JP2022019251A - 産業用ロボット - Google Patents
産業用ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022019251A JP2022019251A JP2020122986A JP2020122986A JP2022019251A JP 2022019251 A JP2022019251 A JP 2022019251A JP 2020122986 A JP2020122986 A JP 2020122986A JP 2020122986 A JP2020122986 A JP 2020122986A JP 2022019251 A JP2022019251 A JP 2022019251A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction mechanism
- tilt correction
- hand
- linear drive
- hands
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 201
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 111
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 64
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
- B25J9/1692—Calibration of manipulator
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J13/00—Controls for manipulators
- B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
- B25J13/088—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices with position, velocity or acceleration sensors
- B25J13/089—Determining the position of the robot with reference to its environment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
- B25J5/02—Manipulators mounted on wheels or on carriages travelling along a guideway
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
- B25J9/126—Rotary actuators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1602—Programme controls characterised by the control system, structure, architecture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の斜視図である。図2は、図1に示す搭載機構3、リニア駆動機構5~7および傾き補正機構8等の斜視図である。図3は、図2に示す搭載機構3、リニア駆動機構5~7および傾き補正機構8等を異なる方向から示す斜視図である。図4は、図1に示す産業用ロボット1の構成を説明するためのブロック図である。
図5は、図2に示す傾き補正機構8の構成を説明するための平面図である。図6は、図5のE-E方向から傾き補正機構8の構成を説明するための側面図である。図7は、図5のF-F方向から第1傾き補正機構45の構成を説明するための正面図である。
ロボット1では、ウエハ2の受渡しが行われるカセットにおけるウエハ2の搭載面および処理装置におけるウエハ2の搭載面と、ハンド4、14の上面に形成されるウエハ2の搭載面とができるだけ平行に近づくように、制御部11は、ウエハ2の受渡し時に、傾き補正機構8を制御して(具体的には、モータ49、59を制御して)、ハンド4、14の傾きを補正する。傾き補正機構8によるハンド4、14の傾きの補正量は、ウエハ2の受渡し動作をロボット1に教示する際に算出されて制御部11に記憶される。
以上説明したように、本形態では、ハンド4、14の傾きを補正する傾き補正機構8は、上下方向に直交する第1方向(前後方向)を回動の軸方向としてハンド4、14を回動させる第1傾き補正機構45と、上下方向に対して傾くとともに第1方向に対して傾いた第2方向を回動の軸方向としてハンド4、14を回動させる第2傾き補正機構46とを備えている。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 ウエハ(半導体ウエハ、搬送対象物)
4、14 ハンド
8 傾き補正機構
11 制御部
41 移動機構
45 第1傾き補正機構
46 第2傾き補正機構
X 第1方向
Claims (5)
- 搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドの傾きを補正するための傾き補正機構とを備え、
前記傾き補正機構は、上下方向に対して傾いた所定の第1方向を回動の軸方向として前記ハンドを回動させる第1傾き補正機構と、上下方向に対して傾くとともに第1方向に対して傾いた第2方向を回動の軸方向として前記ハンドを回動させる第2傾き補正機構とを備えることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記第1傾き補正機構は、前記ハンドと一緒に第1方向を回動の軸方向として前記第2傾き補正機構を回動させることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
- 第1方向は、上下方向に直交する方向であり、
第2方向は、第1方向に直交する方向であることを特徴とする請求項2記載の産業用ロボット。 - 前記第1傾き補正機構と前記第2傾き補正機構とが略同じ高さで配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記搬送対象物の受渡しを行う受渡し位置に前記ハンドを移動させる移動機構と、前記産業用ロボットを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記傾き補正機構による補正動作が行われても、前記受渡し位置に配置された前記ハンドに搭載される前記搬送対象物の中心の上下方向および水平方向の位置が一定となるように、前記移動機構を制御することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の産業用ロボット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020122986A JP7503950B2 (ja) | 2020-07-17 | 2020-07-17 | 産業用ロボット |
KR1020210086318A KR102555132B1 (ko) | 2020-07-17 | 2021-07-01 | 산업용 로봇 |
CN202110804644.6A CN114012743B (zh) | 2020-07-17 | 2021-07-16 | 工业用机器人 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020122986A JP7503950B2 (ja) | 2020-07-17 | 2020-07-17 | 産業用ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022019251A true JP2022019251A (ja) | 2022-01-27 |
JP7503950B2 JP7503950B2 (ja) | 2024-06-21 |
Family
ID=80049297
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020122986A Active JP7503950B2 (ja) | 2020-07-17 | 2020-07-17 | 産業用ロボット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7503950B2 (ja) |
KR (1) | KR102555132B1 (ja) |
CN (1) | CN114012743B (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS506409B1 (ja) * | 1970-12-15 | 1975-03-13 | ||
JP4509411B2 (ja) | 2001-03-26 | 2010-07-21 | 株式会社ディスコ | 搬出入装置 |
CN101888959B (zh) | 2007-12-05 | 2013-07-03 | 平田机工株式会社 | 基板输送装置及基板输送装置的控制方法 |
US7967549B2 (en) | 2008-05-15 | 2011-06-28 | The Boeing Company | Robotic system including foldable robotic arm |
US8280485B2 (en) * | 2008-06-18 | 2012-10-02 | Engineering Services Inc. | Medical robot for use in a MRI |
JP5178432B2 (ja) | 2008-09-26 | 2013-04-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP5517664B2 (ja) * | 2010-02-17 | 2014-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 作業マニピュレータのセンシング動作生成方法、センシング動作生成装置及びセンシング動作生成プログラム |
JP5578973B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-08-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP5447431B2 (ja) * | 2011-05-09 | 2014-03-19 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム |
KR101507368B1 (ko) * | 2014-06-23 | 2015-03-31 | 연세대학교 산학협력단 | 쟁반 균형 유지 장치 및 이를 포함하는 서빙용 로봇 |
CN104723334B (zh) * | 2015-04-02 | 2016-10-19 | 苏州神运机器人有限公司 | 一种双轴双向平行轨迹机器人 |
US10730179B2 (en) * | 2018-05-29 | 2020-08-04 | General Electric Company | Robotic arm assembly construction |
-
2020
- 2020-07-17 JP JP2020122986A patent/JP7503950B2/ja active Active
-
2021
- 2021-07-01 KR KR1020210086318A patent/KR102555132B1/ko active IP Right Grant
- 2021-07-16 CN CN202110804644.6A patent/CN114012743B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7503950B2 (ja) | 2024-06-21 |
KR20220010428A (ko) | 2022-01-25 |
CN114012743B (zh) | 2024-01-19 |
KR102555132B1 (ko) | 2023-07-13 |
CN114012743A (zh) | 2022-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5178432B2 (ja) | 産業用ロボット | |
CN108656123B (zh) | 工业机器人 | |
JP4595053B2 (ja) | 多関節型ロボット | |
JPWO2009072199A1 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 | |
KR20110039455A (ko) | 판상 워크의 이송 설비 및 이송 방법 | |
JP2008213060A (ja) | 多関節ロボット | |
KR100286248B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
JP2007283436A (ja) | ロボット、ロボットシステム及びハンド装置の姿勢制御方法 | |
JP2002118162A (ja) | 被処理体の処理システムの搬送位置合わせ方法及び被処理体の処理システム | |
JPWO2011001675A1 (ja) | ロボットのティーチング装置及びロボットのティーチング方法 | |
JP2014027270A (ja) | 装着装置の装着ヘッドのキネマティック保持システム | |
JP4022461B2 (ja) | 搬送アーム | |
JP7003893B2 (ja) | 物品移載設備 | |
JP2022019251A (ja) | 産業用ロボット | |
KR101885124B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
US20060104787A1 (en) | Substrate delivering apparatus | |
US11123874B2 (en) | Transfer robot and work transfer system including the same | |
JP5665417B2 (ja) | 産業用ロボット | |
CN113510689B (zh) | 工业用机器人和工业用机器人的控制方法 | |
JP7466360B2 (ja) | 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット | |
JP2020132397A (ja) | 移載装置及びスタッカクレーン | |
JP2020128289A (ja) | 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法 | |
JP2011224623A (ja) | 矯正機 | |
JP2023053455A (ja) | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 | |
JP2021167043A (ja) | ロボットシステムおよびロボットシステムの制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230613 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7503950 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |