KR20110039455A

KR20110039455A - 판상 워크의 이송 설비 및 이송 방법

Info

Publication number: KR20110039455A
Application number: KR1020117002856A
Authority: KR
Inventors: 히로카즈 오쿠무라; 야스히로 사와무라
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2008-07-29
Filing date: 2009-06-12
Publication date: 2011-04-18
Also published as: JP5311277B2; TWI487607B; KR101609205B1; CN102105375B; TW201008726A; CN102105375A; WO2010013549A1; JP2010030744A

Abstract

본 발명의 판상 워크의 이송 설비(10)는 다관절을 갖는 일련의 가동암(13)을 갖고, 일련의 가동암(13)의 선단에 판상 워크(3)의 일면을 유지 취득하기 위한 유지부(23)를 설치한 다관절 로봇(11)을 구비하고, 이 다관절 로봇(11)에 의해 취득 위치(4)에 공급된 판상 워크(3)의 공급측의 하면(3a)을 유지하여 하면(3a)과는 반대측의 상면(3b)을 탑재 위치의 탑재면(26)에 탑재하도록 구성된다. 취득 위치(4)와 탑재 위치는 대향 배치됨과 아울러, 대향 공간의 측방에 다관절 로봇(11)이 배치된다. 다관절 로봇(11)은 일련의 가동암(13)의 선회·굴신 운동에 의해 판상 워크(3)를 취득 위치(4)로부터 대향 공간 상을 통과하여 탑재 위치까지 이송하는 동작을 행하고, 또한 이 이송 동작의 일부로서 판상 워크(3)의 상면(3b)을 탑재면 (26)에 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 구성되어 있다.

Description

판상 워크의 이송 설비 및 이송 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING BOARD-LIKE WORK}

본 발명은 판상 워크의 이송 설비 및 이송 방법에 관한 것으로, 예를 들면, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 또는 유기 EL, FED, SED 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)용의 유리 기판을 이송하기 위한 설비 및 이송 방법에 관한 것이다.

이러한 종류의 이송 설비에는 종래, 다축 수직 다관절 로봇이나 다축 수평 다관절 로봇 등의 범용의 다자유도 로봇암이 적용되어 있다. 유리판은 깨지기 쉽기 때문에 수작업으로는 취급이 곤란하며, 또한 1000㎜×1000㎜ 이상의 대형 유리판을 작업자가 운반하는 것은 매우 곤란하다. 또한, 상기 용도에 따른 유리판에는 높은 클린도(청정도)가 요구되기 때문에 유기물 등을 발진(發塵)하는 작업자의 취급은 피하는 경향이 있다. 이 점에서 상기 다자유도 로봇암이면 워크의 이송 자세에 대한 자유도가 높아 사용자(작업자)가 원하는 동작 궤적을 설정할 수 있다. 또한, 작업자에 비해서 유기물 등의 발진의 가능성도 낮다는 점에서 상기 다자유도 로봇암이 유리판의 이송에 바람직하게 사용되고 있다.

특히, 상기 용도에 따른 유리판(유리 기판)에는 각종 표시 소자가 부착되는 면이 존재하기 때문에 상기 부착면이 되는 유리 기판의 일면에 대해서는 다른 면 이상으로 세심한 취급이 필요로 된다. 즉, 유리 기판의 이송에 관해서 말하면 최대한 부착면에 접촉되지 않고 상기 이송을 행하는 것이 바람직하다.

여기에서, 예를 들면 하기 특허문헌 1에는 일면에 박막이 형성된 기판의 교환 장치를 구성하는 교환기로서 기판의 반송 수단의 반송 종단 또는 측면 중 적어도 한쪽에 개방되는 수취 오목부와, 고정대 상에 수직축 둘레에서 회전 가능한 선회대를 부착하고, 이 선회대 상에 암 베이스를 승강 가능하게 부착하고, 이 암 베이스에 다관절암을 통해 기판의 박막 형성측과는 반대의 면(하면)을 흡착시키기 위한 흡착 헤드를 부착하여 이루어지는 다관절 로봇이 개시되어 있다. 그리고, 교환기의 선회대를 예를 들면, 수직축 둘레에서 90° 선회시킴으로써 수취 오목부에 의해 흡착된 기판을 교환 위치로 이송하도록 되어 있다. 또한, 다관절암의 선단부에는 흡착 헤드의 헤드 베이스가 수평축 둘레에서 회전 가능하게 연결되어 있고, 수평 자세의 흡착 헤드를 180° 반전시킴으로써 흡착 헤드에 흡착 유지된 기판을 상하 반전하도록 되어 있다.

또한, 하기 특허문헌 2에는 프레스기에 워크를 반출입시키는 프레스간 반송 로봇으로서 워크의 반송 방향으로 평행하게 배치된 직동(直動) 베이스와, 직동 베이스와, 직동 베이스 상에서 직동하는 요동 베이스와, 요동 베이스에 부착되고, 수직 평면 내에 있어서 반송 방향에 직각인 요동축 둘레에서 요동하는 제 1 암과, 제 1 암의 선단에 제 1 암에 대하여 진퇴 가능하게 부착된 제 2 암과, 제 2 암의 선단에 부착된 손목부에 의해 구성되는 프레스간 반송 로봇이 개시되어 있다. 또한, 워크의 반송 경로를 사이에 두고, 프레스간 반송 로봇을 2대 마주보게 배치하여 워크를 흡착 유지하는 워크 파지용 핸드를 2대의 프레스간 반송 로봇에 의해 양팔보 지지하고, 2대의 프레스 반송용 로봇을 협조 동작시킴으로써 워크의 프레스간 반송을 행하는 취지가 개시되어 있다.

일본 특허공개 2001-180822호 공보 일본 특허공개 2004-337918호 공보

그런데, 최근에는 액정 디스플레이로 대표되는 FPD 제품의 한층 더 보급을 꾀하기 위해서 양산화에 의한 보다 나은 비용 다운의 요구가 강하고, 이 때문에 본 분야에 있어서도 유리 기판의 이송 시간의 보다 나은 단축화가 요구되고 있다.

또한, 로봇암의 동작 영역이 커지면 안전 펜스 등의 설치 면적도 넓게 취하지 않을 수 없고, 풋프린트(장치 점유 면적)의 증대화는 면할 수 없다. 이것으로는 작업 효율의 개선은 바랄 수 없고, 도리어 작업 효율이나 생산성의 저하를 초래할지도 모른다. 또한, 상기 설비는 클린 환경에 설치되는 경우가 많기 때문에 클린 환경의 유지에 필요한 관리 비용의 삭감의 방해로도 된다. 그 때문에 이송 설비의 풋프린트에 관해서도 지금까지 이상의 스페이스 절약화가 요구되고 있다.

