CN114275538B - 搬运系统 - Google Patents
搬运系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114275538B CN114275538B CN202111170156.0A CN202111170156A CN114275538B CN 114275538 B CN114275538 B CN 114275538B CN 202111170156 A CN202111170156 A CN 202111170156A CN 114275538 B CN114275538 B CN 114275538B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- robot
- processed
- workpiece
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 149
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
本发明提供一种搬运系统,其即使将需要处理的第一基板和不需要处理的第二基板以混在一起的状态进行搬运,也能缩短生产节拍时间。搬运系统(1)具有:第一载置部(4),其通过第一机器人(3)载置由处理部(10)处理前的第一基板(100A);搬运滑架(5),其沿第一方向搬运从第一机器人接收的第二基板(100B);以及带行走功能的第二机器人(6),其使载置在第一载置部的第一基板移动至处理部,并且将由处理部处理后的已处理过的第一基板载置到位于X1方向的第二载置部(7)。第二机器人沿X1方向行走,使已处理过的第一基板移动至第二载置部,并且从搬运滑架接收由搬运滑架沿第一方向搬运的第二基板,并将其载置到第二载置部。
Description
技术领域
本发明涉及一种搬运工件的搬运系统。
背景技术
已知一种组装到液晶显示装置的装配线上的搬运系统(例如,参照专利文献1)。专利文献1所记载的搬运系统具有工作台和机器人,所述工作台载置在前道工序中处理后的玻璃基板,所述机器人使在前道工序中处理后的玻璃基板移动至对玻璃基板进行处理的加热部,并且使由加热部处理后的已处理过的玻璃基板移动至下一道工序。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012-222087号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
在专利文献1所记载的搬运系统中,玻璃基板在各工序中依次进行处理。在此,在第一工序(前道工序)中处理后的面板中,包括在第二工序中需要处理的第一基板和不需要处理的第二基板,第一基板及第二基板有时在第三工序(下一道工序)中一起被处理。在进行这种处理的情况下,第一基板及第二基板以混在一起的状态被交替搬运。机器人在搬运第二基板时,不使第二基板移动至处理部而是从工作台移动至下一道工序。但是,在机器人进行的第二基板的移动距离较长的情况下,机器人的动作花费时间,所以存在不能缩短搬运系统的生产节拍时间的问题。
本发明是为了解决上述技术问题而完成的,提供一种搬运系统,其即使在将需要处理部处理的第一基板和不需要处理的第二基板以混在一起的状态搬运的情况下,也能够缩短生产节拍时间。
解决技术问题所采用的技术方案
为了解决上述的技术问题,本发明的搬运系统的特征在于:第一机器人,所述第一机器人接收在处理部进行处理的第一工件及不在所述处理部进行处理的第二工件;第一载置部,所述第一载置部通过所述第一机器人载置由所述处理部处理前的所述第一工件;搬运滑架,所述搬运滑架沿第一方向搬运从所述第一机器人接收的所述第二工件;以及带行走功能的第二机器人,所述第二机器人使载置在所述第一载置部的第一工件移动至所述处理部,并且将由所述处理部处理后的已处理过的所述第一工件载置到位于所述第一方向的第二载置部,所述第二机器人沿所述第一方向行走,使所述已处理过的第一工件移动至所述第二载置部,并且从所述搬运滑架接收由所述搬运滑架沿所述第一方向搬运的所述第二工件,并将其载置到所述第二载置部。
在本发明中,第二机器人沿第一方向行走,使已处理过的第一工件移动至第二载置部,并且从搬运滑架接收由搬运滑架沿第一方向搬运的第二工件,并将其载置到第二载置部。即,由于不在处理部进行处理的第二工件由搬运滑架沿第一方向搬运,所以在第二机器人使第一工件移动至第二载置部时,仅使沿第一方向搬运的第二工件移动至第二载置部,而不需要使第二工件移动到第一方向。因此,能够缩短第二机器人的动作所花费的时间。其结果是,能够缩短搬运系统的生产节拍时间。
在本发明中,优选的是,所述第二机器人具备保持所述处理前的第一工件的第一保持部和保持所述已处理过的第一工件的第二保持部,所述第一保持部在所述第二保持部从所述处理部取出所述已处理过的第一工件之后,使所述处理前的第一工件移动至所述处理部。如果这样构成,则第二机器人可以在从处理部取出已处理过的第一工件之后,继续使处理前的第一工件移动至处理部。其结果是,能够缩短搬运系统的生产节拍时间。
