JP5283714B2 - 塗布膜除去方法及びその装置 - Google Patents
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Description
10 塗布膜除去ユニット
11 縁部検出センサ
12 CCDカメラ(撮像手段)
20 濃度測定部
21 収容室
22a,22b 透明部
23a 発光体
23b 受光体
32 基板チャック
40A,40B 塗布膜除去部
42 溶剤吐出部
43 N2ガス溶剤吐出部(不活性ガス吐出部)
44 吸引排出路
44a 排出管路
45 溶剤供給管路
46 溶剤タンク(溶剤供給源)
47 N2ガス供給管路(不活性ガス供給管路)
48 ガスタンク(不活性ガス供給源)
49 吸引ポンプ(吸引手段)
53,54 Y方向移動機構
55,56 X方向移動機構
59A,59B 高さ調整機構
60 制御部
V1 溶剤流量調整弁(溶剤流量調整手段)
V2 N2ガス流量調整弁(不活性ガス流量調整手段)
s 塗布膜除去部と基板との隙間
Claims (8)
- 塗布膜の溶剤を吐出する溶剤吐出部と、不活性ガスを吐出する不活性ガス吐出部と、上記溶剤吐出部から吐出した溶剤及び塗布膜の溶解物の混合排液を排出するための排出路と、この排出路に排出管路を介して接続された吸引手段と、を備えた塗布膜除去部により、角形の基板表面に形成された塗布膜の縁部に上記溶剤及び不活性ガスを吐出しながら、この塗布膜除去部を上記基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させることにより、上記基板表面の縁部の不要な塗布膜を除去する塗布膜除去方法において、
上記溶剤吐出部及び不活性ガス吐出部により上記基板表面の端部から上記溶剤及び不活性ガスを吐出しながら、上記塗布膜除去部を上記基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させる除去工程と、
上記排出路に接続される濃度測定部により、排出路から排出される上記溶剤及び溶解物の混合排液中の溶解物の濃度を検出する濃度検出工程と、
上記濃度測定部により検出された上記混合排液中の上記溶解物の有無を判別する濃度判別工程と、
上記濃度測定部による上記溶解物の濃度検出値に基づいて上記塗布膜の除去条件を変更設定する工程と、を含み、
上記溶解物の濃度判別工程において、上記混合排液中の上記溶解物の無が確認されるまで、上記塗布膜除去工程を続行し、上記溶解物の無が確認された後、上記除去条件を変更設定する工程で変更設定された除去条件により、上記塗布膜除去工程を行う、ことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 請求項1に記載の塗布膜除去方法において、
上記塗布膜の除去条件の変更は、上記溶解物の濃度検出値に基づく上記溶剤の吐出量又は上記塗布膜除去部の移動速度の少なくとも一方の変更である、ことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 塗布膜の溶剤を吐出する溶剤吐出部と、不活性ガスを吐出する不活性ガス吐出部と、上記溶剤吐出部から吐出した溶剤及び塗布膜の溶解物の混合排液を排出するための排出路と、この排出路に排出管路を介して接続された吸引手段と、を備えた塗布膜除去部により、角形の基板表面に形成された塗布膜の縁部に上記溶剤及び不活性ガスを吐出しながら、この塗布膜除去部を上記基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させることにより、上記基板表面の縁部の不要な塗布膜を除去する塗布膜除去方法において、
上記溶剤吐出部及び不活性ガス吐出部により上記基板表面の端部から上記溶剤及び不活性ガスを吐出しながら、上記塗布膜除去部を上記基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させる除去工程と、
上記排出路に接続される濃度測定部により、排出路から排出される上記溶剤及び溶解物の混合排液中の溶解物の濃度を検出する濃度検出工程と、
上記濃度測定部により検出された上記混合排液中の上記溶解物の有無を判別する濃度判別工程と、
上記塗布膜除去部に搭載された撮像手段により、上記基板表面の縁部を撮像して、塗布膜の剥離状態、剥離幅及び塗布膜の残渣を画像処理する工程と、
上記濃度測定部による上記溶解物の濃度検出値、及び上記撮像手段による上記画像処理に基づいて、上記塗布膜の除去条件を変更設定する工程と、を含み、
上記溶解物の濃度判別工程において、上記混合排液中の上記溶解物の無が確認されるまで、上記塗布膜除去工程を続行し、上記溶解物の無が確認された後、上記塗布膜の除去条件を変更設定する工程で変更設定された除去条件により、上記塗布膜除去工程を行う、ことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 請求項3に記載の塗布膜除去方法において、
上記塗布膜の除去条件の変更は、上記溶解物の濃度検出値に基づく上記溶剤の吐出量及び上記塗布膜除去部の移動速度の変更、又は上記画像処理に基づく上記不活性ガスの吐出量、上記排出路の排気量、若しくは上記塗布膜除去部と上記基板表面との隙間のいずれかの変更である、ことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布膜除去方法において、
上記濃度測定部による上記溶解物の濃度検出は、発光体から照射される可視光域を含んだ光を受光体が受光し、上記受光体は、上記発光体からの光のうち、上記可視光域の光を3分割して得られる、赤領域成分の光、緑領域成分の光、及び青領域成分の光のいずれか、又は上記複数の色領域の成分の光を受光して濃度を検出する、ことを特徴とする塗布膜除去方法。 - 塗布膜の溶剤を吐出する溶剤吐出部と、不活性ガスを吐出する不活性ガス吐出部と、上記溶剤吐出部から吐出した溶剤及び塗布膜の溶解物の混合排液を排出するための排出路と、この排出路に排出管路を介して接続された吸引手段と、を備えた塗布膜除去部と、
上記溶剤供給源から上記溶剤吐出部に供給される溶剤の流量を調整する溶剤流量調整手段と、
上記塗布膜除去部を、表面に塗布膜が形成された角形の基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させる移動機構と、
上記排出管路に介設され、上記溶剤及び塗布膜の溶解物の混合排液中の溶解物の濃度を検出する濃度測定部と、
上記濃度測定部からの検出信号に基づいて、塗布膜の除去条件を設定すると共に、上記溶剤流量調整手段及び上記移動機構を制御する制御部と、を具備し、
上記制御部は、上記濃度測定部により上記混合排液中の溶解物の無が確認されるまで、上記塗布膜除去部による塗布膜の除去動作を続行させ、上記溶解物の無が確認された後、上記塗布膜の除去条件に基づいて上記溶剤の吐出量又は上記塗布膜除去部の移動速度の少なくとも一方を変更する、ことを特徴とする塗布膜除去装置。 - 塗布膜の溶剤を吐出する溶剤吐出部と、不活性ガスを吐出する不活性ガス吐出部と、上記溶剤吐出部から吐出した溶剤及び塗布膜の溶解物の混合排液を排出するための排出路と、この排出路に排出管路を介して接続された吸引手段と、を備えた塗布膜除去部と、
上記溶剤供給源から上記溶剤吐出部に供給される溶剤の流量を調整する溶剤流量調整手段と、
上記不活性ガス供給源から上記不活性ガス吐出部に供給される不活性ガスの流量を調整する不活性ガス流量調整手段と、
上記塗布膜除去部を、表面に塗布膜が形成された角形の基板の辺縁の所定の幅に沿って基板の一端側から他端側まで移動させる移動機構と、
上記排出管路に介設され、上記溶剤及び塗布膜の溶解物の混合排液中の溶解物の濃度を検出する濃度測定部と、
上記塗布膜除去部と上記基板表面との隙間を相対的に調整する高さ調整機構と、
上記塗布膜除去部に搭載され、上記基板表面の縁部を撮像して画像処理する撮像手段と、
上記濃度測定部からの検出信号に基づいて、塗布膜の除去条件を設定すると共に、上記溶剤流量調整手段、上記不活性ガス調整手段、上記移動機構、上記高さ調整機構及び上記撮像手段を制御する制御部と、を具備し、
上記制御部は、上記濃度測定部により上記混合排液中の溶解物の無が確認されるまで、上記塗布膜除去部による塗布膜の除去動作を続行させ、上記溶解物の無が確認された後、上記塗布膜の除去条件に基づいて上記溶剤の吐出量又は上記塗布膜除去部の移動速度の少なくとも一方を変更し、又は上記撮像手段の画像処理に基づいて上記不活性ガスの吐出量、上記排出路の排気量、若しくは上記塗布膜除去部と上記基板表面との隙間のいずれかを変更する、ことを特徴とする塗布膜除去装置。 - 請求項6又は7に記載の塗布膜除去装置において、
上記濃度測定部は、上記排出管路に接続する少なくとも対向する側壁に透明部を有する収容室と、この収容室の一方の透明部から他方の透明部に向かって可視光域を含んだ光を照射する発光体と、上記収容室内の上記混合排液を挟むように発光体に対して配置される受光体とを具備し、上記受光体は、上記発光体からの光のうち、上記可視光域の光を3分割して得られる、赤領域成分の光、緑領域成分の光、及び青領域成分の光のいずれか、又は上記複数の色領域の成分の光を受光する、ことを特徴とする塗布膜除去装置。
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