CN114012743B - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制搬运对象物交付时的冲击的工业用机器人。该工业用机器人具备装载搬运对象物(2)的手(4、14)和用于修正手(4、14)的倾斜的倾斜修正机构(8)。倾斜修正机构(8)具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手(4、14)转动的第一倾斜修正机构(45)；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手(4、14)转动的第二倾斜修正机构(46)。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种搬运半导体晶圆等搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

以往，已知一种搬运在曝光装置中使用的掩模等薄板状的搬运对象物的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备：装载搬运对象物的手；支承手的基端侧的线性驱动部；支承线性驱动部的主体部；以及将主体部支承为能够沿水平方向移动的基座部件。线性驱动部使手直线移动。

另外，专利文献1所记载的工业用机器人具备用于修正装载有搬运对象物时的手及线性驱动部的弯曲引起的搬运对象物的倾斜的倾斜修正机构。倾斜修正机构以形成于线性驱动部和主体部的连接部分的支点部为转动中心，使手及线性驱动部相对于主体部转动。另外，倾斜修正机构将与由线性驱动部移动的手的移动方向正交并且与上下方向(铅垂方向)正交的方向作为转动的轴向，使手及线性驱动部相对于主体部转动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－76066号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

为了防止专利文献1所记载的工业用机器人搬运搬运对象物并将其交给规定的交付部时、或工业用机器人接收配置在交付部的搬运对象物时的搬运对象物的损伤，优选在进行搬运对象物的交付时对搬运对象物施加的冲击尽可能小。为了抑制搬运对象物交付时的冲击，优选装载有搬运对象物的交付部的装载面和装载有搬运对象物的手的装载面尽可能平行地接近。另一方面，由于交付部的偏差或工业用机器人的姿势等的影响，手的装载面可能相对于交付部的装载面大幅倾斜。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，虽然能够利用倾斜修正机构将与上下方向正交的规定的一方向作为转动的轴向修正手的倾斜，由此来修正手的装载面的倾斜，但是，即使进行这样的修正，也可能产生无法修正手的装载面相对于交付部的装载面的倾斜以使交付部的装载面和手的装载面平行地接近的情况。即，在专利文献1所记载的工业用机器人的情况下，可能产生以下情况：难以使交付部的装载面和手的装载面平行地接近，无法抑制搬运对象物交付时的冲击。

因此，本发明的技术问题在于提供一种能够抑制搬运对象物交付时的冲击的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述的技术问题，本发明提供一种工业用机器人，其特征在于，具备装载搬运对象物的手和用于修正手的倾斜的倾斜修正机构，倾斜修正机构具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手转动的第一倾斜修正机构；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手转动的第二倾斜修正机构。

在本发明的工业用机器人中，用于修正手的倾斜的倾斜修正机构具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使手转动的第一倾斜修正机构；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手转动的第二倾斜修正机构。因此，在本发明中，能够使用第一倾斜修正机构和第二倾斜修正机构修正手的装载面相对于交付部的装载面的倾斜，以使进行搬运对象物的交付的交付部中的搬运对象物的装载面和手的搬运对象物的装载面平行地接近。因此，在本发明中，能够抑制在交付部和工业用机器人之间进行交付的搬运对象物交付时的冲击。

在本发明中，例如，第一倾斜修正机构与手一起将第一方向作为转动的轴向使第二倾斜修正机构转动。另外，在本发明中，例如，第一方向是与上下方向正交的方向，第二方向是与第一方向正交的方向。

在本发明中，优选的是，第一倾斜修正机构和第二倾斜修正机构以大致相同的高度配置。如果这样构成，则能够将倾斜修正机构在上下方向上小型化。即，能够使倾斜修正机构薄型化。

在本发明中，优选的是，工业用机器人具备：使手向进行搬运对象物的交付的交付位置移动的移动机构；以及控制工业用机器人的控制部，控制部控制移动机构，使得即使通过倾斜修正机构进行修正动作，装载于配置在交付位置上的手的搬运对象物的中心的上下方向及水平方向的位置也恒定。如果这样构成，则即使通过倾斜修正机构进行修正动作，也能够使手相对于交付部移动到更适当的位置。因此，即使在搬运对象物交付时通过倾斜修正机构进行修正动作，也能够防止装载于手上的搬运对象物和交付部的干扰及配置于交付部的搬运对象物和手的干扰。

