470693 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A7 B7__五、發明説明（1 ) 〔習知技術〕 多室型半導體至造裝置係如圖1所示，料腔1的周圍 配設有複數個處理室站2a、2b、2c、2d、2e ; 及相對於裝置外部可進行工件的傳遞之傳遞站3 ’料腔1 內經常藉著真空裝置維持著真空的狀態。 此外，上述料腔1係如圖2所示，其中心部具備可自 由轉動之搬運用機器人A，與各個處理室站2 a、2 b、 2 c、2 d、2 e及工件傳遞站3相對，且整體構成周圍 壁之複數個隔間5上分別設有形成各個處理室站之工件出 入口的閘口 6。該閘口 6是藉著相對於各閘口 6而設置在 料腔1內側之未圖示開關門扉來開關。 使用於該種半導體製造裝置之習知搬運用機器人有一 般熟知如圖3至圖6 B所示之所謂蛙腿式雙腕型搬運用機 器人。 輪轂部B上相對於旋轉中心分別設置有可自由轉動之 同長的2根臂部7a ' 7b »另一方面，將同一形狀的2 個搬運台8 a、8 b定位在旋轉中心的兩側，該等各個搬 運台8a、8b的基部上連結有同長的2個連桿9 a、 9b之各一端。該等2連桿9a、9b之各一端係藉由蛙 腿式搬運台姿態限制機構連結在各搬運台8a、8b上， 兩連桿9a、9b係相對於各搬運台8a、8b形成可完 全對稱地朝著互相相反方向轉動。並且連結在各搬運台 8 a、8 b的2個連桿9 a、9 b中的一側連桿9 a是分 別藉樞著而將另一側連桿9 b連結在另一側臂部7 b上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T -·! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -4 - 470693 A7 B7 經濟部中央標率局負工消費合作社印裝 五、發明説明（2 ) 圖4A、圖4 B是表示上述蛙腿式搬運台姿態限制機 構。連結於各搬運台8a、8b之2個連桿9a、9b的 前端部具有圖4A所示互相嚙合之齒輪9 c、9 c所成的 連動機構，藉此機構可經常保持相對於搬運台8 a、8 b 保持著相同之連桿9a、9b的姿態角0R、藉此在 轉動臂部7a、7b時，可使搬運台8a、8b經常朝著 料腔1的半徑方向，同時朝著半徑方向移動》上述連桿 9 a、9 b的連動機構係以圖4 B表示之定邊皮帶9 d來 取代齒輪。 圖5是表示使上述臂部7a、7b分別獨立轉動用之 機構。各臂部7 a、7 b的基部是分別形成環狀，該等各 個環狀輪轂1 0 a、1 〇 b係相對於旋轉中心同軸配置， 且可相對於料腔1自由轉動支持著。 另一方面，兩環狀輪轂1 0 a、1 0 b的內側相對於 分別互相對應之環狀輪轂部1 0 a、1 0 b同心配置有圓 板狀輪轂1 1 a、1 1 b，該等分別之各對應成組的環狀 輪轂10a、l〇b與圓板狀輪轂11a、lib係藉由 磁性聯結器12a、12b予以結合者。 上述各圓板狀輪轂1 1 a、1 1 b分別之轉軸1 3 a 、1 3b係呈同心配置，該等各別的轉軸1 3 a、1 3b 是連結在同心且朝著軸向偏位支持在料腔1之外框1 a上 之馬達單元14a'14b的輸出部上。 上述馬達單元14a、14b是例如將使用AC伺服 馬達之馬達1 5，與使用協調驅動機（商品名，以下皆同 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 470693 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) )之較大減速比的減速機1 6結合成一體，而將各減速機 1 6、1 6之各輸出部連結在上述各轉軸1 3 a、1 3b 的基端上》並且，使臂部7 a、7 b定位之料腔1內維持 著真空狀態，在該臂部轉動機構的環狀輪轂1 0 a、 1 Ob與圓板狀輪轂1 1 a、1 1 b之間設置密閉用隔壁17» 圖6 A、圖6 B是表示上述習知搬運用機器人A的作 用。如圖6A所示，當兩臂部7a、7b相對於旋轉中心 在直徑方向呈對稱的位置時，相對於兩搬運台8 a、8 b 使連桿9 a、9 b轉動形成最爲擴開的狀態，因此使兩搬 運台8 a、8 b朝著旋轉中心側移動。 在此一狀態下，使兩臂部7 a、7 b朝著同一方向轉 動時，可使兩搬運台8 a、8 b在維持著半徑方向的位置 下圍繞著旋轉中心轉動。又，從圖6 A表示的狀態，使兩 臂部7 a、7b朝該等互相接近的方向（互相相反方向） 轉動時，位於圖6B表示之兩臂部7a、7b所形成之較 小角度側的搬運台8 a爲連桿9 a、9 b所推壓而朝著幅 射方向外側突出動作，相對於料腔1突入鄰接設於輻射方 向外側之上述處理室站2a、2b、2c、2d、2e的 3個其中之一站的處理室內。 此時，另一側之搬運台是朝著旋轉中心側移動，但是 各臂部7a、7b與連桿9a、9b所成角度上的關係上 僅形成其移動量。 但是，習知之搬運用機器人A係具有2個搬運台，可 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210Χ297公釐） g 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 相對於該等2個搬運台交互或連續地使用，藉此可期待具 有雙腕機器人的作用效果，但現實上會有以下的問題。 即，其過程爲既定之順序，因此將各處理室站所處理 的晶圓依序送入各站時，各站內具有處理中及未^理的晶 圓》此時，在一站內之處理後的晶圓與未處理的晶圓更換 時，上述習知技術之前者的搬運用機器人A係如圖7至圖 1 1所示’首先將未處理的晶圓W1支持在一側搬運台 8 a之後，轉動搬運用機器人A使空側之搬運台8 b與必 須更換晶圓的站相對（圖7 )。 其次，將空側之搬運台8 b突入至站2 e內，於其上 接受已處理的晶圓W2(圖8)，而搬入料腔1內。隨後 將搬運用機器人A轉動1 8 0度（圖9 )，使支持未處理 之晶圓W1的搬運台8 a與上述站2 e相對後，使其朝著 站2 e內突入動作（圖10)，將未處理的晶圓W1搬入 該站2 e內》成空的搬運台8 a則是沒入動作於轉移室1 內（圖1 1 )。 如上述，上述習知技術之前者搬運用機器人中，相對 於1個站而在每更換晶圓時必須旋轉1 8 0度，導致使晶 圓更換時的循環時間增長等問題。 相對於此，如與本發明同一申請人之國際公開第WO 9 7/3 5 6 9 0號公報中所記載，係相對於1個處理室 站只須將搬運用機器人轉動4 5°左右的角度，即可更換 站內已處理的晶圓與處理室內之未處理的晶圓，而可縮短 更換循環時間所成之第2、第3搬運用機器人A’ 、A” 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~~~7~. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
,1T -f 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（5 ) 〇 該第2搬運用機器人A’係形成如圖12至圖14所 示》在料腔1的中心部上，使第1及第2的2個環狀輪轂 2 0 a、2 0 b形成同心且由下側而上之順序重疊的狀態 ，藉由未圖示之軸承分別予以自由轉動支持著》並且，與 上述各環狀輪轂2 0 a、2 0 b分別相對的內側，於圓板 狀輪轂2 1 a、2 1 b重疊在軸向的狀態下，藉由未圖示 之軸承分別可自由轉動地支持在料腔1的外框1 a上。 上述之互相相對之各環狀輪轂2 0 a、2 0 b與圓板 狀輪轂2 1 a、2 1 b分別構成的組是藉著磁耦連結環 22a、22b磁力連結於其轉動方向。此外，爲維持料 腔1內的真空狀態，在該兩輪轂21a、21b之間設置 密閉用隔壁2 3。 上述各圓板狀輪轂2 1 a、2 1 b係分別結合於同心 配置在該等軸心部之轉軸24a、24b上。該等兩轉軸 中，第1轉軸24a係形成中空，將第2轉軸24b插嵌 於其上，各轉軸2 4 a、2 4 b是經由確動皮帶等連結機 構分別連結在第1、第2之各個馬達單元25a、25b 的各個輸出軸26a、26b上。 上述兩馬達單元2 5 a、2 5 b是組合伺服馬達與減 速機所成，或僅使用馬達，各別之輸出.軸2 6 a、2 6 b 是以極大的減速比減速的同時，可正確地控制正轉、逆轉 。又，分別連結各輸出軸26a、26b及各轉軸24a 、2 4 b之兩連結機構的連結轉動比係形成相同者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 470693 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 在上述第1環狀輪轂2 0 a側面上第1、第2之臂部 27a、27b，在第2環狀輪轂20b側面上第3之臂 部2 7 c ’在該第2環狀輪轂2 0 b頂面的周心部上藉腳 柱2 7 e之第4臂部2 7 d等分別呈輻射狀突射：該等臂 部的前端部上面設置轉動支點。 上述各臂部27a、27b、27c、27d分別之 轉動支點半徑R係形成同一尺寸。並且上述第1、第4之 臂部2 7 a、2 7 d的轉動支點係於上下方向形成同一位 置’又第2、第3之臂部27b、27c的轉動支點則是 上下方向同一位置且低於上述第1、第4之臂部2 7 a、 2 7 d的位置。 上述各臂部27a、27b、27c、27d之轉動 支點上係以同長且較上述各臂長度R長的第1、第2、第 3、第 4 之連桿 28a、28b、28c、28d 的一端 被可自由轉動地連結著。而在上述第1、第4連桿28a 、2 8 d前端下面藉蛙腿式搬運台姿態限制機構連結有第 1搬運台8a。又，第2、第3連桿38b、38c的前 端上面藉由蛙腿式搬運台姿態限制機構連結有第2搬運台 8b。 此時，第1之搬運台8 a係使第1、第4之兩臂部 2 7 a、2 7 d的直徑方向形成直線的狀態下，即待機狀 態。又，同樣地，第2搬運台8b是當第2、第3臂部 2 7 b、2 7 c直徑方向形成一直線時呈待機狀態。並且 ，該待機狀態之兩搬運台8 a、8 b是朝著環狀輪轂轉動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
，1T "、丨. 470693 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 方向的位置偏移’此一狀態（圖1 4)係形成搬運用機器 人的待機狀態。另從此一狀態，可藉各環狀輪轂的轉動使 各搬運台8a、8b形成朝環狀輪轂的半徑方向出沒動作 。此時’兩搬運台8a、8b並未在旋轉方向重複，因此 如圖1 3所示’上下方向係形成於同一位置。又，第1臂 部2 7 a的前端部是朝外側彎曲而不與第3臂部2 7 c的 前端部干涉。 構成如上述之搬運用機器人A’係如圖1 5至圖1 9 所示進行動作。即’將未處理的晶圓W 1載置於一側搬運 台8 a的狀態下’未載置晶圓的一側，即空的一側搬運台 8 b是將搬運用機器人整體在待機狀態下轉動使其與具有 已處理晶圓W2的轉移室站2 e相對（圖1 5 )。 其次，使空的一側搬運台8 b突入處理室站2 e內， 於其上載置上述已處理的晶圓W2搬出（圖1 6 )。另將 載置未處理的晶圓W1 —側之搬運台8 a，以搬運用機器 人整體轉動至與進行該等處理之轉移室站2 e相對爲止（ 圖17)。此時的轉角僅偏離兩搬運台8a、8b之轉動 方向的量，例如4 5 ° 。 在此狀態下，將載置未處理晶圓W1之搬運台8 a突 入轉移室站2 e內，將此晶圓W1設定在處理室站內（圖 18)。隨後使空的搬運台8 a沒入轉移室1側，轉動搬 運用機器人整體使另一側搬運台8 b上之已處理晶圓W2 與進行其次處理之處理室站2 a相對爲止，重覆與上述相 同的動作。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,-¾ 气 ！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-1〇 - 470693 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五 、發明説明 (8 ) 1 另 —方面 » 第 3 搬 運 用 纖 機 器 人 A ” 係形成如 圖 2 0 至 1 1 圖 2 2 所示 0 圖 中 3 0 係可 白 由 轉 動 支承於料 腔 1 之 框 1 1 體 上的 轉台 在 該 轉 台 3 0 的 旋 轉 中 心相對於 該 轉 台 3 0 /·-N 1 1 可 自由 轉動 支承有 驅 動 軸 3 1 0 並 且 > 上 述 轉 台 3 0 係 藉 請 先 閲 1 1 由 固著 於料 腔 1 之框 體 1 a 側 的 第 1 馬 達 單 元 3 2 a 朝 正 讀 背 1 | 轉 及逆 轉方 向 驅 動 > 又 » 驅 動 軸 3 1 則 是 藉 固 著 在 轉 台 1 1 I 3 0側 的第 2 馬 達 單 元 3 2 b 而 朝 正 轉 及 逆 轉 方 向 驅 動 0 事 項 再 1 1 3 3與 3 4 是 分別配 置 在 上 述 驅 動 軸 3 1 軸 心 兩 側 之 填 寫 本 1 第 1、 第2 拇 機 器 人 機 構 B 1 B 2 的 驅 動 連 桿 機 構 而 構 頁 1 成平行 連桿 機 構 〇 該 第 1 驅 動 連 桿 機 構 3 3 爲 平行配 置 之 1 | 驅 動連 桿3 3 a 與 從 動 連 桿 3 3 b 及 連 結 兩 連 桿 3 3 a 1 I 3 3 b前 端 的 連 結 桿 3 3 C 所 構 成 〇 又 第 2 驅 動 連 桿 1 訂 | 機 構3 4爲 平行 配 置 之 驅 動 連 桿 3 4 a 與 從 動 連 桿 3 4 b 1 1 > 及連 結兩 連 桿 3 4 a 、 3 4 b -V r- 刖 端 的 連 結 桿 3 4 C 所 構 1 1 成 0 1 | 又 ，上 述 各 驅 動 連 桿 3 3 、 3 4 之各別 驅 動 連 桿 3 3 气 a 、3 4 a 的 基 端 部係 固 著 結 合於上 述 驅 動 軸 3 1 上 〇 又 1 1 各別之從動 連 桿 3 3 b 、 3 4 b 的 基 端 是 軸支在 轉 台 3 0 1 1 上 形成相對於 轉 台 3 0 的 旋 轉 中 心 僅 間 隔 分 隔 角 度 a ( 1 1 6 0 ° )的位 置 〇 各 驅 動 連 桿 3 3 、 3 4 之 連 結 連 桿 1 | 3 3 c 、3 4 C 兩 端 的支持軸 3 5 a 3 5 b > 3 6 a 、 1 I 3 6 b 上， 設 置 分別利用 相 同 齒 數 而 以 各 連 結 連 桿 3 3 C 1 1 > 3 4 c相 互 嚙 合之 齒 輪 3 7 a > 3 7 b 、 3 7 C 、 1 1 3 7 d 。該 等 各支持軸 中 位於 驅 動 連 桿 3 3 a 、 3 4 a 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 470693 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明（9 ) 前端的支持軸7 5 a、76 a是一體結合在各驅動連桿 33a、34a，支持軸75b、7 6b是分別相對於各 從動連桿3 3 b、3 4 b形成可自由轉動者。 3 8、3 9係連結於上述第1 '第2機器人機構B 2 、B 2分別之驅動連桿機構3 3、3 4前端的第1、第2 從動連桿機構，而構成與各驅動連桿機構3 3、3 4相同 大小之平行連桿。該第1從動連桿機構3 8爲平行配置之 驅動連桿3 8 a與從動連桿3 8 b，及連結兩連桿3 8 a 、38b之連結桿40 a所構成。又，第2從動連桿機構 3 9則是由平行配置之驅動連桿3 9 a與從動連桿3 9 b ’及連結兩連桿3 9 a、3 9 b之連結桿4 0 b所構成。 各連桿的基端中’驅動連桿38a、39a的基端是 一體結合在上述第1、第2驅動連桿機構3 3、3 4分別 之從動連桿33b、34b側的支持軸35b、36b上 ’從動連桿3 8 b、3 9 b的基端係可自由轉動地支持於 支持軸35b、36a上。 並且，在各從動連桿機構3 8、3 9之連桿前端側的 連桿40a、40b上，連結與此形成一體之搬運台8a 、8 b。自兩從動連桿機構3 8 ' 3 9之各連桿形狀及兩 搬運台8a、8b的形狀使搬運台8a、8b如圖22所 示形成上下方向同一位置者。又，搬運台8 a、8 b的基 端部同樣形成互不干涉。 