CN112518730A - 输送机器人以及具备其的工件输送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能避免结构变得复杂并在工件输送时手部能维持给定的姿态的输送机器人(B1)，具备：支承体(4)；被支承体(4)支承的回转底座(5)；使回转底座(5)回转的回转机构(6)；被回转底座(5)支承并用于对工件进行支承的手部；和使上述手部相对于回转底座(5)水平地直线移动的直线移动机构(7)。回转机构(6)包含：使回转底座(5)相对于支承体(4)绕着在上下方向上延伸的第1回转轴(S1)回转的第1回转机构(61)；和使回转底座(5)绕着相对于第1回转轴(S1)倾斜给定角度的第2回转轴(S2)回转的第2回转机构(62)。支承体(4)具有能绕着与第1回转轴(S1)成直角的转动轴(Ox)转动的转动构件(43)。

Description

输送机器人以及具备其的工件输送系统
技术领域
本发明涉及输送机器人以及具备其的工件输送系统。
背景技术
在半导体装置的制造过程中，薄板状的晶片(工件)由输送机器人来输送。在例如扩散炉等中对晶片适宜进行处理时，输送机器人在收纳晶片的收纳室与对晶片实施处理的处理室之间输送晶片。这样的晶片的输送中所用的输送机器人例如被专利文献1公开。
专利文献1记载的品片输送用的输送机器人具备：使进行回转动作的回转底座(回转块5e)；和被该回转底座支承的手部(多个平板5f和1个平板5f)。在手部的平板5f载置晶片。通过使回转底座适宜回转，手部能朝向与收纳室、处理室正对的方向。另外，手部能在水平方向上直线移动。若使手部向收纳室或处理室直线移动，就能在该收纳室、处理室进行晶片的交接。在晶片输送时，上述多个平板5f以及1个平板5f能相互独立地进行向输送室等的水平移动。上述多个平板5f支承多个晶片，使得在上下方向观察下重叠。关于上述多个平板5f以及1个平板5f，通过使其两方或单方适宜动作，能效率良好地输送需要片数的晶片。
在晶片输送时，由于上述多个平板5f以及1个平板5f的水平动作以单臂状进行，因此有因动作部、手部等的自重而在构件产生挠曲的情况。在该情况下，有可能不再能维持手部的水平姿态、不能合适地进行与输送室、处理室之间的晶片的交接。对于这样的不良状况，例如考虑在手部的根部部分设置驱动机构，并使手部摆动来接近于水平姿态。但在使上述多个平板5f以及1个平板5f相互独立进行水平动作的结构中，需要设置与多个平板5f以及1个平板5f分别对应的驱动机构。这样一来，追加的部件件数多，结构变得复杂，还变得易于产生不适合晶片输送的微粒。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2017-85015号公报
发明内容
本发明根据这样的事情而提出，将避免结构变得复杂、且能在工件输送时使手部维持给定的姿态的输送机器人。
为了解决上述的课题，在本发明中采用如下的技术的手段。
由本发明的第1侧面提供的输送机器人具备：支承体；被上述支承体支承的回转底座；使上述回转底座回转的回转机构；被上述回转底座支承并用于对工件进行支承的手部；和使上述手部相对于上述回转底座水平地直线移动的直线移动机构，上述回转机构包含：使上述回转底座相对于上述支承体绕着在上下方向上延伸的第1回转轴回转的第1回转机构；和使上述回转底座绕着相对于上述第1回转轴倾斜给定角度的第2回转轴回转的第2回转机构，上述支承体具有能绕着与上述第1回转轴成直角的转动轴转动的转动构件。
在优选的实施方式中，上述第1回转轴、上述第2回转轴以及上述转动轴在位于上述转动构件的内部的一点交叉。
在优选的实施方式中，上述手部包含通过上述直线移动机构而被相互独立地直线移动的第1手以及第2手。
在优选的实施方式中，上述第1手支承多个薄板状工件，使其在上下方向观察下重叠。
在优选的实施方式中，上述支承体包含：在上下方向上延伸的固定底座；基端部在上述固定底座的上端部被支承成能绕着在水平的第1方向上延伸的第1水平轴转动的第1臂；和基端部在上述第1臂的前端部被支承成能绕着在上述第1方向上延伸的第2水平轴转动的第2臂，上述转动构件在上述第2臂的前端部被支承成能绕着在上述第1方向上延伸的上述转动轴转动。
由本发明的第2侧面提供的工件输送系统具备：权利上述本发明的第1侧面涉及的输送机器人；配置该输送机器人的输送室；与该输送室相邻而设、收纳工件的至少1个收纳室；和对上述工件实施给定的处理的多个处理室，上述输送室在与上述第1方向以及上下方向均成直角的第2方向上延伸，上述至少1个收纳室在上述输送室的上述第2方向上的端部相邻配置，上述多个处理室与上述输送室的上述第1方向上的端部相邻，且在上述第2方向上隔开间隔而配置。
发明的效果
在本发明所涉及的输送机器人中，用于使回转底座回转的回转机构包含第1回转机构以及第2回转机构。第1回转机构使回转底座相对于支承体(转动构件)绕着在上下方向上延伸的第1回转轴回转。第2回转机构使回转底座绕着相对于第1回转轴倾斜给定角度的第2回转轴回转。对回转底座进行支承的转动构件能绕着与第1回转轴成直角的转动轴转动。在由本发明所涉及的输送机器人进行工件的交接时，被回转底座支承的手部通过直线移动机构而被向回转底座的前方进出。在此，由于手部单侧固定状地从回转底座进出，因此会因直线移动机构、手部、被该手部支承的工件等的自重而在直线移动机构等构件出现挠曲，有手部在回转底座的前后方向上倾斜的情况。在这样的情况下，也是通过回转机构(第1回转机构以及第2回转机构)以及转动构件的协作，不使回转底座回转，就能适宜调整回转底座的前后方向的倾斜。因此，根据本发明所涉及的输送机器人，能在工件的交接时将手部维持在水平姿态，能合适地进行该工件的交接。
另外，本发明所涉及的输送机器人是与过去相比实质仅追加第2回转机构的结构。为此，与例如在手部的根部部分设置驱动机构来使手部摆动的结构相比，能避免结构变得复杂。另外，根据追加了用于进行回转底座的回转动作的第2回转机构的结构，与例如在手部的根部部分摆动的情况相比，能减低微粒的产生，并抑制输送机器人的高度方向的尺寸增加。
附图说明
图1是表示具备本发明所涉及的输送机器人而构成的工件输送系统的一例的俯视图。
图2是图1所示的输送机器人的左侧视图。
图3是图1所示的输送机器人的主视图。
图4是用于说明输送机器人中的回转机构的部分放大左侧视图。
图5是图4的主视图。
图6是表示回转机构的概略结构的一例的部分截面。
图7是用于说明回转底座的倾斜状态的变化的图。
图8是用于说明回转底座的倾斜状态的变化的图。
图9是用于说明回转底座的倾斜状态的变化的图。
图10是用于说明回转底座的倾斜状态的变化的图。
图11是用于说明回转底座的倾斜状态的变化的图。
图12是用于说明回转底座的倾斜状态的变化的图。
附图标记的说明
A1：工件输送系统
B1：输送机器人
1：输送室
2：收纳室
3：处理室
4：支承体
40：固定底座
41：第1臂
42：第2臂
43：转动构件
5：回转底座
6：回转机构
61：第1回转机构
62：第2回转机构
7：直线移动机构
8：手部
81：多层式手(第1手)
82：手(第2手)
Ox：转动轴
O1：第1水平轴
O2：第2水平轴
P1：交点
S1：第1回转轴
S2：第2回转轴
W：薄板状工件
X：方向(第2方向)
Y：方向(第1方向)
Z：上下方向
具体实施方式
以下参考附图来具体说明本发明的优选的实施方式。
图1表示具备本发明所涉及的输送机器人而构成的工件输送系统的一例。本实施方式的工件输送系统A1具备输送室1、收纳室2、处理室3和输送机器人B1，构成为将用于半导体制造的圆形硅晶片作为薄板状工件W来进行输送。
输送室1被做成具有给定的内部空间的大致长方体形状，在俯视观察下是以方向X(第2方向)为长边方向而延伸的大致长方形。在该输送室1内配置有输送机器人B1。输送机器人B1配置于输送室1的方向X上的中央。
收纳室2例如构成为能收纳保持多个薄板状工件W的盒。收纳室2与输送室1的方向X上的端部相邻而配置。在工件输送系统A1中具备至少1个收纳室2。收纳室2可以在上下方向上隔开间隔而设，另外，也可以在输送室1的方向X上的两端部分别相邻而设。在收纳室2的合适处，根据需要而设置在上述盒的替换时打开的开闭式的闸门(图示略)。另外，在输送室1与收纳室2之间，根据需要而设置输送机器人B1进行薄板状工件W的搬入搬出时打开的开闭式的闸门(图示略)。在收纳室2内的上述盒中，收容例如最大25片薄板状工件W，使其在上下方向观察下重叠。
处理室3例如是扩散炉等用于对薄板状工件W进行加热处理的构件。在本实施方式中，多个处理室3与输送室1相邻配置。在本实施方式中，4个处理室3(图1中表征3个处理室3)配置于输送室1的方向Y(与方向X以及上下方向均成直角的方向)上的端部。这些处理室3在方向X上隔开一定的间隔而配置。在各处理室3的内部收容多个(例如60片)薄板状工件W，使其在上下方向观察下重叠。在输送室1与各处理室3之间，根据需要而设置开闭式的闸门(图示略)。
输送机器人B1用于在收纳室2与处理室3之间进行薄板状工件W的输送。如图2、图3所示那样，输送机器人B1具备支承体4、回转底座5、回转机构6、直线移动机构7和手部8。
支承体4具有固定底座40、第1臂41、第2臂42以及转动构件43。固定底座40在上下方向Z上延伸，下端部固定于输送室1的地面。第1臂41在方向X以及上下方向Z所成的面内延伸，被固定底座40支承。具体地，第1臂41使其基端部在固定底座40的上端部被支承成能绕着在方向Y(水平的第1方向)上延伸的第1水平轴O1而转动。第2臂42在方向X以及上下方向Z所成的面内延伸，被第1臂41支承。具体地，第2臂42使得其基端部在第1臂41的前端部被支承成能绕着在方向Y上延伸的第2水平轴O2而转动。转动构件43被第2臂42支承。具体地，转动构件43在第2臂42的前端部被支承成能绕着在方向Y上延伸的转动轴Ox而转动。
虽省略详细的图示说明，但第1臂41以及第2臂42例如将电动机作为驱动源，通过使用传送带机构、减速机等动力传递单元，而被使得绕着第1水平轴O1以及第2水平轴O2转动。并且，能通过对上述电动机进行驱动控制，来如图1中假想线所示那样，使被支承体4支承的回转底座5移动到收纳室2或各处理室3的正面。
回转底座5被转动构件43(支承体4)支承。详细后述，但回转底座5通过回转机构6而被使得适宜回转。
手部8对圆形的薄板状工件W进行支承。手部8经由直线移动机构7而被回转底座5支承。在本实施方式中，手部8包含多层式手81以及手82。多层式手81具有保持体811以及两股状的多个叉812，被做成由保持体811一并保持多个叉812各自的基端部的结构。多个叉812在上下方向Z观察下重叠，在上下方向Z上以一定间隔配置。手82具有两股状的1个叉821。虽省略详细的图示说明，但在例如各叉812以及叉821的合适处形成有用于载置支承圆形的薄板状工件W的凹段部。在多层式手81，在多个叉812分别支承1片薄板状工件W，支承多个(图2所示的示例中是11片)薄板状工件W，使其在上下方向Z观察下重叠。在手82，在叉821支承1片薄板状工件W。
直线移动机构7使手部8(多层式手81以及手82)在水平方向上直线移动。在本实施方式中，直线移动机构7各自包含长条状的手用臂71、72、73、74而构成。
手用臂71使得其基端部在回转底座5的上部的合适处被支承成能绕着垂直轴V1转动。手用臂72使得其基端部在手用臂71的前端部被支承成能绕着垂直轴V2转动。多层式手81(保持体811)使得其基端部在手用臂72的前端部被支承成能绕着垂直轴V3转动。
手用臂73使得其基端部在回转底座5的上部的合适处被支承成能绕着垂直轴V4转动。手用臂74使得其基端部在手用臂73的前端部被支承成能绕着垂直轴V5转动。手82使得其基端部在手用臂74的前端部被支承成能绕着垂直轴V6转动。
虽省略详细的图示说明，直线移动机构7例如包含作为驱动源的电动机、以及传送带机构、减速机等动力传递单元而构成。通过使用上述电动机以及动力传递单元，来使手用臂71、手用臂72以及多层式手81绕着垂直轴V1、V2、V3转动，另外，使手用臂73、手用臂74以及手82绕着垂直轴V4、V5、V6转动。然后，通过对上述电动机进行驱动控制，能使多层式手81以及手82相互独立地直线移动。在图2中，用实线表征多层式手81以及手82在回转底座5的正上方待机的状态(基准位置)，用假想线表征多层式手81以及手82从基准位置水平地直线移动而向回转底座5的前方进出的状态(进出位置)。
在由输送机器人B1在收纳室2、处理室3中进行薄板状工件W的交接时，使回转底座5移动到收纳室2或处理室3的正面。然后，在手部8(多层式手81以及手82)与收纳室2或处理室3正对的状态下，使多层式手81、手82向回转底座5的前方进出。这样一来，多层式手81、手82进入收纳室2或处理室3的内部，能在该收纳室2或处理室3中进行薄板状工件W的交接。在图1中，用假想线表征多层式手81进入收纳室2、处理室3的内部而位于进出位置的形态。
图6是示意表示回转机构6的概略结构的一例的图。回转机构6使回转底座5回转，包含第1回转机构61以及第2回转机构62而构成。第1回转机构61使回转底座5相对于支承体4(转动构件43)绕着在上下方向Z上延伸的第1回转轴S1而回转。第2回转机构62使回转底座5绕着相对于第1回转轴S1倾斜给定角度的第2回转轴S2而回转。
第1回转机构61例如包含电动机611以及减速机612。电动机611配置于转动构件43的内部。减速机612能相对旋转地装备于形成在转动构件43的上部的开口部。减速机612的旋转轴与第1回转轴S1一致。在电动机611的输出轴安装滑轮613，另外在减速机612的输入轴安装滑轮614，在这些滑轮613、614绕挂无端传送带615。
第2回转机构62例如包含电动机621以及减速机622。电动机621配置于回转底座5的内部。减速机622能相对旋转地装备于形成在回转底座5的下部的开口部。减速机622的旋转轴与第2回转轴S2一致。在电动机621的输出轴安装有滑轮623，另外在减速机622的输入轴安装滑轮624，在这些滑轮623、624绕挂无端传送带625。
倾斜构件64介于减速机612与减速机622之间而存在。倾斜构件64具有下部水平面641以及上部倾斜面642。下部水平面641是沿着水平面的平面，在下部水平面641安装减速机612。上部倾斜面642是相对于下部水平面641倾斜给定角度的倾斜平面。在上部倾斜面642安装减速机622。
第1回转轴S1相对于下部水平面641成直角，第2回转轴S2相对于上部倾斜面642成直角。并且，第2回转轴S2相对于第1回转轴S1的倾斜角度θ与上部倾斜面642相对于下部水平面641的倾斜角度相同。第2回转轴S2的倾斜角度θ例如是0.5～3°程度，但并没有特别限定。
上述减速机612、622例如使用HarmonicDrive(注册商标)来构成。其中，减速机612、622的形态并不限定于此，例如可以采用行星齿轮机构。
另外，在减速机612安装有筒状体63。筒状体63在转动构件43与回转底座5之间包围减速机612、倾斜构件64以及减速机622。
第1回转轴S1与转动轴Ox(转动构件43的转动轴心)成直角。在本实施方式中，如图4～图6所示那样，第1回转轴S1和第1回转轴S1正交。另外，在本实施方式中，如图6所示那样，第1回转轴S1、第2回转轴S2以及转动轴Ox在位于转动构件43的内部的特定的一点(交点P1)交叉。
根据上述结构，回转底座5经由回转机构6(第1回转机构61以及第2回转机构62)而被支承体4(转动构件43)支承。具体地，回转底座5经由减速机612、倾斜构件64以及减速机622而被转动构件43支承。
接下来说明回转机构6的动作。
在使回转底座5回转时，对第1回转机构61的电动机611进行驱动。由此，回转底座5相对于支承体4绕着第1回转轴S1旋转。在向例如图1所示的收纳室2搬入搬出薄板状工件W时，通过对第1回转机构61(电动机611)进行驱动控制来使回转底座5回转。如图1中以假想线示出的那样，位于收纳室2的正面的回转底座5被以让手部8朝向与收纳室2正对的方向地回转。
另一方面，通过同时驱动第1回转机构61(电动机611)和第2回转机构62(电动机621)，能改变回转底座5的倾斜状态。具体地，若驱动电动机611，则回转底座5相对于支承体4和倾斜构件64一起绕着第1回转轴S1旋转。另一方面，若驱动电动机621，则回转底座5相对于倾斜构件64绕着第2回转轴S2旋转。
在此，使基于电动机611(第1回转机构61)的回转底座5绕着第1回转轴S1的旋转速度、和基于电动机621(第2回转机构62)的回转底座5绕着第2回转轴S2的旋转速度为等速度，其使基于电动机611、621的旋转的减速机612、622的输出相互成为相反方向。由此，相对于支承体4的回转底座5的旋转被取消，回转底座5不进行回转。另一方面，倾斜构件64相对于支承体4绕着第1回转轴S1旋转给定角度。为此，倾斜构件64的上部倾斜面642的倾斜方向发生变化，被倾斜构件64支承的回转底座5的倾斜状态发生变化。
参考图7～图12来详细说明上述的回转底座5的倾斜状态的变化。
图7表示与图6所示的回转底座5同样的倾斜状态，示意表征转动构件43、回转底座5、倾斜构件64、直线移动机构7以及手部8的配置。在图7中，(a)是左侧视图，(b)是主视图。在回转底座5，手部8进出的方向(图7的(a)中左方)为前方，其相反方向(图7的(a)中右方)为后方。另外，在图7的(b)中省略直线移动机构7以及手部8的记载，这对后述的图8的(b)、图10的(b)、图12(b)也是同样的。
在图7中，关于倾斜构件64，倾斜成使得回转底座5的前方比后方更靠上。由此如图7的(a)所示那样，回转底座5倾斜成使得前方比后方位于更上方的位置。另外，如图7的(b)所示那样，回转底座5从正面来看，在左右方向上是水平的。
图8表示如下状态：从图7所示的状态起，使回转底座5通过第1回转机构61而绕着第1回转轴S1在俯视观察下顺时针旋转90°，且使回转底座5通过第2回转机构62而绕着第2回转轴S2逆时针旋转90°。由此，倾斜构件64的倾斜方向发生变化，倾斜构件64倾斜成从回转底座5的正面来看，左方降低。在此，如图8的(a)所示那样，回转底座5从侧面来看，在前后方向上成为水平。另一方面，如图8的(b)所示那样，回转底座5倾斜成从正面来看，左方降低。
进而，如图8的(b)的箭头N1所示那样，使转动构件43绕着转动轴Ox转动。由于第1回转轴S1以及第2回转轴S2穿过转动轴Ox上的交点P1，因此通过使转动构件43绕着转动轴Ox转动预先设定的给定角度，如图9所示那样，回转底座5从正面来看，在左右方向上成为水平。这时，从回转底座5的正面来看，第2回转轴S2沿着铅直方向。另外，若与回转底座5的回转动作同步地适宜使转动构件43转动，就能几乎消除回转底座5的回转动作中的左右的倾斜。
图10表示如下状态：从图7所示的状态起，使回转底座5通过第1回转机构61绕着第1回转轴S1在俯视观察下顺时针旋转45°，且使回转底座5通过第2回转机构62绕着第2回转轴S2逆时针旋转45°。由此倾斜构件64的倾斜方向发生变化。倾斜构件64倾斜成从回转底座5的侧面来看，后方降低，且从回转底座5的正面来看，左方降低。由此，回转底座5倾斜成如图10的(a)所示那样，从侧面来看，后方降低，且从正面来看，左方降低。在此，图10的(a)所示的回转底座5的前后方向的倾斜角度比图7的(a)所示的回转底座5的前后方向的倾斜角度小。另外，图10的(b)所示的回转底座5的左右方向的倾斜角度比图8的(b)所示的回转底座5的左右方向的倾斜角度小。
进而，如图10的(b)的箭头N1所示那样，使转动构件43绕着转动轴Ox转动。由于第1回转轴S1以及第2回转轴S2穿过转动轴Ox上的交点P1，因此，通过使转动构件43绕着转动轴Ox转动预先设定的给定角度，如图11所示那样，回转底座5从正面来看，在左右方向上成为水平。这时，从回转底座5的正面来看，第2回转轴S2沿着铅直方向。另外，若与回转底座5的回转动作同步地适宜使转动构件43转动，就能几乎消除回转底座5的回转动作中的左右的倾斜。
图12表示如下状态：从图7所示的状态起，使回转底座5通过第1回转机构61绕着第1回转轴S1在俯视观察下顺时针旋转180°，且使回转底座5通过第2回转机构62绕着第2回转轴S2逆时针旋转180°。由此倾斜构件64的倾斜方向发生变化，倾斜构件64倾斜成从回转底座5的侧面来看，前方降低。在此，如图12(a)所示那样，回转底座5倾斜成从侧面来看，前方降低。另一方面，如图12(b)所示那样，回转底座5从正面来看，在左右方向上成为水平。
图7的(a)所示的回转底座5为后方降低，与此相对，图12(a)所示的回转底座5为前方降低，回转底座5的倾斜方向相反。另一方面，图12(a)所示的回转底座5的倾斜角度和图7的(a)所示的回转底座5的倾斜角度相同。另外，如将图7的(b)、图8的(b)以及图12(b)进行对比所能理解的那样，若在回转底座5的回转动作中使转动构件43的转动停止，就会在回转底座5的回转动作过程中，在左右方向产生倾斜。若与回转底座5的回转动作同步地适宜使转动构件43转动，就能几乎消除回转底座5的回转动作中的左右的倾斜。
接下来说明本实施方式的作用。
在本实施方式的输送机器人B1中，用于使回转底座5回转的回转机构6包含第1回转机构61以及第2回转机构62。第1回转机构61使回转底座5相对于支承体4(转动构件43)绕着在上下方向Z上延伸的第1回转轴S1回转。第2回转机构62使回转底座5绕着相对于第1回转轴S1倾斜给定角度的第2回转轴S2回转。支承回转底座5的转动构件43能绕着与第1回转轴S1成直角的转动轴Ox转动。
例如在通过输送机器人B1在处理室3中进行薄板状工件W的交接时，被回转底座5支承的手部8通过直线移动机构7而向回转底座5的前方进出，进入处理室3的内部进入。在此，由于手部8单侧固定状地从回转底座5进出，因此会因直线移动机构7、手部8、薄板状工件W等的自重而在直线移动机构7等构件产生挠曲，存在手部8在回转底座5的前后方向上倾斜的情况。在这样的情况下，也如参考图7～图12说明的那样，通过回转机构6(第1回转机构61以及第2回转机构62)以及转动构件43的协作，不使回转底座5回转，就能适宜调整回转底座5的前后方向的倾斜。因此，根据输送机器人B1，能在薄板状工件W的交接时将手部8维持在水平姿态，能合适地进行薄板状工件W的交接。
另外，在本实施方式中，在构成为在收纳室2、处理室3中进行薄板状工件W的交接的输送机器人B1中，是与过去相比实质仅追加了第2回转机构62的结构。为此，与例如在手部8的根部部分设置驱动机构来使手部8摆动的结构相比，能避免结构变得复杂。另外，根据追加了用于进行回转底座5的回转动作的第2回转机构62的结构，与例如在手部的根部部分摆动的情况相比，减低了微粒的产生，能抑制输送机器人B1的高度方向的尺寸增加。
如从基于图7～图12的说明理解的那样，回转底座5的前后方向的倾斜角度的调整范围比较小。在本实施方式中，能在使回转底座5绕着第1回转轴S1以及第2回转轴S2旋转180°的范围内调整回转底座5的前后方向的倾斜角度。根据这样的结构，能对应于回转底座5的大的旋转角度范围内的旋转角度调整，来细致、高精度地调整回转底座5的前后方向的倾斜角度。
在本实施方式中，第1回转机构61的第1回转轴S1、第2回转机构62的第2回转轴S2以及转动构件43的转动轴Ox在转动构件43的内部的交点P1交叉。根据这样的结构，如参考图7～图12说明的那样，即使与回转底座5的前后方向的倾斜的调整相伴而从正面来看时，在回转底座5的左右方向上产生倾斜，也能通过使转动构件43绕着转动轴Ox转动预先设定的给定角度转动，容易地消除回转底座5的左右方向的倾斜，从而在左右方向上成为水平。
在本实施方式中，手部8包含多层式手81(第1手)以及手82(第2手)。使多层式手81以及手82通过直线移动机构7而相互独立地直线移动。根据这样的结构，在薄板状工件W的交接时，在使用多层式手81以及手82两方的情况下，和使用任意单方的情况下，会在手部8的倾斜中出现变化。在这样的情况下，能将回转底座5的前后方向的倾斜按照希望调整，能在薄板状工件W的交接时使手部8容易地成为水平姿态。
多层式手81支承多个薄板状工件W，使其在上下方向Z观察下重叠。根据这样的结构，能效率良好地输送应在收纳室2与处理室3之间输送的片数的薄板状工件W。
支承体4包含在上下方向上延伸的固定底座40、第1臂41、第2臂42和转动构件43。第1臂41的基端部在固定底座40的上端部被支承成能绕着在水平的方向Y上延伸的第1水平轴O1转动。第2臂42的基端部在第1臂41的前端部被支承成能绕着在方向Y上延伸的第2水平轴O2转动。转动构件43在第2臂42的前端部被支承成能绕着在方向Y上延伸的转动轴Ox转动。根据这样的结构，能使被支承体4支承的回转底座5合适地移动到例如在俯视观察下与方向Y成直角的方向X上分开而配置的收纳室2、处理室3的正面。
以上说明了本发明的实施方式，但本发明的范围并不限定于上述的实施方式，记载于各权利要求的事项的范围内的所有变更全都包含在本发明的范围中。
在上述实施方式中，说明了支承体4具备固定底座40、第1臂41、以及第2臂42的情况，但并不限于此。只要能使回转底座5移动到给定的位置即可，能适宜变更支承体4的结构。
在上述实施方式中，关于直线移动机构，说明了包含能转动地连结的多个手用臂的情况，但并不限定于此。例如作为直线移动机构，也可以采用具备进行直线运动的滑块等的结构。另外，关于回转机构6(第1回转机构61以及第2回转机构62)的具体的结构，也并不限定于上述实施方式。

Claims (6)

1.一种输送机器人，其特征在于，具备：
支承体；
被上述支承体支承的回转底座；
使上述回转底座回转的回转机构；
被上述回转底座支承并用于对工件进行支承的手部；和
使上述手部相对于上述回转底座水平地直线移动的直线移动机构，
上述回转机构包含：
使上述回转底座相对于上述支承体绕着在上下方向上延伸的第1回转轴回转的第1回转机构；和
使上述回转底座绕着相对于上述第1回转轴倾斜给定角度的第2回转轴回转的第2回转机构，
上述支承体具有能绕着与上述第1回转轴成直角的转动轴转动的转动构件。
2.根据权利要求1所述的输送机器人，其特征在于，
上述第1回转轴、上述第2回转轴以及上述转动轴在位于上述转动构件的内部的一点交叉。
3.根据权利要求1或2所述的输送机器人，其特征在于，
上述手部包含通过上述直线移动机构而被相互独立地直线移动的第1手以及第2手。
4.根据权利要求3所述的输送机器人，其特征在于，
上述第1手支承多个薄板状工件，使得在上下方向观察下重叠。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的输送机器人，其特征在于，
上述支承体包含：
在上下方向上延伸的固定底座；
基端部在上述固定底座的上端部被支承成能绕着在水平的第1方向上延伸的第1水平轴转动的第1臂；和
基端部在上述第1臂的前端部被支承成能绕着在上述第1方向上延伸的第2水平轴转动的第2臂，
上述转动构件在上述第2臂的前端部被支承成能绕着在上述第1方向上延伸的上述转动轴转动。
6.一种工件输送系统，其特征在于，具备：
权利要求5所述的输送机器人；
配置该输送机器人的输送室；
与该输送室相邻而设、收纳工件的至少1个收纳室；和
对上述工件实施给定的处理的多个处理室，
上述输送室在与上述第1方向以及上下方向均成直角的第2方向上延伸，
上述至少1个收纳室在上述输送室的上述第2方向上的端部相邻配置，
上述多个处理室与上述输送室的上述第1方向上的端部相邻，且在上述第2方向上隔开间隔而配置。
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