JP2003168719A - アライメント処理方法およびアライメント処理装置 - Google Patents

アライメント処理方法およびアライメント処理装置

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JP2003168719A JP2001365705A JP2001365705A JP2003168719A JP 2003168719 A JP2003168719 A JP 2003168719A JP 2001365705 A JP2001365705 A JP 2001365705A JP 2001365705 A JP2001365705 A JP 2001365705A JP 2003168719 A JP2003168719 A JP 2003168719A
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佳典 毛笠
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雅也 吉田
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茂樹 小野
Yasuhiko Hashimoto
康彦 橋本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ロボットなどの搬送装置、とりわけ自由度が
小さい直動型ロボットを用いて搬送作業を行う際のアラ
イメントを合理的に処理し、作業効率を向上させること
ができるアライメント処理方法およびアライメント処理
装置を提供する。 【解決手段】 複数の搬送手段を用いてアライメント処
理をなすものであって、各搬送手段にアライメント処理
を部分的に実行させた後にまたは実行させながらワーク
Wを搬送させ、それによりワークWを目標位置に搬送す
るまでにアライメントを完了させるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アライメント処理
方法およびアライメント処理装置に関する。さらに詳し
くは、ロボットなどの搬送装置により搬送作業を行う際
のアライメントを効率的に実施するためのアライメント
処理方法およびアライメント処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、液晶基板などの液晶製品の製
造施設や半導体ウェハなどの半導体製品の製造施設では
ワークを搬送するための搬送装置として、ロボットが広
く用いられている。これは、半導体製品の製造施設であ
るクリーンルームではロボットによる作業が必須である
ことに加え、ロボットを搬送装置として用いることによ
って高い位置精度を達成することを意図していることに
よる。
【0003】ところが、搬送装置自体の精度が要求精度
を達成していても、搬送元のワーク載置位置でワークに
位置誤差があれば、その位置誤差が搬送誤差に上乗せさ
れて、結果として所望精度でワークを搬送することがで
きないという問題がある。
【0004】そこで、従来より、搬送元のワーク載置位
置での位置誤差を修正するためのアライメントが実施さ
れる。このようなアライメントの実施方法として、例え
ば搬送装置としてのロボットでワークを把持する際にハ
ンドでワークを周囲から押圧するように把持して、機械
的にワークの位置ずれを修正する機械的アライメント
と、位置センサなどを用いて非接触式にワークの位置ず
れを検出し、その検出結果に応じて搬送装置側の位置・
動作を修正するようにしてワークの位置誤差を補正する
非接触式アライメントとが行われている。
【0005】機械的アライメントは、液晶パネル等の製
品が近年大型化・大重量化してきたこともあって、ワー
クを押圧して位置修正を行うために大動力が必要とな
り、位置修正の際にワークの損傷を招くことがあるな
ど、不利な点も多くなってきている。そのため、大型・
大重量のワークを取り扱う際には特に非接触式アライメ
ントによることが多くなってきている。
【0006】また、ワークが大型化・大重量化してきて
いる事情から、ロボットには剛性を高くできしかも動作
速度の速い直動型ロボットが用いられるようになってき
ている。ただし、直動型ロボットを用いた場合、その動
作自由度(以下、単に自由度ということもある)が小さ
いことから、単一のロボットで完全なアライメントを実
現するのは困難である。
【0007】ところで、ワークの搬送作業において、ワ
ークの各載置位置間に障害物が介在するなど、1台の搬
送装置でワークを搬送することが非効率的である場合に
は、複数の搬送装置がリレー式にワークを搬送すること
が行われる(例えば、特開平9−107013号公報参
照)。しかしながら、複数の搬送装置が協働してワーク
の搬送作業を行う場合にアライメントを実施しようとす
ると、1台の搬送装置がアライメントを実施している
間、他の搬送装置が待機状態になることがあり、作業効
率の向上が阻害されるという問題がある。
【0008】なお、直動型ロボットの自由度を増加させ
る観点から、直動型ロボットに走行軸を付加することも
考えられるが、前述したように、ワークの各載置位置間
