JP2005203440A - 位置調整方法及び基板処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レジスト塗布装置40において,スピンチャックに保持され回転されたウェハに対してレジスト液が塗布され,その後ウェハの外周部のレジスト液が環状に除去される。ウェハに対し一連の塗布現像処理が施され,ウェハ上のレジスト膜に所定のパターンが形成された後,欠陥検出装置21においてウェハの表面の画像が撮像される。制御装置115は,当該画像データに基づいて,ウェハ上のレジスト液が除去されている外周部の幅を測定する。この測定から,スピンチャックに対するウェハの保持位置の位置ずれ量を算出する。その位置ずれ量が搬送装置制御部31に出力され,ウェハ保持アーム30aのレジスト塗布装置40に対する搬送先の設定座標が変更され,スピンチャックに対するウェハの保持位置が調整される。
【選択図】 図1
Description
21 欠陥検出装置
30a ウェハ保持アーム
31 搬送装置制御部
40 レジスト塗布装置
115 制御装置
120 スピンチャック
133 レジスト液吐出ノズル
W ウェハ
Claims (11)
- 回転保持部材によって基板を保持し回転させた状態で,前記基板の中央部に塗布液を吐出して,基板の表面に塗布液を拡散させて塗布する工程と,
その後,前記回転保持部材によって基板を回転させた状態で,一定の位置の除去液吐出部材から前記基板の外周部に対し塗布液の除去液を供給して当該外周部の塗布液を環状に除去する工程と,
その後,前記基板の表面の画像を撮像する工程と,
前記基板の表面の画像から,塗布液が除去された前記外周部の幅を測定し,当該測定された外周部の幅から前記回転保持部材における基板の保持位置の位置ずれを導出し,当該位置ずれに基づいて前記基板の保持位置を調整する工程と,を有することを特徴とする,位置調整方法。 - 前記外周部の幅の測定は,平面から見て基板上で直交する所定の二方向の基板の両端部で行うことを特徴とする,請求項1に記載の位置調整方法。
- 回転保持部材によって基板を保持し回転させた状態で,塗布液吐出部材から基板の中央部に対し塗布液を吐出して,基板の表面に塗布液を拡散させて塗布する工程と,
その後,前記基板の表面における前記塗布液の厚みの分布を検出する工程と,
前記検出された厚みの分布から前記基板の表面における前記塗布液吐出部材の吐出位置を特定して,当該塗布液吐出部材の吐出位置と前記基板の表面における回転保持部材の回転中心との位置ずれを導出し,当該位置ずれに基づいて前記回転保持部材に対する前記塗布液吐出部材の吐出位置を調整する工程と,を有することを特徴とする,位置調整方法。 - 基板の表面を撮像し,その撮像の情報から前記塗布液の厚みの分布を検出することを特徴とする,請求項3に記載の位置調整方法。
- 回転保持部材によって保持された基板に対して塗布液吐出部材から所定量の塗布液を吐出して,基板の表面の一部に塗布液を供給する工程と,
その後,前記基板の表面の画像を撮像する工程と,
前記基板の表面の画像に現れた前記塗布液の供給部分の位置に基づいて前記基板の表面における塗布液吐出部材の吐出位置を特定し,当該塗布液吐出部材の吐出位置に基づいて前記回転保持部材に対する前記塗布液吐出部材の吐出位置を調整する工程と,を有することを特徴とする,位置調整方法。 - 基板を保持し回転させる回転保持部材と,前記回転保持部材によって回転された基板の中央部に対し塗布液を吐出して基板の表面に塗布液を塗布する塗布液吐出部材と,前記回転保持部材によって回転された前記基板の外周部に対し塗布液の除去液を吐出して当該外周部の塗布液を環状に除去する除去液吐出部材とを有する塗布処理装置と,
前記基板の表面の画像を撮像する撮像装置と,
前記撮像装置により撮像された前記画像から,前記除去液吐出部材により塗布液が除去された基板の外周部の幅を測定し,当該測定された外周部の幅から前記回転保持部材における基板の保持位置の位置ずれを導出し,当該位置ずれに基づいて前記回転保持部材における基板の保持位置を調整する位置調整装置と,を備えたことを特徴とする,基板処理システム。 - 前記撮像装置は,基板の表面の画像を撮像して基板の表面の欠陥を検出する欠陥検出装置であることを特徴とする,請求項6に記載の基板処理システム。
- 基板を保持し回転させる回転保持部材と,前記回転保持部材によって回転された基板の中央部に対し塗布液を吐出して基板の表面に塗布液を塗布する塗布液吐出部材とを有する塗布処理装置と,
前記基板の表面における塗布液の厚みの分布を検出する厚み分布検出装置と,
前記厚み分布検出装置により検出された前記厚みの分布から前記基板の表面における前記塗布液吐出部材の吐出位置を特定して,当該塗布液吐出部材の吐出位置と前記基板の表面における回転保持部材の回転中心との位置ずれを導出し,当該位置ずれに基づいて前記回転保持部材に対する前記塗布液吐出部材の吐出位置を調整する位置調整装置と,を備えたことを特徴とする,基板処理システム。 - 前記厚み分布検出装置は,基板の表面を撮像し,その撮像の情報から前記塗布液の厚みの分布を検出できるものであることを特徴とする,請求項8に記載の基板処理システム。
- 前記厚み分布検出装置は,基板の表面の画像を撮像して基板の表面の欠陥を検出する欠陥検出装置であることを特徴とする,請求項9に記載の基板処理システム。
- 基板を保持し回転させる回転保持部材と,前記回転保持部材によって回転された基板に対し塗布液を吐出して基板の表面の一部に塗布液を供給する塗布液吐出部材とを有する塗布処理装置と,
前記基板の表面の画像を撮像する撮像装置と,
前記基板の表面の画像に現れた前記塗布液の供給部分の位置に基づいて前記基板の表面における塗布液吐出部材の吐出位置を特定し,当該塗布液吐出部材の吐出位置に基づいて前記回転保持部材に対する前記塗布液吐出部材の吐出位置を調整する位置調整装置と,を備えたことを特徴とする,基板処理システム。
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