CN101683738B - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

一种工业用机器人，即使搬运对象物的重量发生变动，也能适当修正装载在手上的搬运对象物的倾斜。工业用机器人(1)包括：装载搬运对象物(2)的手(3)、对装载有搬运对象物(2)时手(3)的挠曲引起的搬运对象物(2)的倾斜进行修正的倾斜修正机构(17)。倾斜修正机构(17)包括：作为驱动源的倾斜修正用电动机、与倾斜修正用电动机的输出轴连结的偏心旋转部件、下端侧安装在偏心旋转部件上的连杆部件、安装连杆部件的上端侧的安装部件。倾斜修正机构(17)利用随着偏心旋转部件的旋转与连杆部件一起上下运动的安装部件，使手(3)以支点部(36)为转动中心朝着使搬运对象物(2)的倾斜变化的方向转动。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

一直以来，搬运规定搬运对象物(工件)的工业用机器人得到了广泛使用。作为这种工业用机器人，已知有一种包括装载工件的手和两条臂的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1记载的工业用机器人中，在第一臂的前端侧连结着手的基端侧，在第二臂的前端侧连结着第一臂的基端侧。

专利文献1记载的工业用机器人中，用于对在手上装载有工件时手、第一臂和第二臂产生的挠曲进行修正的挠曲修正机构设置于手与第一臂间的连结部位。上述挠曲修正机构包括：固定在第一臂上的凸轮板、能旋转地安装在手上的凸轮随动件。上述工业用机器人中，凸轮板的上表面形成为使其高度位置沿着周向变化，随着第一臂和第二臂的伸缩动作，凸轮随动件在凸轮板的上表面沿周向一边滚动一边移动，由此修正手、第一臂和第二臂产生的挠曲。

专利文献1：日本专利特开2003-136442号公报

然而，专利文献1记载的工业用机器人中，随着第一臂和第二臂的伸缩动作，凸轮随动件在凸轮板的上表面沿周向一边滚动一边移动，由此修正手等产生的挠曲，因此，手等产生的挠曲的修正值是由凸轮板的上表面的形状确定的。即，上述工业用机器人中，若不更换凸轮板，则手等产生的挠曲的修正值是恒定的。因此，当装载在手上的工件的重量发生变动时，有时无法适当修正手等产生的挠曲。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种即使搬运对象物的重量发生变动也能适当修正装载在手上的搬运对象物的倾斜的工业用机器人。

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人的特征是，包括：装载搬运对象物的手、对装载有搬运对象物时手的挠曲引起的搬运对象物的倾斜进行修正的倾斜修正机构，倾斜修正机构包括：倾斜修正用电动机，其作为驱动源；偏心旋转部件，其与倾斜修正用电动机的输出轴连结；连杆部件，其一端侧安装在偏心旋转部件上；安装部件，其安装连杆部件的另一端侧；以及支点部，在随着偏心旋转部件的旋转与连杆部件一起上下运动的安装部件的作用下，手以上述支点部作为转动中心朝着使搬运对象物的倾斜变化的方向转动。

本发明的工业用机器人中，倾斜修正机构利用随着与倾斜修正用电动机的输出轴连结的偏心旋转部件的旋转而与连杆部件一起上下运动的安装部件，使手以支点部为转动中心朝着使搬运对象物的倾斜变化的方向转动。因此，通过控制偏心旋转部件的旋转量(即倾斜修正用电动机的旋转量)来控制安装部件的上下方向的移动量，能控制将支点部作为转动中心的手的转动量。因此，本发明中，通过根据搬运对象物的重量来控制倾斜修正用电动机的旋转量，能控制将支点部作为转动中心的手的转动量，从而适当修正搬运对象物的倾斜。即，本发明中，即使搬运对象物的重量发生变动，也能适当修正装载在手上的搬运对象物的倾斜。

在本发明中，较为理想的是，偏心旋转部件是偏心轴，连杆部件的一端侧通过轴承能转动地安装在偏心轴的外周侧，连杆部件的另一端侧通过轴承能转动地安装在安装部件上。这样构成时，能减小连杆部件在朝偏心轴安装的部分和朝安装部件安装的部分处的滑动阻力，能抑制连杆部件两端侧的尘埃的产生。因此，能在无尘室等清洁的环境下使用工业用机器人。通过在轴承的两端侧配置密封部件，能防止尘埃的飞散，因此，能简化防止尘埃飞散的构造。

在本发明中，例如工业用机器人包括：支撑手的基端侧的第一支撑部、支撑第一支撑部的第二支撑部、使第二支撑部上下运动的升降机构。这种情况下，第一支撑部例如是使手沿水平方向直线移动的线性驱动部，或者是将手的基端侧保持成能转动、具有多个臂并沿水平方向伸缩的多关节臂部。

在本发明中，较为理想的是，倾斜修正用电动机和偏心旋转部件安装在第二支撑部上，安装部件安装在第一支撑部上，支点部形成于第一支撑部与第二支撑部间的连结部。这样构成时，即使在手上装载有搬运对象物时第一支撑部产生挠曲，也能用倾斜修正机构来修正该第一支撑部的挠曲引起的搬运对象物的倾斜。

这样构成时，能修正第一支撑部的倾斜，因此，即使第一支撑部产生挠曲，也能通过与升降机构使第二支撑部进行的升降动作组合来对手的移动轨迹进行微调。与倾斜修正用电动机和偏心旋转部件安装在第一支撑部上、安装部件安装在手上、并且支点部形成于第一支撑部与手间的连结部时相比较，容易确保用于配置倾斜修正机构的空间，因此，能提高倾斜修正机构的刚性。另外，能使可能会有尘埃产生的倾斜修正机构与手分离，因此，容易确保装载在手上的搬运对象物的清洁度。

在本发明中，较为理想的是，在手的移动方向上，安装部件相对于支点部配置在与手的前端最远离支点部时的手相反的一侧。这样构成时，能防止工业用机器人的重心偏向前端最远离支点部时的手的前端侧，能使工业用机器人稳定。

在本发明中，较为理想的是，工业用机器人包括控制部，其对构成升降机构并作为用于使第二支撑部上下运动的驱动源的升降用电动机和倾斜修正用电动机进行控制，控制部根据倾斜修正用电动机的旋转量来驱动升降用电动机。这样构成时，即使在倾斜修正机构的倾斜修正使装载在手上的搬运对象物的高度发生变化时，也能通过升降机构使手进行的升降动作来调整装载在手上的搬运对象物的高度。因此，即使用倾斜修正机构来修正搬运对象物的倾斜，也能使装载在手上的搬运对象物的高度保持恒定。

如上所述，本发明的工业用机器人中，即使搬运对象物的重量发生变动，也能适当修正装载在手上的搬运对象物的倾斜。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。

图2是从图1的E-E方向表示工业用机器人的图。

图3是从图1的F-F方向表示工业用机器人的图。

图4是用于说明图1所示的柱状部件和升降机构的结构的图。

图5是图4的G部的放大图。

图6(A)是用于从上方说明图1所示的线性驱动部的结构的图，图6(B)是用于从图6(A)的H-H方向说明线性驱动部的结构的图。

图7是用于从图6的J-J方向说明线性驱动部的结构的图。

图8是图2的K部的放大图。

图9是图8的M-M截面的剖视图。

图10是图8的N-N截面的剖视图。

图11是用于从图10的P-P方向说明连杆部件的结构的图。

图12是用于说明图8所示的倾斜修正机构的作用的图。

图13是图1所示的工业用机器人的控制部及其相关部分的方框图。

(符号说明)

1机器人(工业用机器人)

2掩膜(搬运对象物)

3手

4线性驱动部(第一支撑部)

7支撑部件(第二支撑部)

16升降机构

17倾斜修正机构

20升降用电动机

36支点部

37倾斜修正用电动机

37a输出轴

39偏心轴(偏心旋转部件)

40连杆部件

41安装部件

48轴承

50轴承

60控制部

具体实施方式

下面，根据附图来说明本发明的实施方式。

(工业用机器人的概略结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的俯视图。图2是从图1的E-E方向表示工业用机器人1的图。图3是从图1的F-F方向表示工业用机器人1的图。

本实施方式的工业用机器人1(下面称为“机器人1”)是用于搬运规定的搬运对象物2的机器人。本实施方式的搬运对象物2例如是曝光装置所使用的昂贵的掩膜。因此，下面将搬运对象物2记作“掩膜2”。如图1～图3所示，该机器人1包括：装载掩膜2的手3、支撑手3的基端侧的作为第一支撑部的线性驱动部4、支撑线性驱动部4的主体部5、将主体部5支撑成能沿水平方向移动的底座部件6。

主体部5包括：支撑线性驱动部4并作为能上下运动的第二支撑部的支撑部件7、用于将支撑部件7支撑成能沿上下方向移动的柱状部件8、构成主体部5的下端部分并能相对于底座部件6水平移动的基台9、固定柱状部件8的下端并能相对于基台9绕转的绕转部件10。

手3包括用于装载掩膜2的两个爪部12。该手3被线性驱动部4保持成相对于线性驱动部4能在图1的左右方向上相对移动。

机器人1包括：使支撑部件7上下运动的升降机构16(参照图4)、用于对装载有掩膜2时的手3和线性驱动部4的挠曲引起的掩膜2的倾斜进行修正的倾斜修正机构17。下面，说明升降机构16、线性驱动部4和倾斜修正机构17的结构及其周边部分的结构。

(升降机构及其周边部分的结构)

图4是用于说明图1所示的柱状部件8和升降机构16的结构的图。图5是图4的G部的放大图。

升降机构16包括：用于使支撑部件7上下运动的作为驱动源的升降用电动机20、与升降用电动机20连结的滚珠丝杠21。滚珠丝杠21以将上下方向作为长边方向的状态安装在柱状部件8上。具体而言，滚珠丝杠21被固定在柱状部件8的上下两端侧的两个轴承22支撑成可旋转。

升降机构16包括螺母部件23，该螺母部件23与滚珠丝杠21螺合，进行上下运动。螺母部件23固定在支撑部件7上。本实施方式中，通过滚珠丝杠21和螺母部件23的作用，支撑部件7沿上下方向移动。而且，升降机构16包括用于使支撑部件7停止的两个升降制动机构24。如图5所示，在升降用电动机20的输出轴上固定有带轮28，在滚珠丝杠21的上端固定有直径比带轮28大的带轮29。在带轮28、29上张设有皮带30。

(线性驱动部及其周边部分的结构)

图6(A)是用于从上方说明图1所示的线性驱动部4的结构的图，图6(B)是用于从图6(A)的H-H方向说明线性驱动部4的结构的图。图7是用于从图6的J-J方向说明线性驱动部4的结构的图。

线性驱动部4整体形成为细长的大致长方体状，其中心部分被支撑部件7支撑成能转动。该线性驱动部4包括使手3沿图6的左右方向直线移动的线性驱动机构24。

线性驱动机构24包括：线性驱动用电动机25(参照图7)、与线性驱动用电动机25连结的滚珠丝杠26。滚珠丝杠26以将图6的左右方向作为长边方向的状态固定在线性驱动部4的框架27上。具体而言，滚珠丝杠26被固定在框架27的左右两端侧的两个轴承28支撑成可旋转。

另外，线性驱动机构24包括：与滚珠丝杠26螺合并沿水平方向移动的螺母部件29、固定螺母部件29的移动底座30。在移动底座30的上表面固定着手3的基端侧的底面。本实施方式中，通过滚珠丝杠26和螺母部件29的作用，固定在移动底座30上的手3沿水平方向移动。在移动底座30的底面上固定着电缆支架31的一端。此外，线性驱动机构24还包括用于使移动底座30停止的制动机构和用于在水平方向上引导移动底座30的导向机构。

如图7所示，在线性驱动用电动机25的输出轴上固定有带轮32。在滚珠丝杠26的端部固定有直径比带轮32大的带轮33。在带轮32、33上张设有皮带34。

(倾斜修正机构及其周边部分的结构)

图8是图2的K部的放大图。图9是图8的M-M截面的剖视图。图10是图8的N-N截面的剖视图。图11是用于从图10的P-P方向说明连杆部件40的结构的图。图12是用于说明图8所示的倾斜修正机构17的作用的图。

倾斜修正机构17配置于线性驱动部4与支撑部件7间的连结部位。该倾斜修正机构17使手3和线性驱动部4以形成在线性驱动部4与支撑部件7的连结部上的支点部36为转动中心朝图8的逆时针方向转动，从而调整手3和线性驱动部4相对于图8的左右方向的倾斜，修正装载在手3上的掩膜2的倾斜。

如图9、图10所示，倾斜修正机构17包括：作为驱动源的倾斜修正用电动机37、通过减速机38与倾斜修正用电动机37的输出轴37a连结的作为偏心旋转部件的偏心轴(曲柄轴)39、下端侧安装在偏心轴39上的连杆部件40、安装有连杆部件40的上端侧的安装部件41。

如图8所示，支撑部36由固定在支撑部件7下端侧的支点轴43、固定在线性驱动部4的框架27的底面上的支点块44构成。支点轴43朝图8的纸面跟前侧突出地固定在支撑部件7的下端侧。在支点块44上形成有轴承配置孔44a，在该轴承配置孔44a内配置有供支点轴43插通的轴承(未图示)。支点轴43插入到配置在轴承配置孔44a内的轴承中，以使支点块44相对于支点轴43能转动。

倾斜修正用电动机37和减速机38固定在支撑部件7的下端侧。另外，倾斜修正用电动机37和减速机38配置在图8中的支点部36的左方，同时也处于线性驱动部4的下方。本实施方式的倾斜修正用电动机37是伺服电动机。本实施方式的减速机38使用RV减速机。倾斜修正用电动机37的输出轴37a与减速机38的输入侧连结。

偏心轴39以将图8的纸面垂直方向作为轴向的状态配置。该偏心轴39的一端(图9的上端)与减速机38的输出侧连结。偏心轴39的另一端侧被轴承46支撑成可旋转，该轴承46配置在构成支撑部件7的轴支撑部件45的内部。在轴承46的两端侧配置有密封部件47。如图9所示，在偏心轴39的轴向中间部形成有圆柱状的偏心部39a，该偏心部39a以从偏心轴39的旋转中心轴CL1偏离距离X的轴CL2为中心。即，偏心量为X的偏心部39a形成于偏心轴39的轴向中间部。图8等省略了轴支撑部件45等的图示。

在连杆部件40的下端侧形成有供偏心轴39的偏心部39a插通的插通孔，连杆部件40的下端侧通过轴承48能转动地安装在偏心部39a的外周侧。在轴承48的两端侧配置有密封部件49。在连杆部件40的上端侧形成有供构成安装部件41的后述固定轴51插通的插通孔，连杆部件40的上端侧通过轴承50能转动地安装在固定轴51上。

安装部件41包括：插通连杆部件40的上端侧的固定轴51、支撑固定轴51的两端侧的轴支撑部件52。固定轴51配置成其轴向与偏心轴39的旋转中心轴CL1平行。轴支撑部件52固定在线性驱动部4的框架27的底面上。具体而言，轴支撑部件52固定在框架27的底面的、图8的支点部36的左侧。

本实施方式中，在图2的线性驱动部4的右端侧配置有手3时，手3的前端最远离支点部36。因此，在图2的左右方向上，支点部36配置在前端最远离支点部36时的手3与安装部件41之间。即，在手3的移动方向上，安装部件41相对于支点部36配置在与前端最远离支点部36时的手3相反的一侧。

本实施方式中，例如在手3的前端最远离支点部36时，升降机构16使手3上升，在手3上装载掩膜2。在图2的左右方向上，前端最远离支点部36时的手3的基端与支点部36间的距离比支点部36与安装部件41间的距离长。

如上所述构成的倾斜修正机构17中，在倾斜修正用电动机37旋转时，通过减速机38连结在输出轴37a上的偏心轴39旋转。随着偏心轴39的旋转，连杆部件40和安装部件41例如如图11的虚线所示地下降，或如图11的双点划线所示地上升。

在连杆部件40和安装部件41下降时，例如如图12(A)所示，手3和线性驱动部4以支点部36为转动中心朝逆时针方向转动。在连杆部件40和安装部件41上升时，例如如图12(B)所示，手3和线性驱动部4以支点部36为转动中心朝顺时针方向转动。这样，通过随着偏心轴39的旋转进行上下运动的连杆部件40和安装部件41的作用，手3和线性驱动部4以支点部36为转动中心，朝着使装载在手3上的掩膜2的倾斜变化的方向转动。

在手3上装载有掩膜2时，掩膜2的重量使手3和线性驱动部4挠曲，使掩膜2朝图2的右下倾斜(即掩膜2的右端下降)。因此，本实施方式中，在手3上装载有掩膜2时，驱动偏心轴39的倾斜修正用电动机37旋转，以使掩膜2成为水平。即，在手3上装载有掩膜2时，倾斜修正用电动机37旋转，以使连杆部件40和安装部件41下降，手3和线性驱动部4以支点部36为转动中心朝逆时针方向转动。

(控制部的结构)

图13是图1所示的工业用机器人1的控制部60及其相关部分的方框图。图13中图示了与升降用电动机20和倾斜修正用电动机37的控制相关的控制部60的结构。

如图13所示，控制部60中，作为与升降用电动机20和倾斜修正用电动机37的控制相关的结构，包括：控制升降用电动机20的升降用电动机控制部61、控制倾斜修正用电动机37的倾斜修正用电动机控制部62。

如上所述，在手3上装载有掩膜2时，倾斜修正用电动机37旋转，以使手3和线性驱动部4以支点部36为转动中心朝逆时针方向转动。该倾斜修正用电动机37的旋转量由倾斜修正用电动机控制部62来控制。具体而言，由于本实施方式的倾斜修正用电动机37是伺服电动机，因此规定脉冲数的驱动信号从倾斜修正用电动机控制部62输入倾斜修正用电动机37，倾斜修正用电动机37对应上述驱动信号旋转规定量。从倾斜修正用电动机控制部62输出的驱动信号中的脉冲数根据装载在手3上的掩膜2的重量进行设定。

此处，为了修正掩膜2的倾斜，手3和线性驱动部4以支点部36为转动中心朝逆时针方向转动时，装载在手3上的掩膜2的高度有时会发生变化。装载在手3上的掩膜2的高度发生变化时，收纳有掩膜2的收纳部与装载在手3上的掩膜2可能会接触。

因此，本实施方式中，升降用电动机控制部61根据倾斜修正用电动机37的旋转量来驱动升降用电动机20，从而防止装载在手3上的掩膜2与掩膜2的收纳部接触。具体而言，在从修正用电动机控制部62朝倾斜修正用电动机37发送驱动信号时，从修正用电动机控制部62朝倾斜修正用电动机37输出的脉冲数的相关信息被输入升降用电动机控制部61，根据该信息，升降用电动机控制部61驱动升降用电动机20，使手3进行上下运动。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，本实施方式中，通过随着与倾斜修正用电动机37连结的偏心轴39的旋转进行上下运动的连杆部件40和安装部件41的作用，倾斜修正机构17使手3以支点部36为转动中心朝着使掩膜2的倾斜变化的方向转动。因此，通过控制倾斜修正用电动机37的旋转量来控制安装部件41的上下方向的移动量，能控制将支点部36作为转动中心的手3的转动量。因此，本实施方式中，通过根据掩膜2的重量来控制倾斜修正用电动机37的旋转量，能控制将支点部36作为转动中心的手3的转动量。其结果是，本实施方式中，即使掩膜2的重量发生变动，也能适当修正装载在手3上的掩膜2的倾斜。

倾斜修正机构17对掩膜2的倾斜修正量是由偏心轴39的偏心量确定的，因此，即使倾斜修正用电动机37产生误动作，手3和掩膜2也不会过度倾斜。因此，即使倾斜修正用电动机37产生误动作，也能防止掩膜2从手3中掉落。

本实施方式中，连杆部件40的下端侧通过轴承48能转动地安装在偏心轴39的偏心部39a的外周侧，连杆部件40的上端侧通过轴承50能转动地安装在固定轴51上。因此，能减小连杆部件40在朝偏心轴39安装的部分和朝安装部件41安装的部分处的滑动阻力，能抑制连杆部件40两端侧的尘埃的产生。因此，能在无尘室等清洁的环境下使用机器人1。

本实施方式中，偏心轴39的另一端侧被配置在轴支撑部件45内部的轴承46支撑成可旋转。连杆部件40的下端侧通过轴承48能转动地安装在偏心轴39的偏心部39a的外周侧。因此，利用在轴承46、48的两端侧配置密封部件47、49之类的简单结构，即使在偏心轴39另一端侧的支撑部分和连杆部件40的朝偏心轴39安装的部分处产生尘埃，也能防止尘埃的飞散。

本实施方式中，倾斜修正用电动机37和偏心轴39安装在支撑部件7上，安装部件41固定在线性驱动部4的框架27的底面上。支点部36形成于线性驱动部4与支撑部件7间的连结部。因此，即使在手3上装载有掩膜2时线性驱动部4产生的挠曲使掩膜2倾斜，也能利用倾斜修正机构17来修正其倾斜。

由于能修正线性驱动部4整体的倾斜，因此即使线性驱动部4产生挠曲，也能通过与升降机构16使支撑部件7进行的升降动作组合来实现手3的移动轨迹的微调。即，即使线性驱动部4产生挠曲，也能利用倾斜修正机构17来修正线性驱动部4整体的倾斜，因此，通过该修正动作和支撑部件7的升降动作的组合，能对沿着线性驱动部4直线移动的手3的移动轨迹进行微调。既可以在手3沿着线性驱动部4移动的状态下使倾斜修正机构17和升降机构16工作，进行手3的移动轨迹的微调，也可以在手3相对于线性驱动部4停止的状态下使倾斜修正机构17和升降机构16工作，进行手3的移动轨迹的微调。

与倾斜修正用电动机37和偏心轴39安装在线性驱动部4上、安装部件41固定在手3的底面上、并且支点部36形成于线性驱动部4与手3间的连结部时相比较，容易确保用于配置倾斜修正机构17的空间，因此，能提高倾斜修正机构17的刚性。另外，能使可能会有尘埃产生的倾斜修正机构17与手3分离，因此，容易确保装载在手3上的掩膜2的清洁度。

本实施方式中，在手3的移动方向上，安装部件41相对于支点部36配置在与前端最远离支点部36时的手3相反的一侧。因此，能防止机器人1的重心偏向前端最远离支点部36时的手3的前端侧(图2的右侧)，能使机器人1稳定。在图2的左右方向上，前端最远离支点部36时手3的基端与支点部36间的距离比支点部36与安装部件41间的距离长，因此，即使减小偏心轴39的偏心量X，也能增大手3装载的掩膜2的倾斜修正量。

本实施方式中，升降用电动机控制部61根据倾斜修正用电动机37的旋转量来驱动升降用电动机20。因此，如上所述，即使在倾斜修正机构17对掩膜2进行的倾斜修正使装载在手3上的掩膜2的高度发生变化时，也能通过升降机构16使手3进行的升降动作来调整掩膜2的高度，使装载在手3上的掩膜2的高度保持恒定。因此，例如能防止装载在手3上的掩膜2与掩膜2的收纳部接触。

本实施方式中，通过变更支点部36的配置位置、安装部件41的配置位置和/或线性驱动机构24使手3移动的移动量等，能变更掩膜2的倾斜修正量。本实施方式中，通过使倾斜修正用电动机37连续旋转，能使掩膜2以支点部36为中心在上下方向上摆动。本实施方式中，若使倾斜修正用电动机37朝一个方向连续旋转，则能使掩膜2以支点部36为中心在上下方向上摆动，因此，即使是使掩膜2在上下方向上摆动时，也容易进行倾斜修正用电动机37的控制。另外，即便使倾斜修正用电动机37连续旋转，掩膜2的摆动量也是一定的，因此，能确保安全性。而且，本实施方式中，通过增大偏心轴39的偏心量X来增大手3的转动量，能使用倾斜修正机构17将掩膜2从掩膜2的收纳部提起和将掩膜2载放于掩膜2的收纳部。

(其它实施方式)

上述实施方式是本发明的较为理想的实施方式的一例，但本发明并不局限于此，可在不变更本发明主旨的范围内进行各种变形实施。

上述实施方式中，倾斜修正用电动机37和偏心轴39安装在支撑部件7上，安装部件41固定在线性驱动部4的框架27的底面上，并且支点部36形成于线性驱动部4与支撑部件7间的连结部。除此之外，例如也可以是这样的结构：倾斜修正用电动机37和偏心轴39安装在线性驱动部4上，安装部件41固定在手3的底面上，并且支点部36形成于线性驱动部4与手3间的连结部。

上述实施方式中，在手3的移动方向上，安装部件41相对于支点部36配置在与前端最远离支点部36时的手3相反的一侧。除此之外，例如也可以是这样的结构：在手3的移动方向上，安装部件41相对于支点部36配置在与前端最远离支点部36时的手3相同的一侧。即，倾斜修正用电动机37、偏心轴39、连杆部件40和安装部件41也可配置在图8的支点部36的右方。

上述实施方式中，在倾斜修正用电动机37的输出轴37a上通过减速机38连结有偏心轴(曲柄轴)39。除此之外，例如也可以是这样的结构：在倾斜修正用电动机37的输出轴37a上通过减速机38连结有凸轮板(偏心凸轮)。

上述实施方式中，连杆部件40的上端侧通过轴承50能转动地安装在固定轴51上。除此之外，例如也可以是这样的结构：通过轴承能转动地支撑于轴支撑部件52的转动轴固定在连杆部件40的上端侧。

上述实施方式中，线性驱动部4支撑手3的基端侧。除此之外，例如也可以是这样的结构：包括多个臂和关节部并沿水平方向伸缩的多关节臂部支撑手3的基端侧。即，支撑手3的基端侧的第一支撑部也可以是多关节臂部。这种情况下，多关节臂部将手3的基端侧保持成能转动。

上述实施方式中，升降机构16包括滚珠丝杠21和螺母部件23，通过滚珠丝杠21和螺母部件23的作用，使支撑部件7沿上下方向移动。除此之外，例如也可以是这样的结构：升降机构16包括齿条和小齿轮，通过该齿条和小齿轮的作用，使支撑部件7沿上下方向移动。例如也可以是这样的结构：在柱状部件8上固定有齿条，与该齿条啮合的小齿轮和驱动小齿轮的电动机安装在支撑部件7上。在机器人1为大型机器人时，也可将与齿条啮合的多个小齿轮安装在支撑部件7上，并将与多个小齿轮分别单独连结的多个电动机安装在支撑部件7上。

上述实施方式中，倾斜修正用电动机37是伺服电动机，但倾斜修正用电动机37不局限于伺服电动机，例如也可以是步进电动机。上述实施方式中，机器人1搬运的搬运对象物是掩膜2，但搬运对象物也可以是液晶显示器用玻璃基板和半导体晶片等。

Claims (7)

1.一种工业用机器人，其特征在于，包括：

手，该手装载搬运对象物；以及

倾斜修正机构，该倾斜修正机构对装载有所述搬运对象物时所述手的挠曲引起的所述搬运对象物的倾斜进行修正，

所述倾斜修正机构包括：

倾斜修正用电动机，该倾斜修正用电动机作为驱动源；

偏心旋转部件，该偏心旋转部件与所述倾斜修正用电动机的输出轴连结；

连杆部件，该连杆部件的一端侧安装于所述偏心旋转部件；

安装部件，该安装部件安装所述连杆部件的另一端侧；以及

支点部，在随着所述偏心旋转部件的旋转与所述连杆部件一起上下运动的所述安装部件的作用下，所述手以所述支点部作为转动中心朝着使所述搬运对象物的倾斜变化的方向转动。

2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述偏心旋转部件是偏心轴，

所述连杆部件的一端侧通过轴承能转动地安装在所述偏心轴的外周侧，

所述连杆部件的另一端侧通过轴承能转动地安装于所述安装部件。

3.如权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，包括：支撑所述手的基端侧的第一支撑部、支撑所述第一支撑部的第二支撑部、以及使所述第二支撑部上下运动的升降机构。

4.如权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，所述第一支撑部是使所述手沿水平方向直线移动的线性驱动部，或者是将所述手的基端侧保持成能转动、具有多个臂并沿水平方向伸缩的多关节臂部。

5.如权利要求4所述的工业用机器人，其特征在于，

所述倾斜修正用电动机和所述偏心旋转部件安装于所述第二支撑部，

所述安装部件安装于所述第一支撑部，

所述支点部形成于所述第一支撑部与所述第二支撑部间的连结部。

6.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，在所述手的移动方向上，所述安装部件相对于所述支点部配置在与所述手的前端最远离所述支点部时的所述手相反的一侧。

7.如权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，包括控制部，该控制部对构成所述升降机构并作为用于使所述第二支撑部上下运动的驱动源的升降用电动机和所述倾斜修正用电动机进行控制，

所述控制部根据所述倾斜修正用电动机的旋转量来驱动所述升降用电动机。

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