JP6058004B2 - マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 - Google Patents
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Description
本出願は2011年8月8日に出願の「SYSTEMS HAVING MULTI−LINKAGE ROBOTS AND METHODS TO CORRECT POSITIONAL AND ROTATIONAL ALIGNMENT IN MULTI−LINKAGE ROBOTS」と題する米国非仮特許出願第13/205,123号(代理人整理番号第16361USA)からの優先権を主張し、その特許出願は全ての目的のためにその全体を参照することにより本明細書に援用される。
Claims (9)
- ロボット内のミスアライメントを補正する方法であって、
ブームリンケージ、前記ブームリンケージに結合される上側アームリンク、前記上側アームリンクに結合される前側アームリンク、前記前側アームリンクに結合されるリスト部材、及び前記リスト部材に結合されるエンドエフェクタを有するロボット装置を設けることと、
前記ブームリンケージを目標場所に隣接する場所に位置決めすることと、
前記エンドエフェクタを前記目標場所近くまで移動させることと、
オフセットの程度を判断することと、
前記ブームリンケージを回転させることによって、少なくとも部分的に、線形位置ミスアライメントを補正することと、
回転ミスアライメントを補正することと、を含み、
前記線形位置ミスアライメントを補正することは、
前記ブームリンケージを回転させ、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、X方向における線形位置ミスアライメントを補正することと、
前記ブームリンケージに対して前記エンドエフェクタを伸長させることによって、Y方向において線形位置ミスアライメントを補正することと、を含み、
前記回転ミスアライメントを補正することは、
前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、回転ミスアライメントを補正することを含む、ロボット内のミスアライメントを補正する方法。 - 前記ブームリンケージを回転させ、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、回転ミスアライメントを補正することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記上側アームリンクと前記前側アームリンクとの間にいかなる相対的な回転も与えないようにしながら、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、回転ミスアライメントを補正することを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記前側アームリンクと前記リスト部材との間にいかなる相対的な回転も与えないようにしながら、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、回転ミスアライメントを補正することを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記ブームリンケージの第1の回転軸と、前記プロセスチャンバの垂直軸中心線に対するX方向における距離との間の距離よりも長い前記ブームリンケージの長さを設けることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ブームリンケージを回転させ、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、線形位置ミスアライメントをY方向において補正することを含む、請求項1に記載の方法。
- X方向において、かつY方向において線形位置ミスアライメントを補正することと、次いで
前記ロボット装置の自己運動によって回転ミスアライメントを補正することと、を含む、請求項1に記載の方法。 - ロボット内のミスアライメントを補正する方法であって、
ブームリンケージ、前記ブームリンケージに結合される上側アームリンク、前記上側アームリンクに結合される前側アームリンク、前記前側アームリンクに結合されるリスト部材、及び前記リスト部材に結合されるエンドエフェクタを有するロボット装置を設けることと、
前記ブームリンケージを目標場所に隣接する場所に位置決めすることと、
前記上側アームリンク、前記前側アームリンク及び前記リスト部材を回転かつ移動させて、前記目標場所付近に前記エンドエフェクタを位置決めすることと、
X方向及びY方向において回転ミスアライメント及び位置ミスアライメントの程度を判断することと、
前記ブームリンケージを回転させ、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、前記X方向において線形位置ミスアライメントを補正することと、
前記ブームリンケージに対して前記エンドエフェクタを伸長させることによって、少なくとも部分的に、前記Y方向において線形位置ミスアライメントを補正することと、
前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、回転ミスアライメントを補正することと
を含む、ロボット内のミスアライメントを補正する方法。 - マルチリンケージロボット装置を有する電子デバイス処理システムであって、
垂直軸を含むプロセスチャンバを備え、前記プロセスチャンバはマルチリンケージロボットによってサービスされるように構成され、
前記マルチリンケージロボットは、
第1の軸の回りを回転可能なブームリンケージと、
第2の軸において前記ブームリンケージに結合される上側アームリンクと、
前記上側アームリンクに結合される前側アームリンクと、
前記前側アームリンクに結合されるリスト部材と、
前記リスト部材に結合されるエンドエフェクタと、を有し、
前記第1の軸と前記第2の軸との間の前記ブームリンケージの長さは、前記第1の軸と前記垂直軸との間の距離より長く、
前記電子デバイス処理システムは、前記ブームリンケージを回転させ、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、X方向における線形位置ミスアライメントを補正し、
前記電子デバイス処理システムは、前記ブームリンケージに対して前記エンドエフェクタを伸長させることによって、少なくとも部分的に、Y方向において線形位置ミスアライメントを補正し、
前記電子デバイス処理システムは、前記ブームリンケージに対して前記上側アームリンクを回転させることによって、少なくとも部分的に、回転ミスアライメントを補正する、マルチリンケージロボット装置を有する電子デバイス処理システム。
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