JP2018010273A - アライメント装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表示パネルを把持するパネル把持部を小型化しつつ、表示パネルの角部を正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能なアライメント装置を提供する。【解決手段】このアライメント装置は、パネル把持部２９と、パネル把持部２９の外周側に広がる２個の拡張部材３０と、矩形状に形成される表示パネル２の一方の対角線上に配置される２個の角部２ａを検知するカメラ４２とを備えている。拡張部材３０には、カメラ４２の偏光フィルタの位相に対して９０°位相がずれている偏光部材が取り付けられ、表示パネル２の厚さ方向から見たときのパネル把持部２９の外形は、表示パネル２の外形よりも小さくなっている。角部２ａのそれぞれは２個の拡張部材３０のそれぞれに覆われており、パネル把持部２９を移動させる移動機構は、カメラ４２での検知結果に基づいてパネル把持部２９を移動させて表示パネル２の位置合わせを行う。【選択図】図４

Description

本発明は、液晶パネル等の表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置に関する。

従来、液晶パネルの検査および修正を行うパネル処理システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のパネル処理システムは、複数のコンベヤユニットと、液晶パネルを検査する検査装置と、液晶パネルを修正するリペヤ装置と、検査装置で不良と判定された液晶パネルをコンベヤユニットからリペヤ装置に向かって送出するパネル送出装置とを備えている。パネル送出装置は、コンベヤユニットから液晶パネルを持ち上げるリフターと、リフターで持ち上げられた液晶パネルの位置合わせを行うアライメント機構と、アライメント機構で位置合わせされた液晶パネルをリペヤ装置に向かって搬送するスライド機構とから構成されている。

特許文献１に記載のパネル処理システムでは、アライメント機構は、Ｘ軸アライメント機構部とＹ軸アライメント機構部とから構成されている。Ｘ軸アライメント機構部は、第１位置決めピンと第２位置決めピンとを備えており、第１位置決めピンおよび第２位置決めピンは、液晶パネルの端部に当接する当接部と、当接部を支持する支柱と、支柱をＸ軸方向へスライドさせるスライド機構とを備えている。Ｙ軸アライメント機構部も、Ｘ軸アライメント機構部と同様に、第１位置決めピンと第２位置決めピンとを備えており、第１位置決めピンおよび第２位置決めピンは、液晶パネルの端部に当接する当接部と、当接部を支持する支柱と、支柱をＹ軸方向へスライドさせるスライド機構とを備えている。

特許文献１に記載のパネル処理システムでは、Ｘ軸アライメント機構部の２個の当接部をスライド機構でスライドさせてＸ軸方向における液晶パネルの両端部のそれぞれに当接させるとともに、Ｙ軸アライメント機構部の２個の当接部をスライド機構でスライドさせてＹ軸方向における液晶パネルの両端部のそれぞれに当接させることで、アライメント機構によって液晶パネルの位置合わせが行われている。

特開２０１１−２３７５３０号公報

本願発明者は、液晶パネル等の矩形状に形成される表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置の構成を検討している。特許文献１に記載のパネル処理システムのアライメント機構では、スライドする当接部が液晶パネルの端部に当接するため、液晶パネルに過剰な力が作用して液晶パネルが破損するおそれがある。そこで、本願発明者は、表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部を移動させる移動機構と、表示パネルの角部を検知するカメラとを備えるアライメント装置の採用を検討している。このアライメント装置では、カメラでの検知結果に基づいて移動機構によってパネル把持部を所定方向へ移動させて表示パネルの位置合わせを行えば良いが、従来、このようなアライメント装置の具体的な構成は提案されていない。

そこで、本発明の課題は、表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部を移動させる移動機構と、表示パネルの角部を検知するカメラとを備えるアライメント装置において、パネル把持部を小型化しつつ、表示パネルの角部を正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能なアライメント装置を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明のアライメント装置は、矩形状に形成される表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部の外周側へ広がる２個の拡張部材と、パネル把持部を移動させる移動機構とを備えるとともに、パネル把持部に把持される表示パネルの厚さ方向の一方側を第１方向側とし、第１方向側の反対側を第２方向側とし、矩形状に形成される表示パネルの一方の対角線上に配置される２個の角部のそれぞれを第１角部とすると、パネル把持部よりも第１方向側に配置され第１角部を検知するカメラを備え、パネル把持部は、パネル把持部および拡張部材の第１方向側に配置される表示パネルを把持し、カメラは、偏光フィルタを備え、拡張部材の第１方向側の面には、偏光フィルタの位相に対して９０°位相がずれている平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、表示パネルの厚さ方向から見たときのパネル把持部の外形は、表示パネルの外形よりも小さくなっており、パネル把持部に把持されている表示パネルを第２方向側から見ると、２個の第１角部のそれぞれは、２個の拡張部材のそれぞれに覆われており、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいてパネル把持部を移動させて表示パネルの位置合わせを行うことを特徴とする。

本発明のアライメント装置では、パネル把持部に把持されている表示パネルを第２方向側から見ると、表示パネルの２個の第１角部のそれぞれは、パネル把持部の外周側へ広がる２個の拡張部材のそれぞれに覆われている。また、本発明では、カメラは、偏光フィルタを備え、拡張部材の第１方向側の面には、偏光フィルタの位相に対して９０°位相がずれている偏光部材が取り付けられている。そのため、本発明では、表示パネルの厚さ方向から見たときのパネル把持部の外形が表示パネルの外形よりも小さくなっていても、カメラに写る表示パネルの第１角部と拡張部材の第１方向側の面とのコントラストを高めることが可能になり、その結果、カメラによって表示パネルの第１角部を正確に検知することが可能になる。したがって、本発明では、パネル把持部を小型化しつつ、表示パネルの角部を正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。

本発明において、アライメント装置は、２個の第１角部のうちの一方の第１角部を検知するカメラと、他方の第１角部を検知するカメラとを備えることが好ましい。このように構成すると、表示パネルの大きさが比較的大きい場合であっても、２個のカメラを用いて２個の第１角部を正確に検知することが可能になる。

本発明において、アライメント装置は、表示パネルに光を照射する照明を備え、たとえば、表示パネルは、表示パネルの厚さ方向と鉛直方向とが一致するようにパネル把持部に把持され、カメラおよび照明は、パネル把持部より下側に配置されている。

本発明において、アライメント装置は、たとえば、照明が載置されて固定されるベース板を備え、ベース板の上面には、光を反射する反射部材が取り付けられ、照明は、反射部材に向かって光を射出し、反射部材で反射された光が表示パネルに照射される。この場合には、反射部材で反射された間接光が表示パネルに照射されるため、表示パネルに適度な光を照射することが可能になる。また、この場合には、表示パネルに間接光が照射されるため、パネル把持部で把持される表示パネルの大きさが変わっても、共通の照明を用いて、パネル把持部に把持される表示パネルの全体に光を照射することが可能になる。

本発明において、アライメント装置は、表示パネルに光を照射する照明と、照明から射出された光を反射する反射板とを備え、表示パネルは、表示パネルの厚さ方向と鉛直方向とが一致するようにパネル把持部に把持され、反射板は、反射板の厚さ方向と鉛直方向とが一致するように配置され、カメラおよび反射板は、パネル把持部よりも下側に配置され、照明は、反射板よりも上側に配置されるとともに、反射板の上面に向かって光を射出し、反射板の上面は、白色となっており、反射板の上面で反射された光が表示パネルに照射されることが好ましい。このように構成すると、反射板で反射された間接光が表示パネルに照射されるため、表示パネルに適度な光を照射することが可能になる。また、このように構成すると、表示パネルに間接光が照射されるため、パネル把持部で把持される表示パネルの大きさが変わっても、共通の照明を用いて、パネル把持部に把持される表示パネルの全体に光を照射することが可能になる。さらに、このように構成すると、反射板の上面が白色となっているため、本願発明者の検討によると、カメラに写る表示パネルの第１角部と拡張部材の第１方向側の面とのコントラストを効果的に高めることが可能になり、その結果、カメラによって表示パネルの第１角部をより正確に検知することが可能になる。

また、上記の課題を解決するため、本発明のアライメント装置は、矩形状に形成される表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部の外周側へ広がる２個の拡張部材と、パネル把持部を移動させる移動機構と、表示パネルに光を照射する照明と、照明から射出された光を反射する反射板とを備えるとともに、パネル把持部に把持される表示パネルの厚さ方向の一方側を第１方向側とし、第１方向側の反対側を第２方向側とし、矩形状に形成される表示パネルの一方の対角線上に配置される２個の角部のそれぞれを第１角部とすると、パネル把持部よりも第１方向側に配置され第１角部を検知するカメラを備え、パネル把持部は、パネル把持部および拡張部材の第１方向側に配置される表示パネルを把持し、反射板は、反射板の厚さ方向と表示パネルの厚さ方向とが一致するように配置されるとともにパネル把持部よりも第１方向側に配置され、照明は、反射板よりも第２方向側に配置されるとともに、反射板の第２方向側の面に向かって光を射出し、表示パネルの厚さ方向から見たときのパネル把持部の外形は、表示パネルの外形よりも小さくなっており、パネル把持部に把持されている表示パネルを第２方向側から見ると、２個の第１角部のそれぞれは、２個の拡張部材のそれぞれに覆われており、反射板の第２方向側の面は、白色となっており、拡張部材の第１方向側の面は、黒色となっており、反射板の第２方向側の面で反射された光が表示パネルに照射され、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいてパネル把持部を移動させて表示パネルの位置合わせを行うことを特徴とする。

本発明のアライメント装置では、パネル把持部に把持されている表示パネルを第２方向側から見ると、表示パネルの２個の第１角部のそれぞれは、パネル把持部の外周側へ広がる２個の拡張部材のそれぞれに覆われている。また、本発明では、白色となっている反射板の第２方向側の面で反射された光が表示パネルに照射されている。さらに、本発明では、拡張部材の第１方向側の面が黒色となっている。そのため、本発明では、表示パネルの厚さ方向から見たときのパネル把持部の外形が表示パネルの外形よりも小さくなっていても、カメラに写る表示パネルの第１角部と拡張部材の第１方向側の面とのコントラストを高めることが可能になり、その結果、カメラによって表示パネルの第１角部を正確に検知することが可能になる。したがって、本発明では、パネル把持部を小型化しつつ、表示パネルの角部を正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。