发明效果

如上所述，在本发明的工业用机器人中，能够抑制搬运对象物交付时的冲击。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的立体图。

图2是图1所示的装载机构、线性驱动机构及倾斜修正机构等的立体图。

图3是从不同的方向表示图2所示的装载机构、线性驱动机构及倾斜修正机构等的立体图。

图4是用于对图1所示的工业用机器人的结构进行说明的框图。

图5是用于对图2所示的倾斜修正机构的结构进行说明的俯视图。

图6是用于从图5的E－E方向对倾斜修正机构的结构进行说明的侧视图。

图7是用于从图5的F－F方向对第一倾斜修正机构的结构进行说明的主视图。

附图标记说明

1…机器人(工业用机器人)；2…晶圆(半导体晶圆、搬运对象物)；4、14…手；8…倾斜修正机构；11…控制部；41…移动机构；45…第一倾斜修正机构；46…第二倾斜修正机构；X…第一方向。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明的实施方式所涉及的工业用机器人1的立体图。图2是图1所示的装载机构3、线性驱动机构5～7及倾斜修正机构8等的立体图。

图3是从不同的方向表示图2所示的装载机构3、线性驱动机构5～7及倾斜修正机构8等的立体图。图4是用于对图1所示的工业用机器人1的结构进行说明的框图。

本方式的工业用机器人1(以下，设为“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象物的半导体晶圆2(以下，设为“晶圆2”)的机器人。晶圆2形成为薄的圆盘状。机器人1例如从以规定的间距层叠并收纳有多个晶圆2的盒(图示省略)中同时搬出多个晶圆2，并将从盒搬出的多个晶圆2搬入到构成半导体制造系统(图示省略)的规定的处理装置中。另外，机器人1从以规定的间距层叠并收纳有多个晶圆2的处置装置同时搬出多个晶圆2，并将搬出的多个晶圆2搬入到盒中。

机器人1具备：装载多个晶圆2的装载机构3；装载一个晶圆2的手4、用于使装载机构3沿水平方向直线移动的线性驱动机构5；用于使手4沿水平方向直线移动的线性驱动机构6；用于使线性驱动机构5、6沿水平方向直线移动的线性驱动机构7；用于修正装载机构3及手4的倾斜的倾斜修正机构8；保持倾斜修正机构8的主体部9；以及将主体部9支承为能够沿水平方向移动的基座部件10。另外，机器人1具备控制机器人1的控制部11。

装载机构3具备装载晶圆2的多个手14。本方式的装载机构3具备十一个手14。在一个手14上装载一个晶圆2。手14的上表面为装载晶圆2的装载面。具体而言，手14在手14的上表面侧具备装载晶圆2的四个垫，由晶圆2的下表面接触的四个垫的上表面构成晶圆2的装载面。晶圆2在被四个垫定位的状态下装载于手14的装载面上。此外，装载机构3具备的手14的数量可以是十个以下，也可以是十二个以上。

十一个手14在上下方向上以规定的间距重叠。十一个手14朝向相同方向。手4形成为与手14大致相同的形状。与手14同样地，手4的上表面也是装载晶圆2的装载面。手4配置于比十一个手14靠上侧的位置。手4朝向与手14相同的方向。晶圆2在被四个垫定位的状态下装载于手4的装载面上。

线性驱动机构5使装载机构3直线往复移动。即，线性驱动机构5使十一个手14直线往复移动。线性驱动机构5配置于比手14靠下侧的位置。线性驱动机构5具备电动机18作为驱动源。电动机18与控制部11电连接。另外，线性驱动机构5例如具备滚珠丝杠(图示省略)。滚珠丝杠具备与电动机18连接的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母。丝杠轴以能够旋转的方式安装于线性驱动机构5的框架上。螺母固定于移动部件上，该移动部件固定在装载机构3上。另外，线性驱动机构5例如具备与移动部件一起引导装载机构3的导向机构。

线性驱动机构6使手4向与通过线性驱动机构5移动的手14的往复移动方向相同的方向直线往复移动。线性驱动机构6配置于比手14靠下侧的位置。线性驱动机构6与线性驱动机构5同样地具备电动机19作为驱动源。电动机19与控制部11电连接。另外，线性驱动机构6具备滚珠丝杠(省略图示)。滚珠丝杠具备与电动机19连接的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母。丝杠轴以能够旋转的方式安装于线性驱动机构6的框架上。螺母固定于移动部件上，该移动部件固定在手4上。另外，线性驱动机构6例如具备与移动部件一起引导手4的导向机构。

线性驱动机构7使线性驱动机构5、6向与通过线性驱动机构5、6移动的手4、14的往复移动方向相同的方向直线往复移动。即，线性驱动机构7使手14与线性驱动机构5一起进一步向与通过线性驱动机构5、6移动的手4、14的往复移动方向相同的方向往复移动，并且使手4与线性驱动机构6一起进一步往复移动。线性驱动机构7配置于线性驱动机构5、6的下侧。线性驱动机构7具备两个电动机20、21作为驱动源。电动机20、21与控制部11电连接。

另外，线性驱动机构7例如具备两个滚珠丝杠(省略图示)。两个中的一滚珠丝杠具备与电动机20连接的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母。丝杠轴以能够旋转的方式安装于线性驱动机构7的框架上。螺母固定于移动部件，该移动部件固定有线性驱动机构5的框架。另外，两个中的另一滚珠丝杠具备与电动机21连接的丝杠轴和与丝杠轴卡合的螺母。丝杠轴以能够旋转的方式安装于线性驱动机构7的框架上。螺母固定于移动部件，该移动部件固定有线性驱动机构6的框架。另外，线性驱动机构7例如具备引导两个移动部件的导向机构。

此外，在本方式中，使用两个电动机18、20使手14往复移动，但也可以使用一个电动机使手14往复移动。同样地，在本方式中，使用两个电动机19、21使手4往复移动，但也可以使用一个电动机使手4往复移动。另外，在本方式中，用于使线性驱动机构5往复移动的电动机20和用于使线性驱动机构6往复移动的电动机21单独地设置，但也可以使用共同的电动机使线性驱动机构5、6往复移动。另外，线性驱动机构5～7也可以取代滚珠丝杠而具备皮带及皮带轮等。

倾斜修正机构8配置于线性驱动机构7的下侧。线性驱动机构7装载于倾斜修正机构8。倾斜修正机构8通过使线性驱动机构7倾斜来修正装载晶圆2的手4、14的倾斜。稍后将描述倾斜修正机构8的具体结构。

主体部9具备柱状框架31，该柱状框架31以能够升降的方式保持倾斜修正机构8。柱状框架31形成为在上下方向上细长的柱状。另外，主体部9具备：构成主体部9的下端部并且相对于基座部件10能够水平移动的基台32；以及固定柱状框架31的下端并且相对于基台32能够转动的转动基座33。

机器人1具备：使倾斜修正机构8相对于柱状框架31升降的升降机构35；将上下方向作为转动的轴向使转动基座33相对于基台32转动的转动机构36；以及使基台32相对于基座部件10水平移动的水平移动机构37。升降机构35具备电动机38作为驱动源。转动机构36具备电动机39作为驱动源，水平移动机构37具备电动机40作为驱动源。电动机38～40与控制部11电连接。

在本方式中，由线性驱动机构5～7、升降机构35、转动机构36以及水平移动机构37构成移动机构41，该移动机构41使手4、14移动到进行晶圆2的交付的交付位置(具体而言，在盒中进行晶圆2的交付的交付位置及在处理装置中进行晶圆2的交付的交付位置)。

(倾斜修正机构的结构)

图5是用于对图2所示的倾斜修正机构8的结构进行说明的俯视图。

图6是用于从图5的E－E方向对倾斜修正机构8的结构进行说明的侧视图。

图7是用于从图5的F－F方向对第一倾斜修正机构45的结构进行说明的主视图。

倾斜修正机构8具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向与线性驱动机构7等一起使手4、14转动的第一倾斜修正机构45；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向与线性驱动机构7等一起使手4、14转动的第二倾斜修正机构46。在本方式中，第一倾斜修正机构45与手4、14一起将第一方向作为转动的轴向使第二倾斜修正机构46转动。

本方式的第一方向是与上下方向正交的方向。第一方向与手4、14的往复移动方向大致一致。第二方向是与第一方向正交的方向。在本方式中，在未通过第二倾斜修正机构46进行修正动作时，第一方向与手4、14的往复移动方向一致。在以下的说明中，将第一方向(图5等的X方向)设为“前后方向”，将与上下方向和前后方向正交的图5等的Y方向设为“左右方向”。另外，以下，为了便于说明，将前后方向的一侧即图5等的X1方向侧设为“前”侧，将其相反侧即图5等的X2方向侧设为“后”侧。在本方式中，前侧是手4、14的前端侧，后侧是手4、14的基端侧。

第一倾斜修正机构45以形成于第一倾斜修正机构45和第二倾斜修正机构46的连接部的支点部48为转动中心，与第二倾斜修正机构46一起使手4、14转动。第一倾斜修正机构45具备：作为驱动源的电动机49；经由皮带轮及皮带等与电动机49连接的减速器50；安装有电动机49及减速器50的基座部件51；安装于减速器50的输出轴上的偏心轴(曲柄轴)52；下端部以能够转动的方式连接于偏心轴52的连杆部件53；以及将连杆部件53的上端部连接为能够转动的两个固定部件54。此外，在图2、图3中，第一倾斜修正机构45被罩部件覆盖。

第二倾斜修正机构46以形成于第二倾斜修正机构46和线性驱动机构7的连接部的支点部58为转动中心使手4、14转动。第二倾斜修正机构46具备：作为驱动源的电动机59；经由皮带轮及皮带等与电动机59连接的减速器60；安装有电动机59及减速器60的基座部件61；安装于减速器60的输出轴的偏心轴(曲柄轴)62；下端部以能够转动的方式连接于偏心轴62的连杆部件63；以及将连杆部件63的上端部连接为能够转动的两个固定部件64。此外，在图2、图3中，第二倾斜修正机构46被罩部件覆盖。

基座部件51例如形成为平板状，以基座部件51的厚度方向和上下方向一致的方式配置。基座部件51由固定有电动机49及减速器50的长方形状的固定部51a和从固定部51a朝向后侧突出的长方形状的两个突出部51b构成。突出部51b与固定部51a的左右方向的两端部的后端连接。突出部51b固定于保持部件66，该保持部件66以能够升降的方式保持于柱状框架31。具体而言，配置于右侧的突出部51b的右端面固定于保持部件66的左端面，配置于左侧的突出部51b的左端面固定于保持部件66的右端面。两个保持部件66在左右方向上配置于基座部件51的外侧。

基座部件61例如具备：构成基座部件61的前侧部分的平板状且长方形状的基座前端部61a；构成基座部件61的后侧部分的平板状且长方形状的基座后端部61b；以及在前后方向上配置于基座前端部61a和基座后端部61b之间的平板状且长方形状的基座中间部61c。基座前端部61a、基座后端部61b及基座中间部61c被配置为其厚度方向和上下方向大致一致。基座部件61在左右方向上的宽度为恒定。

基座前端部61a和基座后端部61b以相同高度配置。基座中间部61c配置于比基座前端部61a及基座后端部61b靠上侧的位置。另外，基座中间部61c配置于比线性驱动机构7的框架的底面靠下侧的位置。基座前端部61a的后端和基座中间部61c的前端经由形成为长方形的平板状的连接部连接。基座后端部61b的前端和基座中间部61c的后端经由形成为长方形的平板状的连接部连接。两个连接部被配置为连接部的厚度方向和前后方向一致。

基座前端部61a及基座后端部61b以与基座部件51的固定部51a大致相同的高度配置。固定部51a在前后方向上配置于基座前端部61a和基座后端部61b之间。基座后端部61b在左右方向上配置于两个突出部51b之间。基座中间部61c配置于固定部51a的上侧。

支点部48由固定于基座中间部61c的下表面的两个轴支承部件67、被轴支承部件67支承的支点轴68、以及固定于固定部51a的上表面的支点块69构成。支点轴68被配置为支点轴68的轴向和前后方向一致。两个轴支承部件67以在前后方向上隔开间隔的状态配置，支承支点轴68的两端部。

支点块69固定于固定部51a的上表面的左右方向的中心位置。支点块69在前后方向上配置于两个轴支承部件67之间。在支点块69上形成有供支点轴68插通的贯通孔，支点轴68相对于支点块69能够转动。

在本方式中，在形成于手4、14的上表面的晶圆2的装载面与上下方向正交的情况(即，相对于水平方向未倾斜的情况)下，在设计上，装载于手4上的晶圆2的中心和装载于手14上的晶圆2的中心在前后左右方向上配置于相同位置。另外，在形成于手4、14的上表面的晶圆2的装载面与上下方向正交的情况下，在设计上，装载于手4、14上的晶圆2的中心和支点轴68的轴心在左右方向上配置于相同的位置。

电动机49及减速器50固定于固定部51a的上表面。电动机49和减速器50以在左右方向上隔开间隔的状态配置。在左右方向上的电动机49和减速器50之间配置有支点部48。在本方式中，支点轴68的轴心、电动机49的输出轴的轴心、减速器50的输入轴的轴心、以及减速器50的输出轴的轴心以相同高度配置。

偏心轴52被配置为偏心轴52的轴向和前后方向一致。偏心轴52的前端部与减速器50的输出轴连接，偏心轴52从减速器50朝向后侧突出。偏心轴52的后端部以能够转动的方式支承于轴承70，该轴承70固定于固定部51a的上表面。前后方向上的偏心轴52的中间部分为将从偏心轴52的转动中心偏离规定距离的位置作为轴心的圆柱状的偏心部52a(参照图7)。偏心部52a插通到在连杆部件53的下端部形成的贯通孔中。连杆部件53相对于偏心部52a能够转动。

两个固定部件54固定于基座中间部61c的下表面。两个固定部件54以在前后方向上隔开间隔的状态配置。在前后方向上的两个固定部件54之间配置有连杆部件53的上端部。两个固定部件54支承支承轴71(参照图7)的两端部。支承轴71被配置为支承轴71的轴向和前后方向一致。另外，支承轴71配置于比偏心轴52靠上侧的位置。在连杆部件53的上端部形成有供支承轴71插通的贯通孔。连杆部件53能够相对于支承轴71转动。

支点部58由固定于线性驱动机构7的框架的底面的两个轴支承部件72、被轴支承部件72支承的支点轴73、以及固定于基座前端部61a的上表面的支点块74构成。支点轴73被配置为支点轴73的轴向和左右方向一致。两个轴支承部件72以在左右方向上隔开间隔的状态配置，支承支点轴73的两端部。

支点块74在左右方向上配置于两个轴支承部件72之间。在支点块74上形成有供支点轴73插通的贯通孔，支点轴73相对于支点块74能够转动。电动机59及减速器60固定于基座后端部61b的上表面。在本方式中，支点轴73的轴心、电动机59的输出轴的轴心、减速器60的输入轴的轴心、以及减速器60的输出轴的轴心以相同高度配置。

另外，在本方式中，电动机49的输出轴的轴心、减速器50的输入轴的轴心、减速器50的输出轴的轴心、电动机59的输出轴的轴心、减速器60的输入轴的轴心、以及减速器60的输出轴的轴心以相同的高度配置。即，第一倾斜修正机构45和第二倾斜修正机构46以大致相同高度配置。

偏心轴62被配置为偏心轴62的轴向和左右方向一致。偏心轴62的一端部与减速器60的输出轴连接。偏心轴62的另一端部以能够转动的方式支承于轴承75，该轴承75固定于基座后端部61b的上表面。左右方向上的偏心轴62的中间部分为将从偏心轴62的转动中心偏离规定距离的位置作为轴心的圆柱状的偏心部62a(参照图6)。偏心部62a插通到形成在连杆部件63的下端部的贯通孔中。连杆部件63相对于偏心部62a能够转动。