在本发明中,优选的是,当所述第二机器人使所述处理前的所述第一工件移动至所述第二载置部时,所述第一保持部使由所述搬运滑架沿所述第一方向搬运的所述第二工件从所述搬运滑架移动至所述第二载置部。如果这样构成,则与保持部为一个的情况相比,能够缩短搬运系统的生产节拍时间。
在本发明中,优选的是,所述搬运滑架具备工作台,所述工作台载置所述第二工件,并且搬运所述第二工件,所述工作台能够以上下方向为旋转轴进行旋转。如果这样构成,则容易变更载置在工作台上的第二工件的方向。
在本发明中,优选的是,所述第一载置部能够以上下方向为旋转轴进行旋转。如果这样构成,则容易变更载置在第一载置部的第一工件的方向。
在本发明中,优选的是,所述搬运滑架在上下方向上与所述处理部重叠。如果这样构成,则能够将搬运系统的设定面积设计得紧凑。
发明效果
在本发明的搬运系统中,即使在将需要在处理部处理的第一基板和不需要处理的第二基板以混在一起的状态搬运的情况下,也能够缩短搬运系统的生产节拍时间。
附图说明
图1是本发明实施方式的搬运系统的俯视图。
图2是搬运系统的主视图。
图3是搬运系统的侧视图。
图4是第二机器人的立体图。
附图标记说明
1…搬运系统;2…搬入部;3…第一机器人;4…第一载置部;5…搬运滑架;6…第二机器人;7…第二载置部;10…处理部;10A…第一处理部;10B…第二处理部;10C…第三处理部;31…手部;32…臂;33…支承部;34…上下驱动部;41…工作台;42…旋转驱动部;51…工作台;52…旋转驱动部;53…驱动部;61…第一保持部;62…第二保持部;63…支承部;64…上下驱动部;65…驱动部;66…手部;67…臂;68…手部;69…臂;71…第一部分;72…第二部分;100…基板;100A…第一基板;100B…第二基板。
具体实施方式
下面,参照附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中,以工件是液晶显示器用的玻璃基板(以下,设为“基板”。)的情况为中心进行说明。图1是本发明实施方式的搬运系统的俯视图。图2是搬运系统的主视图。图3是搬运系统的侧视图。图4是第二机器人的立体图。此外,在图3中,省略第一机器人及第二载置部。
(搬运系统1的整体结构)
本实施方式的搬运系统1组装到液晶显示器的制造线上来使用。搬运系统1是用于进行以下动作的系统:当在前道工序中处理后的基板100被搬入到搬入部2时,将基板100的一部分移动到处理部10,并且将其余的基板100及由处理部10处理后的基板100搬运到下一道工序的第二载置部7。本实施方式的基板100为长方形,包括在处理部10进行处理的第一基板100A(第一工件)和不在处理部10进行处理的第二基板100B(第二工件)。第一基板100A和第二基板100B为相同的大小。
如图1~图3所示,搬运系统1具有:第一机器人3,其使在处理部10进行处理的第一基板100A及不在处理部10进行处理的第二基板100B移动;第一载置部4,其通过第一机器人3载置在处理部10进行处理前的第一基板100A;搬运滑架5,其沿第一方向搬运从第一机器人3接收的第二基板100B;以及带行走功能的第二机器人6,其使载置于第一载置部4的第一基板100A移动至处理部10,并且将在处理部10处理后的已处理过的第一基板100A载置到位于第一方向的第二载置部7。第二机器人6沿第一方向行走,使已处理过的第一基板100A移动至第二载置部7,并且从搬运滑架5接收由搬运滑架5沿第一方向搬运的第二基板100B,并将其载置到第二载置部7。
在此,在本说明书中,将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴。搬运滑架5沿着X轴延伸。Z轴是铅垂轴。在X轴上,将搬运滑架5使第二基板100B移动的方向设为X1方向,将其相反方向设为X2方向。在Z轴上,将上方设为Z1方向,将下方设为Z2方向。在X轴上,将一方设为X1方向,将其相反方向设为X2方向。在本实施方式中,X1方向是第一方向。
如图1~图3所示,在前道工序中处理后的基板100被载置于搬入部2。基板100以成为规定方向的方式载置于搬入部2。在本实施方式中,基板100以基板100的长边方向成为X轴方向的方式载置于搬入部2。
如图1~图3所示,第一机器人3位于搬入部2的X1方向侧。第一机器人3使载置于搬入部2的基板100中的第一基板100A移动至第一载置部4,并且使载置于搬入部2的基板100中的第二基板100B移动至搬运滑架5。第一机器人3具备支承基板100的手部31、将手部31连接到前端侧的臂32、支承臂32的基端侧的支承部33、以及使支承部33在上下方向上移动的上下驱动部34。
手部31将Z轴方向作为旋转轴,并以能够转动的方式连接至臂32的前端侧。手部31从下方支承第一基板100A。此时,手部31延伸的方向和第一基板100A的长边方向一致。臂32是将Z轴方向作为旋转轴的多关节臂。臂32的基端侧将Z轴方向作为旋转轴,并以能够转动的方式连接至支承部33。上下驱动部34经由支承部33使手部31沿上下方向移动。由此,第一机器人3能够使手部31沿着水平面自如地移动,并且使手部31沿上下方向移动。
如图1~图3所示,第一载置部4位于第一机器人3的Y2方向侧。另外,第一载置部4在Z轴方向上配置于与搬入部2相同的高度。第一载置部4具备载置第一基板100A的工作台41和使工作台41旋转的旋转驱动部42。工作台41为载置第一基板100A的大小。旋转驱动部42具备电动机等旋转驱动源,使工作台41以Z轴方向为旋转轴进行旋转。旋转驱动部42通过使工作台41旋转,能够变更载置在工作台41上的第一基板100A的方向。
如图1~图3所示,搬运滑架5沿X轴方向延伸。搬运滑架5位于第一机器人3的X1方向侧。另外,搬运滑架5在Z轴方向上配置于与搬入部2相同的高度。搬运滑架5具备载置第二基板100B的工作台51、使工作台51旋转的旋转驱动部52、以及经由旋转驱动部52使工作台51沿X轴方向往复移动的驱动部53。工作台51为载置第二基板100B的大小。
旋转驱动部52具备电动机等旋转驱动源,使工作台51以Z轴方向为旋转轴进行旋转。旋转驱动部52通过使工作台51旋转,能够变更载置在工作台51上的第二基板100B的方向。驱动部53由电动缸等构成。驱动部53使工作台51从X2方向的端部到X1方向的端部往复移动。
处理部10位于比搬入部2、第一载置部4及搬运滑架5靠下方的位置。处理部10设置有三个。处理部10在内部例如进行将液晶滴到第一基板100A上的处理等。处理部10具备设置于第二机器人6的Y1方向侧的第一处理部10A和设置于第二机器人6的Y2方向侧的第二处理部10B及第三处理部10C。第一处理部10A在上下方向上与搬运滑架5重叠。此外,处理部10不限于三个,能够根据需要而设置。
如图1~图4所示,第二机器人6配置于第一处理部10A和第二处理部10B之间。第二机器人6通过驱动部65沿X轴方向往复行走。第二机器人6具备保持处理前的第一基板100A的第一保持部61和保持已处理过的第一基板100A的第二保持部62。
第二机器人6具备支承第一保持部61及第二保持部62的基端侧的支承部63和使支承部63沿上下方向移动的上下驱动部64。上下驱动部64经由支承部63使第一保持部61及第二保持部62沿上下方向移动。
第一保持部61具备支承第一基板100A的手部66和将手部66连接到前端侧的臂67。手部66将Z轴方向作为旋转轴,并以能够转动的方式连接至臂67的前端侧。手部66从下方支承第一基板100A。此时,手部66延伸的方向和第一基板100A的长边方向一致。臂67是将Z轴方向作为旋转轴的多关节臂。臂67的基端侧将Z轴方向作为旋转轴,以能够转动的方式连接至支承部63。
第二保持部62具备支承第一基板100A的手部68和将手部68连接到前端侧的臂69。手部68将Z轴方向作为旋转轴,并以能够转动的方式连接至臂69的前端侧。手部68从下方支承第一基板100A。此时,手部68延伸的方向和第一基板100A的长边方向一致。臂69是将Z轴方向作为旋转轴的多关节臂。臂69的基端侧将Z轴方向作为旋转轴,以能够转动的方式连接至支承部63。由此,第二机器人6能够使手部66及手部68沿着水平面自如地移动,并且使手部66及手部68沿上下方向移动。
驱动部65沿X轴方向延伸。驱动部65使上下驱动部64从X2方向的端部到X1方向的端部往复移动。由此,第二机器人6沿X轴方向往复行走。在本实施方式中,在驱动部65使上下驱动部64移动到X1方向的端部时,上下驱动部64在Y轴方向上与移动到X1方向的端部的工作台51重叠。
如图1及图2所示,第二载置部7位于第二机器人6的X1方向侧。第二载置部7是容纳基板100的架子。第二载置部7具备载置第一基板100A的第一部分71和载置第二基板100B的第二部分72。载置在第二载置部7的基板100由下一道工序的机器人移动。
(搬运系统1的动作)
接下来,对搬运系统1的动作进行说明。首先,前道工序的机器人等使在前道工序中处理过的基板100依次移动至搬入部2。在载置于搬入部2的基板100中以恒定的比例混合有第一基板100A及第二基板100B。在第一机器人使基板100从搬入部2移动后,前道工序的机器人等使下一个基板100移动至搬入部2。
当第一基板100A被载置于搬入部2时,第一机器人3将第一基板100A移动到第一载置部4。此时,第一基板100A以第一基板100A的长边方向成为Y轴方向的方式载置于第一载置部4。
另一方面,当第二基板100B被载置于搬入部2时,第一机器人3将第二基板100B移动到搬运滑架5的工作台51上。此时,第二基板100B以第二基板100B的长边方向成为X轴方向的方式载置于工作台51。
当第一基板100A被载置在工作台41上之后,第一载置部4通过使工作台41旋转90°而变更被载置在工作台41上的第一基板100A的方向。由此,第一基板100A的长边方向成为X轴方向。
当第二基板100B被载置在工作台51上之后,搬运滑架5使工作台51沿X1方向移动。在使工作台51移动到X1方向的端部之后,搬运滑架5通过使工作台51旋转90°而变更载置在工作台51上的第二基板100B的方向。由此,第二基板100B的长边方向成为Y轴方向。此外,搬运滑架5也可以在使工作台51移动到X1方向的端部的过程中使工作台51旋转90°。
第二机器人6在工作台41旋转之后,通过第一保持部61从工作台41保持第一基板100A。然后,第二机器人6沿X1方向行走到各处理部10所在的位置。例如,第二机器人6在行走到第一处理部10A所在的位置之后,由第二保持部62保持在第一处理部10A处理后的已处理过的第一基板100A。然后,第二机器人6在通过第二保持部62从第一处理部10A取出已处理过的第一基板100A之后,使第一保持部61保持的处理前的第一基板100A移动到第一处理部10A。处理前的第一基板100A移动到第一处理部10A之后,第一处理部10A对第一基板100A进行处理。
第二机器人6沿X1方向行走到驱动部65的X1方向的端部,使第二保持部62保持的已处理过的第一基板100A移动至第二载置部7的第一部分71。当使第一基板100A移动至第二载置部7的第一部分71时,第二机器人6通过第一保持部61从搬运滑架5的工作台51接收沿X1方向搬运的第二基板100B。
在第一保持部61接收到第二基板100B之后,搬运滑架5使工作台51旋转90°,之后使工作台51沿X2方向移动。下一个第二基板100B由第一机器人3载置于工作台51。
第一保持部61接收到第二基板100B之后,第二机器人6将被保持在第一保持部61的第二基板100B载置到第二载置部7的第二部分72,并且将被保持在第二保持部62的第一基板100A载置到第二载置部7的第一部分71。
第二机器人6在使基板100移动到第二载置部之后,行走到驱动部65的X2方向的端部。第二机器人6再次通过第一保持部61从工作台51保持第一基板100A,并使第一基板100A移动至下一个处理部10(例如第二处理部10B),依次重复上述的动作。
(本实施方式的作用效果)
本实施方式的搬运系统1具有:第一机器人3,其使在处理部10进行处理的第一基板100A及不在处理部10进行处理的第二基板100B移动;第一载置部4,其通过第一机器人3载置由处理部10处理前的第一基板100A;搬运滑架5,其沿第一方向搬运从第一机器人3接收的第二基板100B;以及带行走功能的第二机器人6,其使载置于第一载置部4的第一基板100A向处理部10移动,并且将在处理部10处理后的已处理过的第一基板100A载置到位于X1方向的第二载置部7。第二机器人6沿X1方向行走,使已处理过的第一基板100A移动到第二载置部7,并且从搬运滑架5接收由搬运滑架5沿第一方向搬运的第二基板100B,并将其载置到第二载置部7。
如果这样构成,则不在处理部10进行处理的第二基板100B由搬运滑架5沿X1方向搬运,所以第二机器人6在使第一基板100A向第二载置部7移动时,仅使沿X1方向搬运的第二基板100B移动至第二载置部7,而不需要使第二基板100B移动到X1方向。因此,能够缩短在第二机器人6的动作中花费的时间。其结果是,能够缩短搬运系统1的生产节拍时间。
在本实施方式中,第二机器人6具备保持处理前的第一基板100A的第一保持部61和保持已处理过的第一基板100A的第二保持部62。第一保持部61在第二保持部62从处理部10取出已处理过的第一基板100A之后使处理前的第一基板100A移动至处理部10。如果这样的构成,则第二机器人6在将已处理过的第一基板100A从处理部10取出之后,能够继续使处理前的第一基板100A移动至处理部10。其结果是,能够缩短搬运系统1的生产节拍时间。
在本实施方式中,在第二机器人6使处理前的第一基板100A向第二载置部7移动时,第一保持部61使由搬运滑架5沿X1方向搬运的第二基板100B从搬运滑架5移动到第二载置部7。如果这样构成,则与保持部为一个的情况相比,能够缩短搬运系统1的生产节拍时间。
在本实施方式中,搬运滑架5具备工作台51,该工作台51载置第二基板100B,并且搬运第二基板100B,工作台51能够以上下方向为旋转轴进行旋转。如果这样构成,则容易变更载置于工作台51的第二基板100B的方向。
在本实施方式中,第一载置部4能够以上下方向为旋转轴进行旋转。
如果这样构成,则容易变更载置于第一载置部4的第一基板100A的方向。
在本实施方式中,搬运滑架5在上下方向上与第一处理部10A重叠。
如果这样构成,则能够使搬运系统1的设定面积紧凑。
(其他实施方式)
在上述实施方式中,第二机器人6在沿X1方向行走到驱动部65的X1方向的端部之后,通过第一保持部61从搬运滑架5的工作台51接收由搬运滑架5沿第一方向搬运的第二基板100B,但不限于该方式。例如,也可以是,第二机器人6在使保持于第二保持部62的第一基板100A移动到第二载置部7的第一部分71之后,通过第一保持部61从搬运滑架5的工作台51接收由搬运滑架5沿第一方向搬运的第二基板100B,并将其载置于第二载置部7的第二部分72。
另外,第二机器人也可以同时进行通过第一保持部61从搬运滑架5的工作台51接收第二基板100B的动作和使第二保持部62保持的已处理过的第一基板100A移动至第二载置部7的第一部分71的动作。