また、本発明では、反射板で反射された間接光が表示パネルに照射されるため、表示パネルに適度な光を照射することが可能になる。また、表示パネルに間接光が照射されるため、パネル把持部で把持される表示パネルの大きさが変わっても、共通の照明を用いて、パネル把持部に把持される表示パネルの全体に光を照射することが可能になる。

本発明において、たとえば、拡張部材は、アルミニウム合金製の平板であり、拡張部材の第１方向側の面には、黒色の酸化被膜が形成されている。

本発明において、反射板は、表示パネルよりも大きくなっており、反射板には、反射板を貫通するとともにカメラのレンズ鏡筒が配置される貫通穴が形成されていることが好ましい。このように構成すると、反射板が表示パネルよりも大きくなっているため、パネル把持部で把持される表示パネルの全体に均一な間接光を照射しやすくなる。

本発明において、たとえば、反射板の第２方向側の面とレンズ鏡筒の第２方向側の端部とが表示パネルの厚さ方向において略同じ位置に配置されている。

本発明において、照明は、直線状に配列される複数の発光ダイオードを備えるバー照明であることが好ましい。このように構成すると、パネル把持部で把持される表示パネルの全体に均一な間接光を照射しやすくなる。

以上のように、本発明では、表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、パネル把持部を移動させる移動機構と、表示パネルの角部を検知するカメラとを備えるアライメント装置において、パネル把持部を小型化しつつ、表示パネルの角部を正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかるアライメント装置が組み込まれる搬送システムの側面図である。 図１のＥ−Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。 図１に示すロボットの斜視図である。 図３に示すパネル把持部および拡張部材の平面図である。 図１に示す供給ユニットの斜視図である。 図５に示す供給ユニットの平面図である。 図５に示すカメラの上方に液晶パネルが搬送された状態を図６のＦ−Ｆ方向から示す図である。 本発明の他の実施の形態にかかる供給ユニットの平面図である。 図８に示す反射板のＧ−Ｇ断面の構成を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるアライメント装置１０が組み込まれる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。

本形態のアライメント装置１０は、表示パネルである液晶パネル２の位置合わせを行うための装置である。このアライメント装置１０は、搬送システム１に組み込まれて使用される。搬送システム１は、携帯機器等で使用される中型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれている。この搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１５（図２参照）に液晶パネル２を供給する。また、搬送システム１は、中型の液晶パネル２（たとえば、１５インチの液晶パネル）を搬送する。なお、搬送システム１で搬送される液晶パネル２は、小型の液晶パネル（たとえば、４インチの液晶パネル）であっても良い。

液晶パネル２は、矩形状に形成されている。具体的には、液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル２の検査データ等のデータが記録されている。具体的には、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。すなわち、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、光学的に読取可能なデータが記録されている。なお、本形態の搬送システム１で搬送される液晶パネル２には、偏光板（偏光フィルム）が貼り付けられていても良いし、偏光板が貼り付けられていなくても良い。また、液晶パネル２には、ＦＰＣやチップが実装されていても良いし、ＦＰＣやチップが実装されていなくても良い。

搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（すなわち、段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。たとえば、コンベヤ４、５は、２０段に段積みされたトレイ３を水平方向へ直線的に搬送する。

以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後（後ろ）側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１５が配置されている。

また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出するロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１５に供給する供給ユニット１１とを備えている。本形態では、供給ユニット１１を構成する後述のカメラ４２および照明４３と、ロボット９とによってアライメント装置１０が構成されている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１１は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置される本体フレーム１２と、ロボット９が設置される本体フレーム１３とを備えている。本体フレーム１２の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されており、本体フレーム１２の上面に、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置されている。本体フレーム１３は、略門型に形成された門型フレームであり、左右方向で本体フレーム１２の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部に設置されている。

コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。なお、コンベヤ４、５は、ベルトコンベヤ等であっても良い。

コンベヤ４の前端側には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。コンベヤ４の前端側に載置された段積み状態のトレイ３は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、コンベヤ５の後端側には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、前側に搬送される。コンベヤ５の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ６、７は、本体フレーム１２に固定されている。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。

（ロボットの構成および動作）
図３は、図１に示すロボット９の斜視図である。図４は、図３に示すパネル把持部２９および拡張部材３０の平面図である。

ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。このロボット８は、門型に形成される本体フレーム２０と、本体フレーム２０に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム２０に保持される可動フレーム２１と、可動フレーム２１に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム２１に保持される可動フレーム２２と、可動フレーム２２に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム２２に保持される可動フレーム２３と、可動フレーム２３に取り付けられるトレイ把持部２４とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム２１を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム２２を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム２３を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

本体フレーム２０の高さは、コンベヤ４、５の高さよりも高くなっており、本体フレーム２０は、左右方向でコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。可動フレーム２１は、本体フレーム２０の上面側に取り付けられている。この可動フレーム２１は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３よりも上側に配置されている。可動フレーム２２は、可動フレーム２１の右側に取り付けられている。可動フレーム２３は、可動フレーム２２の後端側に取り付けられている。トレイ把持部２４は、可動フレーム２３の下端に取り付けられている。このトレイ把持部２４は、トレイ３を吸着する複数の吸着部を備えている。この吸着部は、ロボット８がトレイ３を搬送するときにトレイ３の上面に接触してトレイ３を真空吸着する。

ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、コンベヤ４上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７からコンベヤ５の後端側に搬送して、コンベヤ５にトレイ３を段積みする。

ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット９は、本体部２５と、本体部２５に連結される３本のレバー２６と、３本のレバー２６のそれぞれに連結される３個のアーム部２７と、３個のアーム部２７に連結されるヘッドユニット２８と、ヘッドユニット２８に取り付けられるパネル把持部２９と、パネル把持部２９の外周側へ広がる２個の拡張部材３０とを備えている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部にぶら下がるように設置されている。また、本体部２５は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム２０よりも後ろ側に配置されている。

３本のレバー２６は、本体部２５の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部２５に連結されている。すなわち、３本のレバー２６は、本体部２５の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部２５に連結されている。また、３本のレバー２６の基端側は、本体部２５に回動可能に連結されている。本体部２５とレバー２６との連結部には、レバー２６を回動させる減速機付きのモータ３１が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー２６のそれぞれを回動させる３個のモータ３１を備えている。モータ３１の出力軸は、レバー２６の基端側に固定されている。

アーム部２７の基端側は、レバー２６の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部２７は、互いに平行な直線状の２本のアーム３２によって構成されており、２本のアーム３２のそれぞれの基端側がレバー２６の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２８は、３個のアーム部２７の先端側に回動可能に連結されている。すなわち、ヘッドユニット２８は、６本のアーム３２の先端側に回動可能に連結されている。ロボット９では、３個のモータ３１を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット２８が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部２９が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット２８を移動させることが可能になっている。

パネル把持部２９は、略長方形の平板状に形成されている。このパネル把持部２９は、平板状に形成されるパネル把持部２９の厚さ方向と上下方向とが一致するようにヘッドユニット２８の下端に取り付けられている。また、ヘッドユニット２８の上端には、モータ３４が取り付けられている。パネル把持部２９は、モータ３４に連結されており、モータ３４の動力によって、上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。本形態では、本体部２５と３本のレバー２６と３個のアーム部２７とヘッドユニット２８と３個のモータ３１とモータ３４とによって、パネル把持部２９を移動させる移動機構３５が構成されている。

パネル把持部２９は、液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部３３（図７参照）を備えており、液晶パネル２を吸着して把持する。具体的には、吸着部３３は、パネル把持部２９の下面側に設けられており、パネル把持部２９は、吸着部３３によって液晶パネル２の上面を吸着することで液晶パネル２を把持する。すなわち、パネル把持部２９は、パネル把持部２９の下側に配置される液晶パネル２を把持する。また、パネル把持部２９は、液晶パネル２の厚さ方向と上下方向（鉛直方向）とが一致するように液晶パネル２を把持する。本形態の上下方向は、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２の厚さ方向である。また、下側は、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２の厚さ方向の一方側である第１方向側となっており、上側は、第１方向側の反対側である第２方向側となっている。

拡張部材３０は、略長方形の薄板状に形成されている。図４に示すように、２個の拡張部材３０のそれぞれは、略長方形の平板状に形成されるパネル把持部２９の一方の対角線上に配置される２個の角部のそれぞれから対角線の延長線上に広がるように、この２個の角部のそれぞれに固定されている。また、拡張部材３０は、上下方向から見たときにパネル把持部２９の長辺の方向と拡張部材３０の長辺の方向とが一致するようにパネル把持部２９に固定されている。

また、拡張部材３０は、パネル把持部２９の上面に固定されており、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２は、拡張部材３０の下側に配置されている。拡張部材３０の下面には、平板状またはフィルム状に形成される偏光部材（偏光板または偏光フィルム）３６（図７参照）が取り付けられている。すなわち、拡張部材３０の下面には、偏光部材３６が貼り付けられている。

図４に示すように、上下方向から見たときのパネル把持部２９の外形は、液晶パネル２の外形よりも小さくなっている。液晶パネル２は、上下方向から見たときに液晶パネル２の中心とパネル把持部２９の中心とが略一致するようにパネル把持部２９に把持される。また、液晶パネル２は、上下方向から見たときに液晶パネル２の長辺の方向とパネル把持部２９の長辺の方向とが略一致するようにパネル把持部２９に把持される。また、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２は、パネル把持部２９および拡張部材３０の下側に配置されている。

本形態では、パネル把持部２９に把持されている液晶パネル２を下側から見ると、長方形状に形成される液晶パネル２の一方の対角線上に配置される２個の角部２ａ（図４参照）のそれぞれは、２個の拡張部材３０のそれぞれと重なっている。すなわち、パネル把持部２９に把持されている液晶パネル２を上側から見ると、２個の角部２ａのそれぞれは、２個の拡張部材３０のそれぞれに覆われている。拡張部材３０は、角部２ａよりも液晶パネル２の外周側へ広がるように形成されており、角部２ａは、拡張部材３０によって上側から完全に覆われている。

ロボット９は、トレイステージ６に載置されたトレイ３またはトレイステージ７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、ロボット９は、トレイ３から搬出した液晶パネル２を後述のスライドステージ５９まで搬送する。

（供給ユニットの構成）
図５は、図１に示す供給ユニット１１の斜視図である。図６は、図５に示す供給ユニット１１の平面図である。図７は、図５に示すカメラ４２の上方に液晶パネル２が搬送された状態を図６のＦ−Ｆ方向から示す図である。

供給ユニット１１は、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置４１を備えている（図５参照）。また、供給ユニット１１は、液晶パネル２の角部２ａを検知する２個のカメラ４２と、液晶パネル２に光を照射する２個の照明４３とを備えている。２個のカメラ４２および照明４３は、アライメント装置１０の一部を構成している。アライメント装置１０は、データ読取装置４１で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをする。

また、供給ユニット１１は、データ読取装置４１でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１５へ搬送するロボット４４と、処理装置１５へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー（静電気除去装置）４５と、データ読取装置４１でデータが読み取られた後の液晶パネル２をロボット４４に向かって搬送する搬送装置４６とを備えている。

データ読取装置４１、ロボット４４、イオナイザー４５および搬送装置４６は、ベース板４７に載置されて固定されている。データ読取装置４１は、ベース板４７の左端側に載置されている。ロボット４４は、ベース板４７の右端側に載置されている。搬送装置４６は、左右方向においてデータ読取装置４１とロボット４４との間に配置されている。イオナイザー４５は、搬送装置４６の上方に配置されており、搬送装置４６で搬送される液晶パネル２の静電気を除去する。ベース板４７は、本体フレーム１２の上面の後端側部分に載置されて固定されている。

カメラ４２および照明４３は、搬送装置４６の前側に配置されている。また、カメラ４２および照明４３は、上下方向から見たときにトレイステージ６とトレイステージ７との間に配置されている。また、カメラ４２および照明４３は、本体フレーム１２の上面に固定されるベース板４８に載置されて固定されており、ロボット９のパネル把持部２９よりも下側に配置されている。具体的には、カメラ４２および照明４３は、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２よりも下側に配置されている。ベース板４８の上面には、光を反射する反射部材４９が取り付けられている。反射部材４９は、たとえば、反射板または反射フィルムであり、ベース板４８の上面に貼り付けられている。なお、カメラ４２は、固定フレーム５２を介してベース板４８に固定され、照明４３は、固定フレーム５３を介してベース板４８に固定されている。

カメラ４２は、液晶パネル２の下側から液晶パネル２の角部２ａを検知する。具体的には、２個のカメラ４２のそれぞれが、液晶パネル２の下側から２個の角部２ａのそれぞれの位置を検知する。カメラ４２は、２個の角部２ａのそれぞれを検知するために、ベース板４８の右前端側と、ベース板４８の左後端側との２箇所に載置されている。すなわち、アライメント装置１０は、２個の角部２ａのうちの一方の角部２ａを検知するカメラ４２と、他方の角部２ａを検知するカメラ４２との２個のカメラ４２を備えている。

カメラ４２は、偏光フィルタ５５を備えている。偏光フィルタ５５は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにカメラ４２のレンズの先端に取り付けられている。カメラ４２の偏光フィルタ５５の位相と拡張部材３０の偏光部材３６の位相とは９０°ずれている。すなわち、偏光フィルタ５５の偏光方向と偏光部材３６の偏光方向とは９０°ずれている。

照明４３は、左右方向で直線状に配列される複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）を備えるバー照明である。２個の照明４３は、前後方向における２個のカメラ４２の間に配置されている。照明４３は、下側に向かって光を射出するように配置されている。すなわち、照明４３は、反射部材４９に向かって光を射出する。カメラ４２で角部２ａを検知する際には、照明４３から射出され反射部材４９で反射された光（すなわち、間接光）が液晶パネル２に照射される。

データ読取装置４１は、図５に示すように、二次元コードや一次元コード等の光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ５７と、カメラ５７が固定される固定フレーム５８とを備えている。固定フレーム５８は、ベース板４７に固定されている。また、データ読取装置４１は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。カメラ５７は、液晶パネル２の下側から液晶パネル２に記録されたデータを読み取る。

搬送装置４６は、液晶パネル２が載置されるスライドステージ５９と、左右方向へのスライドが可能となるようにスライドステージ５９を保持する固定フレーム６０と、固定フレーム６０に対してスライドステージ５９を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。スライドステージ５９は、スライドステージ５９の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム６０は、ベース板４７に固定されている。

ロボット４４は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部６１と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部６１を保持する可動フレーム６２と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６２を保持する可動フレーム６３と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６３を保持する固定フレーム６４と、可動フレーム６２に対してパネル把持部６１を昇降させる昇降機構と、可動フレーム６３に対して可動フレーム６２を左右方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム６４に対して可動フレーム６３を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム６４は、ベース板４７に固定されている。

（液晶パネルの位置合わせ動作、データ読取動作および処理装置への搬入動作）
搬送システム１では、ロボット９は、トレイステージ６、７上のトレイ３の中の液晶パネル２を把持してカメラ４２の上方まで搬送する。具体的には、図４に示すように、２個のカメラ４２のうちの一方のカメラ４２の真上に液晶パネル２の２個の角部２ａのうちの一方の角部２ａの近傍部分が配置され、他方のカメラ４２の真上に他方の角部２ａの近傍部分が配置されるように、ロボット９は、液晶パネル２を搬送する。カメラ４２の上方まで液晶パネル２が搬送されると、２個のカメラ４２によって下側から２個の角部２ａの位置が検知される。

