CN110312415B - 基板输送装置及电子部件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供基板输送装置及电子部件安装装置，其抑制基板的输送效率的降低，抑制电子仪器的生产效率的降低。基板输送装置具有：输送带，其支撑基板而在输送方向输送；电动机，其产生使输送带驱动的动力；中央止动器部件，其与支撑于输送带的基板接触，使基板停止在安装位置；等候止动器部件，其在基板搬入至安装位置前，与支撑于输送带的基板接触，使基板停止在搬入等待位置；等候传感器，其在基板搬入至搬入等待位置前，对被输送带输送的基板进行检测；支撑部件，其对等候止动器部件及等候传感器进行支撑；以及引导机构，其将支撑部件在输送方向进行引导。

Description

基板输送装置及电子部件安装装置

技术领域

本发明涉及基板输送装置及电子部件安装装置。

背景技术

在电子仪器的生产中使用电子部件安装装置。在电子部件安装装置所涉及的技术领域中，已知具有搬入缓冲部、中央缓冲部及搬出缓冲部这3个缓冲部的基板输送装置。作为具有3个缓冲部的基板输送装置，已知3缓冲部3电动机方式的基板输送装置和3缓冲部1电动机方式的基板输送装置。

3缓冲部3电动机方式的基板输送装置是指下述基板输送装置，即，在3个缓冲部各自设置输送带，在3个输送带各自设置电动机。电动机进行工作，由此对支撑于输送带的基板进行输送。电动机的工作停止，由此停止基板的输送。

3缓冲部1电动机方式的基板输送装置是指下述基板输送装置，即，遍及3个缓冲部而设置1个输送带，在1个输送带设置1个电动机。电动机进行工作，由此对支撑于输送带的基板进行输送。通过使在3个缓冲部各自设置的止动器部件与基板接触，从而停止基板的输送。

专利文献1：日本特开2011－014777号公报

在3缓冲部1电动机方式的基板输送装置中，在使基板的输送停止的情况下，如果基板以高速度与止动器部件接触，则有可能基板损伤或在基板搭载的电子部件的位置偏离。因此，在3缓冲部1电动机方式的基板输送装置中，对电动机进行控制，以使得在基板与止动器部件接近时输送带的输送速度降低。

在3缓冲部1电动机方式的基板输送装置中，通过1个电动机对1个输送带进行驱动。因此，例如如果对电动机进行控制，以使得在搬出缓冲部中基板与止动器部件接近而使输送带的输送速度降低，则在搬入缓冲部中输送带的输送速度也降低。尽管在搬入缓冲部中无需使输送带的输送速度降低，但如果在搬入缓冲部中输送带的输送速度降低，则基板从搬入缓冲部移动至中央缓冲部所需的时间变长。其结果，通过基板输送装置实现的基板的输送效率降低，通过电子部件安装装置实现的电子仪器的生产效率降低。

发明内容

本发明的方式的目的在于，抑制基板的输送效率的降低，抑制电子仪器的生产效率的降低。

按照本发明的第1方式，提供一种基板输送装置，其具有：输送带，其支撑基板而在输送方向输送；电动机，其产生使所述输送带驱动的动力；中央止动器部件，其与支撑于所述输送带的所述基板接触，使所述基板停止在安装位置；等候止动器部件，其在所述基板搬入至所述安装位置前，与支撑于所述输送带的所述基板接触，使所述基板停止在搬入等待位置；等候传感器，其在所述基板搬入至所述搬入等待位置前，对被所述输送带输送的所述基板进行检测；支撑部件，其对所述等候止动器部件及所述等候传感器进行支撑；以及引导机构，其将所述支撑部件在所述输送方向进行引导。

按照本发明的第2方式，提供一种电子部件安装装置，其具有：第1方式的基板输送装置；以及安装头，其向通过所述基板输送装置而配置在所述安装位置的所述基板安装电子部件。

发明的效果

根据本发明的方式，能够抑制基板的输送效率的降低，能够抑制电子仪器的生产效率的降低。

附图说明

图1是示意地表示第1实施方式所涉及的电子部件安装装置的俯视图。

图2是示意地表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的侧视图。

图3是示意地表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的侧视图。

图4是表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的控制装置的功能框图。

图5是示意地表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的侧视图。

图6是示意地表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的侧视图。

图7是示意地表示第1实施方式所涉及的基板输送装置的侧视图。

图8是表示第1实施方式所涉及的基板的输送方法的流程图。

图9是用于对第1实施方式所涉及的输送方法的效果进行说明的示意图。

图10是示意地表示第2实施方式所涉及的基板输送装置的侧视图。

标号的说明

1…电子部件安装装置，2…电子部件供给装置，3…基板输送装置，4…吸嘴，5…安装头，6…安装头移动装置，7…吸嘴移动装置，8…主框架，9…安装控制装置，20…供给器收容器，21…带式供给器，31…搬入缓冲部，32…中央缓冲部，33…搬出缓冲部，34…输送带，35…电动机，36…驱动带轮，37…从动带轮，38…搬入口，39…搬出口，41…等候止动器部件，42…中央止动器部件，43…搬出止动器部件，44…等候止动器致动器，45…中央止动器致动器，46…搬出止动器致动器，50…搬入传感器，51…等候传感器，52…中央传感器，53…搬出传感器，61…X轴移动装置，62…Y轴移动装置，70…保持部件，80…夹具部件，81…第1夹具部件，81S…支撑面，82…第2夹具部件，82S…支撑面，83…夹具致动器，90…支撑部件，91…引导机构，92…压入部，100…输送控制装置，101…数据取得部，102…电动机控制部，103…止动器控制部，104…夹具控制部，200…搬出侧外部装置，C…电子部件，P…基板，AP…部件供给位置，AR1…第1区域，AR2…第2区域，CP…搬入等待位置，MP…安装位置，TP…搬出等待位置。

具体实施方式

下面，一边参照附图，一边对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。下面进行说明的实施方式的结构要素能够适当组合。另外，有时不使用一部分的结构要素。

在下面的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照XYZ正交坐标系而对各部的位置关系进行说明。将平行于水平面内的X轴的方向设为X轴方向，将平行于水平面内的与X轴正交的Y轴的方向设为Y轴方向，将平行于与X轴及Y轴正交的Z轴的方向设为Z轴方向。将以X轴为中心的旋转方向或倾斜方向设为θX方向，将以Y轴为中心的旋转方向或倾斜方向设为θY方向，将以Z轴为中心的旋转方向或倾斜方向设为θZ方向。XY平面是水平面。Z轴方向是上下方向。

[第1实施方式]

