TWI759410B - 面板搬運機器人及面板搬運系統 - Google Patents

Abstract

本申請提供一種面板搬運機器人，即使配線從顯示面板引出，也能夠抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。例如，該面板搬運機器人具備把持顯示面板的面板把持部(24)和使面板把持部(24)移動的移動機構。面板把持部(24)具備吸附顯示面板的面板吸附部(71)和吸附從顯示面板引出的配線的配線吸附部(72)。在該面板搬運機器人中，在搬運顯示面板時，面板吸附部(71)吸附把持顯示面板，配線吸附部(72)吸附把持配線。

Description

面板搬運機器人及面板搬運系統

本發明係關於一種搬運液晶面板等顯示面板的面板搬運機器人。又，本發明係關於一種具有該面板搬運機器人的面板搬運系統。

以往，已知有組裝於行動設備等所使用的液晶顯示裝置之裝配線上的搬運裝置(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1中記載之搬運裝置具備五個搬運單元，各搬運單元被分配液晶顯示裝置之裝配工序中的各種工序。各搬運單元具備搬運液晶面板等構件的SCARA機器人。該SCARA機器人例如在搬運液晶面板時，以真空吸附的方式保持液晶面板。 先前技術文獻 專利文獻 專利文獻1：國際公開第2012/120956號

發明所欲解決之問題 在專利文獻1中記載的液晶顯示裝置之裝配線上，在規定工序中，爲了在液晶面板上連接柔性印刷基板(FPC(Flexible printed circuits))，在FPC之連接工序之後的工序中，SCARA機器人必須搬運附有FPC的液晶面板。但是，如果FPC從液晶面板引出，在SCARA機器人搬運液晶面板時FPC就會晃動，搬運單元之結構零件和FPC有可能發生干涉。 因此，本發明之課題在於，提供一種面板搬運機器人，即使配線從顯示面板引出，也能夠抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。又，本發明之課題在於，提供一種具備該面板搬運機器人的面板搬運系統。 解決問題之技術手段 為了解決上述課題，本發明提供一種面板搬運機器人，其特徵在於，具備把持顯示面板的面板把持部和使面板把持部移動的移動機構，面板把持部具備吸附顯示面板的面板吸附部、和吸附從顯示面板引出的配線的配線吸附部。 在本發明之面板搬運機器人中，把持顯示面板的面板把持部除具備吸附顯示面板的面板吸附部外，還具備吸附從顯示面板引出的配線的配線吸附部。因此，在本發明中，即使FPC等之配線從顯示面板引出，也能夠抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。 在本發明中，理想的是，面板把持部具備用於調整配線吸附部相對於面板吸附部之位置的位置調整機構。如果這樣構成，即使配線從顯示面板引出之引出位置或從顯示面板引出的配線之形狀發生變化，藉由調整配線吸附部相對於面板吸附部之位置，也能夠以配線不晃動的方式藉由配線吸附部吸附配線。因此，即使配線從顯示面板引出之引出位置或配線之形狀發生變化，也能夠使用共同之面板把持部抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。 在本發明中，理想的是，面板吸附部以顯示面板之厚度方向和垂直方向一致的方式吸附顯示面板，配線吸附部能夠在與垂直方向正交的第一方向、和與垂直方向及第一方向正交的第二方向上，相對於面板吸附部進行位置調整。如果這樣構成，即使配線從顯示面板引出之引出位置或配線之形狀大幅變化，藉由在第一方向和第二方向這兩個方向上調整配線吸附部相對於面板吸附部之位置，也能夠以配線不晃動的方式藉由配線吸附部吸附配線。因此，即使配線從顯示面板引出之引出位置或配線之形狀大幅變化，也能夠使用共同之面板把持部抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。 在本發明中，理想的是，面板把持部具備複數個配線吸附部，複數個配線吸附部的每一個相對於面板吸附部能夠分別進行位置調整。如果這樣構成，即使配線從顯示面板之引出位置或配線之形狀大幅變化，藉由調整複數個配線吸附部各自相對於面板吸附部之位置，也能夠以配線不晃動的方式藉由配線吸附部吸附配線。因此，即使配線從顯示面板之引出位置或配線之形狀大幅變化，也能夠使用共同之面板把持部抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。 在本發明中，理想的是，配線吸附部具備與配線接觸的配線接觸部、和緩和配線接觸部與配線接觸時之衝擊的緩衝機構。如果這樣構成，即使配線接觸部從比面板吸附部向顯示面板側突出，也能夠緩和配線接觸部接觸配線時之衝擊，使得在面板吸附部吸附顯示面板時，配線吸附部能夠可靠地吸附配線。因此，即使在面板吸附部吸附顯示面板時配線吸附部能夠可靠地吸附配線，也能夠防止配線接觸部和配線接觸時的配線之損傷。 在本發明中，理想的是，面板吸附部和配線吸附部經由共同之開關閥與共同之空氣吸引機構連接。如果這樣構成，與連接面板吸附部的開關閥和連接配線吸附部的開關閥個別設置的情況相比，能夠簡化面板搬運機器人之結構。又，如果這樣構成，與連接面板吸附部的空氣吸引機構和連接配線吸附部的空氣吸引機構個別設置的情況相比，能夠簡化面板搬運機器人之結構。 在本發明中，理想的是，面板搬運機器人具備配置於配線吸附部和開關閥之間之配管路徑上的流量控制閥，配線吸附部對配線之吸引力比面板吸附部對顯示面板之吸引力小。如果這樣構成，能夠藉由適當的吸引力吸引重量比顯示面板輕的配線，並且能夠藉由適當的吸引力吸引顯示面板。 此外，通常，配線之藉由配線吸附部吸附的部分之面積比顯示面板之藉由面板吸附部吸附的部分之面積小。因此，配線吸附部對配線之吸附力比面板吸附部對顯示面板之吸附力低，相比吸附於面板吸附部的顯示面板從面板吸附部脫離的情況，吸附於配線吸附部的配線容易從配線吸附部脫離。又，面板吸附部和配線吸附部經由共同之開關閥與共同之空氣吸引機構連接的情況下，如果吸附於配線吸附部的配線從配線吸附部脫離，由於面板吸附部對顯示面板之吸引力降低，因此，吸附於面板吸附部的顯示面板可能會從面板吸附部脫離而掉落，顯示面板有可能損壞。 但是，如果在配線吸附部和開關閥之間之配管路徑上配置流量控制閥，配線吸附部對配線之吸引力比面板吸附部對顯示面板之吸引力小，則可以減少吸引配線的空氣之吸引量，因此，能夠抑制吸附於配線吸附部的配線從配線吸附部脫離時之面板吸附部對顯示面板之吸引力之降低。因此，假如吸附於配線吸附部的配線從配線吸附部脫離，也能夠防止吸附於面板吸附部的顯示面板從面板吸附部之脫離。又，藉由檢測吸附於配線吸附部的配線的、從配線吸附部的脫離，停止面板搬運機器人，能夠使面板搬運機器人安全地停止而不會使顯示面板掉落。 本發明之面板搬運機器人能夠用於具備載置面板搬運機器人搬運的顯示面板的面板載台的面板搬運系統，在該面板搬運系統中，面板載台具備載置顯示面板的面板載置部、和載置配線的配線載置部。在該面板搬運系統中，即使FPC等之配線從顯示面板引出，也能夠抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。又，在該面板搬運系統中，面板載台具備載置配線的配線載置部，因此，能夠抑制載置於面板載台的配線之晃動。 在本發明中，理想的是，在被吸附於配線吸附部的配線載置於配線載置部時、及被載置於配線載置部的配線被吸附於配線吸附部時之至少任一方，配線載置部配置於配線吸附部之正下方。如果這樣構成，在將吸附於配線吸附部的配線載置於配線載置部時，能夠以使配線可靠地接觸配線載置部的狀態將配線載置在配線載置部。又，如果這樣構成，在將載置於配線載置部的配線吸附於配線吸附部時，能夠在使配線吸附部可靠地接觸配線的狀態下使配線吸附部吸附配線。 在本發明中，理想的是，面板載台具備用於調整配線載置部相對於面板載置部之位置的第二位置調整機構。如果這樣構成，即使配線從顯示面板之引出位置或配線之形狀發生變化，藉由調整配線載置部相對於面板載置部之位置，也能夠將配線適當地載置於配線載置部。因此，即使配線從顯示面板之引出位置或配線之形狀發生變化，也能夠附有配線之顯示面板適當載置於共同之面板載台上。 在本發明中，理想的是，配線載置部具備配線接觸的橡膠製之配線接觸構件，配線接觸的配線接觸構件之上表面成為形成紋理形狀的凹凸面。如果這樣構成，例如即使配線係FPC，也能夠防止配線相對於配線載置部的貼附。 發明效果 如上所述，在本發明中，即使配線從顯示面板引出，也能夠抑制搬運顯示面板時的配線之晃動。

以下，參照圖式，說明本發明之實施形態。 (搬運系統之整體結構) 圖1係組裝了本發明實施形態的面板搬運機器人9的搬運系統1之側視圖。圖2係從圖1之E－E方向表示搬運系統1的俯視圖。圖3係圖1所示的面板搬運機器人9之立體圖。 本形態之面板搬運機器人9(以下作為“機器人9”。)係搬運作為顯示面板的液晶面板2的機器人。該機器人9被組裝於搬運系統1來使用。搬運系統1被組裝於行動設備等中使用的液晶顯示器之生產線。該搬運系統1搬運液晶面板2，將液晶面板2供給至對液晶面板2進行規定之處理的處理裝置14(參照圖2)。 液晶面板2形成為長方形之平板狀。在液晶面板2之離開顯示區域的部位記錄有液晶面板2之檢查數據等數據。在液晶面板2之離開顯示區域的部位所記錄的數據係可光學性讀取的數據。在藉由本形態之搬運系統1搬運的液晶面板2上安裝有驅動器IC。又，在液晶面板2上連接有作為配線之FPC2a(參照圖9、圖11)。即，作為配線基板的FPC2a從液晶面板2引出。FPC2a例如從形成為長方形之平板狀的液晶面板2之一短邊向與長邊平行的方向引出。此外，圖2等中省略FPC2a之圖示。 搬運系統1具備搬運可收容液晶面板2的托盤3的兩個輸送機4、5。在托盤3上可收容多片液晶面板2。收容於托盤3的多片液晶面板2以彼此不重疊的狀態收容於托盤3。輸送機4、5將多層堆積起來的托盤3(堆疊的托盤3)向水平方向直線搬運。 在以下之說明中，將輸送機4、5搬運的托盤3之搬運方向(圖1等之X方向)作為“前後方向”，將與上下方向(垂直方向)和前後方向正交的方向(圖1等之Y方向)作為“左右方向”。又，將前後方向之一側(圖1等之X1方向側)作為“前”側，將其相反側(圖1等之X2方向側)作為“後側”，將左右方向之一側(圖2等之Y1方向側)作為“右”側，將其相反側(圖2等之Y2方向側)作為“左”側。在本形態中，在搬運系統1之後側配置有處理裝置14。 又，搬運系統1具備載置托盤3的兩個托盤載台6、7、在輸送機4、5和托盤載台6、7之間搬運托盤3的機器人8、從載置於托盤載台6、7的托盤3搬出液晶面板2的上述之機器人9、從機器人9接收液晶面板2並將其供給至處理裝置14的供給單元11。托盤載台6、7被配置於比輸送機4、5靠後側。供給單元11被配置於比托盤載台6、7靠後側。 又，搬運系統1具備設置輸送機4、5、托盤載台6、7、機器人8以及供給單元11的本體框架12、設置機器人9的本體框架13。本體框架12之上表面形成為與上下方向正交的平面狀，在本體框架12之上表面設置有輸送機4、5、托盤載台6、7、機器人8以及供給單元11。本體框架13係形成為大致門形的門形框架，設置為在左右方向上橫跨本體框架12之後端側部分。機器人9設置於本體框架13之上表面部。 輸送機4、5係具備複數個輥的輥式輸送機。輸送機4和輸送機5在左右方向上相鄰配置。輸送機4將堆疊的托盤3朝向後側搬運，輸送機5將堆疊的托盤3朝向前側搬運。在藉由輸送機4搬運的托盤3內收容有多片液晶面板2。另一方面，在藉由輸送機5搬運的托盤3內未收容液晶面板2，由輸送機5搬運的托盤3為空托盤。 藉由作業者從臨時放置用之貨架(省略圖示)運送來的堆疊狀態之托盤3被載置於輸送機4之前端側。載置於輸送機4之前端側的堆疊狀態之托盤3被向後側搬運，被搬運到輸送機4之後端側的堆疊狀態之托盤3如後述被機器人8卸載。又，在輸送機5之後端側，如後述藉由機器人8堆疊空的托盤3。托盤3被堆疊到規定層數後，堆疊狀態之托盤3被搬運到前側。被搬運到輸送機5之前端側的堆疊狀態之托盤3藉由作業者運送到空托盤用之貨架。 在托盤載台6、7上載置一個托盤3。托盤載台6和托盤載台7在左右方向上以隔開規定間隔的狀態配置。托盤載台6在左右方向上配置於與輸送機4大致相同的位置，托盤載台7在左右方向上配置於與輸送機5大致相同的位置。托盤載台6、7之上表面形成為與上下方向正交的平面狀。 機器人8係所謂三軸正交機器人。該機器人8具備形成為門形的本體框架15、以相對於本體框架15能夠向左右方向滑動的方式保持於本體框架15的可動框架16、以相對於可動框架16能夠向前後方向滑動的方式保持於可動框架16的可動框架17、以相對於可動框架17能夠向上下方向滑動的方式保持於可動框架17的可動框架18、安裝於可動框架18的托盤把持部19。又，機器人8具備使可動框架16向左右方向滑動的驅動機構、使可動框架17向前後方向滑動的驅動機構、使可動框架18向上下方向滑動的驅動機構。 本體框架15以在左右方向上橫跨輸送機4、5的方式設置。可動框架16被安裝於本體框架15之上表面側。該可動框架16被配置於比載置於輸送機4、5的堆疊狀態之托盤3靠上側。可動框架17安裝於可動框架16之右側。可動框架18安裝於可動框架17之後端側。托盤把持部19安裝於可動框架18之下端。該托盤把持部19具備吸附把持托盤3的複數個吸附部。 機器人8進行托盤3從輸送機4向托盤載台6、7之搬運和托盤3從托盤載台6、7向輸送機5的搬運。具體而言，機器人8將搬運到輸送機4之後端側的堆疊狀態之托盤3逐一搬運到托盤載台6或托盤載台7，將輸送機4上之堆疊狀態之托盤3卸載。又，機器人8將變為空的一個托盤3從托盤載台6或托盤載台7搬運至輸送機5之後端側，將托盤3堆疊在輸送機5上。 機器人9係所謂並聯連桿機器人。該機器人9具備本體部20、與本體部20連結的三根桿21、與三根桿21分別連結的三個臂部22、與三個臂部22連結的頭單元23、把持液晶面板2的面板把持部24(參照圖6等)。機器人9以懸掛於本體框架13之上表面部的方式設置。又，本體部20配置於托盤載台6、7之上方，並且配置於比機器人8之本體框架15靠後側。此外，圖1、圖3中省略了面板把持部24之圖示。 三根桿21按照以大致等角度節距呈大致放射狀向本體部20之外周側伸出的方式與本體部20連結。即，三根桿21按照以大致120°節距呈大致放射狀向本體部20之外周側伸出的方式與本體部20連結。又，三根桿21之基端側可轉動地與本體部20連結。在本體部20和桿21之連結部配置有使桿21轉動的附有減速器的馬達25。本形態之機器人9具備使三根桿21分別轉動的三個馬達25。馬達25之輸出軸固定於桿21之基端側。 臂部22之基端側可轉動地與桿21之前端側連結。具體而言，臂部22藉由相互平行的直線狀之兩根臂26構成，兩根臂26各自的基端側可轉動地與桿21之前端側連結。頭單元23可轉動地與三個臂部22之前端側連結。在頭單元23之上端安裝有馬達27。 面板把持部24安裝於頭單元23之下端。又，面板把持部24與馬達27連結，能夠藉由馬達27之動力進行以上下方向為旋轉之軸方向的旋轉。在本形態中，藉由本體部20、三根桿21、三個臂部22、頭單元23、三個馬達25以及馬達27構成使面板把持部24移動的移動機構28。稍後描述面板把持部24之具體的結構。 在機器人9中，藉由個別地驅動三個馬達25，能夠使頭單元23在規定之區域內，向上下方向、左右方向及前後方向之任意之位置、且以頭單元23一直保持固定姿勢的狀態(具體而言，為面板把持部24維持朝向下側的狀態)移動。機器人9將收容於托盤載台6、7上之托盤3內的液晶面板2逐一搬出。具體而言，機器人9將液晶面板2逐一從托盤3搬出，直至托盤載台6、7上之托盤3搬空為止。又，機器人9將從托盤3搬出的液晶面板2搬運到後述之面板載台39。 (供給單元之結構及動作) 圖4係圖1所示的供給單元11之立體圖。圖5係圖4所示的供給單元11之俯視圖。 供給單元11具備用於進行液晶面板2之對位的對準裝置30、和讀取記錄於液晶面板2的數據的數據讀取裝置31。對準裝置30在由數據讀取裝置31讀取液晶面板2之數據之前進行液晶面板2之對位。又，供給單元11具備將藉由數據讀取裝置31讀取了數據之後之液晶面板2向處理裝置14搬運的機器人33、從向處理裝置14搬運的液晶面板2去除靜電的除電器(靜電去除裝置)34、將藉由對準裝置30進行了對位後之液晶面板2朝向機器人33搬運的搬運裝置35、將藉由對準裝置30進行了對位的液晶面板2向搬運裝置35搬運的機器人36、載置並固定這些結構的基板37。 對準裝置30載置於基板37之右前端側。機器人33載置於基板37之左後端側。數據讀取裝置31載置於基板37之左前端側。機器人36相鄰配置於對準裝置30之後側。搬運裝置35在左右方向上配置於數據讀取裝置31及機器人33和對準裝置30之間。除電器34配置於搬運裝置35之上方。基板37載置固定於本體框架12之上表面之後端側部分。 對準裝置30具備載置藉由機器人9從托盤載台6、7上之托盤3搬出的液晶面板2(即，機器人9搬運的液晶面板2)的面板載台39、以上下方向為轉動之軸方向使面板載台39轉動並使面板載台39沿左右方向和前後方向移動而進行液晶面板2之對位的移動機構40。