JP6892176B1 - ワーク洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
Description
12、14 直動アクチュエータ
20、20A、20B 洗浄機構
21 散水部
22 接触洗浄部
40、40A、40B 水切機構
41 ステージ
42 センタリング部
60 載置部
62 マガジン
64 第1ハンド
100 ワーク洗浄装置
100A 供給ユニット
100B 洗浄ユニット
100C 後処理ユニット
W ワーク
Claims (3)
- 平板状のワークを保持して搬送を行うアームと、
前記アームによる搬送中の前記ワークに対して洗浄を行う洗浄機構と、を備え、
前記洗浄機構は、前記ワークの所定面に散水を行う散水部と、前記所定面に接触して洗浄を行う接触洗浄部と、を有し、
前記接触洗浄部は、回転駆動もしくは振幅駆動された状態で、前記ワークの搬送方向に対して90度もしくは所定角度で交わる方向に往復移動される構成であり、
前記アームとして、並設されてそれぞれ独立して前記ワークの搬送を行う第1アームおよび第2アームを備え、
前記洗浄機構として、前記第1アームによって搬送が行われる前記ワークの洗浄を行う第1洗浄機構、および前記第2アームによって搬送が行われる前記ワークの洗浄を行う第2洗浄機構を備え、
前記ワークが前記第1アームおよび前記第2アームに交互に載置され、搬送および洗浄が並行して行われる構成であり、
前記ワークを収納した複数のマガジンが円弧上に載置される載置部と、
円弧上に載置される前記複数のマガジンの中心位置に配設されて、前記複数のマガジンから前記ワークを順次取出して前記第1アーム上および前記第2アーム上に交互に載置する第1ハンドと、をさらに備えること
を特徴とするワーク洗浄装置。 - 前記ワークは円板状のウェハであり、
前記洗浄機構とは別に、前記洗浄を行った前記ワークに付着した水の除去を行う水切機構をさらに備え、
前記水切機構は、前記ワークを載置して回転させるステージと、前記ワークを前記ステージに載置する際に前記ワークの面中心と前記ステージの回転中心とを一致させるセンタリング部と、を有すること
を特徴とする請求項1記載のワーク洗浄装置。 - 前記ワークを把持して固定プレート上に搬送する搬送機構をさらに備え、
前記搬送機構は、上下方向移動を行う機構としてサーボモータにより回転駆動されるボールネジに螺合されるスライダに連結されていること
を特徴とする請求項1または請求項2記載のワーク洗浄装置。
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