＜电子部件安装装置＞

图1是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置1的俯视图。电子部件安装装置1向基板P安装电子部件C。如图1所示，电子部件安装装置1具有：电子部件供给装置2，其供给电子部件C；基板输送装置3，其输送基板P；安装头5，其具有将电子部件C能够装卸地保持的吸嘴4，将电子部件C安装于基板P；安装头移动装置6，其将安装头5进行移动；吸嘴移动装置7，其将吸嘴4进行移动；主框架8，其对电子部件供给装置2、基板输送装置3、安装头5及安装头移动装置6进行支撑；以及安装控制装置9。

电子部件供给装置2将向基板P安装的电子部件C供给至部件供给位置AP。电子部件供给装置2具有对多个带式供给器21进行支撑的供给器收容器20。在供给器收容器20中，带式供给器21在X轴方向配置多个。带式供给器21将从带盘供给的载料带向规定的输送方向输送。在本实施方式中，通过带式供给器21实现的载料带的输送方向是Y轴方向。在载料带对多个电子部件C进行保持。部件供给位置AP规定在带式供给器21的一部分。带式供给器21对载料带进行输送，以使得在载料带保持的电子部件C配置于部件供给位置AP。通过对载料带进行输送，从而多个电子部件C各自依次配置于部件供给位置AP。

在本实施方式中，电子部件供给装置2在Y轴方向上配置于基板输送装置3的两侧。安装头5以与2个电子部件供给装置2各自相对应的方式配置2个。此外，电子部件供给装置2也可以在Y轴方向上仅配置于基板输送装置3的单侧。安装头5也可以仅配置1个。

基板输送装置3将基板P向规定的输送方向输送。在本实施方式中，通过基板输送装置3实现的基板P的输送方向是X轴方向。基板输送装置3具有：输送带34，其对基板P进行支撑而在X轴方向输送；以及电动机35，其产生使输送带34驱动的动力。基板输送装置3将基板P输送至安装位置MP。

安装头5具有将电子部件C能够装卸地保持的吸嘴4。吸嘴4在安装头5设置多个。吸嘴4可以是将电子部件C吸附而保持的吸附吸嘴，也可以是将电子部件C夹着而保持的抓持吸嘴。在吸嘴4为吸附吸嘴的情况下，通过与吸嘴4连接的真空系统的工作，吸嘴4能够对电子部件C进行吸附。在吸嘴4为抓持吸嘴的情况下，通过能够对吸嘴4进行驱动的致动器的工作，从而吸嘴4能够夹着电子部件C。

安装头移动装置6将安装头5在X轴方向及Y轴方向移动。安装头移动装置6具有：X轴移动装置61，其将安装头5在X轴方向移动；以及Y轴移动装置62，其将安装头5在Y轴方向移动。X轴移动装置61具有：X轴导轨，其将安装头5在X轴方向引导；以及线性致动器，其至少一部分配置在安装头5和X轴导轨之间，产生使安装头5在X轴方向移动的动力。Y轴移动装置62具有：Y轴导轨，其将X轴导轨在Y轴方向引导；以及线性致动器，其至少一部分配置在X轴导轨和Y轴导轨之间，产生使X轴导轨在Y轴方向移动的动力。

吸嘴移动装置7将吸嘴4在Z轴方向及θZ方向移动。吸嘴移动装置7设置在安装头5。在多个吸嘴4分别设置吸嘴移动装置7。吸嘴移动装置7具有：Z轴电动机，其产生使吸嘴4在Z轴方向移动的动力；以及θZ电动机，其产生使吸嘴4在θZ方向旋转的动力。

吸嘴4通过安装头移动装置6及吸嘴移动装置7，能够分别在X轴方向、Y轴方向、Z轴方向及θZ方向移动。安装头5通过安装头移动装置6，能够在部件供给位置AP和安装位置MP之间移动。安装头5在部件供给位置AP处通过吸嘴4将电子部件C保持而移动至安装位置MP。安装头5将电子部件C向通过基板输送装置3而配置于安装位置MP的基板P进行安装。

安装控制装置9包含计算机系统，对吸嘴4的动作及安装头5的动作进行控制。安装控制装置9具有：运算处理装置，其包含诸如CPU(Central Processing Unit)这样的处理器；以及存储装置，其包含诸如ROM(Read Only Memory)或RAM(Random Access Memory)这样的存储器及储存器。运算处理装置按照对向基板P安装电子部件C的安装处理的顺序进行规定的生产程序，对吸嘴4的动作及安装头5的动作进行控制。生产程序存储于存储装置。

安装控制装置9对安装头移动装置6进行控制，对安装头5的移动动作进行控制。安装控制装置9对吸嘴移动装置7进行控制，对吸嘴4的移动动作进行控制。在吸嘴4为吸附吸嘴的情况下，安装控制装置9对与吸嘴4连接的真空系统进行控制，对吸嘴4的吸附动作进行控制。在吸嘴4为抓持吸嘴的情况下，安装控制装置9对能够驱动抓持吸嘴的致动器进行控制，对吸嘴4的抓持动作进行控制。

＜基板输送装置＞

图2是示意地表示本实施方式所涉及的基板输送装置3的侧视图。图3是示意地表示本实施方式所涉及的基板输送装置3的俯视图。如图1、图2及图3所示，基板输送装置3具有：输送带34，其对基板P进行支撑而在X轴方向输送；以及电动机35，其产生使输送带34驱动的动力。

基板输送装置3将基板P向+X方向输送。基板输送装置3具有：搬入口38，其规定在－X侧的端部，将基板P搬入；以及搬出口39，其规定在+X侧的端部，将基板P搬出。

搬入侧外部装置与搬入口38连接。作为搬入侧外部装置，例示出与电子部件安装装置1不同的其它电子部件安装装置、及将焊料印刷在基板P的印刷装置的至少一个。

搬出侧外部装置与搬出口39连接。作为搬出侧外部装置，例示出与电子部件安装装置1不同的其它电子部件安装装置、及为了将基板P的焊料融化而对基板P进行加热的回流焊炉的至少一个。

基板P从搬入侧外部装置向搬入口38搬入。搬入至搬入口38的基板P向+X方向输送，在安装位置MP处对电子部件C进行安装。安装有电子部件C的基板P从搬出口39向搬出侧外部装置搬出。

基板输送装置3具有：搬入缓冲部31、中央缓冲部32和搬出缓冲部33。搬入缓冲部31、中央缓冲部32和搬出缓冲部33在X轴方向直列地配置。

搬入缓冲部31是指，使从搬入侧外部装置搬入的基板P等待的区域。搬入口38规定在搬入缓冲部31的－X侧的端部。

中央缓冲部32是指，实施向基板P安装电子部件C的安装处理的区域。中央缓冲部32规定在搬入缓冲部31和搬出缓冲部33之间。安装头5在XY平面内能够在中央缓冲部32的整个区域移动。

搬出缓冲部33是指，使向搬出侧外部装置搬出的基板P等待的区域。搬出口39规定在搬出缓冲部33的+X侧的端部。

在搬入缓冲部31对搬入等待位置CP进行规定。搬入等待位置CP是指，使从搬入侧外部装置搬入的基板P等待的位置。基板输送装置3使对电子部件C进行安装前的基板P在向中央缓冲部32搬入前，在搬入缓冲部31中等待。在使向中央缓冲部32搬入前的基板P在搬入缓冲部31中等待的情况下，基板输送装置3使基板P在搬入等待位置CP处停止。

在中央缓冲部32对安装位置MP进行规定。安装位置MP是指，对要安装电子部件C的基板P进行配置的位置。在将电子部件C向基板P安装的情况下，基板输送装置3使基板P在安装位置MP处停止。

在搬出缓冲部33对搬出等待位置TP进行规定。搬出等待位置TP是指，使向搬出侧外部装置搬出的基板P等待的位置。基板输送装置3使安装了电子部件C后的基板P在向搬出侧外部装置搬出前，在搬出缓冲部33中等待。在使向搬出侧外部装置搬出前的基板P在搬出缓冲部33中等待的情况下，基板输送装置3使基板P在搬出等待位置TP处停止。

输送带34在X轴方向延伸。输送带34在Y轴方向设置一对。一个输送带34对基板P的下表面的+Y侧的缘部进行支撑。一个输送带34对基板P的下表面的－Y侧的缘部进行支撑。输送带34通过电动机35的工作，在支撑有基板P的状态下进行驱动，将基板P向+X方向输送。

基板输送装置3是3缓冲部1电动机方式的基板输送装置。输送带34遍及搬入缓冲部31、中央缓冲部32及搬出缓冲部33各自进行配置。电动机35设置1个。通过由1个电动机35产生的动力对输送带34进行驱动。

基板输送装置3具有在与输送带34接触的状态下旋转的驱动带轮36及从动带轮37。驱动带轮36对输送带34的+X侧的端部进行支撑。从动带轮37对输送带34的－X侧的端部进行支撑。电动机35与驱动带轮36连接，使驱动带轮36旋转。以下述方式进行驱动，即，通过电动机35产生的动力而驱动带轮36旋转，由此与驱动带轮36接触的输送带34在被驱动带轮36及从动带轮37支撑的状态下，将基板P在X轴方向输送。

基板输送装置3具有：保持部件70，其与停止在安装位置MP的基板P的上表面的至少一部分相对；以及夹具部件80，其对停止在安装位置MP的基板P的下表面的至少一部分进行支撑而上升，在与保持部件70之间夹持基板P的至少一部分。保持部件70及夹具部件80配置于中央缓冲部32。

另外，基板输送装置3具有：等候止动器部件41，其在搬入缓冲部31中使基板P停止；中央止动器部件42，其在中央缓冲部32中使基板P停止；以及搬出止动器部件43，其在搬出缓冲部33中使基板P停止。

另外，基板输送装置3具有：搬入传感器50，其在搬入口38对基板P进行检测；等候传感器51，其在搬入缓冲部31中对基板P进行检测；中央传感器52，其在中央缓冲部32中对基板P进行检测；以及搬出传感器53，其在搬出缓冲部33中对基板P进行检测。

另外，基板输送装置3具有：支撑部件90，其对等候止动器部件41及等候传感器51进行支撑；以及引导机构91，其将支撑部件90在X轴方向引导。

保持部件70与对基板P进行支撑的输送带34的上表面相比配置于上方。保持部件70在Y轴方向上，分别配置在一对输送带34的中心的+Y侧及－Y侧。另外，保持部件70在Y轴方向上，与一对输送带34相比配置于内侧。保持部件70是在X轴方向长的板状部件。

夹具部件80通过夹具致动器83的工作，能够在Z轴方向移动。作为夹具致动器83，例如例示出气缸。夹具部件80在Y轴方向上，分别配置在一对输送带34的中心的+Y侧及－Y侧。另外，夹具部件80在Y轴方向上，与一对输送带34相比配置于内侧。

夹具部件80包含：第1夹具部件81，其对基板P的下表面的第1区域AR1进行支撑；以及第2夹具部件82，其对与第1区域AR1相比与搬入等待位置CP接近的基板P的下表面的第2区域AR2进行支撑。

第1区域AR1及第2区域AR2各自是基板P的下表面的Y轴方向上的缘部区域。第2区域AR2与第1区域AR1相比规定在－X侧。第1区域AR1及第2区域AR2各自在Y轴方向上，与一对输送带34相比规定在内侧。

第1夹具部件81是在X轴方向长的板状部件。第1夹具部件81具有能够对基板P的下表面的第1区域AR1进行支撑的支撑面81S。夹具致动器83将第1夹具部件81在Z轴方向移动。第1夹具部件81的支撑面81S，在第1夹具部件81在Z轴方向的可动范围中配置于最下方的状态下，与对基板P进行支撑的输送带34的上表面相比配置于下方。第1夹具部件81的支撑面81S，在第1夹具部件81在Z轴方向的可动范围中配置于最上方的状态下，与对基板P进行支撑的输送带34的上表面相比配置于上方。

第1夹具部件81通过夹具致动器83的工作而上升，使支撑面81S与基板P的下表面的第1区域AR1接触，由此对基板P进行支撑。第1夹具部件81通过夹具致动器83的工作而下降，使支撑面81S从基板P的下表面分离，由此解除基板P的支撑。

第2夹具部件82能够在θY方向旋转地支撑于第1夹具部件81。第2夹具部件82在X轴方向配置多个。在本实施方式中，第2夹具部件82在X轴方向配置2个。此外，第2夹具部件82也可以在X轴方向配置大于或等于3个。第2夹具部件82也可以在X轴方向配置1个。第2夹具部件82具有能够对基板P的下表面的第2区域AR2进行支撑的支撑面82S。

第2夹具部件82使支撑面82S与基板P的下表面的第2区域AR2接触，由此对基板P进行支撑。第2夹具部件82在θY方向旋转，使支撑面82S从基板P的下表面分离，由此解除基板P的支撑。

即，第1夹具部件81在Z轴方向移动，由此能够切换针对基板P的支撑和解除支撑。第2夹具部件82在θY方向旋转，由此能够切换针对基板P的支撑和解除支撑。

夹具部件80能够在Z轴方向移动，以使得在不与输送带34接触、从输送带34分离的状态下，在一对输送带34之间经过。从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P，在支撑于输送带34的上表面的状态下，停止在安装位置MP。如果夹具部件80在从输送带34分离的状态下对停止在安装位置MP的基板P的下表面的至少一部分进行支撑而上升，则基板P从输送带34的上表面分离地上升。如果夹具部件80在支撑有基板P的状态下进一步上升，则基板P被夹在保持部件70和夹具部件80之间。由此，基板P的位置被固定。在基板P的位置固定的状态下，通过安装头5将电子部件C安装于基板P。

