互いに各両リンクのもの相互で歯合する歯車
３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄが各支持軸と一体構成
にて設けてある。この各支持軸のうち、駆動リンク３３
ａ，３４ａの先端に位置する支持軸７５ａ，７６ａが各
駆動リンク３３ａ，３４ａに一体結合され、他のものは
それぞれリンクに対して回転自在となっている。
それぞれの駆動リンク３３ａ，３４ａの基端部は上記駆
動軸３１に固着結合されている。またそれぞれの従動リ
ンク３３ｂ，３４ｂの基端は、回転台３０の回転中心に
対して離間角度α（６０°）だけ離間する位置となるよ
うにして回転台３０に枢支されている。各駆動リンク機
構３３，３４の連結リンク３３ｃ，３４ｃの両端の支持
軸３５ａ，３５ｂ，３６ａ，３６ｂにはそれぞれ同一歯
数で、かつ互いに各両リンクのもの相互で歯合する歯車
３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄが各支持軸と一体構成
にて設けてある。この各支持軸のうち、駆動リンク３３
ａ，３４ａの先端に位置する支持軸７５ａ，７６ａが各
駆動リンク３３ａ，３４ａに一体結合され、他のものは
それぞれリンクに対して回転自在となっている。
【００３３】３８，３９は上記第１・第２のロボットリ
ンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの駆動リンク機構３３，
３４の先端側に連結され、かつ各駆動リンク機構３３，
３４と同一大きさの平行リンク構成にした第１・第２の
従動リンク機構であり、この各従動リンク機構３８，３
９はそれぞれ平行に配置される駆動リンク３８ａ，３９
ａと、従動リンク３８ｂ，３９ｂからなっており、各リ
ンクの基端のうち、駆動リンク３８ａ，３９ａの基端が
上記第１・第２の駆動リンク機構３３，３４のそれぞれ
の従動リンク３３ｂ，３４ｂ側の支持軸３５ｂ，３６ｂ
に一体結合され、従動リンク３８ｂ，３９ｂの基端は各
支持軸３５ａ，３６ａに回転自在に連結されている。そ
して各従動リンク機構３８，３９のリンクの先端側のリ
ンク４０ａ，４０ｂにこれと一体状にして搬送台８ａ，
８ｂが連結されている。両従動リンク機構７８，７９の
各リンク形状及び両搬送台８ａ，８ｂの形状から両搬送
台８ａ，８ｂは図２２に示すように上下方向に同一位置
となっている。また搬送台８ａ，８ｂの基端部も相互に
干渉しないようになっている。
ンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの駆動リンク機構３３，
３４の先端側に連結され、かつ各駆動リンク機構３３，
３４と同一大きさの平行リンク構成にした第１・第２の
従動リンク機構であり、この各従動リンク機構３８，３
９はそれぞれ平行に配置される駆動リンク３８ａ，３９
ａと、従動リンク３８ｂ，３９ｂからなっており、各リ
ンクの基端のうち、駆動リンク３８ａ，３９ａの基端が
上記第１・第２の駆動リンク機構３３，３４のそれぞれ
の従動リンク３３ｂ，３４ｂ側の支持軸３５ｂ，３６ｂ
に一体結合され、従動リンク３８ｂ，３９ｂの基端は各
支持軸３５ａ，３６ａに回転自在に連結されている。そ
して各従動リンク機構３８，３９のリンクの先端側のリ
ンク４０ａ，４０ｂにこれと一体状にして搬送台８ａ，
８ｂが連結されている。両従動リンク機構７８，７９の
各リンク形状及び両搬送台８ａ，８ｂの形状から両搬送
台８ａ，８ｂは図２２に示すように上下方向に同一位置
となっている。また搬送台８ａ，８ｂの基端部も相互に
干渉しないようになっている。
【００３４】またこのときの両搬送台８ａ，８ｂは両従
動リンク機構３８，３９の先端側のリンク４０ａ，４０
ｂの延長線上に向けて配置されており、従ってこの両搬
送台８ａ，８ｂは回転台３０の回転中心に対して上記離
間角度αだけ回転方向に位置がずれされている。なお図
２２において、４１は磁性流体シールである。
動リンク機構３８，３９の先端側のリンク４０ａ，４０
ｂの延長線上に向けて配置されており、従ってこの両搬
送台８ａ，８ｂは回転台３０の回転中心に対して上記離
間角度αだけ回転方向に位置がずれされている。なお図
２２において、４１は磁性流体シールである。
【００３５】この第３のハンドリング用ロボットＡ″の
作用を以下に説明する。図２１に示す待機状態で、第２
のモータユニット３２ｂを正転あるいは逆転して駆動軸
３１を，例えば右回転すると、第１・第２のロボットリ
ンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの駆動リンク機構３３，
３４のそれぞれの駆動リンク３３ａ，３４ａが一体状に
右方向に回転される。
作用を以下に説明する。図２１に示す待機状態で、第２
のモータユニット３２ｂを正転あるいは逆転して駆動軸
３１を，例えば右回転すると、第１・第２のロボットリ
ンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 のそれぞれの駆動リンク機構３３，
３４のそれぞれの駆動リンク３３ａ，３４ａが一体状に
右方向に回転される。
【００３６】これにより、図２０に示すように、第１・
第２の従動リンク機構３８，３９は歯車３７ａ，３７
ｂ，３７ｃ，３７ｄの作動により、左方向に回動し、第
１のロボットリンク機構Ｂ1 の搬送台８ａは突出動作
し、第２のロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台８ｂ′は没
