TWI722464B - 基板搬送裝置及其運轉方法 - Google Patents

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日商川崎重工業股份有限公司
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Abstract

一種基板搬送裝置，具備 機械臂（30）； 基板把持手（20）； 致動器（40），使基板把持手（20）繞橫搖軸旋轉； 控制裝置（110），以執行 （A）以將基板（10）以基板把持手（20）之第一卡合構件（51）與第二卡合構件（52）保持之方式，使機械臂（30）動作； （B）於（A）之後，以基板（10）之第一主面（10A）位於比基座構件（50）上方，且第一主面（10A）之法線朝向比水平面（H）下方之方式，使致動器（40）動作； （C）藉由可動導引構件（60）往基座構件（50）之前端部側移動，使得以第二卡合構件（52）與前述第三卡合構件（53）與可動導引構件（60）把持基板（10）； 之方式構成。

Description

基板搬送裝置及其運轉方法
本發明是關於基板搬送裝置及其運轉方法。
半導體晶圓（半導體基板；以下，亦可能僅稱為晶圓或基板），是在潔淨室內受到複數個處理而被製造。此外，半導體晶圓，在各處理間是藉由配置於潔淨室內之機器人而被搬送。
作為配置於潔淨室內之機器人，已知將以垂直姿勢載置之半導體晶圓把持、搬送之機器人搬送機（例如，參照專利文獻1）。在揭示於專利文獻1之機器人搬送機中，為了將複數個大型半導體晶圓於縱方向搬入、搬出，具備前端於晶圓之厚度方向且沿著遠側之周緣之方向彎曲的末端效應器、設置於末端效應器之前端之遠側墊部、配置於通過遠側墊部接觸於晶圓周緣之位置與晶圓中心之直線之下側之下部近側墊部、配置於該直線之上側之上部近側墊部。
此外，在揭示於專利文獻1之機器人搬送機中，遠側墊部與晶圓之周圍接觸，其後，下部近側墊部與上部近側墊部往前方移動，與晶圓之周緣接觸，藉由此等墊部將晶圓把持。 ［現有技術文獻］ ［專利文獻］
［專利文獻1］日本特開2010-165998號公報
［發明欲解決之課題］
然而，即使是揭示於上述專利文獻1之機器人搬送機，只要各墊部沒有正確地與晶圓之周緣接觸，就無法將晶圓正確地把持，會有使晶圓落下之虞。
本發明是解決上述以往之課題者，以提供與以往之基板搬送裝置相比，可抑制基板之落下之基板搬送裝置及其運轉方法為目的。 ［用來解決課題之手段］
為了解決上述以往之課題，本發明之基板搬送裝置是： 一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 控制裝置； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 前述控制裝置，以執行 （A）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； （B）於前述（A）之後，以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使前述致動器動作； （C）藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，使得以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板； 之方式構成。
藉此，由於基板之自重之分力朝向基座構件，故於第二卡合構件與第三卡合構件與可動導引構件沒有正確地與基板抵接之場合，可抑制基板之落下。
此外，本發明之基板搬送裝置是： 一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 第一偵測器，偵測前述基板是否正常地把持於前述基板把持手； 控制裝置； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 前述控制裝置，以 （D）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； （E）於前述（D）之後，藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，使得以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板； （F）於前述（E）之後，若前述第一偵測器偵測到前述基板沒有正常地把持於前述基板把持手，則使前述可動導引構件往前述基座構件之基端部側移動，並以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使前述致動器動作； （G）於前述（F）之後，再度執行前述（E）； 之方式構成。
藉此，於未能將基板正常地把持之場合，藉由使可動導引構件之與基板之接觸解放，並再度執行基板之把持動作（（E）之動作），比起以往之基板搬送裝置，可正確地將基板把持。
此外，由於將可動導引構件之與基板之接觸解放時，以基板之自重之分力朝向基座構件之方式使致動器動作，故可抑制基板之落下。
再者，由於基板之自重之分力朝向基座構件，故可藉由第一卡合構件與第二卡合構件，在既定之位置保持基板。因此，於再度執行基板之把持動作時，第二卡合構件與第三卡合構件與可動導引構件可正常地與基板接觸（抵接），可將基板正常地把持。
此外，本發明之基板搬送裝置之運轉方法是： 一種基板搬送裝置之運轉方法，該基板搬送裝置將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 具備 （A）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，前述機械臂動作之步驟； （B）於前述（A）之後，以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，前述致動器動作之步驟； （C）藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，使得以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板之步驟。