等候止动器部件41在基板P向中央缓冲部32的安装位置MP搬入前，与支撑于输送带34的基板P接触，使基板P停止在搬入缓冲部31的搬入等待位置CP。等候止动器部件41在Y轴方向上，配置在一对输送带34之间。等候止动器部件41通过等候止动器致动器44的工作，能够在Z轴方向移动。作为等候止动器致动器44，例如例示出气缸。

在使基板P的输送停止时，等候止动器部件41的至少一部分与对基板P进行支撑的输送带34的上表面相比配置于上方。等候止动器部件41的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方，由此等候止动器部件41与基板P的+X侧的端部接触。由此，通过输送带34实现的基板P的输送受到限制，基板P停止。

在使基板P输送时，等候止动器部件41与输送带34的上表面相比配置于下方。等候止动器部件41与输送带34的上表面相比配置在下方，由此等候止动器部件41和基板P分离，通过等候止动器部件41实现的基板P的停止被解除。基板P在支撑于输送带34的状态下，能够向+X方向移动。

中央止动器部件42与支撑于输送带34的基板P接触，使基板P停止在中央缓冲部32的安装位置MP。中央止动器部件42在Y轴方向上，配置在一对输送带34之间。中央止动器部件42配置在一对第1夹具部件81之间。中央止动器部件42能够在θY方向旋转地支撑于第1夹具部件81。中央止动器部件42通过中央止动器致动器45的工作，能够在θY方向旋转。作为中央止动器致动器45，例如例示出步进电动机。

在使基板P的输送停止时，中央止动器部件42的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。中央止动器部件42的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方，由此中央止动器部件42与基板P的+X侧的端部接触。由此，通过输送带34实现的基板P的输送受到限制，基板P停止。

在使基板P输送时，中央止动器部件42与输送带34的上表面相比配置于下方。中央止动器部件42与输送带34的上表面相比配置于下方，由此中央止动器部件42和基板P分离，通过中央止动器部件42实现的基板P的停止被解除。基板P在支撑于输送带34的状态下，能够向+X方向移动。

搬出止动器部件43在基板P从中央缓冲部32的安装位置MP搬出后，与支撑于输送带34的基板P接触，使基板P停止在搬出缓冲部33的搬出等待位置TP。搬出止动器部件43在Y轴方向上，配置在一对输送带34之间。搬出止动器部件43通过搬出止动器致动器46的工作，能够在Z轴方向移动。作为搬出止动器致动器46，例如例示出气缸。

在使基板P的输送停止时，搬出止动器部件43的至少一部分，与输送带34的上表面相比配置于上方。搬出止动器部件43的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方，由此搬出止动器部件43与基板P的+X侧的端部接触。由此，通过输送带34实现的基板P的输送受到限制，基板P停止。

在使基板P输送时，搬出止动器部件43与输送带34的上表面相比配置在下方。搬出止动器部件43与输送带34的上表面相比配置于下方，由此搬出止动器部件43和基板P分离，通过搬出止动器部件43实现的基板P的停止被解除。基板P在支撑于输送带34的状态下，能够向+X方向移动。

在本实施方式中，等候止动器部件41、中央止动器部件42及搬出止动器部件43各自在输送带34正在驱动的状态下，能够使基板P的输送停止。例如，等候止动器致动器44在电动机35工作的状态下，能够将等候止动器部件41进行移动，以使得等候止动器部件41的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。在等候止动器部件41与基板P的+X侧的端部接触时，输送带34能够继续驱动。输送带34能够一边与基板P的下表面的至少一部分摩擦、一边驱动。同样地，中央止动器致动器45在电动机35工作的状态下，能够将中央止动器部件42进行移动，以使得中央止动器部件42的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。搬出止动器致动器46在电动机35工作的状态下，能够将搬出止动器部件43进行移动，以使得搬出止动器部件43的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。

搬入传感器50对从搬入侧外部装置搬入至搬入口38的基板P进行检测。搬入传感器50具有：射出部，其例如射出检测光；以及受光部，其对检测光进行受光。在检测光的光路配置有基板P时，从射出部射出、在基板P反射出的检测光的至少一部分被受光部受光。在检测光的光路配置有基板P的状态和没有配置基板P的状态下，受光部中的检测光的受光状态不同。搬入传感器50能够基于从射出部射出检测光时的受光部的受光状态，对在检测光的光路是否存在基板P进行检测。

等候传感器51在基板P向搬入等待位置CP搬入前，对被输送带34输送的基板P进行检测。等候传感器51配置在搬入缓冲部31。等候传感器51在X轴方向上，配置在搬入口38和搬入等待位置CP之间。与搬入传感器50同样地，等候传感器51具有：射出部，其射出检测光；以及受光部，其对检测光进行受光。等候传感器51能够基于从射出部射出检测光时的受光部的受光状态，对在检测光的光路是否存在基板P进行检测。

中央传感器52在搬入等待位置CP和安装位置MP之间，对被输送带34输送的基板P进行检测。中央传感器52配置在中央缓冲部32。中央传感器52在X轴方向上，配置在搬入等待位置CP和安装位置MP之间。与搬入传感器50及等候传感器51同样地，中央传感器52具有：射出部，其射出检测光；以及受光部，其对检测光进行受光。中央传感器52能够基于从射出部射出检测光时的受光部的受光状态，对在检测光的光路是否存在基板P进行检测。

搬出传感器53在安装位置MP和搬出等待位置TP之间，对被输送带34输送的基板P进行检测。搬出传感器53配置在搬出缓冲部33。搬出传感器53在X轴方向上，配置在安装位置MP和搬出等待位置TP之间。与搬入传感器50、等候传感器51及中央传感器52同样地，搬出传感器53具有：射出部，其射出检测光；以及受光部，其对检测光进行受光。搬出传感器53能够基于从射出部射出检测光时的受光部的受光状态，对在检测光的光路是否存在基板P进行检测。

支撑部件90的至少一部分与输送带34相比配置在下方。另外，支撑部件90的至少一部分在Y轴方向上配置在一对输送带34之间。等候传感器51固定于支撑部件90。等候传感器51和支撑部件90的相对位置没有变化。等候止动器部件41能够在Z轴方向移动地支撑于支撑部件90。等候止动器部件41在X轴方向及Y轴方向不能移动地支撑于支撑部件90。即，在Z轴方向上，虽然等候止动器部件41和支撑部件90的相对位置变化，但在X轴方向及Y轴方向上，等候止动器部件41和支撑部件90的相对位置没有变化。支撑部件90在X轴方向及Y轴方向的各个方向上，以维持等候止动器部件41和等候传感器51的相对位置的方式对等候止动器部件41及等候传感器51进行支撑。

引导机构91将支撑部件90在X轴方向进行引导。引导机构91包含有在X轴方向延伸的导轨。引导机构91在Y轴方向设置一对。支撑部件90一边被引导机构91引导、一边能够在X轴方向移动。