又，此時之兩搬運台8 a、8 b是配置在朝著兩從動 連桿機構38、39前端側之連桿4〇a、40b的延長 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-12- 470693 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 ____B7五、發明説明（10) 線上，因此該等兩搬運台8 a、8 b是相對於轉台3 〇的 旋轉中心，朝著僅偏離角度α的轉動方向偏位。此外，圖 2 2中，4 1爲磁性流體封件。 以下說明該第2搬運用機器人A”的作用。圖2 1表 示之待機狀態，使第2馬達單元3 2 b正轉或逆轉，例|如 向右轉動驅動軸3 1時，第1、第2機器人連桿機構b 1 、B 2分別之驅動連桿機構3 3、3 4的各個驅動連桿 3 3a、34a是形成一體向右方轉動。 藉此，如圖2 0所不，第1、第2從動連桿機構3 8 、39是利用齒輪37 a、37b、37 c、37d的動 作，分別朝左方向轉動，使第1機器人連桿機構B 1的搬 運台8 a突出動作，第2機器人連桿機構B 2之搬運台 8 b則是沒入動作。此時之各搬運台8 a、8 b係分別朝 著第1、第2驅動連桿機構3 3、34的各個從動連桿 3 3b ' 34b的間隔角度α的各個角度、α2方向出 沒動作。 將驅動軸3 1朝逆向，即左方向轉動時，上述動作形 成逆向，使第1機器人連桿機構Β 1的搬運台8 a沿著角 度α 1的方向沒入動作，第2機器人連桿機構B 2的搬運台 8 b沿著角度α 2的方向突出動作。 圖2 1之待機姿態的狀態下，驅動第1馬達單元3 2 a，藉以轉動轉台3 0，而使第1、第2機器人連桿機構 B1、B2形成一體轉動。 上述之第2、第3之機器人A’ 、A”係形成使一對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~~_ 13_ ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（11 ) 搬運台朝著4 5°或者6 0°的方向出沒，因此如第1搬 運用機器人A所示，藉180°的相位偏移，可減少晶圓 更換時機器人整體的轉動角’即使再小，在晶圓更換時仍 必須使機器人整體在45°或60°之間轉動。並且’第 2、第3搬運用機器人A’ 、A”也是與第1搬運用機器 人A相同，於處理室站2 e內突入動作之搬運台’係沒入 至料腔1內，形成待機的狀態後，因使機器人整體轉動’ 因此搬運台之突入、沒入動作時的動作時間會形成損失時 間的事實不變，僅旋轉角度從180°減至45°或 6 0°的量，縮短其循環周期。 本發明有鑑於上述之問題，乃提供可縮短搬運用機器 人的轉動及搬運台的突入、沒入動作之整體循環周期的搬 運用機器人的控制方法爲目的。 〔發明說明〕 爲達成上述目的之本發明搬運用機器人的控制方法之 一態樣爲， 在周圍具備：經由各閘口設置在配設有複數個處理室 站的料腔內，朝轉動方向位相偏移配置之第1及第2搬運 台，使上述第1及第2搬運台一體轉動於上述料腔內，同 時通過上述閘口使上述第1及第2搬運台可分別相對於上 述處理室站及上述料腔內突入及沒入之搬運用機器人中， 可旋轉動作及重覆進行上述第1及第2搬運台的突入 動作及沒入動作之搬運用機器人的控制方法。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 470693 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7___五、發明説明（12 ) 根據上述之搬運用機器人的控制方法，由於可重覆搬 運用機器人的轉動動作及各搬運台之突入、沒入動作的兩 動作，因此可縮短搬運用機器人的轉動及搬運台的突入、 沒入動作所構成之整體動作的循環周期。 上述之控制方法中， 上述搬運台的軌跡最好包含不通過上述搬運台之突入 、沒入軌跡與轉動軌跡交點的捷徑曲線。 又，進行使重覆轉動動作所進行之上述第1及第2搬 運台的突入及沒入動作不致與上述閘口干涉。 〔圖式之簡單說明〕 本發明可根據以下之詳細說明及本發明之實施例表示 之附圖，獲得更詳細的理解。此外，附圖所示之實施例並 無特定本發明之意圖，其僅是爲了容易說明及理解所表示 者。. 圖中， 圖1爲形成多室型製造裝置的一例之半導體製造裝置 的槪略俯視圖。 