JP2006120861A - 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
【課題】搬送ロボットが半導体ウエハ等の基板を保持する際に生じるアームの撓みを、小さな駆動源による大きな動力で、高精度に傾きを修正できる基板の傾き補正装置を提供する。
【解決手段】減速機を備える駆動源を作動してスライド部材12を直線運動させることにより、このスライド部材12とエンドエフェクタ8及びエンドエフェクタ基台7を連結する支持部材14,15によりエンドエフェクタ8の一端を昇降させることで揺動させる基板の傾きを補正する。
【選択図】図1
【解決手段】減速機を備える駆動源を作動してスライド部材12を直線運動させることにより、このスライド部材12とエンドエフェクタ8及びエンドエフェクタ基台7を連結する支持部材14,15によりエンドエフェクタ8の一端を昇降させることで揺動させる基板の傾きを補正する。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板を搬送する搬送ロボットに関し、特に、半導体ウエハ、液晶表示板用基板、プラズマディスプレー基板、有機エレクトロルミネッセンス基板、無機エレクトロルミネッセンス基板、プリント配線基盤等の平板形状の基板を、搬送ロボットのアームの自重による撓み量(角度)を補正して、搬送する基板の搬送ロボット及びその搬送ロボットを備える基板の処理装置に関するものである。
一般に半導体ウエハ等の製造は高清浄な環境いわゆるクリーンルームで行われる。このクリーンルームに於ける前記基板の運搬、例えば各種処理装置のカセット載置ステージ上への運搬は、基板をカセット内の棚段上に収納してカセット用搬送ロボットによりカセットごと行われる。なお、カセットから各種処理装置への基板の搬送には以下に示す公知の搬送ロボットにより行われる。
図3に示す特許文献1の図2記載のスカラ型のワーク搬送ロボットは、胴体部上に備えるアームをその内部に備えるプーリとタイミングベルトにより水平面内で回動して、ハンド1(エンドエフェクタ)上に保持したワーク(基板)を前進・後退運動して搬送するものである。このワーク搬送ロボットは、ハンド1の元部にハンド1の傾きを機械的構造(カム機構)により調整する傾き補正機構を備える。この傾き補正機構は、第一アーム2の先端部上面にカムプレート41を固設して備える。このカムプレート41は円周方向に沿って高さが変化するように形成されている。このカムプレート41上部に当接するカムフォロア42を備えることにより、第一アーム2の回動によるハンド1の前進・後退運動に連動して、ハンド1の一端が上下動して角度が変化する。これにより、第一アーム2を伸長した際の自重による撓みによる高さ方向のずれを相対的に修正することができる。
特開2003−136442号公報
近年、半導体ウエハや液晶ガラス基板等の基板の大型化に伴い(従来の面積は1m×1m程度であったのに対しておよそ2m×2m)、装置を(従来、基板を保持するエンドエフェクタの長さおよそ30cmであったのに対して近年は2m程度まで)大型化する必要がある。これにより、アームやエンドエフェクタの長さを長くするとともに、アームやエンドエフェクタの自重による撓みを抑えるため剛性もあげる必要がある。しかし、むやみにアームの肉厚、厚みを増すことで剛性をあげれば、装置全体の総重量が増すこととなり半導体等の製造工場への搬入が困難である。また、エンドエフェクタに基板を保持しているときと、保持していないときとのアームとエンドエフェクタの撓み量の差は、従来の基板に比べて無視できない程度に大きいものとなっている。つまり、基板を内部の棚段上に収納するカセットでは上下の基板の狭い隙間にエンドエフェクタを挿入して基板を取り出す動作等が非常に困難であるとともに、アームとフィンガの撓み量は、アームを伸張する位置によって異なるため、自在な傾き補正装置を備える必要がある。このため、傾き補正装置の駆動源であるアクチュエータを大きくすることなく、大きな動力で出力することができて、高精度に傾きを修正することができる傾き補正装置が求められている。
これに対して、上述したカム機構を用いた傾き補正装置は、カムプレート41の物理的な高さによってのみ撓み量が修正されるものであるため、相対的な撓み量の調整であり個々のロボットの撓み量変化に対応した傾き補正ができない。
本発明の傾き補正装置は、高清浄な環境に設置され、基板を収容するカセットと各種処理装置との間などを胴体部に有するアーム体を伸縮動作できる搬送ロボットにより基板を搬送する際に、アーム体の撓みによる傾きを修正する傾き補正装置であって、エンドエフェクタ基台に垂直面内で回動可能に備えるエンドエフェクタと、エンドエフェクタを作動する駆動手段とからなり、前記駆動手段は、エンドエフェクタ基台に垂直面内で回動可能に備える揺動基台と、揺動基台に固設する駆動源と、駆動源に備えてスライド部材を直線運動させる動力伝達手段と、スライド部材とエンドエフェクタ基台とにそれぞれ回動支持する第一支持部材と、スライド部材とエンドエフェクタとにそれぞれ支持する第二支持部材と、からなるものである。この傾き補正装置の駆動源は公知の駆動源であって、例えばモータやエアシリンダ等であり、動力伝達手段としてはボールネジ軸やリニアガイド等である。
本願発明の傾き補正装置は搬送ロボットのアーム体の先端に回動可能に備える以外に、胴体部の内部であって胴体部を回動するための旋回駆動部の可動部側、若しくは旋回駆動部の固定部側のいずれかの場所に備える。
本発明の傾き補正装置を基板の搬送ロボットに備えることにより、常にアームの伸張方向(搬送ロボットにより基板を直線移送する方向)についてのアーム体等の撓みによる傾きを補正することができる。本願発明の傾き補正装置は、小さな駆動源の動力を、減速機を介して駆動手段に伝達するため、高い位置決め精度を得ることができる。固定側と揺動側とに力をかけるため、大きな力と長いストロークが得られる。また、アームの伸張量や保持する基板の重量によって異なる撓み量を予め測定した撓み情報に基づいて伸張動作と同期して傾き補正をするため、常に基板を水平に保って搬送することができる。
図1の搬送ロボット1は、胴体部3の上部に有するアーム4、5からなるアーム体6によりを回動して伸長動作することで基板を搬送することができ、アーム5の端部上面に本発明の傾き補正装置2を備える搬送ロボット1を示す側面図である。この傾き補正装置2はエンドエフェクタ基台7上にエンドエフェクタ8と揺動基台10とを垂直面内で回動可能にそれぞれ備える。この傾き補正装置2は揺動基台10上に固設する駆動源であるモータ11の作動により、これの回転軸に連結する動力伝達部であるボールネジ軸13を連動して、ボールネジ軸13に螺合するスライド部材12を往復直線運動することで、スライド部材12とエンドエフェクタ基台7とを回動支持する第一支持部材14と、スライド部材12とエンドエフェクタ8とを回動可能に支持する第二支持部材15とがエンドエフェクタ8を揺動するものである。
図1に示す搬送ロボットにおいて、エンドエフェクタ8の傾きを一定、例えば常に水平に保って基板を搬送するために、エンドエフェクタ8の伸長動作開始位置にある点線で示すエンドエフェクタ8aから伸長した位置にある点線で示すエンドエフェクタ8bまで2点差線fに沿って移動する際の測定点Gの軌跡上の各測定位置で、測定点G、Hの高さ(水平面eからの距離)を測定して、この情報と測定点GとHとの2点間距離を基にエンドエフェクタ8の傾き量θを算出することができる。
図2は、図1の搬送ロボット1が、エンドエフェクタ8に傾き補正装置2を備えるのに代えて、胴体部3に傾き補正装置2を備える搬送ロボット1を示す側面図である。この搬送ロボット1は、傾き補正装置2の揺動基台10を胴体部3の内部であって、旋回手段の上部に備える。
1 搬送ロボット
2 傾き補正装置
3 胴体部
4、5 アーム
6 アーム体
7 エンドエフェクタ基台
8 エンドエフェクタ
9 駆動手段
10 揺動基台
11 モータ
12 スライド部材
13 ボールネジ軸
14 第一支持部材
15 第二支持部材
2 傾き補正装置
3 胴体部
4、5 アーム
6 アーム体
7 エンドエフェクタ基台
8 エンドエフェクタ
9 駆動手段
10 揺動基台
11 モータ
12 スライド部材
13 ボールネジ軸
14 第一支持部材
15 第二支持部材
Claims (1)
- 高清浄な環境に設置され、基板を収容するカセットと各種処理装置との間などを胴体部に有するアーム体を伸縮動作できる搬送ロボットにより基板を搬送する際に、アーム体の撓みによる傾きを修正する傾き補正装置であって、
エンドエフェクタ基台に垂直面内で回動可能に備えるエンドエフェクタと、
エンドエフェクタを作動する駆動手段とからなり、
前記駆動手段は、エンドエフェクタ基台に垂直面内で回動可能に備える揺動基台と、
揺動基台に固設する駆動源と、
駆動源に備えてスライド部材を直線運動させる動力伝達手段と、
スライド部材とエンドエフェクタ基台とにそれぞれ支承する第一支持部材と、
スライド部材とエンドエフェクタとにそれぞれ支承する第二支持部材と、
からなることを特徴とする基板の傾き補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004307220A JP2006120861A (ja) | 2004-10-21 | 2004-10-21 | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004307220A JP2006120861A (ja) | 2004-10-21 | 2004-10-21 | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006120861A true JP2006120861A (ja) | 2006-05-11 |
Family
ID=36538459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004307220A Pending JP2006120861A (ja) | 2004-10-21 | 2004-10-21 | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
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2004
- 2004-10-21 JP JP2004307220A patent/JP2006120861A/ja active Pending
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