支撑部件90具有压入部92，该压入部92在X轴方向上配置在与等候止动器部件41相比从搬入等待位置CP分离的位置。压入部92是与等候止动器部件41相比向+X方向凸出的凸部。支撑部件90在向+X方向移动时，压入部92与第2夹具部件82接触。

第2夹具部件82基于X轴方向的支撑部件90的位置，将对基板P的下表面的第2区域AR2的支撑解除。在支撑部件90以与第1夹具部件81接近的方式向+X方向移动时，第2夹具部件82的下端部被压入部92向+X方向按压。由此，第2夹具部件82向一个方向旋转，将对基板P的下表面的第2区域AR2的支撑解除。在支撑部件90以从第1夹具部件81分离的方式向－X方向移动时，压入部92从第2夹具部件82分离。由此，第2夹具部件82向反方向旋转，对基板P的下表面的第2区域AR2进行支撑。

＜输送控制装置＞

图4是表示本实施方式所涉及的基板输送装置3的输送控制装置100的功能框图。如图4所示，基板输送装置3具有输送控制装置100。输送控制装置100包含计算机系统，对基板输送装置3进行控制。输送控制装置100具有：运算处理装置，其包含诸如CPU(CentralProcessing Unit)这样的处理器；以及存储装置，其包含诸如ROM(Read Only Memory)或RAM(Random Access Memory)这样的存储器及储存器。运算处理装置按照在存储装置中存储的计算机程序而实施运算处理。

输送控制装置100具有：数据取得部101、电动机控制部102、止动器控制部103和夹具控制部104。

数据取得部101从搬入传感器50取得搬入传感器50的检测数据。数据取得部101从等候传感器51取得等候传感器51的检测数据。数据取得部101从中央传感器52取得中央传感器52的检测数据。数据取得部101从搬出传感器53取得搬出传感器53的检测数据。数据取得部101从安装控制装置9取得安装控制装置9的安装控制数据。数据取得部101从搬出侧外部装置200取得搬出侧外部装置200的接受与否数据。

电动机控制部102基于由数据取得部101取得的数据，输出对电动机35进行控制的控制指令。

止动器控制部103基于由数据取得部101取得的数据，输出对等候止动器致动器44、中央止动器致动器45及搬出止动器致动器46各自进行控制的控制指令。

夹具控制部104基于由数据取得部101取得的数据，输出对夹具致动器83进行控制的控制指令。

搬入传感器50的检测数据，包含搬入传感器50检测到基板P时的检测数据。电动机控制部102能够基于搬入传感器50检测到基板P时的检测数据，对开始电动机35的工作的控制指令进行输出，以使得搬入至搬入口38的基板P被输送带34输送。

安装控制装置9的安装控制数据包含实绩数据，该实绩数据表示在中央缓冲部32配置的基板P的安装处理是否结束。如上所述，安装控制装置9的存储装置对生产程序进行存储。生产程序包含安装控制数据。止动器控制部103基于安装控制数据，判定为在中央缓冲部32配置的基板P的安装处理没有结束时，输出使等候止动器致动器44工作的控制指令，以使得搬入缓冲部31的基板P不会输送至中央缓冲部32，而是停止在搬入等待位置CP。即，在中央缓冲部32存在基板P时，止动器控制部103将用于使等候止动器部件41上升的控制指令输出至等候止动器致动器44，以使得搬入缓冲部31的基板P不会移动至中央缓冲部32。由此，等候止动器部件41与基板P接触，基板P停止在搬入等待位置CP。

等候传感器51的检测数据，包含等候传感器51检测到基板P时的检测数据。在等候止动器部件41上升的状态下，在等候传感器51检测到基板P的情况下，电动机控制部102基于等候传感器51检测到基板P时的检测数据，输出对电动机35进行控制的控制指令，以使得输送带34的输送速度降低。由此，抑制基板P以高速度碰到等候止动器部件41。因此，抑制基板P的损伤。另外，在基板P已经搭载有电子部件C的情况下，抑制电子部件C的位置偏移。

安装控制装置9的安装控制数据包含输送数据，该输送数据表示安装电子部件C前的基板P从搬入缓冲部31输送至中央缓冲部32。止动器控制部103基于安装控制数据，在判定为安装电子部件C前的基板P输送至中央缓冲部32时，输出使中央止动器致动器45工作的控制指令，以使得基板P停止在安装位置MP。即，在新的基板P搬入至中央缓冲部32时，止动器控制部103将用于使中央止动器部件42上升的控制指令输出至中央止动器致动器45，以使得停止在安装位置MP。由此，中央止动器部件42与基板P接触，基板P停止在安装位置MP。

中央传感器52的检测数据，包含中央传感器52检测到基板P时的检测数据。在中央止动器部件42上升的状态下，在中央传感器52检测到基板P的情况下，电动机控制部102基于中央传感器52检测到基板P时的检测数据，输出对电动机35进行控制的控制指令，以使得输送带34的输送速度降低。由此，抑制基板P以高速度碰到中央止动器部件42。因此，抑制基板P的损伤。另外，在基板P已经搭载有电子部件C的情况下，抑制电子部件C的位置偏移。

搬出侧外部装置200的接受与否数据包含许可数据，该许可数据表示搬出侧外部装置200许可接受存在于搬出缓冲部33的基板P。止动器控制部103基于接受与否数据，判定为不许可接受配置于搬出缓冲部33的基板P时，输出使搬出止动器致动器46工作的控制指令，以使得搬出缓冲部33的基板P不向搬出侧外部装置200输送而停止在搬出等待位置TP。即，在搬出侧外部装置200没有许可接受基板P时，止动器控制部103将用于使搬出止动器部件43上升的控制指令输出至搬出止动器致动器46，以使得搬出缓冲部33的基板P不会移动至搬出侧外部装置200。由此，搬出止动器部件43与基板P接触，基板P停止在搬出等待位置TP。

搬出传感器53的检测数据包含搬出传感器53检测到基板P时的检测数据。在搬出止动器部件43上升的状态下，在搬出传感器53检测到基板P的情况下，电动机控制部102基于搬出传感器53检测到基板P时的检测数据，输出对电动机35进行控制的控制指令，以使得输送带34的输送速度降低。由此，抑制基板P以高速度碰到搬出止动器部件43。因此，抑制基板P的损伤。另外，在基板P已经搭载有电子部件C的情况下，抑制电子部件C的位置偏移。

如上所述，安装控制装置9的安装控制数据包含实绩数据，该实绩数据表示配置在中央缓冲部32的基板P的安装处理是否结束。止动器控制部103基于安装控制数据，在判定为在中央缓冲部32配置的基板P的安装处理结束时，输出使等候止动器致动器44工作的控制指令，以使得搬入缓冲部31的基板P被输送至中央缓冲部32。即，在中央缓冲部32没有基板P时，止动器控制部103将用于使等候止动器部件41下降的控制指令输出至等候止动器致动器44，以使得搬入缓冲部31的基板P向中央缓冲部32移动。由此，存在于搬入缓冲部31的基板P输送至中央缓冲部32。

另外，止动器控制部103基于安装控制数据，判定为在中央缓冲部32配置的基板P的安装处理结束时，输出使中央止动器致动器45工作的控制指令，以使得中央缓冲部32的基板P向搬出缓冲部33输送。即，在搬出缓冲部33没有基板P时，止动器控制部103将用于使中央止动器部件42下降的控制指令输出至中央止动器致动器45，以使得中央缓冲部32的基板P向搬出缓冲部33移动。由此，存在于中央缓冲部32的基板P输送至搬出缓冲部33。

＜输送方法＞

接下来，对本实施方式所涉及的基板输送装置3的动作进行说明。图5、图6及图7是示意地表示本实施方式所涉及的基板输送装置3的侧视图。如图5所示，例如基于X轴方向上的基板P的大小，对X轴方向上的支撑部件90的位置进行调整。在本实施方式中，X轴方向上的支撑部件90的位置的调整是由作业者实施的。支撑部件90能够一边通过引导机构91进行引导、一边在X轴方向移动。作业者用手对支撑部件90进行操作，能够对支撑部件90的位置进行调整。此外，也可以在支撑部件90和引导机构91之间设置线性致动器，通过线性致动器的工作，对X轴方向上的支撑部件90的位置进行调整。

支撑部件90在X轴方向移动，以使得等候止动器部件41和中央止动器部件42的X轴方向的距离La，比中央止动器部件42和搬出止动器部件43的X轴方向的距离Lb短。

在X轴方向上，等候止动器部件41和等候传感器51的距离Wa、中央止动器部件42和等候传感器52的距离Wb与搬出止动器部件43和搬出传感器53的距离Wc相等。距离La比距离Lb短，同义于等候传感器51和中央传感器52的X轴方向的距离Lc比中央传感器52和搬出传感器53的X轴方向的距离Ld短。另外，距离La比距离Lb短，同义于等候止动器部件41和中央传感器52的X轴方向的距离Le比中央止动器部件42和搬出传感器53的X轴方向的距离Lf短。

在本实施方式中，对X轴方向上的支撑部件90的位置进行调整，以使得在X轴方向上，压入部92的+X侧的端部的位置和在安装位置MP配置的基板P的－X侧的端部的位置一致。

在支撑部件90的位置被调整后，第1块基板P从搬入侧外部装置向电子部件安装装置1的基板输送装置3搬入。在基板输送装置3没有基板P的状态下，第1块基板P从搬入侧外部装置搬入至搬入口38的情况下，电动机控制部102基于搬入传感器50的检测数据，开始电动机35的工作。电动机控制部102对电动机35进行控制，以使得基板P以第1输送速度V1输送。

另外，止动器控制部103对等候止动器致动器44及中央止动器致动器45进行控制，以使得中央止动器部件42的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方，等候止动器部件41与输送带34的上表面相比配置于下方。由此，搬入至搬入口38的第1块基板P，不在搬入缓冲部31中等待，而是通过输送带34输送至中央缓冲部32为止。通过输送带34从搬入口38输送至中央缓冲部32为止的基板P，与中央止动器部件42接触，停止在安装位置MP。在基板P与中央止动器部件42接近时，中央传感器52对基板P进行检测。电动机控制部102基于中央传感器52检测到基板P时的检测数据，对电动机35进行控制，以使得基板P以比第1输送速度V1低的第2输送速度V2被输送。即，电动机控制部102基于中央传感器52的检测数据，判定为基板P与中央止动器部件42接近时，使基板P的输送速度降低。由此，抑制基板P以高速度与中央止动器部件42接触。

在第1块基板P与中央止动器部件42接触而停止在安装位置MP后，夹具控制部104对夹具致动器83进行控制，使第1夹具部件81上升。由此，第1夹具部件81在对基板P的下表面的第1区域AR1进行支撑的状态下上升，第2夹具部件82在对基板P的下表面的第2区域AR2进行支撑的状态下上升。第1夹具部件81及第2夹具部件82上升，在基板P从输送带34分离后，如图5所示，止动器控制部103对中央止动器致动器45进行控制，将中央止动器部件42从基板P的+X侧的端部分离。第1夹具部件81及第2夹具部件82进一步上升，由此如图5所示，基板P夹在保持部件70和第1夹具部件81及第2夹具部件82之间。在基板P的位置被固定后，安装控制装置9对吸嘴4及安装头5进行控制，将电子部件C向配置在安装位置MP的基板P安装。

在中央缓冲部32配置的第1块基板P夹在保持部件70和第1夹具部件81及第2夹具部件82之间，在第1块基板P和输送带34分离的状态下，在第2块基板P从搬入侧外部装置搬入至搬入口38的情况下，电动机控制部102基于搬入传感器50的检测数据，对电动机35进行控制，以使得基板P以第1输送速度V1被输送。如图6所示，止动器控制部103对等候止动器致动器44进行控制，以使得等候止动器部件41的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。由此，搬入至搬入口38的第2块基板P与等候止动器部件41接触，停止在搬入等待位置CP。另外，在基板P与等候止动器部件41接近时，等候传感器51对基板P进行检测。电动机控制部102基于等候传感器51检测到基板P时的检测数据，对电动机35进行控制，以使得基板P以比第1输送速度V1低的第2输送速度V2被输送。即，电动机控制部102基于等候传感器51的检测数据，判定为基板P与等候止动器部件41接近时，使基板P的输送速度降低。由此，抑制基板P以高速度与等候止动器部件41接触。

在第1块基板P的安装处理结束后，夹具控制部104对夹具致动器83进行控制，使第1夹具部件81下降。由此，基板P支撑于输送带34，通过第1夹具部件81及第2夹具部件82实现的对基板P的支撑被解除。输送带34通过电动机35的工作进行驱动。支撑于输送带34的基板P从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33。

如图7所示，止动器控制部103对搬出止动器致动器46进行控制，以使得搬出止动器部件43的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。由此，从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的第1块基板P，与搬出止动器部件43接触，停止在搬出等待位置TP。另外，在基板P与搬出止动器部件43接近时，搬出传感器53对基板P进行检测。电动机控制部102基于搬出传感器53检测到基板P时的检测数据，对电动机35进行控制，以使得基板P以比第1输送速度V1低的第2输送速度V2被输送。即，电动机控制部102基于搬出传感器53的检测数据，判定为基板P与搬出止动器部件43接近时，使基板P的输送速度降低。由此，抑制基板P以高速度与搬出止动器部件43接触。

在第1块基板P从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33后，止动器控制部103对等候止动器致动器44进行控制，将等候止动器部件41与输送带34的上表面相比向下方移动，以使得第2块基板P从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入。由此，第2块基板P通过输送带34，从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入。止动器控制部103对中央止动器致动器45进行控制，将中央止动器部件42的至少一部分与输送带34的上表面相比向上方移动，以使得第2块基板P停止在安装位置MP。在基板P停止在安装位置MP后，夹具控制部104对夹具致动器83进行控制，使第1夹具部件81及第2夹具部件82上升。由此，第2块基板P被夹在保持部件70和第1夹具部件81及第2夹具部件82之间。在基板P的位置被固定的状态下，通过安装头5将电子部件C安装于基板P。

图8是表示本实施方式所涉及的基板P的输送方法的流程图。图8是表示从图7所示的状态起的基板输送装置3的动作的流程图。

如图7所示，止动器控制部103对等候止动器致动器44进行控制，以使得在搬入缓冲部31中基板P停止于搬入等待位置CP。另外，止动器控制部103对中央止动器致动器45进行控制，以使得在中央缓冲部32中安装处理结束的基板P停止于安装位置MP。另外，止动器控制部103对搬出止动器致动器46进行控制，以使得在搬出缓冲部33中基板P停止于搬出等待位置TP(步骤S10)。

在基板P分别配置于搬入缓冲部31、中央缓冲部32及搬出缓冲部33的状态下，对数据取得部101是否从搬出侧外部装置200取得了许可数据进行判定(步骤S20)。如上所述，许可数据表示搬出侧外部装置200许可接受在搬出缓冲部33存在的基板P。

在步骤S20中判定为没有取得许可数据的情况下(步骤S20：No)，止动器控制部103对搬出止动器致动器46进行控制，以使得维持搬出缓冲部33的基板P停止于搬出等待位置TP的状态，即，搬出止动器部件43的至少一部分与输送带34的上表面相比配置于上方。

在步骤S20中判定为取得了许可数据的情况下(步骤S20：Yes)，止动器控制部103对搬出止动器致动器46进行控制，使搬出止动器部件43下降。由此，搬出缓冲部33的基板P通过输送带34，向搬出侧外部装置200搬出(步骤S30)。

搬出缓冲部33的基板P在搬出至搬出侧外部装置200后，止动器控制部103对中央止动器致动器45进行控制，使中央止动器部件42下降。由此，安装处理结束的中央缓冲部32的基板P通过输送带34，向搬出缓冲部33搬出(步骤S40)。

在中央缓冲部32的基板P搬出至搬出缓冲部33后，止动器控制部103对等候止动器致动器44进行控制，使等候止动器部件41下降。由此，搬入缓冲部31的基板P通过输送带34，向中央缓冲部32搬入(步骤S50)。

在步骤S50中，搬入缓冲部31的基板P向中央缓冲部32移动，如果中央传感器52检测到基板P，则电动机控制部102使基板P的输送速度从第1输送速度V1降低至第2输送速度V2。

在本实施方式中，距离Le(La、Lc)比距离Lf(Lb、Ld)短。因此，在中央缓冲部32的基板P到达搬出传感器53前，搬入缓冲部31的基板P到达中央传感器52。即，在从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到之前，从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到。

在本实施方式中，在从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到之前，从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到。因此，在无需使从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P的输送速度降低的区间中，基板P的输送速度维持第1输送速度V1。由此，抑制基板P从搬入缓冲部31向中央缓冲部32移动所需的时间变长。

图9是用于对本实施方式所涉及的输送方法的效果进行说明的示意图。图9的(A)是表示从中央缓冲部32向搬出缓冲部33搬出的基板P的输送速度曲线的图。图9的(B)是表示距离La(Le)和距离Lb(Lf)相等的情况下的从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P的输送速度曲线的图。图9的(C)是表示本实施方式所涉及的基板输送装置3中的基板P的输送速度曲线的图，且是表示距离La(Le)比距离Lb(Lf)短的情况下的从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P的输送速度曲线的图。在图9的(A)、图9的(B)及图9的(C)中，横轴表示X轴方向的位置，纵轴表示基板P的输送速度。

如图9的(A)所示，在中央缓冲部32的安装位置MP处通过中央止动器部件42而停止的基板P，由于停止被解除，而以第1输送速度V1向搬出缓冲部33输送。如果基板P到达搬出传感器53，搬出传感器53检测到基板P，则电动机控制部102使输送带34的输送速度从第1输送速度V1降低至第2输送速度V2。由此，抑制基板P以高速度碰到搬出止动器部件43。

在本实施方式中，基板输送装置3是3缓冲部1电动机方式的基板输送装置，1个输送带34通过1个电动机35驱动。另外，在本实施方式中，在中央缓冲部32中通过中央止动器部件42而停止的基板P的停止被解除后，在搬入缓冲部31中通过等候止动器部件41而停止的基板P的停止被解除(参照步骤S40及步骤S50)。

因此，如图9的(B)所示，在距离Le(La)和距离Lf(Lb)相等的情况下，由于在从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到之前，从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到，因此从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P的输送速度降低。为了抑制基板P以高速度与中央止动器部件42接触，只要在基板P被中央传感器52检测到的定时将基板P的输送速度降低，就足以实现抑制。但是，如果在从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到之前，从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到，则与配置有中央传感器52的位置相比在－X侧的位置Px处，从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P的输送速度开始降低。位置Px是下述位置，即，由于在从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到之前，从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到，因此从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P的输送速度开始降低。

在位置Px和配置有中央传感器52的位置之间，尽管基板P能够以第1输送速度V1输送，但由于在从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到之前，从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到，因此在位置Px处基板P的输送速度从第1输送速度V1降低至第2输送速度V2。如上所述，在距离Le(La)和距离Lf(Lb)相等的情况下，基板P以第2输送速度V2输送的区间变长。其结果，基板P从搬入缓冲部31向中央缓冲部32移动所需的时间变长，基板输送装置3的输送效率降低。

图9的(C)示出本实施方式所涉及的基板输送装置3中的基板P的输送速度曲线。如图9的(C)所示，在本实施方式中，距离Le(La)比距离Lf(Lb)短，因此在从中央缓冲部32向搬出缓冲部33搬出的基板P被搬出传感器53检测到之前，从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到。由此，抑制从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P以第2输送速度V2输送的区间变长，抑制基板P以高速度碰到中央止动器部件42。

此外，在图9的(C)所示的例子中，由于在从中央缓冲部32搬出至搬出缓冲部33的基板P被搬出传感器53检测到之前，中央传感器52检测到基板P，因此从中央缓冲部32向搬出缓冲部33搬出的基板P的输送速度有可能降低。即，与配置有搬出传感器53的位置相比在+X侧的位置，从中央缓冲部32向搬出缓冲部33搬出的基板P的输送速度有可能开始降低。为了抑制通过基板输送装置3实现的基板P的输送效率的降低，抑制通过电子部件安装装置1实现的电子仪器的生产效率的降低，与从搬出缓冲部33向搬出侧外部装置将基板P快速地搬出相比，重要的是将基板P快速地从搬入缓冲部31向实施安装处理的中央缓冲部32搬入。

＜效果＞

如以上说明的那样，根据本实施方式，对等候止动器部件41及等候传感器51进行支撑的支撑部件90能够在被引导机构91引导的状态下在X轴方向移动。由此，在维持X轴方向上的等候止动器部件41和等候传感器51的相对位置(距离Wa)的状态下，能够对X轴方向上的等候止动器部件41及等候传感器51的位置进行调整。

通过对支撑部件90的位置进行调整，以使得等候止动器部件41和中央止动器部件42的距离La(Lc、Le)比中央止动器部件42和搬出止动器部件43的距离Lb(Ld、Lf)短，从而如参照图9说明的那样，在从中央缓冲部32向搬出缓冲部33搬出的基板P被搬出传感器53检测到之前，从搬入缓冲部31搬入至中央缓冲部32的基板P被中央传感器52检测到。由此，抑制从搬入缓冲部31向中央缓冲部32搬入的基板P以第2输送速度V2输送的区间变长，并抑制基板P以高速度碰到中央止动器部件42。因此，抑制通过基板输送装置3实现的基板P的输送效率的降低，抑制通过电子部件安装装置1实现的电子仪器的生产效率的降低。

[第2实施方式]

对第2实施方式进行说明。在下面的说明中，对与上述的实施方式相同或同等的结构要素标注同一标号，简化或省略其说明。

图10是示意地表示本实施方式所涉及的基板输送装置3的侧视图。与上述的实施方式同样地，将X轴方向上的支撑部件90的位置基于基板P的尺寸进行调整。图10示出X轴方向上的基板P的尺寸小的情况下的基板输送装置3的动作。在图10中，基板P的尺寸是下述尺寸，即，在基板P通过中央止动器部件42停止于安装位置MP时基板P的－X侧的端部与第2夹具部件82的支撑面82S相比配置在+X侧。

与上述的实施方式同样地，对X轴方向上的支撑部件90的位置进行调整，以使得压入部92的+X侧的端部的位置和在安装位置MP配置的基板P的－X侧的端部的位置一致。

如上所述，第2夹具部件82能够在θY方向旋转地支撑于第1夹具部件81。基板P的尺寸小，因此如果对支撑部件90的位置进行调整以使得压入部92的+X侧的端部的位置和在安装位置MP配置的基板P的－X侧的端部的位置一致，则如图10所示，支撑部件90向+X方向移动以使得与安装位置MP接近，将第2夹具部件82的下端部由压入部92向+X方向按压。被压入部92按压的第2夹具部件82向一个方向旋转，以使得将对基板P的下表面的支撑解除。如上所述，第2夹具部件82基于X轴方向的支撑部件90的位置，将对基板P的下表面的支撑解除。

支撑部件90在通过第2夹具部件82实现的基板P的下表面的支撑被解除的状态下，能够在X轴方向移动，以使得在X轴方向上等候止动器部件41的位置和保持部件70的至少一部分的位置一致。即，支撑部件90能够进入至保持部件70的下方。等候止动器部件41在Y轴方向上能够进入至一对保持部件70之间。

在本实施方式中，能够将距离La(Lc、Le)与距离Lb(Ld、Lf)相比进一步充分地缩短。由此，能够进一步缩短基板P从搬入缓冲部31向中央缓冲部32移动所需的时间。因此，能够抑制通过基板输送装置3实现的基板P的输送效率的降低，抑制通过电子部件安装装置1实现的电子仪器的生产效率的降低。

Claims (8)

1.一种基板输送装置，其具有：

输送带，其支撑基板而在输送方向输送；

电动机，其产生使所述输送带驱动的动力；

中央止动器部件，其与支撑于所述输送带的所述基板接触，使所述基板停止在安装位置；

等候止动器部件，其在所述基板搬入至所述安装位置前，与支撑于所述输送带的所述基板接触，使所述基板停止在搬入等待位置；

等候传感器，其在所述基板搬入至所述搬入等待位置前，对被所述输送带输送的所述基板进行检测；

支撑部件，其对所述等候止动器部件及所述等候传感器进行支撑；

引导机构，其将所述支撑部件在所述输送方向进行引导；以及

搬出止动器部件，其在所述基板从所述安装位置搬出后，与支撑于所述输送带的所述基板接触，使所述基板停止在搬出等待位置，

所述支撑部件在所述输送方向移动，以使得所述等候止动器部件和所述中央止动器部件之间的距离比所述中央止动器部件和所述搬出止动器部件之间的距离短。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其中，

所述支撑部件以在所述输送方向上维持所述等候止动器部件和所述等候传感器的相对位置的方式，对所述等候止动器部件及所述等候传感器进行支撑。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其中，

具有：

中央传感器，其在所述搬入等待位置和所述安装位置之间，对被所述输送带输送的所述基板进行检测；

搬出传感器，其在所述安装位置和所述搬出等待位置之间，对被所述输送带输送的所述基板进行检测；以及

控制装置，其基于所述等候传感器、所述中央传感器及所述搬出传感器中的至少一个检测到所述基板时的检测数据，对所述电动机进行控制，以使得所述输送带的输送速度降低。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板输送装置，其中，

具有：

保持部件，其与停止在所述安装位置的所述基板的上表面的至少一部分相对；以及

夹具部件，其以从所述输送带分离的状态对停止于所述安装位置的所述基板的下表面的至少一部分进行支撑而上升，在与所述保持部件之间夹持所述基板的至少一部分。

5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其中，

所述夹具部件包含：第1夹具部件，其对所述基板的下表面的第1区域进行支撑；以及第2夹具部件，其对与所述第1区域相比接近所述搬入等待位置的所述基板的下表面的第2区域进行支撑，

所述第2夹具部件基于所述输送方向的所述支撑部件的位置，解除对所述基板的支撑。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其中，

所述支撑部件在解除了所述第2夹具部件对所述基板的支撑的状态下，在所述输送方向移动，以使得在所述输送方向上所述等候止动器部件的位置和所述保持部件的至少一部分的位置一致。

7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其中，

所述支撑部件具有压入部，该压入部在所述输送方向上配置在与所述等候止动器部件相比远离所述搬入等待位置的位置，

所述第2夹具部件能够旋转地支撑于所述第1夹具部件，通过被所述压入部按压，从而解除对所述基板的支撑。

8.一种电子部件安装装置，其具有：

权利要求1所述的基板输送装置；以及

安装头，其向通过所述基板输送装置而配置在所述安装位置的所述基板安装电子部件。

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