이 점에서 상기 특허문헌 1에 따른 교환 장치에서는 기판을 흡착 유지한 다관절암을 그 연직축 둘레에서 선회 이동시킴으로써 기판을 그 수취 위치로부터 교환 위치까지 이송하고 있으므로 이송 경로가 길어진다. 또한, 교환 위치에서의 정지 동작을 고려하면 로봇암의 고속 이동도 어렵다. 따라서, 이러한 이송 경로를 채용하는 한, 이송 시간의 단축화는 곤란하다고 하지 않을 수 없다. 또한, 교환기(로봇암)의 동작 스페이스를 넓게 취할 필요가 있다는 점에서 풋프린트의 면에서도 불리하다. 또한, 기판의 반전 동작은 상기 선회 이송과는 별개의 축 둘레에서 행해지기 때문에 각각에 전용 구동 기구가 필요로 된다. 그 때문에 암 전체적인 경량화는 어렵다.

또한, 상기 특허문헌 2에 따른 반송 장치에서는 2개의 암을 워크의 좌우 측방에 배치하고, 이 2개의 암에 의해 워크를 흡착 유지하는 워크 파지용 핸드를 양팔보 지지하여 워크를 반송하도록 구성되어 있다. 그 때문에 쌍방의 암을 동기하여 움직일 필요가 생겨 반송 동작의 고속화의 방해가 될 우려가 있다. 또한, 상기 반송 장치에는 애당초 워크의 표리면을 고려한 반전 동작을 행하기 위한 기구가 장착되어 있지 않기 때문에 이것을 그대로 유리판의 이송 설비에 적용하는 것은 어렵다.

물론, 이상에 설명한 과제는 모두 유리판에 한정되는 것은 아니고, 다른 판상을 이루는 워크, 특히 대형의 평면을 갖는 판상 워크에 대해서도 적합하다.

이상의 사정을 감안하여 본 명세서에서는 판상 워크의 이송 시간 및 이송에 요하는 스페이스의 저감화를 꾀하는 것을 본 발명에 의해 해결해야 하는 기술적 과제로 한다.

상기 과제의 해결은 본 발명에 의한 유리판의 이송 설비에 의해 달성된다. 즉, 이 이송 설비는 판상 워크의 취득 위치에서 판상 워크를 취득하고, 취득한 판상 워크를 그 탑재 위치까지 이송하기 위한 설비이며, 다관절을 갖는 일련의 가동암을 갖고, 일련의 가동암의 선단에 판상 워크의 일면을 유지 취득하기 위한 유지부를 설치한 다관절 로봇을 구비하고, 다관절 로봇에 의해 취득 위치에 공급된 판상 워크의 공급측의 하면을 유지하여 하면과는 반대측의 상면을 탑재 위치의 탑재면에 탑재하는 판상 워크의 이송 설비에 있어서 취득 위치와 탑재 위치가 대향 배치됨과 아울러, 대향 공간의 측방에 다관절 로봇이 배치되고, 다관절 로봇은 일련의 가동암의 선회·굴신 운동에 의해 판상 워크를 취득 위치로부터 대향 공간 상을 통과하여 탑재 위치까지 이송하는 동작을 행하고, 또한 이송 동작의 일부로서 판상 워크의 상면을 탑재면에 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 구성되어 있는 점을 가지고 특징지어진다.

이와 같이, 다관절 로봇을 판상 워크의 취득 위치와 탑재 위치의 대향 공간으로부터 측방으로 벗어난 위치에 배치하고, 또한 이 대향 공간 상을 통과하여 판상 워크를 이송함으로써 워크를 로봇 본체 둘레에서 선회 이동시키거나 또는 로봇 본체의 위치를 워크의 이송시에 변위시키지 않고 된다. 그 때문에 이송 시간의 저감을 꾀함과 아울러, 판상 워크의 이송에 있어서 확보해야 하는 주변 영역의 면적을 종래에 비해서 작게 할 수 있다. 이것에 의해 이송 설비의 점유 면적(풋프린트)을 저감시켜 작업 효율의 개선을 꾀할 수 있음과 아울러, 클린 환경의 유지에 필요한 관리 비용의 삭감에도 기여한다. 또한, 상기 이송 동작의 일부가 판상 워크를 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 했으므로 이송 동작과는 독립적으로 반전 동작만을 행하기 위한 기구가 불필요하게 된다. 또한, 반전 동작에만 사용하는 구동원(모터 등)도 불필요하며, 이송 동작을 위한 구동 모터만으로 충분하다. 이상으로부터 일련의 가동암을 경량화하고, 또한 암 강성을 높여 상기 암의 이동 속도를 향상시킬 수 있다.

여기에서, 판상 워크의 이송 동작이 일련의 가동암의 수평축 둘레의 선회·굴신 운동에 의해 행해지도록 구성해도 좋다. 취득 위치와 탑재 위치가 대향 배치되어 있는 점 및 상기 이송 형태로부터 판상 워크의 이송 및 자세 변환(반전)은 수평축 둘레의 회전 운동만으로 충분하기 때문이다. 이렇게 구성함으로써 이송 설비에 요하는 실질적인 설비 점유 면적(풋프린트)을 최소한으로 억제하여 작업 효율을 더욱 높일 수 있다.

또한, 상기 구성을 취하는 것이면 모두 범용의 6축형 등의 다자유도 로봇암을 사용할 필요는 없고, 예를 들면, 모두 수평이고, 또한 서로 평행한 5축 이하의 조인트를 갖는 다관절 로봇을 구비한 것이어도 좋다. 바람직하게는 모두 수평이고, 또한 서로 평행한 3축을 갖는 다관절 로봇을 구비한 것이어도 좋다. 또한, 링크나 관절(축)의 수를 줄이는 것이면 동작 속도가 느린 하나의 관절에 제약을 받아서 일련의 가동암 전체의 동작 속도가 제한되는 경우도 없다. 또한, 관절수가 감소함으로써 종래에 비해 암 강성도 향상되므로 높은 위치 정밀도를 확보하면서도 판상 워크를 고속으로 이송하는 것이 가능하게 된다.

한편, 이송 동작은 예를 들면, 취득 위치에 공급된 판상 워크의 하방에 유지부를 넣어서 판상 워크의 하면을 유지하고, 그 후 판상 워크를 상방으로 밀어 올리는 동작을 포함하는 것이어도 좋다. 이렇게 일련의 가동암을 움직이도록 하면 반송측의 하면측으로부터 판상 워크를 누르도록 해서 판상 워크의 이송을 개시할 수 있다. 그 때문에 이송 개시 직후부터 이송 속도를 높여도 유지부로부터 판상 워크가 벗어날(이탈할) 우려가 없다.

또한, 이송 동작은 예를 들면, 탑재면과 정면 대향하는 위치까지 판상 워크를 이동시키고, 그 후 정면 대향 자세를 유지하여 판상 워크를 탑재면을 향해서 이동시키는 동작을 포함하는 것이어도 좋다. 이것은 판상 워크를 적재하는 경우에 유효한 탑재 동작이다. 이 동작에 의하면 탑재면 상에 판상 워크가 적재되어 가 실제의 탑재면의 위치가 그 적재 두께 방향으로 약간 어긋나는 경우이어도 이미 적재되어 있는 판상 워크 상에 정밀도 좋게 탑재할 수 있다. 이 탑재 동작이나 상술한 취득 동작은 모두 적어도 3축을 갖는 일련의 가동암(다관절 로봇)이면 실시 가능하다.

또한, 워크의 이송 경로에 관해서 다관절 로봇의 각 관절에 설치된 구동 모터의 출력의 총합이 최소가 되도록 다관절 로봇에 의한 판상 워크의 이송 동작이 설정되어 있어도 좋다. 이것은 반전을 수반하여 이송하는 형태를 채용하는 관계 상, 단순히 판상 워크를 취득 위치로부터 탑재 위치까지 직선적으로 이송할 수 없기 때문이다. 또한, 이송 경로가 최소가 되는 궤적은 무엇을 기준으로 취하는지에 따라 다르고, 가령 경로 길이가 최소로 되는 궤적이 판명되었다고 해도 실제로 판상 워크에 작용하는 공기 저항을 고려한 경로 설정을 행하지 않으면 모터의 부하 용량과의 비율에 의해 설정대로의 이송 속도가 얻어지지 않는 경우도 고려되기 때문이다. 이상의 이유로부터 본 발명에서는 각 관절의 구동 모터의 출력에 착안하여 상기 출력의 총합이 최소가 되는 움직임을 실현했다. 이것에 의해 판상 워크를 효율적으로, 또한 단시간에 이송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 모터 출력을 기준으로 이송 동작(경로)을 설정하면 그다지 출력이 큰 모터를 사용하지 않아도 된다. 그 때문에 비교적 소용량의 모터를 사용할 수 있어 암 전체의 경량화를 꾀함으로써 설정대로의 고속 이송 동작을 실현할 수 있다.

상기 이송 동작의 구체예로서는 예를 들면, 판상 워크의 하면을 밀어 올리는 방향으로 일련의 가동암을 선회시켜 상면이 탑재면과 정면 대향하는 위치까지 판상 워크를 반전 이동시키는 동작과, 탑재면과의 정면 대향 자세를 유지하여 판상 워크를 탑재면을 향해 직선적으로 이동시키는 동작을 갖는 이송 동작을 들 수 있다.

또는 다른 이송 경로로서 이송 동작시에 판상 워크가 공기 저항을 받음으로써 잃는 운동 에너지의 총합이 최소가 되도록 다관절 로봇에 의한 판상 워크의 이송 동작이 설정되어 있어도 좋다. 이것은 특히 판상 워크가 받는 공기 저항을 최소로 하는 것이 이송 속도의 향상에 가장 기여한다는 관점에서 이송시에 판상 워크가 받는 공기 저항과 경로 길이의 관계를 근거로 해서 최적의 이송 경로를 설정한 것이다. 따라서, 상기한 바와 같이 이송 동작(이송 경로)을 설정함으로써 판상 워크의 이송 속도를 최대한으로 높여 이송에 요하는 시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 상기 이송 동작의 구체예로서 예를 들면, 판상 워크를 그 기단측으로부터 들어올려 판상 워크의 선단을 하방을 향해 직립시키는 동작과, 직립된 상태로부터 일련의 가동암의 굴곡에 의해 판상 워크를 하강시킴과 아울러 그 기단측을 중심으로 회전시킴으로써 판상 워크를 반전시키면서 탑재면을 향해 슬라이딩시키는 동작을 갖는 이송 동작을 들 수 있다. 여기에서, 「기단」이란, 판상 워크 중 일련의 가동암의 본체에 가까운 측의 단부를 의미하고, 「선단」이란, 판상 워크 중 일련의 가동암 본체로부터 먼 측의 단부를 의미한다.

상기 구성의 다관절 로봇은 기대 상에 배치되어 기대에 대하여 판상 워크의 이송 방향에 직교하는 방향으로 다관절 로봇을 수평 이동시킬 수 있도록 구성되어 있는 것이어도 좋다. 탑재 위치까지 이송된 판상 워크는 적재면에 대하여 정확하게 위치 결정된 상태에서 탑재되도록 구성되어 있지만 특히, 이송 속도를 중시한 이송 동작으로 한 경우에는 상기 구성으로 하는 것이 바람직하다. 판상 워크의 정지 위치에 약간의 편차가 발생된 경우이어도 다관절 로봇 본체를 수평 방향으로 이동시킴으로써 상기 편차를 보정하여 정확한 위치에 탑재하는 것이 가능하게 된다.

이상의 설명에 따른 판상 워크의 이송 설비는 예를 들면, 이하에 나타내는 형태로 제공할 수 있다. 즉, 상기 이송 설비와, 취득 위치에 판상 워크를 반송하는 반송 수단과, 탑재 위치를 갖고 판상 워크를 적층한 상태에서 곤포하기 위한 1개 또는 복수개의 곤포용 팰릿을 구비하고, 반송 수단에 곤포용 팰릿과 동수의 취득 위치가 제공되고, 각각의 취득 위치와 곤포용 팰릿 사이의 대향 공간의 측방에 다관절 로봇이 배치됨과 아울러, 반송 수단에 의해 취득 위치로 반송되는 판상 워크를 다관절 로봇의 이송 동작에 의해 각 곤포용 팰릿에 선택적으로 적재하도록 구성되어 있는 판상 워크의 곤포 설비로서 제공할 수 있다. 이렇게 복수개의 이송 설비를 사용함으로써 이송 효율(곤포 효율)의 향상을 꾀할 수 있다. 또한, 이종의 판상 워크를 동일한 반송 수단에 의해 반송하는 경우에는 각각의 워크를 정확하고, 또한 효율적으로 적재하는 것이 가능하게 된다.

한편, 상기 과제의 해결은 판상 워크의 취득 위치에서 판상 워크를 취득하고, 취득한 판상 워크를 그 탑재 위치까지 이송하는 방법이며, 다관절을 갖는 일련의 가동암을 갖고, 일련의 가동암의 선단에 판상 워크의 일면을 유지 취득하기 위한 유지부를 설치한 다관절 로봇을 이용하여 취득 위치에 공급된 판상 워크의 공급측 하면을 유지해서 하면과는 반대측의 상면을 탑재 위치의 탑재면에 탑재하는 판상 워크의 이송 방법에 있어서, 취득 위치와 탑재 위치가 대향 배치됨과 아울러, 대향 공간의 측방에 다관절 로봇이 배치되고, 또한 다관절 로봇의 일련의 가동암의 선회·굴신 운동에 의해 판상 워크를 취득 위치로부터 대향 공간 상을 통과하여 탑재 위치까지 이송하고, 또한 이송 동작의 일부로서 판상 워크의 상면을 탑재면에 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 한 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 방법에 의해서도 달성할 수 있다.

(발명의 효과)

이상과 같이, 본 발명에 의한 판상 워크의 이송 설비 및 이송 방법에 의하면 판상 워크의 이송 시간 및 이송에 요하는 스페이스의 저감화를 꾀할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 유리 기판의 곤포 설비의 평면도이다.
도 2는 본 발명에 의한 이송 설비의 측면도이다.
도 3은 유리 기판의 제 1 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 개시 직전의 이송 설비의 측면도이다.
도 4는 유리 기판의 제 1 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 5는 유리 기판의 제 1 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 6은 유리 기판의 제 1 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 다음 이송 동작으로 바뀌기 전의 이송 설비의 측면도이다.
도 7은 유리 기판의 제 1 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 다음 이송 동작으로 바뀌기 전의 이송 설비의 측면도이다.
도 8은 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 개시 직전의 이송 설비의 측면도이다.
도 9는 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 개시 직후의 이송 설비의 측면도이다.
도 10은 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 11은 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 12는 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 13은 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 14는 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 이송 동작 중의 이송 설비의 측면도이다.
도 15는 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 다음 이송 동작으로 바뀌기 전의 이송 설비의 측면도이다.
도 16은 유리 기판의 제 2 동작예에 따른 이송 동작을 설명하기 위한 도면이며, 다음 이송 동작으로 바뀌기 전의 이송 설비의 측면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 유리 기판의 곤포 설비(1)의 평면도를 나타낸다. 이 도면에 따른 곤포 설비(1)는 반송 수단(2)에 의해 취득 위치(4)로 반송되어 오는 액정 디스플레이용 유리 기판(3)을 이송 설비(10)를 이용하여 취득하고, 취득한 유리 기판(3)을 반송 수단(2)의 측방에 설치한 곤포용 팰릿(5)에 적재해 가기 위한 설비이며, 복수개의 이송 설비(10)와, 반송 수단(2)과, 유리 기판(3)을 적층한 상태에서 곤포하기 위한 1개 또는 복수개의 곤포용 팰릿(5)을 구비한다.

상세하게는 반송 수단(2)은 유리 기판(3)을 수평 자세로 반송할 수 있는 반송로(6)를 갖는다. 이 반송로(6)는 예를 들면, 롤러 컨베이어 등 적당한 구동 수단에 의해 구성된다. 반송로(6) 상에는 이송 설비(10)에 의한 유리 기판(3)의 취득 위치(4)가 1개 또는 복수개 존재한다. 취득 위치(4)에 있어서는 후술하는 다관절 로봇(11)의 워크 유지부(23)를 상하 방향으로 통과시킬 수 있는 형상의 오목부(7)가 반송 수단(2)의 측방으로 개방된 상태에서 형성되어 있고, 취득 위치(4)에서 정지된 상태의 유리 기판(3)을 그 하방으로부터 워크 유지부(23)에 의해 유지 취득할 수 있도록 되어 있다. 또한, 취득 위치(4)에 있어서의 반송로(6) 상에는 얼라인먼트 수단(8)이 배치되어 있고, 취득 위치(4)에서 정지시킨 유리 기판(3)의 반송 직교 방향으로 정렬시키도록 되어 있다.

유리 기판(3)의 곤포용 팰릿(5)은 반송 수단(2) 중의 취득 위치(4)와 대향하는 위치에 배치되어 있다. 정확하게는 취득 위치(4)에 있어서의 유리 기판(3)의 좌우 단면과, 곤포용 팰릿(5)의 탑재면(26)에 탑재된 (탑재 위치에 있어서의)유리 기판(3)의 좌우 단면이 평행하게 되도록 곤포용 팰릿(5)의 반송 수단(2){취득 위치(4)}에 대한 배치 위치(대향 간격이나 그 방향)가 정해져 있다. 이들 취득 위치(4)와 탑재 위치{곤포용 팰릿(5)} 사이에 형성되는 대향 공간(9)의 측방에는 이송 설비(10)의 다관절 로봇(11)이 배치된다. 이 실시형태에서는 반송로(6)의 소정 간격마다 오목부(7){취득 위치(4)}가 형성되어 있고, 이 오목부(7)와 동수의 곤포용 팰릿(5) 및 다관절 로봇(11)이 각각 배치되어 있다.

도 2는 이송 설비(10)의 측면도를 나타내고 있다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 이송 설비(10)는 다관절 로봇(11)을 구비하고, 접지된 기대(12) 상에 배치되어 있다. 여기에서, 다관절 로봇(11)은 일련의 가동암(13)과, 일련의 가동암(13)의 동작을 제어하는 제어반(14)(도 1을 참조)을 갖는다. 일련의 가동암(13)은 소위 다관절 로봇암 구조를 갖고, 각 관절축이 모두 서로 평행하고, 또한 반송 수단(2)에 의한 유리 기판(3)의 반송 방향에 걸친 방향으로 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 워크 유지부(23)에 유지된 유리 기판(3)의 법선이 어느 조인트축(관절축)에 대해서나 항상 직교하는 자세를 유지하도록 일련의 가동암(13)의 구조나 취득 위치(4)나 탑재 위치{곤포용 팰릿(5)}에 대한 다관절 로봇(11)의 설치 자세가 설정되어 있다.

여기에서, 일련의 가동암(13)에 대해서 상세하게 설명하면 이 일련의 가동암(13)은 3축 관절 구조를 이루고, 가장 기대(12)측에 위치하는 제 1 링크(15)가 기대(12)에 대하여 기립 설치됨과 아울러, 제 1 조인트(16)를 통해 제 2 링크(17)의 일단이 제 1 링크(15)의 타단에 연결되어 있다. 제 2 링크(17)의 타단에는 제 2 조인트(18)를 통해 제 3 링크(19)의 일단이 연결됨과 아울러, 제 3 링크(19)의 타단에는 제 3 조인트(20)를 통해 워크 유지부(23)의 손목(21)이 연결되어 있다. 각 조인트(16, 18, 20)의 근방에는 각각 대응하는 구동 모터{제 1 조인트(16)용 구동 모터(22)만 도시하고 있음}가 일체적으로 배치되어 있고, 이들 구동 모터도 각 링크(15, 17, 19)와 함께 일련의 가동암(13)을 구성한다. 또한, 각 조인트(16, 18, 20)에 감속기를 장착해도 좋고, 또는 감속기가 부착된 모터를 상기 구동 모터로서 사용해도 좋다. 또한, 이 때 사용되는 감속기로서는 암 강성이 한층 더 향상되는 것을 꾀하기 위해서 백래시(backlash)의 발생을 억제한 감속기{예를 들면, 가부시키가이샤 산쿄세이사쿠쇼제의 0 백래시 정밀 감속기인 롤러 드라이브(등록 상표) 등}가 바람직하다. 또한, 각 링크(15, 17, 19)는 모두 각 조인트(16, 18, 20) 둘레에서 각각 독립적으로 정역회전할 수 있고, 회전 각도에 의해 링크끼리 또는 주변의 물체와의 간섭이 발생되는 경우가 없도록 구성되어 있다.

워크 유지부(23)는 반송로(6) 상에 형성된 오목부(7)를 상하 방향으로 통과할 수 있는 형상을 갖고 있고, 이 도시예에서는 소위 포크상과 같이 복수개의 돌기부를 병렬로 배치한 형태를 갖는다. 워크 유지부(23)의 일면측에는 복수개의 흡착 패드(24)가 배치되어 있고, 일련의 가동암(13)에 접속된 진공 펌프 등의 감압 수단(25)에 의해 흡착 패드(24)에 부착된 물체를 흡착 유지할 수 있도록 되어 있다.

곤포용 팰릿(5)은 이 도시예에서는 소정각(예를 들면, 72°) 경사진 탑재면(26)을 갖고, 이 탑재면(26) 상에 복수개의 유리 기판(3)을 적재할 수 있도록 구성되어 있다. 여기에서, 곤포용 팰릿(5)의 상방에는 도시는 생략하지만 적재시에 합지(27)를 탑재면(26)에 공급하는 합지 공급 수단이 배치되어 있다. 그리고, 다관절 로봇(11)에 의해 유리 기판(3)이 곤포용 팰릿(5)의 탑재면(26)에 탑재될 때마다 합지(27)를 탑재면(26) 상{이미 1장 이상의 유리 기판(3)이 탑재되어 있는 경우에는 최상위의 유리 기판(3)의 하면(3a) 상}에 공급함으로써 합지(27)를 통해 복수매의 유리 기판(3)을 탑재면(26) 상에 적재할 수 있도록 되어 있다. 또한, 유리 기판(3)의 탑재 위치 정밀도를 확보하기 위해서 예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같이, 기대(12)와 일련의 가동암(13) 본체 사이에 각 조인트(16, 18, 20)의 축 방향을 따라 슬라이딩 가능한 슬라이딩 기구(28)를 설치해 두어도 상관없다.

이하, 상기 구성에 의한 이송 설비(10)를 사용한 유리 기판(3)의 이송 작업의 일례를 주로 도 3~도 7에 의거하여 설명한다. 또한, 이하의 이송 동작은 일련의 가동암(13)의 각 조인트(16, 18, 20)에 설치된 구동 모터의 출력의 총합이 최소가 되도록 바꿔 말하면, 각 모터에 대한 부하의 시간곱의 총합이 최소가 되도록 일련의 가동암(13)에 의한 유리 기판(3)의 이송 동작을 설정한 경우의 동작예를 나타낸다.

우선, 반송 수단(2)에 의해 반송로(6) 상에서 반송되는 유리 기판(3)이 도 1에 나타내는 취득 위치(4)에 도착한 것을 적당한 위치 센서(도시는 생략)에 의해 검지하고, 롤러 컨베이어 등의 구동 수단을 정지시킨다. 이것에 의해 유리 기판(3)이 정지되어 취득 위치(4) 상에 세팅된다. 또한, 이 때, 취득 위치(4) 상에 설치한 적당한 얼라인먼트 수단(8)에 의해 예를 들면, 유리 기판(3)의 좌우 방향 위치(반송 방향과 직교하는 가상축 상의 위치)가 조정된다. 이 단계에 있어서 일련의 가동암(13)의 워크 유지부(23)는 도 3에 나타내는 바와 같이, 취득 위치(4) 상에 세팅된 유리 기판(3) 바로 아래에 배치되어 있다. 또한, 제 2 조인트(18)는 제 1 조인트(16)나 제 3 조인트(20)보다 하방에 위치하고 있다.

그리고, 도 3에 나타내는 위치에 있어서 워크 유지부(23)에 설치한 복수개의 흡착 패드(24)에 의해 유리 기판(3)의 하면(3a)을 흡착 유지하고, 이 상태로부터 제 2 조인트(18)를 중심으로 해서 제 3 링크(19)를 도 3 중 반시계 방향으로 선회시킴으로써 도 4에 나타내는 바와 같이, 반송로(6) 상으로부터 유리 기판(3)을 밀어 올려 유리 기판(3)의 이송을 개시한다. 이 때, 손목(21)은 제 3 링크(19)에 고정된 상태를 유지하고, 제 2 링크(17)는 제 3 링크(19)의 선회 동작에 맞춰서 조금씩 제 1 링크(15)에 대하여 시계 방향으로 회전 운동을 행한다. 또한, 이 도시예에서는 유리 기판(3)을 흡착 유지하여 약간 상방으로 들어올려 일련의 가동암(13)을 구부림으로써 전방{곤포용 팰릿(5) 부근}으로 평행 이동시킨 상태로부터 상술한 선회 동작을 개시하도록 되어 있다. 취득 위치(4) 상의 타물체와의 간섭을 회피하기 위해서이다. 또한, 상술한 바와 같이, 다관절 로봇(11)의 하방에 위치시킨 상태의 제 2 조인트(18) 둘레에서 제 3 링크(19)를 선회시킴으로써 유리 기판(3)의 회전 이동 거리를 작게 하여 후술하는 적재에 적합한 위치{탑재면(26)과 정면 대향하는 위치}에 도달할 수 있도록 되어 있다.

상술한 바와 같이 해서 일련의 가동암(13)을 선회시킴으로써 그 선단{워크 유지부(23)}에 유지한 유리 기판(3)을 수평축 둘레에서 회전 이송하고, 도 5에 나타내는 위치, 즉, 유리 기판(3)의 탑재측의 상면(3b)과 곤포용 팰릿(5)의 탑재면(26)이 정면 대향하는 위치에 이르면 유리 기판(3)의 이송 동작을 이하와 같이 변경한다. 즉, 유리 기판(3)의 상면(3b)과 탑재면(26)의 정면 대향 자세를 유지하면서 일련의 가동암(13)을 신장시켜 유리 기판(3)을 탑재면(26)을 향해 슬라이딩(직선적으로 이동)시킨다. 이것에 의해 유리 기판(3)이 정확하게 위치 결정된 상태에서 곤포용 팰릿(5)의 탑재면(26)에 탑재된다. 또한 이 때, 도 2에 나타내는 슬라이딩 기구(28)에 의해 일련의 가동암(13)을 이송 방향과 직교하는 방향으로 약간 이동시켜 유리 기판(3)의 탑재 위치를 미조정하도록 해도 좋다. 또한, 도 5에 나타내는 상태에서는 합지(27)가 앞서 적재되어 있는 유리 기판(3)의 하면(3a) 상에 공급되어 있지만 적재되는 유리 기판(3, 3) 사이에 합지(27)를 공급할 수 있는 한에 있어서 그 공급 타이밍은 임의이다.

이렇게 하여 유리 기판(3)의 이송 동작 및 적재 동작이 완료되면 재차 유리 기판(3)의 이송·적재 동작을 행하기 위해서 워크 유지부(23)를 취득 위치(4)의 하방으로 이동시킨다. 여기에서는 도 6에 나타내는 바와 같이, 우선 제 3 조인트(20) 둘레에서 손목(21)을 시계 방향으로 회전시켜 워크 유지부(23)를 수평에 가깝게 해감과 아울러, 제 3 링크(19)를 제 2 조인트(18)를 중심으로 시계 방향으로 회전시켜 워크 유지부(23)를 취득 위치(4)로 접근시켜간다. 그리고, 취득 위치(4)의 근방에 도달하면 도 7에 나타내는 바와 같이, 워크 유지부(23)를 취득 위치(4)에 세팅되는 유리 기판(3)의 하방에 넣어서 유리 기판(3)의 바로 아래, 즉, 도 3에 나타내는 위치에 배치시킨다. 구체적으로는 일련의 가동암(13)을 굴곡시킨 상태에서 제 2 조인트(18)를 중심으로 제 3 링크(19)를 시계 방향으로 회전시킴과 아울러 손목(21)을 제 3 조인트(20) 둘레에서 반시계 방향으로 회전시켜 워크 유지부(23)의 선단을 내려서 기울인 상태로부터 일련의 가동암(13)을 신장시켜감으로써 상기 넣는 동작이 실시된다. 이렇게 해서 도 3~도 7에 따른 일련의 동작을 반복함으로써 곤포용 팰릿(5)의 탑재면(26)에 복수개의 유리 기판(3)이 적재된다.

또한, 이 실시형태에서는 복수개의 취득 위치(4)가 반송로(6) 상에 제공됨과 아울러, 이들 취득 위치(4)와 동수의 곤포용 팰릿(5) 및 다관절 로봇(11)이 동일한 위치 관계로 배치되어 있다. 그 때문에 하나의 다관절 로봇(11)에서 하나의 취득 위치(4)에 세팅된 유리 기판(3)의 이송·적재 동작을 행하는 동안 다른 다관절 로봇(11)에서 대응하는 다른 취득 위치(4)까지 반송되어 세팅된 유리 기판(3)을 이송·적재할 수 있어 유리 기판(3)의 이송·적재 효율을 대폭 높일 수 있다. 물론, 이러한 종류의 곤포 설비(1)이면 동일한 반송로(6) 상에 이종의 유리 기판(3)이 반송되는 경우이어도 각종 유리 기판(3)마다 대응하는 이송 설비(10)를 구성함으로써 유리 기판(3)마다의 이송·적재 작업이 가능하게 된다.

이상, 본 발명에 의한 이송 설비(10)를 사용한 유리 기판(3)의 이송 동작의 일례(제 1 동작예)를 설명했지만 물론, 그 이외의 이송 동작을 채용하는 것도 가능하다. 이하, 이송 설비(10)를 사용한 이송 동작의 다른 예(제 2 동작예)를 설명한다. 또한, 이하의 동작예에 있어서는 취득 위치(4) 상에 수평인 상태에서 반송되어 온 유리 기판(3)을 마찬가지로 수평인 상태의 탑재면(26)을 구비한 탑재대(29)를 향해 이송하는 경우를 예로 들어 설명한다. 사용하는 이송 설비(10)는 제 1 동작예의 경우와 동일하다.

여기에서의 이송 동작은 이송 동작시에 유리 기판(3)이 공기 저항을 받음으로써 잃는 운동 에너지의 총합이 최소가 되도록 일련의 가동암(13)에 의한 유리 기판(3)의 이송 동작을 설정한 경우의 동작예를 나타낸다. 이것은 유리 기판(3)이 받는 공기 저항을 최소로 하는 것이 이송 속도의 향상에 가장 효과적이라는 관점에서 이송시에 유리 기판(3)이 받는 공기 저항과 경로 길이의 관계를 근거로 하여 최적의 이송 경로를 설정한 것이다.

우선, 제 1 동작예와 같이, 도 8에 나타내는 바와 같이 워크 유지부(23)를 취득 위치(4) 상에 세팅된 유리 기판(3)의 바로 아래에 배치한다. 이 때, 제 2 조인트(18)는 제 1 조인트(16) 및 제 3 조인트(20)보다 상방에 위치하고 있다. 그리고, 이 위치에 있어서 워크 유지부(23)에 설치한 복수개의 흡착 패드(24)에 의해 유리 기판(3)의 하면(3a)을 흡착 유지하고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(3)을 조금 상방으로 들어올려 탑재대(29)측으로 평행 이동시킨 상태로부터 실질적인 이송 동작을 개시한다. 즉, 도 10에 나타내는 바와 같이, 제 1 조인트(16) 둘레에서 제 2 링크(17)를 반시계 방향으로 선회시킴과 아울러{또한, 이 도시예에서는 제 2 링크(17)의 선회 동작에 맞춰서 제 3 링크(19)도 반시계 방향으로 선회시킴}, 또한 도 11에 나타내는 바와 같이, 손목(21)을 제 3 조인트(20) 둘레에서 시계 방향으로 회전시켜 유리 기판(3)을 그 탑재 위치측을 위로 해서 기울여가면서 들어올린다.

상술한 바와 같이 해서 유리 기판(3)을 기울여가면서 탑재대(29)를 향해서 이동시키고, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제 2 링크(17)와 제 3 링크(19)가 일직선 상에 배열되어 일련의 가동암(13)이 연직 상방으로 완전히 신장되는 위치까지 유리 기판(3)을 이동시킨다. 동시에 유리 기판(3)을 세우고, 일련의 가동암(13)이 연직 상방으로 완전히 신장된 상태에서는 유리 기판(3)의 선단측 단부를 하방을 향해서 직립시킨 위치에 있도록 손목(21)을 회전시킨다.

그리고, 이 상태로부터 계속해서 손목(21)을 시계 방향으로 회전시킴과 아울러, 제 2 링크(17)는 시계 방향으로, 제 3 링크(19)는 반시계 방향으로 각각 선회시킨다(각각 도 12를 참조). 이렇게 일련의 가동암(13)을 굴곡시키는 형태로 움직임으로써 유리 기판(3)을 서서히 눕히면서 제 3 조인트(20)를 하방으로 이동시켜 유리 기판(3)을 하강시켜간다.

또한, 이 실시형태에서는 상기 유리 기판(3)의 하강 동작 중 도 13에 나타내는 바와 같이, 시계 방향으로 선회하고 있던 제 2 링크(17)를 역전시켜 반시계 방향으로 선회시킴으로써 유리 기판(3)을 탑재면(26) 상에서 슬라이딩시키도록 이송해간다. 즉, 유리 기판(3)을 수평 자세에 가깝게 해가면서 그 손목(21)측 단부를 하강시키는 동작을 수반하여 상기 유리 기판(3)을 취득 위치(4)로부터 대향 공간(9) 상을 통과하여 탑재 위치를 향해 이송해간다. 이것에 의해 도 14에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(3)이 반전된 상태에서 탑재면(26)과 정면 대향하는 위치까지 이송된다.

그리고, 도 14에 나타내는 위치, 즉, 유리 기판(3)이 대략 수평인 자세를 취해 탑재면(26)과 정면 대향하는 위치로부터 유리 기판(3)의 탑재측의 상면(3b)(도 14에서는 하향)과 탑재면(26)의 정면 대향 자세를 유지하면서 유리 기판(3)을 탑재면(26)을 향해 슬라이딩(직선적으로 이동)시킨다. 이것에 의해 유리 기판(3)이 정확하게 위치 결정된 상태에서 탑재대(29)의 탑재면(26)에 탑재된다. 또한, 도 14에 나타내는 상태에서는 이미 합지(27)가 적당한 합지 공급 수단에 의해(여기에서는 모두 도시는 생략) 탑재면(26) 상에 공급되어 있다.

이렇게 하여 유리 기판(3)의 이송 동작 및 탑재 동작이 완료되면 재차 유리 기판(3)의 이송·탑재 동작을 행하기 위해서 워크 유지부(23)를 취득 위치(4)의 하방으로 이동시킨다. 여기에서는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 우선 제 2 링크(17) 및 제 3 링크(19)를 모두 시계 방향으로 회전시켜 대략 연직 상향으로 서게 함과 아울러, 손목(21)을 반시계 방향으로 회전시켜 워크 유지부(23)를 수평 자세로부터 직립 자세에 가깝게 해간다. 그리고, 워크 유지부(23)의 직립 자세를 유지하여 제 3 링크(19)를 시계 방향으로 더 회전시켜 제 3 조인트(20)가 제 2 조인트(18)보다 하방에 위치한 시점으로부터 손목(21)을 제 3 조인트(20)를 중심으로 해서 반시계방향으로 회전시킨다. 이것에 의해 제 1 동작예와 같이 도 16에 나타내는 위치로부터 워크 유지부(23)를 취득 위치(4)에 세팅되는 유리 기판(3)의 하방에 넣어서 유리 기판(3)의 바로 아래에 배치시킨다. 이렇게 해서 도 8~도 16에 따른 일련의 동작을 반복함으로써 취득 위치(4)로부터 탑재대(29){탑재면(26)}로의 유리 기판(3)의 이송·탑재 동작이 반복 실행된다. 또한, 반드시 유리 기판(3)은 탑재면(26) 상에 적재되지 않고, 예를 들면 탑재대(29)가 적당한 반송 수단의 일부를 구성하고 있는 경우, 1장씩 다음 작업 공정을 향해서 반송되는 것이어도 좋다.

이상, 이송 설비(10)에 의한 유리 기판(3)의 이송 동작예에 대해서 설명했지만 본 발명은 상기 동작예에 한정되지 않는 것은 물론이다. 취득 위치(4)와 탑재 위치가 대향 배치됨과 아울러, 양자 간의 대향 공간(9)의 측방에 이송용 다관절 로봇(11)이 배치되어 있고, 이 다관절 로봇(11)이 일련의 가동암(13)의 선회·굴신 운동에 의해 유리 기판(3)을 취득 위치(4)로부터 대향 공간(9) 상을 통과하여 탑재 위치까지 이송하고, 또한 이 이송 동작의 일부로서 유리 기판(3)의 상면(3b)을 탑재면(26)에 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 구성되는 한에 있어서 이송 설비(10)를 채용할 수 있는 구성은 임의이다.

또한, 이상의 설명에서는 주로 유리 기판(3)을 곤포용 팰릿(5)에 적재하는 공정을 예로 들어 설명했지만 작업 공정 간의 이송 작업이나 하나의 반송 공정으로부터 다른 반송 공정으로 워크인 유리 기판(3)을 이송하는 경우 등, 유리 기판(3)의 제조로부터 출하에 이르는 동안의 임의의 공정에 있어서 또는 출하 후의 물품을 내리는 공정 등에 있어서도 본 발명을 적용할 수 있다.

또한, 이상의 설명에서는 이송 대상이 되는 워크로서 액정 디스플레이용 유리 기판(3)을 예시했지만 본 발명은 액정 디스플레이용에 한정되지 않고, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이, FED, SED 등의 각종 플랫 패널 디스플레이용 유리판(예를 들면, 판두께가 0.4㎜ 이상 1.2㎜ 이하인 것)이나 각종 전자 표시 기능 소자나 박막을 형성하기 위한 기재로서 사용되는 유리판 일반을 이송 대상으로 할 수 있다. 또한, 본 발명은 판상을 이루는 워크인 한, 유리를 소재로 하는 것 이외를 이송 대상으로 할 수도 있는 것은 물론이다.

1: 유리 기판의 곤포 설비 2: 반송 수단
3: 유리 기판 3a: (반송측의)하면
3b: (탑재측의)상면 4: 취득 위치
5: 곤포용 팰릿 6: 반송로
7: 오목부 8: 얼라인먼트 수단
9: 대향 공간 10: 유리 기판의 이송 설비
11: 다관절 로봇 12: 기대
13: 일련의 가동암 14: 제어반
15; 제 1 링크 16: 제 1 조인트
17: 제 2 링크 18: 제 2 조인트
19: 제 3 링크 20: 제 3 조인트
21: 손목 22: 구동 모터
23: 워크 유지부 24: 흡착 패드
25: 감압 수단 26: 탑재면
27: 합지 28: 슬라이딩 기구
29: 탑재대

Claims

판상 워크의 취득 위치에서 판상 워크를 취득하고, 상기 취득한 판상 워크를 그 탑재 위치까지 이송하기 위한 설비로서, 다관절을 갖는 일련의 가동암을 갖고, 상기 일련의 가동암의 선단에 상기 판상 워크의 일면을 유지 취득하기 위한 유지부를 설치한 다관절 로봇을 구비하고, 상기 다관절 로봇에 의해 상기 취득 위치에 공급된 상기 판상 워크의 공급측의 하면을 유지하여 상기 하면과는 반대측의 상면을 상기 탑재 위치의 탑재면에 탑재하는 판상 워크의 이송 설비에 있어서:
상기 취득 위치와 상기 탑재 위치가 대향 배치됨과 아울러 상기 대향 공간의 측방에 상기 다관절 로봇이 배치되고,
상기 다관절 로봇은 상기 일련의 가동암의 선회·굴신 운동에 의해 상기 판상 워크를 상기 취득 위치로부터 상기 대향 공간 상을 통과하여 상기 탑재 위치까지 이송하는 동작을 행하고, 또한 상기 이송 동작의 일부로서 상기 판상 워크의 상기 상면을 상기 탑재면에 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 이송 동작은 상기 일련의 가동암의 수평축 둘레의 선회·굴신 운동에 의해 행해지는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 다관절 로봇은 모두 수평이고 또한 서로 평행인 3축을 갖는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 이송 동작은 상기 취득 위치에 공급된 상기 판상 워크의 하방에 상기 유지부를 넣어서 상기 판상 워크의 상기 하면을 유지하고, 그 후 상기 판상 워크를 상방으로 밀어 올리는 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 이송 동작은 상기 탑재면과 정면 대향하는 위치까지 상기 판상 워크를 이동시키고, 그 후 상기 정면 대향 자세를 유지하여 상기 판상 워크를 상기 탑재면을 향해서 이동시키는 동작을 포함하는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 다관절 로봇의 각 관절에 설치된 구동 모터의 출력의 총합이 최소가 되도록 상기 다관절 로봇에 의한 상기 판상 워크의 상기 이송 동작이 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 6 항에 있어서,
상기 이송 동작은 상기 판상 워크의 상기 하면을 밀어 올리는 방향으로 상기 일련의 가동암을 선회시켜 상기 상면이 상기 탑재면과 정면 대향하는 위치까지 상기 판상 워크를 반전 이동시키는 동작과, 상기 탑재면과의 정면 대향 자세를 유지하여 상기 판상 워크를 상기 탑재면을 향해 직선적으로 이동시키는 동작을 갖는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 이송 동작시에 상기 판상 워크가 공기 저항을 받음으로써 잃는 운동에너지의 총합이 최소가 되도록 상기 다관절 로봇에 의한 상기 판상 워크의 상기 이송 동작이 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 8 항에 있어서,
상기 이송 동작은 상기 판상 워크를 그 기단측으로부터 들어올려 상기 판상 워크의 선단을 하방을 향해 직립시키는 동작과, 상기 직립된 상태로부터 상기 일련의 가동암의 굴곡에 의해 상기 판상 워크를 하강시킴과 아울러 그 기단측을 중심으로 회전시킴으로써 상기 판상 워크를 반전시키면서 상기 탑재면을 향해 슬라이딩시키는 동작을 갖는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항에 있어서,
상기 다관절 로봇은 기대 상에 배치되어 상기 기대에 대하여 상기 판상 워크의 이송 방향에 직교하는 방향으로 상기 다관절 로봇을 수평 이동시킬 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 설비.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 판상 워크의 이송 설비와, 상기 취득 위치에 상기 판상 워크를 반송하는 반송 수단과, 상기 탑재 위치를 갖고 상기 판상 워크를 적층한 상태에서 곤포하기 위한 1개 또는 복수개의 곤포용 팰릿을 구비하고;
상기 반송 수단에 상기 곤포용 팰릿과 동수의 상기 취득 위치가 제공되고, 각각의 상기 취득 위치와 상기 곤포용 팰릿 사이의 대향 공간의 측방에 상기 다관절 로봇이 배치됨과 아울러 상기 반송 수단에 의해 상기 취득 위치로 반송되는 상기 판상 워크를 상기 다관절 로봇의 상기 이송 동작에 의해 각 곤포용 팰릿에 선택적으로 적재하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 판상 워크의 곤포 설비.
판상 워크의 취득 위치에서 판상 워크를 취득하고, 상기 취득한 판상 워크를 그 탑재 위치까지 이송하는 방법으로서, 다관절을 갖는 일련의 가동암을 갖고, 상기 일련의 가동암의 선단에 상기 판상 워크의 일면을 유지 취득하기 위한 유지부를 설치한 다관절 로봇을 이용하여 상기 취득 위치에 공급된 상기 판상 워크의 공급측 하면을 유지하여 상기 하면과는 반대측의 상면을 상기 탑재 위치의 탑재면에 탑재하는 판상 워크의 이송 방법에 있어서:
상기 취득 위치와 상기 탑재 위치가 대향 배치됨과 아울러 상기 대향 공간의 측방에 상기 다관절 로봇이 배치되고, 또한
상기 다관절 로봇의 상기 일련의 가동암의 선회·굴신 운동에 의해 상기 판상 워크를 상기 취득 위치로부터 상기 대향 공간 상을 통과하여 상기 탑재 위치까지 이송하고, 또한 상기 이송 동작의 일부로서 상기 판상 워크의 상기 상면을 상기 탑재면에 탑재하기 위한 반전 동작을 겸하도록 한 것을 특징으로 하는 판상 워크의 이송 방법.