JP2010184305A - マグネットチャック及び多関節ロボット、ワーク搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のワークの吸着搬送を簡単に可能とする。
【解決手段】マグネットチャック１０は、回転機構１１によって回転制御される回転軸１２と、その回転軸１２に放射方向へ連結される支持部材１３，１４と、を有し、各支持部材１３，１４の先端に、吸着面を放射方向外側へ向けて吸着及びその解除作業が単独で制御可能な電磁石１５を夫々取り付けて、ワークＷの吸着又はその解除動作を行うことにある。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁石を用いて多関節ロボットの先端のハンドに装着され、電磁石を備えてワークを吸着搬送するために用いられるマグネットチャックと、そのマグネットチャックを備えた多関節ロボット及びワーク搬送装置とに関するものである。

電磁石を用いてワークを吸着搬送するマグネットチャックとしては、ワークを複数の箇所で吸着・保持する保持装置が知られている（特許文献１）。また、特許文献２，３に開示されている、磁性物体を吸着して所定の位置に移動した後、励磁電流によって磁性物体の残留磁気を消磁することや（特許文献２）、消磁器を用いて加工後の帯磁したワークの消磁を行うことも知られている（特許文献３）。

実開平１−１４３３２５号公報 特開昭６１−３３８３８号公報 特開昭６１−９０４０７号公報

しかし、このようなマグネットチャックにおいては、複数の電磁石を用いて、ワークの複数の箇所を吸着・保持した場合、吸着面が多いことで安定して保持することは可能であるが、それぞれを個別に独立制御することができなかった。そのため、複数のワークの場合、受け渡し位置に対して一つずつ別のマグネットチャックの電磁石で受け渡し動作を行う必要があって効率が良くない。特に、ワークがいわゆるコンロッド（コネクティングロッド）の場合、加工ラインの途中で一方の穴部分が切断され、当該穴部分の半分となるキャップ部と、残りの半分にロッドを介して他方の穴部分が一体となる本体とに二分割される特殊な態様となるため、単一の電磁石を有するマグネットチャックでは吸着搬送が１つのマグネットチャックでは行えないといった問題があった。また、電磁石を用いて、ワークを吸着・保持する場合、ワークの残留磁気を消磁するため、加工後に消磁器を用いて消磁を行う必要があり、無駄な工程を設けなければならず、生産効率の低下といった問題も発生している。

そこで、本発明は、上記従来の問題点を解消し、キャップ部と本体とに二分割されるコンロッド等の複数のワークの吸着搬送を効率良く可能とするマグネットチャックと、そのマグネットチャックを備えた多関節ロボット及びワーク搬送装置とを提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明の構成は、多関節ロボットの先端のアームに装着され、電磁石を備えてワークを吸着搬送するために用いられるマグネットチャックであって、支持部材を、前記アームの回転軸に対して軸方向に複数配置するとともに、前記各支持部材に、吸着及びその解除動作が単独で制御可能な電磁石を取り付けて、前記ワークの吸着又はその解除動作を行うことにある。

請求項２に記載の発明の構成は、請求項１の構成において、支持部材を、回転軸に対して突出方向が異なるように設けたことにある。

請求項３に記載の発明の構成は、請求項２の構成において、前記支持部材を、前記アームの回転軸から放射方向となるように設けたことにある。

請求項４に記載の発明の構成は、請求項１乃至３の何れかの構成において、前記支持部材及び電磁石の組を、前記回転軸に対して同位相で所定間隔をおいて夫々二組ずつ設けたことにある。

