WO2018003573A1

WO2018003573A1 - 搬送システム

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Publication number: WO2018003573A1
Application number: PCT/JP2017/022534
Authority: WO
Inventors: 正荒井; 佐藤　史朗
Original assignee: 日本電産サンキョー株式会社
Priority date: 2016-06-30
Filing date: 2017-06-19
Publication date: 2018-01-04
Also published as: TWI716611B; JP2018006518A; TW201805219A; CN109417044B; CN109417044A; JP6791665B2

Abstract

処理装置１５に供給される表示パネル２の搬送や処理装置１５から排出される表示パネル２の搬送を行う搬送システム１は、複数段に積み重なるとともに表示パネル２を収容可能なトレイ３を搬送するコンベヤ４、５と、トレイ３が載置されるトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３からの表示パネル２の搬出やトレイステージ６、７に載置されたトレイ３への表示パネル２の搬入を行うロボット９と、表示パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置５６とを備えている。この搬送システム１は、表示パネル２が収容されるトレイ３の段ばらしや段積みを行うときの表示パネル２の損傷を抑制することが可能となる。

Description

搬送システム

　本発明は、液晶パネル等の表示パネルを搬送する搬送システムに関する。

　従来、携帯機器等で使用される液晶表示装置の組立ラインに組み込まれる搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送装置は、５個の搬送ユニットを備えており、各搬送ユニットには、液晶表示装置の組立工程における各種の組立加工処理が割り当てられている。また、この搬送装置は、トレイに収容された液晶表示パネルを搬送ユニットに供給する自動ローダーを備えている（特許文献１の図１９参照）。

国際公開第２０１２／１２０９５６号

　特許文献１に記載の搬送装置が使用される液晶表示装置の組立ラインでは、一般に、自動ローダーに供給される前のトレイは、複数段に積み重なった状態で（段積みされた状態で）棚に仮置きされており、作業者が手作業で段積みされたトレイを段ばらしして、１個ずつ自動ローダーに供給している。作業者が手作業でトレイを段ばらしする場合、作業者の作業にばらつきが生じやすく、トレイを段ばらしする際に、トレイの中の液晶表示パネルに衝撃が加わって、液晶表示パネルが損傷するおそれがある。

　そこで、本発明の課題は、所定の処理装置に供給される表示パネルの搬送および所定の処理装置から排出される表示パネルの搬送の少なくともいずれか一方を行う搬送システムにおいて、表示パネルが収容されるトレイの段ばらしや段積みを行うときの表示パネルの損傷を抑制することが可能な搬送システムを提供することにある。

　上記の課題を解決するため、本発明の搬送システムは、所定の処理装置に供給される表示パネルの搬送および所定の処理装置から排出される表示パネルの搬送の少なくともいずれか一方を行う搬送システムであって、複数段に積み重なるとともに表示パネルを収容可能なトレイを搬送するコンベヤと、トレイが載置されるトレイステージと、コンベヤとトレイステージとの間でトレイを搬送する第１搬送ロボットと、トレイステージに載置されたトレイからの表示パネルの搬出およびトレイステージに載置されたトレイへの表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行う第２搬送ロボットと、表示パネルに記録されたデータを読み取るデータ読取装置とを備え、データ読取装置は、第２搬送ロボットによってトレイから搬出された後の表示パネルのデータおよび第２搬送ロボットによってトレイに搬入される前の表示パネルのデータの少なくともいずれか一方を読み取ることを特徴とする。

　本発明の搬送システムは、複数段に積み重なるとともに表示パネルを収容可能なトレイを搬送するコンベヤと、トレイが載置されるトレイステージと、コンベヤとトレイステージとの間でトレイを搬送する第１搬送ロボットとを備えている。そのため、本発明では、第１搬送ロボットによってコンベヤとトレイステージとの間でトレイを搬送することで、表示パネルが収容されるトレイの段ばらしや段積みを行うことが可能になる。すなわち、本発明では、自動でトレイの段ばらしや段積みを行うことが可能になる。したがって、本発明では、トレイの段ばらし作業や段積み作業のばらつきを抑制することが可能になり、トレイの段ばらし作業や段積み作業を安定させることが可能になる。その結果、本発明では、トレイの段ばらしや段積みを行うときの表示パネルの損傷を抑制することが可能になる。また、本発明では、自動でトレイの段ばらしや段積みを行うことが可能になるため、人件費を削減することが可能になる。

　また、本発明の搬送システムは、トレイステージに載置されたトレイからの表示パネルの搬出およびトレイステージに載置されたトレイへの表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行う第２搬送ロボットを備えているため、段ばらしされた後のトレイに収容された表示パネルを自動で処理装置に向かって搬送したり、処理装置から排出された表示パネルを自動でトレイに収容したりすることが可能になる。

　また、本発明の搬送システムは、第２搬送ロボットによってトレイから搬出された後の表示パネルのデータおよび第２搬送ロボットによってトレイに搬入される前の表示パネルのデータの少なくともいずれか一方を読み取るデータ読取装置をさらに備えているため、トレイから搬出された表示パネルに個別データを紐付けすることが可能になり、個別データが紐付けされた表示パネルを処理装置へ供給することが可能になる。また、処理装置から排出された表示パネルに個別データを紐付けすることが可能になり、個別データが紐付けされた表示パネルをトレイに収容することが可能になる。

　本発明において、搬送システムは、コンベヤとして、トレイステージに近づく方向へトレイを搬送する供給側コンベヤと、トレイステージから離れる方向へトレイを搬送する排出側コンベヤとを備え、第１搬送ロボットは、供給側コンベヤからトレイステージへのトレイの搬送と、トレイステージから排出側コンベヤへのトレイの搬送とを行うことが好ましい。

　このように構成すると、搬送システムが供給側コンベヤと排出側コンベヤとを備えているため、トレイステージへ近づく方向へのトレイの搬送とトレイステージから離れる方向へのトレイの搬送とを個別に行うことが可能になる。したがって、共通のコンベヤによって、トレイステージへ近づく方向へのトレイの搬送とトレイステージから離れる方向へのトレイの搬送とを行う場合と比較して、搬送システムでのサイクルタイムを短縮することが可能になる。また、このように構成すると、第１搬送ロボットが、供給側コンベヤからトレイステージへのトレイの搬送と、トレイステージから排出側コンベヤへのトレイの搬送とを行うため、供給側コンベヤからトレイステージへトレイを搬送するロボットと、トレイステージから排出側コンベヤへトレイを搬送するロボットとが個別に設けられている場合と比較して搬送システムの構成を簡素化することが可能になる。

　本発明において、供給側コンベヤは、トレイの搬送方向と上下方向とに直交する左右方向の両側に配置され左右方向におけるトレイの移動を規制するガイド部材と、トレイの搬送方向の下流端に配置されトレイが当接する当接部材とを備え、第１搬送ロボットによるトレイステージへのトレイの搬送前に当接部材にトレイを当接させることが好ましい。このように構成すると、第１搬送ロボットによってトレイステージに搬送される前のトレイを供給側コンベヤ上で位置決めすることが可能になる。したがって、トレイステージにトレイを精度良く載置することが可能になる。

　本発明において、搬送システムは、複数のトレイステージを備えることが好ましい。このように構成すると、第２搬送ロボットによって表示パネルの搬出や搬入を行いながら、第１搬送ロボットによってトレイステージ上のトレイの入替を行うことが可能になる。したがって、搬送システムが備えるトレイステージの数が１個である場合と比較して、搬送システムでのサイクルタイムを短縮することが可能になる。

　本発明において、搬送システムは、第２搬送ロボットによってトレイから搬出された表示パネルのエッジを検知するとともに、表示パネルのエッジの検知結果に基づいて表示パネルの位置合わせをするアライメント装置を備えることが好ましい。このように構成すると、アライメント装置で位置合わせされた後の表示パネルのデータをデータ読取装置で読み取ることが可能になる。したがって、第２搬送ロボットによってトレイから搬出された後の表示パネルのデータをデータ読取装置によって確実かつ正確に読み取ることが可能になる。

　本発明において、搬送システムは、コンベヤ上のトレイの段数を検知する段数検知機構を備え、段数検知機構は、トレイの有無を検知するセンサと、センサを昇降させる昇降機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、段数検知機構での検知結果に基づいて第１搬送ロボットを動作させることで、コンベヤ上のトレイと第１搬送ロボットとの衝突や、コンベヤ上のトレイと第１搬送ロボットが搬送しているトレイとの衝突を防止することが可能になる。

　本発明において、コンベヤは、トレイの搬送方向で分割され個別に駆動可能な複数の分割コンベヤによって構成されていることが好ましい。このように構成すると、複数の、段積みされたトレイをトレイの搬送方向において個別に搬送することが可能になる。したがって、コンベヤの使い勝手が良くなる。

　本発明において、搬送システムは、第１搬送ロボットが設置される第１フレームと、第２搬送ロボットが設置される第２フレームとを備え、第１フレームには、第１搬送ロボットが設置される設置面が形成され、第２フレームは、設置面よりも上側に配置され第２搬送ロボットが設置される設置部を備え、第１搬送ロボットは、設置面から立ち上がるように設置面に設置され、第２搬送ロボットは、設置部にぶら下がるように設置部に設置されていることが好ましい。このように構成すると、第１搬送ロボットと第２搬送ロボットとを同時に動作させたときの、第１搬送ロボットと第２搬送ロボットとの干渉を防止しやすくなる。

　本発明において、第２搬送ロボットは、たとえば、本体部と、本体部に基端側が回動可能に連結される複数のレバーと、複数のレバーの先端側のそれぞれに基端側のそれぞれが回動可能に連結される複数のアーム部と、複数のアーム部の先端側に回動可能に連結される可動部と、可動部に取り付けられ表示パネルを把持するパネル把持部と、複数のレバーのそれぞれを回動させる複数の回動駆動機構とを備え、複数のレバーは、本体部の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部に連結され、アーム部は、互いに平行な直線状の２本のアームを備え、レバーの先端側に２本のアームのそれぞれの基端側が回動可能に連結されるとともに、２本のアームの先端側に可動部が回動可能に連結され、本体部は、設置部に固定されている。すなわち、第２搬送ロボットは、たとえば、いわゆるパラレルリンクロボットである。この場合には、トレイからの表示パネルの搬出やトレイへの表示パネルの搬入を比較的高速で行うことが可能になる。

　本発明において、搬送システムは、トレイステージとして、トレイの搬送方向と上下方向とに直交する左右方向で隣接配置される２個の固定トレイステージと、トレイの搬送方向と左右方向とに移動可能な２個の可動トレイステージとを備えるとともに、２個の可動トレイステージを個別に移動させる２個のステージ移動機構を備え、ステージ移動機構は、左右方向において固定トレイステージと並ぶ第１位置と、トレイの搬送方向において固定トレイステージの少なくとも一部と重なる第２位置との間で可動トレイステージを移動させることが好ましい。このように構成すると、第１搬送ロボットの可動範囲や第２搬送ロボットの可動範囲を狭くしても、第１搬送ロボットによってコンベヤと可動トレイステージとの間でトレイを搬送することが可能になるとともに、第２搬送ロボットによって可動トレイステージ上のトレイに収容された表示パネルを搬出したり、可動トレイステージ上のトレイに表示パネルを搬入したりすることが可能になる。

　以上のように、本発明では、所定の処理装置に供給される表示パネルの搬送および所定の処理装置から排出される表示パネルの搬送の少なくともいずれか一方を行う搬送システムにおいて、表示パネルが収容されるトレイの段ばらしや段積みを行うときの表示パネルの損傷を抑制することが可能になる。

本発明の実施の形態１にかかる搬送システムの側面図である。図１のＥ－Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。図１に示す分割コンベヤの斜視図である。図３に示す段数検知機構の構成および図１に示すトレイ把持部の構成を説明するための概略図である。図１に示す第２搬送ロボットの斜視図である。図１に示す供給ユニットの斜視図である。図６に示す供給ユニットの平面図である。本発明の実施の形態２にかかる搬送システムの側面図である。図８のＦ－Ｆ方向から搬送システムを示す平面図である。図９に示す固定トレイステージおよび可動トレイステージの斜視図である。図８に示す排出ユニットの斜視図である。図１１に示す排出ユニットの平面図である。実施の形態１の変形例にかかる供給ユニットの斜視図である。図１３に示す供給ユニットの平面図である。実施の形態２の変形例にかかる排出ユニットの斜視図である。図１５に示す排出ユニットの平面図である。

　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

　［実施の形態１］
　（搬送システムの全体構成）
　図１は、本発明の実施の形態１にかかる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ－Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。

　本形態の搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。この搬送システム１は、表示パネルである液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１５（図２参照）に液晶パネル２を供給する。すなわち、この搬送システム１は、処理装置１５に供給される液晶パネル２を搬送する。また、搬送システム１は、小型の液晶パネル２（たとえば、４インチの液晶パネル２）を搬送する。

　液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル２の検査データ等のデータが記録されている。具体的には、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。すなわち、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、光学的に読取可能なデータが記録されている。なお、本形態の搬送システム１で搬送される液晶パネル２には、偏光板（偏光フィルム）が貼り付けられていても良いし、偏光板が貼り付けられていなくても良い。また、液晶パネル２には、ＦＰＣやチップが実装されていても良いし、ＦＰＣやチップが実装されていなくても良い。

　搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（すなわち、段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。たとえば、コンベヤ４、５は、２０段に段積みされたトレイ３を水平方向へ直線的に搬送する。

　以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後（後ろ）側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１５が配置されている。

　また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送する第１搬送ロボットとしてのロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出する第２搬送ロボットとしてのロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１５に供給する供給ユニット１０とを備えている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１０は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

　また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１０とが設置される第１フレームとしての本体フレーム１１と、ロボット９が設置される第２フレームとしての本体フレーム１２とを備えている。本体フレーム１１は、前後方向に細長く、かつ、高さが低い扁平な直方体状に形成されている。本体フレーム１１の上面１１ａは、上下方向に直交する平面状に形成されており、本体フレーム１１の上面１１ａに、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１０とが設置されている。本形態の上面１１ａは、ロボット８が設置される設置面である。

　本体フレーム１２は、略門型に形成された門型フレームである。本体フレーム１２の左右方向の幅は、本体フレーム１１の左右方向の幅よりも広くなっており、本体フレーム１２の前後方向の幅は、本体フレーム１１の前後方向の長さよりも短くなっている。本体フレーム１２の高さは、本体フレーム１１の高さよりも高くなっており、本体フレーム１２は、本体フレーム１１の上面１１ａよりも上側に配置される上面部１２ａを備えている。上面部１２ａは、コンベヤ４、５、トレイステージ６、７、ロボット８および供給ユニット１０よりも上側に配置されている。

　本体フレーム１２は、前後方向から見たときに、本体フレーム１１を跨ぐように設置されている。すなわち、本体フレーム１２は、左右方向で本体フレーム１１を跨ぐように設置されている。また、本体フレーム１２は、本体フレーム１１の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット９は、本体フレーム１２の上面部１２ａに設置されている。本形態の上面部１２ａは、ロボット９が設置される設置部である。

　（コンベヤの構成および動作）
　図３は、図１に示す分割コンベヤ２０の斜視図である。図４は、図３に示す段数検知機構２９の構成および図１に示すトレイ把持部３９の構成を説明するための概略図である。

　コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。すなわち、コンベヤ４は、トレイステージ６、７に近づく方向へトレイ３を搬送し、コンベヤ５は、トレイステージ６、７から離れる方向へトレイ３を搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。本形態のコンベヤ４は、供給側コンベヤであり、コンベヤ５は、排出側コンベヤである。なお、コンベヤ４、５は、ベルトコンベヤ等であっても良い。

　コンベヤ４は、前後方向で分割された複数の分割コンベヤ１６～２０によって構成されている。本形態のコンベヤ４は、５個の分割コンベヤ１６～２０によって構成されている。分割コンベヤ１６～２０は、前側から後ろ側に向かってこの順番で配置されている。同様に、コンベヤ５は、前後方向で分割された５個の分割コンベヤ２１～２５によって構成されている。分割コンベヤ２１～２５は、前側から後ろ側に向かってこの順番で配置されている。分割コンベヤ１６～２５のそれぞれは、モータとモータの動力をローラに伝達する動力伝達機構とを備えており、分割コンベヤ１６～２５は、個別に駆動可能となっている。前後方向における分割コンベヤ１６～２５の幅は、トレイ３の前後方向の幅よりも広くなっている。具体的には、前後方向における分割コンベヤ１６～２５の幅は、トレイ３の前後方向の幅よりもわずかに広くなっている。

　分割コンベヤ１６には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。分割コンベヤ１６に載置された段積み状態のトレイ３は、コンベヤ４によって後ろ側へ搬送される。分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、分割コンベヤ２５には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、コンベヤ５によって前側に搬送される。分割コンベヤ２１まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

　なお、段積み状態のトレイ３が分割コンベヤ１６に載置されるときには、通常、分割コンベヤ１７～２０の少なくともいずれか１つの分割コンベヤ１７～２０に段積み状態のトレイ３が載置されている。また、分割コンベヤ２５に空のトレイ３が段積みされているときに、分割コンベヤ２１～２４の少なくともいずれか１つの分割コンベヤ２１～２４に段積み状態の空のトレイ３が載置されていることがある。

　コンベヤ４の、最も後ろ側に配置される分割コンベヤ２０は、左右方向におけるトレイ３の移動を規制するガイド部材２７を備えている（図３参照）。ガイド部材２７は、分割コンベヤ２０の左右方向の両側に配置されている。右側に配置されるガイド部材２７のガイド面と左側に配置されるガイド部材２７のガイド面との左右方向の距離は、トレイ３の左右方向の幅とほぼ等しくなっている。また、分割コンベヤ２０は、トレイ３の後端が当接する当接部材２８を備えている。当接部材２８は、分割コンベヤ２０の後端に配置されている。すなわち、当接部材２８は、コンベヤ４によるトレイ３の搬送方向の下流端に配置されている。

　本形態では、コンベヤ４は、ロボット８によるトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送前にトレイ３を後ろ側に搬送して当接部材２８にトレイ３を当接させる。すなわち、ロボット８によるトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送が行われるときには毎回、トレイ３が当接部材２８に当接するまで後ろ側に搬送された後、ロボット８によるトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送が行われる。

　分割コンベヤ２０には、コンベヤ４上のトレイ３の段数を検知する段数検知機構２９が取り付けられている。段数検知機構２９は、左右方向における分割コンベヤ２０の両端側に取り付けられている。図３、図４に示すように、段数検知機構２９は、トレイ３の有無を検知するセンサ３０と、センサ３０を昇降させる昇降機構３１とを備えている。センサ３０は、反射型の光学式センサであり、センサ３０の発光素子は、左右方向における分割コンベヤ２０の中心に向かって光を射出する。昇降機構３１は、モータ３２およびモータ３２の回転運動を上下方向の直線運動に変換するボールネジ（図示省略）等を備えている。なお、センサ３０は、透過型の光学式センサであっても良いし、近接センサ等であっても良い。

　コンベヤ４上のトレイ３の段数を段数検知機構２９で検知する際には、センサ３０を上限位置まで移動させた後、センサ３０でトレイ３が検知されるまでセンサ３０を下降させる。また、センサ３０でトレイ３が検知されたときのモータ３２の回転位置に基づいて、コンベヤ４上のトレイ３の段数が検知される。なお、分割コンベヤ２５には、段数検知機構２９は取り付けられていないが、分割コンベヤ２５に段数検知機構２９が取り付けられていても良い。

　（トレイステージの構成）
　トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ６、７は、本体フレーム１１に固定されている。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。また、トレイステージ６は、分割コンベヤ２０のすぐ後ろに配置され、トレイステージ７は、分割コンベヤ２５のすぐ後ろに配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。このトレイステージ６、７の上面は、コンベヤ４、５の上面よりも上側に配置されている。

　（ロボットの構成および動作）
　図５は、図１に示すロボット９の斜視図である。

　ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。このロボット８は、門型に形成される本体フレーム３５と、本体フレーム３５に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム３５に保持される可動フレーム３６と、可動フレーム３６に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム３６に保持される可動フレーム３７と、可動フレーム３７に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム３７に保持される可動フレーム３８と、可動フレーム３８に取り付けられるトレイ把持部３９とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム３６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム３８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　本体フレーム３５の高さは、コンベヤ４、５の高さよりも高くなっている。本体フレーム３５は、前後方向から見たときに、左右方向で隣接配置されるコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。すなわち、本体フレーム３５は、左右方向でコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。また、本体フレーム３５は、分割コンベヤ１９、２４の後端側部分および分割コンベヤ２０、２５の前端側部分を跨ぐように配置されている。

　可動フレーム３６は、本体フレーム３５の上面側に取り付けられており、コンベヤ４、５よりも上側に配置されている。また、可動フレーム３６は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３よりも上側に配置されている。可動フレーム３７は、可動フレーム３６の右側に取り付けられている。可動フレーム３８は、可動フレーム３７の後端側に取り付けられている。また、本体フレーム３５は、本体フレーム１１の上面１１ａから立ち上がるように上面１１ａに固定されている。すなわち、ロボット８は、上面１１ａから立ち上がるように上面１１ａに設置されている。

　トレイ把持部３９は、可動フレーム３８の下端に取り付けられている。このトレイ把持部３９は、図４に示すように、トレイ３を吸着する複数の吸着部４０と、トレイ３を下側から支持するための爪部４１と、爪部４１を移動させる爪移動機構４２とを備えている。吸着部４０は、トレイ３の上面に接触してトレイ３を真空吸着する。爪部４１は、トレイ把持部３９の前後方向の中心位置に配置されるとともに左右方向の両側に配置されている。爪移動機構４２は、エアシリンダであり、爪部４１を左右方向へ移動させる。ロボット８がトレイ３を搬送するときには、搬送されるトレイ３の下側に爪部４１が配置されるまで爪部４１が左右方向の内側へ移動する。また、ロボット８がトレイ３を搬送するときには、吸着部４０がトレイ３の上面を吸着して把持する。

　ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、分割コンベヤ２０上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７から分割コンベヤ２５に搬送して、分割コンベヤ２５上で積み重なるトレイ３の段数が所定の段数になるまで分割コンベヤ２５にトレイ３を段積みする。

　ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット９は、本体部４５と、本体部４５に連結される３本のレバー４６と、３本のレバー４６のそれぞれに連結される３個のアーム部４７と、３個のアーム部４７に連結される可動部としてのヘッドユニット４８と、ヘッドユニット４８に取り付けられるパネル把持部４９とを備えている。本体部４５は、本体フレーム１２の上面部１２ａに固定されている。また、ロボット９は、上面部１２ａの下側に配置されている。すなわち、ロボット９は、上面部１２ａにぶら下がるように上面部１２ａに設置されている。また、本体部４５は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム３５よりも後ろ側に配置されている。

　３本のレバー４６は、本体部４５の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部４５に連結されている。すなわち、３本のレバー４６は、本体部４５の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部４５に連結されている。また、３本のレバー４６の基端側は、本体部４５に回動可能に連結されている。本体部４５とレバー４６との連結部には、レバー４６を回動させる回動駆動機構としての減速機付きのモータ５０が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー４６のそれぞれを回動させる３個のモータ５０を備えている。モータ５０の出力軸は、レバー４６の基端側に固定されている。

　アーム部４７の基端側は、レバー４６の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部４７は、互いに平行な直線状の２本のアーム５２を備えており、２本のアーム５２のそれぞれの基端側がレバー４６の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット４８は、３個のアーム部４７の先端側に回動可能に連結されている。すなわち、ヘッドユニット４８は、６本のアーム５２の先端側に回動可能に連結されている。

　パネル把持部４９は、ヘッドユニット４８の下端に取り付けられている。このパネル把持部４９は、液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えており、この吸着部によって液晶パネル２の上面を吸着することで液晶パネル２を把持する。また、ヘッドユニット４８の上端には、モータ５３が取り付けられている。パネル把持部４９は、モータ５３に連結されており、モータ５３の動力によって、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。

　ロボット９では、３個のモータ５０を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット４８が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部４９が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット４８を移動させることが可能になっている。

　ロボット９は、トレイステージ６に載置されたトレイ３またはトレイステージ７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、ロボット９は、トレイ３から搬出した液晶パネル２を後述のパネルステージ６４へ搬送する。

　（供給ユニットの構成および動作）
　図６は、図１に示す供給ユニット１０の斜視図である。図７は、図６に示す供給ユニット１０の平面図である。

　供給ユニット１０は、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置５６と、データ読取装置５６で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをするアライメント装置５７と、データ読取装置５６でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１５へ搬送するロボット５８と、処理装置１５へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー（静電気除去装置）５９と、アライメント装置５７で位置合わせされた後の液晶パネル２をロボット５８に向かって搬送する搬送装置６０と、アライメント装置５７で位置合わせされた液晶パネル２を搬送装置６０に搬送するロボット６１と、これらの構成が載置されて固定されるベース板６２とを備えている。

　アライメント装置５７は、ベース板６２の左端側に載置されている。ロボット５８は、ベース板６２の右端側に載置されている。データ読取装置５６およびイオナイザー５９は、ベース板６２の、左右方向における中心位置に載置されている。搬送装置６０は、左右方向においてアライメント装置５７とロボット５８との間に配置されている。ロボット６１は、アライメント装置５７の右側に隣接配置されている。ベース板６２は、本体フレーム１１の上面１１ａの後端側部分に載置されて固定されている。

　アライメント装置５７は、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されるパネルステージ６４と、パネルステージ６４を回動可能に保持する可動フレーム６５と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６５を保持する可動フレーム６６と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６５を保持する固定フレーム６７と、可動フレーム６５に対してパネルステージ６４を回動させる回動機構と、可動フレーム６６に対して可動フレーム６５を左右方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム６７に対して可動フレーム６６を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。パネルステージ６４は、パネルステージ６４の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム６７は、ベース板６２に固定されている。

　また、アライメント装置５７は、パネルステージ６４の上方に配置されるカメラ６８および照明６９を備えている。照明６９は、前後方向に配列される複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）を有するバー照明である。この照明６９は、カメラ６８より下側に配置されるとともにカメラ６８の視野から外れた位置に配置されている。本形態では、照明６９は、カメラ６８の左下側に配置されている。照明６９は、パネルステージ６４に間接光を照射する。

　カメラ６８は、パネルステージ６４に載置された液晶パネル２のエッジ（具体的には、長方形状に形成される液晶パネル２の角部）を検知する。このカメラ６８は、偏光フィルタを備えている。また、パネルステージ６４の上面には、偏光板（偏光フィルム）が貼り付けられている。カメラ６８の偏光フィルタの位相とパネルステージ６４の偏光板の位相とは９０°ずれており、カメラ６８に写るパネルステージ６４は黒くなる。そのため、本形態では、カメラ６８に写る液晶パネル２のエッジとパネルステージ６４の上面とのコントラストが高くなり、カメラ６８によって液晶パネル２のエッジを正確に検知することが可能となっている。

　アライメント装置５７は、ロボット９によって搬出された液晶パネル２がパネルステージ６４に載置されると、カメラ６８によって液晶パネル２のエッジを検知する。また、アライメント装置５７は、カメラ６８による液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて、パネルステージ６４の回動動作、左右方向への可動フレーム６５のスライド動作および前後方向への可動フレーム６６のスライド動作の少なくともいずれか１つの動作を行って、液晶パネル２の位置合わせを行う。すなわち、アライメント装置５７は、液晶パネル２のエッジを検知するとともに液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせをする。

　搬送装置６０は、液晶パネル２が載置される２個のスライドステージ７０と、２個のスライドステージ７０が固定される可動フレーム７１と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム７１を保持する固定フレーム７２と、固定フレーム７２に対して可動フレーム７１を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。２個のスライドステージ７０は、左右方向で隣接配置されている。スライドステージ７０は、スライドステージ７０の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム７２は、ベース板６２に固定されている。

　ロボット６１は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部７３と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部７３を保持する可動フレーム７４と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム７４を保持する固定フレーム７５と、可動フレーム７４に対してパネル把持部７３を昇降させる昇降機構と、固定フレーム７５に対して可動フレーム７４を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム７５は、ベース板６２に固定されている。パネル把持部７３は、前後方向においてスライドステージ７０と同じ位置に配置されている。

