CN110383966B - 输送装置及安装关联装置 - Google Patents

Abstract

输送装置是使用于包含对处理对象物进行粘性液体的涂敷及/或部件的配置的安装关联装置的安装系统的装置。该输送装置使用具有托板侧安装部且对处理对象物进行保持的托板。另外，该输送装置具备输送机器人，上述输送机器人在前端部配置有安装托板侧安装部的机器人侧安装部，并在安装有该托板的状态下在导入位置与排出位置之间进行输送。

Description

输送装置及安装关联装置

技术领域

本说明书公开的发明即本公开涉及输送装置及安装关联装置。

背景技术

以往，作为输送基板的装置，提出有例如将配线基板的基板主面吸引保持于吸引面来进行输送的装置(参照例如专利文献1)。在该装置中，即使是高速输送，也可以在使姿势稳定的状态下输送配线基板。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2010-98180号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，有时在配线基板上安装有电子元件。近年来，这样的电子元件的安装也进一步增大密度，作为配线基板，有时使用具有多个安装面的立体物。在该专利文献1记载的输送装置中，虽然能够移动配线基板，但是并没有设想到立体基板等具有特殊形状的基板。基板的输送一般是通过传送带沿着输送路进行输送，但要求通用地输送例如特殊形状的基板等。

本公开鉴于这样的课题而作出，以提供一种能够进行通用的处理对象物的输送的输送装置及安装关联装置为主要目的。

用于解决课题的手段

本公开为了达成上述的主要目的采用了以下的手段。

本说明书中公开的输送装置使用于包含对处理对象物进行粘性液体的涂敷及/或部件的配置的安装关联装置的安装系统，

上述输送装置使用具有托板侧安装部且对处理对象物进行保持的托板，

上述输送装置具备输送机器人，上述输送机器人在前端部配置有安装上述托板侧安装部的机器人侧安装部，并在安装有该托板的状态下在导入位置与排出位置之间进行输送。

在该装置中，使用保持处理对象物的托板在导入位置与排出位置之间进行输送。由于在该装置中使用托板进行输送，因此即使在例如处理对象物具有特殊形状等情况下，也能够与平板状的基板相同地对待，能够进行通用的处理对象物的输送。

附图说明

图1是安装系统10的概略说明图。

图2是表示机器人侧安装部27及输送托板40的结构的说明图。

图3是表示三维安装装置11的结构的概略的框图。

图4是表示作为处理对象物的立体基板50的一例的说明图。

图5是表示作为处理对象物的立体基板55的一例的说明图。

图6是存储于存储部17的处理对象物的三维数据19的说明图。

图7是表示涂敷安装处理程序的一例的流程图。

图8是在导入位置安装输送托板40的支撑输送部20的说明图。

图9是在处理位置固定输送托板40的支撑输送部20的说明图。

图10是在排出位置解除输送托板40的安装的支撑输送部20的说明图。

图11是机器人侧安装部27B及托板侧安装部42B的说明图。

具体实施方式

以下参照附图来对本实施方式进行说明。图1是作为本公开的一例的安装系统10的概略说明图。图2是表示多关节机器人24的机器人侧安装部27及输送托板40的构成的说明图。图3是表示三维安装装置11的结构的概略的框图。图4、5是表示作为处理对象物的一例即立体基板50、55的说明图。图6是存储于存储部17的处理对象物的三维数据19的说明图。如图1所示，安装系统10具备：三维安装装置11、未图示的回流焊装置及管理计算机(PC)60。三维安装装置11是对作为立体处理对象物的立体基板50、55(参照图4、5)等进行粘性液体的涂敷及元件P等部件的配置的装置。另外，粘性流体包含焊料糊剂、导电性糊剂、粘接剂、润滑脂等。回流焊装置是进行回流焊处理的装置，在上述回流焊处理中对在粘性流体上配置有元件的立体基板进行加热。管理PC60是管理立体基板的生产的装置。在该管理PC60中存储有安装条件信息。安装条件信息中规定了将哪个元件以何种顺序向立体基板安装，另外规定了这样的立体基板的生产所需数量等。该安装条件信息包含在三维安装装置11中进行处理的作为粘性流体的涂敷位置或元件的配置位置使用的电路图案的形状或位置等三维数据。另外，在本实施方式中，左右方向(X轴)、前后方向(Y轴)及上下方向(Z轴)如图1所示。

如图4所示，作为处理对象物的立体基板50是具有包含多个形成有电路图案52的形成面51a和形成面51b等形成面51的立体物。立体基板50具有台阶状的形成面51a、形成面51b等，在这些面上规定有配置元件P的安装位置(配置位置)。该立体基板50具有在载置于水平面时形成面51a或形成面51b相对于水平面倾斜的形状。另外，该立体基板50在载置于水平面的状态下形成面51a的安装位置、形成面51b的安装位置等的高度不同。如图5所示，立体基板55是具有包含多个形成有电路图案57的形成面56a、56b、56c等形成面56的立体物。另外，立体基板50、55等统称为立体基板，形成面51、56等统称为形成面，电路图案52、57等统称为电路图案。另外，在形成有电路图案57的曲面的形成面56中，在即使处于同一曲面上由于高度或角度的不同而必须变更立体基板55的倾斜度进行涂敷及安装的情况下，也可以作为多个形成面56对待。另外，处理对象物的形成面可以是曲面也可以是平面，安装位置可以处于上表面侧、侧面侧、底面侧中的任一侧。

三维安装装置11是对具有三维安装面的立体基板50、55等进行涂敷粘性流体的处理及安装元件P的处理的装置。该三维安装装置11具备元件供给部12、零件相机13、控制部15、支撑输送部20、涂敷部30及安装部35等。

元件供给部12是向安装部35供给元件P的单元。该元件供给部12例如具备安装有保持有元件P的带的供料器和排列载置有元件P的托盘等。零件相机13从下方拍摄由安装部35的安装头37拾取的一个以上的元件P。零件相机13的上方是拍摄范围。

控制部15构成为以CPU16为中心的微处理器，具备存储各种数据的存储部17等。该控制部15与元件供给部12、零件相机13、支撑输送部20、涂敷部30、安装部35等进行信息的收发。在该三维安装装置11中，控制部15执行通过涂敷部30向立体基板的形成面涂敷粘性流体的涂敷处理、通过安装部35向立体基板的形成面配置元件P的安装处理。如图6所示，在存储部17中存储有包含三维数据19的安装条件信息。三维安装装置11通过通信从管理PC60取得该安装条件信息，并存储于存储部17。三维数据19是由例如CAD等生成的、包含立体基板50、55等立体物的三维构造的信息的数据。在该三维数据19中包含例如以预定原点为基准的三维坐标(X，Y，Z)和关于该坐标中的外表面的方向(例如法线矢量等)的信息等。另外，在三维数据19中包含处理对象物的识别信息(ID)、该处理对象物的安装位置ID、安装坐标(X，Y，Z)、包含该安装位置的形成面的识别信息(ID)、位置倾斜度信息等，该位置倾斜度信息包括包含该安装位置的形成面的基于以X轴方向为中心轴进行旋转的倾斜度RX及基于以Y轴方向为中心轴进行旋转的倾斜度RY。

支撑输送部20是能够输送立体基板并且调整并固定立体基板的倾斜角的单元。如图1所示，该支撑输送部20具备：第一输送部21、第二输送部22、多关节机器人24及驱动部28。第一输送部21是将固定有立体基板的输送托板40从装置入口向导入位置搬入的输送机。第一输送部21具有在图1中的前后隔开间隔地设置并沿着左右方向架设的一对传送带。输送托板40由该传送带进行输送。第二输送部22是将保持有立体基板的输送托板40(台座)从排出位置向装置出口排出的输送机。第二输送部22具有与第一输送部21相同的结构。在该支撑输送部20中，在涂敷头32及安装头37的移动区域的下方、且第一输送部21与第二输送部22之间形成有配置多关节机器人24并进行动作的可动空间29。

如图1～3所示，输送托板40具备：固定立体基板的固定部41及由臂部26保持的托板侧安装部42。固定部41只要是固定立体基板的部件即可，可以构成为例如通过弹簧力夹持立体基板的夹持机构，也可以构成为对立体基板进行螺纹紧固的机构。如图2所示，托板侧安装部42可以设为以可拆卸的方式固定于输送托板40的夹持板。在该夹持板上形成有供机器人侧安装部27把持的槽或凹部。

多关节机器人24是能够进行固定立体基板的动作的支撑部。该多关节机器人24对固定有立体基板的输送托板40进行把持，使该输送托板40向导入位置、处理位置及排出位置移动。多关节机器人24具有多个倾转轴而能够进行使立体基板向多个方向倾斜的动作，以能够相对于涂敷头32、安装头37变更立体基板的姿势的方式对立体基板进行保持。该倾转轴越多越容易将立体基板变更成更多的姿势，优选的是四轴以上。在该多关节机器人24中具有六轴倾转轴。该多关节机器人24具有：基部25、臂部26及机器人侧安装部27。基部25在支撑有臂部26的状态下固定于装置壳体。多关节机器人24是垂直多关节机器人，其基部25的轴向被固定为沿着水平方向的方向、例如沿着立体基板的移动方向的方向(X轴)。即，支撑输送部20具备横置的垂直多关节机器人。通过这样配置多关节机器人24，能够在有限的可动空间29中使立体基板倾斜，或使立体基板向低于第一输送部21、第二输送部22的输送高度的位置下降。

臂部26具有：第一臂26a、第二臂26b、第三臂26c、第四臂26d及第五臂26e。第一臂26a以能够以X轴为中心进行绕轴旋转的方式配置于基部25。第二臂26b以主要能够沿着上下方向摆动的方式轴支撑于第一臂26a。第三臂26c以主要能够沿着左右方向摆动的方式轴支撑于第二臂26b。第四臂26d以能够以第三臂26c的主轴为中心进行绕轴旋转的方式配置于第三臂26c。第五臂26e以主要能够沿着左右方向摆动的方式轴支撑于第四臂26d。第五臂26e以能够以其主轴为中心进行绕轴旋转的方式配置机器人侧安装部27。机器人侧安装部27是配置于臂部26的前端，把持并固定托板侧安装部42(夹持板)的机械夹具。该机器人侧安装部27通过从主体供给的压力而进行开闭动作。驱动部28包含例如对第一输送部21和第二输送部22的传送带进行驱动的电动机、使臂部26的各部件进行绕轴旋转或摆动的电动机等。该多关节机器人24在安装有输送托板40的状态下在导入位置、处理位置及排出位置之间输送立体基板。此时，该多关节机器人24在第一输送部21安装输送托板40的托板侧安装部42而使输送托板40移动，在第二输送部22解除托板侧安装部42的安装。

涂敷部30是向固定于支撑输送部20的立体基板涂敷粘性流体的涂敷单元。该涂敷部30具备：头移动部31、涂敷头32及涂敷嘴33。头移动部31具备被导轨引导而在XY方向上移动的滑动件及对滑动件进行驱动的电动机。该涂敷部30构成为使作为处理头的涂敷头32沿着XY平面方向进行移动的XY机器人。涂敷嘴33以可拆卸的方式安装于涂敷头32的下表面侧。该涂敷嘴33是通过向收纳有粘性流体的收纳部施加压力而从涂敷嘴33的前端供给预定量的粘性流体的嘴。

安装部35是从元件供给部12拾取元件P并向固定于支撑输送部20的立体基板进行配置的安装单元。该安装部35具备：头移动部36、安装头37及拾取部38。头移动部36具备被导轨引导而在XY方向上移动的滑动件及对滑动件进行驱动的电动机。该安装部35构成为使作为处理头的安装头37沿着XY平面方向移动的XY机器人。拾取部38是以可拆卸的方式安装于安装头37的下表面侧且拾取元件P的部件。该拾取部38可以构成为利用负压拾取元件P的吸嘴，也可以构成为以机械的方式把持元件P的机械夹具。在该安装头37中，构成为能够安装一个以上的拾取部38。另外，头移动部36也可以与头移动部31共用滑动件的一部分。另外，涂敷头32和安装头37可以具有相同的构造，也能够自由地安装作为工具的涂敷嘴33或拾取部38。

接着，对这样构成的本实施方式的安装系统10的动作、特别是由三维安装装置11执行的涂敷处理、安装处理进行说明。图7是表示由控制部15的CPU16执行的涂敷安装处理程序的一例的流程图。该程序存储于存储部17，基于作业者的安装开始输入而执行。

当开始进行该程序时，CPU16首先从管理PC60取得包含作为处理对象物的立体基板的三维数据的安装条件信息(S100)，通过第一输送部21搬入固定有立体基板的输送托板40，使输送托板40安装于臂部26并向处理位置移动(S110)。图8是在导入位置安装输送托板40的支撑输送部20的说明图。图9是在处理位置固定输送托板40的支撑输送部20的说明图。CPU16以使输送托板40向导入位置移动的方式控制第一输送部21，以机器人侧安装部27对输送托板40的下方的托板侧安装部42进行把持的方式控制多关节机器人24(图8)。接着，CPU16以使输送托板40向位于可动空间29的中央的处理位置移动的方式控制多关节机器人24(图9)。

接着，CPU16设定涂敷粘性流体并配置元件P的处理对象的形成面(S120)。CPU16能够例如基于包含安装顺序的处理对象物的三维数据19来设定处理对象的形成面。接着，CPU16以使处理对象的形成面成为水平面的方式根据需要对立体基板的倾斜度进行矫正，并使其固定(S130)。CPU16基于处理对象物的三维数据19所包含的形成面的倾斜度以该形成面成为水平面的方式使处理对象物固定于多关节机器人24。此时，CPU16以使处理对象的形成面成为预定的可安装高度的方式控制多关节机器人24。另外，“成为水平面的方式”可以以配置元件P的位置成为水平的方式变更立体基板的姿势，在形成面为曲面的情况下以其中央部分或元件P的配置密度较高的部分等成为水平面的方式变更立体基板的姿势。

接着，CPU16向涂敷部30涂敷粘性流体(S140)，通过安装部35向立体基板上配置元件P(S150)。接下来，CPU16判定是否有未处理的下一个形成面(S160)，在有下一个形成面时，执行S120以后的处理。另一方面，在S160中没有下一个形成面时、即对全部形成面进行了安装时，CPU16通过多关节机器人24使输送托板40向排出位置移动，使托板侧安装部42的安装状态解除(S170)。图10是在排出位置解除输送托板40的安装的支撑输送部20的说明图。CPU16以使输送托板40从处理位置向排出位置移动的方式控制多关节机器人24，在使输送托板40向第二输送部22的排出位置载置之后，使机器人侧安装部27开放而解除对托板侧安装部42的把持。

接着，CPU16以使输送托板40向装置出口移动的方式控制第二输送部22，而向装置外排出立体基板(S180)。并且，CPU16判定是否有接下来待处理的立体基板(S190)，在有接下来的立体基板时，执行S110以后的处理。另一方面，在没有接下来的立体基板时、即、在对全部立体基板完成了安装处理时，直接使该程序结束。这样，在三维安装装置11中，使用输送托板40变更立体基板的姿势并对各形成面进行涂敷处理及安装处理。

在此，明确本实施方式的构成要素与本公开的构成要素之间的对应关系。本实施方式的支撑输送部20相当于输送装置，输送托板40相当于托板，机器人侧安装部27相当于机器人侧安装部，托板侧安装部42相当于托板侧安装部，多关节机器人24相当于输送机器人，涂敷头32及安装头37相当于处理头，头移动部31、36相当于移动部，涂敷部30及安装部35相当于XY机器人，控制部15相当于控制部。

在以上说明的本实施方式的支撑输送部20中，使用对处理对象物进行保持的输送托板40，在导入位置与排出位置之间进行输送。在该装置中使用平板状的输送托板40进行输送，因此即使在例如处理对象物具有特殊形状的情况等下，也能够与平板状的基板相同地对待，能够进行通用的处理对象物的输送。另外，托板侧安装部42是以可拆卸的方式固定的夹持板，机器人侧安装部27是把持并固定夹持板的机械夹具，因此通过将构造简单的夹持板固定于输送托板40，能够对处理对象物进行输送，不需要使用特殊的配件等就能够进行通用的处理对象物的输送。特别是，即使在输送托板40的数量增加的情况下，只要增加构造简单的夹持板即可，因此能够在不耗费成本的情况下容易地应对生产扩大等。此外，支撑输送部20具备向导入位置送入处理对象物的第一输送部21、从排出位置排出处理对象物的第二输送部22，多关节机器人24在第一输送部21安装托板侧安装部42并使该输送托板40移动，在第二输送部22解除托板侧安装部42的安装。在该装置中，能够在第一输送部21与第二输送部22之间利用输送托板40来输送处理对象物。

另外，多关节机器人24是垂直多关节机器人，其基部25的轴向被固定为沿着水平方向的方向、即横置地固定垂直多关节机器人，因此与纵置地固定垂直多关节机器人的情况相比能够实现高度方向上的紧凑化。另外，在该装置中，容易使处理对象物向第一输送部21、第二输送部22等的预定输送基准面的下方移动，因此能够将处理对象物的姿势向各种方向变更。此外，垂直多关节机器人其基部25的轴向被固定为沿着处理对象物的移动方向(X轴方向)的方向，因此能够使处理对象物沿着移动方向顺畅地移动。

另外，在三维安装装置11中，使用保持有立体处理对象物的输送托板40来输送处理对象物，因此容易将处理对象物的姿势变更为各种方向。因此，在该装置中，能够从各种角度对立体的处理对象物进行粘性流体的涂敷处理或部件的配置处理等。

另外，本公开的三维安装装置不受上述实施方式的任何限定，只要属于本公开的技术范围就能够以多种方式实施，这是不言而喻的。

例如在上述实施方式中，构成为，托板侧安装部42是夹持板，机器人侧安装部27是把持并固定夹持板的机械夹具，但不特别限定于此。图11是其他机器人侧安装部27B及托板侧安装部42B的说明图。如图11所示，也可以设为通过凸部插入到凹部中而进行固定的机器人侧安装部27B及托板侧安装部42B。另外，在图11中，例示了机器人侧安装部27为凸部且在托板侧安装部42形成凹部的情况，也可以相反。另外，机器人侧安装部27B及托板侧安装部42B的固定例如可以通过负压来进行吸附固定，也可以通过磁力进行固定。

在上述实施方式中，多关节机器人24设为其基部25的轴向被固定为沿着处理对象物的移动方向(X轴方向)的方向，但也可以设为固定为例如基部25的轴向不限于X轴方向而是沿着水平方向的方向，即简单地横置地固定多关节机器人24。在该装置中，也可以实现高度方向上的节省空间化。或者，在上述实施方式中，设为基部25的轴向为沿着水平方向的方向、即横置地设置多关节机器人24，但不特别限定于此，也可以纵置地固定多关节机器人24。在该装置中，也使用平板状的输送托板40进行输送，因此能够与平板状的基板相同地进行通用的处理对象物的输送。另外，在上述实施方式中，采用了垂直多关节机器人，但不特别限定于此，也可以采用其他多关节机器人。另外，在上述实施方式中，具备作为可动轴具有六轴的多关节机器人24，但不特别限定于此，可动轴是任意的。另外，可动轴如果为四轴以上，则处理对象物的姿势变更的自由度变高，是为优选。另外，在上述实施方式中，多关节机器人24设为具有第一～第五臂26a～26e，但臂部26的可动部件数只要根据装置尺寸和处理对象物的大小等而适当选择即可。

在上述实施方式中，三维安装装置11设为具备涂敷头32及安装头37并对立体基板进行涂敷处理及元件P的配置处理，但也可以省略任一方。在该装置中，也使用平板状的输送托板40进行输送，因此能够与平板状的基板相同地进行通用的处理对象物的输送。

在上述实施方式中，支撑输送部20设为具备第一输送部21及第二输送部22，但也可以省略这些输送部中的任一个以上。例如，也可以将第一输送部21或第二输送部22配置于装置外。在该装置中，也使用平板状的输送托板40进行输送，因此能够与平板状的基板相同地进行通用的处理对象物的输送。

在上述实施方式中，设为通过多关节机器人24来移动输送托板40，但不特别限定于此，也可以通过XY机器人来移动输送托板40。在该装置中，也使用平板状的输送托板40进行输送，因此能够与平板状的基板相同地进行通用的处理对象物的输送。

在此，在本公开的输送装置中，可以是，上述托板侧安装部是以可拆卸的方式固定于上述托板的夹持板，上述机器人侧安装部是把持并固定上述夹持板的机械夹具。在该装置中，通过将构造简单的夹持板固定于托板，能够对处理对象物进行输送，因此不需要使用特殊的配件等，就能够进行通用的处理对象物的输送。

该输送装置也可以是，具备：第一输送部，向上述导入位置搬入上述处理对象物；及第二输送部，从上述排出位置排出上述处理对象物，上述输送机器人在上述第一输送部安装上述托板侧安装部并使该托板移动，在上述第二输送部解除上述托板侧安装部的安装。在该装置中，能够在第一输送部与第二输送部之间利用托板来输送处理对象物。

在该输送装置中，也可以是，上述输送机器人是垂直多关节机器人，上述输送机器人的基部的轴向被固定为沿着水平方向的方向。在该装置中，横置地固定垂直多关节机器人，因此与纵置地固定垂直多关节机器人相比能够实现高度方向上的紧凑化。另外，在该装置中，容易使处理对象物向预定的输送基准面的下方移动，因此能够将处理对象物的姿势向各种方向进行变更。在采用了该垂直多关节机器人的输送装置中，也可以是，上述垂直多关节机器人的上述基部的轴向被固定为沿着上述处理对象物的移动方向的方向。在该装置中，能够使处理对象物沿着移动方向顺畅地移动。

在本说明书中公开的安装关联装置具备：XY机器人，具备对具有多个安装面的立体处理对象物进行粘性液体的涂敷及/或部件的配置的处理头及使该处理头沿着预定的平面方向移动的移动部；上述任一项记载的输送装置，以能够相对于上述处理头变更上述处理对象物的姿势的方式保持上述托板，并使上述托板在上述导入位置、处理位置及上述排出位置之间移动；及控制部，对上述XY机器人及上述输送装置进行控制。

在该装置中，使用保持有立体的处理对象物的托板来输送处理对象物，因此容易将处理对象物的姿势变更为各种方向。因此，在该装置中，能够从各种角度对立体的处理对象物进行粘性流体的涂敷处理或部件的配置处理等。在此，作为“粘性流体”，可列举例如焊料糊剂、导电性糊剂、固定元件的粘接剂、润滑脂等。另外，作为部件，可列举例如配置于电路基板的电子元件等。

工业上的实用性

本公开的三维安装装置能够利用于对作为立体物的处理对象物进行拾取、配置等处理的装置的技术领域。

附图标记说明

10安装系统、11三维安装装置、12元件供给部、13零件相机、15控制部、16CPU、17存储部、19三维数据、20支撑输送部、21第一输送部、22第二输送部、24多关节机器人、25基部、26臂部、26a第一臂、26b第二臂、26c第三臂、26d第四臂、26e第五臂、27，27B机器人侧安装部、28驱动部、29可动空间、30涂敷部、31头移动部、32涂敷头、33涂敷嘴、35安装部、36头移动部、37安装头、38拾取部、40输送托板、41固定部、42、42B托板侧安装部、50立体基板、51、51a、51b形成面、52电路图案、55立体基板、56、56a、56b、56c形成面、57电路图案、60管理PC、P元件。

Claims (6)

1.一种安装关联装置，对处理对象物进行粘性液体的涂敷及/或部件的配置，所述安装关联装置的特征在于，具备：

XY机器人，具备对具有多个安装面的立体处理对象物进行粘性液体的涂敷及/或部件的配置的处理头及使该处理头沿着预定的平面方向移动的移动部；

输送装置，所述输送装置使用具有托板侧安装部且对处理对象物进行保持的托板，所述输送装置具备输送机器人，所述输送机器人在前端部配置有安装所述托板侧安装部的机器人侧安装部，以能够相对于所述处理头变更所述处理对象物的姿势的方式保持所述托板，并在安装有该托板的状态下在导入位置、处理位置与排出位置之间输送所述托板，

控制部，对所述XY机器人及所述输送装置进行控制，

所述输送机器人在所述处理位置处以使所述处理对象物的所述多个安装面依次成为水平面的方式变更所述处理对象物的姿势。

2.根据权利要求1所述的安装关联装置，其中，

所述托板侧安装部是以可拆卸的方式固定于所述托板的夹持板，

所述机器人侧安装部是把持并固定所述夹持板的机械夹具。

3.根据权利要求1所述的安装关联装置，其中，

所述输送装置具备：

第一输送部，向所述导入位置搬入所述处理对象物；及

第二输送部，从所述排出位置排出所述处理对象物，

所述输送机器人在所述第一输送部安装所述托板侧安装部并使该托板移动，在所述第二输送部解除所述托板侧安装部的安装。

4.根据权利要求2所述的安装关联装置，其中，

所述输送装置具备：

第一输送部，向所述导入位置搬入所述处理对象物；及

第二输送部，从所述排出位置排出所述处理对象物，

所述输送机器人在所述第一输送部安装所述托板侧安装部并使该托板移动，在所述第二输送部解除所述托板侧安装部的安装。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的安装关联装置，其中，

所述输送机器人是垂直多关节机器人，所述输送机器人的基部的轴向被固定为沿着水平方向的方向。

6.根据权利要求5所述的安装关联装置，其中，

所述垂直多关节机器人的所述基部的轴向被固定为沿着所述处理对象物的移动方向的方向。

Images