JPH02291144A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はウェーハ搬送装置に係わり、さらに詳細にいえ
ば非常停止機構を備えたエアピンセッ１〜方式のウエ−
ハ搬送装置に関ずる。

［従来技術］ ウエ−ハの検査等に必たっては、ウ■−ハを保管するバ
スケッ１〜からこれを取り出し検査装置等に送込む必要
かある。この搬送には従来パスケツ１〜から取り出した
ウェーハをベル１〜にのけて吸着ステージ上まで送りス
テージにウェーハを吸着する方式が一般的であったか、
発塵等の問題から近時は真空吸着によりウエ〜ハ裏而の
一部を吸着したエアピンセッ１〜を所定位置にアーム等
の機構により搬送ずる、いわゆるエアピンセツ｛へ方式
の搬送装置が普及している。

ウエ−ハは一定ピッチで一枚毎に収納バスケツ１〜に収
納されているが、このエアピンセット方式の搬送装置で
は薄板状のエアピンセットをウエハの間に入札ウェーハ
吸看面に垂直方向へ微動させてウエ−ハ裏面を吸着保持
して、ウェーハを扱き出す。

このときウェーハとエアピンセットとが接触してウェー
ハに破損を与えるのみでなく、エアピンセット自体も故
障する危険がある。

そこで、従来の装置においてもエアピンセットとウェー
ハの衝突を防ぐためにセンサによるウ■ハの位置検出が
行なわれていたが、この場合ウ工一ハの一部分の検出に
止どまっていた。

［従来技術の問題点とその課題］ しかしなから、上記従来技術のような一部分のウェーハ
の検出では充分なセンシングとはいいがたい。

また、なんらかの原因によりセンサとウェーハとの位置
関係が変化した場合にはエアピンセットとウェーハは衝
突することになる。

ざらに、このような装置にあいては、バスケット以外の
ウエ−ハ搬送経路上での障害物の検出は充分ではないた
め、不注意や何らかの事故により、エアピンセット又は
エアピンセツｉ〜に保持ざれたウェーハが障害物に衝突
するとき（ユ、ウＴ−ハの破損や作業者の傷害を引きお
こすことかおる。

本発明の目的は上記従来技術の欠点に鑑み、エアピンセ
ット又はエアピンセッ］・に保持されたウ工−ハが障害
物に衝突したり接触したりした場合には自動的に装置を
非常停止状態としてそのまま装置か運転された場合に生
ずる問題を未然に防止するウェーハ搬送装置を提供ずる
ことにある。

１課題を解決するための手段］ 上記目的を達成ずるために本発明は、真空吸着によりウ
エ−ハ裏面の一部を吸着したエアピンセットを所定位置
に搬送するエアピンセッ１〜方式のウェーハ搬送装置に
おいて、前記エアピンレッ１〜か所定方向に微小量移動
可能な移動手段と、エアピンセットを移動方向の双方向
からバネ力で中立位置に保持する保持手段と、エアピン
セットの所定量を超えた移動を検知する検知手段と、該
検知手段の信号に基づき装置を非常停止する手段と、か
らなることを特徴としている。

また、上記発明の移動手段は直動軸受であることを特徴
としている。

さらに前記検出手段は近接センサまたはマイクロスイッ
チであることを特徴としている。

「実施例」 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図は本発明の非常停止機構備えた実施例を説明する
ための構造図である。

１はエアピンセットで、２はエアピンセッ１〜１の搬送
を行う搬送機構で、直動軸受上のエアピンセット１か移
動ベース３とともにアクチュエータ（図示゛ぜず）によ
ってレール方向に移動できるようになっている。

本実施例の搬送機構は所定のレール上を移動できるもの
で市るか、アーム状のものでもよいことは勿論でおる。

４はエアピンセットが搬送機構２とは独立に微小量だ（
プ軸方向に移動可能なように設けられた直動軸受である
。

５ａ，５ｂはバネで、普段はエアビンセッ１〜１を移動
ベース３に対して中立位置に保持してｄ″′３つ、この
バネ力より強い外力か働くと直動軸受１によりエアピン
セット１が移動ずる。

６ａ，６ｂは近接セン丈で、所定の位置までエアピンセ
ッ１〜が接近すると電気信号を発し、装置を非常停止さ
せる。

非常停止させる手段は種々の公知のもので足りるから、
その説明は省略する。

なあ、近接センザの代りにマイクロスイッチのような接
触式のスイッチを用いることかできるか、この場合は板
バネ等を用いて非常停止が動いてから実際に装置が停止
するまでの運動を吸収し、過度の力がウェーハ７等にか
からないようにする機構を設けることが必要である。

以上のような構成の実施例の動作を簡単に説明する。

アクチュエー夕によってエアピンセット１が移動ベース
３とともに直動軸受に沿ってハスケッ１へ内の指示され
た位置に収納されているウェーハの下部まで移動する。

ウェーハ吸看面に垂直方向へ微動させてウェーハ裏面を
吸着保持して、ウエハを扱き出づ−。

このときエアピンセット１ないしウェーハ７か収納バス
ケットと接触すると、バネ５ａ，５ｂにより中立位置に
保持されていたエアピンセット１は直動軸受４に沿って
軸方向に移動する。

その移動量が一定量以上に達し近接センサ６ａ，６ｂの
検出距離内になると、検出信号を発し、非常停止機構を
働かし、装置の動作を停止させる。

以上の装置の制御は装置のマイクロコンピュタによって
行われる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように本発明によれば、簡単な
構成でしかも広い範囲の異常を検出することかできるの
で、装置かそのまま運転された場合に生ずる問題を未然
に防止する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の非常停止機構備えた実施例を説明する
ための構造図でおる。 １・・・・・・エアピンセット　２・・・・・・直動軸
受５ａ，５ｂ・・・・・・バネ ６ａ，　６ｂ・・・・・・は近接センザ必る。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空吸着によりウェーハ裏面の一部を吸着したエ
   アピンセットを所定位置に搬送するエアピンセット方式
   のウェーハ搬送装置において、前記エアピンセットが所
   定方向に微小量移動可能な移動手段と、 エアピンセットを移動方向の双方向からバネ力で中立位
   置に保持する保持手段と、 エアピンセットの所定量を超えた移動を検知する検知手
   段と、 該検知手段の信号に基づき装置を非常停止する手段と、 からなることを特徴とするウェーハ搬送装置。
2. （２）第１項の移動手段は直動軸受であることを特徴と
   するウェーハ搬送装置。
3. （３）第１項の検出手段は近接センサまたはマイクロス
   イッチであることを特徴とするウェーハ搬送装置。