藉此，由於基板之自重之分力朝向基座構件，故於第二卡合構件與第三卡合構件與可動導引構件沒有正確地與基板抵接之場合，可抑制基板之落下。
另外，本發明之基板搬送裝置之運轉方法是： 一種基板搬送裝置之運轉方法，該基板搬送裝置將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 第一偵測器，偵測前述基板是否正常地把持於前述基板把持手； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 具備 （D）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，前述機械臂動作之步驟； （E）於前述（D）之後，藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板之步驟； （F）於前述（E）之後，若前述第一偵測器偵測前述基板沒有正常地把持於前述基板把持手，則使前述可動導引構件往前述基座構件之基端部側移動，並以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使前述致動器動作之步驟； （G）於前述（F）之後，再度執行前述（E）之步驟。
藉此，於未能將基板正常地把持之場合，藉由使可動導引構件之與基板之接觸解放，並再度執行基板之把持動作（（E）之動作），比起以往之基板搬送裝置，可正確地將基板把持。
此外，由於將可動導引構件之與基板之接觸解放時，以基板之自重之分力朝向基座構件之方式使致動器動作，故可抑制基板之落下。
另外，由於基板之自重之分力朝向基座構件，故可藉由第一卡合構件與第二卡合構件，在既定之位置將基板保持。因此，於再度執行基板之把持動作時，第二卡合構件與第三卡合構件與可動導引構件可正常地與基板接觸（抵接），可將基板正常地把持。
本發明之上述目的、其他目的、特徵、與優點，在參照圖式之前提下，由以下之理想實施形態之詳細說明明確得知。 ［發明之效果］
藉由本發明之基板搬送裝置及基板搬送裝置之運轉方法，比起以往之基板搬送裝置，可抑制基板之落下。
以下，一邊參照圖式一邊說明本發明之實施形態。另外，在所有圖式中，對於相同或相當部分賦予相同之符號，重複之說明省略。此外，於所有圖示中，有將為了說明本發明之構成要素抽出並圖示，關於其他構成要素則省略圖示之場合。另外，本發明並不被限定於以下之實施形態。
（實施形態1） 本實施形態1之基板搬送裝置，是 一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於機械臂之前端部； 致動器，使基板把持手繞橫搖軸旋轉； 控制裝置； 基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於橫搖軸方向移動； 控制裝置，以執行 （A）以將基板以基板把持手之第一卡合構件與第二卡合構件保持之方式，使機械臂動作； （B）於（A）之後，以基板之與基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比基座構件上方，且第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使致動器動作； （C）藉由可動導引構件往基座構件之前端部側移動並按壓基板之周面，使得以第二卡合構件與第三卡合構件與可動導引構件把持基板； 之方式構成。
此外，在本實施形態1之基板搬送裝置中， 基板把持手，進一步具有 第四卡合構件，配置於基座構件之前端部之下部、第二卡合構件之下方、且比第二卡合構件更靠基端側； 控制裝置，以 於（C）中，以第三卡合構件與第四卡合構件與可動導引構件把持基板 之方式構成亦可。
再者，在本實施形態1之基板搬送裝置中， 控制裝置，以 於（C）中，以第二卡合構件與第三卡合構件與第四卡合構件與可動導引構件把持基板 之方式構成亦可。
以下，針對本實施形態1之基板搬送裝置，一邊參照圖1～圖7一邊進行說明。
[基板搬送系統之構成] 圖1是顯示具備本實施形態1之基板搬送裝置之基板搬送系統之概略構成之示意圖。另外，於圖1中，將基板搬送裝置之前後方向及上下方向作為圖中之前後方向及上下方向來表示。
如圖1所示，基板搬送系統100，具備：本實施形態1之基板搬送裝置101、容器102。於容器102，有複數個圓板狀之基板10以垂直姿勢並排地被配置。在此，所謂垂直姿勢，是指基板10之主面朝向垂直方向（鉛直方向）之狀態。另外，於容器102，有基板10以傾斜姿勢（主面傾斜之狀態）被配置亦可。作為容器102，可以是例如船形體。
基板10，可以是例如半導體基板及玻璃基板等作為半導體元件之基板之材料之圓形薄板。作為半導體基板，可以是例如矽基板、藍寶石（單結晶氧化鋁）基板、其他各種基板等。作為玻璃基板，可以是例如FPD（Flat Panel Display）用玻璃基板、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）用玻璃基板等。
[基板搬送裝置之構成] 如圖1所示，本實施形態1之基板搬送裝置101，具備基板把持手20、機械臂30、控制裝置110，以藉由基板把持手20，將基板10保持並搬送之方式構成。
另外，本實施形態1之基板搬送裝置101，亦可將垂直姿勢或傾斜姿勢之基板10把持，並將把持中之基板10變更為水平姿勢後進行搬送。此外，基板搬送裝置101，亦可將以水平姿勢載置之基板10把持，並將把持中之基板10變更為垂直姿勢或傾斜姿勢後進行搬送。
此外，雖然在本實施形態1之基板搬送裝置101中，是採用設置於地面之形態，但並不限定於此，採用從天花板垂吊之形態亦可。此外，在以下之說明中，作為機械臂30，雖說明了水平多關節型機器人之構成，但機械臂30並不限定於水平多關節型機器人，亦可是以垂直多關節型機器人為基礎者。
機械臂30，具備基台31、第一臂部32、第二臂部33、第三臂部34、基部35、支持軸36、第一連接部37、第二連接部38、與第三連接部39。
於基台31設置有支持軸36。支持軸36，具有例如滾珠螺桿機構、驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、及檢測控制驅動馬達之旋轉之電流之電流感測器等（皆不圖示），以於上下方向伸縮且轉動之方式構成。另外，驅動馬達，可以是例如藉由控制裝置110伺服控制之伺服馬達。此外，旋轉感測器，可以是例如編碼器。
於支持軸36，以可繞通過該支持軸36之軸心之旋轉軸L1轉動之方式連接有第一臂部32之基端部。於第一臂部32之前端部，透過第一連接部37，以可繞旋轉軸L2轉動之方式連接有第二臂部33之基端部。另外，旋轉軸L1與旋轉軸L2，以其軸心朝向鉛直方向之方式構成。
第一連接部37，具有例如驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、與檢測控制驅動馬達之旋轉之電流之電流感測器等（皆不圖示），以將第一臂部32轉動（擺動）之方式構成。另外，驅動馬達，亦可配置於支持軸36。另外，作為驅動馬達，亦可使用藉由控制裝置110而被伺服控制之伺服馬達。此外，旋轉感測器，可以是例如編碼器。
此外，於第二臂部33之前端部，透過第二連接部38，以可繞旋轉軸L3轉動之方式連接有第三臂部34之基端部。於第三臂部34之前端部，透過第三連接部39，以可繞旋轉軸L4轉動之方式連接有基部35之基端部。此外，於基部35之前端部連接有基板把持手20。另外，旋轉軸L3，以其軸心朝向水平方向之方式構成。此外，旋轉軸L4，以其軸心朝向鉛直方向之方式構成。
第二連接部38，具有例如驅動馬達（致動器）40、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、與檢測控制驅動馬達之旋轉之電流之電流感測器等（皆不圖示），以將第三臂部34繞旋轉軸L3（橫搖軸）轉動（擺動）之方式構成。同樣地，第三連接部39，具有例如驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、與檢測控制驅動馬達之旋轉之電流之電流感測器等（皆不圖示），以將基部35繞旋轉軸L4轉動（擺動）之方式構成。
另外，驅動馬達，亦可配置於第二臂部33或第三臂部34。此外，作為驅動馬達，使用藉由控制裝置110而被伺服控制之伺服馬達亦可。此外，旋轉感測器，可以是例如編碼器。
控制裝置110，具備：微處理器、CPU等演算器、ROM、RAM等記憶器（不圖示）。於記憶器中，儲存有基本程式、各種固定資料等資訊。演算器，藉由將被儲存於記憶器之基本程式等軟體讀出並執行，來控制基板搬送系統100之各種動作。
另外，控制裝置110，可由集中控制之單獨之控制裝置110構成，或由互相協力進行分散控制之複數個控制裝置110構成亦可。此外，控制裝置110，可以微電腦構成，或由MPU、PLC（Programmable Logic Controller）、邏輯電路等構成亦可。
[基板把持手之構成] 其次，參照圖1~圖3詳細說明基板把持手20之構成。 圖2是於圖1顯示之基板搬送裝置中之基板把持手之右側視圖。圖3是於圖2顯示之III-III線剖面圖。
另外，於圖2與圖3中，為了更容易理解基板把持手之構成，將基板以一點鏈線表示。此外，於圖3中，省略基板把持手之一部分記載。另外，於圖2中，將基板搬送裝置之前後方向及上下方向作為圖中之前後方向及上下方向來表示。同樣地，於圖3中，將基板搬送裝置之前後方向及左右方向作為圖中之前後方向及左右方向來表示。
如圖2及圖3所示，基板把持手20，具有：板狀之基座構件50、第一卡合構件51、第二卡合構件52、第三卡合構件53、可動導引構件60、與連接構件70。基座構件50，於從側面觀察時，形成為大致U字狀（大致Y字狀），其基端部，透過連接構件70連接於基部35。
於基座構件50之基端部之下部配置有第一卡合構件51，於基座構件50之前端部之下部配置有第二卡合構件52。此外，於基座構件50之前端部之上部配置有第三卡合構件53。
第二卡合構件52，以於將垂直姿勢或傾斜姿勢之基板10拾起並保持時，與基板10之周緣部及周面抵接（卡合）之方式構成。第三卡合構件53，以可動導引構件60移動後與基板10之周面接觸時，與基板10之周緣部及周面抵接（卡合）之方式構成。另外，第二卡合構件52，以可動導引構件60移動後與基板10之周面接觸時，亦與基板10之周緣部及周面抵接（卡合）之方式構成亦可。
另外，於基座構件50，在第二卡合構件52之下方、且比第二卡合構件52更靠基端部側處配置有第四卡合構件54亦可。第四卡合構件54，以於將垂直姿勢或傾斜姿勢之基板10拾起並保持時，與基板10之周緣部及周面抵接（卡合）之方式構成亦可。此外，第四卡合構件54，以可動導引構件60移動後與基板10之周面接觸時，與基板10之周緣部及周面抵接（卡合）之方式構成亦可。
此外，於基座構件50之基端部之上部配置有第五卡合構件55亦可。第五卡合構件55，以可動導引構件60移動後與基板10之周面接觸/分離時，與基板10之周緣部抵接（卡合）之方式構成亦可。
如圖3所示，第三卡合構件53及第五卡合構件55，以形成為大致鉤狀（大致J字狀），與基板10之周面及基板10之主面之周緣部抵接（卡合）之方式構成。另外，關於第一卡合構件51、第二卡合構件52、及第四卡合構件54，亦與第三卡合構件53及第五卡合構件55同樣地，以形成為大致鉤狀（大致J字狀），與基板10之周面及基板10之主面之周緣部抵接（卡合）之方式構成。
可動導引構件60，形成為大致長方體狀，其前面，從前端部朝向下端部形成為錐狀。此外，可動導引構件60，構成為藉由配置於連接構件70之直動致動器80而可於前後方向移動。另外，可動導引構件60，亦可形成為大致圓柱狀，其周面形成為圓弧狀。此外，可動導引構件60，亦可構成為可繞其軸心自由轉動。
藉此，若直動致動器80作動，可動導引構件60可於與基板10之周面接觸並進行按壓之作用位置、不與基板10接觸之位置亦即退避位置之間往復移動。
直動致動器80，於本實施形態1中是以氣壓缸構成，具有活塞桿81與供活塞桿81進出之套筒82。另外，直動致動器80，並不限定於氣壓缸，可為例如油壓缸，或以驅動馬達（電動馬達、伺服馬達）與齒輪齒條或滾珠螺桿等動力傳達機構構成亦可。
此外，直動致動器80，具有軌道構件83、滑動體構件84、及可動構件85。軌道構件83，固定於連接構件70，以導引活塞桿81之伸縮軌道之方式構成。此外，於滑動體構件84固定有活塞桿81，以滑動體構件84在軌道構件83上滑動之方式構成。可動構件85，其基端部連接於滑動體構件84，且於其前端部可自由轉動地安裝有可動導引構件60。另外，直動致動器80，是受控制裝置110控制。
〔基板搬送裝置之動作及作用效果〕 其次，針對本實施形態1之基板搬送裝置101之動作與作用效果，一邊參照圖1～圖7一邊進行說明。另外，以下之動作，是藉由控制裝置110之演算器將儲存於記憶器中之程式讀出而被執行。
圖4是顯示本實施形態1之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。圖5是於圖2顯示之V-V線剖面圖，表示執行於圖4顯示之步驟S105之處理時之狀態。此外，圖6是於圖1顯示之基板搬送裝置中之基板把持手之右側視圖，表示執行於圖4顯示之步驟S106之處理時之狀態。圖7是於圖6顯示之VII-VII線剖面圖。
另外，於圖5及圖7中，將基板搬送裝置之上下方向及左右方向作為圖中之上下方向及左右方向來表示。
首先，可動導引構件60，於位於退避位置、將基板10以第一卡合構件51與第二卡合構件52把持之狀態時，位於基板10之周面附近（參照圖2）。
接著，從操作者透過不被圖示之輸入裝置，指示執行將被配置於容器102內之基板10把持並搬送之作業之指示資訊，被輸入控制裝置110。
之後，如圖4所示，控制裝置110，使機械臂30動作，使基板把持手20移動至位於容器102之前方（步驟S101）。接著，控制裝置110，以使基板把持手20進入容器102內之方式，使機械臂30動作（步驟S102）。此時，控制裝置110，使基板把持手20進入容器102內直到基板把持手20之第一卡合構件51及第二卡合構件52可載置基板10之位置。
接著，控制裝置110，以基板把持手20往上方移動之方式，使機械臂30動作，基板把持手20之第一卡合構件51及第二卡合構件52，與基板10抵接（卡合）而保持基板10（步驟S103，參照圖2）。此時，第三卡合構件53及第四卡合構件54，不與基板10之周面接觸。另外，第四卡合構件54，以與基板10之周面接觸之方式構成亦可。
接著，控制裝置110，使機械臂30動作，使基板把持手20往容器102外後退（步驟S104）。接著，控制裝置110，以基板把持手20傾斜之方式使機械臂30（驅動馬達40）動作（步驟S105）。
具體而言，控制裝置110，以基板10之與基座構件50對向之側之主面亦即第一主面10A位於比基座構件50上方，且該第一主面10A之法線（法線向量）10C朝向比水平面H下方之方式，使驅動馬達40驅動（參照圖5）。換言之，控制裝置110，以基板10之第一主面10A與水平面H形成之角度θA成為銳角，且基板10之與第一主面10A相反側之主面亦即第二主面10B與水平面H形成之角度θB成為銳角之方式，使驅動馬達40動作。
另外，在於容器102內充分具有空間之場合等，控制裝置110，亦可在執行步驟S104之處理前，執行步驟S105之處理。此外，控制裝置110，亦可將步驟S104之處理與步驟S105之處理同時執行。
接著，控制裝置110，以可動導引構件60位於作用位置之方式，使直動致動器80動作（步驟S106）。
藉此，可動導引構件60之前面與基板10之周面抵接，並進行按壓。伴隨上述按壓，對於基板10，有以與第二卡合構件52及/或第四卡合構件54之卡合位置為中心向上旋轉之力作用。因此，基板10，以「以與第二卡合構件52及/或第四卡合構件54之卡合位置為中心轉動（擺動）」之方式被往上推，與第三卡合構件53抵接（卡合）。
其結果，基板10，藉由第二卡合構件52及/或第四卡合構件54、第三卡合構件53、可動導引構件60而被把持（參照圖6及圖7）。
另外，在於容器102內充分具有空間之場合等，控制裝置110，在執行步驟S104之處理前，執行步驟S105之處理與步驟S106之處理亦可。在此場合，控制裝置110，將步驟S105之處理與步驟S106之處理同時執行亦可。此外，控制裝置110，在執行步驟S104之處理後，將步驟S105之處理與步驟S106之處理同時執行亦可。
接著，控制裝置110，使機械臂30動作，將基板10往事先被設定之既定場所搬送，並使將該基板10載置於既定場所（步驟S107），將本程式結束。
在以如上述之方式構成之本實施形態1之基板搬送裝置101中，控制裝置110，以在使基板把持手20傾斜之狀態下將可動導引構件60移動之方式，控制機械臂30與驅動馬達40。
藉此，由於基板10之自重之分力朝向基座構件50，故即使是第二卡合構件52、第三卡合構件53、第四卡合構件54、及可動導引構件60之中之任一構件沒有正確地與基板抵接之場合，仍可抑制基板10之落下。
（實施形態2） 本實施形態2之基板搬送裝置，是 如實施形態1記載之基板搬送裝置，其中， 基板，以傾斜姿勢被保持； 控制裝置，以執行 （A1）於（A）中，以基板把持手位於第一主面之上方之方式，使機械臂動作； （A2）於（A1）之後，以將基板以基板把持手之第一卡合構件與第二卡合構件保持之方式，使機械臂動作； 之方式構成。
以下，針對本實施形態2之基板搬送裝置，一邊參照圖8及圖9一邊進行說明。另外，由於本實施形態2之基板搬送裝置與具備該基板搬送裝置之基板搬送系統，與實施形態1之基板搬送裝置及具備該基板搬送裝置之基板搬送系統基本上構成是相同的，故其詳細之說明省略。
〔基板搬送裝置之動作與作用效果〕 圖8是顯示本實施形態2之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。圖9是本實施形態2之基板搬送裝置中之基板把持手之主要部位之剖面圖，顯示執行於圖8顯示之步驟S102A之處理時之狀態。
如圖8所示，本實施形態2之基板搬送裝置101之動作，與實施形態1之基板搬送裝置101之動作雖然基本上相同，但在「步驟S102之處理與步驟S103之處理之間，執行步驟S102A之處理」之方面不同。
具體而言，控制裝置110，以使基板把持手20進入容器102內之方式，使機械臂30動作（步驟S102）。接著，控制裝置110，以基板把持手20位於基板10之第一主面10A之上方之方式，使機械臂30動作（步驟S102A（參照圖9））。
在此，第一主面10A，是於傾斜姿勢之基板10中，與水平面H形成之角度θA成為鈍角之側之主面，第二主面10B，是與水平面H形成之角度θB成為銳角之側之主面。換言之，第一主面10A，是其法線10C朝向比水平面H上方之面。
即使是以如上述之方式構成之本實施形態2之基板搬送裝置101，亦發揮與實施形態1之基板搬送裝置101同樣之作用效果。
（實施形態3） 本實施形態1之基板搬送裝置，是 一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於機械臂之前端部； 致動器，使基板把持手繞橫搖軸旋轉； 第一偵測器，偵測基板是否正常地把持於基板把持手； 控制裝置； 基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於橫搖軸方向移動； 控制裝置，以 （D）以將基板以基板把持手之第一卡合構件與第二卡合構件保持之方式，使機械臂動作； （E）於（D）之後，藉由可動導引構件往基座構件之前端部側移動並按壓基板之周面，使得以第二卡合構件與第三卡合構件與可動導引構件把持基板； （F）於（E）之後，若第一偵測器偵測到基板沒有正常地把持於基板把持手，則使可動導引構件往基座構件之基端部側移動，並以基板之與基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比基座構件上方，且第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使致動器動作； （G）於（F）之後，再度執行（E）； 之方式構成。
此外，在本實施形態3之基板搬送裝置中， 基板把持手，進一步具有 第四卡合構件，配置於基座構件之前端部之下部、第二卡合構件之下方、且比第二卡合構件更靠基端側； 控制裝置，以 於（E）中，以第三卡合構件與第四卡合構件與可動導引構件把持基板 之方式構成亦可。
此外，在本實施形態3之基板搬送裝置中， 控制裝置，以 於（E）中，以第二卡合構件與第三卡合構件與第四卡合構件與可動導引構件把持基板 之方式構成亦可。
以下，針對本實施形態3之基板搬送裝置之一例，一邊參照圖10～圖14一邊進行說明。另外，由於本實施形態3之基板搬送裝置及具備該基板搬送裝置之基板搬送系統，與實施形態1之基板搬送裝置及具備該基板搬送裝置之基板搬送系統基本上構成是相同的，故其詳細之說明省略。
[基板搬送裝置之構成] 圖10是顯示本實施形態3之基板搬送裝置中之基板把持手之主要部位之概略構成之示意圖。另外，於圖10中，為了更容易理解基板把持手之構成，將基板以一點鏈線表示。此外，於圖10中，將基板把持手之一部分之記載省略。再者，於圖10中，將基板搬送裝置之前後方向及上下方向作為圖中之前後方向及上下方向來表示。
如圖10所示，本實施形態3之基板搬送裝置101之基板把持手20，與實施形態1之基板搬送裝置101之基板把持手20雖然基本上之構成是相同的，但在「進一步具備第一偵測器90，偵測基板10是否正常地把持於基板把持手20」之方面不同。
第一偵測器90，於本實施形態3中，是以位置感測器構成，以藉由偵測可動導引構件60之位置，來偵測基板10是否正常地把持於基板把持手20之方式構成。具體而言，第一偵測器90之偵測部91被固定於連接構件70，被檢查部86設置於滑動體構件84。此外，偵測部91，藉由偵測被檢查部86之位置來偵測可動導引構件60之位置，並將偵測到之可動導引構件60之位置資訊往控制裝置110輸出。
控制裝置110，以基於從第一偵測器90被輸出之可動導引構件60之位置資訊，判斷基板10是否正常地把持於基板把持手20之方式構成。另外，亦可基於第一偵測器90偵測之可動導引構件60之位置資訊，判斷基板10是否正常地把持於基板把持手20，再將該判斷資訊往控制裝置110輸出。
另外，於本實施形態3中，雖然採用第一偵測器90偵測可動導引構件60之位置之形態，但並不限定於此。例如，第一偵測器90，亦可偵測基板10之位置之位置感測器。此外，例如第一偵測器90，以攝影機構成，將拍攝之影像資訊往控制裝置110輸出亦可。
〔基板搬送裝置之動作及作用效果〕 圖11A與圖11B是顯示本實施形態3之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。圖12是顯示本實施形態3之基板搬送裝置中之基板把持手之概略構成之示意圖，顯示正常地將基板把持之狀態。圖13是表示本實施形態3之基板搬送裝置中之基板把持手之概略構成之示意圖，表示沒有正常地將基板把持之狀態。圖14是於圖13顯示之XIV-XIV線剖面圖。
另外，於圖12及圖13中，為了更容易理解基板把持手之構成，將基板以一點鏈線表示。此外，於圖12及圖13中，將基板把持手之一部分之記載省略。另外，於圖12及圖13中，將基板搬送裝置之前後方向及上下方向作為圖中之前後方向及上下方向來表示。於圖14中，將基板搬送裝置之上下方向及左右方向作為圖中之上下方向及左右方向來表示。
首先，與實施形態1之基板搬送裝置101同樣地，可動導引構件60，於位於退避位置、將基板10以第一卡合構件51與第二卡合構件52把持之狀態時，位於基板10之周面附近（參照圖10）。
接著，從操作者透過不被圖示之輸入裝置，指示執行將被配置於容器102內之基板10把持並搬送之作業之指示資訊，被輸入控制裝置110。
之後，如圖11A所示，控制裝置110，使機械臂30動作，使基板把持手20移動至位於容器102之前方（步驟S201）。接著，控制裝置110，以使基板把持手20進入容器102內之方式，使機械臂30動作（步驟S202）。此時，控制裝置110，使基板把持手20進入容器102內直到基板把持手20之第一卡合構件51及第二卡合構件52可載置基板10之位置。
接著，控制裝置110，以基板把持手20往上方移動之方式，使機械臂30動作，基板把持手20之第一卡合構件51及第二卡合構件52，與基板10抵接（卡合）而保持基板10（步驟S203，參照圖10）。此時，第三卡合構件53及第四卡合構件54，以不與基板10之周面接觸之方式構成。另外，第四卡合構件54，以與基板10之周面接觸之方式構成亦可。
接著，控制裝置110，使機械臂30動作，使基板把持手20往容器102外後退（步驟S204）。接著，以可動導引構件60位於作用位置之方式，使直動致動器80動作（步驟S205）。另外，在於容器102內充分具有空間之場合等，控制裝置110，亦可在執行步驟S204之處理前，執行步驟S105之處理。
藉此，可動導引構件60之前面，與基板10之周面抵接，並進行按壓。伴隨上述按壓，對於基板10，有以與第二卡合構件52及/或第四卡合構件54之卡合位置為中心向上旋轉之力作用。
因此，基板10，以「以與第二卡合構件52及/或第四卡合構件54之卡合位置為中心轉動（擺動）」之方式被往上推，與第三卡合構件53抵接（卡合）。其結果，基板10，藉由第二卡合構件52及/或第四卡合構件54、第三卡合構件53、可動導引構件60而被把持（參照圖12）。
然而，於基板10沒有被正常地載置於容器102內之場合、或未能以第一卡合構件51及第二卡合構件52正常地保持基板10之場合等，會有可動導引構件60之前面與基板10之周面沒有正常地抵接之場合。
於上述般之場合，會有可動導引構件60因直動致動器80而往比作用位置前方處移動，導致基板10爬上第三卡合構件53之場合（參照圖13及圖14）。因此，在本實施形態4中，控制裝置110，以判定基板10是否正常地載置之方式構成。
具體而言，控制裝置110，於步驟S206之處理中，第一偵測器90之偵測部91，取得偵測到之被檢查部86之位置資訊（可動導引構件60之位置資訊）。之後，控制裝置110，基於在步驟S206取得之可動導引構件60之位置資訊，判定基板把持手20是否將基板10正常地把持（步驟S207）。
控制裝置110，於判定為基板把持手20沒有將基板10正常地把持之場合（步驟S207中No），以基板把持手20傾斜之方式，使機械臂30（驅動馬達40）動作（步驟S208（參照圖11B））。具體而言，與實施形態1之基板搬送裝置101同樣地，控制裝置110，以基板10之第一主面10A位於比基座構件50上方，且該第一主面10A之法線朝向比水平面H下方之方式，使驅動馬達40驅動。
藉此，由於基板10之自重之分力朝向基座構件50，故可抑制爬上第三卡合構件53之基板10從基板把持手20落下。
接著，控制裝置110，以可動導引構件60位於退避位置之方式，使直動致動器80動作（步驟S209）。藉此，基板10，由於來自可動導引構件60之上推被解放，故伴隨可動導引構件60之後退，基板10亦往後方移動，被保持於基板把持手20之第一卡合構件51及第二卡合構件52。又，由於基板10之自重之分力朝向基座構件50，故於基板10向後方移動時，亦可抑制從基板把持手20之落下。
另外，於本實施形態3中，雖然採用在執行步驟S208之處理後，執行步驟S209之處理之形態，但並不限定於此。可採用控制裝置110將步驟S208之處理與步驟S209之處理同時執行形態，或者，採用控制裝置110在執行步驟S209之處理後，執行步驟S208之處理之形態亦可。
接著，控制裝置110，返回步驟S205，以可動導引構件60位於作用位置之方式，使直動致動器80動作。之後，控制裝置110，再次由第一偵測器90之偵測部91，取得偵測到之被檢查部86之位置資訊（可動導引構件60之位置資訊）（步驟S206）到判定基板把持手20將基板10正常地把持為止，執行步驟S205～步驟S209之處理。
另一方面，控制裝置110，於判定為基板把持手20將基板10正常地把持之場合（步驟S207中Yes），使機械臂30動作，將基板10往事先被設定之既定場所搬送，並使將該基板10載置於既定場所（步驟S210），將本程式結束。
在以如上述之方式構成之本實施形態3之基板搬送裝置101中，於基板把持手20未能將基板10正常地把持之場合，控制裝置110，以使基板把持手20傾斜之方式，使直動致動器80動作。
藉此，由於基板10之自重之分力朝向基座構件50，故可抑制爬上第三卡合構件53之基板10從基板把持手20落下。
此外，在本實施形態3之基板搬送裝置101中，於未能將基板10正常地把持之場合，控制裝置110，以使可動導引構件60往退避位置後退之方式，使直動致動器80動作。
藉此，基板10，由於來自可動導引構件60之上推被解放，故伴隨可動導引構件60之後退，基板10亦往後方移動，可於基板把持手20之第一卡合構件51及第二卡合構件52保持。
進而，在本實施形態3之基板搬送裝置101中，於基板把持手20未能將基板10正常地把持之場合，藉由控制裝置110使可動導引構件60之與基板10之接觸解放後，再度執行基板之把持動作（步驟S205之處理），比起以往之基板搬送裝置，可正確地將基板10把持。
另外，在本實施形態3之基板搬送裝置101中，雖採用藉由使可動導引構件60往退避位置後退，來使基板10往後方移動之形態，但並不限定於此。例如，亦可採用將基板把持手20以繞縱搖軸轉動之方式構成，使可動導引構件60往退避位置後退，並使基板把持手20繞縱搖軸轉動（擺動），使基板10往後方移動之形態。
（實施形態4） 本實施形態4之基板搬送裝置，是 如實施形態3記載之基板搬送裝置，其中， 基板，以傾斜姿勢被保持； 控制裝置，以執行 （D1）於（D）中，以基板把持手位於第一主面之上方之方式，使機械臂動作； （D2）於（D1）之後，以將基板以基板把持手之第一卡合構件與第二卡合構件保持之方式，使機械臂動作； 之方式構成。
以下，針對本實施形態4之基板搬送裝置一例，一邊參照圖15A及圖15B一邊進行說明。另外，由於本實施形態4之基板搬送裝置及具備該基板搬送裝置之基板搬送系統，與實施形態3之基板搬送裝置及具備該基板搬送裝置之基板搬送系統基本上構成是相同的，故其詳細之說明省略。
〔基板搬送裝置之動作與作用效果〕 圖15A及圖15B是顯示本實施形態4之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。
如圖15A及圖15B所示，本實施形態4之基板搬送裝置101之動作，與實施形態3之基板搬送裝置101之動作雖然基本上相同，但在「步驟S202之處理與步驟S203之處理之間，執行步驟S202A之處理」之方面不同。
具體而言，控制裝置110，以使基板把持手20進入容器102內之方式，使機械臂30動作（步驟S202）。接著，控制裝置110，以基板把持手20位於基板10之第一主面10A之上方之方式，使機械臂30動作（步驟S202A（參照圖9））。
在此，第一主面10A，是於傾斜姿勢之基板10中，與水平面H形成之角度θA成為鈍角之側之主面，第二主面10B，是與水平面H形成之角度θB成為銳角之側之主面。換言之，第一主面10A，是其法線10C朝向比水平面H上方之面。