圖2是表示轉移室與搬運用機器人的關係之分解透視 圖。 圖3是表示第1搬運用機器人之透視圖。 圖4 A及圖4 B是分別表示搬運台姿態限制機構之說 明圖。 圖5是表示第1臂部旋轉機構之剖視圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（13 ) 圖6A及圖6 B爲第1搬運用機器人之作用說明圖。 圖7是相對於第1搬運用機器人的一站之作用說明圖 〇 圖8是相對於第1搬運用機器人的一站之作用說明圖 〇 圖9是相對於第1搬運用機器人的一站之作用說明圖 〇 圖1 0是相對於第1搬運用機器人的一站之作用說明 圖。 圖1 1是相對於第1搬運用機器人的一站之作用說明 圖。 圖1 2是表示第2搬運用機器人之輪轂部的剖視圖。 圖1 3是表示第2搬運用機器人之前視圖。 圖1 4是表示第2搬運用機器人之俯視圖。 圖1 5是相對於第2搬運用機器人之1處理室站的作 用說明圖。 圖1 6是相對於第2搬運用機器人之1處理室站的作 用說明圖。 圖1 7是相對於第2搬運用機器人之1處理室站的作 用說明圖。 圖1 8是相對於第2搬運用機器人之1處理室站的作 用說明圖。 圖1 9是相對於第2搬運用機器人之1處理室站的作 用說明圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ__ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）_ 16 _ 470693 A7 B7 室成衝 a a 連分入 動旋 -33 +Λ 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（14 ) 圖2 0是表示第3搬運用機器人的作用狀態之俯視圖 0 圖2 1是表示第3搬運用機器人之待機狀態的俯視圖 〇 圖2 2是表示第3搬運用機器人的構成之剖視圖。 圖2 3 A及圖2 3 B是表示第2搬運用機器人之搬運 台動作軌跡的線圖。 圖2 4A及圖2 4 B是表示本發明搬運用機器人之搬 運台動作軌跡的線圖。 〔實施本發明之最佳態樣〕 其次，下參閱添附圖式說明本發明最佳實施例之搬運 用機器人的操作方法如下。 根據上述第2之搬運用機器人A’說明本發明之一實 施例如下。 首先，該第2搬運用機器人A’之一對搬運台8 a、 8b的習知動作係形成圖15至圖19所示。一旦將此時 之兩搬運台8 a、8 b前動部的動作細微地分析時，第1 搬運台8 a的動作是如圖2 3A所示，第2搬運台8 b的 動作是如圖23B所示。並且，以下表示之t O〜t 7、 t0’〜t7’的各點及連結之線是分別表示各搬運台 8a、8b之前端中央部的位置及其軌跡。 圖1 5是表示待機狀態者，此時之第1搬運台8 a是 以圖23A之tO，第2搬運台8b是以圖23B之 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丁 國 國 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21ΌΧ297公釐） 470693 A7 B7____ 五、發明説明（15 ) to’分別予以定位。且於該等之圖23A及圖23B中 ，t 1’是表示僅將兩搬運台8a、8b從圖1 5表示的 待機狀態轉動角度0，於圖1 6表示狀態之瞬間前，亦即 使第2搬運台8 b相對於對應之處理室站2 e形成待機的 位置。此時第1搬運台8a係於tl的位置》t 2’是表 示於第2搬運台8 b通過處理室站2 e內的閘口 6而突入 預定行程的位置。此時，位於待機側之第1搬運台8 a是 與第2搬運台8 b的動作連動而稍微朝著處理室內側沒入 動作形成t 2的位置。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} t3’爲第2搬運台8b從處理室站2e通過閘口6 沒入處理室側形成待機狀態時的位置，而第1搬運台8 a 也同樣形成待機位置t 3。t 4、t 4 ’是分別表示爲了 使第1搬運台8 a與對應之處理室站2 e相對，而使得兩 搬運台8a、8b僅旋轉例如45°之配置角度量時之兩 搬運台8 a、8b的位置。