上述のように、パネル把持部２９に把持されている液晶パネル２を上側から見ると、２個の角部２ａのそれぞれは、２個の拡張部材３０のそれぞれに覆われている。そのため、カメラ４２には、角部２ａと一緒に拡張部材３０の下面が写る。また、上述のように、拡張部材３０の下面に貼り付けられた偏光部材３６の位相とカメラ４２の偏光フィルタ５５の位相とは９０°ずれている。そのため、カメラ４２に写る拡張部材３０の下面は黒くなる。

カメラ４２によって液晶パネル２の角部２ａが検知されると、ロボット９は、カメラ４２での角部２ａの位置の検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせを行いながら、カメラ４２の上方からカメラ５７の上方まで液晶パネル２を搬送する。すなわち、移動機構３５は、カメラ４２での検知結果に基づいてパネル把持部２９を移動させて、液晶パネル２の位置合わせを行いながら、カメラ４２の上方からカメラ５７の上方まで液晶パネル２を搬送する。具体的には、移動機構３５は、カメラ４２での検知結果に基づいてモータ３１、３４を駆動して、上下方向を回動の軸方向としてパネル把持部２９を回動させたり前後左右方向へパネル把持部２９を移動させたりすることで、液晶パネル２の位置合わせを行いながら、カメラ４２の上方からカメラ５７の上方まで液晶パネル２を搬送する。

カメラ５７の上方まで液晶パネル２が搬送されると、カメラ５７が液晶パネル２のデータを読み取る。カメラ５７で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされる。カメラ５７で液晶パネル２のデータが読み取られると、ロボット９は、左端側まで移動して停止しているスライドステージ５９まで液晶パネル２を搬送してスライドステージ５９に液晶パネル２を載置する。

スライドステージ５９に液晶パネル２が載置されると、搬送装置４６は、右方向へスライドステージ５９を移動させて、液晶パネル２を搬送装置４６の右端側まで搬送する。ロボット４４は、搬送装置４６によって搬送装置４６の右端側まで搬送された液晶パネル２をパネル把持部６１で真空吸着して把持し、スライドステージ５９から液晶パネル２を処理装置１５に搬入する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、パネル把持部２９に把持されている液晶パネル２を上側から見ると、２個の角部２ａのそれぞれは２個の拡張部材３０のそれぞれに覆われており、カメラ４２によって角部２ａを検知する際、カメラ４２には、角部２ａと一緒に拡張部材３０の下面が写る。また、本形態では、拡張部材３０の下面に貼り付けられた偏光部材３６の位相とカメラ４２の偏光フィルタ５５の位相とは９０°ずれており、カメラ４２に写る拡張部材３０の下面は黒くなる。そのため、本形態では、上下方向から見たときのパネル把持部２９の外形が液晶パネル２の外形よりも小さくなっていても、カメラ４２に写る液晶パネル２の角部２ａと拡張部材３０の下面とのコントラストを高めることが可能になり、その結果、カメラ４２によって液晶パネル２の角部２ａを正確に検知することが可能になる。したがって、本形態では、パネル把持部２９を小型化しつつ、液晶パネル２の角部２ａを正確に検知して、液晶パネル２を精度良く位置合わせすることが可能になる。

本形態では、２個のカメラ４２のそれぞれは、液晶パネル２の下側から２個の角部２ａのそれぞれの位置を検知している。そのため、本形態では、アライメント装置１０において比較的大きな中型の液晶パネル２の位置合わせを行う場合であっても、２個のカメラ４２を用いて２個の角部２ａを正確に検知することが可能になる。

本形態では、照明４３から射出され反射部材４９で反射された間接光が液晶パネル２に照射されている。そのため、本形態では、液晶パネル２に適度な光を照射することが可能になる。また、本形態では、パネル把持部２９で把持される液晶パネル２の大きさが変わっても、共通の照明４３を用いて、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２の全体に光を照射することが可能になる。また、本形態では、照明４３がバー照明であるため、パネル把持部２９で把持される液晶パネル２の全体に均一な間接光を照射しやすくなる。

（供給ユニットの変形例１）
図８は、本発明の他の実施の形態にかかる供給ユニット１１の平面図である。図９は、図８に示す反射板７０のＧ−Ｇ断面の構成を説明するための図である。図８、図９では、上述した形態と同一の構成については同一の符号を付している。

上述した形態では、ベース板４８の上面に反射部材４９が取り付けられているが、図９に示すように、ベース板４８の上方に反射板７０が配置されていても良い。反射板７０は、平板状に形成されている。具体的には、反射板７０は、長方形の平板状に形成されている。この反射板７０は、反射板７０の厚さ方向と上下方向（鉛直方向）とが一致するように配置されている。また、反射板７０は、パネル把持部２９よりも下側に配置されている。反射板７０の上面とカメラ４２のレンズ鏡筒７１の上端部とは、上下方向において略同じ位置に配置されている。なお、カメラ４２のレンズ鏡筒７１の上端部は、反射板７０の上面より上側に配置されていても良いし、反射板７０の上面より下側に配置されていても良い。

反射板７０の上面は、白色となっている。この変形例では、反射板７０は、白色の樹脂で形成された樹脂板であり、反射板７０の全体が白色となっている。反射板７０は、液晶パネル２よりも大きくなっている。図９に示すように、反射板７０には、カメラ４２のレンズ鏡筒７１が配置される貫通穴７０ａが形成されている。具体的には、２個のカメラ４２のレンズ鏡筒７１のそれぞれが配置される２個の貫通穴７０ａが反射板７０に形成されている。貫通穴７０ａは、反射板７０を貫通する丸穴状に形成されている。貫通穴７０ａの内径は、レンズ鏡筒７１の外径よりも大きくなっている。貫通穴７０ａの中には、レンズ鏡筒７１の上端側部分が配置されている。

反射板７０の上側には、照明７２、７３が配置されている。たとえば、図８に示すように、長方形状に形成される反射板７０の短辺に沿うように２個の照明７２が配置されるとともに、反射板７０の長辺に沿うように２個の照明７３が配置されている。すなわち、反射板７０の上側には、４個の照明７２、７３が配置されている。照明７２、７３は、たとえば、照明４３と同様のバー照明である。なお、反射板７０の上側に２個の照明７２のみが配置されていても良いし、２個の照明７３のみが配置されていても良い。

カメラ４２で角部２ａを検知する際に、照明７２、７３は、反射板７０の上面に向かって光を射出する。すなわち、照明７２、７３は、斜め下側に向かって光を射出する。反射板７０は、照明７２、７３から射出された光を反射する。カメラ４２で角部２ａを検知する際には、照明７２、７３から射出され反射板７０で反射された光（すなわち、間接光）が液晶パネル２に照射される。また、カメラ４２で角部２ａを検知する際には、図８に示すように、上下方向から見ると、反射板７０の外形の中に液晶パネル２が収まっている。

この変形例では、反射板７０で反射された間接光が液晶パネル２に照射されるため、液晶パネル２に適度な光を照射することが可能になる。また、反射板７０は、液晶パネル２よりも大きくなっており、カメラ４２で角部２ａを検知する際には、反射板７０の外形の中に液晶パネル２が収まっているため、パネル把持部２９で把持される液晶パネル２の全体に均一な間接光を照射しやすくなる。

また、この変形例では、液晶パネル２に間接光が照射されるため、パネル把持部２９で把持される液晶パネル２の大きさが変わっても、共通の照明７２、７３を用いて、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２の全体に光を照射することが可能になる。さらに、反射板７０の上面が白色となっているため、本願発明者の検討によると、カメラ４２に写る液晶パネル２の角部２ａと拡張部材３０の下面とのコントラストを効果的に高めることが可能になり、その結果、カメラ４２によって液晶パネル２の角部２ａをより正確に検知することが可能になる。

（供給ユニットの変形例２）
図８、図９に示す変形例において、拡張部材３０の下面に偏光部材３６が貼り付けられていなくても良い。この場合には、拡張部材３０の下面は、黒色となっている。たとえば、拡張部材３０は、アルミニウム合金製の平板であり、拡張部材３０の下面には、黒色のアルマイト処理が施されている。すなわち、拡張部材３０の下面には、黒色の酸化被膜が形成されている。この酸化被膜は、光沢が抑制された黒色の酸化被膜であることが好ましい。この場合には、カメラ４２の偏光フィルタ５５が不要になる。なお、拡張部材３０は、たとえば、黒色の樹脂で形成された樹脂板であっても良い。

この変形例では、白色となっている反射板７０の上面で反射された光が液晶パネル２に照射されるとともに、拡張部材３０の下面が黒色となっているため、上述した形態と同様に、上下方向から見たときのパネル把持部２９の外形が液晶パネル２の外形よりも小さくなっていても、カメラ４２に写る液晶パネル２の角部２ａと拡張部材３０の下面とのコントラストを高めることが可能になり、その結果、カメラ４２によって液晶パネル２の角部２ａを正確に検知することが可能になる。したがって、パネル把持部２９を小型化しつつ、液晶パネル２の角部２ａを正確に検知して、液晶パネル２を精度良く位置合わせすることが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、パネル把持部２９と別体で形成された拡張部材３０がパネル把持部２９に固定されているが、拡張部材３０がパネル把持部２９と一体で形成されていても良い。また、上述した形態では、アライメント装置１０は２個のカメラ４２を備えているが、アライメント装置１０が備えるカメラ４２の数は１個でも良い。また、上述した形態では、カメラ４２および照明４３は、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２よりも下側に配置されているが、カメラ４２および照明４３は、パネル把持部２９に把持される液晶パネル２より上側に配置されても良い。

上述した形態では、照明４３は、バー照明であるが、照明４３は、バー照明以外の照明であっても良い。また、上述した形態では、液晶パネル２に間接光が照射されているが、液晶パネル２に直接光が照射されても良い。また、上述した形態では、ロボット８は、３軸直交ロボットであるが、ロボット８は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット９は、パラレルリンクロボットであるが、ロボット９は、水平多関節ロボットであっても良い。

上述した形態では、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル２であるが、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

２ 液晶パネル（表示パネル）
２ａ 角部（第１角部）
１０ アライメント装置
２９ パネル把持部
３０ 拡張部材
３５ 移動機構
３６ 偏光部材
４２ カメラ
４３、７２、７３ 照明
４８ ベース板
４９ 反射部材
５５ 偏光フィルタ
７０ 反射板
７０ａ 貫通穴
７１ レンズ鏡筒

Claims (10)

