JP2010076066A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010076066A JP2010076066A JP2008249291A JP2008249291A JP2010076066A JP 2010076066 A JP2010076066 A JP 2010076066A JP 2008249291 A JP2008249291 A JP 2008249291A JP 2008249291 A JP2008249291 A JP 2008249291A JP 2010076066 A JP2010076066 A JP 2010076066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- industrial robot
- motor
- inclination
- end side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 67
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
- B25J9/126—Rotary actuators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
- B25J9/1692—Calibration of manipulator
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】産業用ロボット1は、搬送対象物2が搭載されるハンド3と、搬送対象物2が搭載されたときのハンド3の撓みによる搬送対象物2の傾きを補正する傾き補正機構17とを備えている。傾き補正機構17は、駆動源となる傾き補正用モータと、傾き補正用モータの出力軸に連結される偏心回転部材と、偏心回転部材に下端側が取り付けられるリンク部材と、リンク部材の上端側が取り付けられる取付部材とを備えている。傾き補正機構17は、偏心回転部材の回転に伴ってリンク部材とともに上下動する取付部材によって、支点部36を回動中心として搬送対象物2の傾きを変化させる方向にハンド3を回動させている。
【選択図】図2
Description
また、塵埃の発生箇所となりうる傾き補正機構とハンドとの距離を離すことが可能になるため、ハンドに搭載される搬送対象物の清浄度を確保しやすくなる。
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1のE−E方向から産業用ロボット1を示す図である。図3は、図1のF−F方向から産業用ロボット1を示す図である。
図4は、図1に示す柱状部材8および昇降機構16の構成を説明するための図である。図5は、図4のG部の拡大図である。
図6(A)は、図1に示すリニア駆動部4の構成を上面から説明するための図であり、図6(B)は(A)のH−H方向からリニア駆動部4の構成を説明するための図である。図7は、図6のJ−J方向からリニア駆動部4の構成を説明するための図である。
図8は、図2のK部の拡大図である。図9は、図8のM−M断面の断面図である。図10は、図8のN−N断面の断面図である。図11は、図10のP−P方向からリンク部材40の構成を説明するための図である。図12は、図8に示す傾き補正機構17の作用を説明するための図である。
図13は、図1に示す産業用ロボット1の制御部60およびその関連部分のブロック図である。なお、図13では、昇降用モータ20および傾き補正用モータ37の制御に関連する制御部60の構成が図示されている。
以上説明したように、本形態では、傾き補正機構17は、傾き補正用モータ37に連結される偏心軸39の回転に伴って上下動するリンク部材40および取付部材41によって、支点部36を回動中心としてマスク2の傾きを変化させる方向にハンド3を回動させている。そのため、傾き補正用モータ37の回転量を制御して、取付部材41の上下方向の移動量を制御することで、支点部36を回動中心とするハンド3の回動量を制御することができる。したがって、本形態では、マスク2の重量に応じて、傾き補正用モータ37の回転量を制御することで、支点部36を回動中心とするハンド3の回動量を制御することができる。その結果、本形態では、マスク2の重量が変動しても、ハンド3に搭載されるマスク2の傾きを適切に補正することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 マスク(搬送対象物)
3 ハンド
4 リニア駆動部(第1支持部)
7 支持部材(第2支持部)
16 昇降機構
17 傾き補正機構
20 昇降用モータ
36 支点部
37 傾き補正用モータ
37a 出力軸
39 偏心軸(偏心回転部材)
40 リンク部材
41 取付部材
48 軸受
50 軸受
60 制御部
Claims (7)
- 搬送対象物が搭載されるハンドと、前記搬送対象物が搭載されたときの前記ハンドの撓みによる前記搬送対象物の傾きを補正する傾き補正機構とを備え、
前記傾き補正機構は、駆動源となる傾き補正用モータと、前記傾き補正用モータの出力軸に連結される偏心回転部材と、前記偏心回転部材に一端側が取り付けられるリンク部材と、前記リンク部材の他端側が取り付けられる取付部材と、前記偏心回転部材の回転に伴って前記リンク部材とともに上下動する前記取付部材によって前記搬送対象物の傾きを変化させる方向に前記ハンドを回動させるための回動中心となる支点部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記偏心回転部材は、偏心軸であり、
前記リンク部材の一端側は、前記偏心軸の外周側に軸受を介して回動可能に取り付けられ、
前記リンク部材の他端側は、前記取付部材に軸受を介して回動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記ハンドの基端側を支持する第1支持部と、前記第1支持部を支持する第2支持部と、前記第2支持部を上下動させる昇降機構とを備えることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。
- 前記第1支持部は、前記ハンドを水平方向へ直線状に移動させるリニア駆動部、または、前記ハンドの基端側を回動可能に保持するとともに複数のアームを有し水平方向へ伸縮する多関節アーム部であることを特徴とする請求項3記載の産業用ロボット。
- 前記傾き補正用モータおよび前記偏心回転部材は、前記第2支持部に取り付けられ、
前記取付部材は、前記第1支持部に取り付けられ、
前記支点部は、前記第1支持部と前記第2支持部との連結部に形成されていることを特徴とする請求項4記載の産業用ロボット。 - 前記取付部材は、前記ハンドの移動方向において、前記支点部に対して、前記ハンドの先端が前記支点部から最も遠ざかっているときの前記ハンドと反対側に配置されていることを特徴とする請求項5記載の産業用ロボット。
- 前記昇降機構を構成するとともに前記第2支持部を上下動させるための駆動源となる昇降用モータと前記傾き補正用モータとを制御する制御部を備え、
前記制御部は、前記傾き補正用モータの回転量に応じて前記昇降用モータを駆動することを特徴とする請求項3から6いずれかに記載の産業用ロボット。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008249291A JP5178432B2 (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | 産業用ロボット |
TW098131817A TWI481487B (zh) | 2008-09-26 | 2009-09-21 | Industrial robots |
KR1020090091043A KR101531721B1 (ko) | 2008-09-26 | 2009-09-25 | 산업용 로보트 |
CN200910175750.1A CN101683738B (zh) | 2008-09-26 | 2009-09-25 | 工业用机器人 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008249291A JP5178432B2 (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | 産業用ロボット |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010076066A true JP2010076066A (ja) | 2010-04-08 |
JP2010076066A5 JP2010076066A5 (ja) | 2011-10-06 |
JP5178432B2 JP5178432B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=42047225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008249291A Expired - Fee Related JP5178432B2 (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | 産業用ロボット |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5178432B2 (ja) |
KR (1) | KR101531721B1 (ja) |
CN (1) | CN101683738B (ja) |
TW (1) | TWI481487B (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103192374A (zh) * | 2012-01-05 | 2013-07-10 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 大气机械手 |
JP2016041457A (ja) * | 2014-08-18 | 2016-03-31 | 株式会社 タイコー | 重量物移載装置 |
WO2018166599A1 (en) * | 2017-03-16 | 2018-09-20 | Applied Materials Italia S.R.L. | Apparatus for transportation of a substrate used in the manufacture of a solar cell, system for the manufacture of solar cells, and method for transporting a substrate used in the manufacture of a solar cell |
CN110153990A (zh) * | 2018-02-16 | 2019-08-23 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人的修正值计算方法 |
JP2020066097A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット |
CN112623250A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-09 | 民航成都物流技术有限公司 | 一种用于行李高速自动处理系统的运载小车 |
KR20220010428A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5798118B2 (ja) * | 2010-07-14 | 2015-10-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット、産業用ロボットの制御方法および産業用ロボットの教示方法 |
KR101271654B1 (ko) * | 2011-08-08 | 2013-06-11 | 주식회사 태성기연 | 리프트형 판유리 이송장치 |
JP5532111B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-25 | 株式会社安川電機 | ロボットアーム、ロボットおよびロボットの動作方法 |
KR20150115136A (ko) * | 2014-04-02 | 2015-10-14 | 현대중공업 주식회사 | 기판 이송로봇 구동장치 및 이를 이용한 기판 이송방법 |
CN104149085B (zh) * | 2014-08-20 | 2016-04-20 | 苏州昌飞自动化设备厂 | 一种带三坐标微调的升降吸盘机械手的曲线运转吸盘手臂 |
JP6999444B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2022-01-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
WO2009072199A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Hirata Corporation | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1481054A1 (ru) * | 1987-03-26 | 1989-05-23 | Рыбинский Авиационный Технологический Институт | Механизм поворота исполнительного органа манипул тора |
KR100188941B1 (ko) * | 1995-12-13 | 1999-06-01 | 김광호 | 디스크드라이브의 픽업 안내장치 |
JPH11168128A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Mecs Corp | 薄型基板の搬送ロボット |
KR100297784B1 (ko) * | 1998-03-20 | 2001-09-06 | 윤종용 | 인쇄기기의 레이저 스캐너 기울기 조정장치 |
JP4029578B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2008-01-09 | 株式会社安川電機 | ロボット |
JP3908005B2 (ja) * | 2001-10-29 | 2007-04-25 | 株式会社アイテック | ワーク搬送ロボット |
KR100828486B1 (ko) * | 2001-11-13 | 2008-05-13 | 주식회사 포스코 | 겹침 용접기 출측 클램프 랩 보상장치 |
TW200618964A (en) * | 2004-10-14 | 2006-06-16 | Toshiba Machine Co Ltd | Industrial robot |
JP2006120861A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Rorze Corp | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット |
KR101198179B1 (ko) * | 2005-01-17 | 2012-11-16 | 삼성전자주식회사 | 핸들링 로봇의 정적 처짐 보정방법 및 장치 |
JP2007283436A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Nachi Fujikoshi Corp | ロボット、ロボットシステム及びハンド装置の姿勢制御方法 |
-
2008
- 2008-09-26 JP JP2008249291A patent/JP5178432B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-09-21 TW TW098131817A patent/TWI481487B/zh active
- 2009-09-25 CN CN200910175750.1A patent/CN101683738B/zh active Active
- 2009-09-25 KR KR1020090091043A patent/KR101531721B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11188669A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置 |
WO2009072199A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Hirata Corporation | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103192374A (zh) * | 2012-01-05 | 2013-07-10 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 大气机械手 |
JP2016041457A (ja) * | 2014-08-18 | 2016-03-31 | 株式会社 タイコー | 重量物移載装置 |
WO2018166599A1 (en) * | 2017-03-16 | 2018-09-20 | Applied Materials Italia S.R.L. | Apparatus for transportation of a substrate used in the manufacture of a solar cell, system for the manufacture of solar cells, and method for transporting a substrate used in the manufacture of a solar cell |
CN110153990A (zh) * | 2018-02-16 | 2019-08-23 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人的修正值计算方法 |
CN110153990B (zh) * | 2018-02-16 | 2022-05-31 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人的修正值计算方法 |
JP2020066097A (ja) * | 2018-10-24 | 2020-04-30 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット |
JP7190867B2 (ja) | 2018-10-24 | 2022-12-16 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット |
KR20220010428A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 산업용 로봇 |
CN112623250A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-04-09 | 民航成都物流技术有限公司 | 一种用于行李高速自动处理系统的运载小车 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100035620A (ko) | 2010-04-05 |
CN101683738B (zh) | 2014-01-01 |
CN101683738A (zh) | 2010-03-31 |
JP5178432B2 (ja) | 2013-04-10 |
KR101531721B1 (ko) | 2015-06-25 |
TWI481487B (zh) | 2015-04-21 |
TW201020081A (en) | 2010-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5178432B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP4822085B2 (ja) | 移送ロボットの制御方法 | |
KR102092216B1 (ko) | 산업용 로봇 | |
JP4495509B2 (ja) | トランスファロボット | |
KR101512912B1 (ko) | 반송 로봇 | |
JP4930949B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5578973B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2008213060A (ja) | 多関節ロボット | |
JP2010269380A (ja) | ロボット及び物品搬送システム | |
JP2007283436A (ja) | ロボット、ロボットシステム及びハンド装置の姿勢制御方法 | |
JP4652129B2 (ja) | 基板搬送教示方法および基板搬送装置 | |
JPH11188669A (ja) | 搬送装置 | |
JP5893072B2 (ja) | 基板搬送ロボット | |
JP2003136442A (ja) | ワーク搬送ロボット | |
JP2006231484A (ja) | ロボットアーム | |
JP2006005362A (ja) | 基板搬送装置 | |
KR101394482B1 (ko) | 기판 처리장치 | |
JP2012040650A (ja) | 産業用ロボット | |
KR102555132B1 (ko) | 산업용 로봇 | |
JP2020066097A (ja) | 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット | |
JP6873881B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2011224623A (ja) | 矯正機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110822 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121218 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130108 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5178432 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |