TWI786804B - 機器人以及手部姿勢調整方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種機器人，該機器人包括引導部、移動部、手部、變形取得部、姿勢調整部以及控制部。前述移動部被設置在前述引導部，能夠在該引導部引導的方向移動。前述手部被設置在前述移動部，保持前述基板。前述變形取得部取得與前述引導部的變形有關的資訊。前述姿勢調整部能夠根據前述變形取得部所取得的前述引導部的變形來調整前述手部的姿勢。前述控制部控制前述姿勢調整部的動作。前述控制部根據與前述引導部的變形有關的資訊，用前述姿勢調整部調整相對於運送預定的前述基板進行保持作業的前述手部的姿勢。

Description

機器人以及手部姿勢調整方法
本發明關於機器人以及手部姿勢調整方法。
至今為止，從半導體晶圓、印刷電路基板等基板的保管裝置、基板處理裝置等取出基板進行運送的基板運送用的機器人被眾所周知。專利文獻1公開了作為此種機器人的運送機器人。
專利文獻1的運送機器人包括軀幹部以及臂體。臂體被設置在軀幹部的上部。運送機器人藉由使臂體進行伸縮動作，來在盒(保管裝置)與各種處理裝置之間運送基板(工件)。在臂體的端部設置有保持基板的末端執行器。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2006-120861號公報。
[發明所欲解決之課題]
在上述專利文獻1中，能夠想到軀幹部因熱等一些理由而變形的情況。例如，能夠想到軀幹部的上表面不是水平，或者傾斜，或者以成為向上凸起的彎曲面的方式翹曲。
當軀幹部如上述那樣發生變形時，手部的姿勢變得不是水平姿勢。由於運送預定的基板被以水平姿勢保管在盒中，因此當手部的姿勢相對於基板不適當時，恐怕該手部不能保持運送預定的基板，或者在保持的動作過程中損壞基板。
鑒於上述內容，本發明的目的在於在使用機器人進行運送預定的基板的保持作業之前能夠根據該基板的姿勢靈活地調整該機器人的手部的姿勢。 [用以解決課題之手段]
本發明所要解決的課題如上所述，接下來對用於解決該課題的手段以及功效進行說明。
根據本發明的第一態樣，提供以下結構的機器人。亦即，機器人用於運送基板。該機器人包括引導部、移動部、手部、變形取得部、姿勢調整部以及控制部，前述移動部被設置在前述引導部，能夠在該引導部引導的方向移動。前述手部被設置在前述移動部，保持前述基板。前述變形取得部取得與前述引導部的變形有關的資訊。前述姿勢調整部能夠根據前述變形取得部所取得的前述引導部的變形來調整前述手部的姿勢。前述控制部控制前述姿勢調整部的動作。前述控制部根據與前述引導部的變形有關的資訊，用前述姿勢調整部調整相對於運送預定的前述基板進行保持作業的前述手部的姿勢。
根據本發明的第二態樣，提供以下手部勢調整方法。亦即，該手部姿勢調整方法用於調整機器人的手部的姿勢。該機器人包括引導部、移動部、手部、變形取得部以及姿勢調整部。前述移動部被設置在前述引導部，能夠在該引導部引導的方向移動。前述手部被設置在前述移動部，保持前述基板。前述變形取得部取得與前述引導部的變形有關的資訊。前述姿勢調整部能夠根據前述變形取得部所取得的前述引導部的變形來調整前述手部的姿勢。前述手部勢調整方法根據與前述引導部的變形有關的資訊，用前述姿勢調整部調整相對於運送預定的前述基板進行保持作業的前述手部的姿勢。
當引導部因一些理由發生變形時，有時隨著用該引導部所引導的移動部的移動，手部的姿勢會發生變化。其結果是關於運送預定的基板的保持作業，有時手部的姿勢變得不適當。但是，藉由本發明，即使因引導部的變形，使得手部不能得到適當姿勢時，也能夠在使手部的姿勢配合運送預定的基板的狀態下進行保持作業。因此，能夠防止運送預定的基板的損壞等，順利地進行基板的保持作業。 [發明功效]
藉由本發明，能夠在用機器人進行運送預定的基板的保持作業之前，根據該基板的姿勢靈活地調整該機器人的手部的姿勢。
