JP6228120B2 - 多関節型ロボットを備えた作業機および電気部品装着機 - Google Patents

多関節型ロボットを備えた作業機および電気部品装着機 Download PDF

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Description

本発明は、作業ヘッドを多関節型ロボットによって移動させることによって作業を行う作業機および電気部品装着機に関する。
多関節ロボットを備えた作業機に関して、下記特許文献に記載されているような技術、詳しく言えば、そのロボットの先端に撮像装置を取り付け、その撮像装置によって得られた撮像データを基に、そのロボットの動作を制御する技術が検討されている。
特開2003−305676号公報
発明の解決しようとする課題
画像データに基づく多関節型ロボットの動作の制御には、改良の余地が多分に残されており、何らかの改良を施すことにより、そのロボットを備えた作業機の実用性を向上させることが可能である。また、その作業機が電気部品装着機である場合には、特にその実用性を高めることが期待されている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い作業機および電気部品装着機を提供することを課題とする。
上記課題を解決するために、本発明による作業機は、
部品を離脱可能に保持する作業ヘッドと、
その作業ヘッドを保持してその作業ヘッドを、作業対象物に対して、作業空間内の所定の基準位置を基準とする目標移動位置まで移動させる多関節型ロボットと、
(a)前記目標移動位置に基づいて、前記多関節型ロボットの目標動作位置を決定する目標動作位置決定部と、(b)その目標動作位置に基づいて前記多関節型ロボットに動作指令を発する動作指令発令部とを有して、前記多関節型ロボットを制御する制御装置と
を備えた作業機であって、
当該作業機が、
前記作業ヘッドに、若しくは、前記作業ヘッドの近傍において前記多関節型ロボットに取り付けられて、前記作業対象物の少なくとも一部分を撮像する撮像装置を、さらに備えるとともに、
前記制御装置が、
(c)参照データを保有する参照データ保有部と、(d)前記撮像装置の撮像によって得られた撮像データと参照データとに基づいて前記作業ヘッドのズレを検出するズレ検出部と、(e)そのズレ検出部によって検出された前記ズレに基づいて前記目標動作位置を補正する目標動作位置補正部とをさらに備えて、(A)前記作業対象物と前記作業ヘッドとの相対位置に関するズレに基づく第1補正と、(B)前記作業ヘッドが通るべき移動経路からのズレに基づく第2補正とを、選択的に実行可能とされ、
前記第1補正を実行する場合に、
前記参照データ保有部が、前記参照データとして、前記作業対象物の設計データに基づいて作成されたデータであって、前記基準位置を基準として、その作業対象物の複数の特徴点の各々についてのその作業対象物における位置を示すデータの集合を保有し、前記ズレ検出部が、前記撮像データに含まれる前記特徴点の位置を示すデータと、前記参照データから抽出された前記特徴点に関する位置データとに基づいて、前記作業ヘッドと前記作業対象物との相対位置に関するズレを検出するとともに、
前記撮像装置が、前記作業ヘッドの前記目標移動位置への移動中において前記作業対象物の少なくとも一部分が撮像可能な領域に入った場合に、その作業対象物の少なくとも一部分を逐次撮像し、
前記ズレ検出部が、前記撮像装置の逐次の撮像によって得られた撮像データに基づいて、前記作業ヘッドと前記作業対象物との相対位置に関するズレを逐次検出し、前記目標動作位置補正部が、その逐次検出されたズレに基づいて、前記目標動作位置を逐次補正することを、前記作業ヘッドが前記目標移動位置に到達するまで行うように構成され、
前記第2補正を実行する場合に、
前記参照データ保有部が、前記参照データとして、前記作業機の一部に対して設定された複数の特徴点の各々についての作業空間を基準とした位置を示すデータを保有し、
前記ズレ検出部が、前記撮像データと前記参照データとに基づいて、前記作業ヘッドの移動において予定される移動経路からのその作業ヘッドのズレを検出するように構成されたことを特徴とする。
本発明の作業機若しくは電気部品装着機によれば、撮像データに基づいてロボットの動作が適正化されるため、具体的に言えば、作業ヘッド(電気部品装着機の場合は、電気部品保持ヘッドである)による実際の作業の位置が正確なものとされるため、精度のよい作業が、実行可能となる。
本発明の実施例の作業機としての電気部品装着機の斜視図である。 多関節型ロボットの動作を制御する制御装置の機能ブロック図である。 第1補正において撮像装置により撮像された画像を示す模式図である。 第2補正において撮像装置により撮像された画像を示す模式図である。
以下、本発明の代表的な実施形態を、電気部品装着機についての実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。
(a)電気部品装着機のハード構成
実施例の電気部品装着機(以下、単に「装着機」と言う場合がある)は、図1に示すように、回路基板(以下、単に「基板」と言う場合がある)Sに、複数の電気部品(以下、単に「部品」と言う場合がある)Pを装着する作業機である。装着機は、基板Sを所定の作業位置に保持する基板保持装置10と、それぞれが部品Pを供給する複数の部品供給装置12と、各部品供給装置12から供給される部品Pを離脱可能に保持する作業ヘッドとしての電気部品保持ヘッド(以下、単に「ヘッド」と言う場合がある)14と、先端においてヘッド14を保持してそのヘッド14を移動させる多関節型ロボット(以下、単に「ロボット」と言う場合がある)16とを含んで構成されている。
ヘッド14は、吸着ノズル(以下、単に「ノズル」と言う場合がある)20を有しており、供給される負圧の作用によって、部品Pを、ノズル20の下端において離脱可能に吸着保持する。ヘッド14は一般的なものであり、ノズル20の他に、ノズル昇降装置,ノズル回転装置等を有し、それらがケースの中に収められている。図では、ケース,それらの装置,負圧をノズル20に供給するためのチューブ等は省略している。
ロボット16は、ベース(図示を省略)が当該装着機の躯体の一部をなすビーム(図示を省略)に固定されており、そのベースに対して、ショルダ22が軸線θ1回りに水平面内において回転するように構成されている。そして、ショルダ22に対して、上アーム24が軸線θ2回りに回転し、上アーム24に対して、下アーム26が軸線θ3回りに回転し、下アーム26に対して、ヘッド14が固定的に保持されたリスト28が軸線θ4回りに回転するように構成されている。つまり、ロボット16は、制御軸が4つあるシリアルリンク型のロボットとされている。なお、ショルダ22,上アーム24,下アーム26,リスト28は、4つの制御軸に対応した4つのモータの各々によって、個別に回転させられる。また、ショルダ22,上アーム24,下アーム26,リスト28の各々の回転位置(回転角度)を把握するため、各モータには、エンコーダが付設されている。
リスト28には、それぞれが撮像装置として機能する下方カメラ30、側方カメラ32が取付られている。下方カメラ30は、主に、作業対象物、つまり、基板保持装置10に保持された基板Pの一部および基板Sに既に装着されている部品Pを撮像する。一方、側方カメラ32は、主に、当該装着機のパネル34の内側面に描かれている基準マトリクス36の一部を撮像する。なお、詳しい説明は省略するが、側方カメラ32は、ショルダ22の回転に対応して、ショルダ22の軸θ1に平行な軸線θ5回りに回転させられ、常に、パネル34に正対した姿勢で、基準マトリクス36を撮像するようにされている。
(b)多関節型ロボットの基本的な制御
本装着機による部品Pの装着作業は、ヘッド14を、ロボット16によって移動させて行う。詳しく説明すれば、まず、装着すべき部品Pが供給される部品供給装置12の上方にノズル20が位置するようにヘッド20を移動させて、ノズル20に部品Pを保持させ、次いで、そのヘッド14を、基板保持装置10によって保持された基板Sにおけるその部品Pの装着位置の上方にノズル20が位置するように移動させ、その位置において、保持している部品Pを離脱させる。この一連の装着動作を、装着すべき部品Pの数だけ繰り返えすことで、1つの基板Sに対する装着作業が行われる。なお、部品Pの吸着保持・離脱の動作は、ノズル昇降装置によるノズル20の昇降を伴って行われる。また、詳しい説明は省略するが、部品Pの離脱、つまり、部品Pの装着の動作の際には、部品Pの水平面内での姿勢を適正化させるため、ノズル回転装置によるノズル20の回転動作が行われる。
上記装着作業におけるヘッド14の移動は、ロボット16の動作が制御装置によって制御されることによって、制御される。その制御装置40は、コンピュータを主体として構成されたものであり、図2に示すように、目標動作位置決定部42,動作指令発令部44といった機能部を有している。
ヘッド14の移動位置は、作業空間内の所定の基準位置を基準とする3次元直交座標系における座標値として、H(x,y,z)で定義されており、装着作業を行うためのソースデータも、3次元若しくは2次元直交座標系における値で定義されている。一方、ロボット16の動作位置は、4つの軸θ1,θ2,θ3,θ4に対応するショルダ22,上アーム24,下アーム26,リスト28の各々の回転位置の値の集合としてR(θ1,θ2,θ3,θ4)で定義される。目標動作位置決定部42は、ソースデータからヘッド14の目標移動位置H*(x*,y*,z*)を決定し、その目標移動位置H*(x*,y*,z*)に基づいて、目標動作位置R*(θ1*,θ2*,θ3*,θ4*)を決定する。ちなみに、本装着機では、ノズル20が鉛直方向に延びる姿勢を常に維持するように、リスト28の目標回転位置θ4*が決定される。
ロボット16の動作位置R(θ1,θ2,θ3,θ4)は、先に説明したエンコーダ46により、常に把握されており、動作指令発令部44は、極めて短い時間ピッチで、把握されている動作位置R(θ1,θ2,θ3,θ4)の目標動作位置R*(θ1*,θ2*,θ3*,θ4*)に対する偏差ΔR(θ1*−θ1,θ2*−θ2,θ3*−θ3,θ4*−θ4)を求め、その偏差ΔR(θ1*−θ1,θ2*−θ2,θ3*−θ3,θ4*−θ4)に基づいて、各モータへ供給すべき電流についての指令値(I1,I2,I3,I4)を、PID制御の手法等に従って決定する。そして、その決定された指令値(I1,I2,I3,I4)を各モータの駆動回路であるドライバ48に送信し、各ドライバ48から、その指令値(I1,I2,I3,I4)に応じた電流が、各モータMに供給される。
(c)多関節型ロボットの制御における目標動作位置の補正
上記多関節型ロボット16は、いわゆるXY型ロボットに比べ、剛性が低いため、ヘッド14の位置精度が低いという問題がある。特に、シリアルリンク型のロボットの場合に、その問題は大きくなる。また、作業対象物である基板Sが、基板保持装置10に正確な位置において保持されない可能性もある。それらのことに鑑み、作業の精度を向上させるべく、本装着機におけるロボット16の動作の制御において、下方カメラ30または側方カメラ32の撮像によって得られた撮像データに基づいて、目標動作位置の補正を行っている。
上記目標動作位置の補正を行うための機能部として、制御装置40は、下方カメラ30または側方カメラ32による撮像を制御する撮像制御部50,上記撮像データとの比較処理を行うための参照データを保有する参照データ保有部52,撮像データと参照データとに基づいて動作位置に関するズレを検出するズレ検出部54,検出されたズレに基づいて目標動作位置を補正する目標動作位置補正部56を有している。
実行される目標動作位置の補正は、2種類のものが準備されている。2種類のもののうちの1つは、部品Pの基板Sへの装着位置の適正化を目的とする第1補正であり、もう1つは、ヘッド14の移動経路の適正化を目的とする第2補正である。本装着機では、それら第1補正と第2補正との一方を選択的に実行可能とされている。以下に、その2種類の補正について、順次、説明する。
i)第1補正
装着位置の適正化を目的とする第1補正は、簡単に言えば、基板保持装置10に保持された基板Sと、ヘッド14との相対位置に関するズレに基づく補正、具体的には、そのズレをなくすための補正である。この補正は、下方カメラ30の撮像によって得られた撮像データと上記参照データとに基づいて行われる。
第1補正において、参照データ保有部52に保有されている参照データは、基板S若しくはその基板Sに部品Rが既に装着されている場合におけるその部品P、つまり、作業対象物についての複数の特徴点のその基板Sにおける位置を示すデータを含んだデータとされている。言い換えれば、基板Sが正確な位置において基板保持装置10に保持された場合の、上記特徴点の上記作業空間内の所定の基準位置を基準とした位置データを含むデータとされている。上記特徴点は、基板Sに印刷された各はんだランド(「はんだパッド」と呼ばれることもある)Lの上面の中心とされており、また、部品Pが既に装着されている場合は、その部品Pの上面の中心されている。具体的には、参照データは、各特徴点SP1,SP2,・・・の、上記基準位置を基準とした3次元直交座標系における位置データSP1(x1,y1,z1),SP2(x2,y2,z2),・・・の集合である。
この参照データは、基板S若しくは部品Pが装着された基板Sを実際に撮像することによって得られた撮像データに基づいて作成されるのではなく、基板Sおよび部品Pの設計データ(電気回路の設計データと考えることもできる)に基づいて作成される。したがって、参照データのデータ量が比較的小さく、参照データ作成のための処理を比較的簡便に行うことができ、また、その参照データと、後述する撮像データとの比較処理をも迅速に行うことができる。
部品Pを保持したヘッド14が、その部品の装着位置に対応した目標移動位置H*(x*,y*,z*)に移動させられる最中において、下方カメラ30が基板Sを撮像可能な領域に入った場合に、そのヘッド14が減速させられ、第1補正のための処理が開始される。詳しく説明すれば、まず、撮像制御部50が、下方カメラ30に撮像させる指令を発令し、その撮像によって得られた撮像データを、その撮像が行われた時点でのロボット14の動作位置R(θ1,θ2,θ3,θ4)に関連付けて、ズレ検出部54に送る。図3は、下方カメラ30によって撮像された基板Sの一部の画像、つまり、下方カメラ30の一視野内の2次元画像を示しており、この画像に対応する撮像データが、ズレ検出部54に送られる。
図3を参照しつつ説明すれば、ズレ検出部54は、まず、送られてきた撮像データに基づいて、その撮像データに含まれる複数の特徴点のうち、適当な2つの特徴点SP1,SP2を特定する。次いで、参照データの中から、その2つの特徴点SP1,SP2に関する位置データを抽出し、その後に、撮像データとその抽出された位置データとに基づいて、ズレを検出する。解り易く説明すれば、まず、送られてきた動作位置R(θ1,θ2,θ3,θ4)に基づいて、その位置にロボット14が動作させられた場合に撮像されるべき上記特定された2つの特徴点SP1,SP2を、正規特徴点SP1’,SP2’として、上記画像に重ね合わせる。そして、それら特徴点SP1,SP2、正規特徴点SP1*,SP2*の各々の画像内の位置SP1(x1,y1),SP2(x2,y2),SP1*(x1*,y1*),SP2*(x2*,y2*)に基づいて、幾何学的手法に従って、基板Sとヘッド14の相対位置ズレ(δx,δy,δz)を検出する。この相対位置ズレ(δx,δy,δz)は、上記基準位置を基準とした3次元直交座標系におけるズレであり、そのズレを基に、ロボット14の動作位置に関するズレδR(δθ1,δθ2,δθ3,δθ4)、つまり、補正量を求めるのである。目標動作位置補正部56は、求められたズレδR(δθ1,δθ2,δθ3,δθ4)に基づいて、目標動作位置R*(θ1*,θ2*,θ3*,θ4*)を補正する。
第1補正に関する上記一連の処理は、ヘッド14が目標移動位置H*(x*,y*,z*)に到達するまで、つまり、ロボット16が目標動作位置R*(θ1*,θ2*,θ3*,θ4*)に動くまで、上記一連処理の可能なピッチで、繰り返し行われる。つまり、撮像制御部50は、ヘッド14の移動中に、逐次、下方カメラ30に撮像させ、ズレ検出部54は、逐次、ズレを検出し、目標動作位置補正部56は、逐次、目標動作位置を補正するように構成されているのである。
上記のような補正の処理が行われることで、ロボット16は、下方カメラ30によって得られた撮像データと上記参照データとに基づいて、動作位置がフィードバック制御されることになる。また、上記のような補正の処理を行うことで、撮像データに基づいてロボットの動作が適正化される。詳しく言えば、基板Sの基板保持装置10に対するズレ、ロボット16の剛性不足等に起因するヘッド14の作業空間内における位置ズレ等が解消されるような電気部品装着作業が行われるため、上記第1補正を実行することで、その作業の精度、特に、部品Pの装着位置の精度は高いものとなる。
ii)第2補正
ヘッド14の移動経路の適正化を目的とする第2補正は、簡単に言えば、ヘッド14が通るべき移動経路からのズレに基づく補正、具体的には、そのズレをなくするための補正である。この補正は、側方カメラ32の撮像によって得られた撮像データと上記参照データとに基づいて行われる。
第2補正において、参照データ保有部52に保有されている参照データは、パネル34の内側面に描かれている基準マトリクス36の複数の特徴点の上記作業空間内の所定の基準位置を基準とした位置データを含むデータとされている。上記複数の特徴点は、基準マトリクス36における縦線と横線との各交点とされている。具体的には、参照データは、各特徴点SP11,SP12,・・・,SP21,SP22,・・・の、上記基準位置を基準とした3次元直交座標系における位置データの集合である。