1. 矩形状に形成される表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、
   前記表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、前記パネル把持部の外周側へ広がる２個の拡張部材と、前記パネル把持部を移動させる移動機構とを備えるとともに、前記パネル把持部に把持される前記表示パネルの厚さ方向の一方側を第１方向側とし、前記第１方向側の反対側を第２方向側とし、矩形状に形成される前記表示パネルの一方の対角線上に配置される２個の角部のそれぞれを第１角部とすると、前記パネル把持部よりも前記第１方向側に配置され前記第１角部を検知するカメラを備え、
   前記パネル把持部は、前記パネル把持部および前記拡張部材の前記第１方向側に配置される前記表示パネルを把持し、
   前記カメラは、偏光フィルタを備え、
   前記拡張部材の前記第１方向側の面には、前記偏光フィルタの位相に対して９０°位相がずれている平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、
   前記表示パネルの厚さ方向から見たときの前記パネル把持部の外形は、前記表示パネルの外形よりも小さくなっており、
   前記パネル把持部に把持されている前記表示パネルを前記第２方向側から見ると、２個の前記第１角部のそれぞれは、２個の前記拡張部材のそれぞれに覆われており、
   前記移動機構は、前記カメラでの検知結果に基づいて前記パネル把持部を移動させて前記表示パネルの位置合わせを行うことを特徴とするアライメント装置。
2. ２個の前記第１角部のうちの一方の前記第１角部を検知する前記カメラと、他方の前記第１角部を検知する前記カメラとを備えることを特徴とする請求項１記載のアライメント装置。
3. 前記表示パネルに光を照射する照明を備え、
   前記表示パネルは、前記表示パネルの厚さ方向と鉛直方向とが一致するように前記パネル把持部に把持され、
   前記カメラおよび前記照明は、前記パネル把持部より下側に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載のアライメント装置。
4. 前記照明が載置されて固定されるベース板を備え、
   前記ベース板の上面には、光を反射する反射部材が取り付けられ、
   前記照明は、前記反射部材に向かって光を射出し、
   前記反射部材で反射された光が前記表示パネルに照射されることを特徴とする請求項３記載のアライメント装置。
5. 前記表示パネルに光を照射する照明と、前記照明から射出された光を反射する反射板とを備え、
   前記表示パネルは、前記表示パネルの厚さ方向と鉛直方向とが一致するように前記パネル把持部に把持され、
   前記反射板は、前記反射板の厚さ方向と鉛直方向とが一致するように配置され、
   前記カメラおよび前記反射板は、前記パネル把持部よりも下側に配置され、
   前記照明は、前記反射板よりも上側に配置されるとともに、前記反射板の上面に向かって光を射出し、
   前記反射板の上面は、白色となっており、
   前記反射板の上面で反射された光が前記表示パネルに照射されることを特徴とする請求項１または２記載のアライメント装置。
6. 矩形状に形成される表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、
   前記表示パネルを吸着して把持するパネル把持部と、前記パネル把持部の外周側へ広がる２個の拡張部材と、前記パネル把持部を移動させる移動機構と、前記表示パネルに光を照射する照明と、前記照明から射出された光を反射する反射板とを備えるとともに、前記パネル把持部に把持される前記表示パネルの厚さ方向の一方側を第１方向側とし、前記第１方向側の反対側を第２方向側とし、矩形状に形成される前記表示パネルの一方の対角線上に配置される２個の角部のそれぞれを第１角部とすると、前記パネル把持部よりも前記第１方向側に配置され前記第１角部を検知するカメラを備え、
   前記パネル把持部は、前記パネル把持部および前記拡張部材の前記第１方向側に配置される前記表示パネルを把持し、
   前記反射板は、前記反射板の厚さ方向と前記表示パネルの厚さ方向とが一致するように配置されるとともに前記パネル把持部よりも前記第１方向側に配置され、
   前記照明は、前記反射板よりも前記第２方向側に配置されるとともに、前記反射板の前記第２方向側の面に向かって光を射出し、
   前記表示パネルの厚さ方向から見たときの前記パネル把持部の外形は、前記表示パネルの外形よりも小さくなっており、
   前記パネル把持部に把持されている前記表示パネルを前記第２方向側から見ると、２個の前記第１角部のそれぞれは、２個の前記拡張部材のそれぞれに覆われており、
   前記反射板の前記第２方向側の面は、白色となっており、
   前記拡張部材の前記第１方向側の面は、黒色となっており、
   前記反射板の前記第２方向側の面で反射された光が前記表示パネルに照射され、
   前記移動機構は、前記カメラでの検知結果に基づいて前記パネル把持部を移動させて前記表示パネルの位置合わせを行うことを特徴とするアライメント装置。
7. 前記拡張部材は、アルミニウム合金製の平板であり、
   前記拡張部材の前記第１方向側の面には、黒色の酸化被膜が形成されていることを特徴とする請求項６記載のアライメント装置。
8. 前記反射板は、前記表示パネルよりも大きくなっており、
   前記反射板には、前記反射板を貫通するとともに前記カメラのレンズ鏡筒が配置される貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載のアライメント装置。
9. 前記反射板の前記第２方向側の面と前記レンズ鏡筒の前記第２方向側の端部とが前記表示パネルの厚さ方向において略同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項８記載のアライメント装置。
10. 前記照明は、直線状に配列される複数の発光ダイオードを備えるバー照明であることを特徴とする請求項４から９のいずれかに記載のアライメント装置。

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