以如上述之方式構成之本實施形態4之基板搬送裝置101，亦可發揮與實施形態3之基板搬送裝置101同樣之作用效果。
由上述說明，對該發明所屬技術領域之通常知識者而言，本發明之眾多改良或其他實施形態是顯而易見的。因此，上述說明，應僅作為例示來解釋，是為了將執行本發明之最理想之態樣對該發明所屬技術領域之通常知識者教示之目的而被提供者。在不脫離本發明之宗旨之前提下，可將其構造及/或機能之細節實質地變更。 ［產業上之可利用性］
本發明之基板搬送裝置及基板搬送裝置之運轉方法，比起以往之基板搬送裝置，可抑制基板之落下，故於產業機器人之技術領域是有用的。
10:基板 10A:第一主面 10B:第二主面 10C:法線 20:基板把持手 30:機械臂 31:基台 32:第一臂部 33:第二臂部 34:第三臂部 35:基部 36:支持軸 37:第一連接部 38:第二連接部 39:第三連接部 40:驅動馬達 50:基座構件 51:第一卡合構件 52:第二卡合構件 53:第三卡合構件 54:第四卡合構件 55:第五卡合構件 60:可動導引構件 70:連接構件 80:直動致動器 81:活塞桿 82:套筒 83:軌道構件 84:滑動體構件 85:可動構件 86:被檢查部 90:第一偵測器 91:偵測部 100:基板搬送系統 101:基板搬送裝置 102:容器 110:控制裝置 H:水平面 L1:旋轉軸 L2:旋轉軸 L3:旋轉軸 L4:旋轉軸 θA:角度 θB:角度
圖1是顯示具備本實施形態1之基板搬送裝置之基板搬送系統之概略構成之示意圖。 圖2是於圖1顯示之基板搬送裝置中之基板把持手之右側視圖。 圖3是於圖2顯示之III-III線剖面圖。 圖4是顯示本實施形態1之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。 圖5是於圖2顯示之V-V線剖面圖。 圖6是於圖1顯示之基板搬送裝置中之基板把持手之右側視圖。 圖7是於圖6顯示之VII-VII線剖面圖。 圖8是顯示本實施形態2之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。 圖9是本實施形態2之基板搬送裝置中之基板把持手之主要部位之剖面圖。 圖10是顯示本實施形態3之基板搬送裝置中之基板把持手之主要部位之概略構成之示意圖。 圖11A是顯示本實施形態3之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。 圖11B是顯示本實施形態3之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。 圖12是顯示本實施形態3之基板搬送裝置中之基板把持手之概略構成之示意圖。 圖13是顯示本實施形態3之基板搬送裝置中之基板把持手之概略構成之示意圖。 圖14是於圖13顯示之XIV-XIV線剖面圖。 圖15A是顯示本實施形態4之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。 圖15B是顯示本實施形態4之基板搬送裝置之動作之一例之流程圖。
10:基板
20:基板把持手
35:基部
50:基座構件
51:第一卡合構件
52:第二卡合構件
53:第三卡合構件
54:第四卡合構件
55:第五卡合構件
60:可動導引構件
70:連接構件
80:直動致動器
81:活塞桿
82:套筒
83:軌道構件
84:滑動體構件
85:可動構件

Claims (16)

  1. 一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 控制裝置； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 前述控制裝置，以執行 （A）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； （B）於前述（A）之後，以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使前述致動器動作； （C）藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，使得以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板； 之方式構成。
  2. 如請求項1記載之基板搬送裝置，其中， 前述基板把持手，進一步具有 第四卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部、前述第二卡合構件之下方、且比前述第二卡合構件更靠基端側； 前述控制裝置，以 於前述（C）中，以前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板 之方式構成。
  3. 如請求項2記載之基板搬送裝置，其中， 前述控制裝置，以 於前述（C）中，以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板 之方式構成。
  4. 如請求項1～3項中任一項記載之基板搬送裝置，其中， 前述基板，以傾斜姿勢被保持； 前述控制裝置，以執行 （A1）於前述（A）中，以前述基板把持手位於前述第一主面之上方之方式，使前述機械臂動作； （A2）於前述（A1）之後，以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； 之方式構成。
  5. 一種基板搬送裝置，將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 第一偵測器，偵測前述基板是否正常地把持於前述基板把持手； 控制裝置； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 前述控制裝置，以 （D）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； （E）於前述（D）之後，藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，使得以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板； （F）於前述（E）之後，若前述第一偵測器偵測前述基板沒有正常地把持於前述基板把持手，則使前述可動導引構件往前述基座構件之基端部側移動，並以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使前述致動器動作； （G）於前述（F）之後，再度執行前述（E）； 之方式構成。