t 5是表示第1搬運台8 a在 處理室站'2 e內通過閘口 6而突入的位置，使第2搬運台 8b與此連動朝內側沒入至t 5’爲止的位置。t 6、 t 6’是分別表示當第1搬運台8 a從處理室站2 e通過 閘口6沒入處理室站側而形成待機位置時，第1、第2搬 運台8a、8b的位置。 隨後，與其次的動作組合時，即轉動兩搬運台8 a、 8 b使第2搬運台8 b突出其次之處理室站2 a時，與上 述之突入動作時相同，使第1搬運台8 a沒入至位置t 6 後，隨後旋轉動作移動至t 7的動作。此時，第2搬運台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS.) A4規格（210X297公釐）_化_ 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（16) 8b是位於t7’的位置。 上述之動作中，由於是分別形成各搬運台8 a、8 b 之突出、沒入的各個動作及機器人整體的轉動動作，因此 第1搬運台8 a從最沒入的位置t 2 (第2搬運台8 b位 於突入位置t 2 ’ )轉動45° ，並於處理室站2e內突 入至‘t5爲止的循環時間T可將t2、t3' t4、t5 ' t 2 * 、t 3， 、t 4， 、t 5，視爲分別對應該等位 置的時刻。形成： T=(t3-t2) + (t4-t3) + (t5-t4) =(t 3 ' - t 2 ' ) + (t4’ - t3’ ）+ (t 5 ’ - t 4 ’ )， 可直接加算旋轉動作時間（t4— t3)或（t4’ 一 t 3 ’ 卜 本發明方法是在上述搬運台8 a、8 b的突入，沒Λ 動作與旋轉動作中，一邊進行搬運台8 a、8 b的突入， 沒入動作，一邊進行轉動動作而可縮短整體的循環週期。 與上述相同參閱圖15至圖19，使用第2搬運用機 器人A’並根據圖24A、圖24B說明其方法如下。 圖1 5表示之待機狀態下，第1搬運台8 a是定丨立& 圖24A的t〇〇，第2搬運台8b是定位在圖2 4B的 t〇0’ 。從此一狀態，在兩搬運台8a、8b僅轉動角 度0之間，進行第2搬運台8 b的緩慢突入動作。此胃胃 2搬運台8 b的軌跡是例如描繪圓弧或螺旋曲線等曲 到達與處理室站2 e相對的位置。並且，此時轉動中途之 (請先閱讀背面之注意事項再填离本頁) 訂 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 19· 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（17 ) 第2搬運台8 b的突入速度及突入距離係相對取決於轉動 速度與閘口 6的大小。 即，以至與第2搬運台8 b之閘門6干涉位置的突入 速度係相對於轉動速度而緩慢，轉動某一轉角後，從不與 閘口 6形成干涉狀態的位置t 〇 1 ’相對於轉動速度增加 其突入速度，而突入動作至位置t02’爲止。再者，相 對於第2搬運台8 b (或是晶圓）的大小形成足夠大的閘 口 6之轉動方向時，轉動動作至突入動作之終端位置 t〇2’爲止，同時也可以進行突入動作》或者亦可以一 定之上述突入動作。 此時，位於待機側之第1搬運台8 a是與第2搬運台 8 b的動作連動，而稍微朝著料腔1內側沒入動作經由 t〇l形成t02的位置。 其次，使第2搬運台8 b從處理室站2 e通過閘口 6 沒入料腔1側，雖是使轉動45°之第1搬運台8 a進行 突入處理室站2 e的動作，但此時的第2搬運台8 b從位 置t02’至t03’爲止的瞬間前，即相對於閘口6轉 動方向干涉的位置爲止，以未轉動的狀態，或以極微小緩 慢的轉動進行沒入動作，一旦到達不與閘口 6干涉的位置 t 0 3’時，機器人整體則自處理室站2 e的位置一邊轉 動45°後進行第2搬運台8b的沒入動作。 從待機位置轉動4 5°相對於處理室站2 e突入動作 之上述第1搬運台8 a以至與閘口 6干涉的位置爲止，一 邊進行與上述第2搬運台8 b突入動作相同的旋轉，從形 _ n n _ n n _ If I I —丁 气 I -$ Λ. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-20 - 470693 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（18) 成不干涉閘口 6狀態的位置以高速突入動作至位置t 0 5 。此時，第2搬運台8 b係與該第1搬運台8 a的動作連 動而沒入動作到達位置t 0 5 ’ 。 該第1搬運台8 a的沒入動作中，與其次的動作組合 時，即旋轉兩搬運台8 a、8 b使第2搬運台8 b突出於 其次之處理室站2 a時，與上述突入動作的場合相同，使 第1搬運台8 a沒入至不與閘口 6旋轉方向干涉的位置 t 0 6後，於沒入動作中旋轉動作而移動至t 〇 7的位置 。此時，第2搬運台8b是位在t〇7’的位置。 在上述各搬運台8 a、8 b的突入、突出的各個動作 中，使第1搬運台8 a從最沒入位置t 0 2 (第2搬運台 8b位於突入位置t〇2’ ）轉動45° ，其次將處理室 站2 e內突入至t 0 5爲止的循環時間TO視爲分別對應 t〇2、t03、t〇4、t〇5、t02’ 、t03’ 、t〇4’ 、t05’位置的時刻時，形成： T0=(t03-t02) + (t04-t03) + ( t 0 5 — t 0 4 ) = (t03’ — t〇2’ ）+ (t04’ — t03’ )+ ( t 0 5 ' - t〇4’ ) 該循環時間TO中，（t 04— t 03)是形成不通過習 知循環時間T之搬運台8a、8b的突入、沒入軌跡與旋 轉軌跡的交點而形成捷徑的曲線，可縮短位置t 0 2至 t05的距離。又’ （t〇4· - t 0 3 ')同樣是形成 不通過習知循環時間T之搬運台8 a、8 b的突入、沒入 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-·β -戈'__ 470693 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 lu 五、發明説明（19) 軌跡與旋轉軌跡的交點而形成捷徑的曲線，因此可縮短位 置t02^至t〇5’的距離。 因此，在比較兩循環時間T、T 0時，很明顯地形成 T>T〇，而根據本發明之實施形態，搬運台8a、8b 的旋轉及突入、沒入之循環較習知例縮短。 在該實施形態中，一邊轉動各搬運台8 a、8 b而突 入動作時，相對於閘口6形成不干涉位置t06 (t04 )、t 0 3 ’ （ t 0 1 ’ ）是以閘口 6轉動方向的大小， 及搬運台或載置其上之晶圓的大小，或甚至速度、加速度 等的動作條件來決定。 對應於上述搬運台8a、8b之循環時間T0的軌跡 是配合著搬運甩機器人A’的轉動動作及各搬運台8 a、 8 b的突入、沒入之各個動作組合所描繪。並且，此一動 作是進行驅動該等之電動機單元2 5 a、2 5 b的控制。 此時，兩電動機單元2 5 a、2 5 b是藉著未圖示之正轉 '逆轉的轉換及轉動速度進行正確且任意之控制。 該實施形態之說明中，雖是使用第.2搬運用機器人 A'，但使用圖20表示之其他搬運用機器人A”也可以 相同地實施。又，圖24A及圖24B中，搬運台8a、 8b之t03—t04、t〇3’ -t04’ 的軌跡也可 僅僅與兩搬運台8 a、8 b的待機狀態之轉動軌跡交叉， 或者也可以與轉動軌跡形成切線接觸而交叉間隔。 再者，本發明係已說明例示之實施形態，但是關於所 揭示之實施形態，在不脫離本發明的主旨及範圍內，皆可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } A4規格（210X297公釐）_ 22- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 470693 A7 B7 五、發明説明（2〇 ) 進行種種的變更、省略、追加等皆爲業界所明瞭。因此， 本發明不僅限於上述之實施形態，並當理解可藉申請專利 範圍所記載元件包含所規定之範圍及其相等範圍。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) "·丨. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 23 _