入動作する。このときのそれぞれの搬送台８ａ，８ｂは
それぞれの第１・第２の駆動リンク機構３３，３４のそ
れぞれの従動リンク３３ｂ，３４ｂの離間角度αのそれ
ぞれの角度α1 ，α2 方向に出没動作される。
第２の従動リンク機構３８，３９は歯車３７ａ，３７
ｂ，３７ｃ，３７ｄの作動により、左方向に回動し、第
１のロボットリンク機構Ｂ1 の搬送台８ａは突出動作
し、第２のロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台８ｂ′は没
入動作する。このときのそれぞれの搬送台８ａ，８ｂは
それぞれの第１・第２の駆動リンク機構３３，３４のそ
れぞれの従動リンク３３ｂ，３４ｂの離間角度αのそれ
ぞれの角度α1 ，α2 方向に出没動作される。
【００３７】駆動軸３１を逆方向、すなわち左方向に回
転すると、上記動作は逆になり、第１のロボットリンク
機構Ｂ1 の搬送台８ａは角度α1 に沿って没入動され、
第２のロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台８ｂは角度α2
に沿って突出動される。
転すると、上記動作は逆になり、第１のロボットリンク
機構Ｂ1 の搬送台８ａは角度α1 に沿って没入動され、
第２のロボットリンク機構Ｂ2 の搬送台８ｂは角度α2
に沿って突出動される。
【００３８】図２１の待機姿勢の状態で第１のモータユ
ニット３２ａを駆動することにより回転台３０が回転さ
れて、第１・第２のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 は一
体状となって回転される。
ニット３２ａを駆動することにより回転台３０が回転さ
れて、第１・第２のロボットリンク機構Ｂ1 ，Ｂ2 は一
体状となって回転される。
【００３９】
【発明が解決しようとする課題】上記した第２・第３の
ハンドリング用ロボットＡ′，Ａ″は、一対の搬送台が
４５°あるいは６０°の方向に向けて出没するようにな
っているので、第１のハンドリング用ロボットＡのよう
に１８０°位相がずれているものより、ウエハ交換の際
のロボット全体の旋回角が少なくてすむが、いくら少な
いといっても、ウエハ交換時にはロボット全体を４５°
あるいは６０°にわたって旋回しなければならない。そ
してこの第２・第３のハンドリング用ボットＡ′，Ａ″
も、第１のハンドリング用ボットと同様に、ステーショ
ン内に突入動作した搬送台が、トランスファチャンバ内
に没入して、待機状態になってから、ロボット全体が旋
回するようになっているため、搬送台の突入、没入動作
時の動作時間がロスタイムになることは変わらず、単に
旋回角度が１８０°から４５°あるいは６０°になった
分しかサイクルタイムを短縮することができなかった。
ハンドリング用ロボットＡ′，Ａ″は、一対の搬送台が
４５°あるいは６０°の方向に向けて出没するようにな
っているので、第１のハンドリング用ロボットＡのよう
に１８０°位相がずれているものより、ウエハ交換の際
のロボット全体の旋回角が少なくてすむが、いくら少な
いといっても、ウエハ交換時にはロボット全体を４５°
あるいは６０°にわたって旋回しなければならない。そ
してこの第２・第３のハンドリング用ボットＡ′，Ａ″
も、第１のハンドリング用ボットと同様に、ステーショ
ン内に突入動作した搬送台が、トランスファチャンバ内
に没入して、待機状態になってから、ロボット全体が旋
回するようになっているため、搬送台の突入、没入動作
時の動作時間がロスタイムになることは変わらず、単に
旋回角度が１８０°から４５°あるいは６０°になった
分しかサイクルタイムを短縮することができなかった。
【００４０】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、ハンドリング用ロボットの旋回及び搬送台の突
入、没入動作における全体のサイクルタイムを短縮でき
るようにしたハンドリング用ロボットの制御方法を提供
することを目的とするものである。
ので、ハンドリング用ロボットの旋回及び搬送台の突
入、没入動作における全体のサイクルタイムを短縮でき
るようにしたハンドリング用ロボットの制御方法を提供
することを目的とするものである。
【００４１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るハンドリング用ロボットの制御方法
は、第１・第２の搬送台を旋回方向に位相をずらせて配
置し、この各搬送台をトランスファチャンバ内にて一体
状に旋回すると共に、トランスファチャンバの周壁に設
けたゲートを通って、トランスファチャンバと、これの
周囲に設けたプロセスチャンバとに対して各搬送台を突
入及び没入するようにしたハンドリング用ロボットの制
御方法において、搬送台の突入動作と没入動作を旋回動
作と重複して行うようにした。
に、本発明に係るハンドリング用ロボットの制御方法
は、第１・第２の搬送台を旋回方向に位相をずらせて配
置し、この各搬送台をトランスファチャンバ内にて一体
状に旋回すると共に、トランスファチャンバの周壁に設
けたゲートを通って、トランスファチャンバと、これの
周囲に設けたプロセスチャンバとに対して各搬送台を突
入及び没入するようにしたハンドリング用ロボットの制
御方法において、搬送台の突入動作と没入動作を旋回動
作と重複して行うようにした。
【００４２】そして上記制御方法において、旋回動作と
重複して行われる搬送台の突入及び没入動作が、ゲート
と干渉しないように行う。
重複して行われる搬送台の突入及び没入動作が、ゲート
と干渉しないように行う。
【００４３】上記したハンドリング用ロボットの制御方
法によれば、ハンドリング用ロボットの旋回動作と各搬
送台の突入、没入の各動作の組み合わせにて行われて、
この両動作が重複されることになり、ハンドリング用ロ
ボットの旋回及び搬送台の出没動作における全体のサイ
クルタイムを短縮することができる。
法によれば、ハンドリング用ロボットの旋回動作と各搬
送台の突入、没入の各動作の組み合わせにて行われて、
この両動作が重複されることになり、ハンドリング用ロ
ボットの旋回及び搬送台の出没動作における全体のサイ
クルタイムを短縮することができる。
【００４４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を上述した第
２のハンドリング用ロボットＡ′について説明する。こ
の第２のハンドリング用ロボットＡ′の一対の搬送台８
ａ，８ｂの従来の動作は図１５から図１９に示すように
なり、このときの両搬送台８ａ，８ｂの先端部の動きを
細かく分析すると、第１の搬送台８ａの動作は図２３
（ａ）に、第２の搬送台８ｂの動作は図２３（ｂ）にそ
れぞれ示すようになる。なお以下に示すｔ0 ，ｔ0 ′〜
ｔ6 ，ｔ6 ′の各点及びこれを結ぶ線は各搬送台８ａ，
８ｂの先端中央部及びこれの軌跡を示す。
２のハンドリング用ロボットＡ′について説明する。こ
の第２のハンドリング用ロボットＡ′の一対の搬送台８
ａ，８ｂの従来の動作は図１５から図１９に示すように
なり、このときの両搬送台８ａ，８ｂの先端部の動きを
細かく分析すると、第１の搬送台８ａの動作は図２３
（ａ）に、第２の搬送台８ｂの動作は図２３（ｂ）にそ
れぞれ示すようになる。なお以下に示すｔ0 ，ｔ0 ′〜
ｔ6 ，ｔ6 ′の各点及びこれを結ぶ線は各搬送台８ａ，
８ｂの先端中央部及びこれの軌跡を示す。
【００４５】図１５は待機状態を示すものであり、この
ときの第１の搬送台８ａは図２３（ａ）でｔ0 、第２の
搬送台８ｂは図２３（ｂ）でｔ0 ′に位置されている。
そしてこの図２３（ａ），（ｂ）において、ｔ1 ，
ｔ1 ′は、図１６に示す状態の直前、すなわち、第２の
搬送台８ｂが対象のステーション２ｅに対向しての待機
状態を示す。ｔ2 ，ｔ2 ′は第２の搬送台８ｂがステー
ション２ｅ内にゲート６を通って所定ストロークにわた
って突入した状態を示す。このとき、待機側である第１
の搬送台８ａは、第２の搬送台８ｂの動きに連動してト
ランスファチャンバの内側へ少し没入動作してｔ2 の位
置となる。
ときの第１の搬送台８ａは図２３（ａ）でｔ0 、第２の
搬送台８ｂは図２３（ｂ）でｔ0 ′に位置されている。
そしてこの図２３（ａ），（ｂ）において、ｔ1 ，
ｔ1 ′は、図１６に示す状態の直前、すなわち、第２の
搬送台８ｂが対象のステーション２ｅに対向しての待機
状態を示す。ｔ2 ，ｔ2 ′は第２の搬送台８ｂがステー
ション２ｅ内にゲート６を通って所定ストロークにわた
って突入した状態を示す。このとき、待機側である第１
の搬送台８ａは、第２の搬送台８ｂの動きに連動してト
ランスファチャンバの内側へ少し没入動作してｔ2 の位
置となる。
【００４６】ｔ3 ，ｔ3 ′は第２の搬送台８ｂがステー
ション２ｅからゲート６を通ってトランスファチャンバ
側へ没入して待機状態になったときで、第１の搬送台８
ａも待機状態となる。ｔ4 ，ｔ4 ′は第１の搬送台８ａ
を対象のステーション２ｅに向けるために、両搬送台８
ａ，８ｂの配置角度、例えば４５°だけ旋回した状態を
示す。ｔ5 は第１の搬送台８ａがステーション２ｅ内に
ゲート６を通って突入した状態で、第２の搬送台８ｂは
これに連動して内側にｔ5 ′まで没入する。ｔ6 ，
ｔ6 ′は第１の搬送台８ａがステーション２ｅからゲー
ト６を通ってトランスファチャンバ側へ没入して待機位
置になったときの第１・第２の搬送台８ａ，８ｂの位置
である。
ション２ｅからゲート６を通ってトランスファチャンバ
側へ没入して待機状態になったときで、第１の搬送台８
ａも待機状態となる。ｔ4 ，ｔ4 ′は第１の搬送台８ａ
を対象のステーション２ｅに向けるために、両搬送台８
ａ，８ｂの配置角度、例えば４５°だけ旋回した状態を
示す。ｔ5 は第１の搬送台８ａがステーション２ｅ内に
ゲート６を通って突入した状態で、第２の搬送台８ｂは
これに連動して内側にｔ5 ′まで没入する。ｔ6 ，
ｔ6 ′は第１の搬送台８ａがステーション２ｅからゲー
ト６を通ってトランスファチャンバ側へ没入して待機位
置になったときの第１・第２の搬送台８ａ，８ｂの位置
である。
【００４７】このときの、各搬送台８ａ，８ｂの突入、
没入の各動作とロボット全体の旋回動作が別々になって
いたため、第１の搬送台８ａが最没入位置ｔ2 （第２の
搬送台８ｂは突入位置ｔ2 ′）から４５°にわたって旋
回し、ついでステーション２ｅ内にｔ5 まで突入するま
でのサイクルタイムＴは Ｔ＝（ｔ3 −ｔ2 ）＋（ｔ4 −ｔ3 ）＋（ｔ5 −ｔ4 ） ＝（ｔ3 ′−ｔ2 ′）＋（ｔ4 ′−ｔ3 ′）＋（ｔ5 ′−ｔ4 ′） となり、旋回動作の動作タイム（ｔ4 −ｔ3 ）、
（ｔ4 ′−ｔ3 ′）が直接的に加算されている。
没入の各動作とロボット全体の旋回動作が別々になって
いたため、第１の搬送台８ａが最没入位置ｔ2 （第２の
搬送台８ｂは突入位置ｔ2 ′）から４５°にわたって旋
回し、ついでステーション２ｅ内にｔ5 まで突入するま
でのサイクルタイムＴは Ｔ＝（ｔ3 −ｔ2 ）＋（ｔ4 −ｔ3 ）＋（ｔ5 −ｔ4 ） ＝（ｔ3 ′−ｔ2 ′）＋（ｔ4 ′−ｔ3 ′）＋（ｔ5 ′−ｔ4 ′） となり、旋回動作の動作タイム（ｔ4 −ｔ3 ）、
（ｔ4 ′−ｔ3 ′）が直接的に加算されている。
【００４８】本発明は上記搬送台８ａ，８ｂの突入、没
入動作と旋回動作において、搬送台８ａ，８ｂの突入、
没入動作を行いながら旋回動作を行って全体のサイクル
タイムの短縮を図ろうとするものである。
入動作と旋回動作において、搬送台８ａ，８ｂの突入、
没入動作を行いながら旋回動作を行って全体のサイクル
タイムの短縮を図ろうとするものである。
【００４９】そのやり方を、上記と同様に図１５から図
１９を参照しながら第２のハンドリング用ロボットＡ′
について図２４（ａ），（ｂ）に基づいて説明する。図
１５で示した待機状態では、第１の搬送台８ａは図２４
（ａ）でｔ00、第２の搬送台８ｂは図２４（ｂ）で
ｔ00′に位置される。なお、以下に示すｔ00，ｔ00′〜
ｔ05，ｔ05′の各点及びこれを結ぶ線は上記の場合と同
様に各搬送台８ａ，８ｂの先端中央部及びこれの軌跡を
示す。
１９を参照しながら第２のハンドリング用ロボットＡ′
について図２４（ａ），（ｂ）に基づいて説明する。図
１５で示した待機状態では、第１の搬送台８ａは図２４
（ａ）でｔ00、第２の搬送台８ｂは図２４（ｂ）で
ｔ00′に位置される。なお、以下に示すｔ00，ｔ00′〜
ｔ05，ｔ05′の各点及びこれを結ぶ線は上記の場合と同
様に各搬送台８ａ，８ｂの先端中央部及びこれの軌跡を
示す。
【００５０】図１５で示す待機状態からθだけ旋回して
第２の搬送台８ｂを１つのステーション２ｅに対向させ
ると共に、このステーション２ｅ内へゲート６を通して
突入し、ついでトランスファステーション１側へ没入さ
せ、ついで第１の搬送台８ａを同じステーション２ｅ内
に突入し、ついでこれをトランスファステーション１側
へ没入させる一連の動作について説明する。
第２の搬送台８ｂを１つのステーション２ｅに対向させ
ると共に、このステーション２ｅ内へゲート６を通して
突入し、ついでトランスファステーション１側へ没入さ
せ、ついで第１の搬送台８ａを同じステーション２ｅ内
に突入し、ついでこれをトランスファステーション１側
へ没入させる一連の動作について説明する。
【００５１】図１５に示す待機状態での第１の搬送台８
ａは図２４（ａ）のｔ00、第２の搬送台８ｂは図２４
（ｂ）のｔ00′に位置されている。この状態からθだけ
旋回する間に、第２の搬送台８ｂを徐々に突入動作を行
う。このときの第２の搬送台８ｂの軌跡は、例えば、円
弧やクロソイド曲線のような曲線を描いてステーション
２ｅに対向する位置に至る。そしてこのときの旋回途中
での搬送台８ｂの突入速度及びストロークは旋回速度と
ゲート６の大きさに関係して相対的に決められる。
ａは図２４（ａ）のｔ00、第２の搬送台８ｂは図２４
（ｂ）のｔ00′に位置されている。この状態からθだけ
旋回する間に、第２の搬送台８ｂを徐々に突入動作を行
う。このときの第２の搬送台８ｂの軌跡は、例えば、円
弧やクロソイド曲線のような曲線を描いてステーション
２ｅに対向する位置に至る。そしてこのときの旋回途中
での搬送台８ｂの突入速度及びストロークは旋回速度と
ゲート６の大きさに関係して相対的に決められる。
【００５２】すなわち、旋回方向に対してゲート６と干
渉する位置までの突入速度は旋回速度に対してゆっくり
とし、ある旋回角まで旋回し、ゲート６に干渉しない状
態になった時点ｔ01′から旋回速度に対して高速で
ｔ02′まで突入動作する。なお、搬送台８ｂ（あるいは
ウエハ）の大きさに対してゲート６の旋回方向の大きさ
が十分大きい場合には突入動作の終端位置ｔ02′まで旋
回動作と共に、突入動作を行うようにしてもよい。ま
た、上記突入速度は一定であってもよい。
渉する位置までの突入速度は旋回速度に対してゆっくり
とし、ある旋回角まで旋回し、ゲート６に干渉しない状
態になった時点ｔ01′から旋回速度に対して高速で
ｔ02′まで突入動作する。なお、搬送台８ｂ（あるいは
ウエハ）の大きさに対してゲート６の旋回方向の大きさ
が十分大きい場合には突入動作の終端位置ｔ02′まで旋
回動作と共に、突入動作を行うようにしてもよい。ま
た、上記突入速度は一定であってもよい。
【００５３】このとき、待機側である第１の搬送台８ａ
は第２の搬送台８ｂの動きに連動してトランスファチャ
ンバの内側へ少し没入動作してｔ01を経由してｔ02の位
置となる。
は第２の搬送台８ｂの動きに連動してトランスファチャ
ンバの内側へ少し没入動作してｔ01を経由してｔ02の位
置となる。
【００５４】ついで、第２の搬送台８ｂがステーション
２ｅからゲート６を通ってトランスファチャンバ側へ没
入させ、４５°にわたって旋回した第１の搬送台８ａを
ステーション２ｅに突入する動作がなされるが、このと
きの第２の搬送台８ｂはｔ02′からｔ01′まで、すなわ
ち、ゲート６に対して旋回方向に干渉する位置までは、
旋回しない状態で、あるいは極めてゆっくり旋回させな
がら第２の搬送台８ｂを没入動作し、ついでロボット全
体をステーション２ｅの位置から４５°にわたって旋回
させながら第２の搬送台８ｂが没入動作する。
２ｅからゲート６を通ってトランスファチャンバ側へ没
入させ、４５°にわたって旋回した第１の搬送台８ａを
ステーション２ｅに突入する動作がなされるが、このと
きの第２の搬送台８ｂはｔ02′からｔ01′まで、すなわ
ち、ゲート６に対して旋回方向に干渉する位置までは、
旋回しない状態で、あるいは極めてゆっくり旋回させな