Claims (6)
1.一种搬运系统,其特征在于,具有:
第一机器人,所述第一机器人接收在处理部进行处理的第一工件及不在所述处理部进行处理的第二工件;
第一载置部,所述第一载置部通过所述第一机器人载置由所述处理部处理前的所述第一工件;
搬运滑架,所述搬运滑架沿第一方向搬运从所述第一机器人接收的所述第二工件;以及
带行走功能的第二机器人,所述第二机器人使载置在所述第一载置部的第一工件移动至所述处理部,并且将在所述处理部处理后的已处理过的所述第一工件载置到位于所述第一方向的第二载置部,
所述第二机器人沿所述第一方向行走,使所述已处理过的第一工件移动至所述第二载置部,并且从所述搬运滑架接收由所述搬运滑架沿所述第一方向搬运的所述第二工件,并将所述第二工件载置到所述第二载置部。
2.根据权利要求1所述的搬运系统,其特征在于,
所述第二机器人具备保持所述处理前的第一工件的第一保持部和保持所述已处理过的第一工件的第二保持部,
所述第一保持部在所述第二保持部从所述处理部取出所述已处理过的第一工件之后,使所述处理前的第一工件移动至所述处理部。
3.根据权利要求2所述的搬运系统,其特征在于,
当所述第二机器人使所述处理前的第一工件移动至所述第二载置部时,所述第一保持部使由所述搬运滑架沿所述第一方向搬运的所述第二工件从所述搬运滑架移动至所述第二载置部。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的搬运系统,其特征在于,
所述搬运滑架具备工作台,所述工作台载置所述第二工件,并且搬运所述第二工件,
所述工作台能够以上下方向为旋转轴进行旋转。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的搬运系统,其特征在于,
所述第一载置部能够以上下方向为旋转轴进行旋转。
6.根据权利要求1~3中任一项所述的搬运系统,其特征在于,
所述搬运滑架在上下方向上与所述处理部重叠。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020-166805 | 2020-10-01 | ||
JP2020166805A JP2022059212A (ja) | 2020-10-01 | 2020-10-01 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114275538A CN114275538A (zh) | 2022-04-05 |
CN114275538B true CN114275538B (zh) | 2024-01-16 |
Family
ID=80868669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111170156.0A Active CN114275538B (zh) | 2020-10-01 | 2021-10-08 | 搬运系统 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022059212A (zh) |
CN (1) | CN114275538B (zh) |
Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07237601A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-12 | Ishii Ind Co Ltd | 長尺物箱詰め装置 |
JPH10308430A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-11-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JPH11243128A (ja) * | 1988-02-12 | 1999-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JPH11345854A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000036527A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送処理装置及び基板搬送処理方法 |
JP2006256743A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パネル供給装置およびパネル搬送方法 |
JP2008100801A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Ihi Corp | 基板保管庫 |
JP2008189394A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Citizen Miyota Co Ltd | 部品搬送機構 |
