JP6744155B2 - 搬送システム - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる搬送システム1の側面図である。図2は、図1のE−E方向から搬送システム1を示す平面図である。図3は、図2に示すトレイ3に液晶パネル2が収容された状態を説明するための平面図である。図4は、図1に示すロボット9の斜視図である。
トレイステージ6、7側に設定される基準点に基づく座標系を第1座標系とし、ロボット9側に設定される基準点に基づく座標系(ロボット座標系)を第2座標系とすると、第1座標系と第2座標系とは、トレイステージ6、7側の所定の箇所をパネル把持部29に教示することで予め対応付けられている。このロボット9の教示作業は、たとえば、搬送システム1の立上げ時に行われる。また、パネル位置情報に含まれるトレイ3内の各液晶パネル2のX座標、Y座標、および、データ位置情報に含まれるコード2aのX座標、Y座標は、第1座標系を用いて表される座標である。なお、本形態では、トレイステージ6側の第1座標系とトレイステージ7側の第1座標系とが個別に設定されており、トレイステージ6側の第1座標系と第2座標系とが予め対応付けされるとともに、トレイステージ7側の第1座標系と第2座標系とが予め対応付けられている。
以上説明したように、本形態では、搬送システム1は、液晶パネル2の種類に応じて設定されるレシピに基づいて液晶パネル2の搬送を行っており、レシピには、パネル位置情報とパネルサイズ情報とが含まれている。パネル位置情報に含まれるトレイ3内の各液晶パネル2のX座標およびY座標は、第1座標系を用いて表される座標であるが、本形態では、トレイステージ6、7側の所定の箇所をパネル把持部29に教示することで第1座標系と第2座標系とが予め対応付けられており、パネル把持部29の動作時に、制御部45は、レシピに含まれる情報に基づいて入力された第1座標を第2座標に変換し、第2座標に基づいてパネル把持部29の目標到達位置にパネル把持部29を移動させている。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 液晶パネル(表示パネル)
3 トレイ
6、7 トレイステージ
9 ロボット
15 処理装置
36 データ読取装置
Claims (2)
- 所定の処理装置に供給される表示パネルの搬送および所定の処理装置から排出される前記表示パネルの搬送の少なくともいずれか一方を行う搬送システムであって、
前記表示パネルを収容可能なトレイが載置されるトレイステージと、前記トレイステージに載置された前記トレイからの前記表示パネルの搬出および前記トレイステージに載置された前記トレイへの前記表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行うロボットと、前記表示パネルに記録されたデータを読み取るデータ読取装置とを備えるとともに、前記表示パネルの種類に応じて設定されるレシピに基づいて前記表示パネルの搬送を行っており、
前記レシピには、前記トレイの中での前記表示パネルの収容位置の情報であるパネル位置情報と、前記表示パネルの大きさの情報であるパネルサイズ情報と、前記表示パネルにおける前記データの記録位置の情報であるデータ位置情報とが含まれていることを特徴とする搬送システム。 - 前記トレイの大きさは、前記トレイに収容される前記表示パネルの種類にかかわらず一定であることを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016130228A JP6744155B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 搬送システム |
CN201780003733.2A CN108352350B (zh) | 2016-06-30 | 2017-06-19 | 搬运系统 |
PCT/JP2017/022542 WO2018003576A1 (ja) | 2016-06-30 | 2017-06-19 | 搬送システム |
TW106121944A TWI720219B (zh) | 2016-06-30 | 2017-06-30 | 搬送系統 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016130228A JP6744155B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018006519A JP2018006519A (ja) | 2018-01-11 |
JP6744155B2 true JP6744155B2 (ja) | 2020-08-19 |
Family
ID=60786063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016130228A Active JP6744155B2 (ja) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 搬送システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6744155B2 (ja) |
CN (1) | CN108352350B (ja) |
TW (1) | TWI720219B (ja) |
WO (1) | WO2018003576A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113031537B (zh) * | 2019-12-25 | 2022-05-17 | 北京极智嘉科技股份有限公司 | 机器人、货物运输方法、电子设备及存储介质 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09179615A (ja) * | 1995-12-26 | 1997-07-11 | Mazda Motor Corp | ロボットの部品把持方法及びロボット |
US7988398B2 (en) * | 2002-07-22 | 2011-08-02 | Brooks Automation, Inc. | Linear substrate transport apparatus |
JP4296498B2 (ja) * | 2004-05-19 | 2009-07-15 | 株式会社ダイフク | パレット搬送装置 |
JP2007144586A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Seiko Epson Corp | 自動教示装置の制御方法、自動教示装置、プログラム |
RU2476954C2 (ru) * | 2008-09-18 | 2013-02-27 | Шарп Кабусики Кайся | Базовая плата, способ производства базовой платы и подложка устройства |
CN101768731B (zh) * | 2008-12-29 | 2012-10-17 | K.C.科技股份有限公司 | 原子层沉积装置 |
SG164292A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-09-29 | Semiconductor Technologies & Instruments Pte | System and method for inspecting a wafer |
CN102470980B (zh) * | 2009-09-28 | 2013-11-13 | 夏普株式会社 | 收纳盘 |
KR101329303B1 (ko) * | 2010-06-17 | 2013-11-20 | 세메스 주식회사 | 기판들의 로딩 및 언로딩을 위한 기판 처리 장치 |
JP5885528B2 (ja) * | 2012-02-14 | 2016-03-15 | 株式会社安川電機 | 搬送装置 |
US9045827B2 (en) * | 2012-03-09 | 2015-06-02 | Lg Cns Co., Ltd. | Apparatus and method for supplying light-emitting diode (LED) wafer |
CN103632932B (zh) * | 2012-08-29 | 2016-08-31 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 基片装卸装置、等离子体设备和机械手坐标零点定位方法 |
JP6285275B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2018-02-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6331698B2 (ja) * | 2014-05-28 | 2018-05-30 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板搬入位置決定方法 |
JP2016062909A (ja) * | 2014-09-12 | 2016-04-25 | キヤノン株式会社 | 基板搬送システム、基板搬送方法、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
CN105097616B (zh) * | 2015-06-17 | 2018-01-26 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 基于机械手移动的硅片分布状态组合检测方法及装置 |
-
2016
- 2016-06-30 JP JP2016130228A patent/JP6744155B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-19 WO PCT/JP2017/022542 patent/WO2018003576A1/ja active Application Filing
- 2017-06-19 CN CN201780003733.2A patent/CN108352350B/zh active Active
- 2017-06-30 TW TW106121944A patent/TWI720219B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018003576A1 (ja) | 2018-01-04 |
TW201808757A (zh) | 2018-03-16 |
JP2018006519A (ja) | 2018-01-11 |
CN108352350A (zh) | 2018-07-31 |
TWI720219B (zh) | 2021-03-01 |
CN108352350B (zh) | 2022-06-10 |
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