がら第２の搬送台８ｂを没入動作し、ついでロボット全
体をステーション２ｅの位置から４５°にわたって旋回
させながら第２の搬送台８ｂが没入動作する。
【００５５】待機位置から４５°にわたって旋回してス
テーション２ｅに対して突入動作する第１の搬送台８ａ
は、上記第２の搬送台８ｂの突入動作と同様に旋回しな
がら突入動作が行われ、ゲート６に干渉しない状態にな
った時点ｔ03から高速でｔ04まで突入動作する。このと
き、第２の搬送台８ｂは、この第１の搬送台８ａの動作
に連動して没入動作が行われてｔ04′になる。
テーション２ｅに対して突入動作する第１の搬送台８ａ
は、上記第２の搬送台８ｂの突入動作と同様に旋回しな
がら突入動作が行われ、ゲート６に干渉しない状態にな
った時点ｔ03から高速でｔ04まで突入動作する。このと
き、第２の搬送台８ｂは、この第１の搬送台８ａの動作
に連動して没入動作が行われてｔ04′になる。
【００５６】この第１の搬送台８ａの没入動作は、次の
動作と組み合わせる場合、すなわち、旋回してこの第１
の搬送台８ａ、あるいは第２の搬送台８ｂを次のステー
ションに突出させる場合には、上記突入動作の場合と同
様に、ゲート６と旋回方向に干渉しない位置ｔ03まで没
入させてから、この没入動作中に旋回動作させてｔ05の
位置まで移動する。このとき、第２の搬送台８ｂは
ｔ05′になる。
動作と組み合わせる場合、すなわち、旋回してこの第１
の搬送台８ａ、あるいは第２の搬送台８ｂを次のステー
ションに突出させる場合には、上記突入動作の場合と同
様に、ゲート６と旋回方向に干渉しない位置ｔ03まで没
入させてから、この没入動作中に旋回動作させてｔ05の
位置まで移動する。このとき、第２の搬送台８ｂは
ｔ05′になる。
【００５７】このときの各搬送台８ａ，８ｂの突入、没
入の各動作において、第１の搬送台８ａが最没入位置ｔ
02（第２の搬送台８ｂは突入位置ｔ02′）から４５°に
わたって旋回し、ついでステーション２ｅ内にｔ04まで
突入するまでのサイクルタイムＴ0 は Ｔ0 ＝（ｔ01−ｔ02）＋（ｔ03−ｔ01）＋（ｔ04−ｔ03） ＝（ｔ01′−ｔ02′）＋（ｔ03′−ｔ01′）＋（ｔ04′−ｔ03′） となる。
入の各動作において、第１の搬送台８ａが最没入位置ｔ
02（第２の搬送台８ｂは突入位置ｔ02′）から４５°に
わたって旋回し、ついでステーション２ｅ内にｔ04まで
突入するまでのサイクルタイムＴ0 は Ｔ0 ＝（ｔ01−ｔ02）＋（ｔ03−ｔ01）＋（ｔ04−ｔ03） ＝（ｔ01′−ｔ02′）＋（ｔ03′−ｔ01′）＋（ｔ04′−ｔ03′） となる。
【００５８】このサイクルタイムＴ0 において、（ｔ03
−ｔ01）、（ｔ05−ｔ03）は、従来のサイクルタイムＴ
においての搬送台８ａ，８ｂの突入、没入の軌跡と旋回
軌跡との交点であるｔ3 ，ｔ4 及びｔ6 の部分をショー
トカットした曲線となり、また、（ｔ01′−ｔ00′）、
（ｔ03′−ｔ01′）も、従来のサイクルタイムＴにおい
ての両軌跡の交点であるｔ1 ′，ｔ3 ′及びｔ4 ′の部
分をショートカットした曲線となり、従って、この両サ
イクルタイムＴ，Ｔ0 を比較したときに、明らかに、Ｔ
＞Ｔ0 となり、本発明の実施の形態により、搬送台８
ａ，８ｂの旋回及び突入、没入のサイクルが短縮され
た。
−ｔ01）、（ｔ05−ｔ03）は、従来のサイクルタイムＴ
においての搬送台８ａ，８ｂの突入、没入の軌跡と旋回
軌跡との交点であるｔ3 ，ｔ4 及びｔ6 の部分をショー
トカットした曲線となり、また、（ｔ01′−ｔ00′）、
（ｔ03′−ｔ01′）も、従来のサイクルタイムＴにおい
ての両軌跡の交点であるｔ1 ′，ｔ3 ′及びｔ4 ′の部
分をショートカットした曲線となり、従って、この両サ
イクルタイムＴ，Ｔ0 を比較したときに、明らかに、Ｔ
＞Ｔ0 となり、本発明の実施の形態により、搬送台８
ａ，８ｂの旋回及び突入、没入のサイクルが短縮され
た。
【００５９】この実施の形態において、各搬送台８ａ，
８ｂが旋回しながら突入動作するときにゲート６に対す
る干渉しない位置ｔ03，ｔ01′はゲート６の旋回方向の
大きさ、及び搬送台、あるいはこれに載せるウエハの大
きさ、さらには速度・加速度等の動作条件によって決め
られる。
８ｂが旋回しながら突入動作するときにゲート６に対す
る干渉しない位置ｔ03，ｔ01′はゲート６の旋回方向の
大きさ、及び搬送台、あるいはこれに載せるウエハの大
きさ、さらには速度・加速度等の動作条件によって決め
られる。
【００６０】上記搬送台８ａ，８ｂのサイクルタイムＴ
0 を描くには、ハンドリング用ロボットＡ′の旋回動作
と各搬送台８ａ，８ｂの突入、没入の各動作の組み合わ
せにて行われる。そしてこの動作は、これらを駆動する
モータユニット２５ａ，２５ｂの制御にて行われる。こ
のとき、この両モータユニット２５ａ，２５ｂは図示し
ない制御装置にて正転、逆転及び回転速度が正確に、か
つ任意に制御されるようにする。
0 を描くには、ハンドリング用ロボットＡ′の旋回動作
と各搬送台８ａ，８ｂの突入、没入の各動作の組み合わ
せにて行われる。そしてこの動作は、これらを駆動する
モータユニット２５ａ，２５ｂの制御にて行われる。こ
のとき、この両モータユニット２５ａ，２５ｂは図示し
ない制御装置にて正転、逆転及び回転速度が正確に、か
つ任意に制御されるようにする。
【００６１】この実施の形態では、第２のハンドリング
用ロボットＡ′について説明したが、図２０に示した他
のハンドリング用ロボットＡ″においても同様に実施す
ることができる。また、図２４（ａ）、（ｂ）におい
て、搬送台８ａ，８ｂのｔ01→ｔ03、ｔ01′→ｔ03′の
軌跡が、両搬送台８ａ，８ｂの待機状態での旋回軌跡と
単に交差でもよく、あるいは接線状を経て交差し、接線
状に離間するようにしてもよい。
用ロボットＡ′について説明したが、図２０に示した他
のハンドリング用ロボットＡ″においても同様に実施す
ることができる。また、図２４（ａ）、（ｂ）におい
て、搬送台８ａ，８ｂのｔ01→ｔ03、ｔ01′→ｔ03′の
軌跡が、両搬送台８ａ，８ｂの待機状態での旋回軌跡と
単に交差でもよく、あるいは接線状を経て交差し、接線
状に離間するようにしてもよい。
【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。
半導体製造装置の概略的な平面図である。
【図２】トランスファチャンバと第１のハンドリング用
ロボットの関係を示す分解斜視図である。
ロボットの関係を示す分解斜視図である。
【図３】第１のハンドリング用ロボットを示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説
明図である。
明図である。
【図５】第１のハンドリング用ロボットのアーム回転機
構を示す断面図である。
構を示す断面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は第１のハンドリング用ロボッ
トの作用説明図である。
トの作用説明図である。
【図７】第１のハンドリング用ロボットの１つのステー
ションに対する作用説明図である。
ションに対する作用説明図である。
【図８】第１のハンドリング用ロボットの１つのステー
ションに対する作用説明図である。
ションに対する作用説明図である。
【図９】第１のハンドリング用ロボットの１つのステー
ションに対する作用説明図である。
ションに対する作用説明図である。
【図１０】第１のハンドリング用ロボットの１つのステ
ーションに対する作用説明図である。
ーションに対する作用説明図である。
【図１１】第１のハンドリング用ロボットの１つのステ
ーションに対する作用説明図である。
ーションに対する作用説明図である。
【図１２】第２のハンドリング用ロボットのボス部を示
す断面図である。
す断面図である。
【図１３】第２のハンドリング用ロボットを示す正面図
である。
である。
【図１４】第２のハンドリング用ロボットを示す平面図
である。
である。
【図１５】第２のハンドリング用ロボットにおける１つ
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
【図１６】第２のハンドリング用ロボットにおける１つ
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
【図１７】第２のハンドリング用ロボットにおける１つ
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
【図１８】第２のハンドリング用ロボットにおける１つ
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
【図１９】第２のハンドリング用ロボットにおける１つ
のステーションに対する作用説明図である。
のステーションに対する作用説明図である。
【図２０】第３のハンドリング用ロボットの作用状態を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図２１】第３のハンドリング用ロボットの待機状態を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図２２】第３のハンドリング用ロボットの構成を示す
断面図である。
断面図である。
【図２３】（ａ），（ｂ）は第３のハンドリング用ロボ
ットにおける搬送台の動作軌跡を示す線図である。
ットにおける搬送台の動作軌跡を示す線図である。
【図２４】（ａ），（ｂ）は本発明におけるハンドリン
グ用ロボットの搬送台の動作軌跡を示す線図である。
グ用ロボットの搬送台の動作軌跡を示す線図である。
Ａ，Ａ′，Ａ″…ハンドリング用ロボット Ｂ1 ，Ｂ2 …ロボットリンク機構 １…トランスファチャンバ １ａ…フレーム ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセスチャンバステ
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート ７ａ，７ｂ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ…アーム ８ａ，８ｂ…搬送台 ９ａ，９ｂ，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ…リンク １０ａ，１０ｂ，２０ａ，２０ｂリング状ボス １１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ…円板状ボス １３ａ，１３ｂ，２４ａ，２４ｂ…回転軸 １４ａ，１４ｂ，２５ａ，２５ｂ，３２ａ，３２ｂ…モ
ータユニット １７，２３…隔壁 ２７ｅ…脚柱 ３０…回転台 ３１…駆動軸 ３３，３４…駆動リンク機構 ３８，３９…従動リンク機構
ーション ３…ワーク受け渡しステーション ５…仕切り壁 ６…ゲート ７ａ，７ｂ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ…アーム ８ａ，８ｂ…搬送台 ９ａ，９ｂ，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄ…リンク １０ａ，１０ｂ，２０ａ，２０ｂリング状ボス １１ａ，１１ｂ，２１ａ，２１ｂ…円板状ボス １３ａ，１３ｂ，２４ａ，２４ｂ…回転軸 １４ａ，１４ｂ，２５ａ，２５ｂ，３２ａ，３２ｂ…モ
ータユニット １７，２３…隔壁 ２７ｅ…脚柱 ３０…回転台 ３１…駆動軸 ３３，３４…駆動リンク機構 ３８，３９…従動リンク機構
Claims (2)
- 【請求項１】 第１・第２の搬送台を旋回方向に位相を
ずらせて配置し、この各搬送台をトランスファチャンバ
内にて一体状に旋回すると共に、トランスファチャンバ
の周壁に設けたゲートを通って、トランスファチャンバ
と、これの周囲に設けたプロセスチャンバとに対して各
搬送台を突入及び没入するようにしたハンドリング用ロ
ボットの制御方法において、搬送台の突入動作と没入動
作を旋回動作と重複して行うようにしたことを特徴とす
るハンドリング用ロボットの制御方法。 - 【請求項２】 旋回動作と重複して行われる搬送台の突
入及び没入動作が、ゲートと干渉しないように行うこと
を特徴とする請求項１記載のハンドリング用ロボットの
制御方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08950197A JP3522075B2 (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | ハンドリング用ロボットの制御方法 |
| TW087104887A TW470693B (en) | 1997-04-08 | 1998-04-01 | Method for controlling handling robot |
| US09/402,397 US6382902B1 (en) | 1997-04-08 | 1998-04-03 | Method for controlling handling robot |
| PCT/JP1998/001555 WO1998045095A1 (fr) | 1997-04-08 | 1998-04-03 | Procede de commande d'un robot de manutention |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08950197A JP3522075B2 (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | ハンドリング用ロボットの制御方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003323473A Division JP3970231B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | ハンドリング用ロボットの制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10277973A true JPH10277973A (ja) | 1998-10-20 |
| JP3522075B2 JP3522075B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=13972524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08950197A Expired - Lifetime JP3522075B2 (ja) | 1997-04-08 | 1997-04-08 | ハンドリング用ロボットの制御方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6382902B1 (ja) |
| JP (1) | JP3522075B2 (ja) |
| TW (1) | TW470693B (ja) |
| WO (1) | WO1998045095A1 (ja) |
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| JP2004502558A (ja) * | 2000-07-06 | 2004-01-29 | ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド | 独立エンドエフェクタリンク装置運動方式のロボット |
| US7040852B2 (en) | 2002-04-25 | 2006-05-09 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Robot arm mechanism and robot apparatus |
| JP2008113031A (ja) * | 2008-01-17 | 2008-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 物体搬送装置および物体搬送方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| KR100428781B1 (ko) * | 2001-04-16 | 2004-04-27 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 및 그 이송 방법 |
| US6877952B2 (en) * | 2002-09-09 | 2005-04-12 | Florida Turbine Technologies, Inc | Passive clearance control |
| KR100471088B1 (ko) * | 2003-02-07 | 2005-03-10 | 삼성전자주식회사 | 이송장치 |
| KR100595135B1 (ko) * | 2004-12-29 | 2006-06-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 두 개의 웨이퍼 이송용 모듈을 갖는 웨이퍼 이송장치 |
| US8221050B2 (en) * | 2008-03-07 | 2012-07-17 | Fabworx Solutions, Inc. | Robotic assembly providing leveling and joint stress reduction |
| IT201700036039A1 (it) * | 2017-04-03 | 2018-10-03 | Gima Spa | Stazione di prelievo e consegna |
| US10453725B2 (en) * | 2017-09-19 | 2019-10-22 | Applied Materials, Inc. | Dual-blade robot including vertically offset horizontally overlapping frog-leg linkages and systems and methods including same |
| KR20200102612A (ko) * | 2019-02-21 | 2020-09-01 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Family Cites Families (11)
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|---|---|---|---|---|
| JPS61136105A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Sony Corp | 産業用ロボツトの移動制御装置 |
| JPH0825151B2 (ja) * | 1988-09-16 | 1996-03-13 | 東京応化工業株式会社 | ハンドリングユニット |
| JP2699510B2 (ja) * | 1989-01-23 | 1998-01-19 | ソニー株式会社 | 多関節型ロボット |
| US5725352A (en) * | 1993-11-22 | 1998-03-10 | Sony Corporation | Multi-articulate arm type transport device |
| US5934856A (en) * | 1994-05-23 | 1999-08-10 | Tokyo Electron Limited | Multi-chamber treatment system |
| JPH0871965A (ja) | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Sony Corp | 移載装置 |
| JP3204115B2 (ja) * | 1996-01-25 | 2001-09-04 | ダイキン工業株式会社 | ワーク搬送ロボット |
| US6102164A (en) * | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
| KR100469931B1 (ko) | 1996-03-18 | 2005-04-06 | 로제 가부시키가이샤 | 공작물반송시스템의제어장치 |
| EP0960696A4 (en) | 1996-03-22 | 2000-02-02 | Komatsu Mfg Co Ltd | ROBOTS TO HANDLE |
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-
1997
- 1997-04-08 JP JP08950197A patent/JP3522075B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-04-01 TW TW087104887A patent/TW470693B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-04-03 WO PCT/JP1998/001555 patent/WO1998045095A1/ja active Application Filing
- 1998-04-03 US US09/402,397 patent/US6382902B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| US6382902B1 (en) | 2002-05-07 |
| JP3522075B2 (ja) | 2004-04-26 |
| TW470693B (en) | 2002-01-01 |
| WO1998045095A1 (fr) | 1998-10-15 |
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