に障害物が介在する場合には、ロボットをワークの各載
置位置間を走行させることができない。そのため、直動
型ロボットに走行軸を付加するということは、直動型ロ
ボットの有する自由度が小さく、単一のロボットで完全
なアライメントがなし得ないという本質的な欠点を解消
することにはならない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、ロボットなどの
搬送装置、とりわけ自由度が小さい直動型ロボットを用
いて搬送作業を行う際のアライメントを合理的に処理し
て、作業効率を向上させることができるアライメント処
理方法およびアライメント処理装置を提供することを目
的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明のアライメント処
理方法は、複数の搬送手段を用いたアライメント処理方
法であって、各搬送手段にアライメント処理を部分的に
実行させた後にまたは実行させながらワークを搬送さ
せ、それによりワークを目標位置に搬送するまでにアラ
イメントを完了させることを特徴とする。
【0011】本発明のアライメント処理方法は、具体的
には、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段
と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬送手段
とを少なくとも用いたアライメント処理方法であって、
前記第1の搬送手段により第1の方向および姿勢に関す
るアライメント処理を実行し、前記第2の搬送手段によ
り第2の方向に関するアライメント処理を実行すること
を特徴とする。
【0012】本発明のアライメント処理方法において
は、第2の搬送手段によるワーク受取の際に第2の方向
に関するアライメント処理を実行させてもよい。
【0013】また、本発明のアライメント処理方法にお
いては、第2の搬送手段によりワークの姿勢に関するア
ライメント処理を実行させてもよい。
【0014】さらに、本発明のアライメント処理方法に
おいては、第1の搬送手段から第2の搬送手段へのワー
クの受渡しがワーク受渡し手段を介してなされてもよ
い。その場合、ワーク受渡し手段が第2の搬送手段に設
けられていてもよく、あるいはワーク受渡し手段が独立
に設けられていてもよい。
【0015】さらに、本発明のアライメント処理方法に
おいては、ワーク受渡し手段が第2の搬送手段により制
御されてもよい。
【0016】さらに、本発明のアライメント処理方法に
おいては、搬送手段が直動型ロボットとされてもよい。
【0017】本発明のアライメント処理装置は、複数の
搬送手段を備えてなるアライメント処理装置であって、
各搬送手段にアライメント処理を部分的に実行させた後
にまたは実行させながらワークを搬送させ、それにより
ワークを目標位置に搬送するまでにアライメントを完了
させるよう構成されてなることを特徴とする。
【0018】本発明のアライメント処理装置は、具体的
には、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段
と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬送手段
とを備えてなるアライメント処理装置であって、前記第
1の搬送手段により第1の方向および姿勢に関するアラ
イメント処理を実行し、前記第2の搬送手段により第2
の方向に関するアライメント処理を実行することを特徴
とする。
【0019】本発明のアライメント処理装置において
は、第2の搬送手段により姿勢に関するアライメント処
理を実行してもよい。
【0020】また、本発明のアライメント処理装置にお
いては、第1の搬送手段から第2の搬送手段へワークの
受渡しをなすワーク受渡し手段が備えられていてもよ
い。
【0021】さらに、本発明のアライメント処理装置に
おいては、ワーク受渡し手段が第2の搬送手段に備えら
れていてもよく、またワーク受渡し手段が独立に備えら
れていてもよい。その場合、ワーク受渡し手段が第2の
搬送手段により制御されてもよい。
【0022】本発明のコンピュータプログラムは、搬送
手段を有するアライメント処理装置にアライメント処理
をさせるコンピュータプログラムであって、ワーク受取
時におけるワークの位置および姿勢に関する誤差を算出
するステップと、前記誤差を解消するためのアライメン
ト処理を搬送手段に部分的に実行させるステップとを含
んでなることを特徴とする。
【0023】本発明のコンピュータプログラムの第1形
態は、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段
と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬送手段
とを備えてなるアライメント処理装置にアライメント処
理をさせるコンピュータプログラムであって、ワーク受
取時におけるワークの位置および姿勢に関する誤差を算
出するステップと、前記第1の搬送手段に第1の方向お
よび姿勢に関するアライメント処理を実行させるステッ
プと、前記第2の搬送手段に第2の方向に関するアライ
メント処理を実行させるステップとを含んでなることを
特徴とする。
【0024】本発明のコンピュータプログラムの第1形
態においては、第2の搬送手段に姿勢に関するアライメ
ント処理を実行させるようにしてもよい。
【0025】本発明のコンピュータプログラムの第2形
態は、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段
と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬送手段
とを備えてなるアライメント処理装置における第1の搬
送手段にアライメント処理をさせるコンピュータプログ
ラムであって、ワーク受取時におけるワークの位置およ
び姿勢に関する誤差を算出するステップと、第1の方向
および姿勢に関するアライメント処理を実行させるステ
ップとを含んでなることを特徴とする。
【0026】本発明のコンピュータプログラムの第3形
態は、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段
と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬送手段
とを備えてなるアライメント処理装置における第2の搬
送手段にアライメント処理をさせるコンピュータプログ
ラムであって、ワーク受取時におけるワークの位置に関
する誤差を算出するステップと、第2の方向に関するア
ライメント処理を実行させるステップとを含んでなるこ
とを特徴とする。
【0027】本発明のコンピュータプログラムの第4形
態は、第1の方向にワークを搬送する第1の搬送手段
と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬送手段
とを備えてなるアライメント処理装置における第2の搬
送手段にアライメント処理をさせるコンピュータプログ
ラムであって、ワーク受取時におけるワークの位置およ
び姿勢に関する誤差を算出するステップと、第2の方向
および/または姿勢に関するアライメント処理を実行さ
せるステップとを含んでなることを特徴とする。
【0028】しかして、本発明のコンピュータプログラ
ムは、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に格納さ
れる。
【0029】ここで、搬送手段は、例えば直動型ロボッ
トとされる。
【0030】
【作用】本発明は前記の如く構成されているので、アラ
イメント処理のために他の搬送手段に作業待ちの状態を
生ずることはない。そのため、複数の搬送装置が協働し
てアライメント処理が必要な搬送作業を行う際の作業効
率を向上させることが可能となる。
【0031】また、本発明によれば、自由度の小さい直
動型ロボットに走行軸を付加することなくアライメント
がなし得る。そのため、搬送装置の構成が簡素化され
る。その上、動作速度の速い直動型ロボットによりアラ
イメントがなし得るので、サイクルタイムの短縮も図ら
れる。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。
【0033】実施形態1 図1に本発明の実施形態1に係るアライメント処理方法
が適用される搬送システムの一例を示す。
【0034】搬送システムAは、例えば、シリコンウェ
ハや液晶基板などの板状ワーク(以下、単にワークとい
う)Wを搬送する各搬送装置および各搬送装置を制御す
る制御装置から構成されるシステムとされ、搬送元およ
び搬送先の2つのワーク載置位置間に障害物が介在する
などして、1台の搬送装置でワークWを搬送することが
困難または非効率的である場合や本来的に複数の搬送装
置が用いられている場合において、複数の搬送装置が協
働してワークWを搬送するシステムとされる。また、搬
送システムAは、複数台の搬送装置が協働してワークW
の搬送作業を実施する際に、作業効率を向上させるため
に各搬送装置がアライメント処理を合理的に分担して実
施するよう制御されるシステムとされ、それによりワー
クWが目標位置に搬送されるまでにアライメントが完了
する。
【0035】搬送システムAは、具体的には、搬送装置
としての第1および第2のロボット10、20と、各ロ
ボット10、20の動作を統括的に制御する上位制御装
置30とを主要構成要素として備えてなるものとされ
る。また、各ロボット10、20は、上位制御装置30
の指令にしたがって、各部を制御するためのコントロー
ラ(不図示である)を内蔵するものとされる。
【0036】上位制御装置30には、ワークWの位置誤
差を検出する位置誤差検出部31および姿勢誤差を検出
する姿勢誤差検出部32が設けられる。ここで、ワーク
Wの姿勢誤差とは、例えばワークWの水平面内における
回転位置誤差をいうものとする。
【0037】第1ロボット10は、搬送元のワーク載置
台(以下、搬送元テーブルという)T1に載置されたワ
ークWを把持して、第2ロボット20上方の所定位置ま
で搬送する。一方、第2ロボット20は、第1ロボット
10から受け取ったワークWを、第1ロボット10のワ
ーク搬送方向と直交する方向に置かれたワーク載置台
(以下、搬送先テーブルという)T2まで搬送し、載置
する。
【0038】以下、水平面内で第1ロボット10の中心
から第2ロボット20の中心に向かう方向(第1の方
向)をP方向と定義し、第2ロボット20の中心から搬
送先テーブルT2に向かう方向(第2の方向)をQ方向
と定義して説明する。
【0039】第1ロボット10は、具体的には、基台1
1と、基台11に設けられる、水平前後軸、水平回転軸
および鉛直上下軸の3自由度を有するアーム12と、ア
ーム12先端部に装着される、ワークWを把持するため
のハンド13とから構成される。
【0040】第1ロボット10のハンド13は、図2に
示すように、2本の指状部14A、14Bを有し、各指
状部14A、14Bに載置するようにしてワークWを把
持するものとされる。また、第1ロボット10のハンド
13には、ワークWの位置誤差および姿勢誤差を検出す
るための2つの位置センサ15A、15Bが設けられる
ものとされる。各位置センサ15A、15Bは、例えば
CCD(Charge Coupled Device;電荷結合素子)撮像
装置から構成され、相対するワークW端面の画像情報を
コントローラを介して位置誤差検出部31および姿勢誤
差検出部32に出力する。なお、位置センサは前記に限
定されるものではなく、各種の位置センサとすることが
でき、例えば光ファイバセンサ(反射型センサ)と第1
ロボット10のエンコーダとを組み合わせて構成するこ
ともできる。
【0041】図3に、第2ロボット20の詳細を示す。
第2ロボット20は直動型ロボットとされ、図1および
図3に示すように、基台40と、この基台40上部に装
着される2組の直動アーム50、60と、各アーム5
0、60のそれぞれに装着される上側および下側の各ハ
ンド70、80と、第1ロボット10からワークWを受
け取る際にワークWを持ち上げるようにして支持するリ
フト部90とを備えてなるものとされる。
【0042】第2ロボット20の各ハンド70、80
は、それぞれ2本の指状部71A、71B、および81
A、81Bに載置するようにしてワークWを把持するも
のとされ、また、上側のハンド70には、ワークWの位
置誤差を検出するための、CCD撮像装置からなる位置
センサ72が設けられるものとされる。位置センサ72
の出力信号はコントローラを介して位置誤差検出部31
に入力される。なお、位置センサは前記に限定されるも
のではなく、光ファイバセンサと第2ロボット20のエ
ンコーダとを組み合わせて構成することもできる。
【0043】第2ロボット20の各アーム50、60
は、鉛直上下軸(Z軸)、水平回転軸(θ軸)および水
平前後軸(X軸)の3軸で構成されている。
【0044】鉛直上下軸および水平回転軸は、水平面内
で回転自在かつ鉛直方向に進退自在に基台40に設けら
れる軸41から構成される。
【0045】水平前後軸は、軸41の上部に装着され
る、各アーム50、60共通の基部42と、この基部4
2の両側方に設けられる第1直動部43、44と、この
各第1直動部43、44の側方に設けられ各ハンド7
0、80を支持する、第2直動部としてのハンド支持部
材45、46とから構成される。
【0046】基部42は、各第1直動部43、44を水
平方向に進退自在に支持するフレーム部材(不図示であ
る)を、長方形状のパーティクル飛散防止用カバー42
a内部に収納して形成される。
【0047】第1直動部43,44は、各ハンド支持部
材45、46を水平方向に進退自在に支持するフレーム
部材(不図示である)を、長角筒形状のパーティクル飛
散防止用カバー43a,44a内部に収納して形成され
る。
【0048】ハンド支持部材45、46は、コの字形の
フレーム部材とされ、各ハンド70,80が基部42上
方で互いに重なり合うよう片持ち支持するものとされ
る。
【0049】リフト部90は、第2ロボット20が第1
ロボット10からワークWを受け取る際に、第1ロボッ
ト10によるワークWの把持を解除し、ワークWを一時
的に保持する複数のリフトピン91と、各リフトピン9
1を支持するリフトピン支持部92と、各リフトピン9
1を鉛直上下方向に駆動するリフトピン鉛直駆動部(昇
降手段)93とから構成される。すなわち、リフト部9
0はワーク受け渡し装置(手段)とされる。
【0050】各リフトピン91は、水平に寝かされた状
態(待機姿勢)から鉛直に立てられた状態(支持姿勢)
でワークWを下方から支持する棒状部材とされ、また、
少なくとも1つのリフトピン91には、ワークWが上方
に存在することを確認するためのワーク検知センサ91
aが設けられる。そして、各リフトピン91のワーク当
接部には、図示はされていないが、ワークWがずれない
ようワークを吸着保持する吸着パッドなどの吸着保持手
段が設けられる。
【0051】なお、実施形態1では、リフトピン91は
8本または10本設けられるものとされるが、これに限
られるものではなく、少なくとも3本のリフトピン91
があればワークWを支持することが可能である。
【0052】リフトピン支持部92は、同一の回転角度
位置に各リフトピン91がそれぞれ取り付けられる2本
のシャフト94A,94Bと、各シャフト94A,94
Bを支持するとともに、各シャフト94A,94Bを回
転して各リフトピン91を旋回させ、各リフトピン91
の姿勢を、垂直に立てられた支持姿勢と、水平に寝かさ
れた待機姿勢との間で切り替えるものとされる。
【0053】ここで、図3(a)では、各リフトピン9
1が待機姿勢にある状態が示され、同図(b)では、各
リフトピン91が支持姿勢にある状態が示され、また、
同図(c)では、実線により各リフトピン91が待機姿
勢にある状態が示され、破線により支持姿勢にある状態
が示されている。
【0054】図4に示すように、リフトピン鉛直駆動部
93は、各リフトピン91を、第1ロボット10からワ
ークWを受け取るときのワーク支持位置L1、アライメ
ントを実施するときのアライメント実施位置L2、各リ
フトピン91を旋回させるときのリフトピン旋回位置L
3およびハンド70にワークWを載置するときのワーク
載置位置L4の各位置に移動させるように、リフトピン
支持部92を鉛直上下方向に駆動するものとされる。こ
のため、第2ロボット20のアライメントにより第1ロ
ボット10の動作が制約されることはない。
【0055】リフトピン鉛直駆動部93は、具体的に
は、エアシリンダなどからなる主駆動機構(主昇降手
段)93aおよび従駆動機構(従昇降手段)93bの2
段階の駆動機構とされる。この実施形態においては、図
4に示すように、主駆動機構93aを構成するエアシリ
ンダは、リフト部90のケーシング90a内に配設さ
れ、また、従駆動機構93bを構成するエアシリンダ
は、主駆動機構93aを構成するエアシリンダのケーシ
ング90a上面が貫通して突出させられているピストン
ロッドの先端に配設される。
【0056】しかして、かかる構成とされているリフト
ピン鉛直駆動部93により、最上位のワーク受取位置L
1に各リフトピン91先端を移動するときには主駆動機
構93aおよび従駆動機構93bの両方を最大限まで伸
張し、アライメント実施位置L2に各リフトピン91先
端を移動するときには主駆動機構93aのみを最大限ま
で伸張し、ワーク載置位置L4に各リフトピン91先端
を移動するときには従駆動機構93bのみを最大限まで
伸張し、姿勢切替位置L3に各リフトピン91先端を移
動するときには両駆動機構93a,93bをともに伸張
しないものとする、というようにして各リフトピン91
先端を各位置L1,L2,L4,L3の間で移動する。
【0057】以下、上位制御装置30が、各ロボット1
0,20の協調動作によってワークWを搬送するよう制
御する手順を具体的に説明する。なお、かかる構成の上
位装置30は、具体的には、CPUを中心として、後述
する処理に対応させた制御プログラム等が格納されたR
OM、RAM、入出力インターフェース等を組み合わせ
ることにより実現される。
【0058】手順1:第1ロボット10のハンド13を
搬送元テーブルT1に移動させ、ワークWを把持直前の
状態とする。すなわち、検出状態とする。
【0059】手順2:位置誤差検出部31および姿勢誤
差検出部32が、各位置センサ15A、15Bの出力信
号に基づいてワークWの位置誤差および姿勢誤差を検出
する。このとき、位置誤差検出部31は、P方向の位置
誤差成分を検出し、姿勢誤差検出部32は、水平面内に
おけるワークWの回転位置誤差を検出する。
【0060】手順3:第2ロボット20が第1ロボット
10からワークWを受け取れる状態にあるか否かを確認
する。すなわち、第2ロボット20の各アーム50、6
0および各ハンド70,80の位置および姿勢を確認す
るとともに、各ハンド70,80にワークWが載置され
ていないかを確認する。
【0061】ここで、第2ロボット20がワークWを受
け取れる状態になければ、受け取れる状態となるまでこ
の確認処理を繰り返し実施し、受け取れる状態であれば
次の手順4に進む。
【0062】手順4:リフトピン91先端をワーク支持
位置L1まで上昇させる。
【0063】手順5:第1ロボット10に対して第2ロ
ボット20上方の所定位置までワークWを搬送して、ワ
ークWを各リフトピン91の上に載置するよう指示す
る。この搬送の際に、第1ロボット10は、手順2で位
置誤差検出部31によって検出されたP方向の位置誤差
成分を除去するようにハンド13の移動距離を調整す
る。これによって、P方向のアライメントが実施され
る。
【0064】また、姿勢誤差検出部32によって検出さ
れた水平面内の回転位置誤差を除去するように水平回転
軸を回転させつつワークWを搬送する。これによって、
水平面内の回転方向のアライメントが実施される。
【0065】手順6:リフトピン91先端上にワークW
があることをワーク検知センサ91aの出力信号に基づ
き確認した後、吸着パッドによりワークWを吸着する。
【0066】手順7:アライメント実施位置L2まで各
リフトピン91先端を降下させ、ここでQ方向のアライ
メントを実施する。
【0067】すなわち、位置誤差検出部31が、位置セ
ンサ72の出力信号に基づいてQ方向の位置誤差成分を
検出し、検出された位置誤差を除去するように、第2ロ
ボット20に対してハンド70をQ方向に移動させるよ
う指示する。
【0068】手順8:各リフトピン91先端をリフトピ
ン旋回位置L3まで降下させつつ、ワーク載置位置L4
直前でワークWの吸着を解除し、ワークWをハンド70
上に載置する。
【0069】手順9:リフトピン旋回位置L3で各リフ
トピン91を待機位置まで旋回させたワークWを搬送先
テーブルT2まで搬送する。
【0070】このように、この実施形態1の搬送システ
ムAにおいては、位置誤差検出部31および姿勢誤差検
出部32が、位置センサ15A、15B、72の各出力
信号に基づいてワークWの位置誤差および姿勢誤差を検
出し、この検出された位置誤差および姿勢誤差を各ロボ
ット10,20が合理的に分担して補正することによ
り、アライメントが実施されるので、アライメント実施
中の各ロボットの待機時間を最小限に抑えることが可能
となる。これによって、複数の搬送装置が協働して搬送
作業を行う際の作業効率をさらに向上させることが可能
となる。
【0071】実施形態2 図5に本発明の実施形態2に係るアライメント処理方法
が適用される搬送システムの一例を示す。なお、図5に
おいて、実線の矢符はワークWの流れ方向を示し、点線
の矢符は各コントローラ間の通信を示す。
【0072】搬送システムA1は、実施形態1の搬送シ
ステムAを改変してなるものであって、第1ロボット1
0Aおよび第2ロボット20Aの各コントローラ11、
21に位置および姿勢の誤差を検出する位置・姿勢検出
部11a、21aを設けるとともに、第1ロボット10
Aおよび第2ロボット20Aの同期を各コントローラ1
1,21間の通信により行うようにしてなるものとされ
る。また、図示はされていないが、第2ロボット20A
のハンドにはワークWの姿勢誤差も検出できるように、
位置検出センサが一対所定間隔で設けられている。
【0073】なお、その余の構成は実施形態1と同様と
されているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【0074】このように、この実施形態2によれば、各
ロボット10A、20Aのコントローラ11、21に位
置・姿勢検出部11a、21aを設けているので、上位
制御装置を省略できシステムの構成が簡素化される。ま
た、第2ロボット20AにおいてもワークWの姿勢誤差
が修正できるようにされているので、何等かの原因によ
り第1ロボット10AによりワークWの姿勢誤差が修正
できなかった場合にも対処できる。
【0075】実施形態3 図6に本発明の実施形態3に係るアライメント処理方法
が適用される搬送システムの一例を示す。なお、図6に
おいて、実線の矢符はワークWの流れ方向を示し、点線
の矢符は各コントローラ間および第2ロボットのコント
ローラとリフト部間の通信を示す。
【0076】搬送システムA2は、実施形態2の搬送シ
ステムA1を改変してなるものであって、第1ロボット
10Bおよび第2ロボット20Bの間に、実施形態1の
リフト部90と同様の構成とされたリフト部90Aが設
けられたワーク受渡しテーブルT3を備え、ワークWの
受渡しをこのワーク受渡しテーブルT3を介してなすよ
うにされてなるものである。また、このワーク受渡しテ
ーブルT3のリフト部90Aは第2ロボット20Bのコ
ントローラ21により制御されるものとされる。
【0077】なお、その余の構成は実施形態2と同様と
されているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【0078】このように、この実施形態3によれば、ワ
ークWの受渡しをワーク受渡しテーブルT3を介してな
すようにされているので、第1ロボット10Bおよび第
2ロボット20Bの同期を取る必要がなくなる。そのた
め、各ロボット10B、20Bの動作自由度を増大させ
ることができる。
【0079】以上、本発明を実施形態に基づいて説明し
てきたが、本発明はかかる実施形態に限定されるもので
はなく、種々改変が可能である。例えば、各実施形態に
おいては、2台のロボットが協働してワークを搬送する
場合を説明したが、これに限らず、3台以上の搬送装置
が協働してワークを搬送する場合にも、各搬送装置が位
置誤差を合理的に分担して補正するよう制御することが
可能である。
【0080】また、実施形態1では、Q方向の位置誤差
成分を第2ロボット20がワークWを受け取る際にハン
ド70を移動させて補正するものとしたが、搬送先テー
ブルT2までワークWを搬送するときの搬送距離を調整
することにより、当該成分の補正を行うものとすること
も可能である。
【0081】さらに、各実施形態では各ロボットの動作
方向は直交させられているが、直交に限定されるもので
はなく、任意の角とすることができる。
【0082】さらにまた、実施形態3においては、上位
制御装置を設けて第1ロボット、第2ロボットおよびワ
ーク受渡し装置を制御するようにしてもよい。
【0083】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
アライメント処理のために他の搬送手段に作業待ちの状
態を生ずることはないので、複数の搬送手段が協働して
アライメント処理が必要な搬送作業を行う際の作業効率
を向上させることができるという優れた効果が得られ
る。
【0084】また、本発明の好ましい形態によれば、自
由度の小さい直動型ロボットに走行軸を付加することな
くアライメントがなし得るという優れた効果が得られ
る。そのため、搬送手段の構成が簡素化されるという優
れた効果も得られる。その上、動作速度の速い直動型ロ
ボットによりアライメントがなし得るので、サイクルタ
イムの短縮も図られるという優れた効果も得られる。。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係るアライメント処理方
法が適用される搬送システムの概略構成を示す模式図で
ある。
【図2】同搬送システムで用いられる第1ロボットのハ
ンドの拡大模式図である。
【図3】同第2ロボットの詳細を示す模式図である。
【図4】同第2ロボットの動作を説明するための模式図
である。
【図5】本発明の実施形態2に係るアライメント処理方
法が適用される搬送システムの概略構成を示すブロック
図である。
【図6】本発明の実施形態3に係るアライメント処理方
法が適用される搬送システムの概略構成を示すブロック
図である。
【符号の説明】
A、A1、A2 搬送システム W ワーク T3 ワーク受渡しテーブル 10、10A、10B 第1ロボット 20、20A、20B 第2ロボット 30 上位制御装置 31 位置誤差検出部 32 姿勢誤差検出部 15A、15B、72 位置センサ 13、70、80 ハンド 90 リフト部(ワーク受け渡し装
置)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 雅也 明石市川崎町1番1号 川崎重工業株式会 社明石工場内 (72)発明者 小野 茂樹 明石市川崎町1番1号 川崎重工業株式会 社明石工場内 (72)発明者 橋本 康彦 明石市川崎町1番1号 川崎重工業株式会 社明石工場内 Fターム(参考) 3C007 AS03 AS24 BS06 BS15 BS26 JS02 KS03 KS04 KV11 KX07 LT06 LT12 LV02 NS12 NS13 5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA07 FA14 FA15 GA04 GA10 GA24 GA35 GA36 GA42 GA43 GA47 GA49 JA04 JA06 JA17 JA22 JA27 JA32 KA10 LA15 NA18 PA02

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の搬送手段を用いたアライメント処
    理方法であって、 各搬送手段にアライメント処理を部分的に実行させた後
    にまたは実行させながらワークを搬送させ、それにより
    ワークを目標位置に搬送するまでにアライメントを完了
    させることを特徴とするアライメント処理方法。
  2. 【請求項2】 第1の方向にワークを搬送する第1の搬
    送手段と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の搬
    送手段とを少なくとも用いたアライメント処理方法であ
    って、 前記第1の搬送手段により第1の方向および姿勢に関す
    るアライメント処理を実行し、 前記第2の搬送手段により第2の方向に関するアライメ
    ント処理を実行することを特徴とするアライメント処理
    方法。
  3. 【請求項3】 第2の搬送手段によるワーク受取の際に
    第2の方向に関するアライメント処理を実行させること
    を特徴とする請求項2記載のアライメント処理方法。
  4. 【請求項4】 第2の搬送手段によりワークの姿勢に関
    するアライメント処理を実行することを特徴とする請求
    項2記載のアライメント処理方法。
  5. 【請求項5】 第1の搬送手段から第2の搬送手段への
    ワークの受渡しがワーク受渡し手段を介してなされるこ
    とを特徴とする請求項2、3または4記載のアライメン
    ト処理方法。
  6. 【請求項6】 ワーク受渡し手段が第2の搬送手段に設
    けられていることを特徴とする請求項5記載のアライメ
    ント処理方法。
  7. 【請求項7】 ワーク受渡し手段が独立に設けられてい
    ることを特徴とする請求項5記載のアライメント処理方
    法。
  8. 【請求項8】 ワーク受渡し手段が第2の搬送手段によ
    り制御されることを特徴とする請求項7記載のアライメ
    ント処理方法。
  9. 【請求項9】 搬送手段が直動型ロボットとされてなる
    ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれかに
    記載のアライメント処理方法。
  10. 【請求項10】 複数の搬送手段を備えてなるアライメ
    ント処理装置であって、各搬送手段にアライメント処理
    を部分的に実行させた後にまたは実行させながらワーク
    を搬送させ、それによりワークを目標位置に搬送するま
    でにアライメントを完了させるよう構成されてなること
    を特徴とするアライメント処理装置。
  11. 【請求項11】 第1の方向にワークを搬送する第1の
    搬送手段と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の
    搬送手段とを備えてなるアライメント処理装置であっ
    て、 前記第1の搬送手段により第1の方向および姿勢に関す
    るアライメント処理を実行し、 前記第2の搬送手段により第2の方向に関するアライメ
    ント処理を実行することを特徴とするアライメント処理
    装置。
  12. 【請求項12】 第2の搬送手段により姿勢に関するア
    ライメント処理を実行することを特徴とする請求項11
    記載のアライメント処理装置。
  13. 【請求項13】 第1の搬送手段から第2の搬送手段へ
    ワークの受渡しをなすワーク受渡し手段が備えられてな
    ることを特徴とする請求項11記載のアライメント処理
    装置。
  14. 【請求項14】 ワーク受渡し手段が第2の搬送手段に
    備えられてなることを特徴とする請求項13記載のアラ
    イメント処理装置。
  15. 【請求項15】 ワーク受渡し手段が独立に備えられて
    なることを特徴とする請求項13記載のアライメント処
    理装置。
  16. 【請求項16】 ワーク受渡し手段が第2の搬送手段に
    より制御されることを特徴とする請求項15記載のアラ
    イメント処理装置。
  17. 【請求項17】 搬送手段が、直動型ロボットとされて
    なることを特徴とする請求項10ないし請求項16のい
    ずれかに記載のアライメント処理装置。
  18. 【請求項18】 搬送手段を有するアライメント処理装
    置にアライメント処理をさせるコンピュータプログラム
    であって、 ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する
    誤差を算出するステップと、 前記誤差を解消するためのアライメント処理を搬送手段
    に部分的に実行させるステップとを含んでなることを特
    徴とするコンピュータプログラム。
  19. 【請求項19】 第1の方向にワークを搬送する第1の
    搬送手段と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の
    搬送手段とを備えてなるアライメント処理装置にアライ
    メント処理をさせるコンピュータプログラムであって、 ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する
    誤差を算出するステップと、 前記第1の搬送手段に第1の方向および姿勢に関するア
    ライメント処理を実行させるステップと、 前記第2の搬送手段に第2の方向に関するアライメント
    処理を実行させるステップとを含んでなることを特徴と
    するコンピュータプログラム。
  20. 【請求項20】 第2の搬送手段に姿勢に関するアライ
    メント処理を実行させるステップを含んでなることを特
    徴とする請求項19記載のコンピュータプログラム。
  21. 【請求項21】 第1の方向にワークを搬送する第1の
    搬送手段と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の
    搬送手段とを備えてなるアライメント処理装置における
    第1の搬送手段にアライメント処理をさせるコンピュー
    タプログラムであって、 ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する
    誤差を算出するステップと、 第1の方向および姿勢に関するアライメント処理を実行
    させるステップとを含んでなることを特徴とするコンピ
    ュータプログラム。
  22. 【請求項22】 第1の方向にワークを搬送する第1の
    搬送手段と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の
    搬送手段とを備えてなるアライメント処理装置における
    第2の搬送手段にアライメント処理をさせるコンピュー
    タプログラムであって、 ワーク受取時におけるワークの位置に関する誤差を算出
    するステップと、 第2の方向に関するアライメント処理を実行させるステ
    ップとを含んでなることを特徴とするコンピュータプロ
    グラム。
  23. 【請求項23】 第1の方向にワークを搬送する第1の
    搬送手段と、第2の方向に前記ワークを搬送する第2の
    搬送手段とを備えてなるアライメント処理装置における
    第2の搬送手段にアライメント処理をさせるコンピュー
    タプログラムであって、 ワーク受取時におけるワークの位置および姿勢に関する
    誤差を算出するステップと、 第2の方向および/または姿勢に関するアライメント処
    理を実行させるステップとを含んでなることを特徴とす
    るコンピュータプログラム。
  24. 【請求項24】 請求項19ないし請求項23のいずれ
    かに記載のコンピュータプログラムが格納されてなるこ
    とを特徴とするコンピュータに読み取り可能な記録媒
    体。
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