又，對準裝置30具備配置於比面板載台39靠上側的攝影機41及照明42。 面板載台39具備載置液晶面板2的面板載置部43和作為載置FPC2a的配線載置部之基板載置部44(參照圖11、圖12)。面板載置部43形成為長方形之平板狀。面板載置部43之上表面形成與上下方向正交的平面。從上下方向觀察時的面板載置部43之外形比液晶面板2之外形大。此外，圖4、圖5中省略了基板載置部44之圖示。 液晶面板2以從上下方向觀察時液晶面板2之中心和面板載置部43之中心大致一致、且液晶面板2之長邊之方向和面板載置部43之長邊之方向大致一致的方式載置於面板載置部43。又，在面板載置部43之上表面安裝有形成為平板狀或膜狀的偏振構件45。稍後描述面板載台39之詳細結構。此外，在本形態中，藉由機器人9和面板載台39構成面板搬運系統49(參照圖2)。 移動機構40具備可轉動地保持面板載台39的可動框架46、以可向前後方向滑動的方式保持可動框架46的可動框架47、以可向左右方向滑動的方式保持可動框架46的固定框架48、使面板載台39相對於可動框架46轉動的轉動機構、使可動框架46相對於可動框架47向前後方向滑動的驅動機構、使可動框架47相對於固定框架48向左右方向滑動的驅動機構。固定框架48固定於基板37上。 在本形態中，使可動框架46向前後方向滑動的驅動機構係為了進行載置於面板載置部43的液晶面板2之對位而設置。另一方面，使可動框架47向左右方向滑動的驅動機構係為了進行載置於面板載置部43的液晶面板2之對位，並且在後述之邊緣檢測位置39A和面板搬出位置39B之間搬運液晶面板2而設置。又，使面板載台39轉動的轉動機構係為了進行載置於面板載置部43的液晶面板2之對位而設置。 照明42係具備在左右方向上呈直線狀排列的複數個發光二極體(LED)的條形照明。該照明42配置於比攝影機41靠下側，並且配置於離開攝影機41之視野的位置。在本形態中，照明42配置於攝影機41之後下側。照明42對面板載台39照射間接光。 攝影機41配置於面板載台39之上方。該攝影機41從上側檢測載置於面板載置部43的液晶面板2之邊緣。具體而言，攝影機41檢測形成為長方形狀的液晶面板2之四個角部之位置。攝影機41具備偏振濾光鏡50。偏振濾光鏡50以可以進行以上下方向為轉動之軸方向的轉動的方式安裝於攝影機41之透鏡之前端。攝影機41之偏振濾光鏡50之相位和偏振構件45之相位錯開90°。因此，映射至攝影機41的面板載置部43變黑。 面板載台39在左右方向上，能夠在將液晶面板2配置於攝影機41之下側的邊緣檢測位置39A(圖4、圖5之實線所示的位置)和藉由機器人36從面板載台39搬出液晶面板2的面板搬出位置39B(圖5之雙點劃線所示的位置)之間移動。在本形態中，當面板載台39移動到固定框架48之右端側時，面板載台39到達邊緣檢測位置39A，當面板載台39移動到固定框架48之左端側時，面板載台39到達面板搬出位置39B。又，藉由機器人9從托盤載台6、7上之托盤3搬出的液晶面板2被供給至配置於邊緣檢測位置39A的面板載台39。 當在配置於邊緣檢測位置39A的面板載台39上載置藉由機器人9搬出的液晶面板2時，攝影機41檢測液晶面板2之邊緣。之後，移動機構40基於攝影機41中之液晶面板2之邊緣之檢測結果，一邊進行液晶面板2之對位，一邊使面板載台39從邊緣檢測位置39A移動到面板搬出位置39B。具體而言，移動機構40基於攝影機41中之液晶面板2之邊緣之檢測結果，一邊進行面板載台39之轉動動作及可動框架46向前後方向之滑動動作之至少任一動作，一邊使可動框架47向左方向滑動，使面板載台39移動到面板搬出位置39B。 搬運裝置35具備載置液晶面板2的四個面板載台52、固定四個面板載台52的可動框架53、以可向前後方向滑動的方式保持可動框架53的固定框架54、使可動框架53相對於固定框架54向前後方向滑動的驅動機構。四個面板載台52在前後方向上相鄰配置。面板載台52之上表面形成與上下方向正交的平面。面板載台52具備吸附載置於面板載台52之上表面的液晶面板2的複數個吸附部。固定框架54固定於基板37上。 機器人36具備吸附把持液晶面板2的面板把持部55、以可向上下方向滑動的方式保持面板把持部55的可動框架56、以可向左右方向滑動的方式保持可動框架56的固定框架57、使面板把持部55相對於可動框架56升降的升降機構、使可動框架56相對於固定框架57向左右方向滑動的驅動機構。固定框架57固定於基板37上。面板把持部55在前後方向上配置於與面板載台39相同的位置。 機器人36將配置於面板搬出位置39B的面板載台39上之液晶面板2(即，藉由對準裝置30對位後之液晶面板2)搬運到面板載台52上。具體而言，機器人36藉由面板把持部55吸附把持配置於面板搬出位置39B的面板載台39上之液晶面板2之上表面，將液晶面板2從面板載台39依次搬運至移動到前端側而停止的四個面板載台52各自上。又，當在四個面板載台52各自上載置液晶面板2時，搬運裝置35使面板載台52向後方向移動，將液晶面板2搬運到搬運裝置35之後端側。 機器人33具備吸附把持液晶面板2的四個面板把持部58、以可向上下方向滑動的方式保持面板把持部58的可動框架59、以可向左右方向滑動的方式保持可動框架59的固定框架60、使面板把持部58相對於可動框架59升降的升降機構、使可動框架59相對於固定框架60向左右方向滑動的驅動機構。四個面板把持部58在前後方向上相鄰配置。前後方向上的四個面板把持部58之節距與前後方向上的四個面板載台52之節距相等。固定框架60固定於基板37上。 機器人33將藉由搬運裝置35搬運到搬運裝置35之後端側的液晶面板2搬入處理裝置14。具體而言，機器人33藉由四個面板把持部58分別吸附把持分別載置於四個面板載台52上的四個液晶面板2各自之上表面，將四個液晶面板2一起從面板載台52搬入處理裝置14。 數據讀取裝置31具備讀取二維碼或一維碼等可光學性讀取的數據的攝影機62、安裝攝影機62的可動框架63、以可向上下方向滑動的方式保持可動框架63的可動框架64、以可向前後方向滑動的方式保持可動框架64的可動框架65、以可向左右方向滑動的方式保持可動框架65的固定框架66、使可動框架63相對於可動框架64升降的升降機構、使可動框架64相對於可動框架65向前後方向滑動的驅動機構、使可動框架65固定框架66向左右方向滑動的驅動機構。固定框架66固定於基板37。又，數據讀取裝置31具備向液晶面板2照射光的照明。 數據讀取裝置31讀取進行了藉由對準裝置30之位置調整後載置於搬運裝置35之面板載台52的液晶面板2之數據。藉由數據讀取裝置31讀取的液晶面板2之數據作為讀取了數據的液晶面板2之個別數據與讀取了數據的液晶面板2進行關聯。如上所述，除電器34配置於搬運裝置35之上方。又，除電器34配置於比數據讀取裝置31靠後側，以去除數據被數據讀取裝置31讀取之後之液晶面板2之靜電。 (面板把持部之結構) 圖6係圖3所示的機器人9之面板把持部24之立體圖。圖7係從其他方向表示圖6所示的面板把持部24的立體圖。圖8係從下側表示圖6所示的基板吸附部72及位置調整機構73的立體圖。圖9係用於說明與圖6所示的面板吸附部71及基板吸附部72連接的配管的路徑的圖。圖10係用於說明圖6所示的面板檢測機構74之結構的概略圖。 面板把持部24具備吸附液晶面板2的面板吸附部71和作為吸附從液晶面板2引出的FPC2a的配線吸附部之基板吸附部72。本形態之面板把持部24具備兩個基板吸附部72。又，面板把持部24具備用於調整基板吸附部72相對於面板吸附部71的位置之位置調整機構73和在面板把持部24要把持托盤3內之液晶面板2時檢測液晶面板2之有無的面板檢測機構74。進而，面板把持部24具備安裝面板吸附部71、位置調整機構73及面板檢測機構74的基體構件75。基體構件75形成為大致圓形之平板狀，以基體構件75之厚度方向和上下方向一致的方式配置。 面板吸附部71安裝於基體構件75之下表面側。該面板吸附部71以液晶面板2之厚度方向和上下方向(垂直方向)一致的方式吸附液晶面板2。在面板吸附部71之下表面形成有吸引液晶面板2之上表面的吸引口(省略圖示)。面板吸附部71藉由真空吸附液晶面板2之上表面而把持液晶面板2。在以下之說明中，將與上下方向(垂直方向)正交的圖6等之V方向作為“第一方向”，將與上下方向和第一方向正交的圖6等之W方向作為“第二方向”。 基板吸附部72以FPC2a之厚度方向和上下方向一致的方式吸附FPC2a。該基板吸附部72具備作為與FPC2a接觸的配線接觸部的基板接觸部76和緩和基板接觸部76與FPC2a接觸時的衝擊的緩衝機構77。緩衝機構77例如係具備活塞77a和可滑動地保持活塞77a的氣缸77b的空氣阻尼器。該緩衝機構77以活塞77a之移動方向和上下方向一致的方式配置。 基板接觸部76固定於活塞77a之下端，能夠與FPC2a之上表面接觸。在基板接觸部76之下表面形成有吸引FPC2a之上表面的吸引口76a(參照圖8)。吸引口76a之直徑比形成於面板吸附部71之下表面的吸引口之直徑小。因此，FPC2a之藉由基板吸附部72吸附的部分之面積比液晶面板2之藉由面板吸附部71吸附的部分之面積小。基板吸附部72藉由真空吸附FPC2a之上表面而把持FPC2a。 位置調整機構73係手動式之調整機構。該位置調整機構73具備保持氣缸77b的保持構件78、向第一方向可滑動地保持保持構件78的保持構件79、向第二方向可滑動地保持保持構件79的保持構件80。本形態之位置調整機構73具備兩個保持構件78、兩個保持構件79、以及兩個保持構件80。 保持構件80係截面形狀形成L形狀的細長的板狀構件。兩個保持構件80各自之一端部分别固定於第一方向上的基體構件75之兩端側，保持構件80從基體構件75向第二方向之一側延伸。即，保持構件80以保持構件80之長度方向和第二方向一致的方式配置。在保持構件80上形成有以第二方向為長度方向的長孔80a。長孔80a在上下方向上貫通保持構件80之與上下方向正交的平板部分。又，長孔80a形成於第二方向上的保持構件80之大致中心和保持構件80之第二方向之一側(保持構件80從基體構件75伸出的方向之一側)之端部之間的全區域。 保持構件79係截面形狀形成L形狀的細長的板狀構件。在保持構件79之兩端側形成有擰入螺釘81的螺釘孔。該螺釘孔形成於保持構件79之與上下方向正交的平板部分。保持構件79之兩端側分別藉由從上側插通於長孔80a的螺釘81固定於兩個保持構件80各自上。即，保持構件79藉由螺釘81固定於兩個保持構件80上，且配置於保持構件80之下側。又，兩個保持構件79分別固定於兩個保持構件80上。保持構件79與第一方向平行地配置。即，兩個保持構件79相互平行地配置，並且與第一方向平行地配置。 在保持構件79上形成有以第一方向為長度方向的長孔79a。長孔79a在第二方向上貫通保持構件79之與第二方向正交的平板部分。又，長孔79a形成於保持構件79之第一方向之一側之端部和另一側之端部之間之全區域。保持構件78係呈L形狀折彎的平板狀之構件。在保持構件78上形成有擰入螺釘82的螺釘孔。該螺釘孔形成於保持構件78之與第二方向正交的平板部分。 保持構件78藉由從第二方向之一側插通於長孔79a的螺釘82固定於保持構件79，且配置於保持構件79之第二方向之另一側。又，兩個保持構件78分別固定於兩個保持構件79各自上。在保持構件78之與上下方向正交的平板部分固定有氣缸77b。即，在保持構件78上固定有基板吸附部72。 在本形態中，藉由將螺釘82鬆開，可以進行基板吸附部72在第一方向上相對於面板吸附部71的位置調整。又，藉由將螺釘81鬆開，可以進行基板吸附部件72在第二方向上相對於面板吸附部71之位置調整。即，基板吸附部72在第一方向和第二方向上相對於面板吸附部71可進行位置調整。又，兩個基板吸附部72各自相對於面板吸附部71可進行位置調整。 如圖9所示，面板吸附部71和兩個基板吸附部72經由共同的開關閥84與共同之空氣之吸引機構85連接。開關閥84係電磁閥。又，吸引機構85例如係真空泵。在開關閥84和兩個基板吸附部72之間的配管路徑上配置有流量控制閥86。流量控制閥86例如係流量調整閥或節流閥。在本形態中，藉由流量控制閥86之作用，基板吸附部72 對FPC2a之吸引力比面板吸附部71對液晶面板2之吸引力小。例如，基板吸附部72對FPC2a之吸引力和面板吸附部71對液晶面板2之吸引力之比為1：9。 在開關閥84和面板吸附部71之間之配管路徑上，連接有用於基於面板吸附部71之吸引壓而檢測液晶面板2是否被吸附於面板吸附部71的第一壓力感測器87。又，在開關閥84和兩個基板吸附部72之間之配管路徑上，連接有用於基於基板吸附部72之吸引壓檢測FPC2a是否被吸附於基板吸附部72的第二壓力感測器88。 面板檢測機構74係光學式檢測機構，具備朝向托盤3內之液晶面板2射出光的發光部89和配置於可接受藉由液晶面板2反射之光的位置的受光部90。具體而言，面板檢測機構74係具有受發光部91和反射構件(回歸反射板)92的回歸反射型之光學式檢測機構，受發光部91具有發光部89及受光部90，反射構件92將從發光部89射出並藉由液晶面板2反射後的光朝向液晶面板2反射，受光部90被配置於可接受藉由反射構件92反射後再藉由液晶面板2反射之光的位置。 發光部89具備作為光源的LED(發光二極體)。又，發光部89例如具備傳遞來自LED之光的光纖。受發光部91及反射構件92固定於基體構件75之下表面側。又，受發光部91及反射構件92配置於比面板吸附部71之下表面靠上側。受發光部91和反射構件92以在第一方向上夾着面板吸附部71的方式配置。又，受發光部91和反射構件92分別安裝於第一方向上的基體構件75之兩端側。 發光部89之發光面及受光部90之受光面朝向斜下側，反射構件92之反射面朝向斜下側。又，發光部89之發光面、受光部90之受光面及反射構件92之反射面朝向第一方向之內側。從發光部89射出的光向液晶面板2之入射角θ為45°以上且低於90°。具體而言，入射角θ形成大致65°。又，在本形態中，照射至液晶面板2的光之點徑較小。 面板檢測機構74在面板把持部24要把持托盤3內之液晶面板2時，檢測液晶面板2之有無。具體而言，面板檢測機構74在面板把持部24要把持托盤3內之液晶面板2時，基於受光部90之受光量而檢測液晶面板2之有無。 即，如圖10所示，在面板把持部24要把持托盤3內之液晶面板2時，如果在面板把持部24之下側有液晶面板2，則從發光部89射出的光藉由液晶面板2之上表面反射、且藉由反射構件92反射後再次藉由液晶面板2之上表面反射而入射到受光部90，但如果在面板把持部24之下側沒有液晶面板2，則從發光部89射出的光藉由托盤3反射、且藉由反射構件92反射後再次藉由托盤3反射而入射到受光部90，因此，在面板把持部24之下側有液晶面板2的情況和没有液晶面板2的情況中，受光部90之受光量不同。面板檢測機構74基於受光部90之受光量之差異來檢測液晶面板2之有無。 此外，如圖10所示，在托盤3上形成有支持液晶面板2之外周端部分的面板支持部3a。面板支持部3a形成為長方形之框狀，液晶面板2之外周端部分之下表面與面板支持部3a之上表面接觸。面板支持部3a之內周側形成朝向下側凹入的凹部3b。面板支持部3a之上表面和凹部3b之底面的上下方向之距離D為3～4(mm)左右。如上所述，液晶面板2之厚度為1(mm)左右，在收容於托盤3的液晶面板2未產生撓曲的情況下，收容於托盤3的液晶面板2之上表面和凹部3b之底面之上下方向之距離為4～5(mm)左右。 在面板把持部24要把持托盤3內之液晶面板2時，在面板把持部24之下側没有液晶面板2的情況下，從發光部89射出的光藉由凹部3b之底面被反射。又，藉由凹部3b之底面反射後的光藉由反射構件92反射後，再次藉由凹部3b之底面反射。 在本形態中，在面板把持部24要把持收容在托盤3內之規定部位的液晶面板2時，例如，如果在托盤3内存在液晶面板2之遺漏，藉由面板檢測機構74未檢測到液晶面板2，機器人9則使面板把持部24移動，嘗試藉由面板把持部24把持收容於托盤3內之其他部位的液晶面板2。 另一方面，在面板把持部24要把持收容在托盤3內之規定部位的液晶面板2時，如果藉由面板檢測機構74檢測到液晶面板2，機器人9則仍舊繼續液晶面板2之把持動作。即，機器人9嘗試面板把持部24進行的液晶面板2及FPC2a之吸附。具體而言，機器人9嘗試藉由面板吸附部71吸附液晶面板2、藉由基板吸附部72吸附FPC2a。 之後，如果藉由第一壓力感測器87檢測到液晶面板2被吸附於面板吸附部71，且藉由第二壓力感測器88檢測到FPC2a被吸附於基板吸附部72，機器人9則開始從托盤3搬出液晶面板2之搬出動作。另一方面，在未檢測到液晶面板2被吸附於面板吸附部71、及FPC2a被吸附於基板吸附部72的至少任一方的情況下，機器人9再次嘗試面板把持部24進行的液晶面板2及FPC2a之吸附。 之後，如果檢測到液晶面板2被吸附於面板吸附部71，且FPC2a被吸附於基板吸附部72，機器人9則開始從托盤3搬出液晶面板2之搬出動作，如果未檢測到液晶面板2被吸附於面板吸附部71、及FPC2a被吸附於基板吸附部72的至少任一方，則為錯誤，機器人9停止。 (面板載台之結構) 圖11係圖4所示的面板載台39之立體圖。圖12係圖11所示的兩個基板載置部44移動並固定於面板載置部43側時之面板載台39之立體圖。 如上所述，面板載台39具備載置液晶面板2的面板載置部43和載置FPC2a的基板載置部44。本形態之面板載台39具備兩個基板載置部44。又，面板載台39具備用於調整基板載置部44相對於面板載置部43之位置的第二位置調整機構93。 如上所述，面板載置部43形成為長方形之平板狀。面板載置部43以面板載置部43之厚度方向和上下方向一致的方式配置。在以下之說明中，將形成為長方形之平板狀的面板載置部43之長度方向(圖11、圖12之S方向)作為“第三方向”，該第三方向為與上下方向(垂直方向)正交的方向，將與上下方向和第三方向正交的面板載置部43之寬度方向(圖11、圖12之T方向)作為“第四方向”。 面板載置部43藉由具有導電性的樹脂材料形成。該面板載置部43具備真空吸附載置於面板載置部43之上表面的液晶面板2的吸附部43a。吸附部43a配置於面板載置部43之中心。如上所述，在面板載置部43之上表面安裝有偏振構件45。偏振構件45被黏貼在面板載置部43之上表面之未配置吸附部43a的位置。 基板載置部44形成為細長的扁平的長方體狀。基板載置部44之上表面形成與上下方向正交的平面。基板載置部44之長度與面板載置部43之寬度方向之寬度(第四方向之寬度)相等。基板載置部44之厚度(上下方向之厚度)與面板載置部43之厚度相等。基板載置部44具備作為FPC2a接觸的配線接觸構件的基板接觸構件94。 基板接觸構件94形成為細長的長方形之薄板狀，構成基板載置部44之上表面。基板接觸構件94藉由橡膠形成。例如，基板接觸構件94藉由矽氧橡膠形成。在基板接觸構件94之上表面實施紋理加工，基板接觸構件94之上表面成為形成紋理形狀的凹凸面。即，FPC2a接觸的基板接觸構件94之上表面成為形成紋理形狀的凹凸面。 第二位置調整機構93係手動式調整機構。該第二位置調整機構93具備保持基板載置部44的兩個保持構件95。保持構件95係細長的長方形之平板狀構件。在保持構件95上形成有長孔95a。長孔95a形成於保持構件95之一端側和保持構件95之另一端側之間的全區域。在面板載置部43之第四方向之兩端側形成有擰入螺釘96的螺釘孔43b。具體而言，在面板載置部43之第四方向之兩端側分別形成有兩個螺釘孔43b。螺釘孔43b在上下方向上貫通面板載置部43。 兩個保持構件95分別藉由從下側插通於長孔95a的螺釘96固定於面板載置部43之第四方向之兩端側。又，保持構件95以保持構件95之長度方向和第三方向一致的方式固定於面板載置部43之下表面。又，保持構件95以保持構件95之厚度方向和上下方向一致的方式配置，長孔95a在上下方向上貫通保持構件95。 兩個基板載置部44中的一基板載置部44固定於兩個保持構件95之一端部之上表面。即，該基板載置部44之一端部被固定在配置於第四方向之一側的保持構件95之一端部之上表面，該基板載置部44之另一端部被固定在配置於第四方向之另一側的保持構件95之一端部之上表面。 在另一基板載置部44之兩端側部分之下表面形成有擰入螺釘97的螺釘孔。該基板載置部44經由從下側插通於長孔95a的螺釘97固定於保持構件95之上表面。即，該基板載置部44之一端部藉由螺釘97被固定在配置於第四方向之一側的保持構件95之上表面，該基板載置部44之另一端部藉由螺釘97被固定在配置於第四方向之另一側的保持構件95之上表面。基板載置部44與第四方向平行地配置。即，兩個基板載置部44相互平行地配置，並且與第四方向平行地配置。又，兩個基板載置部44在第三方向上配置於面板載置部43之一側。 在本形態中，通過將螺釘96鬆開，可進行保持構件95在第三方向上相對於面板載置部43之位置調整。即，通過將螺釘96鬆開，可進行兩個基板載置部44在第三方向上相對於面板載置部43之位置調整。又，通過將螺釘97鬆開，可進行另一基板載置部44在第三方向上相對於保持構件95之位置調整。即，通過將螺釘97鬆開，可進行另一基板載置部44在第三方向上相對於面板載置部43及一基板載置部44之位置調整。這樣，在本形態中，兩個基板載置部44各自相對於面板載置部43可進行位置調整。 兩個基板載置部44之第三方向之節距與兩個基板吸附部72之第二方向之節距大致相等。又，兩個基板載置部44中之配置於面板載置部43側的基板載置部44(另一基板載置部44)和面板載置部43之中心之第三方向之節距，與兩個基板吸附部72中之配置於面板吸附部71側的基板吸附部72和面板吸附部71之中心之第二方向之節距大致相等。 因此，在吸附於面板吸附部71的液晶面板2被載置於面板載置部43、吸附於基板吸附部72的FPC2a被載置於基板載置部44時，兩個基板載置部44分別配置於兩個基板吸附部72各自的正下方。此外，在本形態中，如圖12所示，可以使兩個基板載置部44接近面板載置部43，直至兩個基板載置部44相互接觸，並且另一基板載置部44和面板載置部43相互接觸的位置為止。 (本形態之主要的效果) 如以上說明，在本形態中，把持液晶面板2的面板把持部24除具備吸附液晶面板2的面板吸附部71之外，還具備吸附從液晶面板2引出的FPC2a的基板吸附部72。因此，在本形態中，即使將FPC2a從液晶面板2引出，也能夠抑制搬運液晶面板2時之FPC2a之晃動。 在本形態中，面板把持部24具備用於調整基板吸附部72相對於面板吸附部71之位置的位置調整機構73。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2之引出位置或FPC2a之形狀發生變化，藉由調整基板吸附部72相對於面板吸附部71之位置，也能夠藉由基板吸部72吸附FPC2a，使得FPC2a不會晃動。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2之引出位置或FPC2a之形狀發生變化，也能夠使用共同之面板把持部24抑制搬運液晶面板2時的FPC2a之晃動。 特別是在本形態中，基板吸附部72在第一方向和第二方向上相對於面板吸附部71可進行位置調整，因此，即使FPC2a從液晶面板2之引出位置或FPC2a之形狀大幅變化，藉由在第一方向和第二方向這兩方向上調整基板吸附部72相對於面板吸附部71之位置，也能夠藉由基板吸附部72吸附FPC2a，使得FPC2a不會晃動。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2之引出位置或FPC2a之形狀大幅變化，也能夠使用共同之面板把持部24抑制搬運液晶面板2時之FPC2a之晃動。 又，在本形態中，因為兩個基板吸附部72各自相對於面板吸附部71可進行位置調整，所以即使FPC2a從液晶面板2之引出位置或FPC2a之形狀大幅變化，藉由調整兩個基板吸附部72各自相對於面板吸附部71之位置，也能夠藉由基板吸附部72吸附FPC2a，使得FPC2a不會晃動。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2之引出位置或FPC2a之形狀大幅變化，也能夠使用共同之面板把持部24抑制搬運液晶面板2時之FPC2a之晃動。 在本形態中，基板吸附部72具備緩和基板接觸部76接觸FPC2a時之衝擊的緩衝機構77。因此，在本形態中，即使基板接觸部76從面板吸附部71向下側突出，也能夠緩和基板接觸部76接觸FPC2a時之衝擊，使得在面板吸附部71吸附液晶面板2時，基板吸附部72能夠可靠地吸附FPC2a。因此，在本形態中，即使在面板吸附部71吸附液晶面板2時，基板吸附部72能夠可靠地吸附FPC2a，也能夠防止基板接觸部76和FPC2a接觸時之FPC2a之損傷。 又，在本形態中，因為基板吸附部72具備緩衝機構77，所以即使液晶面板2之下表面之位置和FPC2a之下表面之位置在上下方向上偏移，也能夠在使液晶面板2與面板載置部43之上表面接觸、且使FPC2a與基板載置部44之上表面接觸的狀態下，一起進行面板吸附部71對液晶面板2之吸附之解除和基板吸附部72對FPC2a之吸附之解除。 在本形態中，面板吸附部71和基板吸附部72經由共同之開關閥84與共同之空氣吸引機構85連接。因此，在本形態中，與連接面板吸附部71的開關閥84和連接基板吸附部72的開關閥84分開設置的情況相比，可以簡化機器人9之結構。又，與連接面板吸附部71的吸引機構85和連接基板吸附部72的吸引機構85分開設置的情況相比，可簡化機器人9之結構。 在本形態中，基板吸附部72對FPC2a之吸引力比面板吸附部71對液晶面板2之吸引力小。因此，在本形態中，可以藉由適當的吸引力吸引重量比液晶面板2輕的FPC2a，並且可以藉由適當的吸引力吸引液晶面板2。 在本形態中，FPC2a之藉由基板吸附部72吸附的部分之面積比液晶面板2之藉由面板吸附部71吸附的部分之面積小。因此，基板吸附部72對FPC2a之吸附力比面板吸附部71對液晶面板2之吸附力低，與吸附於面板吸附部71的液晶面板2從面板吸附部71脫離的情况相比，吸附於基板吸附部72的FPC2a更容易從基板吸附部72脫離。又，在本形態中，因為面板吸附部71和基板吸附部72經由共同之開關閥84與共同之空氣吸引機構85連接，所以如果吸附於基板吸附部72的FPC2a從基板吸附部72脫離，則面板吸附部71對液晶面板2之吸引力降低，吸附於面板吸附部71的液晶面板2可能從面板吸附部71脫離而掉落，液晶面板2有可能損壞。 但是，在本形態中，在基板吸附部72和開關閥84之間之配管路徑上配置有流量控制閥86，基板吸附部72對FPC2a之吸引力比面板吸附部71對液晶面板2之吸引力小，因此，可減少吸引FPC2a的空氣之吸引量。因此，在本形態中，能夠抑制吸附於基板吸附部72的FPC2a從基板吸附部72脫離時之面板吸附部71對液晶面板2之吸引力之降低，其結果係，假如吸附於基板吸附部72的FPC2a從基板吸附部72脫離，也能夠防止吸附於面板吸附部71的液晶面板2從面板吸附部71之脫離。 又，在本形態中，設有用於基於基板吸附部72之吸引壓而檢測FPC2a是否吸附於基板吸附部72之第二壓力感測器88，因此，在檢測到吸附於基板吸附部72的FPC2a從基板吸附部72脫離時，使機器人9停止，从而能夠使機器人9安全地停止而不會使液晶面板2掉落。 在本形態中，面板載台39除載置液晶面板2的面板載置部43之外，還具備載置FPC2a的基板載置部44。因此，在本形態中，可以抑制在面板載台39向前後方向或左右方向滑動時、或面板載台39轉動時，載置於面板載台39的FPC2a之晃動。 在本形態中，在吸附於面板吸附部71的液晶面板2被載置於面板載置部43、且吸附於基板吸附部72的FPC2a被載置於基板載置部44時，兩個基板載置部44分別配置於兩個基板吸附部72各自之正下方。因此，在本形態中，可以在將吸附於基板吸附部72的FPC2a載置於基板載置部44時使FPC2a可靠地接觸基板載置部44之上表面的狀態下，將FPC2a載置於基板載置部44。 在本形態中，面板載台39具備用於調整基板載置部44相對於面板載置部43之位置的第二位置調整機構93。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2引出之引出位置或FPC2a之形狀發生變化，也能夠藉由調整基板載置部44相對於面板載置部43之位置，將FPC2a適當地載置於基板載置部44。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2引出之引出位置或FPC2a之形狀發生變化，也能夠將附有FPC2a之液晶面板2適當地載置於共同之面板載台39上。 特別是在本形態中，兩個基板載置部44各自相對於面板載置部43可進行位置調整，因此，即使FPC2a從液晶面板2引出之引出位置或FPC2a之形狀大幅變化，也能夠藉由調整兩個基板載置部44各自相對於面板載置部43之位置，將FPC2a適當地載置於基板載置部44。因此，在本形態中，即使FPC2a從液晶面板2引出之引出位置或FPC2a之形狀大幅變化，也能夠將附有FPC2a之液晶面板2適當地載置於共同之面板載台39上。 又，在本形態中，如圖12所示，能夠使兩個基板載置部44接近面板載置部43，直至兩個基板載置部44相互接觸，並且另一基板載置部44和面板載置部43相互接觸的位置為止，因此，在看不見面板載台39的原點位置時，在圖12所示的狀態下可以使面板載台39恢復到原點。因此，在本形態中，即使在使面板載台39恢復到原點時使面板載台39轉動，也能夠防止面板載台39之周圍之結構和面板載台39之干涉。 在本形態中，FPC2a接觸的基板載置部44之上表面經由橡膠製之基板接觸構件94構成。又，基板載置部44之上表面成為形成紋理形狀的凹凸面。因此，在本形態中，能夠防止FPC2a相對於基板載置部44之黏附。 (其他實施形態) 上述的形態係本發明之最佳的形態之一例，但不限定於此，在不變更本發明之宗旨的範圍內可以實施各種變形。 在上述的形態中，位置調整機構73係手動式之調整機構，但位置調整機構73亦可以是具備驅動源等的自動式之調整機構。又，在上述的形態中，基板吸附部72可以僅在第一方向上相對於面板吸附部71進行位置調整，亦可以僅在第二方向上相對於面板吸附部71進行位置調整。又，在上述的形態中，兩個基板吸附部72相對於面板吸附部71可個別地調整，但亦可以是兩個基板吸附部72相對於面板吸附部71可一起調整。進而，在上述的形態中，亦可以是僅兩個基板吸附部72中之任一方之基板吸附部72相對於面板吸附部71可進行位置調整。又，亦可以是兩個基板吸附部72相對於面板吸附部71不能進行位置調整。 在上述的形態中，面板把持部24具備的基板吸附部72之數量可以係一個，亦可以是三個以上。又，基板吸附部72亦可以不具備緩衝機構77。又，在上述的形態中，面板吸附部71和基板吸附部72可以經由個別之開關閥84與共同之吸引機構85連接，亦可以經由個別之開關閥84與個別之吸引機構85連接。 在上述的形態中，亦可以是在吸附於面板吸附部71的液晶面板2被載置於面板載置部43、吸附於基板吸附部72的FPC2a被載置於基板載置部44時，兩個基板載置部44之至少任一方被配置於從基板吸附部72之正下方偏離的位置。又，在上述的形態中，第二位置調整機構93係手動式調整機構，但第二位置調整機構93亦可以是具備驅動源等的自動式調整機構。又，在上述的形態中，面板載台39亦可以被固定。 在上述的形態中，可以係僅兩個基板載置部44中之任一方之基板載置部44相對於面板載置部43可進行位置調整，亦可以是兩個基板載置部44相對於面板載置部43不能進行位置調整。又，在上述的形態中，面板載台39具備的基板載置部44之數量可以係一個，亦可以係三個以上。在面板載台39具備的基板載置部44之數量係一個，且基板載置部44相對於面板載置部43不能進行位置調整的情況下，例如，基板載置部44形成為一片平板狀。此外，面板載台39亦可以不具備基板載置部44。 在上述的形態中，FPC2a以外之配線亦可以從液晶面板2引出。例如，FFC(Flexible Flat Cable)亦可以從液晶面板2引出。在這種情況下，面板把持部24代替基板吸附部72而具備把持FFC的配線吸附部。又，在上述的形態中，被機器人9搬運的顯示面板亦可以是液晶面板2以外之顯示面板。例如，被機器人9搬運的顯示面板亦可以是有機EL面板。 在上述的形態中，機器人36之面板把持部55亦可以與面板把持部24同樣地構成。即，面板把持部55亦可以具備吸附液晶面板2的面板吸附部和吸附FPC2a的基板吸附部。在這種情況下，在載置於面板載置部43的液晶面板2被吸附於面板把持部55之面板吸附部、載置於基板載置部44的FPC2a被吸附於面板把持部55之基板吸附部時，兩個基板載置部44分別配置於面板把持部55之兩個基板吸附部各自之正下方。 在這種情況下，可以在將載置於基板載置部44的FPC2a吸附於面板把持部55之基板吸附部時，使面板把持部55之基板吸附部與FPC2a可靠地接觸的狀態下使面板把持部55之基板吸附部吸附FPC2a。該情況下之機器人36係面板搬運機器人。即，應用本發明的面板搬運機器人亦可以係雙軸正交機器人。又，在這種情況下，藉由機器人36和面板載台39構成面板搬運系統。此外，應用本發明的面板搬運機器人可以係三軸正交機器人，亦可以是水平多關節機器人。 同樣，在上述的形態中，機器人33之面板把持部58亦可以與面板把持部24同樣地構成。該情況下之機器人33係面板搬運機器人。又，面板載台52亦可以與面板載台39同樣地構成。即，面板載台52亦可以具備載置液晶面板2的面板載置部和載置FPC2a的基板載置部。在面板把持部58與面板把持部24同樣地構成、面板載台52與面板載台39同樣地構成的情況下，藉由機器人33和面板載台52構成面板搬運系統。又，在面板把持部55和面板把持部24同樣地構成、且面板載台52與面板載台39同樣地構成的情況下，藉由機器人36和面板載台52構成面板搬運系統。

2‧‧‧液晶面板(顯示面板)2a‧‧‧FPC(柔性印刷基板、配線)9‧‧‧機器人(面板搬運機器人)24‧‧‧面板把持部28‧‧‧移動機構39‧‧‧面板載台43‧‧‧面板載置部44‧‧‧基板載置部(配線載置部)49‧‧‧面板搬運系統71‧‧‧面板吸附部72‧‧‧基板吸附部(配線吸附部)73‧‧‧位置調整機構74‧‧‧面板檢測機構75‧‧‧基體構件76‧‧‧配線接觸部77‧‧‧緩衝機構77a‧‧‧活塞77b‧‧‧氣缸78‧‧‧保持構件79‧‧‧保持構件79a‧‧‧長孔80‧‧‧保持構件80a‧‧‧長孔81‧‧‧螺釘82‧‧‧螺釘84‧‧‧開關閥85‧‧‧吸引機構86‧‧‧流量控制閥89‧‧‧發光部90‧‧‧受光部93‧‧‧第二位置調整機構94‧‧‧基板接觸構件(配線接觸構件)V‧‧‧第一方向W‧‧‧第二方向

圖1係組裝了本發明實施形態的面板搬運機器人的搬運系統之側視圖。 圖2係從圖1之E－E方向表示搬運系統的俯視圖。 圖3係圖1所示的面板搬運機器人之立體圖。 圖4係圖1所示的供給單元之立體圖。 圖5係圖4所示的供給單元之俯視圖。 圖6係圖3所示的面板搬運機器人之面板把持部之立體圖。 圖7係從其他方向表示圖6所示的面板把持部的立體圖。 圖8係從下側表示圖6所示的配線吸附部及位置調整機構的立體圖。 圖9係用於說明與圖6所示的面板吸附部及配線吸附部連接的配管之路徑的圖。 圖10係用於說明圖6所示的面板檢測機構之結構之概略圖。 圖11係圖4所示的面板載台之立體圖。 圖12係圖11所示的兩個配線載置部移動到面板載置部側固定時之面板載台之立體圖。

24‧‧‧面板把持部

71‧‧‧面板吸附部

72‧‧‧基板吸附部(配線吸附部)

73‧‧‧位置調整機構

74‧‧‧面板檢測機構

75‧‧‧基體構件

76‧‧‧配線接觸部

77‧‧‧緩衝機構

77a‧‧‧活塞

77b‧‧‧氣缸

78‧‧‧保持構件

79‧‧‧保持構件

79a‧‧‧長孔

80‧‧‧保持構件

80a‧‧‧長孔

81‧‧‧螺釘

82‧‧‧螺釘

89‧‧‧發光部

90‧‧‧受光部

Claims (9)

1. 一種面板搬運機器人，其特徵在於，具備把持顯示面板的面板把持部和使上述面板把持部移動的移動機構，上述面板把持部具備吸附上述顯示面板的面板吸附部和吸附從上述顯示面板引出的配線的配線吸附部，上述面板吸附部和上述配線吸附部經由共同之開關閥與共同之空氣吸引機構連接，上述面板搬運機器人還具備配置於上述配線吸附部和上述開關閥之間之配管路徑上的流量控制閥，上述配線吸附部對上述配線之吸引力比上述面板吸附部對上述顯示面板之吸引力小。
2. 如請求項1之面板搬運機器人，其中，上述面板把持部具備用於調整上述配線吸附部相對於上述面板吸附部之位置的位置調整機構。
3. 如請求項2之面板搬運機器人，其中，上述面板吸附部以上述顯示面板之厚度方向和垂直方向一致的方式吸附上述顯示面板，上述配線吸附部能夠在與垂直方向正交的第一方向、和與垂直方向和第一方向正交的第二方向上，相對於上述面板吸附部進行位置調整。
4. 如請求項2或3之面板搬運機器人，其中，上述面板把持部具備複數個上述配線吸附部，複數個上述配線吸附部的每一個相對於上述面板吸附部能夠分別進行位置調整。
5. 如請求項1至3中任一項之面板搬運機器人，其中，上述配線吸附部具備與上述配線接觸的配線接觸部和緩和上述配線接觸部與上述配線接觸時之衝擊的緩衝機構。
6. 一種面板搬運系統，其特徵在於，具備請求項1至5中任一項之面板搬運機器人和載置上述面板搬運機器人搬運的上述顯示面板的面板載台，上述面板載台具備載置上述顯示面板的面板載置部和載置上述配線的配線載置部。
7. 如請求項6之面板搬運系統，其中，在被吸附於上述配線吸附部的上述配線載置於上述配線載置部時、及被載置於上述配線載置部的上述配線被吸附於上述配線吸附部時之至少任一方，上述配線載置部配置於上述配線吸附部之正下方。
8. 如請求項6或7之面板搬運系統，其中，上述面板載台具備用於調整上述配線載置部相對於上述面板載置部 之位置的第二位置調整機構。
9. 如請求項6或7之面板搬運系統，其中，上述配線載置部具備上述配線接觸的橡膠製之配線接觸構件，上述配線接觸的上述配線接觸構件之上表面成為形成紋理形狀的凹凸面。

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