其次，參照圖式，對本發明的實施形態進行說明。圖1是表示本發明的第一實施形態的機器人1的整體結構的立體圖。
圖1所示的機器人1例如被設置在基板W的製造工廠、倉庫等。作為基板W，例如，能夠想到半導體晶圓、印刷電路基板等。
機器人1用於在無圖示的基板處理裝置與圖5所示的基板保管裝置5之間運送基板W。不過，機器人1例如也可以用於在處理基板W的複數個基板處理裝置之間運送基板W。
基板W也可以是基板的原材料、加工中的半成品、加工後的成品中的任意之一。基板W的形狀在本實施形態中是圓板狀，但並不限於此。
機器人1包括昇降引導部(引導部)11、移動部12、刀片(手部)13、傾斜機構(姿勢調整部)14以及機器人控制部(控制部)15。
昇降引導部11由上下方向細長的構件構成。如圖5所示，昇降引導部11被設置為從水平設置面18向上方延伸。在昇降引導部11設置有與昇降引導部11的長度方向平行延伸的直線狀的第一引導槽20。第一引導槽20的長度方向與上下方向一致。
移動部12被設置為從昇降引導部11突出。移動部12從昇降引導部11突出的朝向與昇降引導部11的長度方向交叉。移動部12藉由省略圖示的驅動裝置驅動。藉由該驅動，移動部12能夠相對於昇降引導部11沿著第一引導槽20在上下方向移動。
以下，為了方便說明，將移動部12從昇降引導部11突出的方向定義為前方向，將與上下方向以及突出方向的每一個都垂直的方向定義為左右方向。
移動部12包括安裝部21、支撐部22以及保持部23。
安裝部21被設置為從昇降引導部11向前方突出。安裝部21能夠藉由前述驅動裝置沿著第一引導槽20在上下方向移動。
支撐部22經由傾斜機構14被安裝部21支撐著。支撐部22被配置在安裝部21的上側。在支撐部22與安裝部21之間設置有旋轉軸27。如圖2所示，旋轉軸27構成傾斜機構14的一部分，被配置為在上下方向延伸。支撐部22藉由省略圖示的適當的致動器驅動。藉由該驅動，支撐部22以旋轉軸27為中心旋轉。該止動器例如能夠是電動馬達。
保持部23被安裝在支撐部22。保持部23被配置在支撐部22的上側。保持部23藉由省略圖示的適當的致動器驅動。藉由該驅動，保持部23相對於支撐部22沿著第二引導槽29移動。該致動器例如能夠是電動馬達。
刀片13被設置在移動部12包括的保持部23。刀片13用於保持基板W，包括至少一個。在本實施形態中，作為刀片13，包括3個刀片13A、13B、13C。
3個刀片13A、13B、13C的每一個被設置為從保持部23向前方突出。3個刀片13A、13B、13C在上下方向間隔規定的間隔排列配置著。
刀片13A、13B、13C能夠與移動部12(安裝部21)一體地向沿著第一引導槽20的方向移動。並且，刀片13A、13B、13C能夠與保持部23一體地相對於支撐部22向沿著第二引導槽29的方向移動。並且，刀片13A、13B、13C的姿勢能夠藉由傾斜機構14變更。
其次，詳細說明刀片13A、13B、13C的結構。由於3個刀片13A、13B、13C的結構大致相同，因此以下，主要對刀片13A進行說明。
刀片13A由從平面來看形成為U字狀的板狀構件構成。在第二引導槽29朝著前後方向的狀態下，刀片13A被配置為U字開放側朝著前方，U字封閉側朝著後方(保持部23側)。刀片13A具有本體部30、第一手指部31以及第二手指部32。
本體部30的基端部與保持部23連接著。因此，刀片13A被保持部23懸臂支撐。
以下，用第二引導槽29朝著前後方向的情況進行說明。第一手指部31以及第二手指部32構成為彼此左右對稱。第一手指部31被設置為從本體部30的右側向前方突出。第二手指部32被設置為從本體部30的左側向前方突出。在第一手指部31與第二手指部32之間形成有適當的間隔。能夠將後述的垂直夾具70所包括的直線狀構件71插入第一手指部31與第二手指部32之間。
傾斜機構14被設置在安裝部21的前端側(前側)。傾斜機構14能夠調整刀片13相對於安裝部21的姿勢。後面將說明對該姿勢的調整。
如圖2所示，傾斜機構14包括下板部41以及上板部42。下板部41被固定在安裝部21。支撐部22經由旋轉軸27被上板部42可旋轉地支撐著。在下板部41與上板部42之間配置有高度調整機構45。傾斜機構14使用該高度調整機構45來調整上板部42相對於下板部41的傾斜角度以及傾斜方向。
如圖3所示，高度調整機構45例如包括3個支撐部51、52、53，該3個支撐部51、52、53被設置在下板部41以及上板部42之間的不同位置。為了便於說明，在圖3中支撐部51、52、53被描繪為直線排列，實際上，如圖2所示，從平面來看，支撐部51、52、53被配置為形成三角形。
三個中的兩個支撐部51、52包括外螺紋56、內螺紋57以及球面軸承58。外螺紋56的螺紋軸以軸線朝向上下方向可旋轉地被下板部41支撐著。該螺紋軸能夠藉由省略圖示的致動器(例如，電動馬達)，來在兩個支撐部51、52獨立旋轉。內螺紋57被擰到外螺紋56的螺紋軸。當使螺紋軸旋轉時，內螺紋57在上下方向移動。藉由該螺紋進給，能夠變更支撐部51、52支撐上板部42的高度。在內螺紋57與上板部42之間配置有球面軸承58。
在剩餘的支撐部53配置有球面軸承58。該支撐部53不具有藉由螺紋進給所產生的支撐高度變更功能。
藉由驅動前述致動器，在複數個支撐部51、52獨立變更上板部42相對於下板部41的高度，能夠變更上板部42相對於下板部41的傾斜角度以及傾斜方向。其結果是能夠調整支撐部22乃至刀片13相對於安裝部21的姿勢 (傾斜角度以及傾斜方向)。需要說明的是，高度調整機構5(傾斜機構14)並不限於該結構。
如圖1所示，在刀片13A的前端側設置有檢測感測器60。檢測感測器60被配置在第一手指部31以及第二手指部32的每一個的前端部。檢測感測器60作為非接觸檢測物體的物體檢測感測器構成。藉由該檢測感測器60，能夠檢測後述的垂直夾具70(直線狀構件71)。需要說明的是，檢測感測器60只要被設置在刀片13A、刀片13B以及刀片13C中的至少之一即可。
在本實施形態中，檢測感測器60由光電感測器構成，該光電感測器具有投光部61以及受光部62。需要說明的是，檢測感測器60的結構並不限於此。
投光部61被設置在第一手指部31的前端側。受光部62被設置在第二手指部32的前端側，被配置為與投光部61對著。投光部61朝向受光部62照射檢測光。作為檢測光，例如能夠是紅外光，但並不限於此。
受光部62用無線或有線與機器人控制部15連接著。受光部62將表示檢測光的受光的有無的電信號輸出到機器人控制部15。如圖4的狀況S1所示，當在投光部61與受光部62之間有物體(例如，垂直夾具70的直線狀構件71)時，由於來自投光部61的檢測光被該物體遮擋，因此受光部62輸出沒有受光的電信號。另一方面，如圖4的狀況S2所示，當在投光部61與受光部62之間沒有物體時，由於來自投光部61的檢測光到達受光部62，因此受光部62輸出有受光的電信號。
只要受光部62能夠檢測從投光部61照射的檢測光，在刀片13A中配置投光部61以及受光部62的位置任意。例如，也可以將投光部61內藏在第一手指部31，將受光部62內藏在第二手指部32。
如圖1所示，機器人控制部15與昇降引導部11被分別設置。需要說明的是，機器人控制部15也可以配置在昇降引導部11的內部。機器人控制部15包括變形取得部66。
具體而言，機器人控制部15作為周知的電腦構成。機器人控制部15包括微控制器、CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)、MPU(Micro Processing Unit；微處理單元)、PLC(Programmable Logic Controller；可程式邏輯控制器)、DSP(Digital Signal Processor；數位信號處理器)、ASIC(Application Specific Integrated Circuits；特定應用積體電路)或者FPGA(Field Programmable Gate Array；現場可程式閘陣列)等運算處理部、ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)、RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)、HDD(Hard Disk Drive硬碟機)等儲存部以及可與外部裝置通訊的通訊部。在儲存部儲存有運算處理部所執行的程式、各種設定資料等。通訊部構成為能夠將各種感測器(例如，檢測感測器60)的檢測結果發送給外部裝置，且能夠從外部裝置接收關於基板W的資訊等。藉由該硬體以及軟體的協作，能夠使機器人控制部15作為變形取得部66發揮作用。
變形取得部66根據設置在刀片13的檢測感測器60的檢測結果，取得與昇降引導部11的變形有關的資訊。後面將對該內容進行說明。
機器人控制部15對安裝部21的上下方向的移動、支撐部22的旋轉、沿著第二引導槽29的保持部23的移動進行控制。因此，能夠變更刀片13A的位置以及從平面來看的朝向。並且，機器人控制部15控制傾斜機構14的動作。由此，能夠變更刀片13A的姿勢。這裡所稱的姿勢意味著刀片13A的面相對於安裝部21的上表面如何傾斜。
接著，參照圖5到圖7等，對取得與本實施形態的機器人1中的昇降引導部11的變形有關的資訊以及根據昇降引導部11的變形來調整刀片13A(13)的姿勢的調整方法(手部姿勢調整方法)進行說明。需要說明的是，以下，用進行從基板保管裝置5中取出基板W的取出作業(保持作業)的例子進行說明。並且，為了使各個部分的結構較容易理解，在圖式中，有時會省略一部分的結構。
圖5所示的基板保管裝置5用於保管基板W。基板保管裝置5被配置為相對於機器人1間隔適當的距離，以使機器人1能夠進行取出作業。
基板保管裝置5能夠用在上下方向(基板保管裝置5的高度方向)以相等間隔排列的狀態保管複數個基板W。在基板保管裝置5中，基板W通常保持水平姿勢。
通常，昇降引導部11相對於設置面18形成為細長的垂直直線狀。但是，如圖6所示，有時會因一些理由在昇降引導部11產生變形(翹曲以及／或者歪斜等)。需要說明的是，在圖6中，為了以易於理解的方式表示昇降引導部11的變形，誇張描繪了變形。
此時，假設不藉由傾斜機構14調整姿勢，則根據刀片13A的上下位置，該刀片13A相對於水平面(換言之，設置面18)的姿勢會發生變化。其結果是機器人1即使能夠從基板保管裝置5中取出某高度的基板W，但是當取出與該某高度不同的高度的基板W時，有時恐怕會因刀片13A相對於基板W的姿勢不適當而造成失敗。
雖然在圖6中，簡化了變形，但有時昇降引導部11的實際變形在三維上是複雜的。因此，刀片13A的姿勢(傾斜方向以及傾斜角度)根據刀片13A的上下方向的移動而複雜變化。
於是，在本實施形態的機器人1中，機器人控制部15能夠使用傾斜機構14調整相對於運送預定的基板W進行取出作業的刀片13A的姿勢。刀片13A的姿勢的調整是根據昇降引導部11的變形以及在昇降引導部11所引導的方向的刀片13A的位置(換言之，安裝部21的高度)來進行的。
具體而言，在本實施形態中，為了檢測因昇降引導部11的變形對刀片13A的姿勢所造成的影響，使用了垂直夾具70。如圖7所示，垂直夾具70包括細長直線狀構件71以及具有適當重量的錘體72。作為直線狀構件71，例如，能夠使用金屬線。
錘體72連接在直線狀構件71的長度方向的一端部。並且，直線狀構件71的長度方向的另一端部被固定在設置機器人1的建築物的天花板等。在錘體72藉由直線狀構件71吊著的狀態下靜止時，直線狀構件71在昇降引導部11的附近成為在垂直方向延伸的狀態。
機器人控制部15作為準備作業，預先調整支撐部22相對於安裝部21的朝向，以使第二引導槽29的朝向沿著前後方向(嚴密地說，與昇降引導部11的前面垂直的方向)。並且，設為不進行藉由傾斜機構14的傾斜的狀態。
其次，機器人控制部15控制移動部12(安裝部21)的動作，將刀片13A保持在規定的上下位置。在該規定的上下位置，機器人控制部15控制移動部12(保持部23)的動作，以沿著第二引導槽29的朝向且接近直線狀構件71的方式使刀片13A前進。該刀片13A的前進能夠藉由機器人控制部15輸出命令來實現，該命令是使保持部23相對於支撐部22的在位置控制系統的位置一點一點發生變化的命令。
前進開始初期由於刀片13A從直線狀構件71離開，因此如圖4的狀況S1所示，檢測感測器60不檢測直線狀構件71。在刀片13A前進後不久，如圖4的狀況S2所示，由於直線狀構件71遮擋設置在刀片13A的檢測感測器60的檢測光，因此受光部62將沒有受光的電信號輸出給機器人控制部15。當藉由檢測感測器60檢測到直線狀構件71時，機器人控制部15在儲存該時刻的刀片13A的位置(在前述位置控制系統的位置)的同時，使該刀片13A退避。
機器人控制部15在使移動部12(嚴密地說，安裝部21)的位置為各種不同的位置的同時，反復進行上述的處理。機器人控制部15在上下方向的可動行程範圍內例如每次以數十厘米使安裝部21的高度不同的同時，在每一個高度，取得藉由檢測感測器60檢測到直線狀構件71時的刀片13A在位置控制系統的位置。圖7示意地表示了該處理。
直線狀構件71與昇降引導部11分別設置，且保持絕對垂直。因此，當藉由檢測感測器60檢測到直線狀構件71時的刀片13A在位置控制系統的位置在安裝部21的每個高度發生變化時，該變化表示昇降引導部11的變形。
其次，機器人控制部15以旋轉軸27為中心，使支撐部22旋轉適當角度，從平面來看，使第二引導槽29的朝向從前後方向傾斜。因此，刀片13A與保持部23一起在與前後方向不同的朝向前進／退避。機器人控制部15在該狀態下，在使安裝部21的上下方向的位置為各種不同的位置的同時，再次進行如下處理，亦即，取得藉由檢測感測器60檢測到直線狀構件71時的刀片13A在位置控制系統的位置的處理。圖8示意地表示了該處理。
機器人控制部15根據在用圖7以及圖8所說明的處理中得到的資料，創建表示增加了變形的昇降引導部11的形狀的三維輪廓。該輪廓例如能夠是表示安裝部21的移動軌跡的三維曲線。輪廓能夠藉由周知的幾何計算獲得。
藉由對上述三維曲線進行微分，關於藉由昇降引導部11的引導而在上下方向移動的安裝部21，能夠得到安裝部21的高度與在安裝部21的上表面所產生的傾斜之間的關係。機器人控制部15使傾斜機構14動作，以取消該傾斜。其結果是能夠使刀片13A的姿勢與保管在基板保管裝置5中的水平姿勢的基板W一致。
然後，機器人控制部15進行控制，以使刀片13A插入運送預定的基板W的下方，從基板保管裝置5中取出運送預定的基板W。此時，即使昇降引導部11發生變形，刀片13A的姿勢也藉由傾斜機構14被調整為水平，以與基板W的姿勢一致。因此，能夠防止因刀片13A與基板W意外接觸而不能順利運送基板W的事態發生。
如上所述，本實施形態的機器人1用於運送基板W。該機器人1包括昇降引導部11、移動部12、刀片13、變形取得部66、傾斜機構14以及機器人控制部15。移動部12被設置在昇降引導部11，能夠在昇降引導部11引導的方向移動。刀片13被設置在移動部12，保持基板W。變形取得部66取得與昇降引導部11的變形有關的資訊。傾斜機構14能夠根據變形取得部66所取得的昇降引導部11的變形來調整刀片13的姿勢。機器人控制部15控制傾斜機構14的動作。機器人控制部15根據與昇降引導部11的變形有關的資訊，用傾斜機構14調整相對於運送預定的基板W進行保持作業的刀片13的姿勢。
當昇降引導部11因一些理由發生變形時，有時刀片13的姿勢隨著用該昇降引導部11所引導的移動部12的移動而發生變化。其結果是有時刀片13的姿勢相對於運送預定的基板W的取出作業不適當。但是，藉由本實施形態的結構，即使昇降引導部11發生變形，由於傾斜機構14相應地調整刀片13A的姿勢，因此也能夠在使刀片13的姿勢配合運送預定的基板W的狀態下進行取出作業。所以，能夠防止運送預定的基板W的損壞等，順利地進行基板W的取出作業。
並且，在本實施形態的機器人1中，傾斜機構14能夠使刀片13的姿勢傾斜。
因此，能夠用簡單的結構很容易地調整刀片13的姿勢。
並且，在本實施形態的機器人1中，變形取得部66根據設置在刀片13的檢測感測器60的檢測結果，取得與昇降引導部11的變形有關的資訊。刀片13是能夠沿著昇降引導部11的引導方向移動的構件。
藉由這樣將檢測感測器60設置在刀片13，能夠適當取得昇降引導部11的變形。
並且，在本實施形態的機器人1中，用於取得與昇降引導部11的變形有關的資訊的感測器是被設置在刀片13，檢測垂直夾具70的檢測感測器60。變形取得部66在昇降引導部11的引導方向的移動部12的複數個部位，根據刀片13檢測出垂直夾具70時的該刀片13的在位置控制系統的位置，取得與昇降引導部11的變形有關的資訊。
因此，能夠用簡單的結構取得與昇降引導部11的變形有關的資訊。
以上，說明了本發明的較佳為實施形態，上述結構例如也能夠如下變更。
當包括複數個刀片13時，檢測感測器60也可以被設置在任意刀片13。
藉由檢測感測器60檢測垂直夾具70也可以僅為了掌握昇降引導部11如何變形了來進行。昇降引導部11的變形的資訊能夠藉由例如將前述三維曲線顯示在適當的顯示螢幕上進行輸出。像這樣用於診斷昇降引導部11的變形的結構還能夠適用於不具有傾斜機構14的機器人1。
用於取得與昇降引導部11的變形有關的資訊的感測器也可以是傾斜感測器，該傾斜感測器測量重力加速度，檢測昇降引導部11相對於水平面(設置面18)的傾斜角度。傾斜感測器被固定在刀片13A的適當的位置。此時，變形取得部66根據傾斜感測器的檢測結果，取得與昇降引導部11的變形有關的資訊。在該結構中，能夠在不用垂直夾具70的情況下，取得昇降引導部11的變形。傾斜感測器例如能夠是使用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems；微機電系統)的結構。
需要說明的是，傾斜感測器的結構並沒有被特別限定，作為傾斜感測器，能夠使用用於測量重力加速度的加速度感測器。此時，根據藉由加速度感測器所測量出的重力加速度，求出昇降引導部11相對於水平面的傾斜角度。
設置在刀片13的檢測感測器60不僅檢測垂直夾具70，還能夠作為用於檢測運送對象的基板W的感測器使用。
檢測感測器60並不限於設置在刀片13，還可以設置在安裝部21、支撐部22或者保持部23。傾斜感測器也一樣。
機器人1也可以使用收納基板W的托盤保持基板W，來代替直接保持基板W。
刀片13的本體部30也可以與移動部12的保持部23形成為一體。
作為在昇降引導部11產生的變形，也可以構成為僅處理與左右方向垂直的平面內的變形。此時，能夠省略圖8的作業，僅用圖7的作業掌握昇降引導部11的變形。
傾斜機構14並不限於配置在安裝部21與支撐部22之間的結構，例如，還能夠配置在支撐部22與保持部23之間。
為了除去昇降引導部11的變形的影響，不僅藉由傾斜機構14補正刀片13A的姿勢，較佳為補正刀片13A的位置。
在本說明書中公開的要素的功能能夠使用電路或處理電路執行，該電路或處理電路包含為執行所公開的功能而構成或程式化的通用處理器、專用處理器、積體電路、ASIC、常規電路以及／或者它們的組合。處理器由於包含電晶體以及其它電路，因此被看作處理電路或電路。在本發明中，電路、單元或構件是執行所列舉的功能的硬體或者為了執行所列舉的功能而被程式化的硬體。硬體既可以是在本說明書中所公開的硬體，或者，也可以是為了執行所列舉的功能而被程式化或構成的其它已知的硬體。當硬體是被認為是電路的一種的處理器時，電路、構件或單元是硬體與軟體的組合，軟體被用於硬體以及／或者處理器的結構。
如果考慮上述指教，很明顯本發明能夠具有很多變更方式以及變形方式。因此，應該理解本發明在所附有的申請專利範圍的範圍內，能夠使用本說明書所記載的內容之外的方法實施。
1:機器人 5:基板保管裝置 11:昇降引導部 12:移動部 13,13A,13B,13C:刀片 14:傾斜機構 15:機器人控制部 18:水平設置面 20:第一引導槽 21:安裝部 22:支撐部 23:保持部 27:旋轉軸 29:第二引導槽 30:本體部 31:第一手指部 32:第二手指部 41:下板部 42:上板部 45:高度調整機構 56:外螺紋 57:內螺紋 58:球面軸承 60:檢測感測器 61:投光部 62:受光部 66:變形取得部 70:垂直夾具 71:直線狀構件 S1,S2:狀況 W:基板
[圖1]是表示本發明的第一實施形態的機器人的整體結構的立體圖。 [圖2]是表示機器人包括的傾斜機構的一個例子的立體圖。 [圖3]是傾斜機構的剖面圖。 [圖4]是對機器人用檢測感測器檢測引導部的變形的作業進行說明的圖。 [圖5]是表示進行基板的保持作業時的樣子的圖。 [圖6]是說明昇降引導部的變形的模式圖。 [圖7]是表示藉由安裝在刀片上的檢測感測器，來檢測垂直夾具的直線狀構件的作業的圖。 [圖8]是表示使刀片的前進方向不同，藉由檢測感測器再次檢測垂直夾具的直線狀構件的作業的圖。
1:機器人
11:昇降引導部
12:移動部
13,13A,13B,13C:刀片
14:傾斜機構
15:機器人控制部
20:第一引導槽
21:安裝部
22:支撐部
23:保持部
27:旋轉軸
29:第二引導槽
30:本體部
31:第一手指部
32:第二手指部
60:檢測感測器
61:投光部
62:受光部
66:變形取得部
W:基板

Claims (5)

  1. 一種機器人，係用於運送基板，前述機器人包括引導部、移動部、手部、變形取得部、姿勢調整部以及控制部；前述移動部被設置在前述引導部，能夠在前述引導部引導的方向移動；前述手部被設置在前述移動部，保持前述基板；前述變形取得部取得與前述引導部的變形有關的資訊；前述姿勢調整部能夠根據前述變形取得部所取得的前述引導部的變形來調整前述手部的姿勢；前述控制部控制前述姿勢調整部的動作；前述控制部根據與前述引導部的變形有關的資訊，用前述姿勢調整部調整相對於運送預定的前述基板進行保持作業的前述手部的姿勢；前述姿勢調整部由傾斜機構構成，前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。
  2. 如請求項1所記載之機器人，其中前述變形取得部根據感測器的檢測結果取得與前述引導部的變形有關的資訊，前述感測器被設置在沿著前述引導部的引導方向可移動的構件。
  3. 如請求項2所記載之機器人，其中前述感測器是檢測感測器，前述檢測感測器被設置在前述手部，用於檢測垂直夾具；前述變形取得部在前述引導部的引導方向的前述移動部的複數個位置，根據前述手部檢測出前述垂直夾具時的前述手部在位置控制系統的位置，取得與前述引導部的變形有關的資訊。
  4. 如請求項2所記載之機器人，其中前述感測器是傾斜感測器，前述傾斜感測器被設置在前述手部，用於測量重力加速度，檢測前述手部相對於水平面的傾斜角度；前述變形取得部根據藉由前述傾斜感測器所檢測出的傾斜角度，取得與前述引導部的變形有關的資訊。
  5. 一種手部姿勢調整方法，係與包括引導部、移動部、手部、變形取得部以及姿勢調整部之機器人有關且用以調整前述手部的姿勢；前述移動部被設置在前述引導部，能夠在前述引導部引導的方向移動；前述手部被設置在前述移動部，保持基板；前述變形取得部取得與前述引導部的變形有關的資訊；前述姿勢調整部能夠根據前述引導部的變形來調整前述手部的姿勢；根據與前述引導部的變形有關的資訊，用前述姿勢調整部調整相對於運送預定的前述基板進行保持作業的前述手部的姿勢；前述姿勢調整部由傾斜機構構成，前述傾斜機構能夠使前述手部的姿勢傾斜。
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