JP3124886U - ハンドリング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送経路外の床上に固着支持された支持台2と、該支持台2の上部に固着された減速機付モータ3の出力軸3Aと、該出力軸3Aに対して直角方向に延出して取り付けられた直角作動腕4と、該直角作動腕4の先端部に固着された減速機付モータ5の出力軸5Aと、該出力軸5Aに対して直角方向に延出して取り付けられた直角作動腕6と、該直角作動腕6の先端部に固着された減速機付モータ7の出力軸7Aと、該出力軸7Aに対して平行方向に延出して取り付けられた水平作動腕8と、該水平作動腕8の先端部に固着された減速機付モータ9の出力軸10と、該出力軸10を軸回りに回転し搬送材料13を把持するための把持ヘッド11と、とを有し、前記出力軸3A、出力軸5A及び出力軸7Aは平行であり、前記出力軸10は出力軸7Aに対して直角であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
従来、専用棚内から基板を一枚毎に取り出し次工程に搬送する場合において用いられるハンドリング装置としては、汎用型の円筒水平スカラ型式または多関節接上端スカラ型式のプレイバック方式制御機構を有する汎用ロボットを用いていた(例えば特許文献1参照)。
また、近年、基板の製作原価を下げるために大きな寸法のものになってきているため、これらの基板を取り扱うハンドリング装置の設置空間や必要な動き(作動範囲)などの見直しも求められている。
また、既存技術が短期間に陳腐化する基板製造業界においては、設備の更新期間が短くかつ更新時の建設期間は極限まで短縮されており、基板の搬送空間の大小は重大な要因となっていた。
また、汎用ロボットの腕を追加することにより、
(1)基板搬送時の位置決め精度の悪化、(2)消耗部材も多数化、(3)保守作業の多頻度化、(4)停止時間の長期化、(5)ハンドリング装置の稼働率の低下、(5)ひいては基板の生産性の低下をまねいていた。
そこで、本考案は、基板を収納する専用棚との関連において出来るだけ小さい設置空間や作動範囲を実現し、保守作業頻度の少ない基板搬送用のハンドリング装置を提供することを目的とする。
請求項2に記載のハンドリング装置は、請求項1において、コンピュータを内蔵した制御部15を連結させ、搬送材料の搬出・搬送を自動化させるようにしたことを特徴とする。
なお、直角作動腕4、直角作動腕6及び水平作動腕8の端部に設けられた各減速付モータ3,5,7は任意の角度に回動可能である。
専用棚の側面に支持台2を設置するとは、ハンドリング装置と搬送材料とが、以下のような位置関係におかれていることをいう。すなわち、ハンドリング装置の支持台2が搬送経路外に設置されてあり、ハンドリング装置の水平作動腕8が専用棚の搬送材料と平行に立てかけられてある搬送材料と平行になり、ハンドリング装置の把持ヘッド11が搬送材料を正面から把持出来るような位置関係をいう。
2: 支持台
3: 減速機付モータ
3A: 出力軸
4: 直角作動腕
5: 減速機付モータ
5A: 出力軸
6: 直角作動腕
7: 減速機付モータ
7A: 出力軸
8: 水平作動腕
9: 減速機付モータ
10: 出力軸
11: 把持ヘッド
13: 搬送材料
15: 制御部
20: 搬送材料(基板)
21: 専用棚
30: コンピュータ部
31: 入出力部
32: 教示部
33、35、37、39: モータ駆動部
40: 外部制御装置
Claims (2)
- 搬送経路外の床上に固着支持された支持台2と、
該支持台2の上部に固着された減速機付モータ3の出力軸3Aと、
該出力軸3Aに対して直角方向に延出して取り付けられた直角作動腕4と、
該直角作動腕4の先端部に固着された減速機付モータ5の出力軸5Aと、
該出力軸5Aに対して直角方向に延出して取り付けられた直角作動腕6と、
該直角作動腕6の先端部に固着された減速機付モータ7の出力軸7Aと、
該出力軸7Aに対して平行方向に延出して取り付けられた水平作動腕8と、
該水平作動腕8の先端部に固着された減速機付モータ9の出力軸10と、
該出力軸10を軸回りに回転し搬送材料13を把持するための把持ヘッド11と、
とを有し、
前記出力軸3A、出力軸5A及び出力軸7Aは平行であり、
前記出力軸10は出力軸7Aに対して直角であることを特徴とするハンドリング装置。 - コンピュータを内蔵した制御部15を連結させ、搬送材料の搬出・搬送を自動化させるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のハンドリング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006004850U JP3124886U (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006004850U JP3124886U (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | ハンドリング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP3124886U true JP3124886U (ja) | 2006-08-31 |
Family
ID=43474789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006004850U Expired - Lifetime JP3124886U (ja) | 2006-06-20 | 2006-06-20 | ハンドリング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3124886U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117446492A (zh) * | 2023-12-22 | 2024-01-26 | 湖南凯之成智能装备有限公司 | 光伏板的铺装方法以及铺装系统 |
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2006
- 2006-06-20 JP JP2006004850U patent/JP3124886U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN117446492A (zh) * | 2023-12-22 | 2024-01-26 | 湖南凯之成智能装备有限公司 | 光伏板的铺装方法以及铺装系统 |
CN117446492B (zh) * | 2023-12-22 | 2024-04-09 | 湖南凯之成智能装备有限公司 | 光伏板的铺装方法以及铺装系统 |
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