JP4595053B2 - 多関節型ロボット - Google Patents
多関節型ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP4595053B2 JP4595053B2 JP2005114028A JP2005114028A JP4595053B2 JP 4595053 B2 JP4595053 B2 JP 4595053B2 JP 2005114028 A JP2005114028 A JP 2005114028A JP 2005114028 A JP2005114028 A JP 2005114028A JP 4595053 B2 JP4595053 B2 JP 4595053B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- articulated robot
- workpiece
- side link
- hand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
(3) ワークの載置又は取り出し時に、前記ハンド部を前記アーム部と反対方向に回転させて、前記ハンド部の向きを保つようにしたことを特徴とする(1)又は(2)記載の多関節型ロボット。
図1は、本発明の実施の形態に係る多関節型ロボット1の縦断面図である。また、図2は、図1に示す多関節型ロボット1の横断面図である。特に、図2(a)は、図1におけるA−A'線に沿う断面図であって、図2(b)は、図1におけるB−B'線に沿う断面図である。
図3は、本発明の実施の形態に係る多関節型ロボット1の機械動作を説明するための説明図である。図3では、ワーク(円形の半導体ウェハ)30を図中下のカセットから取り出して、図中上のカセットに載置する動作について説明する。
2 基台
3 リンク機構
4 基台側リンク部
5 アーム部側リンク部
6 アーム部
7 ハンド部
8 昇降筒
Claims (3)
- ワークをカセットに載置又は取り出しする多関節型ロボットにおいて、
ワークを保持するハンド部と、
前記ハンド部を先端側で回転可能に保持するアーム部と、
前記多関節ロボットの基端側に位置する基台側リンク部と、前記アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、が互いに回転可能に連結され、前記アーム部側リンク部が前記アーム部の基端側を回転可能に保持するリンク機構と、
前記アーム部を回転制御する駆動手段と、を備え、
前記リンク機構は、前記アーム部の基端側の移動軌跡が所定の直線となるように動作し、
前記駆動手段は、前記アーム部の回転動作を前記リンク機構による前記アーム部の基端側の移動に整合させて、前記アーム部の先端側を前記所定の直線と略直交する方向に直線補間するように移動させることを特徴とする多関節型ロボット。 - 前記リンク機構は、前記基台側リンク部と前記アーム部側リンク部との長さが略同一であって、
前記基台側リンク部と前記アーム部側リンク部との回転角度比が1:2であることを特徴とする請求項1記載の多関節型ロボット。 - ワークの載置又は取り出し時に、前記ハンド部を前記アーム部と反対方向に回転させて、前記ハンド部の向きを保つようにしたことを特徴とする請求項1又は2記載の多関節型ロボット。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005114028A JP4595053B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 多関節型ロボット |
PCT/JP2006/307626 WO2006109791A1 (ja) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 多関節型ロボット |
US11/918,306 US8136422B2 (en) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | Articulated robot |
TW095112782A TW200642812A (en) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | Articulated robot |
CN2006800114805A CN101156239B (zh) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 多关节机器人 |
KR1020077023207A KR20080002818A (ko) | 2005-04-11 | 2006-04-11 | 다관절형 로보트 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005114028A JP4595053B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 多関節型ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006289555A JP2006289555A (ja) | 2006-10-26 |
JP4595053B2 true JP4595053B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=37410694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005114028A Active JP4595053B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 多関節型ロボット |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4595053B2 (ja) |
CN (1) | CN101156239B (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI398335B (zh) * | 2006-11-27 | 2013-06-11 | Nidec Sankyo Corp | Workpiece conveying system |
KR20100031681A (ko) * | 2007-05-18 | 2010-03-24 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 빠른 교환 로봇을 가진 컴팩트 기판 운송 시스템 |
JP5391857B2 (ja) * | 2009-06-17 | 2014-01-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 基板搬送ロボット |
JP5071514B2 (ja) | 2010-04-21 | 2012-11-14 | 株式会社安川電機 | 水平多関節ロボットおよびそれを備えた基板搬送システム |
US9076829B2 (en) * | 2011-08-08 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing |
JP5576911B2 (ja) * | 2012-08-20 | 2014-08-20 | ファナック株式会社 | 両持ち式のアーム部材を備えた多関節ロボット |
JP2013016843A (ja) * | 2012-09-10 | 2013-01-24 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 基板搬送ロボット、基板搬送装置および半導体処理設備 |
JP6313963B2 (ja) * | 2013-01-07 | 2018-04-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP2014236036A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ワーク搬送ロボット |
CN107530876A (zh) * | 2015-05-25 | 2018-01-02 | 川崎重工业株式会社 | 水平多关节机器人 |
JP6962790B2 (ja) * | 2017-11-09 | 2021-11-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | ワーク搬送システム及びその制御方法 |
JP2020074440A (ja) * | 2020-01-17 | 2020-05-14 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボット |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164402A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Meidensha Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2003220586A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-08-05 | Nissin Electric Co Ltd | 物品搬送ロボット及び真空処理装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5064340A (en) * | 1989-01-20 | 1991-11-12 | Genmark Automation | Precision arm mechanism |
WO2003007129A2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Broks Automation, Inc. | Trajectory planning and motion control strategies for a planar three-degree-of-freedom robotic arm |
-
2005
- 2005-04-11 JP JP2005114028A patent/JP4595053B2/ja active Active
-
2006
- 2006-04-11 CN CN2006800114805A patent/CN101156239B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002164402A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Meidensha Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2003220586A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-08-05 | Nissin Electric Co Ltd | 物品搬送ロボット及び真空処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101156239A (zh) | 2008-04-02 |
CN101156239B (zh) | 2010-05-19 |
JP2006289555A (ja) | 2006-10-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4595053B2 (ja) | 多関節型ロボット | |
JP4852719B2 (ja) | 多関節型ロボット | |
WO2006109791A1 (ja) | 多関節型ロボット | |
TWI398335B (zh) | Workpiece conveying system | |
JP3999712B2 (ja) | 多関節ロボット | |
JP4970128B2 (ja) | 産業用ロボット及び集合処理装置 | |
JP6051021B2 (ja) | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 | |
US20110135437A1 (en) | Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same | |
KR101514142B1 (ko) | 로봇 아암 및 로봇 | |
US10580681B2 (en) | Robotic apparatus and method for transport of a workpiece | |
JP6001024B2 (ja) | プレス機械のワーク搬送装置 | |
TW201617192A (zh) | 機器人及機器人系統 | |
JP2009136981A (ja) | ロボット制御装置 | |
JP3539537B2 (ja) | 多関節ロボット | |
JPH07122620A (ja) | 動力伝達機構 | |
US20190084156A1 (en) | Robot system and method for controlling robot | |
JP4199432B2 (ja) | ロボット装置及び処理装置 | |
KR101682465B1 (ko) | 기판이송로봇 | |
TWI750741B (zh) | 產業用機器人 | |
JP2018183836A (ja) | パラレルリンクロボット | |
JP2000243809A (ja) | 多関節ロボット装置 | |
JP7347892B2 (ja) | 搬送ロボットおよびこれを備えたワーク搬送システム | |
JPH1133948A (ja) | 搬送ロボット及びその使用方法 | |
JP3124886U (ja) | ハンドリング装置 | |
WO2019207687A1 (ja) | 水平多関節ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100628 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100714 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100730 |
|
A59 | Written plea |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A59 Effective date: 20100914 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4595053 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |