JP2009505410A - 2つの面を持つサクションバーを備える運動装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ベース
3 アーム1
4 アーム2
6 保持装置、たとえばサクション装置や同様なもの
7 アーム1のショルダー軸
8 アーム2のショルダー軸
9 サクションバーの軸
10 動作領域
11 運動シーケンスまたは軌道曲線(一例として)
12 零点
13 アーム1の駆動装置
14 アーム2の駆動装置
15 サクションバーの駆動装置
16 部品(たとえばプリント配線板、ウェハ、ガラス基板など)
17 動作レベル
19 ケーブル(電力供給線、信号線)
20 バランス部材(バネ、ウェイトなど)
21 駆動部材1
22 駆動部材2 a、b
23 駆動部材3 a、b、c
24 駆動制御装置
25 軌道曲線(軸9)
26 ポジション
27 ポジション
28 軸
29 グリップ中心点
30 部品の下側エッジ
31 下側エッジ‐軌道曲線
32 軌道曲線(軸8)
33 回転数曲線(7)
34 回転数曲線(8)
35 回転数曲線(9)
36 ポジション
37 ポジション
38 ポジション
39 矢印方向
40 2つの面を持つサクションバー
41 軸取り付け具
42 フレーム、上側
43 フレーム、下側
44 サクションバー 上側
45 サクションバー 下側
46 部品(たとえばプリント配線板、ウェハ、ガラス基板など)
47 シャフトマウント
48 シャフトマウント
49 回転軸
50 回転方向
Claims (11)
- 多軸型運動装置(1)であって、すなわち当該運動装置は、複数軸で駆動されるアームの自由な末端に設けられたグリッパーの十分に正弦波形の運動シーケンス(11)を持ち、この場合、いずれのアーム(3、4)にも、ステップ駆動する駆動モーター(ステップモーター)が割り当てられ、そして当該ステップモーター(13〜15)は、独立した軸(7、8、9)を駆動するために、たがいに独立かつ自律して動作し、いずれかのステップモーターからほかのステップモーターへのフィードバックは行われない、多軸型運動装置において、
当該運動装置(1)がサクションバー(40)を備え、当該サクションバーは、プリント配線板、基板、ウェハ、または同様な平板状の対象物(16、46)をピックアップするためのサクション装置(6)の配置を、両面に形成することを特徴とする、多軸型運動装置。 - 前記のサクションバー(40)が回転マウントを備え、当該回転マウントは、サクションバーの回転軸(49)を中心に少なくとも180°、特には360°まで、回転運動を行うことを特徴とする、多軸型運動装置(1)。
- サクション装置(6)で2つの面を形成されたサクションバー(40)が、軸取り付け具(41)により、直接に軸(9)と力学的結合により結合されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバー(40)が、プリント配線板、基板、ウェハなど(16、4)を2つ同時にピックアップするために形成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクション装置(6)が、面ごとにたがいに独立して作動可能に形成されていることを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバー(4)が箱型でフラットな構造を持つことを特徴とする、請求項1から4のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバー(40)の配置によって、運動装置のマニピュレーション時間が全体として減少することを特徴とする、請求項1から5のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバー(4)のサクション開口が、直径上たがいに反対側に位置し、たがいに向かい合うことを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバーのサクション開口がたがいに角度90°を取って配置されていることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバーのサクション開口がたがいに90°〜270°の範囲の角度を取って配置されていることを特徴とする、請求項1から8のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
- サクションバーのサクション開口が、調整可能かつ変更可能な方法で、たがいに90°〜270°の範囲の角度を取って配置されていることを特徴とする、請求項1から9のいずれか一項に記載の多軸型運動装置(1)。
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