两个固定部件64固定于线性驱动机构7的框架的底面。两个固定部件64配置于比基座中间部61c靠后侧的位置。两个固定部件64以在左右方向上隔开间隔的状态配置。在左右方向上的两个固定部件54之间配置有连杆部件63的上端部。两个固定部件64支承支承轴76(参照图6)的两端部。支承轴76被配置为支承轴76的轴向和左右方向一致。另外，支承轴76配置为比偏心轴62靠上侧。在连杆部件63的上端部形成有供支承轴76插通的贯通孔。连杆部件63相对于支承轴76能够转动。

在第一倾斜修正机构45中，当电动机49旋转时，偏心轴52转动，连杆部件53上下运动。当连杆部件53上下运动时，基座部件61以支点轴68为转动中心转动。即，当连杆部件53上下运动时，第二倾斜修正机构46以支点轴68为转动中心转动，且手4、14与线性驱动机构7等一起转动。此外，将支点轴68作为转动中心的基座部件61的转动角度(即，将支点轴68作为转动中心的手4、14的转动角度)例如为±1°。

另外，在第二倾斜修正机构46中，当电动机59旋转时，偏心轴62转动，连杆部件63上下运动。当连杆部件63上下运动时，线性驱动机构7的框架以支点轴73为转动中心转动。即，当连杆部件63上下运动时，线性驱动机构7以支点轴73为转动中心转动，手4、14与线性驱动机构7等一起转动。此外，将支点轴73作为转动中心的线性驱动机构7的框架的转动角度(即，将支点轴73作为转动中心的手4、14的转动角度)例如为±1°。

(工业用机器人的控制方法)

在机器人1中，控制部11在交付晶圆2时控制倾斜修正机构8(具体而言，控制电动机49、59)，修正手4、14的倾斜，以使进行晶圆2的交付的盒中的晶圆2的装载面及处理装置中的晶圆2的装载面和形成于手4、14的上表面的晶圆2的装载面尽可能平行地接近。在将晶圆2的交付动作教给机器人1时计算倾斜修正机构8对手4、14的倾斜的修正量并存储至控制部11。

另外，例如，当仅装载有晶圆2的手4移动到盒内或处理装置内的规定的交付位置时、仅未装载晶圆2的手4移动到盒内或处理装置内的交付位置时、仅装载有晶圆2的装载机构3移动到盒内或处理装置内的交付位置时、仅未装载晶圆2的装载机构3移动到盒内或处理装置内的交付位置时、装载有晶圆2的装载机构3及手4向盒内或处理装置内的交付位置移动时、及未装载晶圆2的装载机构3及手4向盒或处理装置的交付位置移动时，分别计算倾斜修正机构8对手4、14的倾斜的修正量，并存储至控制部11。

在此，如果在交付晶圆2时通过倾斜修正机构8进行手4、14的修正，则装载于手4、14上的晶圆2的中心可能在上下方向及水平方向(前后左右方向)中的至少任一个方向上偏移。于是，在本方式中，控制部11控制移动机构41，修正手4、14的位置，使得即使通过倾斜修正机构8进行修正动作，装载于配置在盒内或处理装置内的交付位置的手4、14上的晶圆2的中心的上下方向及水平方向的位置也恒定(晶圆2的中心在上下方向及水平方向上不偏移)。具体而言，控制部11控制电动机18～21、38～40中的至少任一个，修正手4、14的位置。

(本方式的主要效果)

如上所述，在本方式中，修正手4、14的倾斜的倾斜修正机构8具备：将与上下方向正交的第一方向(前后方向)作为转动的轴向使手4、14转动的第一倾斜修正机构45；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使手4、14转动的第二倾斜修正机构46。

因此，在本方式中，能够使用第一倾斜修正机构45和第二倾斜修正机构46修正手4、14的装载面相对于盒或处理装置的晶圆2的装载面的倾斜，以使进行晶圆2的交付的盒中的晶圆2的装载面或处理装置中的晶圆2的装载面和形成于手4、14的上表面的晶圆2的装载面平行地接近。因此，在本方式中，能够抑制在盒及处理装置和机器人1之间进行交付的晶圆2的交付时的冲击。

在本方式中，控制部11控制移动机构41，修正手4、14的位置，使得即使通过倾斜修正机构8进行修正动作，装载于配置在盒内或处理装置内的交付位置的手4、14的晶圆2的中心的上下方向及水平方向的位置也恒定。因此，在本方式中，即使通过倾斜修正机构8进行修正动作，也能够使手4、14相对于盒或处理装置移动到更适当的位置。因此，在本方式中，即使在交付晶圆2时通过倾斜修正机构8进行修正动作，也能够防止装载于手4、14上的晶圆2和盒及处理装置的干扰及配置于盒或处理装置的晶圆2和手4、14的干扰。

在本方式中，第一倾斜修正机构45和第二倾斜修正机构46以大致相同的高度配置。因此，在本方式中，能够使倾斜修正机构8薄型化。

(其他实施方式)

上述的方式为本发明的最佳方式的一个例子，但不限于此，能够在不变更本发明的主旨的范围内实施各种变形。

在上述的方式中，第一倾斜修正机构45和第二倾斜修正机构46也可以配置于在上下方向上偏移的位置。在这种情况下，例如，第二倾斜修正机构46配置在第一倾斜修正机构45的上侧。另外，在上述的方式中，第二方向也可以不与第一方向正交。另外，在上述的方式中，第一方向也可以是与手4、14的往复移动方向正交的左右方向(Y方向)。

在上述的方式中，机器人1也可以代替装载机构3而具备与手4同样地构成的一个手。另外，在上述的方式中，机器人1也可以不具备装载机构3或手4。在机器人1不具备装载机构3的情况下，不需要线性驱动机构5等。另外，在机器人1不具备手4的情况下，不需要线性驱动机构6等。

在上述的方式中，机器人1也可以是水平多关节型的机器人。在这种情况下，机器人1具备在前端部以能够转动的方式连接有装载机构3的多关节臂和在前端部以能够转动的方式连接有手4的多关节臂，两个多关节臂的基端部以能够转动的方式连接于倾斜修正机构8。另外，在上述的方式中，机器人1也可以搬运晶圆2以外的搬运对象物。例如，机器人1可以搬运上述的专利文献1所记载的长方形状的掩膜，也可以搬运液晶显示装置用的玻璃基板。

Claims (4)

1.一种工业用机器人，其特征在于，

具备装载搬运对象物的手和用于修正所述手的倾斜的倾斜修正机构，

所述倾斜修正机构具备：将相对于上下方向倾斜的规定的第一方向作为转动的轴向使所述手转动的第一倾斜修正机构；以及将相对于上下方向倾斜并且相对于第一方向倾斜的第二方向作为转动的轴向使所述手转动的第二倾斜修正机构，

工业机器人还包括：

装载机构，所述装载机构包括所述手；

线性驱动机构，所述线性驱动机构使所述装载机构沿水平方向移动；

所述第一倾斜修正机构包括设置有第一电动机和第一支点部的平板状的第一基座部件，

所述第二倾斜修正机构包括设置有第二电动机和第二支点部的平板状的第二基座部件，

通过使所述第二基座部件的一部分朝向所述线性驱动机构的框架一侧弯折，以将所述第一倾斜修正机构配置于所述第一基座部件与所述第二基座部件之间，并使所述第一倾斜修正机构和所述第二倾斜修正机构以相同的高度配置。

2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述第一倾斜修正机构与所述手一起将第一方向作为转动的轴向使所述第二倾斜修正机构转动。

3.根据权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，

第一方向是与上下方向正交的方向，

第二方向是与第一方向正交的方向。

4.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

具备：使所述手移动到进行所述搬运对象物的交付的交付位置的移动机构；以及控制所述工业用机器人的控制部，

所述控制部控制所述移动机构，使得即使通过所述倾斜修正机构进行修正动作，装载于配置在所述交付位置的所述手上的所述搬运对象物的中心的上下方向及水平方向的位置也恒定。