WO2009037754A1 (ja) * | 2007-09-19 | 2009-03-26 | Hirata Corporation | 基板搬送システム |
CN102037551A (zh) * | 2008-05-21 | 2011-04-27 | Ips株式会社 | 真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法 |
CN104183521A (zh) * | 2013-05-22 | 2014-12-03 | 株式会社安川电机 | 基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法 |
JP2015207622A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社ディスコ | 搬送機構 |
JP2016078997A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 株式会社武蔵野Squse | 積み込みシステム、容器移送装置、積み込み方法、および容器移送方法 |
CN105659373A (zh) * | 2013-11-06 | 2016-06-08 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬运装置 |
TW201641176A (zh) * | 2015-04-15 | 2016-12-01 | Opton Kk | 彎曲加工裝置 |
CN108213725A (zh) * | 2016-12-13 | 2018-06-29 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
EP3375739A1 (de) * | 2017-03-14 | 2018-09-19 | Lippert GmbH & Co. KG | Vorrichtung zum umschlagen von stückgut |
CN208298795U (zh) * | 2018-04-03 | 2018-12-28 | 凯斯科技股份有限公司 | 基板处理系统 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4025069B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2007-12-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2020
- 2020-10-01 JP JP2020166805A patent/JP2022059212A/ja active Pending
-
2021
- 2021-10-08 CN CN202111170156.0A patent/CN114275538B/zh active Active
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11243128A (ja) * | 1988-02-12 | 1999-09-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
JPH07237601A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-12 | Ishii Ind Co Ltd | 長尺物箱詰め装置 |
JPH10308430A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-11-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JPH11345854A (ja) * | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2000036527A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送処理装置及び基板搬送処理方法 |
JP2006256743A (ja) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | パネル供給装置およびパネル搬送方法 |
JP2008100801A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Ihi Corp | 基板保管庫 |
JP2008189394A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-21 | Citizen Miyota Co Ltd | 部品搬送機構 |