この参照データは、パネル34を実際に撮像することによって得られた撮像データに基づいて作成されたものであってもよく、当該作業機の設計データに基づいて作成されたものであってもよい。
ヘッド14が、次の目標移動位置H*(x*,y*,z*)に移動させられるときは、その位置にまで最短の移動経路、つまり、予定される移動経路に沿って移動させるように、ロボット16の動作が制御される。撮像制御部50は、ヘッド14のその移動中に、側方カメラ32に、パネル34に描かれた基準マトリクス36を撮像する旨の指令を発する。そして、その指令に基づく撮像によって得られた基準マトリクス36の一部分の撮像データを、その撮像が行われた時点でのロボット14の動作位置R(θ1,θ2,θ3,θ4)に関連付けて、ズレ検出部54に送る。図4は、側方カメラ32によって撮像された基準マトリクス36の一部分の画像、つまり、側方カメラ32の一視野内の2次元画像を示しており、この画像に対応する撮像データが、ズレ検出部54に送られる。
図4を参照しつつ説明すれば、ズレ検出部54は、上述の第1補正の場合と同様に、まず、送られてきた撮像データに基づいて、その撮像データに含まれる複数の特徴点のうち、適当な2つの特徴点SP1,SP2を特定する。次いで、参照データの中から、その2つの特徴点SP1,SP2に関する位置データを抽出し、その後に、撮像データとその抽出された位置データとに基づいて、ズレを検出する。先に第1補正について説明したのと同様のプロセスに従って、特徴点SP1,SP2およびそれに対応する正規特徴点SP1*,SP2*の各々の画像内の位置SP1(y1,z1),SP2(y2,z2),SP1*(y1*,z1*),SP2*(y2*,z2*)に基づいて、ヘッド14の上記移動経路からの位置ズレ(δx,δy,δz)を検出する。この位置ズレ(δx,δy,δz)を基に、ロボット14の動作位置に関するズレδR(δθ1,δθ2,δθ3,δθ4)、つまり、補正量を求めるのである。目標動作位置補正部56は、求められたズレδR(δθ1,δθ2,δθ3,δθ4)に基づいて、上記目標移動位置H*(x*,y*,z*)に対応して決定された目標動作位置R*(θ1*,θ2*,θ3*,θ4*)を補正する。
第2補正に関する上記一連の処理は、ヘッド14が目標移動位置H*(x*,y*,z*)に到達するまで、上記一連処理の可能なピッチで、繰り返し行われる。つまり、撮像制御部50は、ヘッド14の移動中のすべての過程において、逐次、側方カメラ30に撮像させ、ズレ検出部54は、逐次、ズレを検出し、目標動作位置補正部56は、逐次、目標動作位置を補正するように構成されているのである。
上記のような補正の処理が行われることで、ロボット16は、側方カメラ32によって得られた撮像データと上記参照データとに基づいて、動作位置がフィードバック制御されることになる。また、上記のような補正の処理を行うことで、ヘッド14は、予定される移動経路から殆ど外れることなく、次の目標移動位置にまで到達することになる。したがって、上記第2補正は、例えば、ヘッド14の予定される移動経路からのズレが、そのヘッド14の当該作業機の一部等への干渉を生じさせる虞のある作業を行うような場合に、特に有効である。上記第2補正を実行することで、撮像データに基づいてロボットの動作が適正化され、作業の精度は高いものとなる。
(d)変形例
上記実施例は、電気部品装着機に関する実施例であるが、本発明は、種々の作業ヘッドを備えた種々の作業機にも適用可能である。上記実施例の装着機におけるロボット16は、制御軸が4つの多関節型ロボットであるが、制御軸の数が3つ以下、若しくは、5つ以上の多関節型ロボットを採用する作業機にも、本発明は適用可能である。なお、多関節型ロボットではなく、XYZ直交型移動装置で構成されるいわゆるXYZ型ロボットを採用する作業機にも、本発明を適用することも可能である。
上記実施例では、撮像装置としての下方カメラ30,側方カメラ32が、ロボット16のリスト28に取り付けられているが、作業ヘッドに取り付けられていてもよい。なお、2つの撮像装置を取り付けることなく、1つの撮像装置しか取り付けられていないような作業機であっても、本発明は適用可能である。
上記実施例では、第1補正,第2補正の2つの補正が選択的に実行可能とされているが、第1補正と第2補正との一方のみが実行可能とされてもよい。上記実施例では、2つの特徴点を利用してズレの検出を行っているが、3以上の数の特徴点を利用し、先の手法とは別の幾何学的手法に従って、ズレを検出してもよい。なお、第1補正として、はんだランドL,装着された部品Pの中心を特徴点としていたが、はんだランドL,装着された部品Pのコーナや、それら以外の基板Sの一部分に特徴点を設定してもよい。また、コネクタ部品等、基板Sに設けられた穴に挿入若しくは嵌合される部品が装着される場合においては、その穴に基づいて特徴点を設定してもよい。さらに、第2補正においては、1つのパネル34に描かれた基準マトリクス36を利用していたが、向かい合う若しくは交差し合う2つ以上のパネルの各々に描かれた基準マトリクスを利用して、ズレを検出することも可能である。さらに、作業機のパネル以外の部分、例えば躯体部分に特徴点を設け、その特徴点を利用してズレを検出してもよい。
14:部品保持ヘッド(作業ヘッド) 16:多関節型ロボット 30:下方カメラ(撮像装置) 32:側方カメラ(撮像装置) 34:パネル 36:基準マトリクス 40:制御装置 42:目標動作位置決定部 44:動作指令発令部 46:エンコーダ 50:撮像制御部 52:参照データ保有部 54:ズレ検出部 56:目標動作位置補正部 S:回路基板(作業対象物) P:電気部品(作業対象物) L:はんだランド

Claims (1)

  1. 部品を離脱可能に保持する作業ヘッドと、
    その作業ヘッドを保持してその作業ヘッドを、作業対象物に対して、作業空間内の所定の基準位置を基準とする目標移動位置まで移動させる多関節型ロボットと、
    (a)前記目標移動位置に基づいて、前記多関節型ロボットの目標動作位置を決定する目標動作位置決定部と、(b)その目標動作位置に基づいて前記多関節型ロボットに動作指令を発する動作指令発令部とを有して、前記多関節型ロボットを制御する制御装置と
    を備えた作業機であって、
    当該作業機が、
    前記作業ヘッドに、若しくは、前記作業ヘッドの近傍において前記多関節型ロボットに取り付けられて、前記作業対象物の少なくとも一部分を撮像する撮像装置を、さらに備えるとともに、
    前記制御装置が、
    (c)参照データを保有する参照データ保有部と、(d)前記撮像装置の撮像によって得られた撮像データと参照データとに基づいて前記作業ヘッドのズレを検出するズレ検出部と、(e)そのズレ検出部によって検出された前記ズレに基づいて前記目標動作位置を補正する目標動作位置補正部とをさらに備えて、(A)前記作業対象物と前記作業ヘッドとの相対位置に関するズレに基づく第1補正と、(B)前記作業ヘッドが通るべき移動経路からのズレに基づく第2補正とを、選択的に実行可能とされ、
    前記第1補正を実行する場合に、
    前記参照データ保有部が、前記参照データとして、前記作業対象物の設計データに基づいて作成されたデータであって、前記基準位置を基準として、その作業対象物の複数の特徴点の各々についてのその作業対象物における位置を示すデータの集合を保有し、前記ズレ検出部が、前記撮像データに含まれる前記特徴点の位置を示すデータと、前記参照データから抽出された前記特徴点に関する位置データとに基づいて、前記作業ヘッドと前記作業対象物との相対位置に関するズレを検出するとともに、
    前記撮像装置が、前記作業ヘッドの前記目標移動位置への移動中において前記作業対象物の少なくとも一部分が撮像可能な領域に入った場合に、その作業対象物の少なくとも一部分を逐次撮像し、
    前記ズレ検出部が、前記撮像装置の逐次の撮像によって得られた撮像データに基づいて、前記作業ヘッドと前記作業対象物との相対位置に関するズレを逐次検出し、前記目標動作位置補正部が、その逐次検出されたズレに基づいて、前記目標動作位置を逐次補正することを、前記作業ヘッドが前記目標移動位置に到達するまで行うように構成され、
    前記第2補正を実行する場合に、
    前記参照データ保有部が、前記参照データとして、前記作業機の一部に対して設定された複数の特徴点の各々についての作業空間を基準とした位置を示すデータを保有し、
    前記ズレ検出部が、前記撮像データと前記参照データとに基づいて、前記作業ヘッドの移動において予定される移動経路からのその作業ヘッドのズレを検出するように構成された作業機。
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