  6. 如請求項5記載之基板搬送裝置，其中， 前述基板把持手，進一步具有 第四卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部、前述第二卡合構件之下方、且比前述第二卡合構件更靠基端側； 前述控制裝置，以 於前述（E）中，以前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板 之方式構成。
  7. 如請求項6記載之基板搬送裝置，其中， 前述控制裝置，以 於前述（E）中，以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板 之方式構成。
  8. 如請求項5～7項中任一項記載之基板搬送裝置，其中， 前述基板，以傾斜姿勢被保持； 前述控制裝置，以執行 （D1）於前述（D）中，以前述基板把持手位於前述第一主面之上方之方式，使前述機械臂動作； （D2）於前述（D1）之後，以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； 之方式構成。
  9. 一種基板搬送裝置之運轉方法，該基板搬送裝置將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 具備 （A）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，前述機械臂動作之步驟； （B）於前述（A）之後，以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，前述致動器動作之步驟； （C）藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，使得以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板之步驟。
  10. 如請求項9記載之基板搬送裝置之運轉方法，其中， 前述基板把持手，進一步具有 第四卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部、前述第二卡合構件之下方、且比前述第二卡合構件更靠基端側； 於前述（C）中，以前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板。
  11. 如請求項10記載之基板搬送裝置之運轉方法，其中， 於前述（C）中，以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板。
  12. 如請求項9～11項中任一項記載之基板搬送裝置之運轉方法，其中， 前述基板，以傾斜姿勢被保持； 具有 （A1）於前述（A）中，以前述基板把持手位於前述第一主面之上方之方式，使前述機械臂動作之步驟； （A2）於前述（A1）之後，以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作之步驟。
  13. 一種基板搬送裝置之運轉方法，該基板搬送裝置將以垂直或傾斜姿勢被保持之基板把持並搬送，其特徵在於： 前述基板搬送裝置具備 機械臂； 基板把持手，配設於前述機械臂之前端部； 致動器，使前述基板把持手繞橫搖軸旋轉； 第一偵測器，偵測前述基板是否正常地把持於前述基板把持手； 前述基板把持手具有 板狀之基座構件； 第一卡合構件，配置於前述基座構件之基端部之下部； 第二卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部； 第三卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之上部； 可動導引構件，構成為可於前述橫搖軸方向移動； 具備 （D）以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，前述機械臂動作之步驟； （E）於前述（D）之後，藉由前述可動導引構件往前述基座構件之前端部側移動並按壓前述基板之周面，以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板之步驟； （F）於前述（E）之後，若前述第一偵測器偵測到前述基板沒有正常地把持於前述基板把持手，則使前述可動導引構件往前述基座構件之基端部側移動，並以前述基板之與前述基座構件對向之側之主面亦即第一主面位於比前述基座構件上方，且前述第一主面之法線朝向比水平面下方之方式，使前述致動器動作之步驟； （G）於前述（F）之後，再度執行前述（E）之步驟。
  14. 如請求項13記載之基板搬送裝置之運轉方法，其中， 前述基板把持手，進一步具有 第四卡合構件，配置於前述基座構件之前端部之下部、前述第二卡合構件之下方、且比前述第二卡合構件更靠基端側； 前述控制裝置，以 於前述（E）中，以前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板 之方式構成。
  15. 如請求項14記載之基板搬送裝置之運轉方法，其中， 前述控制裝置，以 於前述（E）中，以前述第二卡合構件與前述第三卡合構件與前述第四卡合構件與前述可動導引構件把持前述基板 之方式構成。
  16. 如請求項13～15項中任一項記載之基板搬送裝置之運轉方法，其中， 前述基板，以傾斜姿勢被保持； 前述控制裝置，以執行 （D1）於前述（D）中，以前述基板把持手位於前述第一主面之上方之方式，使前述機械臂動作； （D2）於前述（D1）之後，以將前述基板以前述基板把持手之前述第一卡合構件與前述第二卡合構件保持之方式，使前述機械臂動作； 之方式構成。
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