WO2009037754A1 (ja) * | 2007-09-19 | 2009-03-26 | Hirata Corporation | 基板搬送システム |
CN102037551A (zh) * | 2008-05-21 | 2011-04-27 | Ips株式会社 | 真空处理系统、真空处理系统上使用的缓冲模块及真空处理系统的托盘传送方法 |
CN104183521A (zh) * | 2013-05-22 | 2014-12-03 | 株式会社安川电机 | 基板搬运机器人、基板搬运系统和基板配置状态的检测方法 |
CN105659373A (zh) * | 2013-11-06 | 2016-06-08 | 川崎重工业株式会社 | 基板搬运装置 |
JP2015207622A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社ディスコ | 搬送機構 |
JP2016078997A (ja) * | 2014-10-17 | 2016-05-16 | 株式会社武蔵野Squse | 積み込みシステム、容器移送装置、積み込み方法、および容器移送方法 |
TW201641176A (zh) * | 2015-04-15 | 2016-12-01 | Opton Kk | 彎曲加工裝置 |
CN108213725A (zh) * | 2016-12-13 | 2018-06-29 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
EP3375739A1 (de) * | 2017-03-14 | 2018-09-19 | Lippert GmbH & Co. KG | Vorrichtung zum umschlagen von stückgut |
CN208298795U (zh) * | 2018-04-03 | 2018-12-28 | 凯斯科技股份有限公司 | 基板处理系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022059212A (ja) | 2022-04-13 |
CN114275538A (zh) | 2022-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2867194B2 (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP2599571B2 (ja) | 基板搬送ロボット | |
KR20110039455A (ko) | 판상 워크의 이송 설비 및 이송 방법 | |
KR100795657B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR20080102361A (ko) | 반송 장치 및 반송 방법 | |
WO2011089681A1 (ja) | 部品実装方法及び部品実装装置 | |
CN112839886B (zh) | 物品移载设备 | |
CN114275538B (zh) | 搬运系统 | |
CN110383966B (zh) | 输送装置及安装关联装置 | |
TW201804565A (zh) | 機器人、機器人之控制方法、教示用治具及機器人之教示方法 | |
JP2002076094A (ja) | 基板搬送装置 | |
CN114955515B (zh) | 处理系统 | |
JP4518513B2 (ja) | 電気的な構成要素を準備するためのウエハテーブル及び構成要素を基板に装着するための装置 | |
CN112437977B (zh) | 基板处理装置以及基板处理方法 | |
CN115003458A (zh) | 移动机械手 | |
JP6744155B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4030946B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2023048658A (ja) | 板状ワークの位置決め搬送装置 | |
JP2014032989A (ja) | 基板製造システム | |
JP7303648B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理装置における対象物の搬送方法 | |
KR102454698B1 (ko) | 텔레스코픽 암 로봇 | |
CN210116749U (zh) | 基板装载设备及基板承载框体 | |
JPH08316289A (ja) | 自動搬送装置 | |
JP2020128289A (ja) | 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法 | |
JP2001044693A (ja) | 表面実装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |