JP2008113031A - 物体搬送装置および物体搬送方法 - Google Patents
物体搬送装置および物体搬送方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】搬送対象の物体であるウェハホルダ4を保持部15によって保持してチップ供給部1とマガジン9との間を目標位置に向かって搬送する物体搬送装置において、ウェハホルダ4をチャックする保持部15をアーム16を介してエアシリンダ17のロッド17aに結合し、エアシリンダ17を移動手段11によって移動するブラケット14に装着する。搬送動作においてウェハホルダ4が異物に衝突した場合には、保持部15が目標位置への離反方向へ移動してロッド17aが突出または没入方向へ移動することにより衝突時の衝撃を緩和するとともに、エアシリンダ17に備えられたシリンダ動作検出センサ18によって衝突を検知して搬送動作を停止する。
【選択図】図1
Description
17aの突没動作による力をリンク機構等によって搬送方向に伝達するようにしてもよい。
収納部9aが保持部15の動作高さに正しく位置合わせされなかったような場合には、図7(a)に示すようにウェハホルダ4の先端がマガジン9に衝突する。
搬送装置および物体搬送方法に利用可能である。
3 ウェハ保持テーブル
4 ウェハホルダ
9 マガジン
11 移動手段
15 保持部
17 エアシリンダ
17a ロッド
18 シリンダ動作検出センサ
20 制御部
Claims (3)
- 搬送対象の物体を保持部によって保持して目標位置に搬送する物体搬送装置であって、圧縮性流体によって作動し前記保持部に結合されたロッドを有する流体シリンダであって前記ロッドを突没させることにより前記保持部を前記目標位置への接近方向またはこれと逆方向の離反方向へ移動させ、且つ前記ロッドの突没動作において出戻り限界に到達したことを検出する検出手段を備えた流体シリンダと、この流体シリンダを前記接近方向または離反方向へ移動させる移動手段と、前記物体が前記目標位置へ移動するように前記移動手段の移動動作および前記流体シリンダのロッド突没動作を制御する制御部であって前記移動動作において前記移動手段による前記流体シリンダの移動方向と同じ方向に前記ロッドが突出または没入するように制御する制御部とを備えたことを特徴とする物体搬送装置。
- 搬送対象の物体を保持する保持部と、圧縮性流体によって作動し前記保持部に結合されたロッドを有する流体シリンダであって前記ロッドを突没させることにより前記保持部を前記目標位置への接近方向またはこれと逆方向の離反方向へ移動させ、且つ前記ロッドの突没動作において出戻り限界に到達したことを検出する検出手段を備えた流体シリンダと、この流体シリンダを前記接近方向または離反方向へ移動させる移動手段と、前記物体が前記目標位置へ移動するように前記移動手段の移動動作および前記流体シリンダのロッド突没動作を制御する制御部であって前記移動動作において前記移動手段による前記流体シリンダの移動方向と同じ方向に前記ロッドが突出または没入するように制御する制御部とを備えた物体搬送装置によって物体を目標位置に搬送する物体搬送方法であって、前記移動手段を駆動して前記流体シリンダを前記接近方向へ移動させる工程と、前記流体シリンダを駆動して前記保持部に保持された前記物体を前記接近方向へ移動させる工程とを含むことを特徴とする物体搬送方法。
- 前記移動手段を駆動して前記流体シリンダを前記接近方向へ移動させる工程の実行中に、前記流体シリンダを駆動して前記保持部に保持された物体を前記接近方向へ移動させる工程を並行して実行することを特徴とする請求項2記載の物体搬送方法。
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