　ロボット６１は、アライメント装置５７で位置合わせされた後の液晶パネル２をパネルステージ６４からスライドステージ７０に搬送する。具体的には、ロボット６１は、パネルステージ６４上の液晶パネル２の上面をパネル把持部７３で真空吸着して把持し、左端側まで移動して停止している２個のスライドステージ７０のそれぞれにパネルステージ６４から液晶パネル２を順次、搬送する。また、２個のスライドステージ７０のそれぞれに液晶パネル２が載置されると、搬送装置６０は、右方向へスライドステージ７０を移動させて、液晶パネル２を搬送装置６０の右端側まで搬送する。

　パネル把持部７３は、カメラ６８よりも後ろ側に配置されている。また、カメラ６８による液晶パネル２のエッジの検知は、カメラ６８の真下にパネルステージ６４が配置された状態で行われ、パネル把持部７３による液晶パネル２の真空吸着は、パネル把持部７３の真下にパネルステージ６４が配置された状態で行われる。本形態では、アライメント装置５７は、カメラ６８によって液晶パネル２のエッジを検知した後、液晶パネル２の位置合わせを行いながら、カメラ６８の真下からパネル把持部７３の真下までパネルステージ６４を移動させる。すなわち、本形態では、アライメント装置５７は、液晶パネル２の位置合わせを行いながら、パネル把持部７３によって真空吸着される位置まで液晶パネル２を搬送する。

　ロボット５８は、液晶パネル２を真空吸着して把持する２個のパネル把持部７６と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部７６を保持する可動フレーム７７と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム７７を保持する固定フレーム７８と、可動フレーム７７に対してパネル把持部７６を昇降させる昇降機構と、固定フレーム７８に対して可動フレーム７７を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。２個のパネル把持部７６は、左右方向で隣接配置されている。左右方向における２個のパネル把持部７６のピッチは、左右方向における２個のスライドステージ７０のピッチと等しくなっている。固定フレーム７８は、ベース板６２に固定されている。

　ロボット５８は、搬送装置６０によって搬送装置６０の右端側まで搬送された液晶パネル２を処理装置１５に搬入する。具体的には、ロボット５８は、２個のスライドステージ７０のそれぞれに載置される２個の液晶パネル２のそれぞれの上面を２個のパネル把持部７６のそれぞれで真空吸着して把持し、スライドステージ７０から２枚の液晶パネル２を一緒に処理装置１５に搬入する。

　データ読取装置５６は、二次元コードや一次元コード等の光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ８１と、カメラ８１が取り付けられる可動フレーム８２と、上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム８２を保持する可動フレーム８３と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム８３を保持する可動フレーム８４と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム８４を保持する固定フレーム８５と、可動フレーム８３に対して可動フレーム８２を昇降させる昇降機構と、可動フレーム８４に対して可動フレーム８３を左右方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム８５に対して可動フレーム８４を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム８５は、ベース板６２に固定されている。また、データ読取装置５６は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。

　上述のように、データ読取装置５６は、ベース板６２の、左右方向における中心位置に載置されている。データ読取装置５６は、アライメント装置５７での位置調整後に搬送装置６０によって右方向へ搬送される液晶パネル２に記録されたデータを読み取る。すなわち、データ読取装置５６は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３からロボット９によって搬出された後の液晶パネル２のデータを読み取る。データ読取装置５６でのデータの読取時には、カメラ８１の下方に液晶パネル２が配置されるように搬送装置６０が一次停止する。データ読取装置５６で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされる。

　イオナイザー５９は、搬送装置６０の上方に配置されている。また、イオナイザー５９は、カメラ８１よりも右側に配置されており、データ読取装置５６でデータが読み取られた後の液晶パネル２の静電気を除去する。

　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、ロボット８は、分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６、７に１個ずつ搬送して、分割コンベヤ２０上の段積み状態のトレイ３を段ばらしている。すなわち、本形態では、ロボット８によって自動でトレイ３の段ばらしを行っている。そのため、本形態では、トレイ３の段ばらし作業のばらつきを抑制することが可能になり、トレイ３の段ばらし作業を安定させることが可能になる。したがって、本形態では、トレイ３の段ばらしを行うときの液晶パネル２の損傷を抑制することが可能になる。

　また、本形態では、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３の中の液晶パネル２は、ロボット９によって供給ユニット１０に搬入され、その後、ロボット６１、搬送装置６０およびロボット５８によって搬送されて処理装置１５に搬入されている。すなわち、本形態では、段ばらしされた後のトレイ３から液晶パネル２を自動で処理装置１５に搬送している。そのため、本形態では、液晶パネル２の搬送作業のばらつきを抑制することが可能になり、液晶パネル２の搬送作業を安定させることが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２の搬送時の液晶パネル２の損傷を抑制することが可能になる。また、本形態では、自動でトレイ３の段ばらしや段積みを行うとともに、段ばらしされた後のトレイ３から液晶パネル２を自動で処理装置１５に搬送しているため、人件費を削減することが可能になる。

　本形態では、データ読取装置５６で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされている。また、本形態では、データ読取装置５６でデータが読み取られた後の液晶パネル２が処理装置１５へ搬送されている。そのため、本形態では、個別データが紐付けされた液晶パネル２を処理装置１５へ供給することが可能になり、その結果、処理装置１５において、個別データに基づいて液晶パネル２を適切に処理することが可能になる。また、本形態では、データ読取装置５６で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２がアライメント装置５７で位置合わせされているため、液晶パネル２のデータをデータ読取装置５６で確実かつ正確に読み取ることが可能になる。

　本形態では、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送するコンベヤ４と、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送するコンベヤ５とが個別に設置されており、液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ３の後ろ側への搬送と、段積み状態の空のトレイ３の前側への搬送とを個別に行うことが可能となっている。そのため、本形態では、液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ３の後ろ側への搬送と、段積み状態の空のトレイ３の前側への搬送とが共通のコンベヤによって行われる場合と比較して、搬送システム１でのサイクルタイムを短縮することが可能になる。

　また、本形態では、２個のトレイステージ６、７が設置されているため、たとえば、トレイステージ６上のトレイ３からロボット９によって液晶パネル２の搬出を行いながら、ロボット８によってトレイステージ７からコンベヤ５に空のトレイ３を搬送するとともにコンベヤ４からトレイステージ７に液晶パネル２が収容されたトレイ３を搬送することが可能になる。すなわち、トレイステージ６上のトレイ３からロボット９によって液晶パネル２の搬出を行いながら、ロボット８によってトレイステージ７上のトレイ３の入替を行うことが可能になる。したがって、本形態では、設置されるトレイステージの数が１個である場合と比較して、搬送システム１でのサイクルタイムを短縮することが可能になる。

　本形態では、ロボット８は、本体フレーム１１の上面１１ａから立ち上がるように上面１１ａに設置され、ロボット９は、ロボット８の上端よりも上側に配置される本体フレーム１２の上面部１２ａにぶら下がるように上面部１２ａに設置されている。そのため、本形態では、ロボット８とロボット９とを同時に動作させたときの、ロボット８とロボット９との干渉を防止しやすくなる。また、本形態では、ロボット９がいわゆるパラレルリンクロボットであるため、トレイ３からの液晶パネル２の搬出を比較的高速で行うことが可能になる。

　本形態では、ロボット８が、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行っている。そのため、本形態では、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送を行うロボットと、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送を行うロボットとが個別に設けられている場合と比較して搬送システム１の構成を簡素化することが可能になる。

　本形態では、分割コンベヤ２０は、左右方向におけるトレイ３の移動を規制するガイド部材２７を備えている。また、本形態では、分割コンベヤ２０は、トレイ３の後端が当接する当接部材２８を備えており、コンベヤ４は、ロボット８によるトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送前にトレイ３を後ろ側に搬送して当接部材２８にトレイ３を当接させている。そのため、本形態では、ロボット８によってトレイステージ６、７に搬送される前のトレイ３をコンベヤ４上で位置決めすることが可能になる。したがって、本形態では、トレイステージ６、７にトレイ３を精度良く載置することが可能になる。

　本形態では、コンベヤ４上のトレイ３の段数を検知する段数検知機構２９が分割コンベヤ２０に取り付けられている。そのため、本形態では、段数検知機構２９での検知結果に基づいてロボット８を動作させることでロボット８のトレイ把持部３９とトレイ３との衝突を防止することが可能になる。また、本形態では、コンベヤ４は、個別に駆動可能な５個の分割コンベヤ１６～２０によって構成され、コンベヤ５は、個別に駆動可能な５個の分割コンベヤ２１～２５によって構成されているため、複数の、段積みされたトレイ３を前後方向において個別に搬送することが可能になる。したがって、本形態では、コンベヤ４、５の使い勝手が良くなる。

　［実施の形態２］
　（搬送システムの全体構成）
　図８は、本発明の実施の形態２にかかる搬送システム９１の側面図である。図９は、図８のＦ－Ｆ方向から搬送システム９１を示す平面図である。

　本形態の搬送システム９１は、実施の形態１の搬送システム１と同様に小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。この搬送システム９１は、処理装置１５から排出される液晶パネル２を搬送する。また、搬送システム９１は、小型の液晶パネル２を搬送する。本形態では、処理装置１５の後ろ側に搬送システム９１が配置されている。以下の説明では、実施の形態１と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。

　搬送システム９１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する４個のコンベヤ９４～９７を備えている。コンベヤ９４～９７は、実施の形態１のコンベヤ４、５と同様に、複数段に積み重なったトレイ３（段積みされたトレイ３）を前後方向へ搬送する。また、搬送システム９１は、搬送システム１と同様に、ロボット８、９を備えている。なお、本形態のロボット８の本体フレーム３５の左右方向の幅は、実施の形態１のロボット８の本体フレーム３５の左右方向の長さよりも長くなっており、本形態の可動フレーム３６の左右方向の可動量は、実施の形態１の可動フレーム３６の可動量よりも大きくなっている。ただし、この点を除けば、本形態のロボット８は、実施の形態１のロボット８と同様に構成されている。

　また、搬送システム９１は、トレイ３が載置される４個のトレイステージ９８～１０１と、処理装置１５から排出される液晶パネル２を受け取ってロボット９に受け渡す排出ユニット１０２とを備えている。トレイステージ９８～１０１は、コンベヤ９４～９７よりも前側に配置されている。排出ユニット１０２は、トレイステージ９８～１０１よりも前側に配置されている。さらに、搬送システム９１は、搬送システム１と同様に、本体フレーム１１、１２を備えている。

　（コンベヤの構成および動作）
　コンベヤ４、５と同様に、コンベヤ９４～９７は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ９４、コンベヤ９５、コンベヤ９６およびコンベヤ９７は、右側から左側に向かってこの順番に配置されており、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ９４、９５は、段積みされたトレイ３を前側へ向かって搬送し、コンベヤ９６、９７は、段積みされたトレイ３を後ろ側に向かって搬送する。すなわち、コンベヤ９４、９５は、トレイステージ９８～１０１に近づく方向へトレイ３を搬送し、コンベヤ９６、９７は、トレイステージ９８～１０１から離れる方向へトレイ３を搬送する。

　コンベヤ９４、９５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ９４、９５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。一方、コンベヤ９６、９７で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。本形態のコンベヤ９４、９５は、供給側コンベヤであり、コンベヤ９６、９７は、排出側コンベヤである。なお、コンベヤ９４～９７は、ベルトコンベヤ等であっても良い。

　コンベヤ９４、９５は、前後方向で分割された３個の分割コンベヤ１８～２０によって構成されている。分割コンベヤ１８～２０は、後ろ側から前側に向かってこの順番で配置されている。同様に、コンベヤ９６、９７は、前後方向で分割された３個の分割コンベヤ２３～２５によって構成されている。分割コンベヤ２３～２５は、後ろ側から前側に向かってこの順番で配置されている。上述のように、分割コンベヤ１８～２０、２３～２５のそれぞれは、モータとモータの動力をローラに伝達する動力伝達機構とを備えており、分割コンベヤ１８～２０、２３～２５は、個別に駆動可能となっている。

　分割コンベヤ１８には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態の空のトレイ３が載置される。分割コンベヤ１８に載置された段積み状態のトレイ３は、コンベヤ９４、９５によって前側へ搬送される。分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態のトレイ３は、ロボット８によって段ばらしされる。また、分割コンベヤ２５には、液晶パネル２が収容されたトレイ３がロボット８によって段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、コンベヤ９６、９７によって後ろ側に搬送される。分割コンベヤ２３まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって仮置き用の棚まで運ばれる。

　なお、段積み状態のトレイ３が分割コンベヤ１８に載置されるときには、通常、分割コンベヤ１９、２０の少なくともいずれか一方の分割コンベヤ１９、２０に段積み状態のトレイ３が載置されている。また、分割コンベヤ２５にトレイ３が段積みされているときに、分割コンベヤ２３、２４の少なくともいずれか１つの分割コンベヤ２３、２４に段積み状態のトレイ３が載置されていることがある。

　実施の形態１と同様に、分割コンベヤ２０は、ガイド部材２７を備えている。また、分割コンベヤ２０は、当接部材２８を備えている。当接部材２８は、分割コンベヤ２０の前端に配置されている。すなわち、当接部材２８は、コンベヤ９４、９５によるトレイ３の搬送方向の下流端に配置されている。実施の形態１と同様に、コンベヤ９４、９５は、ロボット８によるトレイステージ９８～１０１へのトレイ３の搬送前にトレイ３を前側に搬送して当接部材２８にトレイ３を当接させる。また、分割コンベヤ２０には、実施の形態１と同様に、段数検知機構２９が取り付けられている。

　（トレイステージの構成および動作）
　図１０は、図９に示すトレイステージ９８～１０１の斜視図である。

　トレイステージ９８～１０１には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ９８～１０１の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。また、トレイステージ９８～１０１の上面は、コンベヤ９４～９７の上面よりも上側に配置されている。トレイステージ９８、９９は、本体フレーム１１に固定されている。トレイステージ９８とトレイステージ９９とは、左右方向で隣接配置されている。本形態では、トレイステージ９８が右側に配置され、トレイステージ９９が左側に配置されている。

　また、搬送システム９１は、トレイステージ１００を左右方向および前後方向へ移動させるステージ移動機構１０５と、トレイステージ１０１を左右方向および前後方向へ移動させるステージ移動機構１０６とを備えている。すなわち、搬送システム９１は、２個のトレイステージ１００、１０１を個別に移動させる２個のステージ移動機構１０５、１０６を備えている。本形態のトレイステージ９８、９９は、固定トレイステージであり、トレイステージ１００、１０１は、左右方向と前後方向とに移動可能な可動トレイステージである。

　ステージ移動機構１０５は、左右方向へのスライドが可能となるようにトレイステージ１００を保持する可動フレーム１０７と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１０７を保持する固定フレーム１０８と、可動フレーム１０７に対してトレイステージ１００を左右方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム１０８に対して可動フレーム１０７を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。同様に、ステージ移動機構１０６は、左右方向へのスライドが可能となるようにトレイステージ１０１を保持する可動フレーム１０９と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１０９を保持する固定フレーム１１０と、可動フレーム１０９に対してトレイステージ１０１を左右方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム１１０に対して可動フレーム１０９を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　ステージ移動機構１０５は、トレイステージ９８の右側にトレイステージ１００が配置される第１位置（図９の二点鎖線で示す位置）と、前後方向においてトレイステージ９８の右端側部分の前にトレイステージ１００の左端側部分が配置される第２位置（図９の実線で示す位置）との間でトレイステージ１００を移動させる。すなわち、ステージ移動機構１０５は、左右方向においてトレイステージ９８と並ぶ第１位置と、前後方向においてトレイステージ９８の一部と重なる第２位置との間でトレイステージ１００を移動させる。

　ステージ移動機構１０６は、トレイステージ９９の左側にトレイステージ１０１が配置される第１位置（図９の二点鎖線で示す位置）と、前後方向においてトレイステージ９９の左端側部分の前にトレイステージ１０１の右端側部分が配置される第２位置（図９の実線で示す位置）との間でトレイステージ１０１を移動させる。すなわち、ステージ移動機構１０６は、左右方向においてトレイステージ９９と並ぶ第１位置と、前後方向においてトレイステージ９９の一部と重なる第２位置との間でトレイステージ１０１を移動させる。

　（ロボットの構成および動作）
　上述のように、本形態のロボット８の本体フレーム３５の左右方向の幅は、実施の形態１のロボット８の本体フレーム３５の左右方向の長さよりも長くなっており、本形態の可動フレーム３６の左右方向の可動量は、実施の形態１の可動フレーム３６の可動量よりも大きくなっている。本体フレーム３５は、左右方向でコンベヤ９４～９７を跨ぐように設置されている。また、本体フレーム３５は、分割コンベヤ１９、２４の前端側部分および分割コンベヤ２０、２５の後端側部分を跨ぐように配置されている。

　ロボット８は、コンベヤ９４、９５からトレイステージ９８～１０１へのトレイ３の搬送と、トレイステージ９８～１０１からコンベヤ９６、９７へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、分割コンベヤ２０まで搬送された段積み状態の空のトレイ３をトレイステージ９８～１０１に１個ずつ搬送して、分割コンベヤ２０上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、所定個数の液晶パネル２が収容された１個のトレイ３をトレイステージ９８～１０１から分割コンベヤ２５に搬送して、分割コンベヤ２５上で積み重なるトレイ３の段数が所定の段数になるまで分割コンベヤ２５にトレイ３を段積みする。

　本形態では、ロボット８によって、コンベヤ９４～９７とトレイステージ１００との間でトレイ３の搬送が行われるときには、トレイステージ１００は、図９の二点鎖線で示す第１位置に配置されている。同様に、ロボット８によって、コンベヤ９４～９７とトレイステージ１０１との間でトレイ３の搬送が行われるときには、トレイステージ１０１は、図９の二点鎖線で示す第１位置に配置されている。なお、本形態では、図９の実線で示す第２位置に配置されたトレイステージ１００、１０１は、ロボット８の動作範囲から外れている。

　ロボット９は、トレイステージ９８に載置されたトレイ３、トレイステージ９９に載置されたトレイ３、トレイステージ１００に載置されたトレイ３またはトレイステージ１０１に載置されたトレイ３に液晶パネル２を１枚ずつ搬入する。具体的には、ロボット９は、後述のパネルステージ１１３から搬出した液晶パネル２を１枚ずつ、トレイステージ９８～１０１に載置されたトレイ３に搬入する。また、ロボット９は、所定個数の液晶パネル２がトレイ３に収容されるまで、液晶パネル２を搬入する。

　本形態では、ロボット９によって、トレイステージ１００に載置されたトレイ３に液晶パネル２が搬入されるときには、トレイステージ１００は、図９の実線で示す第２位置に配置されている。同様に、ロボット９によって、トレイステージ１０１に載置されたトレイ３に液晶パネル２が搬入されるときには、トレイステージ１０１は、図９の実線で示す第２位置に配置されている。なお、本形態では、図９の二点鎖線で示す第１位置に配置されたトレイステージ１００、１０１は、ロボット９の動作範囲から外れている。

　（排出ユニットの構成および動作）
　図１１は、図８に示す排出ユニット１０２の斜視図である。図１２は、図１１に示す排出ユニット１０２の平面図である。

　排出ユニット１０２は、液晶パネル２が載置されるパネルステージ１１１～１１３を備えている。本形態の排出ユニット１０２は、左右方向で隣接配置される一対（２個）のパネルステージ１１１と、左右方向で隣接配置される一対のパネルステージ１１２と、左右方向で隣接配置される一対のパネルステージ１１３とを備えている。パネルステージ１１１～１１３は、ベース板１１４の左端側に固定されている。一対のパネルステージ１１１～１１３は、前側から後ろ側に向かってこの順番で、かつ、一定のピッチで配置されている。また、一対のパネルステージ１１１～１１３は、左右方向において同じ位置に配置されている。パネルステージ１１１～１１３は、パネルステージ１１１～１１３の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。

　また、排出ユニット１０２は、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置１１６と、処理装置１５から排出された液晶パネル２をパネルステージ１１１に搬送するロボット１１７と、パネルステージ１１１に載置された液晶パネル２をパネルステージ１１２、１１３に搬送するロボット１１８と、トレイ３に搬入される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー５９とを備えている。これらの構成は、ベース板１１４に載置されて固定されている。ベース板１１４は、本体フレーム１１の上面１１ａの前端側部分に載置されて固定されている。イオナイザー５９は、パネルステージ１１１の上方に配置されており、パネルステージ１１１に載置された液晶パネル２の静電気を除去する。

　ロボット１１７は、液晶パネル２を真空吸着して把持する２個のパネル把持部１２１と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部１２１を保持する可動フレーム１２２と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１２２を保持する固定フレーム１２３と、可動フレーム１２２に対してパネル把持部１２１を昇降させる昇降機構と、固定フレーム１２３に対して可動フレーム１２２を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　固定フレーム１２３は、ベース板１１４に固定されている。２個のパネル把持部１２１は、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。２個のパネル把持部１２１は、前後方向においてパネルステージ１１１と同じ位置に配置されている。ロボット１１７は、処理装置１５から排出された２枚の液晶パネル２をパネル把持部１２１で真空吸着して把持し、パネルステージ１１１まで搬送する。なお、処理装置１５から排出される液晶パネル２は、処理装置１５の内部に設けられたアライメント機構によって位置合わせされている。

　ロボット１１８は、液晶パネル２を真空吸着して把持する２個のパネル把持部１２４と、液晶パネル２を真空吸着して把持する２個のパネル把持部１２５と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部１２４、１２５を保持する可動フレーム１２６と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１２６を保持する固定フレーム１２７と、可動フレーム１２６に対してパネル把持部１２４、１２５を昇降させる昇降機構と、固定フレーム１２７に対して可動フレーム１２６を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム１２７は、ベース板１１４に固定されている。

　２個のパネル把持部１２４は、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置され、２個のパネル把持部１２５は、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。パネル把持部１２４とパネル把持部１２５とは、前後方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。本形態では、パネル把持部１２４が前側に配置され、パネル把持部１２５が後ろ側に配置されている。前後方向におけるパネル把持部１２４とパネル把持部１２５とのピッチは、前後方向におけるパネルステージ１１１～１１３のピッチと等しくなっている。また、パネル把持部１２４、１２５は、左右方向においてパネルステージ１１１～１１３と同じ位置に配置されている。

　ロボット１１８は、パネルステージ１１１に載置された液晶パネル２をパネルステージ１１２、パネルステージ１１３に順次搬送する。具体的には、パネル把持部１２４が、パネルステージ１１１に載置された液晶パネル２をパネルステージ１１２に搬送し、パネル把持部１２５が、パネルステージ１１２に載置された液晶パネル２をパネルステージ１１３に搬送する。パネルステージ１１３に載置された液晶パネル２は、ロボット９によって、トレイステージ９８～１０１に載置されたトレイ３まで搬送される。

　データ読取装置１１６は、２個のカメラ８１と、上下方向へのスライドが可能となるように２個のカメラ８１のそれぞれを保持する２個の可動フレーム１２９と、左右方向へのスライドが可能となるように２個の可動フレーム１２９を保持する可動フレーム１３０と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１３０を保持する可動フレーム１３１と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１３１を保持する固定フレーム１３２と、２個の可動フレーム１２９のそれぞれに対して２個のカメラ８１のそれぞれを昇降させる昇降機構と、可動フレーム１３０に対して２個の可動フレーム１２９のそれぞれを左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１３１に対して可動フレーム１３０を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム１３２に対して可動フレーム１３１を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム１３２は、ベース板１１４に固定されている。また、データ読取装置１１６は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。

　データ読取装置１１６は、ベース板１１４の、前後方向における中心位置に載置されており、パネルステージ１１２に載置される液晶パネル２に記録されたデータを読み取る。すなわち、データ読取装置１１６は、ロボット９によってトレイステージ９８～１０１上のトレイ３に搬入される前の液晶パネル２のデータを読み取る。データ読取装置１１６で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされる。

　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、ロボット８は、液晶パネル２が収容された１個のトレイ３をトレイステージ９８～１０１から分割コンベヤ２５に搬送して、分割コンベヤ２５にトレイ３を段積みしている。すなわち、本形態では、ロボット８によって自動でトレイ３の段積みを行っている。そのため、本形態では、トレイ３の段積み作業のばらつきを抑制することが可能になり、トレイ３の段積み作業を安定させることが可能になる。したがって、本形態では、トレイ３の段積みを行うときの液晶パネル２の損傷を抑制することが可能になる。

　本形態では、トレイステージ１００、１０１は、図９の二点鎖線で示す第１位置と、図９の実線で示す第２位置との間で移動可能となっている。そのため、本形態では、第２位置に配置されたトレイステージ１００、１０１がロボット８の動作範囲から外れており、かつ、第１位置に配置されたトレイステージ１００、１０１がロボット９の動作範囲から外れていても、ロボット８によってコンベヤ９４～９７とトレイステージ１００、１０１との間でトレイ３を搬送することが可能になるとともに、ロボット９によってトレイステージ１００、１０１上のトレイ３に液晶パネル２を搬入することが可能になる。すなわち、本形態では、ロボット８の可動範囲やロボット８の可動範囲を狭くしても、ロボット８によってコンベヤ９４～９７とトレイステージ１００、１０１との間でトレイ３を搬送することが可能になるとともに、ロボット９によってトレイステージ１００、１０１上のトレイ３に液晶パネル２を搬入することが可能になる。

　また、本形態では、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。たとえば、本形態では、処理装置１５から排出された液晶パネル２は、ロボット１１７、１１８によってトレイステージ１１３まで搬送された後、ロボット９によってトレイステージ９８～１０１上のトレイ３に搬入されているため、液晶パネル２の搬送作業のばらつきを抑制することが可能になり、液晶パネル２の搬送作業を安定させることが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２の搬送時の液晶パネル２の損傷を抑制することが可能になる。

　また、たとえば、本形態では、データ読取装置１１６で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされ、データ読取装置１１６でデータが読み取られた後の液晶パネル２がトレイステージ９８～１０１上のトレイ３に搬入されているため、個別データが紐付けされた液晶パネル２をトレイ３に収容することが可能になる。

　［実施の形態１の変形例］
　図１３は、実施の形態１の変形例にかかる供給ユニット１４０の斜視図である。図１４
は、図１３に示す供給ユニット１４０の平面図である。

　実施の形態１の搬送システム１では、小型の液晶パネル２が搬送されているが、搬送システム１において、中型の液晶パネル２（たとえば、１５インチの液晶パネル２）が搬送されても良い。搬送システム１で搬送される液晶パネル２が小型である場合には、搬送システム１で搬送される液晶パネル２が中型である場合と比較して、一般に、供給ユニット１０で要求されるサイクルタイムは短くなる。供給ユニット１０は、供給ユニット１０でのサイクルタイムを短縮するために、パネルステージ６４と可動フレーム６５、６６と固定フレーム６７とロボット６１とを備えている。

　これに対して、搬送システム１で搬送される液晶パネル２が中型である場合には、パネルステージ６４に相当する構成、可動フレーム６５、６６に相当する構成、固定フレーム６７に相当する構成およびロボット６１に相当する構成を備えていない供給ユニット１４０が、供給ユニット１０に代えて設置されても良い。以下、供給ユニット１４０の構成を説明する。なお、以下の説明では、実施の形態１と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。

　供給ユニット１４０は、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置１４６と、データ読取装置１４６でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１５へ搬送するロボット１４８と、処理装置１５へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー５９と、データ読取装置１４６でデータが読み取られた後の液晶パネル２をロボット１４８に向かって搬送する搬送装置１５０とを備えている。

　データ読取装置１４６、ロボット１４８、イオナイザー５９および搬送装置１５０は、ベース板１５２に載置されて固定されている。データ読取装置１４６は、ベース板１５２の左端側に載置されている。ロボット１４８は、ベース板１５２の右端側に載置されている。イオナイザー５９は、ベース板１５２の、左右方向における中心位置に載置されている。搬送装置１５０は、左右方向においてデータ読取装置１４６とロボット１４８との間に配置されている。ベース板１５２は、本体フレーム１１の上面１１ａの後端側部分に載置されて固定されている。

　また、供給ユニット１４０は、データ読取装置１４６で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをするための２個のカメラ６８および２個の照明６９を備えている。カメラ６８および照明６９は、搬送装置１５０の前側に配置されている。また、カメラ６８および照明６９は、上下方向から見たときにトレイステージ６とトレイステージ７との間に配置されている。また、カメラ６８および照明６９は、本体フレーム１１の上面１１ａに固定されるベース板１５３に載置されており、カメラ６８は、液晶パネル２の下側から液晶パネル２のエッジを検知する。

　カメラ６８は、長方形状に形成される液晶パネル２の一方の対角線上の２個の角部を検出するために、ベース板１５３の右前端側と、ベース板１５３の左後端側との２箇所に載置されている。２個の照明６９は、前後方向における２個のカメラ６８の間に配置されている。照明６９は、下側に向かって光を射出するように配置されており、カメラ６８で液晶パネル２のエッジを検知する際には、ベース板１５３で反射された光（すなわち、間接光）が液晶パネル２に照射される。

　データ読取装置１４６は、カメラ８１と、カメラ８１が固定される固定フレーム１５４とを備えている。固定フレーム１５４は、ベース板１５２に固定されている。また、データ読取装置１４６は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。カメラ８１は、液晶パネル２の下側から液晶パネル２に記録されたデータを読み取る。

　搬送装置１５０は、液晶パネル２が載置されるスライドステージ１５５と、左右方向へのスライドが可能となるようにスライドステージ１５５を保持する固定フレーム１５６と、固定フレーム１５６に対してスライドステージ１５５を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。スライドステージ１５５は、スライドステージ１５５の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム１５６は、ベース板１５２に固定されている。

　ロボット１４８は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部１５８と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部１５８を保持する可動フレーム１５９と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１５９を保持する可動フレーム１６０と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１６０を保持する固定フレーム１６１と、可動フレーム１５９に対してパネル把持部１５８を昇降させる昇降機構と、可動フレーム１６０に対して可動フレーム１５９を左右方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム１６１に対して可動フレーム１６０を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム１６１は、ベース板１５２に固定されている。

　この変形例では、ロボット９は、トレイステージ６、７上のトレイ３から搬出した液晶パネル２をそのままカメラ６８の上方に搬送する。カメラ６８によって液晶パネル２のエッジが検知されると、ロボット９は、液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて、液晶パネル２の位置合わせを行いながら、データ読取装置１４６まで液晶パネル２を搬送する。この変形例では、ロボット９とカメラ６８と照明６９とによって液晶パネル２の位置合わせをするアライメント装置が構成されており、このアライメント装置は、液晶パネル２のエッジを検知するとともに液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせをする。

　また、データ読取装置１４６の上方まで液晶パネル２が搬送されると、カメラ８１が液晶パネル２のデータを読み取る。カメラ８１によって液晶パネル２のデータが読み取られると、ロボット９は、左端側まで移動して停止しているスライドステージ１５５まで液晶パネル２を搬送してスライドステージ１５５に液晶パネル２を載置する。スライドステージ１５５に液晶パネル２が載置されると、搬送装置１５０は、右方向へスライドステージ１５５を移動させて、液晶パネル２を搬送装置１５０の右端側まで搬送する。ロボット１４８は、搬送装置１５０によって搬送装置１５０の右端側まで搬送された液晶パネル２をパネル把持部１５８で真空吸着して把持し、スライドステージ１５５から液晶パネル２を処理装置１５に搬入する。イオナイザー５９は、搬送装置１５０の上方に配置されており、搬送装置１５０で搬送される液晶パネル２の静電気を除去する。

　［実施の形態２の変形例］
　図１５は、実施の形態２の変形例にかかる排出ユニット１７２の斜視図である。図１６は、図１５に示す排出ユニット１７２の平面図である。

　実施の形態２の搬送システム９１では、小型の液晶パネル２が搬送されているが、搬送システム９１において、中型の液晶パネル２が搬送されても良い。液晶パネル２が小型である場合には、液晶パネル２が中型である場合と比較して、一般に、排出ユニット１０２で要求されるサイクルタイムは短くなる。そのため、搬送システム９１で搬送される液晶パネル２が中型である場合に設置される排出ユニット１７２の構成は、実施の形態２の排出ユニット１０２の構成と相違していても良い。以下、排出ユニット１７２の構成を説明する。なお、以下の説明では、実施の形態１、２と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。

　排出ユニット１７２は、液晶パネル２が載置されるパネルステージ１７３を備えている。パネルステージ１７３は、ベース板１７４の左後端側に固定されている。パネルステージ１７３は、パネルステージ１７３の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。また、排出ユニット１７２は、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置１７５と、処理装置１５から排出された液晶パネル２をパネルステージ１７３に搬送するロボット１７６、搬送装置１７７およびロボット１７８と、トレイ３に搬入される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー５９とを備えている。これらの構成は、ベース板１７４に載置されて固定されている。

　データ読取装置１７５は、パネルステージ１７３のすぐ後ろ側に配置されている。ロボット１７６は、ベース板１７４の右端側に載置され、ロボット１７８は、ベース板１７４の左端側に載置されている。イオナイザー５９は、ベース板１７４の、左右方向における中心位置に載置されている。搬送装置１７７は、左右方向においてロボット１７６とロボット１７８との間に配置されている。ベース板１７４は、本体フレーム１１の上面１１ａの前端側部分に載置されて固定されている。

　データ読取装置１７５は、カメラ８１と、カメラ８１が固定される固定フレーム１７９とを備えている。固定フレーム１７９は、ベース板１７４に固定されている。また、データ読取装置１７５は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。カメラ８１は、液晶パネル２の下側から液晶パネル２に記録されたデータを読み取る。

　搬送装置１７７は、液晶パネル２が載置されるスライドステージ１８０と、左右方向へのスライドが可能となるようにスライドステージ１８０を保持する固定フレーム１８１と、固定フレーム１８１に対してスライドステージ１８０を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。スライドステージ１８０は、スライドステージ１８０の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム１８１は、ベース板１７４に固定されている。

　ロボット１７６は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部１８４と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部１８４を保持する可動フレーム１８５と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１８５を保持する固定フレーム１８６と、可動フレーム１８５に対してパネル把持部１８４を昇降させる昇降機構と、固定フレーム１８６に対して可動フレーム１８５を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　固定フレーム１８６は、ベース板１７４に固定されている。パネル把持部１８４は、前後方向においてスライドステージ１８０と同じ位置に配置されている。ロボット１７６は、処理装置１５から排出された液晶パネル２をパネル把持部１８４で真空吸着して把持し、右端側まで移動して停止しているスライドステージ１８０まで液晶パネル２を搬送してスライドステージ１８０に液晶パネル２を載置する。

　ロボット１７８は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部１８７と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部１８７を保持する可動フレーム１８８と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１８８を保持する固定フレーム１８９と、可動フレーム１８８に対してパネル把持部１８７を昇降させる昇降機構と、固定フレーム１８９に対して可動フレーム１８８を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

　固定フレーム１８８は、ベース板１７４に固定されている。パネル把持部１８７は、左右方向においてパネルステージ１７３と同じ位置に配置されている。ロボット１７８は、左端側まで移動して停止しているスライドステージ１８０に載置された液晶パネル２をパネル把持部１８７で真空吸着して把持し、パネルステージ１７３に搬送する。

　この変形例では、ロボット９は、パネルステージ１７３に載置された液晶パネル２をデータ読取装置１７５の上方に搬送する。データ読取装置１７５の上方まで液晶パネル２が搬送されると、カメラ８１が液晶パネル２のデータを読み取る。カメラ８１によって液晶パネル２のデータが読み取られると、ロボット９はそのまま、トレイステージ９８～１０１に載置されたトレイ３まで液晶パネル２を搬送する。イオナイザー５９は、搬送装置１７７の上方に配置されており、搬送装置１７７で搬送される液晶パネル２の静電気を除去する。

　［他の実施の形態］
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

　上述した形態では、搬送システム１は、処理装置１５に供給される液晶パネル２を搬送し、搬送システム９１は、処理装置１５から排出される液晶パネル２を搬送しているが、本発明が適用される搬送システムは、処理装置１５に供給される液晶パネル２を搬送するとともに処理装置１５から排出される液晶パネル２を搬送しても良い。この場合の搬送システムは、ロボット８、９を備えるとともに、搬送システム９１と同様に、４個のコンベヤ９４～９７と、４個のトレイステージ９８～１０１と、２個のステージ移動機構１０５、１０６とを備えている。また、この場合の搬送システムは、たとえば、カメラ６８、照明６９およびデータ読取装置５６等を備えている。

　また、この場合には、コンベヤ９４～９７は、液晶パネル２が収容された段積み状態のトレイ３を搬送する。ロボット８は、コンベヤ９４～９７とトレイステージ９８～１０１との間で液晶パネル２が収容されたトレイ３を搬送する。すなわち、ロボット８は、液晶パネル２が収容されたトレイ３の段ばらしと段積みを行う。ロボット９は、トレイステージ９８～１０１上のトレイ３からの液晶パネル２の搬出と、トレイステージ９８～１０１上のトレイ３への液晶パネル２の搬入とを行う。また、たとえば、データ読取装置５６は、ロボット９によってトレイ３から搬出された後の液晶パネル２（処理装置１５に供給される液晶パネル２）のデータと、ロボット９によってトレイ３に搬入される液晶パネル２（処理装置１５から排出された液晶パネル２）のデータとを読み取る。

　また、この場合には、空のトレイ３が載置されるトレイステージ（空トレイステージ）がロボット８の動作範囲内に設置されていることが好ましい。この空トレイステージには、たとえば、３個程度の空のトレイ３が段積み状態で載置されており、ロボット８は、必要に応じて、空トレイステージからトレイステージ９８～１０１へ空のトレイ３を搬送する。また、ロボット８は、必要に応じて、トレイステージ９８～１０１上の空になったトレイ３を空トレイステージに搬送する。

　上述した形態では、トレイステージ６、７、９８～１０１に１個のトレイ３が載置されているが、複数のトレイ３が互いに重ならないように、トレイステージ６、７、９８～１０１に載置されても良い。また、上述した形態では、搬送システム１は２個のトレイステージ６、７を備え、搬送システム９１は４個のトレイステージ９８～１０１を備えているが、搬送システム１が４個のトレイステージを備え、搬送システム９１が２個のトレイステージを備えていても良い。また、搬送システム１、９１が備えるトレイステージの数は、３個であっても良いし、５個以上であっても良い。また、搬送システム１、９１が備えるトレイステージの数は、１個であっても良い。

　上述した形態では、搬送システム１は２個のコンベヤ４、５を備え、搬送システム９１は４個のコンベヤ９４～９７を備えているが、搬送システム１が４個のコンベヤを備え、搬送システム９１が２個のコンベヤを備えていても良い。また、搬送システム１、９１が備えるコンベヤの数は、３個であっても良いし、５個以上であっても良い。また、搬送システム１、９１が備えるコンベヤの数は、１個であっても良い。

　実施の形態２では、図９の実線で示す第２位置に配置されたトレイステージ１００、１０１はロボット８の動作範囲から外れているが、第２位置に配置されたトレイステージ１００、１０１がロボット８の動作範囲内にあっても良い。この場合には、ステージ移動機構１０５、１０６が不要となり、トレイステージ１００、１０１は、たとえば、第２位置で固定される。また、実施の形態２では、図９の二点鎖線で示す第１位置に配置されたトレイステージ１００、１０１はロボット９の動作範囲から外れているが、第１位置に配置されたトレイステージ１００、１０１がロボット９の動作範囲内にあっても良い。この場合には、ステージ移動機構１０５、１０６が不要となり、トレイステージ１００、１０１は、たとえば、第１位置で固定される。

　上述した形態では、コンベヤ４、５、９４～９７は、複数の分割コンベヤによって構成されているが、コンベヤ４、５、９４～９７は、一体型のコンベヤであっても良い。また、実施の形態１では、コンベヤ４とコンベヤ５とが左右方向で隣接配置されているが、コンベヤ４とコンベヤ５とが上下方向で重なるように配置されていても良い。同様に、実施の形態２では、４個のコンベヤ９４～９７が左右方向で隣接配置されているが、４個のコンベヤ９４～９７の中から選択される任意の２個のコンベヤ９４～９７と残りの２個のコンベヤ９４～９７とが上下方向で重なるように配置されていても良い。

　上述した形態では、ロボット８は、トレイ把持部３９を上下方向、左右方向および前後方向へ移動させることが可能な３軸直交ロボットであるが、ロボット８は、トレイ把持部３９を左右方向および前後方向へ移動させることが可能な２軸直交ロボットであっても良い。この場合には、ローラコンベヤであるコンベヤ４、５、９４～９７は、複数のローラを昇降させる昇降機構を備えている。また、ロボット８は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット９は、パラレルリンクロボットであるが、ロボット９は、水平多関節ロボットであっても良い。この場合には、ロボット９は、本体フレーム１１の上面１１ａから立ち上がるように上面１１ａに設置されても良い。

　上述した形態では、ロボット８は、コンベヤ４、９４、９５からトレイステージ６、７、９８～１０１へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７、９８～１０１からコンベヤ５、９６、９７へのトレイ３の搬送とを行っているが、コンベヤ４、９４、９５からトレイステージ６、７、９８～１０１へのトレイ３の搬送を行うロボットと、トレイステージ６、７、９８～１０１からコンベヤ５、９６、９７へのトレイ３の搬送を行うロボットとが個別に設けられていても良い。また、上述した形態では、搬送システム１、９１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２であるが、搬送システム１、９１で搬送される表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、搬送システム１、９１で搬送される表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

　１、９１　搬送システム
　２　液晶パネル（表示パネル）
　３　トレイ
　４、９４、９５　コンベヤ（供給側コンベヤ）
　５、９６、９７　コンベヤ（排出側コンベヤ）
　６、７　トレイステージ
　８　ロボット（第１搬送ロボット）
　９　ロボット（第２搬送ロボット）
　１１　本体フレーム（第１フレーム）
　１１ａ　上面（設置面）
　１２　本体フレーム（第２フレーム）
　１２ａ　上面部（設置部）
　１５　処理装置
　１６～２５　分割コンベヤ
　２７　ガイド部材
　２８　当接部材
　２９　段数検知機構
　３０　センサ
　３１　昇降機構
　４５　本体部
　４６　レバー
　４７　アーム部
　４８　ヘッドユニット（可動部）
　４９　パネル把持部
　５０　モータ（回動駆動機構）
　５２　アーム
　５６、１１６、１４６、１７５　データ読取装置
　５７　アライメント装置
　９８、９９　トレイステージ（固定トレイステージ）
　１００、１０１　トレイステージ（可動トレイステージ）
　１０５、１０６　ステージ移動機構
　Ｘ　トレイの搬送方向
　Ｙ　左右方向

Claims

　所定の処理装置に供給される表示パネルの搬送および所定の処理装置から排出される前記表示パネルの搬送の少なくともいずれか一方を行う搬送システムであって、
　複数段に積み重なるとともに表示パネルを収容可能なトレイを搬送するコンベヤと、前記トレイが載置されるトレイステージと、前記コンベヤと前記トレイステージとの間で前記トレイを搬送する第１搬送ロボットと、前記トレイステージに載置された前記トレイからの前記表示パネルの搬出および前記トレイステージに載置された前記トレイへの前記表示パネルの搬入の少なくともいずれか一方を行う第２搬送ロボットと、前記表示パネルに記録されたデータを読み取るデータ読取装置とを備え、
　前記データ読取装置は、前記第２搬送ロボットによって前記トレイから搬出された後の前記表示パネルの前記データおよび前記第２搬送ロボットによって前記トレイに搬入される前の前記表示パネルの前記データの少なくともいずれか一方を読み取ることを特徴とする搬送システム。
　前記コンベヤとして、前記トレイステージに近づく方向へ前記トレイを搬送する供給側コンベヤと、前記トレイステージから離れる方向へ前記トレイを搬送する排出側コンベヤとを備え、
　前記第１搬送ロボットは、前記供給側コンベヤから前記トレイステージへの前記トレイの搬送と、前記トレイステージから前記排出側コンベヤへの前記トレイの搬送とを行うことを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
　前記供給側コンベヤは、前記トレイの搬送方向と上下方向とに直交する左右方向の両側に配置され左右方向における前記トレイの移動を規制するガイド部材と、前記トレイの搬送方向の下流端に配置され前記トレイが当接する当接部材とを備え、前記第１搬送ロボットによる前記トレイステージへの前記トレイの搬送前に前記当接部材に前記トレイを当接させることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
　複数の前記トレイステージを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の搬送システム。
　前記第２搬送ロボットによって前記トレイから搬出された前記表示パネルのエッジを検知するとともに、前記表示パネルのエッジの検知結果に基づいて前記表示パネルの位置合わせをするアライメント装置を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の搬送システム。
　前記コンベヤ上の前記トレイの段数を検知する段数検知機構を備え、
　前記段数検知機構は、前記トレイの有無を検知するセンサと、前記センサを昇降させる昇降機構とを備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の搬送システム。
　前記コンベヤは、前記トレイの搬送方向で分割され個別に駆動可能な複数の分割コンベヤによって構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の搬送システム。
　前記第１搬送ロボットが設置される第１フレームと、前記第２搬送ロボットが設置される第２フレームとを備え、
　前記第１フレームには、前記第１搬送ロボットが設置される設置面が形成され、
　前記第２フレームは、前記設置面よりも上側に配置され前記第２搬送ロボットが設置される設置部を備え、
　前記第１搬送ロボットは、前記設置面から立ち上がるように前記設置面に設置され、
　前記第２搬送ロボットは、前記設置部にぶら下がるように前記設置部に設置されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の搬送システム。
　前記第２搬送ロボットは、本体部と、前記本体部に基端側が回動可能に連結される複数のレバーと、複数の前記レバーの先端側のそれぞれに基端側のそれぞれが回動可能に連結される複数のアーム部と、複数の前記アーム部の先端側に回動可能に連結される可動部と、前記可動部に取り付けられ前記表示パネルを把持するパネル把持部と、複数の前記レバーのそれぞれを回動させる複数の回動駆動機構とを備え、
　複数の前記レバーは、前記本体部の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように前記本体部に連結され、
　前記アーム部は、互いに平行な直線状の２本のアームを備え、
　前記レバーの先端側に２本の前記アームのそれぞれの基端側が回動可能に連結されるとともに、２本の前記アームの先端側に前記可動部が回動可能に連結され、
　前記本体部は、前記設置部に固定されていることを特徴とする請求項８記載の搬送システム。
　前記トレイステージとして、前記トレイの搬送方向と上下方向とに直交する左右方向で隣接配置される２個の固定トレイステージと、前記トレイの搬送方向と左右方向とに移動可能な２個の可動トレイステージとを備えるとともに、２個の前記可動トレイステージを個別に移動させる２個のステージ移動機構を備え、
　前記ステージ移動機構は、左右方向において前記固定トレイステージと並ぶ第１位置と、前記トレイの搬送方向において前記固定トレイステージの少なくとも一部と重なる第２位置との間で前記可動トレイステージを移動させることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の搬送システム。