JP7303648B2 - 基板処理装置および基板処理装置における対象物の搬送方法 - Google Patents
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Description
(10)第4の発明に係る基板処理装置における対象物の搬送方法は、基板に所定の処理を行う基板処理装置において処理に関する対象物を搬送する搬送方法であって、搬送先の目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ搬送装置により対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する目標位置と対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を複数の搬送元の各々について記憶部に記憶するステップと、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御するステップとを含み、基板処理装置は、基板を水平姿勢で保持可能かつ回転可能に構成された保持部と、保持部により保持される基板に所定の処理液を供給する複数のノズルと、複数のノズルを収容可能に構成された複数のノズル収容部とを備え、対象物は、複数のノズルのいずれかであり、複数の搬送元は複数のノズル収容部であり、搬送先は、保持部により保持される基板の上方の位置である。
図1は、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置100の模式的平面図である。図1に示すように、基板処理装置100は、2個のブロックB1,B2を備える。図1に矢印で示すように、基板処理装置100においてはX軸およびY軸を有するXY座標系が定義される。本例のX軸およびY軸は、水平面内で互いに直交する。ブロックB1,B2は、Y軸の方向において互いに隣り合うように設けられている。
基板搬送装置200が有する複数の駆動機構には、ギア、プーリおよびベルト等の複数の動力伝達部材が設けられる。複数の動力伝達部材間にはバックラッシュが存在する。また、動力伝達部材によっては、動力の伝達方向に応じて動作量または変形量に差が生じる(ヒステリシス誤差)。このような機械的な構造に特有のバックラッシュおよびヒステリシス誤差等の存在は、基板搬送装置200による基板Wの搬送精度を低下させる。
図7は、図1のノズル搬送装置10の構成を説明するための塗布処理部120の平面図である。図7に示すように、液供給装置300のノズル搬送装置10は、X方向におけるスピンチャックD1,D2,D3の側方に設けられている。ノズル搬送装置10は、台座部19を有する。台座部19は、3個のスピンチャックD1,D2,D3に隣り合うようにY方向に延びている。台座部19には、その長手方向(Y軸に平行な方向)に直線状に延びるリニアガイド18が設けられている。
上記のように、ハンド制御部290は、対象物としての基板Wを搬送するために基板搬送装置200を制御する。また、ノズル制御部390は、対象物としてのノズルnzを搬送するためにノズル搬送装置10を制御する。これらの制御は、対象物が異なる点を除いて基本的に同じである。そこで、上記のハンド制御部290およびノズル制御部390が行う一連の制御を、対象物搬送制御と呼ぶ。
搬送装置を制御する(ステップS12)。
(a)上記の基板処理装置100においては、搬送先への基板Wの搬送に関する修正情報が複数の搬送元の各々についてハンド制御部290の記憶部292に記憶される。一の搬送元から搬送先への基板Wの搬送時に、記憶部292に記憶された一の搬送元に対応する修正情報と搬送先の位置情報とに基づいて基板Wが搬送先の目標位置へ搬送される。
図6の記憶部292に記憶される修正情報は、例えば以下のようにして生成されてもよい。スピンチャックD1を搬送先とする修正情報の生成手順の一例を説明する。
(a)上記実施の形態においては、特定の搬送先に正確に基板Wを搬送するために特定の搬送先の位置情報を修正するための修正情報が記憶部292に記憶されるが、本発明はこれに限定されない。例えば、記憶部292には、修正情報に代えて、特定の搬送先に正確に基板Wを搬送するために特定の搬送先の位置情報が修正された修正済みの位置情報が記憶されてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明する。上記実施の形態では、基板Wおよびノズルnzが対象物の例であり、基板搬送装置200およびノズル搬送装置10が搬送装置の例であり、スピンチャックD1,D2,D3の回転中心の位置p1,p2,p3が目標位置の例であり、スピンチャックD1,D2,D3の位置情報が目標情報の例である。
[9]参考形態
(1)第1の参考形態に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、複数の搬送元のいずれかから搬送先の目標位置へ処理に関する対象物を搬送する搬送装置と、目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する目標位置と対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を複数の搬送元の各々について記憶する記憶部と、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御する制御部とを備える。
その基板処理装置においては、搬送制御情報が複数の搬送元の各々について記憶部に記憶される。一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて対象物が一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送される。
この場合、搬送先の目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ搬送装置により対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する目標位置と対象物の実際の到着位置とのずれが相殺される。それにより、搬送制御情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ対象物が搬送されたときの対象物の実際の到着位置が目標位置に一致する。したがって、基板の処理に関する対象物を簡単かつ高い精度で搬送することが可能になる。
(2)対象物は、基板であり、複数の搬送元は、基板を支持する複数の第1の支持部であり、搬送先は、基板を支持する第2の支持部であってもよい。
この場合、複数の第1の支持部のうちいずれかから第2の支持部上に高い精度で基板が搬送される。
(3)第2の支持部は、基板を水平姿勢で保持可能かつ回転可能に構成されてもよい。
この場合、第2の支持部により回転される基板に対して高い精度で各種処理を行うことが可能になる。
(4)基板処理装置は、基板を水平姿勢で保持可能かつ回転可能に構成された保持部と、保持部により保持される基板に所定の処理液を供給する複数のノズルと、複数のノズルを収容可能に構成された複数のノズル収容部とをさらに備え、対象物は、複数のノズルのいずれかであり、複数の搬送元は複数のノズル収容部であり、搬送先は、保持部により保持される基板の上方の位置であってもよい。
この場合、複数のノズル収容部のいずれかに収容されたノズルが、保持部により保持される基板の上方の位置に高い精度で搬送される。それにより、保持部により回転される基板に対して高い精度で処理液を供給することが可能になる。
(5)複数の搬送制御情報の各々は、ずれに対応する目標情報の修正情報であり、制御部は、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された一の搬送元に対応する修正情報により搬送先の目標情報を修正し、修正された目標情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御してもよい。この場合、修正情報に基づいて対象物が簡単かつ高い精度で搬送される。
(6)複数の搬送制御情報の各々は、ずれに基づいて目標情報が修正された新たな目標情報であり、制御部は、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された一の搬送元に対応する新たな目標情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御してもよい。この場合、新たな目標情報に基づいて対象物が簡単かつ高い精度で搬送される。
(7)第2の参考形態に係る基板処理装置における対象物の搬送方法は、基板に所定の処理を行う基板処理装置において処理に関する対象物を搬送する搬送方法であって、搬送先の目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ搬送装置により対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する目標位置と対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を複数の搬送元の各々について記憶部に記憶するステップと、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御するステップとを含む。
その基板処理装置における対象物の搬送方法においては、搬送制御情報が複数の搬送元の各々について記憶部に記憶される。一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて対象物が一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送される。
この場合、搬送先の目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ搬送装置により対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する目標位置と対象物の実際の到着位置とのずれが相殺される。それにより、搬送制御情報に基づいて複数の搬送元の各々から搬送先へ対象物が搬送されたときの対象物の実際の到着位置が目標位置に一致する。したがって、基板の処理に関する対象物を簡単かつ高い精度で搬送することが可能になる。
(8)複数の搬送制御情報の各々は、ずれに対応する目標情報の修正情報であり、搬送装置を制御するステップは、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された一の搬送元に対応する修正情報により搬送先の目標情報を修正し、修正された目標情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御することであってもよい。この場合、修正情報に基づいて対象物が簡単かつ高い精度で搬送される。
(9)複数の搬送制御情報の各々は、ずれに基づいて目標情報が修正された新たな目標情報であり、搬送装置を制御するステップは、複数の搬送元のうち一の搬送元から搬送先への対象物の搬送時に、記憶部に記憶された一の搬送元に対応する新たな目標情報に基づいて対象物を一の搬送元から搬送先の目標位置へ搬送するように搬送装置を制御することであってもよい。この場合、新たな目標情報に基づいて対象物が簡単かつ高い精度で搬送される。
Claims (10)
- 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
複数の搬送元のいずれかから搬送先の目標位置へ前記処理に関する対象物を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による前記対象物の搬送動作よりも前に、前記目標位置を示す目標情報に基づいて前記複数の搬送元の各々から前記搬送先へ前記対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する前記目標位置と前記対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を前記複数の搬送元の各々について記憶する記憶部と、
前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち前記一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御する制御部とを備えた、基板処理装置。 - 前記対象物は、基板であり、
前記複数の搬送元は、基板を支持する複数の第1の支持部であり、
前記搬送先は、基板を支持する第2の支持部である、請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第2の支持部は、基板を水平姿勢で保持可能かつ回転可能に構成された、請求項2記載の基板処理装置。
- 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
複数の搬送元のいずれかから搬送先の目標位置へ前記処理に関する対象物を搬送する搬送装置と、
前記目標位置を示す目標情報に基づいて前記複数の搬送元の各々から前記搬送先へ前記対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する前記目標位置と前記対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を前記複数の搬送元の各々について記憶する記憶部と、
前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち前記一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御する制御部と、
基板を水平姿勢で保持可能かつ回転可能に構成された保持部と、
前記保持部により保持される基板に所定の処理液を供給する複数のノズルと、
前記複数のノズルを収容可能に構成された複数のノズル収容部とを備え、
前記対象物は、前記複数のノズルのいずれかであり、
前記複数の搬送元は前記複数のノズル収容部であり、
前記搬送先は、前記保持部により保持される基板の上方の位置である、基板処理装置。 - 複数の搬送制御情報の各々は、前記ずれに対応する前記目標情報の修正情報であり、
前記制御部は、前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された前記一の搬送元に対応する修正情報により前記搬送先の目標情報を修正し、修正された目標情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御する、請求項1~4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 複数の搬送制御情報の各々は、前記ずれに基づいて前記目標情報が修正された新たな目標情報であり、
前記制御部は、前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された前記一の搬送元に対応する新たな目標情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御する、請求項1~4のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 基板に所定の処理を行う基板処理装置において前記処理に関する対象物を搬送する搬送方法であって、
搬送装置による前記対象物の搬送動作よりも前に、搬送先の目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から前記搬送先へ前記搬送装置により前記対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する前記目標位置と前記対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を前記複数の搬送元の各々について記憶部に記憶するステップと、
前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち前記一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御するステップとを含む、基板処理装置における対象物の搬送方法。 - 複数の搬送制御情報の各々は、前記ずれに対応する前記目標情報の修正情報であり、
前記搬送装置を制御するステップは、前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された前記一の搬送元に対応する修正情報により前記搬送先の目標情報を修正し、修正された目標情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御することである、請求項7記載の基板処理装置における対象物の搬送方法。 - 複数の搬送制御情報の各々は、前記ずれに基づいて前記目標情報が修正された新たな目標情報であり、
前記搬送装置を制御するステップは、前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された前記一の搬送元に対応する新たな目標情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御することである、請求項7記載の基板処理装置における対象物の搬送方法。 - 基板に所定の処理を行う基板処理装置において前記処理に関する対象物を搬送する搬送方法であって、
搬送先の目標位置を示す目標情報に基づいて複数の搬送元の各々から前記搬送先へ搬送装置により前記対象物が搬送されたと仮定した場合に発生する前記目標位置と前記対象物の実際の到着位置とのずれを相殺するための搬送制御情報を前記複数の搬送元の各々について記憶部に記憶するステップと、
前記複数の搬送元のうち一の搬送元から前記搬送先への前記対象物の搬送時に、前記記憶部に記憶された複数の搬送制御情報のうち前記一の搬送元に対応する搬送制御情報に基づいて前記対象物を前記一の搬送元から前記搬送先の前記目標位置へ搬送するように前記搬送装置を制御するステップとを含み、
前記基板処理装置は、
基板を水平姿勢で保持可能かつ回転可能に構成された保持部と、
前記保持部により保持される基板に所定の処理液を供給する複数のノズルと、
前記複数のノズルを収容可能に構成された複数のノズル収容部とを備え、
前記対象物は、前記複数のノズルのいずれかであり、
前記複数の搬送元は前記複数のノズル収容部であり、
前記搬送先は、前記保持部により保持される基板の上方の位置である、基板処理装置における対象物の搬送方法。
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