JP2010201606A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送装置1000は、ベース部4と、第1アームレバー5と、第2アームレバー6と、保持部7とを有する。第2アームレバー6と保持部7との間の関節部67には、第2アームレバー6に対して保持部7を3自由度で動かすことが可能なアクチュエータ100が設けられている。例えば、搬送装置1000は、アクチュエータ100を駆動させることにより、基板Wを、水平を維持したまま搬送することが可能である。このため、基板Wの位置精度を確保することができる。
【選択図】図6
Description
上記アーム機構は、関節部を有し、搬送対象物を保持することが可能である。
上記アクチュエータは、可動子と、固定子とを有し、前記関節部に設けられ前記アーム機構を伸縮させることが可能である。
上記可動子は、円周状に配置された複数の磁極対を有する。
上記固定子は、複数の第1の電磁石及び複数の第2の電磁石を有する。
上記複数の第1の電磁石は、前記可動子の外周に沿って配置されている。
上記複数の第2の電磁石は、前記複数の第1の電磁石にそれぞれ対応するように、前記可動子に対して前記各第1の電磁石とそれぞれ対称位置に配置されている。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る搬送装置を示す斜視図である。
上記搬送装置1000の第2の実施形態に係る動作について説明する。図7は、その動作を説明するための図である。
図8は、第3の実施形態を説明するための図である。
図9は、本発明の第4の実施形態に係る搬送装置を示す図である。
本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得る。
2 固定子
3 電磁石
4 ベース部
5 第1アームレバー
6 第2アームレバー
7 保持部
8 センサ
11 磁性体
12 永久磁石
31 コイル
32 コア
100 アクチュエータ
321 磁極
1000 搬送装置
2000 搬送装置
Claims (5)
- 関節部を有し、搬送対象物を保持することが可能なアーム機構と、
円周状に配置された複数の磁極対を有する可動子と、複数の第1の電磁石及び複数の第2の電磁石を有する固定子であって、前記可動子の外周に沿って配置された複数の第1の電磁石と、前記複数の第1の電磁石にそれぞれ対応するように、前記可動子に対して前記各第1の電磁石とそれぞれ対称位置に配置された複数の第2の電磁石とを有する固定子とを有し、前記関節部に設けられ前記アーム機構を伸縮させることが可能なアクチュエータと
を具備する搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置であって、
前記アーム機構が前記搬送対象物の保持面を水平に維持するように前記アクチュエータを駆動する制御手段をさらに具備する搬送装置。 - 請求項2に記載の搬送装置であって、
前記制御手段は、前記保持面の水平面に対する角度を検出するセンサの出力に基づき前記アクチュエータを駆動する搬送装置。 - 請求項1から3のうちいずれか1項に記載の搬送装置であって、
前記アーム機構は、
前記搬送対象物を保持する保持部と、
前記関節部を介して前記保持部に接続されたアームレバーと
を有する搬送装置。 - 請求項1から4のうちいずれか1項に記載の搬送装置であって、
前記アーム機構は、複数の前記関節部を有し、
複数の前記アクチュエータが、前記複数の関節部にそれぞれ設けられている搬送装置。
Priority Applications (1)
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JP2009053222A JP2010201606A (ja) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | 搬送装置 |
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JP2009053222A JP2010201606A (ja) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | 搬送装置 |
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2009
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