請求項５に記載の発明の構成は、請求項１乃至４の何れかの構成において、前記ワークの吸着搬送時に前記ワークの帯磁磁気を消磁する消磁手段を備えたことにある。

請求項６に記載の発明の構成は、請求項１乃至５の何れかの構成において、マグネットチャックを先端のアームに装着してなる多関節ロボットとしたことにある。

請求項７に記載の発明の構成は、請求項６に記載の多関節ロボットを、ワークを加工する複数の加工ステーション間に配置してなるワーク搬送装置としたことにある。

本発明によれば、キャップ部と本体とに二分割されるコンロッド等の複数のワークの吸着搬送が、複数の電磁石を独立して制御するので、分割したものを１つのマグネットチャックで吸着ができるため、マグネットチャックによる吸着搬送を何度も繰り返し行う必要がない。そのため、ワークの吸着搬送を短時間で行うことが可能となり、作業効率も上がる。また、単一のマグネットチャックが回転軸を中心に回転することでワークを同時に加工ステーションへと受け渡すため、複数のマグネットチャックでワークをそれぞれ加工ステーションへと受け渡すものに比べ、必要なスペースが小さくて済み、狭い加工空間でも支障なくワークの吸着搬送が行える。
さらに、請求項２に記載の発明によれば、単一のマグネットチャックが回転軸を中心に回転することでワークを同時に加工ステーションへと受け渡すため、複数のマグネットチャックでワークをそれぞれ加工ステーションへと受け渡すものに比べ、必要なスペースが小さくて済み、狭い加工空間でも支障なくワークの吸着搬送が行える。
特に、請求項３に記載の発明によれば、加工時にワークに付着したクーラントによって、電磁石等が濡れてしまうおそれが少ない。
また、請求項４に記載の発明によれば、吸着箇所が増えるため、複数組のコンロッドが吸着搬送可能となる等、ワークの吸着態様のバリエーションが増え、ワークの吸着搬送により好適となる。
他にも、請求項５に記載の発明によれば、消磁手段を備えたことで、ワークの滞留磁気による切粉等の付着が防止可能となる。

マグネットチャックを備えた多関節ロボットの説明図である。 マグネットチャックによるワークの受け渡し手順を示す説明図である。 多関節ロボットをワークの加工ラインに配置したワーク搬送装置の説明図である。 マグネットチャックを備えた多関節ロボットの変更例を示す説明図である。 マグネットチャックを示す説明図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１は、マグネットチャックを備えた多関節ロボットの一例を示す説明図である。図２は、マグネットチャックによるワークの受け渡し手順を示す説明図である。図３は、多関節ロボットをワークの加工ライン上に配設したワーク搬送装置の一例を示す説明図である。図４，５は、マグネットチャックを備えた多関節ロボットの変更例を示す説明図である。

図１に示す多関節ロボット１は、ベース２上に、回転軸１２を有する複数のアーム３，３・・を備え、各軸に設けた図示しない駆動モータ及び減速機構によって各軸を所定角度旋回させることで、先端のアーム３に所定の運動をさせる周知の構造となっている。４は、ベース２が設置される走行テーブルで、図１の左右方向へのベース２の移動制御に加えて、加工ラインに沿った同図の紙面奥行き方向へのベース２の移動制御が可能となっている。

この多関節ロボット１の先端のアーム３に、マグネットチャック１０が装着されている。このマグネットチャック１０は、アーム３に備えたモータ等からなる回転機構１１によって回転制御される回転軸１２と、その回転軸１２から放射方向へ連結される複数の支持部材１３とを備え、支持部材１３の先端に、吸着面を放射方向外側へ向けた電磁石１５を取り付けた構成となっている。
なお、電磁石１５は、多関節ロボット１に設けた図示しないコントローラによって通電制御されることで、磁性体のワークを吸着及び解除がなされる周知の構造で、特にここでは、残留磁気を消磁する消磁手段を備えたコントローラ（例えば株式会社フジタ製の電磁石コントローラ、ＦＳＤＳ−Ｔ型）が用いられている。

このマグネットチャック１０の構成は、必ずしも図１に示す構成に限定する必要はなく、図３に示す加工ステーション２１にワークＷの吸着搬送が可能であれば、図４，５に示すように、アーム３の先端から固定軸１７を下向きに突設し、その固定軸１７にブラケット１８をアーム３と平行に連結して、ブラケット１８の先端に、アーム３の軸方向で二組ずつとなる支持部材１３Ａ，１３Ｂ及び１４Ａ，１４Ｂを連結する。この場合、回転軸１１の軸方向から見て、最外に位置する支持部材１３Ａ，１３Ｂ及び１４Ａ，１４Ｂの放射方向である軸心間の角度が９０°となるように連結し、各支持部材１３Ａ，１３Ｂ及び１４Ａ，１４Ｂの下端に、電磁石１５Ａ，１５Ｂを夫々取り付け、受け渡し位置に対して同一方向で接離させてワークの吸着又はその解除動作を行う構造も考えられる。この場合、アーム３が自身の回転軸を中心に回転することで、各支持部材１３Ａ，１３Ｂ及び１４Ａ，１４Ｂをワークの受け渡し位置に向けて、上記形態と同様にワークの受け渡しを連続して行うことができる。

そして、ここでの支持部材１３，１４は、図２（Ａ）に示すように、回転軸１１の軸方向から見て、最外に位置する支持部材１３，１４の軸心間の角度θが９０°以下となるように回転軸１２に対して突出方向が異なり、夫々取り付けられている。また、各支持部材１３，１４は、図１に示すように、回転軸１２に対して同位相（軸方向で前後に設けられた電磁石１５，１５において、ワークの吸着及び解除を同じタイミングで行うことを示す）で所定間隔（加工による分割前のワークＷ０やワークＷの吸着搬送を可能にするとともに、ワークＷが加工によって、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとに二分割された場合には、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとがお互いに接触することなく、電磁石１５Ａ，１５Ｂでそれぞれ吸着搬送を行い、他方の電磁石から磁力の影響を受けることがない間隔を示す）をおいて一組設けられている。よって、以下支持部材１３，１４や電磁石１５において独立して制御する場合、回転軸１２の前方側を１５Ａ、後方側を１５Ｂのように符号ＡＢを付して説明する。

以上の如く構成された多関節ロボット１によるワークＷ０の吸着搬送は、例えば以下のように行われる。
図３に示す加工ライン２０では、ＮＣ工作機械を備えた加工ステーション２１ａ，２１ｂ・・を複数配設しており、フライス加工やボーリング加工等、ワークの加工に必要な工程を順番に行うようになっている。これらの加工ステーション２１ａ，２１ｂ・・の配設方向に沿って、多関節ロボット１を備えた走行レール４を設置して、加工ステーション２１ａ，２１ｂ・・に対する多関節ロボット１の出し入れと、ワークの表裏反転と、加工ステーション２１ａ，２１ｂ・・間での多関節ロボット１の移動とを行うことで、ワーク搬送装置２２を形成している。

まず、加工前のワークＷ０を供給ステーション２３から受け取る。これは、図２（Ａ）に示すマグネットチャック１０を、一方の支持部材１３を鉛直方向下向きにした状態で下降し、受け渡し台にセットされた加工前のワークＷ０を電磁石１５で吸着することでなされる。このとき、軸方向で前後に設けられた電磁石１５Ａ，１５Ｂにおいて、ワークの吸着及び解除を同じタイミングで行い、同位相の電磁石１５Ａ，１５Ｂを同時に使用する。なお、ワークＷ０の重量が小さければ、電磁石１５Ａ，１５Ｂの何れか一方を使用しても良い。

こうしてワークＷ０を受け取った後、図２（Ｂ）に示すように、マグネットチャック１０を上昇させる。この時に、回転機構１１によって回転軸１２を９０°回転させて、ワークＷ０が吸着されていない支持部材１４を鉛直方向下向きに移動させる。

次に、多関節ロボット１が最初の加工ステーション２１ａの前に移動して、当該加工ステーション２１ａに進入し、図２（Ｃ）に示すように、マグネットチャック１０を下降させて、治具上にある加工済みのワークＷを支持部材１４の電磁石１５で吸着させる。そして、図２（Ｄ）に示すように、マグネットチャック１０を上昇させると、ワークＷの受け取りがなされる。この時、図２（Ｅ）に示すように、回転機構１１によって回転軸１２を９０°逆回転させて、ワークＷ０が吸着されている支持部材１３を鉛直方向下向きに移動させる。

次に、図２（Ｆ）に示すように、マグネットチャック１０を下降させて、治具上にワークＷ０をセットして吸着を解除する。これにより、ワークＷ０の供給が完了する。この供給の際、マグネットチャック１０を下降させて治具上へワークＷ０をセットするまでの間に、コントローラが帯磁したワークＷ０の消磁を行う。

その後、図２（Ｇ）に示すように、マグネットチャック１０を上昇させた後、回転機構１１によって回転軸１２を９０°回転させて、ワークＷが吸着されている支持部材１４を鉛直方向下向きに移動させる。そして、多関節ロボット１が次の加工ステーション２１ｂの前に移動して、当該加工ステーション２１ｂに進入し、図２（Ｈ）に示すように、マグネットチャック１０を下降させて、加工ステーション２１ｂの治具上にセットされたワークＷ２を電磁石１５で吸着する。

その後、図２（Ｉ）に示すように、マグネットチャック１０を上昇させた後、回転機構１１によって回転軸１２を９０°回転させて、ワークＷ１を吸着する支持部材１４を鉛直方向下向きに移動させる。さらに、図２（Ｊ）に示すように、マグネットチャック１０を下降させた後、図２（Ｋ）に示すように、治具上にワークＷ２を治具上にセットして吸着を解除する。その後、図２（Ｌ）に示すように、マグネットチャック１０が上昇することによってワークＷ２の供給が完了する。

次に、加工ステーション２１ｂでのワークＷ１とＷ２との入れ替えは、以下のように行われる。まず初めに、支持部材１３を鉛直方向下向きとし、図２（Ｈ）に示す状態でマグネットチャック１０を下降させる。そして、治具上にセットされたワークＷ１を電磁石１５で吸着した後、図２（Ｉ）に示すように、マグネットチャック１０を上昇させた後、回転機構１１によって回転軸１２を９０°回転させて、支持部材１４を鉛直方向下向きに移動させる。さらに、図２（Ｊ）に示すように、マグネットチャック１０を下降させる。その後、図２（Ｋ）に示すように、治具上にワークＷ２を治具上にセットして吸着を解除する。そして、図２（Ｌ）に示すように、マグネットチャック１０が上昇することによってワークＷ２の供給が完了する。
この供給の際も上記と同様に、マグネットチャック１０を下降させて治具上へワークＷ１をセットするまでの間に、コントローラが帯磁したワークＷ２の消磁を行う。

そして、図２（Ｌ）に示す状態から、ワークＷ２を加工ステーション２１ｂから受け取り、吸着搬送を行うと共に、以降の各加工ステーション２１ｃ，２１ｄ・・・間でも同様に加工途中のワークＷを順番に受け渡しさせる。

また、ワークＷが加工によって、図１や図３の加工ステーション２１ｄ，２１ｅに示すようにキャップ部ＷＡと本体ＷＢとに二分割された場合も、図２の（Ａ）と同様に、多関節ロボット１は、加工ステーション２１ｄに進入し、ワークＷが吸着されていない支持部材１５を鉛直方向下向きに移動させる。そして、マグネットチャック１０を下降させて、治具上にある加工済みのワークＷのうち、キャップ部ＷＡを電磁石１５Ａで吸着し、本体ＷＢは電磁石１５Ｂで吸着する。この時に、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとの治具上にセットする向きは、図３の加工ステーション２１ｄに示すように、多関節ロボット１の移動方向に対し、垂直となる向きで上下に並べる。

こうしてキャップ部ＷＡと本体ＷＢとを受け取った後、図２（Ｄ）と同様に、マグネットチャック１０を上昇させる。この時に、回転機構１１によって回転軸１２を９０°逆回転させて、加工ステーション２１ｃで分割前のワークＷが吸着された支持部材１４を鉛直方向下向きに移動させる。

次に、多関節ロボット１が次の加工ステーション２１ｅの前に移動して、当該加工ステーション２１ｅに進入し、図２（Ｃ）と同様に、マグネットチャック１０を下降させて、治具上にある加工済みのキャップ部ＷＡを支持部材１４Ａの電磁石１５Ａにより、本体ＷＢを支持部材１４Ｂの電磁石１５Ｂにより吸着させる。そして、図２（Ｄ）と同様に、マグネットチャック１０を上昇させると、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとの受け取りがなされる。この時、図２（Ｅ）と同様に、回転機構１１によって回転軸１２を９０°逆回転させて、支持部材１３を鉛直方向下向きに移動させる。そして、図３の加工ステーション２１ｅにおいては、多関節ロボット１の移動方向に対し、垂直となる向きで移動方向と平行となるように並べる。

そして、図２（Ｆ）と同様に、マグネットチャック１０を下降させて、治具上にキャップ部ＷＡをセットして吸着を解除する。次に、図２（Ｇ）と同様に、マグネットチャック１０を上昇させた後、多関節ロボット１を右側に移動する。そして、先程の図２（Ｆ）と同様に、マグネットチャック１０を下降させて、治具上に本体ＷＢをセットして吸着を解除する。これにより、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとの供給が完了する。この供給の際、マグネットチャック１０を下降させて治具上へキャップ部ＷＡと本体ＷＢとをセットするまでの間に、コントローラが帯磁したキャップ部ＷＡと本体ＷＢとの消磁を行う。

その後、再度、図２（Ｇ）と同様に、マグネットチャック１０を上昇させた後、回転機構１１によって回転軸１２を９０°回転させて、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとが吸着されている支持部材１４を鉛直方向下向きに移動させる。そして、多関節ロボット１が次の加工ステーション２１の前に移動して、当該加工ステーション２１に進入し、図２（Ｈ）と同様に、マグネットチャック１０を下降させて、治具上に支持部材１４に吸着されているキャップ部ＷＡと本体ＷＢとをセットして吸着を解除する。これにより、キャップ部ＷＡと本体ＷＢとの供給が完了する。この供給の際も上記と同様に、マグネットチャック１０を下降させて治具上へキャップ部ＷＡと本体ＷＢとをセットするまでの間に、コントローラが帯磁したキャップ部ＷＡと本体ＷＢとの消磁を行う。

次に、図２（Ｉ）と同様に、マグネットチャック１０を上昇させた後、回転機構１１によって回転軸１２を９０°逆回転させて、支持部材１３を鉛直方向下向きに移動させる。そして、図２（Ｊ）と同様の状態から、加工前のキャップ部ＷＡと本体ＷＢとを加工ステーション２１から受け取り、吸着搬送を行うと共に、各加工ステーション２１間でも同様に加工途中のキャップ部ＷＡと本体ＷＢとを順番に受け渡しさせる。
そのため、単一のマグネットチャック１０が回転軸１２を中心に回転することでキャップ部ＷＡと本体ＷＢとを同時に加工ステーション２１へと受け渡すため、複数のマグネットチャック１０でキャップ部ＷＡと本体ＷＢとをそれぞれ加工ステーション２１へと受け渡すものにくらべて必要なスペースが小さくて済み、狭い加工空間でも支障なくワークの吸着搬送が行える。

このように、多関節ロボット１による前段からのワークＷの受け取りと後段へのワークＷの供給とを各加工ステーション２１ａ，２１ｂ・・・において行うことで、ワークＷの加工ライン上での吸着搬送が可能となる。特に、ワークＷが、加工ラインの途中で一方の穴部分が切断され、当該穴部分の半分となるキャップ部ＷＡと、残りの半分にロッドを介して他方の穴部分が一体となる本体ＷＢとに二分割されても、図１に示すように、先端側の電磁石１５Ａでキャップ部ＷＡを、その後方側の電磁石１５Ｂで本体ＷＢを夫々吸着させることで、両者を同一ハンド上で吸着搬送することができ、同様にそれ以降の加工ステーション２１ｄ，２１ｅにおいて、キャップ部ＷＡ及び本体ＷＢの受け取りと供給とが可能となる。勿論これと逆の吸着も可能であるので、加工ステーション２１に設けた治具を回転させることで、種々の向きでキャップ部ＷＡ及び本体ＷＢを吸着して加工に適した姿勢で加工ステーション２１に供給することができる。

また、ワークＷの受け取りと供給とを行う際、回転軸１２の回転によって支持部材１３，１４が揺動することになるが、両者の角度設定により、何れの支持部材が鉛直方向下向きにあっても、他方の支持部材は斜め下向きにあって、鋭角であるため、加工中にワークＷに付着したクーラント等が電磁石１５側に伝って電磁石１５や支持部材１３，１４を濡らす可能性が少なくなる。
そして、支持部材１３と支持部材１４とを、アーム３の回転軸１２から放射方向で、且つ軸心間の角度が鋭角となるように設けたことで、加工時にワークＷに付着したクーラントによって、電磁石１５等が濡れてしまうおそれが少ない。
加えて、支持部材の軸心間の角度は、回転軸の回転方向の反時計方向に約９０°の状態に設けられているが、これに限らず、９０°以内であれば当該角度を変更しても良い。更に、支持部材の数は、必ずしも二つである必要はなく、ワークの吸着搬送が可能であれば３つ以上に増やしても良いが、増やした場合も最外に位置する支持部材間の角度は９０°以内に収める必要がある。

以上のように、上記形態のマグネットチャック１０によれば、支持部材１３を、アーム３の回転軸１２に対して軸方向に複数配置するとともに、支持部材１３に、吸着及びその解除動作が単独で制御可能な電磁石１５を取り付けて、ワークＷの吸着又はその解除動作を行うことにある。よって、マグネットチャックによる吸着搬送を何度も繰り返し行う必要がないため、ワークＷの吸着搬送を短時間で行うことが可能となり、作業効率も上がる。他にも、マグネットチャック１０が回転軸１２を中心に回転することでワークＷを同時に加工ステーション２１へと受け渡すため、複数のマグネットチャック１０でワークＷをそれぞれ加工ステーション２１へと受け渡すものに比べ、必要なスペースが小さくて済み、狭い加工空間でも支障なくワークＷの吸着搬送が行える。当該効果はマグネットチャック１０を備えた多関節ロボット１及びワーク搬送装置２２においても同様に享受できる。

特にここでは、支持部材１３，１４及び電磁石１５の組を、回転軸に対して同位相で所定間隔をおいて夫々二組ずつ設けるので、吸着箇所が増え、複数組のコンロッドが吸着搬送可能となる等、コンロッドの吸着態様のバリエーションが増え、コンロッドの吸着搬送により好適となる。

また、ワークＷの吸着搬送時にワークＷの帯磁磁気を消磁する消磁手段を備えたことで、ワークＷの滞留磁気による切粉等の付着が防止可能となる。

なお、本発明のマグネットチャックの構成は、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、電磁石や支持部材の形状、構造、配置等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で必要に応じて適宜変更することができる。

例えば、支持部材及び電磁石の数は、回転軸の軸方向に二つ並設されているが、ワークの安定した吸着搬送やサイズ変更を考慮して、更に増やしても良いし、減らしても良い。また、電磁石の濡れや切粉の付着等を効果的に防止するために、プラスチックフィルム材料等のカバーによって電磁石を覆うことも考えられる。

また、本発明において、ワークＷの載置する向きは、図３の加工ステーション２１に示すように、ワークＷを、走行テーブル４の長手方向である多関節ロボット１の移動方向に対し、垂直となる向きに載置するのみでなく、加工ステーション２１ｃに示すように、ワークＷを多関節ロボット１の移動方向と平行に載置するようにしても良く、加工に応じて適宜変更可能である。
さらに、キャップ部ＷＡ及び本体ＷＢに分割された場合においても、加工ステーション２１ｄに示すように、多関節ロボット１の移動方向に対し、垂直となる向きで上下に並べて載置する場合に加え、加工ステーション２１ｅに示すように、多関節ロボット１の移動方向に対し、垂直となる向きで移動方向と平行となるように並べて載置しても良く、加工に応じて適宜変更可能である。

その他、多関節ロボットも、アームの数や回転軸の位置等が異なるものを使用しても良いし、ワーク搬送装置においても、走行テーブルを用いずに、複数の加工ステーション間に夫々多関節ロボットを設置して、隣接する加工ステーション間でのみワークの受け渡しを行うような形態とする等、適宜設計変更可能である。

１・・多関節ロボット、２・・ベース、３・・アーム、４・・走行テーブル、１０・・マグネットチャック、１１・・回転機構、１２・・回転軸、１３，１４・・支持部材、１５・・電磁石、１７・・固定軸、１８・・ブラケット、２０・・加工ライン、２１・・加工ステーション、２２・・コンロッド搬送装置、２３・・供給ステーション、Ｗ・・ワーク、ＷＡ・・キャップ部、ＷＢ・・本体。

Claims (7)

1. 多関節ロボットの先端のアームに装着され、電磁石を備えてワークを吸着搬送するために用いられるマグネットチャックであって、
   支持部材を、前記アームの回転軸に対して軸方向に複数配置するとともに、前記各支持部材に、吸着及びその解除動作が単独で制御可能な電磁石を取り付けて、前記ワークの吸着又はその解除動作を行うことを特徴とするマグネットチャック。
2. 前記支持部材を、前記回転軸に対して突出方向が異なるように設けたことを特徴とする請求項１に記載のマグネットチャック。
3. 前記支持部材を、前記アームの回転軸から放射方向となるように設けたことを特徴とする請求項２に記載のマグネットチャック。
4. 前記支持部材及び電磁石の組を、前記回転軸に対して同位相で所定間隔をおいて夫々二組ずつ設けたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のマグネットチャック。
5. 前記ワークの吸着搬送時に前記ワークの帯磁磁気を消磁する消磁手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のマグネットチャック。
6. 請求項１乃至５の何れかに記載のマグネットチャックを先端のアームに装着してなる多関節ロボット。
7. 請求項６に記載の多関節ロボットを、ワークを加工する複数の加工ステーション間に配置してなるワーク搬送装置。

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